JPH10509372A - 紫外線流体処理装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
流体の流れを受け入れるハウジングであって、流体入口と、流体出口と、この流体入口と流体出口との間に配置された流体処理ゾーンとを有するハウジングと、脚部にシール可能に連結された放射源を有する少なくとも一つの放射源モジュールとを含み、脚部がハウジングにシール可能に連結され、放射源が流体の流れと実質状平行に配置されている流体処理装置。流体入口と、流体出口と、この流体入口と流体出口との間に配置された流体処理ゾーンとを含み、この流体処理ゾーンがその中に少なくとも一つの放射源を有するハウジング内で流体を処理する方法も開示する。この方法が、(i)流体入口に流体の流れを提供する工程と;(ii)流体入口からの流体の流れを、少なくとも一つの放射源と実質上平行な方法で流体処理ゾーンに供給する工程と;(iii)流体処理ゾーン内の流体の流れに照射する工程と;(iV)流体の流れを流体出口に供給する工程とからなる。方法を実行中、流体入口、流体出口および流体処理ゾーンを通る流体の流れが実質上同心上にある。流体処理装置とその方法は、理想的には(しかしこれに限定せず)水中に存在する微生物を不活性にするのに適している。
Description
【発明の詳細な説明】
紫外線流体処理装置およびその方法
技術分野
その態様の一において、本発明は流体処理装置(fluid treatment device)に
関する。別のその態様において、本発明は流体を処理する方法に関する。
背景技術
流体処理装置およびシステムは公知である。例えば、米国特許第4,482,
809号、同第4,872,980号、同第5,006,244号および同第5
,418,370号(全て本発明の譲受人に譲渡されている)は、夫々その内容
がここにおいて参考のためにまとめられているが、全て紫外線(UV)放射を使
用して、流体中に存在する微生物を不活性にする重力供給流体処理システム(gr
avity fed fluid treatment system)を開示している。
前記’809特許、’980特許および’244特許に開示されている装置並
びにシステムは、概して数個のUVランプを含んでおり、各々フレームの2本の
アーム間に延長するスリーブ内に取り付けられている。このフレームは、処理さ
れるべき流体中に浸漬され、必要に応じて照射される。曝された流体への放射量
は、ランプに対する流体の接近によって決まる。1個またはそれ以上のUVセン
サーがランプのUV出力をモニターするのに使用することができ、また、流体レ
ベルは、処理装置の下流側で、ある程度まで、レベルゲート(level gate)等に
よって典型的に制御される。高い流速において、正確な流体レベル制御は、重量
供給システムで達成するのが困難であるので、流体レベルの変動は避けられない
。この種の変動は処理流体中で不画一な照射となる。
しかし、不利な点が前述のシステムには存在する。処理される流体の品質次第
で、UVランプを取り巻いているスリーブが定期的に異物によって汚れることと
なり、そのもののUV放射線の流体への伝送する能力を抑制することとなる。汚
れたときは、操作履歴データ(historical operating data)から、またはUV
センサーからの測定値によって決定される間隔で、スリーブは、人手によって、
汚物が除去されるようにきれいにされなけばならない。UVランプのフレームが
オープンチャネル状システム(open,channel like system)で使用されるか、
またはクローズドシステム(closed system)で使用されるかにかかわらず、ス
リーブの清掃は実用的でない。
オープンチャネル状システムにおいては、スリーブを具備するモジュールは、
通常チャネルから除去され、適当な洗浄流体(cleaning fluid)の入っている別
タンクに浸漬される。クローズドシステムにおいては、該装置は、停止され、そ
の後スリーブは適当な洗浄液で満たすことによりきれいにされるか、またはオー
プンチャネル状システムで説明した方法でランプを取り外してきれいにされる。
何れのタイプのシステムにおいても、適当な制御システムを備える十分に余分な
システムを適所に配置し、きれいにされるシステムからの流体の流れをそらすた
めに、操作員はシステムのかなりの休止時間を容認し、および(または)十分な
付加的資本を投資しなければならない。
’370特許に記述されたシステムは、当該技術においては、かなり改善した
もので,’809特許、’980特許および’244特許の装置およびシステム
から派生する多数の不利な点を取り除いている。残念なことに、’370特許に
記述されたシステムは、オープンチャネル状システムでの使用には理想的には適
しているが、流体の流れがパイプ内での圧力下で供給される完全なクローズドシ
ステムでの使用に対して容易に適用できない。
パイプまたは同様の包囲物中の圧力下で供給される流体の流れを処理するのに
、容易に適応できる流体処理装置が望まれている。この種の装置が比較的容易に
清掃され、または使用中清潔に維持されれることがさらに望ましい。
発明の開示
本発明の一つの目的は、従来技術の不利な点の少なくとも一つを取り除き、ま
たは、軽減する新規な流体処理装置を提供することである。
本発明の他の目的は、従来技術の不利な点の少なくとも一つを取り除き、また
は、軽減する流体を処理する新規な方法を提供することである。
従って、その態様の一において、本発明は、流体の流れを受け入れるハウジン
グを備えており、該ハウジングは、流体入口と、流体出口と、この流体入口と流
体出口との間に配置された流体処理ゾーン(fluid treatment zone)と、流体処
理ゾーンに配置されている少なくとも一つの放射源モジュール(radiation sour
ce module)を有しており、該少なくとも一つの放射源モジュールは、脚部にシ
ール可能に連結された放射源(radiation source)を具備しており、該脚部はハ
ウジングにシール可能に連結され、放射源は流体の流れと実質上平行に配置され
ていることを特徴とする流体処理装置を提供する。
他のその態様において、本発明は、流体入口と、流体出口と、この流体入口と
流体出口との間に配置された流体処理ゾーンと、この流体処理ゾーンがその中に
少なくとも一つの放射源とを備えるハウジング内で流体を処理する方法であって
、
(i)流体入口に流体の流れを提供する工程と;
(ii)流体入口から流体処理ゾーンに、少なくとも一つの放射源と実質上平行
な方法で流体の流れを供給する工程と;
(iii)流体処理ゾーン内の流体の流れに照射する工程と;
(iV) 流体の流れを流体出口に供給する工程と;
を有しており、
ここで、流体入口と、流体出口と、流体処理ゾーンを通る流体の流れが実質上
(substantially)同一直線上(collinear)にあることを包含する方法を提供す
る。
従って、本流体処理装置および方法は、流体の処理のクローズトシステムに関
する。本明細書の全体に亙って使用される、流体の処理に関する用語「クローズ
ドシステム」は、流体の流れが、加圧され、且つ処理中、囲み内に実質上完全に
収容されるシステムを包含することを意図している。従って、オープンチャネル
状システムは、この種のシステムの操作においては、チャネルおよび(または)
処理ゾーン内の水のレベルが変化するので、本発明の範囲外にある。流体の流れ
への加圧源は特に限定しない。例えば、圧力はポンプにより、または重力の作用
によって発生させることができる。
理想的には、本流体処理装置および方法は、従来の配水管において「イン−ラ
イン(in-line)」で使用できる。特定の適用によると、配管は家庭用では直径
4インチまで、公共用としては、1フィート乃至3フィートの直径が使用される
。
図面の簡単な説明
本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
図1は、流体を処理するための従来のクローズド・システムを一部破断して示
す側面図である。
図2は、本発明に基づく流体処理装置の第1実施例の端面図である。
図3は、図2の線3.−3.から見た断面図である。
図4は、本発明に基づく流体処理装置の第2実施例の端面図である。
図5は、図2の線5.−5.から見た断面図である。
図6は、本発明に基づく流体処理装置の第3実施例の端面図である。
図7は、図6の線7.−7.から見た断面図である。
図8は、図3のCで示した域の拡大図である。
図9は、図8の線9.−9.から見た断面図である。
図10は、図2−図9で示した装置に使用した放射源モジュールを一部破断し
て示す側面図である。
図において、一つの図から他の図まで同様の参照番号は同様の部材を表すこと
と意図している。
本発明を実施するための最良の態様
明確にするために、本発明を説明する前に、従来技術のクローズドシステムの
流体処理装置を簡単に説明する。
図1は従来利用できたこの種の装置を示す。従って、図1を参照して、ハウジ
ング12を有する流体処理装置10を示している。ハウジング12は、入口フラ
ンジ16を有する流体入口14と、出口フランジ20を有する流体出口18とを
具備している。ハウジング12内には、複数の紫外線(UV)ランプ22が収容
されており、各ランプは石英のスリーブ24によって取り囲まれている。ハウジ
ング12は、第1プレート28に結合された第1フランジ26を含んでいる。第
1フランジ26と第1プレート28間の結合は、多数のボルト/ナット結合体(
bolt/nut combination)30、32およびハーメチックシール(hermetic seal
)を達成するシール(図示されていない)によって行われている。第1プレート
28は、各UVランプ22から線34の出現を許容するように適応されている。
ブーツ(boot)36が、第1プレート28に結合され、各線34の出現を許容し
ている。各線34は、従来の方法で電源(図示されていない)と制御システム(
図示されていない)に接続されている。ハウジング12は、第2プレート40に
連結された第2フランジ38をさらに具備している。第2フランジ38と第2プ
レート40間の結合は、多数のボルト/ナット結合体42、44、およびハーメ
チックシールを達成するシール(図示されていない)によって行われている。第
1フランジ26と第1プレート28の間のシール、および第2フランジ38と第
2プレート40間のシールを、それぞれ達成する正確な方法(図示されていない
)は、当業者の認識範囲内にある。
使用に際して、入口フランジ16は適当な供給管(図示されていない)に結合
され、また出口フランジ20は適当な帰還管(図示されていない)に結合されて
いる。矢印Aで表されるように、処理されるべき流体が流体入口14を介してハ
ウジング12に入る。流体はUVランプ22からの放射に曝され、矢印Bで表さ
れるように流体出口18を介してハウジング12を出る。
流体処理装置10の設計は、(i)ハウジング12の流体入口14と、流体出
口20の断面積がハウジング12の断面積よりかなり小さくなっていること、お
よび(ii)流体の流れが比較的曲がりくねった通路を流れるという事実により
、かなりの水力損失水頭(hydraulic head lose)を受けるようになっている。
これがハウジング12内にデッドゾーン(dead zones)46、48の発生を引き
起こすことになり、この流体の流れは、無視してよい非能率的な結果になること
、および、ある場合において無視してよい流体の不均一な処理となることである
。
従って、前述の従来技術によるシステムが成功している間に、本発明者らは、
これらの幾つかの不利な点を克服するように、流体処理装置およびシステムを改
良に関連してきた。そこで、本発明を残りの図面を参照して説明する。
図2および図3を参照して、流体入口205、流体出口210、およびハウジ
ング220内に形成された流体処理ゾーン215とを具備する流体処理システム
200を示す。ハウジング220内に二つの放射源モジュール225が配置され
ている。各放射源モジュール225は、取付プレート230によってハウジング
220に取付けられており、これについては後ほど詳細に説明する。さらに、ハ
ウジング220には2個の放射センサー235が配置されている。各放射源モジ
ュール225から電線240が出ている。電線240は各々接続ボックス245
に入り、ここから主な電線管(electrical conduit)250が出ている。流体入
口205は、入口フランジ255を含んでおり、また、流体出口210は出口フ
ランジ260を含んでいる。各放射センサーから電線265が出ている。各電線
265が接続ボックス250に入り、ここから主な電線管(図示されていない)
が出ている。
理想的には、流体処理システム200は、既存の流体(例えば水)管に、イン
ラインで使用されるべく組み立てられている。従って、所定の設備(given in-s
tallation)のために、流体処理ゾーン215は、既存の配管と実質上同じ断面
形状および寸法を有するように設計されるのが望ましい。入口フランジ255と
出口フランジ260は、既存の配管内で合わせあうフランジ同士間で流体処理シ
ステム200の設置を容易にするように使用することができる。このシステムが
設置されると、当業者には、流体処理ゾーン215を通る流体は放射源モジュー
ル225に配置されたランプに対して平行であることが分かる。これが流体の流
れ内の損失水頭の発生を最少にし、且つ、デッドゾーンをなくして流体のより効
率的な処理を得る。
図4および図5を参照して、流体入口305、流体出口310、およびハウジ
ング320内に形成された流体処理ゾーン315とを具備する流体処理システム
300を示す。ハウジング320内に6個の放射源モジュール325が配置され
ている。各放射源モジュール325は、取付プレート330によってハウジング
320に取付けられている。これについては後ほど詳細に説明する。さらに、ハ
ウジング320には2個の放射センサー335が配置されている。各放射源モジ
ュール325から電線340が出でいる。電線340は各々接続ボックス345
に入り、ここから主な電線管350が出ている。流体入口305は、入口フラン
ジ350を含み、また、流体出口310は出口フランジ360を含んでいる。各
放射センサーから電線365が出ている。各電線365が接続ボックス370か
ら出ており、ここから主な電線管(図示されていない)が出ている。
図6および図7を参照して、流体入口405、流体出口410、およびハウジ
ング420内に形成された流体処理ゾーン415とを具備する流体処理システム
400を示す。ハウジング420内に2個の放射源モジュール425が配置され
ている。各放射源モジュール425は、取付プレート430によってハウジング
420に取付けられている。これについては後ほど詳細に説明する。さらに、ハ
ウジング420には二つの放射センサー435が配置されている。各放射源モジ
ュール425から電線440が出ている。電線440は各々接続ボックス445
に入り、ここから主な電線管450が出ている。流体入口405は、入口フラン
ジ455を含み、また、流体出口410は出口フランジ460を含んでいる。各
放射センサーから電線465が出ている。各電線465が接続ボックス470か
ら出ており、ここから主な電線管(図示されていない)が出ている。
流体処理システム300(図4および図5)と400(図6および図7)の構
造と使用は、流体処理システム200(図2および図3)に関して上述したと同
じ方法で行うことができる。
図8および図9を参照して、取付プレート230は、次の方法でハウジング2
20に固定される。最初に、ハウジング220は、各放射源モジュール225を
受け入れる適当な形状の開き口(aperture)を具備している。開き口の形状は、
取付プレート230の形状と同様であるのが好ましく、開き口の大きさは取付け
プレート230の大きさより小さい。開き口より大きく、且つ、これと同じ形状
を有するフランジリング(flange ring)275が、ハウジング220に固定さ
れ、ノッチを規定し、ここに弾性O−リング280が配置されている。フランジ
リング275は複数の直立ボルト(urstanding bolts)(図示されていない)を
有している。取付プレート230は、フランジリング275上にボルトを受入れ
る複数の相補開き口(complementary apertures)を有している。この取付プレ
ート230は、またバックアッププレート(backup plate)290を含んでおり
、フランジリング275と一緒にO−リング280用の窪み(cavity)を形成し
ている。トルクボルト285は、フランジリング275上の各直立ボルトに螺合
している。
従って、図2、3、8および9を参照して、放射源モジュールは次の方法で設
置される(図7も参照)。放射源モジュールの端部で、末端の取付プレート23
0がハウジング220の開き口に当てられる(inserted)。取付プレート230
は、その中の開き口に、フランジリング275上の直立ボルトを受け入れること
を保証することによって位置付けされる。トルクナット285が十分な力で締付
けられO−リング275を圧縮し、これによって流体処理ゾーン215とハウジ
ング220の外部間に気密シール(hermetic seal)が提供される。
図10を参照して、放射源モジュール225を詳細に示す。当業者にとって明
白であろうが、この放射源モジュール225は、放射源モジュール325(図4
および5)および425(図6および7)と同様である。この種のモジュールの
詳細は、本発明者の名前で同日出願されている米国特許願第08/325,94
9号があり、ここにおいてはこれを参照するものとする。従って、放射源モジュ
ールは、支持部材115、支持部材115から延長している放射源集合体120
および放射源モジュール225をハウジング220に固定する取付プレート23
0を具備している。取付プレート230は複数の開き口を有しており、ここにフ
ランジリング275からの直立ボルトが受承されている(図2、3、8および9
)。
放射源集合体120には、支持部材115に溶接されるか、または、これと一
体作られた同心レデューサ(concentric reducer)130が含まれている。同心
レデューサ130にリング135が固定され、これに取付スリーブ140が固定
されている。同心レデューサ130の末端の取付スリーブ140の端部は、ねじ
部145を有している。取付スリーブ140内には、キャップナット160と螺
合された、ねじ部145を有する内側スリーブ150が配置されている。内側ス
リーブ150は、一対の弾性O−リング165、170を受承する適当なノッチ
を具備している。同心スリーブ130の末端の内側スリーブ150の端部は、テ
ーパ付き弾性シールリング175に接している。ねじ付取付ナット180は、取
付スリーブ140のねじ部155と螺合し、テーパ付きシールリング175に接
している。ねじ付取付ナット180には、トルクレセプタクル185が設けられ
ていて、ここに取付スリーブ140とシール係合する取付ナット180にトルク
を与えるのに有用な適当な工具が受承される。
内側スリーブ150には、それぞれ互いに接着された複数の環状圧電セラミッ
クトランスデューサ(図示されていない)からなる積層構造の環状圧電セラミッ
クトランスデューサ190が配置されている。トランスデューサ90の一端は、
内側スリーブ150に接し、トランスデューサ190の他端は石英スリーブ19
5の開口端に直接的に、または間接的に接している。図示したように、石英スリ
ーブ195の対向端は閉止されている。石英スリーブ195内に放射源196が
配置されている。理想的には、この放射源は紫外線ランプである。紫外線ランプ
は特に限定するのもではなく、当業者にとって明白な範囲から選択される。一対
のスペーサー197が石英スリーブ195内に配置され、この石英スリーブ19
5内に放射源196を中心付けし正しい位置に保持している。放射源196の電
気接続と制御は、従来通りで当業者にとって明白な範囲のものである。
1994年10月17日に提出された同時係属出願の米国特許願第08/32
3,808号に開示されているように、放射源モジュール225は、流体の流れ
が照射されている間、トランスデューサ190の間欠または連続操作によるセル
フクリーニングがなされている。より詳しく説明すると、トランスデューサ19
0の動作は石英スリーブ195の長軸と実質上平行な方向に石英スリーブ195
を往復振動させることになる。このような振動は、圧電トランスデューサ、好ま
しくは圧電セラミックトランスデューサを使用することによって行なうことがで
きる。圧電セラミックトランスデューサは、従来kソナーの用途(soner appli-c
ation)に使用されている。本放射源モジュールに有効な適当な圧電セラミック
トランスデューサは、EDOコーポレーション(ユタ州、ソルトレークシティ)
製のものが市場入手でき、本質的に米国海軍タイプ1(I)または米国海軍タイ
プ3(III)の仕様に一致したセラミック要素で構成される。当業者にとって
明白であるように、米国海軍タイプ1の仕様に合致したセラミックは、約310
℃より高いキューリ点を有する硬質ジルコン酸チタン酸鉛(hard lead zirconat
e titanate)であり、また、米国海軍タイプ3の仕様に合致したセラミックは、
約290℃より高いキューリ点を有する超硬質ジルコン酸チタン酸鉛である。こ
れらのセラミック仕様の詳細な仕様は、1984年2月28日付け軍事防衛局規
格DOS−STD1376A(SH)の刊行物に見られ、その内容をここでは参
照するのもとする。概して、圧電トランスデューサ、より好ましくは環状圧電ト
ランスデューサは約1kHzから約100kHz、好ましくは約10kHzから
約20kHz、より好ましくは約10kHzから約15kHzの範囲の周波数で
動作可能なものである。
もちろん当業者にとって明白であろうが、放射源モジュールの図示実施例は本
発明の精神から外れることなく特定する流体処理システムに一致するように変え
ることができる。例えば、シールリング(すなわち、O−リング、テーパ付リン
グ等)の数量、形式および構成はハーメチックシールを維持しつつ変えることが
できる。さらに、放射源モジュールを清浄する既存の手段を使用することは任意
である。放射源モジュールを清浄に既存の装置を使用する場合は、前述した振動
清浄装置以外の装置でもよい。本発明の典型的な実施例をここでは説明したが、
本発明はこれらの典型的な実施例に限定するものではなく、また、変形例および
選択例も添付の請求の範囲によって規定した発明の意図した精神と概念から外れ
ることなく当業技術に習熟した人々にとって明白な例も考慮できる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE,
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,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE,SN,
TD,TG),AP(KE,MW,SD,SZ,UG),
AL,AM,AT,AU,BB,BG,BR,BY,C
H,CN,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB
,GE,HU,IS,JP,KE,KG,KP,KR,
KZ,LK,LR,LT,LU,LV,MD,MG,M
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UA,US,UZ,VN
【要約の続き】
に存在する微生物を不活性にするのに適している。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 請求項1. 流体入口、流体出口、およびこの流体入口と流体出口との間に配 置された流体処理ゾーンを備えて、流体の流れを受け入れるハウジングと、流体 処理ゾーンに配置され、脚部にシール可能に連結された放射源を備えている少な くとも一つの放射源モジュールとを具備しており、前記脚部がハウジングにシー ル可能に連結され、前記放射源が流体の流れに対し実質上平行に配置されている ことを特徴とする流体処理装置。 請求項2. 流体入口、流体出口および流体処理ゾーンは、実質上同一の断面 を有していることを特徴とする請求項1に記載の流体処理装置。 請求項3. 流体入口、流体出口および流体処理ゾーンは、実質上同一直線上 に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の流体処理装置。 請求項4. ハウジングが実質上細長いシリンダであることを特徴とする請求 項1に記載の流体処理装置。 請求項5. ハウジングが実質上円形断面を有することを特徴とする請求項1 に記載の流体処理装置。 請求項6. 少なくとも一つの放射源モジュールが、少なくとも一つの紫外線 ランプを具備していることを特徴とする請求項1に記載の流体処理装置。 請求項7. 少なくとも一つの放射源モジュールが、少なくとも一つの紫外線 ランプの外面の回りに配置されたスリーブをさらに具備していることを特徴とす る請求項6に記載の流体処理装置。 請求項8. 少なくとも一つの放射源の外面から望ましくない物質を除去する 清掃手段を具備していることを特徴とする請求項1に記載の流体処理装置。 請求項9. 放射源から放射される放射レベル(level of radiation)をモニ ターする手段をさらに具備していることを特徴とする請求項1に記載の流体処理 装置。 請求項10. 脚部が電気接続手段を放射源に支持する管(conduit)を具備 していることを特徴とする請求項1に記載の流体処理装置。 請求項11. 放射源の末端にある脚部の端部がハウジングとシール状態に接 続する取付プレートを具備している請求項1に記載の流体処理装置。 請求項12. 複数の放射源モジュールが、ハウジングに対し周囲に取付けら れ、放射源リング(radia-tion souce ring)を規定することを特徴とする請求 項1に記載の流体処理装置。 請求項13. 放射源モジュールが実質上互いに等間隔に配置されていること を特徴とする請求項12に記載の流体処理装置。 請求項14. 2個またはそれ以上の放射源リングを具備することを特徴とす る請求項12に記載の流体処理装置。 請求項15. 流体入口と流体出口とこの流体入口と流体出口との間に配置さ れた流体処理ゾーンとを具備しており、この流体処理ゾーンは、その中に配置さ れている少なくとも一つの放射源を有するハウジング内で流体を処理する方法に おいて、 (i) 流体入口に流体の流れを提供する工程; (ii) 該流体入口から該流体処理ゾーンに、少なくとも一つの放射源と実 質上平行な方法で、該流体の流れを供給する工程; (iii)流体処理ゾーン内で流体の流れに照射する工程;および (iV) 流体の流れを流体出口に供給する工程; を具備しており、流体入口、流体出口および流体処理ゾーンを通る流体の流れが 、実質上同一直線上にあることを特徴とするハウジング内で流体を処理する方法 。 請求項16. 実質上同一断面を有する流体入口、流体出口および流体処理 ゾーンを選択する工程をさらに具備することを特徴とする請求項15に記載の方 法。 請求項17. ハウジングが実質上細長いシリンダであることを特徴とす る請求項15に記載の方法。 請求項18. ハウジングが実質上円形断面を有することを特徴とする請求項 15に記載の方法。 請求項19. 少なくとも一つの放射源モジュールが、少なくとも一つの紫外 線ランプを具備することを特徴とする請求項15に記載の方法。 請求項20. 少なくとも一つの放射源モジュールが、少なくとも一つの紫外 線ランプの外面部の周りにスリーブを具備することを特徴とする請求項19に記 載の方法。 請求項21. 少なくとも一つの放射源集合体の外面から望ましくない物質を 除去する工程をさらに具備することを特徴とする請求項22に記載の方法。 請求項22. 放射源から放射される放射レベルをモニターする工程をさらに 具備することを特徴とする請求項15に記載の方法。 請求項23. スリーブと接触する振動発生手段をさらに具備し、この振動発 生手段がスリーブに往復振動を与えてスリーブから望ましくない物質を除去する ことを特徴とする請求項7に記載の流体処理装置。 請求項24. 振動発生手段が、圧電トランスデューサであることを特徴とす る請求項23に記載の流体処理装置。 請求項25. 圧電トランスデューサが約1kHzから約100kHzの動作 周波数を有していることを特徴とする請求項24に記載の流体処理装置。 請求項26. 圧電トランスデューサが約10kHzから約20kHzの動作 周波数を有していることを特徴とする請求項24に記載の流体処理装置。 請求項27. 往復振動が約1kHzから約100kHzの周波数で行われる ことを特徴とする請求項15に記載の流体処理装置。 請求項28. 往復振動が約10kHzから約20kHzの周波数で行われる ことを特徴とする請求項15載の流体処理装置。 請求項29. 流体が水であることを特徴とする請求項15に記載の方法。
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