JPH10510064A - 輪郭を有する色フィルタ用の平面化層を形成する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 液晶表示パネルのカラーフィルタ用の輪郭を有する平面化層または保護層を製造する方法および装置。転写層が輪郭を有する表面を有するコレクタ装置上に形成されている。複数の着色インクパターンが転写層上に形成され、それによって、カラーフィルタとなる多色像を形成している。次いで、この多色像が、転写層が実際に頂面保護層または平面化層となるように支持体に転写される。コレクタ装置上の輪郭を有する表面が平面化層に付与されている。

Description

【発明の詳細な説明】 輪郭を有する色フィルタ用の平面化層を形成する方法および装置 関連出願 この出願は、「輪郭を有する色フィルタ用の平面化層を形成する方法および装 置」と題する1994年12月2日に出願された米国特許出願第08/348,597号の一部継 続出願である。 発明の属する技術分野 本発明は、液晶表示パネル用の色フィルタ、およびその製造方法に関するもの である。 発明の背景 液晶表示パネル（ＬＣＤＳ）、特にカラーＬＣＤパネルが、フラットスクリー ンテレビ、プロジェクションテレビシステムおよびカムコーダービューファイン ダーに用いられており、将来には多くの用途が予測されている。 アクティブマトリクス液晶表示装置の製造では、前面および背面のガラスパネ ルを製造している。前面ガラスパネルの製造では、ガラスのような適切な支持体 上にカラーフィルタ要素を付着させている。カラーフィルタの付着では典型的に 、黒マトリクスパターンおよびこの黒マトリクスにより輪郭の描かれた空間内に 三原色（典型的に、赤、緑および青または黄、マゼンタおよびシアン）のカラー ドットまたはカラーセルのパターンを付着させている。黒マトリクスを形成する 線は典型的に、幅が約15−25ミクロンであり、厚さが約0.5−２ミクロンである 。赤、緑、および青のカラーセルは典型的に、幅が約70−100ミクロンであり、 長さが約200−300ミクロンである。プリントされたカラーセルは典型的に、厚さ が約10ミクロン未満であり、好ましくは約５ミクロン未満であり、黒マトリクス により形成されたパターン内に均一に施され、正確に位置合せされなければなら ない。前面のガラス支持体は典型的に、カラーフィルタ要素の上に平面化層、透 明導電層、およびポリアミドアライメント層を付着させることにより完成される 。透明導電層は典型的にインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）であるが、他の材料を 用いても差 し支えない。 背面ガラスパネルの製造では、薄膜トランジスタまたはダイオード、並びに金 属相互接続線を形成している。各々のトランジスタは、表示パネルの個々のカラ ーピクセルのオンオフスイッチとして機能する。第３と最後の工程は、２つのパ ネルの間に液晶材料を注入して液晶表示パネルを形成することを伴う、２つのパ ネルの組立である。 カラーフィルタを形成する際の重要な工程の１つは、カラーフィルタの赤、緑 および青のカラードット（カラーセルとも称する）を形成することである。この ようなカラーセルは好ましくは、できるだけ厚さが均一で平滑であるように付着 しなければならない。カラーフィルタパターンをプリントするのに用いられてい た以前のインクプリント法では、平滑性が不十分なカラーパターンが形成されて いた。これは主に、従来技術のインク付着法では、断面が丸形または三角形のイ ンクセルが形成されていたからである。その結果、カラーパターンの上に平面化 層が通常設けられ、その後、それらは支持体上にプリントされ、付着工程による コーティングの平滑性または厚さの均一性が不完全になるのを緩和している。透 明平面化層はまた、イオンのＩＴＯ層およびカラーパターン層への移行、および それらの層からの移行を防ぐように機能している。平面化層は、できるだけ平滑 で平らに付着させる。 以前、コーニング社により、そのような保護平面化層を設ける新しい方法が提 案された。この新しい方法は、「カラーフィルタおよびそのプリント方法」と題 する1994年2月16日に出願された、米国特許出願第08/197,141号の特許出願の主 題であった。この明細書をここに引用する。この特許出願において、コレクタ16 上に転写層14が設けられている。その後、インクカラーセルが、インクプリント 法を用いて、透明転写層上に付着される。次いで、インクカラーセルは、図３に 示したものと同様の工程で、ガラス支持体上に付着され、転写層とガラス支持体 との間に挟まれる。 平面化層を付着させた後に、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）のような導電層 が典型的に平面化層上に付着される。平面化層の外側にある頂面または上側縁が 鋭いまたは四角（90度）の縁を有する場合には、平面化層の上に付着された導電 （ＩＴＯ）層が破断したり不連続となってしまうことがある。その結果、鋭い縁 を有さず、したがって、ＩＴＯ層が破断することにならない平面化層を製造でき るカラーフィルタを製造する方法および装置を提供することが望まれている。さ らに、従来技術の方法よりも単純で効率的な方法を用いてそのようなカラーフィ ルタを製造することが望ましい。 カラーフィルタ上にテーパー状または丸みの付いた縁を設ける可能性に加えて 、カラーフィルタ上に付着される平面化層または他の頂面保護層上に他の輪郭形 状を形成できることも望ましい。例えば、頂面保護層の表面にマイクログルーブ パターンを付与できることが望ましい。このようなマイクログルーブパターンを 用いて、別々のアライメント層を必要とせずに液晶を配向させても差し支えない 。このようなマイクログルーブパターンは、例えば、イトー等による「Regulari ty and Narrowness of the Intervals of the Microgrooves on the Rubbed Pol ymer Surface for LC Alignment」、ＳＩＤ1992ダイジェスト、393−396頁(1992 )に論じられている。 発明の概要 本発明は、支持体に付着させる前に、輪郭を有するコレクタ装置上に平面化層 を形成することにより、液晶表示装置用途のカラーフィルタ上に輪郭を有する平 面化層を形成する方法に関するものである。例えば、コレクタロールまたはコレ クタプレートのような輪郭を有するコレクタ装置上に転写層が設けられている。 次いで、カラーフィルタを構成する個々の赤、緑、および青のカラーセルを転写 層上に付着させて、カラーフィルタパターンを形成する。好ましくは、着色イン クセルの前に、黒マトリクスパターンを転写層上に形成させる。転写層上に色パ ターンを形成した後に、転写層およびカラーフィルタパターンの全複合体を、カ ラーフィルタパターンがガラス支持体と接触するように、コレクタ装置から支持 体に転写させる。このように、転写層は、カラーフィルタパターンの頂面で終わ り、それによって、カラーフィルタの平面化層および／または保護層として機能 する。 本発明に用いられるコレクタ装置は、形の付いたまたは輪郭を有する表面を有 しているので、この輪郭を有する形状が平面化層に与えられる。このように、所 望であれば、適切に形付けられたコレクタ表面を用いることにより、転写層の外 側の縁に沿って傾斜または隆起形状を設けても差し支えない。このような場合に おいて、転写層をガラス支持体上に付着させるときに（好ましくは、カラーフィ ルタを構成するカラーセルとともに）、転写層は、ガラス支持体の外側の縁に向 かって下方に傾斜する傾斜または隆起外側縁を有する平面化層および／または保 護層として機能する。ガラス支持体の下方までテーパー状領域を容易に形成する ために、転写層の形成中に、好ましくは、輪郭を有するコレクタロールと、カラ ーフィルタパターンの深さとほぼ等しい外周のレリーフ領域を有する別のロール との間に転写層を挟み込む。このロールのレリーフ領域は、転写層のテーパー状 縁領域の直接反対側にある転写層の隆起領域を形成する。次いで、転写層のこの 隆起領域内の転写層にカラーフィルタパターンが付着される。このようにして、 テーパー状縁領域がカラーフィルタ領域を囲い、カラーフィルタパターンが転写 層内に埋め込まれたように思われる。 本発明のこのような実施の形態において、カラーフィルタの各々のピクセルを 構成するカラーセルを受容する前に、凹部中央部分および外側縁傾斜部分を有す る輪郭を有するコレクタロール上に転写層が付着される。次いで、所望の黒マト リクスパターンに対応する凹部パターンを有する黒マトリクスパターン形成ロー ルに転写層を接触させる。好ましくは、この凹部パターンは黒マトリクスパター ンを含み、黒マトリクスインクが転写層に付着される前またはその最中に硬化さ れ、または少なくとも部分的に硬化され、凹版パターンの形状を維持するのを補 助する。この硬化した黒マトリクスパターンを転写することにより、隆起した黒 マトリクスパターンが転写層上に形成される。好ましくは、隆起黒マトリクスパ ターンは、転写層の残余部分の上で約１−10ミクロン厚、より好ましくは、約２ −６ミクロン厚、最も好ましくは、約３−４ミクロン厚である。 凹版およびグラビアプリントプレート内のインクは負のメニスカスを有し、凹 部パターン内のインクの表面はプリントプレート表面より下に湾曲している。そ の結果、転写層は、黒マトリクスインクと接触するときには好ましくは液体であ り、そのために、黒マトリクスインクに付着することができる。黒マトリクスイ ンクに接触する液体転写層の部分は好ましくは、黒マトリクスインクと接触して いる間に硬化され、それによって、凹版プリントパターンの凹部からインクが除 去される。形成されたカラーフィルタの外側の縁（すなわち、テーパー状の縁） に対応する転写層の領域は、この工程中には硬化されないように好ましくはマス クされているが、むしろ、その後の転写工程中に支持体に付着するように液体ま たは粘着性のままである。 あるいは、黒マトリクスインクを用いずに、黒マトリクスパターン形成ロール を用い、凹部パターンを用いて黒マトリクスインクパターンにしたがって転写層 のカラーフィルタ側を変形させ、それによって、所望の黒マトリクスパターンに 対応する隆起パターンを形成してもよい。このような実施の形態は、平面化層の 両側が、平面化層がカラーフィルタパターン支持体上に付着される前に形成また は形作られるといった点で独特である。パターンロールのパターン形成表面と接 触する転写層の部分は、接触工程中に好ましくは硬化され、それによって、転写 層はロールにより与えられたパターンを永久的に維持する。次いで、転写層上に 形成された隆起パターンの凹部内に、赤、緑、および青のカラードットが付着さ れる。所望であれば、隆起パターンの頂面または黒マトリクスインクパターンを 液晶表示装置内の別の位置に付着させても差し支えない。例えば、黒マトリクス パターンを薄膜トランジスタの頂面のＴＦＴ支持体上に付着させても差し支えな い。 インクプリント法を用いて、隆起パターン（好ましくは、隆起黒マトリクスパ ターン）により形成された凹部内に、赤、緑および青のカラーセルを付着させる 。次いで、カラーセルを構成するインクがまだ変形可能である間に、転写層、カ ラーインクセル、および必要に応じて黒マトリクスパターンからなる、形成され た複合体をガラス支持体に転写させる。柔らかい変形可能なカラーインクセルが 、この付着工程の最中に、転写層とガラスとの間に圧縮される。カラーセルイン クは、支持体への付着中に、可塑的に変形可能であるので、従来技術の方法を用 いて可能であったよりも、滑らかでより均一な厚さと、滑らかでより平らな頂面 に圧縮される。転写層は、カラーインクを変形させるのに役立ち、また、平面化 層または保護層としても機能し、それによって、より均一なインクセルの形状を 維持するのに役立つ。この点に関して、本発明は、カラーフィルタアレイが最初 に 支持体上に付着され、続いて、平面化層が付着され、それに続く加工工程におい て平滑工程が行われる従来技術とは対照的である。着色インクセルおよび転写層 の残余部分（例えば、カラーフィルタの外側の縁に対応する領域）は好ましくは 、転写中、またはその直後に十分に硬化され、インクと転写層との複合体を支持 体に付着させ、これと同時に、カラーインクドットの平らな形状を永久的に維持 する。このことは、例えば、放射線硬化性インクを使用し、圧縮転写と同時にイ ンクを硬化させることにより実施しても差し支えない。ガラス支持体への接着は 、ピクセルインクおよび支持体と接触する転写層の部分（一般的に、カラーピク セルインク領域の外側）により行われる。これら両者は、好ましくは、最終転写 中に圧縮されている間に紫外線への露出により硬化される。テーパー状の縁を有 する転写層または平面化層に関して、ピクセルインクがプリントされているとこ ろを越えた転写層の縁領域が支持体に付着するほど十分な粘着性を維持するので あれば、この領域により接着が行われる。 転写層は、例えば、ポリイミド、エポキシド、アクリル、ビニルエステル、ポ リウレタン、ポリエステル、アクリレートまたはメタクリレートアクリル、エス テル、ウレタン、および従来のカラーフィルタ装置において平面化層として有用 な他の材料からなる群より選択される材料を用いて形成してもよい。転写層に好 ましい材料は、放射線硬化性エポキシアクリレートのような、放射線硬化性アク リレート材料である。転写層は10ミクロン未満の薄膜としてコレクタ装置上に付 着される。好ましくは、転写層は、放射線硬化性材料から形成されて、硬化を促 進させる。そのような場合には、転写層の大部分は、黒マトリクスおよびカラー フィルタパターンを構成するインクパターンを受容する間に硬化される。テーパ ー状の縁を有する転写層に関して、テーパー縁領域は好ましくは、インクパター ンを受容している間に硬化放射線より保護され、それによって、支持体に付着さ れるまで液体の状態に維持される。次いで、これらの縁領域は、支持体への付着 中に、カラーインクドットパターンと共に硬化される。 本発明には従来技術の方法より優れたいくつかの利点がある。転写層の縁をテ ーパー状にすることにより、導電フイルム（典型的に、ＩＴＯ）が破壊されるの を防ぐ。平面化層はカラーフィルタの付着工程中にカラーフィルタに施されるの で、平面化層の外側の縁を施すまたはテーパー状にするために、続いての形成工 程を必要としない。 滑らかなコレクタ表面を用いることにより、転写層は滑らかな頂面平面化層と して終わる。しかしながら、ある場合には、転写層が平らまたは滑らか以外であ ることが望ましいかもしれない。これらの場合には、最初に所望の形状とは逆の ものをコレクタ表面に形成することにより、所望の形状を与えても差し支えない 。例えば、コレクタロールをその上にマイクログルーブを有するように適切に形 作ることにより、転写層を支持体上に付着させたときに、マイクログルーブパタ ーンが転写層の頂面に与えられる。このような「マイクログルーブ」の構造表面 を用いて、別のアライメント層を必要とせずに液晶物質を配向させても差し支え ない。本発明の以前には、典型的に、研磨または摩耗技術を用いてカラーフィル タの頂面層にマイクログルーブパターンを形成していた。 マイクログルーブパターンは、例えば、複数の平行な隆起または溝がコレクタ ロールの表面に設けられていることを意味する。これらの平行なマイクログルー ブは、例えば、コレクタロール表面の長さ１ミクロンあたり約10の隆起または溝 であり、これら隆起は、約数十ミクロンから約700ミクロンまでの高さであって 差し支えない。もちろん、所望であれば、マイクログルーブは、これらの寸法よ りも、小さくても大きくても、または多少分散していても差し支えない。 図面の簡単な説明 第１図は、本発明による方法および装置を示すものである。 第２図は、本発明による別の方法および装置を示すものである。 第３図は、黒マトリクスパターンおよびカラーインクドットパターンと共に、 転写層をガラス支持体に付着させることを示すものである。 第４図は、本発明の好ましい実施の形態を示すものである。 第５Ａ図は、その上に転写層を有し、第１図に示した工程により黒マトリクス パターンを受容する、本発明によるコレクタ装置の軸断面図である。 第５Ｂ図は、第３図に示した本発明により、転写層、黒マトリクスパターン、 およびカラーフィルタアレイの複合体をコレクタロールから支持体に付着させて いる様子を示す軸断面図である。 第５Ｃ図は、第５Ａ図および第５Ｂ図に示した工程を用いて形成されたカラー フィルタの断面図である。 第６Ａ図は、本発明による別のコレクタロールの断面図である。 第６Ｂ図は、第６Ａ図に示したコレクタロールを用いて形成されたカラーフィ ルタおよび平面化層の断面図を示している。 第７Ａ図は、本発明による別のコレクタロールの断面図である。 第７Ｂ図は、第７Ａ図に示したコレクタロールを用いて形成されたカラーフィ ルタおよび平面化層の断面図を示している。 第８Ａ図は、マイクログルーブパターンをその上に有するコレクタ表面の拡大 部分上面図である。 第８Ｂ図は、第８Ａ図に示したコレクタ表面により付着された結果としてのマ イクログルーブ表面を有するカラーフィルタの斜視図である。 第８Ｃ図は、その上に好ましいマイクログルーブを有するコレクタ表面の拡大 部分上面図である。 発明の詳細な説明 本発明において、コレクタロールまたはコレクタプレートのようなコレクタ装 置上に転写層が付着される。本発明によるコレクタ装置は、転写層がコレクタ装 置から支持体上に転写されるときに、転写層の上側表面がコレクタ装置の輪郭を 有する表面にしたがって形作られるように、輪郭を有する表面を備えている。し たがって、例えば、本発明の方法を用いて、外側の縁がテーパー状となった平面 化層を製造しても差し支えない。 次いで、赤、緑および青のからードットパターンを転写層に付着させ、転写層 およびカラーセルからなる形成された複合体をガラス支持体に一段階で転写させ る。カラードットパターンを受容する前に、黒マトリクスパターンが転写層上に 好ましくは付着される。 転写層により、赤、緑および青（または黄、マゼンタ、およびシアン）のカラ ードットパターンの各々、並びに、所望であれば、黒マトリクスインクパターン を形成する独特の表面が提供される。転写層上にカラーフィルタパターンを形成 することにより、転写層、黒マトリクスパターンおよびカラードットパターンか らなる全体のアセンブリを、カラーフィルタが転写層と支持体との間に挟まれる ように転写することができる。転写層は、その場で形成された平面化層として機 能するので、平面化層を形成する続いての操作が必要ない。このような転写層は さらに、米国特許出願第08/197,141号に論じられている。この出願をここに引用 する。 本発明のある実施の形態において、コレクタロールの外側の縁に向かって軸方 向に移動するときに、コレクタロールの表面から外側に放射状にテーパー状とな るやや凹んだ中央部分を有するコレクタ表面に転写層を施している。例えば、第 ５Ａ図および第６Ａ図において、図示したコレクタロール16には、凹んだ中央部 70がある。これらの中央部から（すなわち、ロールの中心から）外側に、コレク タロール16の表面がコレクタロールの軸から外側に放射状に角度が付いて、傾斜 形成領域72を形成している。第５Ａ図および第６Ａ図に示した凹んだコレクタ表 面を用いて、転写層をコレクタ表面に付着させ、その後、カラーフィルタを構成 するカラーセルが、支持体に転写される前に、転写層に付着される。好ましくは 、カラーセルを受容する前に、黒マトリクスインクパターンも転写層上に付着さ せる（第１図および第５Ａ図に示し、以下さらに説明するように）。次いで、全 体の複合体を、転写層を上にして付着させ、液晶表示装置に使用するのに適した カラーフィルタを形成しても差し支えない。このようにして、転写層は平面化層 になる。テーパー状の転写層または平面化層の外側の縁は好ましくは、テーパー がカラーフィルタパターンの縁の周りに延在するように形成される。例えば、第 ５Ａにおいて、コレクタロール16の縁がテーパー状となっている領域72と、黒マ トリクスパターン形成ロール18上にあるレリーフ領域73との間に転写層の外側の 縁が形成されている。レリーフ領域73が転写層14上の隆起領域78を形成する。こ の隆起領域78は、実際にカラーフィルタパターンを囲い、付着されるときにガラ ス支持体と接触する。第５Ａ図に示した黒マトリクスパターン形成ロール18と共 にコレクタロール16を用いることにより、第５Ｃ図に示したテーパー状の平面化 層が形成される。ここで、コレクタロール16の傾斜形成領域72が平面化層14上に 傾斜したまたはテーパー状の領域74を形成する。 同様に、第６Ａ図に示したコレクタロール16を使用することにより、第６Ｂ図 に示したように、丸みのついたテーパー状縁領域74を有する平面化層が形成され る。 第５Ａ図および第５Ｂ図に示したコレクタロール16では明白に傾斜したテーパ ーを用いているが、第６Ａ図に示したコレクタロール16では丸まったまたは丸み のついたテーパーを用いている。このような丸いまたは傾斜したテーパーには、 様々な角度を用いても差し支えない。好ましいテーパー角度としては、例えば、 約20°から70°、より好ましくは、約30°から45°までが挙げられる。しかしな がら、本発明は特定の角度に限定されず、実際にどのような所望の角度を使用し ても差し支えない。 本発明の輪郭を有するコレクタロール16は、平面化層に傾斜したまたは丸みの 付いたテーパーを提供することに限定されず、転写層14の上に模様の付いた表面 を形成するのに用いても差し支えない。例えば、ここに論じられているどのコレ クタロール16にも、第８Ａ図に示したように、互いに実質的に平行な溝またはリ ブ75がその上に形成されている表面を設けても差し支えない。このように、第８ Ｂ図に示したように、形成された平面化層14は、その上に設けられた対応する溝 またはリブ77を有している。 好ましくは、溝またはリブ75は、第８Ｃ図に示したように、まっすぐで互いに 平行である。このように、形成された平面化層14は、まっすぐで互いに平行な、 その上に設けられた対応する溝またはリブ77を有する。 第１図は、本発明による工程の軸断面図を示している。本発明の説明を容易に するために、ここに示した図面は、必ずしも実際の相対的寸法を示している訳で はない。透明転写層14がコレクタロール16上に設けられている。コレクタロール 16には、輪郭を有する表面がある。輪郭を有するとは、周囲表面が平らではない （すなわち、完全には円柱とはなっていない）ことを意味する。例えば、第５Ａ 図または第６Ａ図に示したもののようなコレクタロールを用いて、テーパー状の 外側縁を有する平面化層を形成しても差し支えない。第５Ａ図、第６Ａ図、また は第７Ａ図に示した傾斜形成領域72に加えて、第１図に示したように、類似の傾 斜形成領域72を設けて、平面化層の前縁および後縁に傾斜を付けても差し支えな い。あるいは、またはさらに、第８Ａ図に示したように、コレクタロール16に隆 起または溝を設け、それによって、第８Ｂ図に示したように、転写層14に対応す る溝パターンを形成しても差し支えない。 第１図において、凸版ローラ18が、放射線硬化性熱ワックス、または溶剤ベー スの黒マトリクスインク28をその上に受容するインク受容凹部パターン20を有す るという点で、黒マトリクスインクパターン形成ロールとして用いられている。 好ましい実施の形態において、インク塗布ローラ30が放射線硬化性黒マトリクス インク28を凹部パターン20中に塗布する。過剰のインクはドクターブレード32に よりパターン20から除去される。次いで、例えば、ＵＶランプ34からの紫外線に 露出して、それによって、少なくとも実質的に凹部パターン20の形状を維持する 黒マトリクスパターン10を形成することにより、インクが凹部パターン20中で硬 化または固化される。あるいは、好ましい実施の形態において、凸版ロール18を 放射線透明材料により構成し、その内部にＵＶ灯34cを取り付けて、黒マトリク スインクが凹部パターン20内に保持されている間に黒マトリクスインクを硬化さ せる。あるいは、黒マトリクスインクのそのような硬化または固化は、黒マトリ クスインクと転写層との接触と同時に行っても差し支えない。例えば、黒マトリ クスインクを、コレクタロール16内に位置するＵＶ灯34aからの放射線により硬 化させても差し支えない。黒マトリクスインクの硬化または固化が行われるとき に、黒マトリクスは凹部パターン20の正確な形状を維持する。黒マトリクスパタ ーン形成ローラ18は転写層14と接触せしめられ、パターン形成ローラ18の凹部パ ターン20からコレクタロール16上の転写層14に硬化または固化された黒マトリク スパターン10が転写される。 以下に記載するように、インク式塗布ローラを用いて転写層14を塗布してもよ い。転写層14は、黒マトリクスパターンを受容する前に部分的に硬化させてもよ い。しかしながら、転写層14は、黒マトリクスパターンと接触する前には、好ま しくは液体であり、平滑である。凸版およびグラビアプリントプレート内のイン クは典型的に、インクの表面がプリントプレート表面の下に湾曲している負のメ ニスカスを有している。その結果、転写層は、黒マトリクスインクに付着して、 凸版プリントパターンの凹部からインクを除去するほど十分に柔らかく粘着性で なければならない。黒マトリクスと接触する転写層の部分は、好ましくは、黒マ トリクスパターンから転写層14への転写中に硬化される。そのような硬化は、紫 外線硬化性材料を用いて転写層14を形成し、紫外線（ＵＶ）灯34aにより、黒マ トリクスパターン10の転写層14への付着中に転写層14に放射線を施すことにより 、行ってもよい。ＵＶ光は、コレクタを通して、黒マトリクス凸版プレートを通 して、または両者の間の後ろの（分離）ロール間隙に焦点を当てることの様々な 方法で透過させても差し支えないが、好ましい実施の形態においては、ＵＶ灯34 aをコレクタロール16内に取り付ける。このコレクタロール16は、紫外線透明材 料から作られているので、そこから紫外線を放出できる。使用する放射線は、紫 外線でなくともよく、転写層に使用する光重合開始剤(photoinitiator)に依存し て、可視、赤外または他の放射線であっても差し支えない。 ガラス支持体への付着は、例えば、最終転写の最中の圧縮下にある間にＵＶ露 出により硬化しても差し支えないピクセルインクにより行う。テーパー状の縁を 有する転写層に関して、この工程時点でガラスに付着するほど十分に粘着性また は流動性を維持するのであれば、ピクセルインクがプリントされるところの下の 転写層の縁領域がある程度付着性を提供する。その結果、第１図および第５Ａ図 に示したように、カラーフィルタパターンの外側の転写層の部分（例えば、コレ クタロール16の縁がテーパー状となっている領域に隣接した全ての部分）を好ま しくは、転写層を黒マトリクスインクに対して硬化させるのに用いる硬化工程中 にシャドーマスク76によりマスクする。転写層の残りの部分は（カラーフィルタ の周りの縁パターン）、液体のままであり、第５Ｂ図に示したように、複合体の 支持体への最終転写中に、カラーピクセルインクと共に続いて硬化される。 黒マトリクスパターンが凸版ローラ18の凹部パターン内にある間に硬化される 、第１図に示した実施の形態を用いると、黒マトリクスパターンの解像度は、凹 部パターン20の深さおよび形状並びにこの形状が黒マトリクスパターン10にどの ように良好に付与されるかに依存する。黒マトリクスパターン10が凹部パターン 20内にまだ含まれている間にこの黒マトリクスパターン10を硬化または固化させ ることにより、黒マトリクスパターンは必ず、凹部パターンの四角い縁および角 を得て、それによって、従来のインクプリント技術に典型的であるギザギザ、三 角形または丸い角および縁を避けることができる。 あるいは、第１図に示した装置を用いて、転写層に黒マトリクスを付着させる というよりもむしろ、転写層のカラーフィルタ側（すなわち、カラーフィルタを 構成する着色インクと接触する側）に輪郭を付けても差し支えない。このように するために、凹部20が転写層14を変形させるように、凸版ロール18をインク28の ない状態で用いても差し支えない。第２図は、本発明による別の方法を示してい る。ローラ18上の凹部パターン20は、所望の黒マトリクスパターンに対応してい る。その結果、凹部20と接触することにより転写層14上に形成された隆起パター ン22は、所望の黒マトリクスパターン10に対応する。転写層14は、ロール18から 得られたエンボスパターンを維持するほど十分に硬化されなければならない。こ のことは、熱可塑性インクを用い、ロール18と接触する地点で、転写層を冷却し て、インクを硬化させることにより行っても差し支えない。あるいは、そしてよ り好ましくは、放射線硬化性インクを用い、エンボス操作中に、コレクタロール 16を通して放射線を紫外線灯34aから放出させて転写層14を硬化させる。本発明 によると、コレクタロール16は、例えば、第５Ａ図、第６Ａ図、第８Ａ図または 第８Ｃ図に示したような、輪郭を有するロールである。テーパー縁を有するコレ クタロール16を用いる場合には、第５Ａ図に関して説明したように、好ましくは ロールにマスクして、黒マトリクスパターンの転写層への転写中にテーパー縁が 硬化しないように保護する。このように、コレクタロール16の輪郭の付いた表面 が転写層14の一方の側を形作る間に、転写層14の反対側が凸版ローラ18の凹部パ ターン20により形作られる。その結果、この特定の工程は、平面化層の両方の側 が、平面化層が支持体上に付着される前に、輪郭が付けられるか、または形作ら れるといった点で特に独特である。所望であれば、黒マトリクスインクを黒マト リクスインク塗布ロール30から隆起パターン22に塗布して、隆起黒マトリクスパ ターン10を形成してもよい。 あるいは、黒マトリクスインク28を、液晶表示パネルを製造する工程の別の位 置で施しても差し支えない。例えば、黒マトリクスインクを他の（ＴＦＴ）ガラ ス支持体上に施しても差し支えない。所望であれば、例えば、黒マトリクスパタ ーンを薄膜トランジスタの頂面に付着させても差し支えない。黒マトリクスパタ ーンがＴＦＴ支持体上に付着されている用途に関しては、隆起パターンが黒マト リクスパターン内の様々なカラーセルを隔てて整合させるといった点で、転写層 14上に隆起パターン22を形成することが好ましいと思われる。次いで、黒マトリ クスパターン10を位置合せして隆起パターン22に整合させることにより、形成さ れた液晶表示装置を見下ろしたときに、カラーセルは黒マトリクスパターン内に あるように見える。 カラーフィルタを完成させるには、カラーピクセルを形成する必要がある。各 々のカラーピクセルは典型的に、赤、緑、および青のサブピクセル（サブピクセ ルはまたカラーセルとも称する）からなる。上述した全ての実施の形態において 、隆起パターン22（または、隆起黒マトリクスパターン10）が転写層14に施され た後に、カラーフィルタパターンの赤、緑および青のカラーセルが、隆起パター ン10により形成された凹部11内の転写層14に施される。好ましくは、凸版インク プリント技術を用いて、黒マトリクスパターン10内に赤、緑および青のカラーセ ルを付着させる。隆起パターン10内に赤、緑および青のカラーインクセルを付着 させた後に、転写層14、隆起パターン10および赤、緑および青のカラーセル36か らなる複合体全体をガラス支持体12に転写させる。 第３図は、黒マトリクスパターン10、カラーフィルタパターン36、および転写 層14をコレクタロール16からガラス支持体12に付着させることを示すものである 。コレクタロール16でも、第５Ａ図、第６Ａ図、第８Ａ図、第８Ｃ図に示したよ うな輪郭を有する表面、または他の輪郭を有する表面を用いている。第３図に示 した複合体は、第１図に示した方法を用いて形成された黒マトリクスパターン10 、並びにカラーフィルタパターンを構成するカラーインクセル36からなる。複合 体の支持体への付着中に、赤、緑および青のカラーセルを構成するインクセル36 は好ましくは、液体または他の方法で変形可能な状態にある。その結果、インク セルは付着中に転写層14とガラス支持体12との間で絞られて、それによって、よ り平滑でより均一なインクドット形状および厚さに変形される。このより均一な 形状および厚さは、好ましくは、転写操作と同時の硬化により維持される。この ような硬化は、第３図および第５Ｂ図に示したように、ガラス支持体を通して放 射線を放出するように位置された、ＵＶ灯34aにより行っても差し支えない。変 形可能なカラーインクドットを硬化させることに加え、テーパー縁（形成されて いれ ば）もまた、好ましくはこのときに硬化される。このような硬化操作は、第５Ｂ 図に示されている。この図は、ＵＶ光がＵＶ光源34dから放射され、カラーイン クセル36および転写層14の外側の縁領域を同時に硬化させることを示している。 第４図は、第１図および第３図に関して記載した方法を実施する好ましい装置 を示している。第４図の装置は転写層塗布ロール42を備えている。このロールは 、多色インクパターンを受容する前に、比較的均一な厚さの透明転写層14をコレ クタロール16に塗布する。コレクタロール16はその上に輪郭を有する表面を有し ている。例えば、輪郭を有するコレクタロール16は、第５Ａ図または第６Ａ図に 示したコレクタロール表面のように設計され、外側の縁がテーパー状となった平 面化層を形成しても、または第８Ａ図のように、マイクログルーブパターン、あ るいは、そのような輪郭を有するコレクタ表面の組合せを形成しても差し支えな い。 転写層14の形成後に、隆起黒マトリクスパターンが黒マトリクス印写ロール18 から転写層14に付着される。黒マトリクス印写ロール18には、その上に所望の黒 マトリクスパターンに対応する凹部パターン20、および所望のテーパー領域の区 域に対応するレリーフパターン73がある。凹部パターン20は、黒マトリクスイン ク付けロール30から黒マトリクスインクを受容する。過剰なインクは、ドクター ブレード32により凹部パターン20から除去されて、凹部パターン20内のインクの 厚さが均一になる。次いで、黒マトリクスインクは、黒マトリクス印写ロール18 の凹部パターン20内にある間に、少なくとも部分的に硬化または固化される。こ れは、転写層14への転写の前または同時のいずれかに、黒マトリクスパターン10 を硬化させることにより行っても差し支えない。例えば、ある実施の形態におい て、黒マトリクス印写ロール18を放射線透明材料から形成し、紫外線光源34aを 黒マトリクス印写ロール18内に設けて、紫外線を放出し、それによって、黒マト リクスパターンを硬化させる。あるいは、紫外線光源49を配置して黒マトリクス パターンロール18上に紫外線を放出させて、それによって、黒マトリクスパター ン形成ロール18の凹部パターン20内に保持されている間に、黒マトリクスインク パターン10を硬化させてもよい。あるいは、インクを、熱ワックス配合物を適切 に冷却し、溶剤ベースインクを乾燥させ、またはそのような硬化機構の組合せに より硬化させてもよい。 次いで、硬化した黒マトリクスパターン10を黒マトリクス印写ロール20から転 写層14に転写させる。転写層14は好ましくは、その上に黒マトリクスパターンを 付着させる前には液体であり、そのために、転写層14は、凸版ローラ18から黒マ トリクスパターンを除去するのに十分に粘着性である。黒マトリクスパターン10 と接触している間に、転写層14は好ましくは、その形状を実質的に維持するほど 十分に固体であり、またさらに、黒マトリクスパターン10をロール18から除去す るように、硬化または他の方法で固化される。このような硬化は、コレクタロー ル16を透明に設計し、コレクタロール18内に位置する紫外線光34aから放射線を 放出させることにより実施してもよい。輪郭を有するコレクタロール16にテーパ ー状の縁を用いる場合には、これらのテーパー状の縁は好ましくは、第５Ｂ図に 記載したように、紫外線からマスクされる。ＵＶ灯34aから放出された放射線が 転写層14を硬化させる。黒マトリクスパターンが転写層14上に形成された後に、 カラーフィルタパターンの残りの部分を構成する赤、緑および青のカラーセルを 転写層14上に付着させる。以下は、転写層14上の黒マトリクスパターン10により 形成された凹部11内にどのように赤、緑および青のカラーセルが付着されられる かの記載である。これら全てはコレクタロール16により支持されている。 第４図の装置において、その上に多数のプリントパターンを有する単一の印写 パターンロール50を用いて、赤、緑および青のカラードットパターンを施してい る。パターンロール50は実際に、石版、凸版、乾式石版等を含む、インクパター ンまたは像を形成できるいかなる形態のロールであってもよい。好ましくは、パ ターンロール50は、フレキソまたは他の種類の凸版プリントロールである。ある いは、色をロールよりもむしろ凸版プリントプレートから転写してもよい。 第４図において、パターンロール50は、その上にインクを受容して、それぞれ 、青、緑および赤のカラーインクパターンを形成する、３つの凸版パターンが形 成されたインク受容領域52a、52bおよび52cを有する凸版ロールである。インク 付けロール54は、インク計量ロール56から正確な着色インクをパターンロール50 の３つのインク受容領域52a、52bおよび52cの各々に塗布する。インク付けロー ル54は、パターンロール50との接触位置へとこの位置から移動可能であり、各々 の着色インクを適切なインク受容領域のみに塗布することができる。 コレクタロール16には、２つの受容表面58aおよび58bがある。パターンロール 50のインク受容領域52a、52bおよび52c上に展開された別々の着色インクパター ンが、コレクタロール16の受容表面58aおよび58b上に整合してプリントされる。 このことは、領域52a、52bおよび52cからの各々別々のインクパターンがそれぞ れのインクパターンを他のインクパターンに対して特定の幾何学関係でコレクタ ロール16の受容領域52a、52bおよび52c上にプリントする。各々のインクカラー は、黒マトリクスパターン内のそれぞれの区画内に付着されている。 第４図において、転写層塗布ロール42は、転写層14をコレクタロール16の受容 表面58bに付着させ、黒マトリクス塗布ロール18が転写層14上に硬化された隆起 黒マトリクスパターン10を付着させている。次に、赤インクパターン領域52cが コレクタロール16の受容領域58b上に赤カラードットパターンを付着させ、緑イ ンクパターン領域52bが緑カラードットパターンを受容領域58aに付着させる。コ レクタロール16の次の回転において、青インクパターン領域52aが青カラードッ トパターンを受容表面58bに付着させ、赤インクパターン領域52cが赤インクパタ ーンを受容領域58aに付着させる。コレクタロール16の次の回転において、緑イ ンクパターン領域52bが緑カラードットパターンを受容表面58bに付着させ、青イ ンクパターン領域52aが青インクパターンを受容領域58aに付着させる。この時点 で、完全なカラーフィルタ像が存在し、着色インクの各々が隆起黒マトリクスパ ターン内に付着されており、それら全ては転写層14上にあり、これは、コレクタ ロール16の受容表面58bにより支持されている。カラーフィルタ像は、検査ステ ーション60で検査される。このステーションには、例えば、画像分析またはレー ザ走査式検査システムを用いてもよい。多色パターンが検査に合格しない場合に は、そのパターンは、はじかれて、洗浄ロール64により区画58bが洗浄される。 多色パターンが検査に合格した場合には、真空チャック62上に支持されているガ ラス支持体12がコレクタロール16と接触されて、転写層14、黒マトリクスパター ン10、および赤、緑および青のカラーセルからなる、形成された複合体が支持体 に転写される。 第１図−第４図に示した方法を用いると、第５Ａ図および第６Ａ図に示したコ レクタロールにより、それぞれ、第５Ｂ図および第６Ｂ図に示したもののような カラーフィルタパターンが形成される。第５Ａ図および第６Ａ図は、１つのテー パー状カラーフィルタ平面化層を形成するコレクタロール16を示している。ある いは、コレクタロール16を、同時にいくつかの異なるカラーフィルタのための平 面化層を製造するように設計しても差し支えない。例えば、第７Ａ図に示した実 施の形態において、コレクタロール16には、転写層を受容する２つの別々の凹部 領域70aおよび70b、並びに傾斜形成区域72a,72b,72cおよび72dがある。傾斜形成 区域72aおよび72bは凹部領域70aと協力して第１のカラーフィルタ用の平面化層1 4aを形成し、一方、傾斜形成区域72cおよび72dは凹部領域70bと協力して第２の カラーフィルタ用の平面化層14bを形成する。このようにして、２つ以上のカラ ーフィルタパターンを１つのコレクタロール16を用いて製造することができる。 好ましくは、多色像がまだ変形可能である間に、転写層／多色インクパターン 複合体をコレクタロール16から支持体に転写させる。このようにして、第３図に 示したように、転写中に、転写層14と支持体12との間にインクを圧縮する。好ま しい実施の形態において、カラーインクセルに用いたインクは放射線硬化性であ り、真空チャック62は透明材料から作られており、紫外線63は、真空チャック62 内に設けられて、支持体12を通して放射線を放出している。インクは転写付着操 作による圧縮下で硬化され、インクセルを転写操作中に形成されたより均一な形 状に維持する。 液晶表示装置カラーアレイの位置合せの必要条件は典型的に、プラスマイナス 約30ミクロンであり、期待される必要条件はプラスマイナス約５ミクロンである 。これらの非常に過酷な位置合せの必要条件のために、１つのパターンロール50 を用いて１つのコレクタロール16に様々なカラーパターンを形成して付着させる 、第４図に示したような印刷機が非常に有用である。 本発明の方法を実施する好ましい装置において、第４図に示した装置が横に取 り付けられている（すなわち、プリントロールを垂直に取り付けることにより） 。プリントロールを横に取り付けることにより、水平に取り除かなければならな い従来の水平に配置されたロールとは異なり、これらプリントロールをプリント 装置から垂直に（ロールに対して軸方向に）取り除いてもよい。さらに、所望で あれば、プリントロールを、２つではなく（各々の端部に１つ）、各々のプリン トロールの下に位置する１つのベアリング装置により支持しても差し支えない。 そ の結果、プリントロールの交換は大幅に容易になる。 インク（黒マトリクスインクおよびカラーインクの両方）が硬化される実施の 形態に関して、インクは好ましくは放射線硬化性に配合する。硬化性は、インク が架橋することを意味する。放射線硬化性は、適切な放射線に露出されたときに インクが架橋することを意味する。これは、インクが未硬化（未架橋）状態にお いてホットメルト熱可塑性特性を有するまたは溶剤を含むか否かにかかわらない 。第４図に示した実施の形態において、真空チャック62は、使用する特定のイン クを硬化させるのに適した放射線を透過させることができる。例えば、真空チャ ック62は、その内部に紫外線（160-400μm）または可視光（400-700μm）の放射 線源を有し、それによって、紫外線または可視光を放出させることができる。あ るいは、ロールと支持体との間に形成された圧縮間隙領域または後（分離）間隙 縁のいずれかに放射線源を向けることのような他の方法により、インクを放射線 に露出しても差し支えない。このような硬化は従来の放射線放出ランプを用いた 放射線硬化により行ってもよいが、鏡によりガイドされたレーザを用いて、イン クを十分に硬化（架橋）させても差し支えない。支持体への付着中に、コレクタ ロール16により、ドットを変形した状態で硬化させるために、コレクタロールと 支持体との間の接触区域の表面積は、特定のロール回転速度に関して、ドットが まだ平らな状態に圧縮されている間に適切な量の硬化が行われるほど十分大きく なければならない。「フット」と呼ばれるこの接触区域は典型的に、ガラス上で 約5mmから約25mmまでの幅である。 本発明を実施する上で、従来の放射線硬化性インクが、低粘度でプリントでき るので、熱可塑性インクよりも一般的には好ましい。このことは、薄いカラーセ ルをプリントするのに役立つ。また、ホットメルト熱可塑性インクにはパターン の寸法を制御する非常に厳しい熱許容誤差が必要であるので、ホットメルト熱可 塑性インクのパターン位置合せを制御することはより困難である。さらに、放射 線硬化性インクは、本発明による圧縮転写操作中に容易に硬化される。熱可塑性 インクは、低温の支持体または転写ロールに付着した際に直ちに硬化するように 配合でき、その結果、ピンホール、フイルムの不均一性および転写表面の不適切 な濡れにより生じうる他の欠陥が少なくなるといった点で、熱可塑性インクには 少なくとも１つの利点がある。その結果、別の好ましい種類のインクは、熱可塑 性および放射線硬化性の両方の特性を有するものである。そのようなインクは、 支持体にプリントされるまで熱可塑性であるように配合されるものである。その 時点で、インクは適切な放射線に露出することにより硬化することができる。硬 化は、インクがある程度架橋されることを意味する。インクが架橋することによ り、高温に対する抵抗性および耐久性が増大する。このことは、カラーフィルタ が続いての加工工程においてさらされる温度により、好ましい。 黒マトリクスインクに関して、別の好ましい種類のインクは、揮発性溶剤がイ ンク中に含有されて、インク付けおよびナイフ塗布中の粘度が低下させられる溶 剤ベースの配合物である。溶剤は、インクと相溶性があり、転写層と接触する前 に凸版プレート内の薄い（好ましくは２ミクロンから５ミクロンまで）黒マトリ クスパターンから容易に蒸発されるように選択される。次いで、インクを続いて の放射線硬化または熱硬化中に架橋させてもよい。 インクを、支持体への付着中に、放射線、熱のいずれかにさらすこと、湿式ま たは他の種類の硬化工程により最終的に硬化させて、堅く粘着性のない耐久性の ある状態にしてもよい。 本発明を説明の目的で詳細に記載してきたが、このような詳細な事項はこの目 的のためのみであり、以下の請求の範囲により定義されている本発明の精神およ び範囲から逸脱することなく、当業者は変更を実施しても差し支えない。 例えば、ここに示した実施の形態において、転写層14がコレクタロール16に施 されている。しかしながら、本発明はコレクタロールに限定されるものではなく 、プレートのような他の種類のコレクタ装置を用いても差し支えない。これらの 輪郭を有するロールは、傾斜形状に限定されないが、コレクタロールにより転写 層または平面化層に付与すべき実質的にどのような形状であっても差し支えない 。同様に、ここに示した実施の形態ではパターンロールを用いているが、平らな パターン印写プレートを用いても差し支えない。どのような技術を用いて転写層 14を施してもよいが、好ましくは、インク塗布技術を用いて転写層を施す。さら に、第４図に示した工程の代案は、個々のパターンロール54または平らな印写プ レートからコレクタロール16上に３組のカラーセルを直接プリントすることであ る。 この別の形態においては、パターンロール50は存在しない。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＵ，ＢＲ，ＣＡ，ＣＮ，Ｊ Ｐ，ＫＲ，ＭＸ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．カラーフィルタ上に輪郭を有する平面化層を形成する方法であって、 外側の領域よりも凹んでいる中央領域からなる輪郭を有する少なくとも１つ の表面パターンを有する転写層をコレクタ装置上に形成し、 カラーフィルタパターンを構成する複数の着色インクパターン上で支持体に 前記転写層を転写させ、それによって、前記輪郭を有する平面化層を形成するこ とを特徴とする方法。 ２．前記転写工程の前に、 複数の着色インクパターンを前記転写層上に付着させて着色インクパターン ／転写層複合体を形成する工程を含み、 前記転写工程が、前記着色インクパターンが前記支持体に接触するように前 記複合体を該支持体に転写させることからなることを特徴とする請求の範囲１記 載の方法。 ３．前記付着工程の前に、黒マトリクスインクを前記転写層に施す工程を含むこ とを特徴とする請求の範囲２記載の方法。 ４．前記黒マトリクスインクを施す工程が、 凹部印写パターンからなるパターン形成装置を提供し、 黒マトリクスインクを該凹部印写パターン中に付着させ、 該黒マトリクスインクを該凹部印写パターンから前記転写層に転写して、黒 マトリクスパターンを形成する各工程からなることを特徴とする請求の範囲３記 載の方法。 ５．前記黒マトリクスインクを転写させる工程の前に、前記黒マトリクスインク を少なくとも部分的に硬化させて、該黒マトリクスインクに前記凹部印写パター ンの形状を実質的に維持させる工程を含むことを特徴とする請求の範囲４記載の 方法。 ６．前記黒マトリクスインクを転写させる工程の最中に前記転写層を硬化させる 工程を含むことを特徴とする請求の範囲５記載の方法。 ７．前記転写層が放射線硬化性材料からなり、前記硬化工程が該転写層を硬化さ せる工程からなることを特徴とする請求の範囲６記載の方法。 ８．前記パターン形成装置が、前記所望の黒マトリクスパターンに対応する前記 凹部印写パターンを上に有する黒マトリクスパターン形成ローラを備えているこ とを特徴とする請求の範囲４記載の方法。 ９．前記複合体の転写中に、前記着色インクパターンが変形可能であり、 該方法がさらに、 前記転写の前に存在したよりも均一なフイルム厚まで前記着色インクパター ンを変形させる工程を含むことを特徴とする請求の範囲２記載の方法。 10．前記コレクタ装置がコレクタロールからなり、前記転写層を形成する工程が 、該コレクタロール上に前記転写層を形成する工程からなることを特徴とする請 求の範囲１記載の方法。 11．前記コレクタ装置が少なくとも２つの輪郭を有する表面パターンを備え、各 々のパターンが、該コレクタ装置の外側の縁領域から凹んでいる中央領域からな り、 各々の輪郭を有する表面パターンが異なるカラーフィルタ用の異なる平面化 層に対応し、前記外側の縁領域が前記支持体に向かってテーパー状となり、前記 方法がさらに、該支持体を断片に切断して、互いに異なるカラーフィルタパター ンを形成する工程を含むことを特徴とする請求の範囲１記載の方法。 12．前記転写層が、ポリイミド、エポキシド、アクリル、ビニルエステル、ポリ ウレタン、ポリエステル、アクリレートアクリル、メタクリレートアクリル、エ ステル、ウレタン、およびエポキシドからなる群より選択されることを特徴とす る請求の範囲１記載の方法。 13．カラーフィルタ上に輪郭を有する平面化層を形成する方法であって、 カラーフィルタパターンと、少なくとも１つの輪郭を有する表面パターンを その上に有する輪郭形成装置との間に平面化層を挟む工程からなり、該輪郭を有 する表面パターンが、該表面パターンの外側領域より凹んでいる少なくとも１つ の中央領域からなることを特徴とする方法。 14．前記挟む工程における前記凹部中央領域が、少なくとも１つの傾斜形成領域 で終わり、該少なくとも１つの傾斜形成領域が前記凹部中央領域から上方に外 側に延在することを特徴とする請求の範囲13記載の方法。