JPH10510616A

JPH10510616A - 電子液圧式制御弁装置

Info

Publication number: JPH10510616A
Application number: JP9513934A
Authority: JP
Inventors: エッケハルトシュルツェ
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-09-30
Filing date: 1996-09-24
Publication date: 1998-10-13
Anticipated expiration: 2016-09-24
Also published as: ATE197985T1; JP3242115B2; DE19536553A1; EP0853731B1; WO1997013074A3; US6039077A; EP0853731A2; WO1997013074A2; DE59606197D1

Abstract

(57)【要約】液圧原動機の運動制御を行うための電子液圧式制御弁装置（１０）は、二つの制御室を交互に加圧及び減圧することにより操作可能な主制御弁（１１）と、その目標値をパイロット方式で誘導するための電子液圧型サーボ制御弁（１４）を有している。サーボ制御弁（１４）は、電子的に制御可能な位置目標値予設定と機械的な位置実際値応答とで動作する。サーボ制御弁（１４）は、スリーブ状のケーシング要素（９９）を有している。ケーシング要素（９９）は、主制御弁（１１）のケーシングに固定されている接続ブロック（１１４）内に圧力漏れがないよう可動に配置されている。サーボ制御弁（１４）はさらに、スリーブ状のケーシング要素内に圧力漏れがないように可動に配置されるピストン（６６）有している。ピストン（６６）は、位置目標値を制御するため、制御可能な電動機（１３１）により交互方向へ駆動可能で、スリーブ状のケーシング要素（９９）に対して増分適に変位する。スリーブ状のケーシング要素（９９）は位置実際値応答要素として用いられ、主制御弁（１１）のピストン（１６）と形状拘束的に連動連結されている。サーボ制御弁（１４）は弁ばね装置（１１８，１１９）を備えている。弁ばね装置（１１８，１１９）は、目標値予設定電動機（１３１）の非制御状態において、ピストン（６６）を主制御弁（１１）の機能的にニュートラルな中央位置に関係づけられる目標値予設定位置へ位置調整する。

Description

【発明の詳細な説明】電子液圧式制御弁装置本発明は、線形液圧原動機または回転型液圧原動機への圧力媒体の供給及び排出を制御するための電子液圧式制御弁装置であって、３位置切換え弁として構成された主制御弁を有し、主制御弁が、そのケーシングの穴内で交互方向に終端位置間を変位可能なピストンを備え、前記終端位置は、主制御弁の作用位置ＩまたはＩＩにおいて開放される貫流路の横断面積の最大量に対応しており、貫流路が、ピストンの変位が増大するに伴って機能的にニュートラルな中央位置からほぼ変位に比例して連続的に開放され、且つピストンが中央位置に接近した時に適宜減縮され、ピストンの変位が、電気的に目標値制御されている電子液圧型サーボ制御弁装置により、主制御弁の自由な制御室を交互に加圧及び減圧することにより制御可能である前記電子液圧式制御弁装置に関するものである。この種の電子液圧式制御弁装置は広く知られている比例弁であり（「液圧式シュミレータ」、フォーゲル出版、ヴュルツブルク、第１巻、１９７８年、第１４３頁ないし第１４５頁を参照）、典型的な構成としては、４ポート３位置制御弁としての主制御弁と、電流の強さに比例した操作力を発生させるそれぞれ一つの比例マグネットにより制御可能なパイロット弁装置としての圧力制御弁とが設けられている。パイロット弁装置としての圧力制御弁により、主制御弁の制御室を加圧及び減圧させることができる。この公知の比例弁は上述したような構成であるので、少なくとも以下のような欠点がある。圧力制御弁のケーシング要素とマグネットの接片との間に常に摩擦があるので、圧力制御弁の応答特性に履歴現象が伴い、その結果励起電流の所定値に主制御弁の一定の開口横断面が一義的に関係づけられていない。この種の摩擦作用は、その都度の弁調整の時間的推移を所望のものとするためにパイロット弁の励起電流を変化させる時間的割合が少なければ少ないほど大きく影響するので、主制御弁のピストンの目標位置と実際位置との間のサーボ誤差が大きくなってしまう。このような履歴現象作用の極端な影響力をある程度効果的に解消するため、その都度制御される比例マグネットの励起電流を周期的に変化させる。即ち、比例マグネットの励起電流の時間的平均値を、接片を所望どおりに変位させるために有効な電流の強さに対応させる。接片が所望の位置に変位すると、主制御弁ピストンを所望の位置に位置決めさせるようなパイロット圧が生じる。従って、このように制御されるパイロット弁の接片は常に運動状態にあるので、滑り摩擦に比べてより大きな値の静止摩擦は実際には有効にならず、よって制御される接片の変位は、滑り摩擦の付加条件がより好ましい場合にのみ可能である。またこの種のパイロット制御の場合には、主制御弁ピストンの実際位置が比例マグネットの励起電流の「平均値」によって予め与えられている目標値にあまり正確に対応しないことも考慮せねばならない。なぜなら、目標位置と実際位置との十分な一致は、励起電流の周期的な変化が幾周期が経過した後になって初めて与えられ、励起電流の周期的な変化は、極値の間で変化する交流電流を重畳することによって制御されるべき位置目標値に関連づけられる直流電流に大きく影響されるからである。パイロット弁の接片に周期的な位置変化を生じさせる「変動」電流の実際に利用可能な周期（１０ｍｓないし２０ｍｓ）に対してこのことが意味するところは、主制御弁ピストンの位置の目標値と実際値とが（時間的に平均して）一致するのはほぼ１／２０秒ないし１／５秒後であり、多くの必要例にとっては長すぎることである。特に、励起電流の変動振幅が、主制御弁の貫流路の開口横断面を一定に調整するために必要な励起電流の平均値と比較可能である場合、即ち主制御弁を、比較的小さな横断面の貫流路で動作させねばならないような場合に不都合である。従って本発明の課題は、冒頭で述べた種類の制御弁装置において、主制御弁の十分に履歴現象のない制御と、制御弁装置全体の敏感な応答特性とが得られるように改善することである。この課題は、本発明によれば、請求項１の特徴部分によって解決される。本発明によれば、電子液圧式パイロット弁装置として電子液圧式サーボ制御弁が設けられる。この電子液圧式サーボ制御弁は、電子機械的に制御可能な位置目標値予設定(Vorgabe)と、機械的な位置実際値応答とで動作する。この調整原理を実現するため、サーボ制御弁は、主制御弁のケーシングに固定される接続ブロック内に配置され、この接続ブロックに対して圧力漏れがないように移動可能なケーシング要素と、ケーシング要素内に圧力漏れがないように移動可能に配置されるピストン要素とを有している。これら二つの要素のうち一方は、制御可能な電動機により他方の要素に対して増分的な変位を行うために交互方向に駆動可能である。他方の要素は位置実際値応答要素として用いられ、主制御弁のピストンと形状拘束的に連動連結されることにより、目標値予設定要素の変位と同方向のサーボ運動を実施するよう駆動可能である。さらにサーボ弁は弁ばね装置を備えている。この弁ばね装置は、目標値予設定電動機の非制御状態で、必要な場合には、まだ残っているこの電動機の残留制動モーメントに抗して、目標値予設定要素を、主制御弁の機能的にニュートラルな中央位置に関係づけられる目標値予設定位置に調整または戻し調整する。本発明による制御弁装置は、少なくとも以下のような機能的に有利な特性を備えている。サーボ制御弁の目標値予設定要素としてこのサーボ制御弁のピストンが用いられ、位置実際値応答要素としては、ピストンを同軸に取り囲んでいるスリーブ状のケーシング要素が用いられる。ピストンは、目標値予設定電動機としてのステッピングモータにより駆動されるラック装置（同時に減速装置の用をも成す）により、サーボ制御弁のスリーブ状ケーシング要素に対して増分的な変位を行うために駆動可能であり、そしてサーボ制御弁のスリーブ状ケーシング要素は主制御弁のピストンと（遊びなしに）連動連結されており、即ちその変位が目標値予設定ピストンの変位に追従するように連動連結されている。この場合スリーブ状ケーシング要素は、一定の伝動比で主制御弁ピストンの変位をこれに関係づけられているスリーブ状ケーシング要素のサーボ運動に置換する伝動装置を介して、主制御弁のピストンと連動連結されている。従ってこの機能に対応して、サーボ制御弁は、ステッピングモータにより制御されるサーボ制御弁の目標値予設定ピストンの変位によって制御された主制御弁ピストンの実際位置がその目標値と一致した時に、目標値予設定の変更主旨及び主制御弁のピストン位置の変更主旨に関係なく、機能的にニュートラルな中央位置へ達する。これにより、冒頭で述べたような履歴現象作用を十分に回避できる。サーボ制御弁の目標値予設定ピストンの増分的変位のステップ幅は、電子的に簡単に制御可能であり、その大きさに関しては広範囲に予め設定可能であるので、主制御弁を必要な貫流横断面に調整するに際し、十分細かく段階づけられた、ほぼ連続的な調整が可能である。公知の比例弁においてマグネット励起電流の「うなり」変調（変動電流）が原因で生じていた問題は、本発明による制御弁装置においては基本的に発生しない。サーボ制御弁の弁ばね装置は、目標値予設定電動機によるサーボ制御弁の制御が中断した時にサーボ制御弁の目標値予設定ピストンを主制御弁のニュートラルな中央位置に関係づけられる目標値予設定位置へ戻す働きをするが、この弁ばね装置により、本発明によるサーボ弁制御装置により制御される液圧駆動ユニットは、作動圧力源が引き続き作動中であっても、目標値予設定制御を遮断することにより安定な状態へ達する。請求項２と３に記載の構成により、制御弁装置の二つの実施形態が与えられている。それぞれのサーボ制御弁の位置応答要素は主制御弁のピストンと固く結合させることができ、従って構造的に特に簡潔な制御弁装置が提供されている。しかしこのような構成の代わりに、請求項４に記載のように、主制御弁が回転スライド弁として構成され、サーボ制御弁が線形スライド弁として構成され、主制御弁のピストンの方位的な変位をサーボ制御弁の応答要素の線形的な変位に置換する伝動装置を設けてもよい。請求項５に記載の構成によって得られる構造的に簡潔で有利な制御弁装置では、主制御弁が線形スライド弁として構成され、サーボ制御弁が回転スライド弁として構成され、回転スライド弁の実際値応答要素が、主制御弁の線形的な変位をサーボ制御弁の実際値応答要素の方位的な変位に置換する連結装置を介して主制御弁ピストンと連動連結され、且つ回転スライド弁の目標値予設定要素が、目標値予設定電動機の出力軸と相対回転不能に結合されている。このような構成のために、請求項６，７の構成要件により簡潔な構成の連結装置が提供される。この連結装置を介して、サーボ制御弁の位置実際値応答要素は主制御弁のピストンと連動連結されている。これと組み合わせて設けられる緊張装置により、主制御弁のピストンとサーボ制御弁の実際値応答要素との間の遊びのない連動連結が得られる。緊張装置は、請求項１０に記載の構成によれば、技術的に簡潔でコンパクトな構成で実現されている。サーボ制御弁の目標値予設定要素を、目標値予設定電動機の非制御状態で、主制御弁ピストンの機能的にニュートラルな中央位置に関係づけられている目標値予設定位置に弁ばね装置に対しては、請求項１１ないし１３に記載の構成により二者択一的にまたは組み合わせで使用可能な構成が得られる。このような構成は、特に、制御弁装置のサーボ制御弁が線形スライド弁として構成されている場合に合目的である。他方請求項１４及び１５により、機能的に対応する弁ばね装置の構成が得られる。この構成は、特に、制御弁装置のサーボ制御弁が回転型スライド弁として構成されている場合に適している。本発明による制御弁装置のその他の構成は、図面を用いた、二つの実施形態に関する以下の説明から明らかである。図１は比例弁の機能を有する本発明による制御弁装置の第１実施形態の簡略縦断面図であり、制御弁装置は、線形スライド弁として構成された主制御弁と、同様に線形スライド弁として構成されたパイロット弁としてのサーボ制御弁とを有している。図１ａは図１の制御弁装置の機能を説明するための液圧回路図である。図２は他の実施形態の図１に対応する縦断面図であり、その機能は図１の制御弁装置にほぼ対応しており、線形スライド弁として構成された主制御弁と、回転型スライド弁として構成されたサーボ制御弁とを有している。図２ａは図２のサーボ制御弁の弁ばねの構成を示す、図２の線ＩＩａ−ＩＩａによる部分断面図であり、この弁ばねによりサーボ制御弁は、目標値予設定電動機の非制御状態において、主制御弁のニュートラルな中間位置の目標値制御状態に対応するような状態になる。図２ｂは図２ａの弁ばね装置の脚ばねを弛緩状態で示す斜視図である。図２ｃは主制御弁のピストンを図２の制御弁装置のサーボ制御弁の現在値応答要素に遊びなしに連動連結させる用を成す緊張装置の構成及び作用を説明するための図２の線ＩＩｃ−ＩＩｃによる断面図である。図１において全体を１０で示した電子液圧式制御弁装置は、液圧によって操作可能な、全体を１１で示した主制御弁を有している。主制御弁１１は、制御室１２と１３を交互に加圧及び減圧することにより、図示した基本位置０から作用位置ＩとＩＩへ交互に切換え可能である。主制御弁１１は更に、全体を１４で示したサーボ制御弁をパイロット弁として有している。サーボ制御弁１４は、主制御弁１１のピストン１６の目標位置に関する電気的に制御可能な予設定と、ピストン１６の実際位置に関する機械的な応答とで作動する。以下の説明では次のことを前提とする。制御弁装置１０は、図１ａの回路図からわかるように、回転型液圧モータ１７の作動を制御するために使用され、液圧モータ１７の交互の回転方向（時計方向及び反時計方向）には、主制御弁１１の交互の作用位置ＩとＩＩが関係づけられ、その際液圧モータ１１の回転数は、主制御弁１１を介してこの液圧モータに供給及び排出される液圧作動媒体の体積流により調整可能であるものとする。図１に図示し、図１ａにおいて０で示した主制御弁１１の基本位置は、回転型液圧モータ１７の停止状態に関係づけられている。主制御弁１１は線形スライド弁として形成されており、そのピストン１６は、制御室１２と１３の間に延びているケーシング穴１９の中心縦軸線１８の方向に往復動可能である。これに関連する終端位置は、ピストン１６の端部部材２１、２２と、これらの端部部材にそれぞれ対向している制御室１２、１３の端壁２３、２４との間での止め作用により決定される。主制御弁１１は４ポート３位置切換え弁として形成され、図示したその基本位置０では、図示していない圧力供給装置の圧力出口に接続されているＰ供給用接続部２６と、圧力供給装置の無圧の備蓄容器に接続されているＴ還流用接続部２７とは、主制御弁のＡ制御接続部２８に対してもＢ制御接続部２９に対しても遮断されている。主制御弁のＡ制御接続部２８とＢ制御接続部２９との交互の加圧及び減圧によって消費装置１７の駆動制御が行なわれる。説明のために選定した主制御弁の構成では、図１の図示で右側の制御室１３を加圧し、且つ左側の制御室１２を減圧することにより得られるピストン１６の左側への移動の際、主制御弁はその作用位置Ｉに達する。この作用位置Ｉでは、主制御弁１１のＰ供給接続部２６は貫流路３１を介してＡ制御接続部２８と連通し、Ｔ還流接続部２７は他の貫流路３２を介して主制御弁１１のＢ制御接続部２９と連通している。主制御弁１１の左側の制御室１２を加圧し、且つ右側の制御室１３を減圧することにより、主制御弁１１は図示した基本位置０から出発してその作用位置ＩＩへ達する。この作用位置ＩＩでは、主制御弁１１のＰ供給用接続部２６は第１の貫流路３３を介してＢ制御接続部２９に連通し、Ｔ還流用接続部２７は第２の貫流路３４を介して主制御弁１１のＡ制御接続部２８に連通している。主制御弁１１は比例弁として形成され、ピストン１６が基本位置０に対応するその中央位置からの変位が次第に大きくなると、この変位の方向に応じて、交互の作用位置Ｉ及びＩＩにおいて開放される貫流路３１と３２または３３と３４の横断面が次第に大きくなって開放され、ピストンの終端位置においてその最大値に達する。このような機能を得るため、主制御弁１１は通常の態様で以下のように構成されている。主制御弁１１のケース穴１９内では、ピストンフランジ３６，３７，３８，３９を備えたピストン１６が圧力漏れがないように移動可能に案内され、ピストンフランジ３６，３７，３８，３９は対を成してピストン棒４１，４２，４３（その径は弁穴１９の径よりも小さい）により互いに固定されている。ケース穴１９は中心部分１９’を有している。中心部分１９’はケース側の制御エッジ４４と４６の間に延びている。制御エッジ４４と４６は、弁ケース４９の制御溝４７と４８の互いに隣接している側壁の穴側の縁によって形成されている。制御溝４７と４８は、主制御弁１１の制御接続部２８と２９のそれぞれ一つと常時連通している。この内側の穴部分１９’は、環状空間５１を画成している、半径方向にて外側のケース固定の画成部を形成している。環状空間５１は、主制御弁１１のＰ供給接続部と常時連通している。この環状空間５１は、中央のピストン棒４２によって互いに結合されている中央のピストンフランジ３７と３８の互いに隣接している環状端面により軸線方向に可動に画成されている。中央のピストンフランジ３７と３８は、互いに隣接している環状端面の外側の縁とともにピストン側の内側制御エッジ５２と５３を形成している。内側制御エッジ５２と５３の軸線方向の間隔は、Ａ制御溝４７とＢ制御溝４８の内側の制御エッジ４４と４６の軸線方向の間隔に等しい。弁ケース４９のＡ制御溝４７とＢ制御溝４８は、それぞれ、その軸線方向において外側の溝側面の半径方向にて内側の縁によって形成された外側の制御エッジ５４または５６を介して穴部分１９’’または１９’’’に接続している。穴部分１９’’または１９’’’は、ケースに固定された、環状空間５７と５８の半径方向の画成部を形成している。環状空間５７と５８は、ケースダクト５９を介して互いに連通しており、共に主制御弁１１の還流接続部２７に接続されている。ケース穴１９の中心縦軸線１８の方向に測った、主制御弁ケース４９のＡ制御溝４７及びＢ制御溝４８の内のり幅は、主制御弁ピストン１６の中央の二つのピストンフランジ３７と３８の軸線方向の厚さに相当している。ピストンフランジ３７と３８の、互いに逆の側の環状端面は、半径方向にて外側の縁により、軸線方向において外側の制御エッジ６１と６２を形成している。制御エッジ６１と６２は、図示した主制御弁１１の基本位置Ｏにおいて、内側のピストンフランジ３７と３８の軸線方向において内側の制御エッジ５２と５３と同様に、ケース側の制御エッジ５４と５６または４４と４６とゼロオーバーラップ状態にあり、その結果この基本位置Ｏにおいては、圧力供給装置の無圧の備蓄容器と常時連通している二つの環状空間５７と５８は、ケース側の制御溝４７に対して遮断され、且つこの制御溝４７は、Ｐ供給接続部２６に連通している主制御弁の中央の環状空間５１に対して遮断されている。供給装置の無圧の備蓄容器と連通しているＴ環状空間５７と５８は、主制御弁１１のピストン１６のエンドフランジ３６と３９により、主制御弁１１の制御室１２と１３に対して圧力漏れがないよう可動に境界づけられている。図１の図示において右側の制御室１３に圧力が導入され、左側の制御室１２が減圧され、それにより主制御弁１１のピストン１６が左側へ移動すると、主制御弁は、ピストン側及びケース側の制御エッジの作動位置Ｉに対応する位置に達し、即ちＡ制御溝４７は高圧状態にある環状空間５１と連通し、Ｂ制御溝４８は右側のＴ環状空間５６と連通する。左側の制御室１２が加圧され、且つ右側の制御室１３が減圧されることにより、主制御弁１１はその作動位置ＩＩに達する。この作動位置ＩＩでＡ制御溝４７は左側のＴ環状空間５７と連通し、Ｂ制御溝４８は中央のＰ環状空間５１と連通する。貫流位置Ｉ及び貫流位置ＩＩにおいて交互に開放される、主制御弁１１の貫流路３１と３２横断面積は、サーボ制御弁１４を用いて調整可能である。このサーボ制御弁１４を用いると、主制御弁１１の制御室１２，１３の加圧及び減圧を制御可能である。図示した特殊な実施形態の場合、サーボ制御弁１４は主制御弁１１に対して構成的に十分対応するように線形スライド弁として構成されており、中心の縦軸線６８が主制御弁１１の中心の縦軸線１８に対して平行に延びるように配置されている。サーボ制御弁１４も４ポート３位置切換え弁の機能を果たし、全体を６６で示したピストンと、そのケーシング９９とに対しては、横断面のサイズ及び中心のピストンフランジ８７と８８（その間にサーボ制御弁１４のＰ環状空間１０１が延びている）の軸線方向の間隔がより大きい点を除けば、主制御弁１１の場合と同様の構成であるピストン側の制御エッジ１０２，１０３，１１１，１１２及びケーシング側の制御エッジ９４，９６，１０４，１０６が設けられている。同じことはサーボ制御弁１４のすべての構成要素にも当てはまり、図１及び図１ａにおいては、これらの構成要素に、既に述べた主制御弁１１の個々の構成要素及び機能要素に付した符号に５０をプラスした符号を付した。従って、サーボ制御弁１４のこれら構成要素の説明に関しては主制御弁１１の対応する構成要素の説明を指摘するにとどめ、説明の反復を避けることにする。サーボ制御弁１４のケーシング９９は外側で筒状のスリーブとして形成され、主制御弁１１のケーシング４９に固定されているケーシングブロック１１４の、サーボ制御弁１４の中心縦軸線と同軸の穴１１３のなかに、圧力漏れがないように且つ往復滑動可能に案内されている。Ａ制御接続部７８は図１において主制御弁１１の右側の制御室１３と連通し、一方サーボ制御弁１４のＢ制御接続部７９は主制御弁１１の左側の制御室１２と連通している。これに関連した接続ダクトには１１６または１１７の符号を付した。サーボ制御弁１４のピストン６６は、弁ばね１１８及び１１９によって心合わせされる中央位置を有している。この中央位置は、主制御弁１１のピストン１６の図示した基本位置に対する目標値予設定位置である。主制御弁１１のピストン１６は、簡略に図示したブリッジ１２１を介してサーボ制御弁１４のケーシング９９と移動不能に連結されている。サーボ制御弁１４と主制御弁１１の基本位置Ｏのこのような関係は製造の精度によって達成され、場合によっては主制御弁１１のピストン１６とサーボ制御弁１４のピストン６６との機械的結合部を位置調整可能にすること、及びサーボ制御弁１４の弁ピストン６６の基本位置を位置調整可能にすることによって達成される。これに関連したピストンの位置調整を図１においては調整ねじ１２２によって示唆した。この調整ねじ１２２を用いると、ケーシング側で一方の弁ばね１１８を支持している支持ブロック１２３を軸線方向に移動させることができ、他方他の弁ばね１１９は、サーボ制御弁１４を含んでいるケーシングブロック１１４の対向する端壁１２４で軸線方向に支持されている。ピストン６６は、図１において右側の端部に、右側の弁ばね１１９の中心を貫通している細い棒状の延設部１２６を備えている。この延設部１２６は端壁１２４の中心の穴１２７を貫通しており、その自由端はラック１２８として構成されている。ラック１２８の歯は、電気的なステッピングモータ１３１の駆動ピニオン１２９と遊隙なしに噛み合っている。ステッピングモータ１３１は、電子制御ユニット１３２の出力パルスにより、可能な回転方向に交互に増分回転運動を実施するよう制御可能である。ステッピングモータ１３１を矢印１３３で示した回転方向へ（＋）φ₁だけ制御することにより、サーボ制御弁１４の弁ピストン６６は、図示した基本位置Ｏから図１において左側へ、この角度φ₁に関連して変位量ε₁だけ変位する。これにより、サーボ制御弁１４の作動位置Ｉに対応する弁ピストン６６及びケーシングスリーブ９９の構成が得られる。その結果、サーボ制御弁１４のＡ制御接続部７８を介して、主制御弁１１の右側の制御室１３に圧力が導入され、左側の制御室１２はサーボ制御弁１４のＢ制御接続部７９を介して減圧される。主制御弁のピストン１６と、これに移動不能に結合されているサーボ制御弁１４のスリーブ状のケーシング９９も同様に、サーボ制御弁１４のピストン６６の変位量ε₁に追従して「左側へ」変位し、次のような時点で停止する。即ちサーボ制御弁１４のピストン６６及びスリーブ状のケーシング９９に対して、図示した基本位置Ｏ対応する構成が再び得られた時、つまり目標値を電気的に制御して設定することにより変位するサーボ制御弁のピストン６６と同じ変位量ε₁だけ主制御弁１１のピストン１６が変位して主制御弁１１が作動位置Ｉを占めた時に、スリーブ状のケーシング９９も停止する。同様に主制御弁１１はその作動位置ＩＩを占めるように制御可能であり、この作動位置ＩＩで開放される貫流路３３の開口横断面を所定の値に調整可能である。サーボ制御弁１４のＡ制御接続部７８とＢ制御接続部７９及びＰ供給用接続部７６とＴ還流用接続部７７とは、ケーシングブロック１１４の平坦な環状溝１３４と１３６または１３７と１３８の内部に開口している。これらの環状溝１３４と１３６または１３７と１３８は、定置のケーシングブロック１１４のＡ接続ダクト１１６とＢ接続ダクト１１７またはＰ供給用接続部７６’’とＴ還流用接続部７７’’と連通し、且つ主制御弁１１の基本位置Ｏに関係づけられる、サーボ制御弁１４のスリーブ状ケーシング９９の中央位置の「両側において」軸線方向に次のような広がりを有しており、即ちケーシング９９のすべての可能な変位位置において環状溝１３４と１３６または１３７と１３８と弁室１０１，１０７，１０８との連通接続が保証されるような広がりを有している。制御弁装置１０の典型的な構成では、サーボ制御弁１４のピストン１６の、ばねで心合わせされる中央位置（この中央位置には、主制御弁ピストン１６及びこれに固定されているサーボ制御弁ケーシング９９の対応する最大変位が関係づけられている）からのサーボ制御弁１４のピストン１６の最大変位量ε_1max及びε_2max には、ステッピングモータ１３１の駆動ピニオン１２９の時計方向及び反時計方向での９０°の回転が対応している。この場合時計方向及び反時計方向でのこの９０°の回転は、電子制御ユニット１３２により制御されて、それぞれ同じ量の１００個の増分ステップに分割されている。これに関連して、主制御弁１１の開口横断面積をその作動位置ＩとＩＩにおいて段階付けることができ、このことは、それぞれの貫流路の開口横断面積を連続的に可変であることに実質的に対応している。目標値予設定要素として利用されるサーボ制御弁１４の弁ピストン６６に係合している弁ばね１１８，１１９は、ステッピングモータ１３１が通電されていない状態でこのステッピングモータ１３１の残留制動モーメントを克服して弁ピストン６６をそのニュートラル中央位置へもたらし、その結果主制御弁もその基本位置Ｏへ戻されるまでの間、圧力供給状態にあるように構成されている。主制御弁ピストン１６のこの位置を、圧力の供給がなくなった時も得られるようにするためには、主制御弁ピストン１６の基本位置Ｏ及びサーボ制御弁１４の弁ケーシング９９の基本位置も同様に主制御弁１１の弁ばね１４１，１４２によって弾性的に心合わせされているのが合目的である。なお主制御弁１１の弁ばね１４１，１４２は、サーボ制御弁１４の弁ばね１１８，１１９よりもかなり小さな弾性力を持つように構成されていてよい。図２に図示し全体を１０’で示した制御弁装置は本発明の他の実施形態であり、機能的には図１に図示した制御弁装置１０にほぼ対応しているが、サーボ制御弁１４’が回転弁として構成されている点、従って主制御弁１１’のピストン１６’の構成の点で主に異なっている。ピストン１６’の構成は、ピストン１６’ とサーボ制御弁１４’の位置実際値応答要素９９’との運動結合を可能にする。図２の構成要素において図１の構成要素と同じ符号であれば図１を用いて行った説明を参照してもらいたい。また、図１で述べた制御弁装置１０の構成要素及び機能要素の符号にダッシュを付して示した構成要素及び機能要素は、構成及び（または）機能的に図１の制御弁装置１０の構成要素及び機能要素に対応していることを示している。図２に図示した制御弁装置１０’のサーボ制御弁１４’では、主制御弁１１’ のピストン１６’の位置の目標値の制御は、中心のピストン６６’をサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’のまわりに回転することにより行われる。サーボ制御弁１４’は、その中心縦軸線６８’が主制御弁１１’の中心縦軸線１８と直角を成すように主制御弁１１’に取り付けられている。主制御弁１１’のピストン１６’の位置の実際値の応答は、基本的には筒スリーブ状形状のサーボ制御弁１４’のケーシング要素９９’をサーボ制御弁１４’の中心縦軸線のまわりに「一緒に回転させる」ことにより行う。中心縦軸線１８に沿った主制御弁ピストン１６’の並進運動を、応答要素として利用されるサーボ制御弁１４’のケーシング部分９９’の回転運動に置換する過程は、回転可能なスリーブ状のケーシング部分９９’に固定されている連結要素１４３を主制御弁ピストン１６’の環状溝１４４と形状拘束的に噛み合わせることにより実現される。環状溝１４４は、比較的長尺のピストンフランジ３６’の中央領域に配置されている。ピストンフランジ３６’ は、主制御弁１１’の左側の制御室１２を圧力が漏れないように画成する可動な画成部を形成するとともに、左側のＴ環状空間５７を圧力が漏れないように画成する左側の画成部をも形成している。目標値予設定要素として用いられるサーボ制御弁１４’のピストン６６’は、ステッピングモータ１３１の出力軸１４６と相対回転不能に連結されている。ステッピングモータ１３１の出力軸１４６は、ピストン６６’の内側の直線歯部及び外側の直線歯部を介してピストン６６’と遊隙なしに噛み合っている。スリーブ状のケーシング要素９９’の中心を貫通している穴６９’内に圧力が漏れないように回転可能に支持されているサーボ制御弁１４’の目標値予設定ピストン６６’は、全体を１４７で示した角形ストッパー部材と相対回転不能に結合されている。ケーシング要素９９’は、サーボ制御弁１４’の接続ブロック１１４’の中心を貫通している穴１１３’内に回転可能に且つ圧力漏れがないように支持されている。角形ストッパー部材１４７は、全体を１５１で示した脚ばねの自由端１４８と１４９（図２ａ及び図２ｂを参照）の間に係合している。脚ばね１５１は方向性を持って予緊張状態にあり、脚ばねの自由端は互いに逆方向の力に曝され、角形ストッパー部材１４７の互いに逆の側の止め面に対して押し付けられる。脚ばね１５１は中心縦軸線６８’のまわりに回動しないようになっており、しかもその予緊張力は、ステッピングモータ１３１の非通電状態でステッピングモータ１３１が行使する制動モーメントに打ち勝つほどに十分なものであるので、ステッピングモータ１３１の非通電状態で目標値予設定ピストン６６’を図２と図２ａに図示した所定の方位φ₀に到達させるような作用を脚ばね１５１は持っている。前記所定の方位φ₀は、主制御弁１１’の図示したニュートラルな中央位置に、目標値予設定位置として関係づけられている。脚ばね１５１とストッパーアーム１４７によって形成され、機能的には図１の「線形的」サーボ制御弁１４の弁ばね１１８と１１９に対応している、図２に図示した回転弁型サーボ制御弁１４’の復帰装置１４７，１５１は、詳細には以下のように構成されている。角形ストッパー部材１４７は、ステッピングモータ１３１の出力軸１４６の一部分を同軸に取り囲んでいる不動の固定スリーブ１５２を有している。固定スリーブ１５２は、その弁側の端部に内側の直線歯部を備えている。この内側の直線歯部は、ステッピングモータ１３１の出力軸１４６の直線歯部の短い部分と噛み合っており、従って出力軸１４６と相対回転不能に結合されている。固定スリーブ１５２は、ねじピンにより、出力軸１４６に対して軸方向に変位しないように固定されている。角形ストッパー部材１４７の固定スリーブ１５１の、フランジ上に形成されたモータ側の縁１５３’からは、角形ストッパー部材１４７の、平棒状に形成されている半径方向の脚１５４が出ている。脚１５４の、半径方向において外側の端部は、半径方向の脚１５４に対して直角に弁のほうへ延びている。この外側の端部には、角形ストッパー部材１４７の丸棒状のストッパー脚１５６が接続している。この場合、このストッパー脚１５６の中心軸線１５７はサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’に平行に延びている。脚ばね１５１は、サーボ制御弁１４’の中心軸線６８’と同軸で同じ内径の複数の巻回部１５８を有している。巻回部１５８の内径は、図示した特殊な実施形態では、サーボ制御弁１４’の接続ブロック１１４’の穴１１３’の直径に等しい。脚ばね１５１の巻回部１５８によって取り囲まれている円筒領域の半径方向外側には、サーボ制御弁の中心縦軸線６８’に関して対角線方向に、円形横断面を持ったアンカーピン１５９とストッパーピン１６１とが設けられている。アンカーピン１５９とストッパーピン１６１とは、サーボ制御弁１４’の接続ブロック１１４’のモータ１３１または角形ストッパー部材１４７側の端面から突出している。アンカーピン１５９の中心縦軸線１６２とストッパーピン１６１の中心縦軸線１６３とはサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’に平行に延びており、その際ストッパーピン１６１の中心縦軸線１６３とサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’によって、「中心の」ラジアル面１６４が決定されている。このラジアル面１６４内には、角形ストッパー部材１４７のストッパー脚１５６の中心縦軸線１５７も延びている。また、サーボ制御弁１４’の中央のピストン６６’が主制御弁１１’の基本位置Ｏに関係づけられる目標値予設定位置にある場合には、ストッパーピン１６１の中心縦軸線１６３とサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’によって半径方向の中心面１６６も決定される。図２ｂの詳細図からもわかるように、脚ばね１５１は、説明のために選択した実施形態の場合、角形ストッパー部材１４７の固定スリーブ１５２から半径方向に間隔を持って延びて固定スリーブ１５２をそれぞれ３６０°の周角で完全に取り囲んでいる「内側の」４個の閉じた巻回部１５８と、脚ばねの各端面に設けられる端部巻回部１６７または１６８とを有している。端部巻回部１６７または１６８は、サーボ制御弁１４’またはストッパーピン１６１の中心縦軸線６８’と１６３によって決定される方位φ₀のラジアル面１６４に関して、内側の巻回部１５８の周の一部分にわたってのみ延びている。この末端の部分巻回部１６７と１６８には、図２ａから最もわかるように、ストッパーピン１６１の曲率にほぼ対応する滑らかな曲率で、半径方向またはほぼ半径方向に延びる脚ばね１５１の脚自由端１４８と１４９が接続している。固定スリーブを完全に取り囲んでいる二つの「完全な」巻回部１５８の間に配置されている中央の巻回部の一方は、全体でほぼ６０°の方位角範囲内に、半径方向のＵ字状の膨出部１６９を備えている。膨出部１６９は、ストッパーピン１６１に対角線方向に対向配置されているアンカーピン１５９の外面を形状拘束的に取り囲むように配置されているので、脚ばね１５１は、図２ａに図示した配置構成では、サーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’のまわりに回動しないようになっている。図２ｂは脚ばね１５１を弛緩状態で示したものであり、この場合部分巻回部１６７と１６８は、脚自由端１４８と１４９の間に延びている中心縦面１７１に関してほぼ１６０°の周範囲で延びているにすぎず、その結果脚自由端１４８と１４９の間にはほぼ４０°の「内のりの」方位間隔が生じる。即ち末端側の部分巻回部１６７と１６８とは周方向において正のオーバーラップをしていない。脚ばね１５１に所定どおりの機能を行わせるために必要な方位性に関する予緊張(azimutale Vorspannung)は、即ちステッピングモータ１３１が通電されていない状態でサーボ制御弁１４’の目標値予設定ピストン６６’を回転させて、主制御弁１１’の基本位置Ｏに関係づけられるような方位に回転させるために必要な前記方位性に関する予緊張は、脚ばね１５１を取り付け時に図２ａにおいて実線で示した配置構成にもたらすことにより得られる。この配置構成において、外側の端部の部分巻回部１６７と１６８は、ストッパーピン１６１の内側においてこれに当接し、ストッパーピン１６１の径によって決定される周範囲でオーバーラップし、半径方向に延びている脚自由端１４８と１４９はそれぞれ、ストッパーピン１６１の互いに逆の側においてストッパーピン１６１で方位的に支持される。脚ばね１５１のこのような配置構成が設定され、且つ主制御弁１１’の基本位置Ｏに対応するピストン１６’の位置と、ピストン１６’のこの位置に関連づけられるサーボ制御弁１４の応答要素９９’の位置及びサーボ制御弁１４’の基本位置Ｏに関連づけられる目標値予設定ピストン６６’の方位位置とが設定された後（このことは、取り付け技術的には、説明を要しない手段により簡単に可能である）、ステッピングモータ１３１はその角形ストッパー部材１４７の次のような方向調整をもって始動せしめられる。即ちこの方向調整により角形ストッパー部材１４７のストッパー脚１５６が半径方向においてストッパーピン１６１の外側で部分巻回部１６７と１６８の脚自由端１４８と１４９の間に係合し、この位置でサーボ制御弁１４’のケーシングブロック１１４’に固定され、これにより、ステッピングモータ１３１の出力軸に相対回転不能に連結されている角形ストッパー部材１４７のラジアル面１６４の半径方向における方位φ₀がサーボ制御弁１４の基本位置Ｏに機能的に適正に関係づけられ、よって主制御弁１１’の基本位置にも機能的に適正に関係づけられるようにステッピングモータ１３１が始動する。サーボ制御弁１４’は次のように構成されており、即ちステッピングモータ１３１により制御可能な中央の弁ピストン６６’の回転により、サーボ制御弁１４ ’が図２ａの矢印１７２の方向へ、即ち図２の矢印１７３の方向に見て時計方向へ作用位置Ｉに到達し、この作用位置Ｉにおいて主制御弁１１’の右側の制御室１３がサーボ制御弁１４’のＡ制御用接続部７８’を介して加圧され、且つ主制御弁１１’の左側の制御室１２がサーボ制御弁１４’のＢ制御用接続部７９’を介して減圧され、その結果主制御弁１１’も、サーボ制御弁１４’の中央のピストン６６’の方位変位に関係づけられる、弁ピストン１６’の基本位置に対する軸線方向の変位により、その作用位置Ｉへ制御されるようにサーボ制御弁１４’ は構成されている。これに対応して主制御弁１１’は、サーボ制御弁１４’の中央のピストン６６’がステッピングモータにより制御されて回転することにより、図２ａの矢印１７４の方向へその作用位置ＩＩへ制御可能である。この作用位置ＩＩにおいて弁ピストン１６’は、そのニュートラルな中央位置Ｏに関し「右側へ」変位する。この「右側」への変位は、中央のサーボ制御弁ピストン６６’の方位変位と一義的に関連している。図２の制御弁装置１０’の主制御弁１１’とサーボ制御弁１４’とは以下のように同調している。作用位置ＩまたはＩＩを占めるための主制御弁１１’のピストン１６’の最大変位ε_1maxとε_2maxには、図２ａの矢印１７２または１７４の方向でのピストン６６’の方位変位φ_1maxまたはφ_2maxが対応している。この方位変位φ_1maxまたはφ_2maxはそれぞれ３０°である。この点は、図２ａにおいて、サーボ制御弁１４’の角形ストッパー部材１４７の半径方向の中心面１６６の方位角φ_1maxまたはφ_2maxによって示されている。主制御弁１１’の中心縦軸線の方向に行われるピストン１６’の並進運動を、サーボ制御弁１４’のスリーブ状の応答要素９９’の回転「応答運動」に置換するために設けられている連結要素１４３は、サーボ制御弁１４’のスリーブ状のケーシング部分９９’の円リング状の端縁１６から出て端部に球状のヘッド１７７を備えている細い棒１７８として形成されている。棒１７８の中心縦軸線１７９はサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’に平行に延びている。連結要素１４３の球状のヘッド１７７の直径は、百分の数ミリメートルの不定量目を無視すれば、連結要素１４３が半径方向またはほぼ半径方向に突入しているピストン１６ ’の環状溝１４４の内のり幅に相当している。連結要素１４３の棒状の部分１７８の厚さは、球状のヘッド１７７の直径よりも小さい。連結要素１４３の中心縦軸線１７９とサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’との半径方向の間隔ｒは、通常次の式で表される。ｒ＞ε_max／ｓｉｎ（φ_max）ここでε_max＝ε_1max＝ε_2max及びφ_max＝φ_1max＝φ_2maxは、本説明のために選定した例では、値ｒ＝２ε_maxである。サーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８と主制御弁の中心縦軸線１８との半径方向の間隔ｒ_maxはによって与えられる。サーボ制御弁１４’及び主制御弁１１’を以上のように相対的に配置する場合、連結要素１４３の球状のヘッド１７７が、主制御弁１１’の中心縦軸線１８を含み且つサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’に平行に延びている主制御弁１１’のピストン１６’の縦中心面に対して交互方向へ（上方または下方へ）変位することができる量は、互いに等しい。その結果サーボ制御弁１４’のスリーブ状の応答要素９９’がどの方位位置にあっても連結要素１４３の球状のヘッドは主制御弁１１’のピストン１６’の環状溝１４４のほぼ中央に配置される。制御弁装置１０’の正確な機能に適している、主制御弁１１’のピストン１６とサーボ制御弁１４’のスリーブ状のケーシング部分９９’との間の遊びのない運動学的連結を得るため、ねじりばねの機能を果たし、全体を１８１で示した緊張装置が設けられている。緊張装置１８１は、サーボ制御弁１４’のスリーブ状のケーシング要素９９’に対して、ステッピングモータ１３１の出力軸１４６と相対回転不能に結合されている中央のピストン６６’で方位的に支持されるトルクを及ぼす。このトルクにより、スリーブ状のケーシング要素９９’と相対回転不能に結合されている連結要素１４３のヘッド１７７は、主制御弁１１’のピストン１６’の環状溝４４の一つの溝壁１８２と確実に接触保持される。この緊張装置１８１（説明のために図２ｃにも図示した）は、引張り予緊張力を受けている渦巻きばね１８３を有している。渦巻きばね１８３は、サーボ制御弁１４’のスリーブ状のケーシング部分９９’の全回動範囲φ_1max−φ_2maxを３６０°に補完する角度よりも幾分小さな方位範囲において、軸線方向にわずかに拡大して接続ブロック１１４’の中心の穴１１３’から主制御弁１１’のほうへ突出しているスリーブ状ケーシング部分９９’の端部部分１８６（図２）の外側の凹状の溝１８４によって受容されている。この溝１８４の曲率半径は、半径方向内側において１８０°の範囲にわたってこの凹状の溝１８４によって受容され且つその底部で支持されているばね渦巻き部の曲率半径よりもわずかに大きい。機械的な応答要素として利用されるサーボ制御弁１４’のスリーブ状のケーシング部分９９’の短い端部部分１８６は、サーボ制御弁１４’の接続ブロック１１４’の中央の穴１１３’（穴１１３’の中には、スリーブ状のケーシング部分９９’がこの穴の長さ方向の部分において滑動可能に且つ回転可能に、しかも圧力漏れがないように配置されている）に対して拡大されている穴段１８７を貫通している。穴段１８７の直径は、渦巻きばね１８３の外径よりもわずかに大きい。この場合、穴段１８７と、渦巻きばね１８３を嘆じしているスリーブ状ケーシング部分９９’の端部部分１８６の外側面との間にある環状隙間１８８の半径方向における内のり幅は、個々のばね渦巻き部の直径よりも小さい。個々のばね渦巻き部の直径は、ばねのワイヤーの厚さが０．２ｍｍの場合、約２ｍｍである。このように渦巻きばね１８３は環状隙間１８８から軸線方向に抜け出ないよう十分保証されている。スリーブ状のケーシング部分９９’の端部部分１８６によってほぼ３００°の方位範囲で同軸に取り囲まれ、且つ接続ブロック１１４’の中心の穴１１３’から主制御弁１１’のほうへ出ている領域において、中央の弁ピストン６６’にストッパーピン１８９が挿入固定されている。ストッパーピン１８９は、片側において半径方向に「自由な環状隙間領域１８８’」の中へ突出している。環状隙間領域１８８’の方位角的幅は、半径方向の終端面１９１と１９２の方位角的間隔によって決定されている。終端面１９１と１９２は、サーボ制御弁１４’のケーシング部分９９’の、渦巻きばね１８３を担持している端部部分１８６の深さ（軸線方向の広がり）にわたって延びている。サーボ制御弁１４’のスリーブ状ケーシング部分９９’の構成とサーボ制御弁１４’の目標値予設定ピストン６６’に固定されているストッパーピン１８９の方位とは次のように互いに十分整合しており、即ち主制御弁１１’のピストン１６’の位置目標値と位置実際値とが一致しているサーボ制御弁１４’の中央位置Ｏにおいて、ストッパーピン１８９の中心縦軸線１９３とサーボ制御弁１４’の中心縦軸線６８’とを含むラジアル面が角度φを半分にするように、つまりスリーブ状部分９９’の、渦巻きばね１８３を担持している端部部分１８６の半径方向の終端面１９１と１９２が成す角度φを半分にするように同調している。この角度φは十分大きく選定されているので、中心のピストン６６’は、図示したストッパーピン１８９の中央位置に関し、最大の制御角φ_1max及びφ_2maxだけ時計方向及び反時計方向にスリーブ状のケーシング部分９９’に対して回動可能であり、しかもスリーブ状のケーシング部分９９’と主制御弁１１’のピストン１６ ’との遊びのない係合が中断されることはない。渦巻きばね１８３の一端１９４は、ストッパーピン１８９の自由端部部分１８９’に固定され、一方他端１９６は、半径方向の端面１９２のすぐ近くにおいてスリーブ状のケーシング部分９９’に固定されている。端面１９２とストッパーピン１８９との方位角的間隔は、渦巻きばね１８３の延在方向に見てほぼこの渦巻きばね１８３の方位角に対応している。

───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】る。サーボ制御弁（１４）は弁ばね装置（１１８，１１９）を備えている。弁ばね装置（１１８，１１９）は、目標値予設定電動機（１３１）の非制御状態において、ピストン（６６）を主制御弁（１１）の機能的にニュートラルな中央位置に関係づけられる目標値予設定位置へ位置調整する。

Claims

【特許請求の範囲】１．線形液圧原動機または回転型液圧原動機への圧力媒体の供給及び排出を制御するための電子液圧式制御弁装置であって、３位置切換え弁として構成された主制御弁を有し、主制御弁が、そのケーシングの穴内で交互方向に終端位置間を変位可能なピストンを備え、前記終端位置は、主制御弁の作用位置ＩまたはＩＩにおいて開放される貫流路の横断面積の最大量に対応しており、貫流路が、ピストンの変位が増大するに伴って機能的にニュートラルな中央位置からほぼ変位に比例して連続的に開放され、且つピストンが中央位置に接近した時に適宜減縮され、ピストンの変位が、電気的に目標値制御されている電子液圧型サーボ制御弁装置により、主制御弁の自由な制御室を交互に加圧及び減圧することにより制御可能である電子液圧式制御弁装置において、ａ）電子液圧型サーボ制御弁装置として、電子機械的に制御可能な位置目標値予設定と機械的な位置実際値応答とにより動作する電子液圧型サーボ制御弁（１４；１４’）が設けられていること、ｂ）電子液圧型サーボ制御弁（１４；１４’）が、主制御弁（１１；１１’）のケーシングに固定される接続ブロック（１１４，１１４’）内に配置され接続ブロック（１１４，１１４’）に対して圧力漏れがないように可動なスリーブ状のケーシング要素（９９；９９’）と、圧力漏れがないように可動に配置されるピストン要素（６６；６６’）とを有し、ケーシング要素（９９；９９’）とピストン要素（６６；６６’）のうち一方が、他方に対して増分変位を実施するために制御可能な電動機（１３１）により交互方向に駆動可能である目標値予設定要素として用いられ、他方が、主制御弁（１１；１１’）のピストン（１６；１６７）と摩擦を伴って連動連結されて、目標値予設定要素の変位と同方向の追従変位を実施するために駆動可能であるような位置実際値応答要素として用いられること、ｃ）サーボ制御弁（１４；１４’）が弁ばね装置（１１８，１１９；１５１）を備え、弁ばね装置（１１８，１１９；１５１）が、目標値予設定電動機（１３１）の非制御状態で、目標値予設定要素を、主制御弁（１１；１１’）の機能的にニュートラルな中央位置に関係づけられる目標値予設定位置へ位置調整すること、を特徴とする電子液圧式制御弁装置。２．主制御弁（１１）とサーボ制御弁（１４）は、その中心縦軸線（１８，６８）が平行になるように配置された線形スライド弁として構成され、サーボ制御弁（１４）の応答要素（９９）が、軸線方向に移動不能に主制御弁（１１）のピストン（１６）と結合され、サーボ制御弁（１４）の目標値予設定要素（６６）が、電気的な線形駆動装置により軸線方向に往復動可能であることを特徴とする、請求項１に記載の電子液圧式制御弁装置。３．主制御弁とサーボ制御弁は、その中心縦軸線が平行になるように、有利には同軸になるように配置された回転スライド弁として構成され、サーボ制御弁（１４’）の応答要素が、主制御弁の回転可能なピストンと相対回転不能に結合され、サーボ制御弁の目標値予設定要素が、電気的な回転駆動装置により、交互方向に方位的に変位可能であることを特徴とする、請求項１に記載の電子液圧式制御弁装置。４．主制御弁が回転スライド弁として構成され、追従制御弁が線形スライド弁として構成され、主制御弁のピストンの方位的な変位をサーボ制御弁の応答要素の線形的な変位に置換する伝動装置が設けられ、サーボ制御弁の目標値予設定要素が、電気的な線形駆動装置により軸線方向へ往復動可能であることを特徴とする、請求項１に記載の電子液圧式制御弁装置。５．主制御弁（１１’）が線形スライド弁として構成され、サーボ制御弁（１４ ’）が回転型スライド弁として構成され、回転スライド弁の実際値応答要素（９９’）が、主制御弁（１１’）の線形的な変位をサーボ制御弁（１４’）の実際値応答要素の方位的な変位に置換する連結装置（１４３，１４４）を介して主制御弁ピストン（１６’）と連動連結され、且つ回転型スライド弁の目標値予設定要素（６６’）が、目標値予設定電動機（１３１）の出力軸（１４６）と相対回転不能に結合されていることを特徴とする、請求項１に記載の電子液圧式制御弁装置。６．サーボ制御弁（１４’）は、その中心縦軸線（６８）が主制御弁（１１’）の中心縦軸線に対して垂直になるように主制御弁（１１’）に取り付けられ、サーボ制御弁（１４’）の位置実際値応答要素として、サーボ制御弁のスリーブ状のケーシング要素（９９’）が使用され、スリーブ状のケーシング要素（９９’ ）には、主制御弁ピストン（１６’）の連行要素（１４４）と形状拘束的に係合することにより主制御弁ピストン（１６’）の軸線方向の変位を応答要素（９９ ’）の方位的な追従運動に置換する連結要素（１４３）が相対回転不能に連結されていることを特徴とする、請求項５に記載の電子液圧式制御弁装置。７．主制御弁ピストン（１６’）の連行要素が、主制御弁ピストンの環状溝（１４４）として構成され、連結要素（１４３）が、ピストン（１６’）の中心縦軸線に対して垂直に且つサーボ制御弁（１４’）の中心縦軸線（６８）に対して平行に延びている棒状の端部部分により連行要素（１４４）内へ突出していること、主制御弁（１１’）の機能的にニュートラルな中央位置において、連結要素（１４３）の棒状部分の中心縦軸線とサーボ制御弁（１４’）の中心縦軸線（６８’）によって張られる面が主制御弁（１１’）の中心縦軸線に対して直角に延びるように、主制御弁（１１’ ）のピストン（１６’）における溝（１４４）の配置とサーボ制御弁（１４’）の応答要素（９９’）における連結要素（１４３）の配置とが互いに整合されていることを特徴とする、請求項６に記載の電子液圧式制御弁装置。８．環状溝（１４４）の溝側面の間に配置されている、連結要素（１４３）の係合端部が、ボールヘッド（１７７）として形成され、ボールヘッド（１７７）の直径が、棒状の端部部分の直径よりも大きく、且つ主制御弁ピストン（１６’）の前記環状溝（１４４）の溝側面の、軸線方向に測った内のり間隔にほぼ等しいか、またはたかだか等しいことを特徴とする、請求項７に記載の電子液圧式制御弁装置。９．サーボ制御弁（１４’）のスリーブ状のケーシング要素（９９’）とピストン（６６’）との間で継続的に作用するトルクを発生させる緊張装置（１８１）が設けられ、前記トルクは、連結要素（１４３）を主制御弁（１１’）のピストン（１６’）の環状溝（１４４）の一つの溝側面に対して摩擦を伴うように且つ形状拘束的に接触させ、且つ圧力の供給を行った時にピストン（１６’）によりサーボ制御弁（１４’）のピストン側ケーシング要素（９９’）に作用する復帰モーメントよりも小さいことを特徴とする、請求項７または８に記載の電子液圧式制御弁装置。１０．サーボ制御弁（１４’）のピストン（６６’）の方位的全変位量（φ）が１８０°以下であり、有利にはほぼ９０°である、請求項９に記載の電子液圧式制御弁装置において、方位的変位範囲（φ）が、周方向に延びているスリーブ状ケーシング要素（９９’）の長穴、または端面側に配置され縁が開口しているスリーブ状ケーシング要素（９９’）の扇形の凹部の方位的画成部と協働する、ピストン（６６’）に固定した半径方向のピンのストッパー作用により制限されており、緊張装置が、ピンの自由端とスリーブ状ケーシング要素（９９’）に固定され引張り予緊張状態にある渦巻きばねを有し、渦巻きばねは、回動範囲（φ）に補完される周範囲に、スリーブ状ケーシング要素（９９’）の、縁が開口した溝によって受容されていることを特徴とする電子液圧式制御弁装置。１１．目標値予設定電動機（１３１）の非制御状態において目標値予設定要素（６６；６６’）を主制御弁ピストン（１６；１６’）の中央位置に関連づけられる目標位置予設定位置へ付勢する弁ばね装置が、予め緊張せしめられる二つの圧縮ばね（１１８，１１９）を有し、これらの圧縮ばねは、互いに逆方向にサーボ制御弁の目標値予設定要素またはサーボ制御弁に固定されている部分に係合していることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか一つに記載の電子液圧式制御弁装置。１２．圧縮ばね（１１８，１１９）の予緊張状態が調整可能であることを特徴とする、請求項１１に記載の電子液圧式制御弁装置。１３．主制御弁ピストン（１６；１６’）の中央位置（Ｏ）に関連づけられている目標値予設定要素の位置が達成されるような量に弁ばね（１１８，１１９）を拘束することにより、弁ばね（１１８，１１９）の弛緩行程が制限されていることを特徴とする、請求項１１または１２に記載の電子液圧式制御弁装置。１４．目標値予設定電動機（１３１）の非制御状態において目標値予設定要素（６６；６６’）を主制御弁ピストン（１６；１６’）の中央位置に関連づけられる目標位置予設定位置へ付勢する弁ばね装置が、方位的に予め緊張せしめられ、サーボ制御弁（１４；１４’）の中心軸線（６８）を同軸に取り囲む巻回部を備えた渦巻きばねとして形成される脚ばね（１５１）を有し、脚ばね（１５１）は、その末端側の部分巻回部から出て半径方向またはほぼ半径方向に延びるように前記末端側の部分巻回部に接続している二つの自由な脚端を有し、これら二つの自由な脚端の間に、サーボ制御弁（１４’）の接続ブロック（１１４’）に固定されているストッパーピンと、目標値予設定要素に相対回転不能に結合されているストッパー脚（１５６）とが配置されていることを特徴とする、請求項５から１０までのいずれか一つに記載の電子液圧式制御弁装置。１５．サーボ制御弁（１４’）の中心軸線を同軸に取りんでいる脚ばね（１５１）の巻回部（１５８）の少なくとも一つの巻回部が、サーボ制御弁（１４’）の接続ブロック（１１４’）に固定されサーボ制御弁（１４’）の中心縦軸線（６８）に平行に延びているストッパーピンを形状拘束的に取り囲む膨出部を備えていることを特徴とする、請求項１４に記載の電子液圧式制御弁装置。