JPH1051385A

JPH1051385A - 空間光送信装置

Info

Publication number: JPH1051385A
Application number: JP8205037A
Authority: JP
Inventors: Tomonori Kimura; 友紀木村
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-08-02
Filing date: 1996-08-02
Publication date: 1998-02-20
Anticipated expiration: 2016-08-02
Also published as: JP2874712B2

Abstract

(57)【要約】【課題】強度分布やビーム形状等のビームクオリティ
に影響されずに指向角度を検出およびその制御を行うこ
と。【解決手段】第１のスリット部材５を通過したビーム
および第２のビームスプリッター４によって反射させた
ビームを合成する第３のビームスプリッター７と、指向
角度が付与される前の前記ビームの一部と指向角度が付
与され後の前記ビームの一部とを用いて干渉縞１８の移
動量により送信光の指向角度を検出し制御する手段とを
有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、送信光の指向角度
の検出、制御を行うために用いる空間光送信装置に属す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の干渉縞の移動を用いた空
間光送信装置は、光ジャイロスコープにおいて運動体の
角速度および回転方向の検出や、顕微鏡等の光学装置に
おいて自動焦点を行うことを目的として用いられてい
る。

【０００３】たとえば、特開昭５９−２００９１３号公
報には、光ファイバジャイロスコープにおいて、光路中
に、クサビ形レンズを挿入することにより、感度が測定
点毎に均一で高いＳ／Ｎ比を持つ縦の干渉縞を作り、縞
の移動量を容易に測定可能で、かつ回転方向をも容易に
検出できる技術が記載されている。

【０００４】また、特開昭５９−１０７３１５号公報に
は、顕微鏡等の光学装置において、試料の干渉縞を発生
させ、干渉縞の濃淡レベルピーク値の最大値を検出する
ことにより、自動焦点が行える技術が記載されている。

【０００５】従来、この種の空間光送信装置は、衛星間
光通信において、送信ビームの指向方向に、受信ビーム
方向に対して光行差補正を行う目的として用いられてい
る。

【０００６】たとえば、第３４回宇宙科学技術連合講演
会講演集（１９９０年１０月２９日発行）１３４頁〜１
３５頁には、送信ビームの一部を４ＱＤ（４分割オート
ダイオード）検出器によりビーム角度を検出し、フィー
ドバック制御を行いながら送信ビームに光行差補正角を
付与する技術が記載されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】第１の問題点は、従来
の技術において送信ビームのビームスポット形状の変化
や、強度分布の変化が、送信光の指向角度検出値の誤差
となることである。

【０００８】その理由は、送信ビームの指向角度を、ビ
ームの一部を４ＱＤに照射させ、各象限の光量の変化量
によって検出するため、ビームスポットの形状変化や強
度分布の変化が検出量に直接影響を及ぼすからである。

【０００９】第２の問題点は、従来の技術において送信
光に同一指向角度を付与しても、４ＱＤで検出される電
気信号が、ビームの強度分布や形状によって異なること
である。

【００１０】その理由は、送信ビームの指向角度を、ビ
ームの一部を４ＱＤに照射させ、各象限の光量の変化量
によって検出するため、ビームスポット形状や強度分布
があることにより、ビームスポットの位置により、指向
角度の変化により光量の変化量が異なるからである。

【００１１】それ故に本発明の課題は、送信ビームの形
状や強度分布等の、ビームクオリティおよびその変化に
影響されずに指向角度を検出、制御できる空間光送信装
置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、送信光
の一部を用いて干渉縞を形成し、その移動量から指向角
度を検出することにより指向角度を付与する空間光送信
装置において、光源と、該光源から出力されるビームを
透過させる第１のビームスプリッターと、該第１のビー
ムスプリッターを透過した前記ビームを通過させる第１
のスリット部材と、前記光源から出力される前記ビーム
を前記第１のビームスプリッターによって反射させ、さ
らに前記ビームを反射させる第１の可倒ミラーと、該第
１の可倒ミラーにより反射させたビームを前記送信光と
して通過させる第２のビームスプリッターと、該第２の
ビームスプリッターによって反射させた前記ビームを通
過させる第２のスリット部材と、前記第１のスリット部
材を通過した前記ビームおよび前記第２のビームスプリ
ッターによって反射させた前記ビームを合成する第３の
ビームスプリッターと、該第３のビームスプリッターで
合成した前記ビームを集光する集光レンズと、該集光レ
ンズで集光して干渉縞が形成され、指向角度が付与され
る前の前記ビームの一部と指向角度が付与され後の前記
ビームの一部とを用いて前記干渉縞の移動量により前記
送信光の指向角度を検出し制御する手段とを有している
ことを特徴とする空間光送信装置が得られる。

【００１３】

【作用】本発明の空間光送信装置は、送信光の一部を用
いて干渉縞を形成し、その移動量から指向角度を検出す
ることにより、送信ビームのビームクオリティによらず
高精度に送信光に指向角度を付与するものである。送信
光の指向角度を、送信ビーム自身の移動量として検出す
るのではなく、指向角度を付与する前のビームと、付与
した後のビームとを干渉させて生じる干渉縞の移動量と
して検出している。ビームの形状、強度分布、およびこ
れらの変動は干渉縞の形成とは全く無関係であるので、
指向角度の検出にも全く影響を与えない。

【００１４】指向角度を付与する前の送信光の一部を用
いて参照光を用意する。指向角度付与後の送信光の一部
と、参照光とを干渉させることにより、干渉縞を形成さ
せる。干渉縞は、指向角度の大きさにより平行移動する
が送信光のビームクオリティによらない指向角度の検
出、制御が可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の空間光送信装置の
第１の実施の形態について図面を参照して詳細に説明す
る。

【００１６】図１を参照して、本発明の空間光送信器
は、光源１と、光源１から出力されるビームを参照光と
して透過させる第１のビームスプリッター２と、第１の
ビームスプリッター２を透過したビームを通過させる第
１のスリット部材５と、光源１から出力されるビームを
第１のビームスプリッター２によって反射させ、さらに
ビームを反射させる第１の可倒ミラー１７と、第１の可
倒ミラー１７により反射させたビームを送信光として通
過させる第２のビームスプリッター４と、第２のビーム
スプリッター４によって反射させたビームを通過させる
第２のスリット部材６と、第１のスリット部材５を通過
したビームおよび第２のビームスプリッター４によって
反射させたビームをを合成する第３のビームスプリッタ
ー７と、第３のビームスプリッター７で合成したビーム
を集光する集光レンズ８とを備えている。

【００１７】さらに、空間光送信装置は、集光レンズ８
で集光して干渉縞１８が形成され、指向角度が付与され
る前のビームの一部と指向角度が付与され後のビームの
一部とを用いて干渉縞１８の移動量により送信光の指向
角度を検出し制御する手段を有している。

【００１８】送信光の指向角度を検出し制御する手段
は、Ｘ方向の干渉縞の移動量を検出する第１の光検出器
９と、Ｙ方向の干渉縞１８の移動量を検出する第２の検
出器１０と、Ｘ方向の指向角度設定値を比較する第１の
比較器１１と、Ｙ方向の干渉縞１８の指向角度設定値を
比較する第２の比較器１２と、第１の比較器１１で指向
角度の設定値と比較され誤差信号を得てこの誤差信号を
増幅する第１のアンプ１３と、第２の比較器１２で指向
角度の設定値と比較され誤差信号を得てこの誤差信号を
増幅する第２のアンプ１４と、第１のアンプ１３の増幅
信号を入力する第１のミラー可倒装置１５と、第２のア
ンプ１４の増幅信号を入力する第２のミラー可倒装置１
６とを有している。第１及び第２のミラー可倒装置１
５，１６は、指向角度設定値と比較し、第１の可倒ミラ
ー１７のフィードバック制御を行うものである。

【００１９】今、第１のビームスプリッター２により、
光源１から出たビームは、参照光と主要光とに分けられ
る。ここで、座標軸を、光の進行方向をＺ軸の＋方向、
紙面の裏面から表面に向かう方向をＹ軸の＋方向、Ｙ軸
とＺ軸とに垂直な軸をＸ軸と定める。第１の可倒ミラー
１７は主要光に、Ｘ方向、およびＹ方向に指向角度を付
与する。この可第１の倒ミラー１７は、第１のミラー３
と、Ｘ方向の第１の可倒装置１５と、Ｙ方向の第２の可
倒装置１６とから構成される。

【００２０】第２のビームスプリッター４により、指向
角度を付与された主要光は、送信光と送信モニタ光に分
けられる。第１のスリット部材５を通った参照光と、第
２のスリット部材６を通った送信モニタ光とは、第３の
ビームスプリッター７により光の進行方向を同一にさ
れ、集光レンズ８により集光、干渉させられ、干渉縞１
８を形成する。

【００２１】第１の可倒ミラー１７により、Ｘ方向の指
向角度を主要光に付与させたときに移動する干渉縞１８
の移動量は、第１の光検出器９により電気信号として検
出され、Ｙ方向の指向角度を主要光に付与させたときに
移動する干渉縞１８の移動量は、第２の光検出器１０に
より電気信号として検出される。

【００２２】検出されたＸ方向、およびＹ方向の指向角
度信号はそれぞれ第１及び第２の比較器１１，１２で指
向角度の設定値と比較され、誤差信号を得る。この誤差
信号は第１及び第２のアンプ１３，１４で増巾され、第
１及び第２のミラー可倒装置１５，１６に入力され、可
倒ミラー１７のフィードバック制御を行う。

【００２３】次に本発明の第１の実施の形態における動
作について、図面を参照して詳細に説明する。

【００２４】図１を参照して、光源１から出た光のう
ち、大部分は第１のビームスプリッター２で反射されて
主要光となり、残りの光は第１のビームスプリッター２
を透過し、干渉縞１８を形成するための参照光となる。
第１のビームスプリッター２については、必ずしも反射
光が主要光、透過光が参照光である必要はなく、大分部
の光を透過させ、透過光を主要光、反射光を参照光とし
ても良い。ただし、このときは第１の可倒ミラー１７や
ミラー３等の他の光学コンポーネントの配置を図１とは
変える必要がある。

【００２５】主要光は第１の可倒ミラー１７で折り返さ
れる際に、ミラー３に傾き角を付与する第１及び第２の
ミラー可倒装置１５，１６により、それぞれＸ方向、Ｙ
方向の指向角度を付与される。

【００２６】図２に第１の可倒ミラー１７の具体例を示
す。ミラー３は、可倒ミラー１７の支点１９を支点とし
て、第１及び第２のミラー可倒装置１５，１６がミラー
３を押し引きすることにより、それぞれＸ方向、Ｙ方向
の指向角度を主要光に付与できる。第１及び第２のミラ
ー可倒装置１５，１６は、たとえば、ピエゾアクチュエ
ータ、ムービングコイル、回転モータ付マイクロメータ
ヘッドで実現できる。

【００２７】第１の可倒ミラー１７により指向角度を付
与された主要光は、第２のビームスプリッター４で、大
部分は透過されて送信光となり、残りの光は反射され
て、干渉縞１８を形成するための送信モニタ光となる。
第２のビームスプリッター４についても必ずしも透過光
が送信光で反射光が送信モニタ光である必要はなく、他
の光学コンポーネントの配置を変えたりミラーを追加す
ることにより、透過光を送信モニタ光、反射光を送信光
としても構わない。

【００２８】第１のスリット部材５を通過した参照光
と、第２のスリット部材６を通過した送信モニタ光は、
第３のビームスプリッター７により光軸を一致させられ
る。図３（Ａ），及び図３（Ｂ）にそれぞれ第１のスリ
ット部材５と第２のスリット部材６の形状の１つの例を
示す。

【００２９】第１及び第２のスリット部材５、６はＸ方
向、Ｙ方向の２本の切れ込み（スリット部）５ａ，５
ｂ、６ａ，６ｂを有し、第１のスリット部材５と第２の
スリット部材６とでは切れ込み５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ
の位置が、光の進行方向から見たとき、上下対称、およ
び左右対称の関係になるように直交している。これによ
り、参照光と送信モニタ光の２つの異なる光による２光
波干渉が実現できる。集光レンズ８は、干渉し合う２つ
の光を集光して、干渉縞１８の明るさを増すための役目
を果たす。

【００３０】図１では第３のビームスプリッター７によ
る参照光の透過光と送信モニタ光の反射光を用いて２光
波干渉を行っているが、第３のビームスプリッター７に
よる参照光の反射光と送信モニタ光の透過光を用いて
も、同様に２光波干渉を行うことができる。

【００３１】図４は、第１のスリット部材５、第２のス
リット部材６に図３（Ａ），図３（Ｂ）の第１及び第２
のスリット部材５、６を用いたときにできる干渉縞１８
の形状のモデル図である。Ｘ方向、Ｙ方向の２組の干渉
縞から構成される。

【００３２】さて、可倒ミラー１７により、主要光に指
向角度が付与されると、第２のスリット部材６を通る送
信モニタ光の光路か変化するので、それと共に第２のス
リット部材６を通る送信モニタ光の位相も変化する。こ
の送信モニタ光の位相の変化により、干渉縞１８の位置
が移動するので、この移動量を光センサである第１及び
第２の光検出器９，１０で測定する。干渉縞１８の２組
の縞干渉は、それぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向の指向角度の変
化により、図４に示した矢印もしくは矢印と逆の方向に
移動する。この移動量を測定する第１及び第２の光検出
器９，１０は、たとえばＣＣＤ，ＰＤ（フォトダイオー
ド）、ＰＤアレイ等で実現できる。

【００３３】第１及び第２の光検出器９，１０で検出さ
れたＸ方向、およびＹ方向の指向角度の信号は、第１及
び第２の比較器１１，１２で、Ｘ方向およびＹ方向の指
向角度設定値に対して比較され誤差信号を得る。この誤
差信号を第１及び第２のアンプ１３，１４で、第１及び
第２のミラー可倒装置１５，１６を駆動できる信号に増
巾後、第１及び第２のミラー可倒装置１５，１６に印
加、フィードバック制御が行われる。

【００３４】次に、本発明の第２の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。なお、第２の実施
の形態の説明では、図１と同じ部分には同じ符号を付し
て、第１の実施例とは異なる部分を説明する。

【００３５】図５（Ａ）に主要光に指向角度を付与する
第２の実施形態の構成図を示す。図５（Ａ）を参照する
と、第１の可倒ミラー２８は、第１の実施の形態例にお
ける第１の可倒ミラー１７に相当し、図１に示した第１
のビームスプリッター２と第１の可倒ミラー１７との間
には、第２のミラー２０と、第２の可倒ミラー２７が設
けられている。第２の可倒ミラー２７は第２のミラー２
１、２つの第３及び第４のミラー可倒装置（ピエゾアク
チュエータ）２３，２４から構成される。

【００３６】第１の可倒ミラー２８も同様の構成で第１
のミラー２２、２つの第１及び第２のミラー可倒装置２
５，２６から構成される。

【００３７】図５（Ｂ）は、図５（Ａ）を上から見た構
成図であるとしたとき、第１の可倒ミラー２８を横から
見た図である。図５（Ａ）と図５（Ｂ）を参照すると、
第１の可倒ミラー２８は、第２の可倒ミラー２７を９０
°回転させた構成となっており、第２の可倒ミラー２７
で主要光にＸ方向の指向角度を、第１の可倒ミラー２８
でＹ方向の指向角度を付与することができる。

【００３８】また、第１乃至第４のミラー可倒装置２３
〜２６は、ムービングコイルや回転モータ付マイクロメ
ータヘッド等に置き換えてもよい。図５に示した実施の
形態例では、１つの可倒ミラーと２つのミラー可倒装置
を逆相で駆動させることにより、指向角度を与えている
が、一方のミラー可倒装置をミラーを支持する支点に置
き換え、１つのミラー可倒装置で可倒ミラーを駆動させ
ても構わない。

【００３９】なお、第１及び第２のスリット部材５、６
は、１つの干渉計でＸ方向とＹ方向の２方向の干渉縞を
形成させるよう、第１及びスリット部材５，６にはそれ
ぞれ、Ｘ方向とＹ方向と２本の切れ込み（スリット部）
５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂを入れる。Ｘ軸と平行に入れた
切れ込み５ａは、干渉縞１８においてＹ方向に干渉縞の
列を形成し、Ｙ軸と平行に入れた切れ込み６ｂは干渉縞
１８において、Ｘ方向に干渉縞の列を形成する。

【００４０】また、本装置の干渉計の原理は、二光波干
渉であるので、第１及び第２のスリット部材５，６を集
光レンズ８の方向から第３のビームスプリッター７を通
してみたとき、第１のスリット部材５のＸ方向の切れ込
み５ａとスリット部材６のＸ方向切れ込み６ａは、互い
に重ならずに距離を置いた同一長さの平行線であること
が必要である。この切れ込みの平行線の距離が小さいほ
ど干渉縞の間隔は広がるので、送信光の微小な指向角度
を検出するには、第１のスリット部材５と第２のスリッ
ト部材６の切れ込みの間隔距離は小さい方が良い。第１
及び第２のスリット部材５，６のＹ方向の切れ込み５
ｂ，６ｂの条件についても同じことが言える。

【００４１】また、切れ込み５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂの
幅は小さいほど明瞭な干渉縞を形成できるが、明線の明
るさ自体は暗くなるので、光センサの受光信号のＳ／Ｎ
が許す限り、スリット部材幅を細くするほど、送信光指
向角度を高感度に検出できる。

【００４２】干渉縞１８の一本一本の縞の長さは、第１
及び第２のスリット部材５、６の切れ込み５ａ，５ｂ，
６ａ，６ｂ長さ寸法とほぼ等しい。ＰＤアレイ等の１次
元の第１及び第２の光検出器（光センサ）９、１０で干
渉縞の移動量を測定する場合、一本一本の干渉縞の長さ
のうち、受光面の大きさ程度しか使用しないので、長く
する必要はない。むしろ長くすると、Ｘ方向とＹ方向の
干渉縞が格子状に重なる部分が大きくなり、この部分で
は１次元の第１及び第２の光検出器９、１０では干渉縞
の移動量が測定できないので、好ましくない。ただし、
あまり短くすると、回折の影響が出てくるので、送信光
波長の数倍以上に設定した方がよい。

【００４３】また、Ｘ方向の切り込み５ａとＹ方向の切
れ込み５ｂとを接触させると、その部分で干渉縞が不明
瞭になるので、接触させない方がよい。また、送信光の
強度分布は、ガウス分布であることが多いが、このと
き、光強度はビームの中心付近が最大であるので、第１
及び第２のスリット部材５、６で回折させる光は、ビー
ム中心に近い光を用いた方が明るい干渉縞が得られる。

【００４４】図３では、これらのことを考慮した第１及
び第２のスリット部材５，６の一例である。

【００４５】ＣＣＤ等の２次元的に光を測定できる光セ
ンサを用いて画像処理等の手法を用いるならば、第１及
び第２のスリット部材５，６の切れ込み５ａ，５ｂ，６
ａ，６ｂ長を長い寸法とし、干渉縞の長さを長い寸法と
して、Ｘ方向とＹ方向の干渉縞の格子状の重なり部分を
用いて、両軸方向の移動量を検出することも可能であ
る。

【００４６】送信光の指向角度に対する干渉縞１８の移
動感度は、例えば、図１に示したように、第１の可倒ミ
ラー１７から第２のスリット部材６までの光路長に比例
するので、第１の可倒ミラー１７から第２のスリット部
材６までの間に、複数のミラーを用いて光路長を長くす
ると、より高感度な指向角度の検出、および制御が実現
できる。その際、ミラーは送信光への影響を少なくする
ために、第２のビームスプリッター４と第２のスリット
部材６との間に挿入し、別の光路を追加して長くする方
がよい。

【００４７】干渉縞１８の移動を計測する光検出器９，
１０は、ＣＣＤ等の２次元的に光を測定できるセンサを
用いて画像処理等の手法を用いることで、１つのセンサ
でＸ方向とＹ方向の干渉縞の移動距離を同時に測定でき
る。また、干渉縞は、明暗の繰り返しであるので、干渉
縞の明線と暗線との間隔よりも小さな受光面を持つＰＤ
等の光センサで、縞の通過本数を数えることにより、デ
ジタル的に指向角度を測定することも可能である。

【００４８】

【発明の効果】本発明の空間光送信装置によると、送信
光の指向角度を送信光のビームスポットそのものの移動
量としてではなく、ビームクオリティとは無関係である
干渉縞を形成し、干渉縞の移動量として検出するため、
送信光のビームクオリティ、およびその変化が送信光の
指向角度検出に全く影響を及ぼさない。

【００４９】また、送信光の一部を用いて干渉縞を形成
し、その移動量から指向角度を検出することにより、送
信ビームのビームクオリティによらず高精度に送信光に
指向角度を付与する。

【００５０】また、ビームの形状、強度分布、およびこ
れらの変動は干渉縞の形成とは全く無関係であるので、
指向角度の検出にも全く影響を与えない。

【００５１】さらに、指向角度を付与する前の送信光の
一部を用いて参照光を用意する。指向角度付与後の送信
光の一部と、参照光とを干渉させることにより、干渉縞
を形成させ、干渉縞は指向角度の大きさにより平行移動
するが送信光のビームクオリティによらない指向角度の
検出、制御が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の空間光送信装置の一実施の形態例を示
すブロック図である。

【図２】図１に示した指向角度を送信光に付与する可倒
ミラーの構成を示す斜視図である。

【図３】図１の干渉縞を形成するためのスリット部材の
一例を示す図である。

【図４】図１の干渉縞波形を示す構成図である。

【図５】（Ａ）本発明の空間光送信装置の第２の実施の
形態例の送信光に指向角度を付与する部分の構成を示す
ブロック図、（Ｂ）は（Ａ）の可倒ミラー部を横から見
た側面図である。

【符号の説明】

１光源２第１のビームスプリッター３第１のミラー４第２のビームスプリッター５第１のスリット部材６第２のスリット部材７第３のビームスプリッター８集光レンズ９第１の光検出器１０第２の光検出器１１第１比較器１２第２の比較器１５第１のミラー可倒装置１６第２のミラー可倒装置１７第１の可倒ミラー１８干渉縞１９可倒ミラーの支点２０第３のミラー２３第３のミラー可倒装置２４第４のミラー可倒装置２７第２の可倒ミラー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】送信光の一部を用いて干渉縞を形成し、
その移動量から指向角度を検出することにより指向角度
を付与する空間光送信装置において、光源と、該光源か
ら出力されるビームを透過させる第１のビームスプリッ
ターと、該第１のビームスプリッターを透過した前記ビ
ームを通過させる第１のスリット部材と、前記光源から
出力される前記ビームを前記第１のビームスプリッター
によって反射させ、さらに前記ビームを反射させる第１
の可倒ミラーと、該第１の可倒ミラーにより反射させた
ビームを前記送信光として通過させる第２のビームスプ
リッターと、該第２のビームスプリッターによって反射
させた前記ビームを通過させる第２のスリット部材と、
前記第１のスリット部材を通過した前記ビームおよび前
記第２のビームスプリッターによって反射させた前記ビ
ームを合成する第３のビームスプリッターと、該第３の
ビームスプリッターで合成した前記ビームを集光するこ
とによって干渉縞が形成され、指向角度が付与される前
の前記ビームの一部と指向角度が付与され後の前記ビー
ムの一部とを用いて前記干渉縞の移動量により前記送信
光の指向角度を検出し制御する手段とを有していること
を特徴とする空間光送信装置。
【請求項２】請求項１記載の空間光送信装置におい
て、前記第１のビームスプリッターと前記第１の可倒ミ
ラーとの間には、前記光源から出力された前記ビームを
前記第１のビームスプリッターによって反射させ、さら
に前記ビームを反射させる第２のミラーと、該第２のミ
ラーによって反射させた前記ビームを前記第１の可倒ミ
ラーへ反射させる第２の可倒ミラーとが設けられている
ことを特徴とする空間光送信装置。
【請求項３】請求項１記載の空間光送信装置におい
て、前記送信光の指向角度を検出し制御する手段は、Ｘ
方向の前記干渉縞の移動量を検出する第１の光検出器
と、Ｙ方向の前記干渉縞の移動量を検出する第２の検出
器と、前記Ｘ方向の指向角度設定値を比較する第１の比
較器と、前記Ｙ方向の干渉縞の指向角度設定値を比較す
る第２の比較器とを含み、指向角度設定値と比較し、前
記可倒ミラーをフィードバック制御することにより前記
送信光に指向角度を付与することを特徴とする空間光送
信装置。
【請求項４】請求項１記載の空間光送信装置におい
て、前記第１及び第２のスリット部材はそれぞれにスリ
ット部を有し、該スリット部を用いることにより１つの
干渉計を用いて、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の両軸の
前記干渉縞を同時に形成することにより、前記Ｘ方向お
よび前記Ｙ方向の前記送信光の指向角度を同時に検出す
ることを特徴とする空間光送信装置。
【請求項５】請求項１記載の空間光送信装置におい
て、前記第１及び第２のスリット部材のそれぞれに第１
のスリット部と、該第１のスリットを直交する第２のス
リット部とを有していることを特徴とする空間光送信装
置。