JPH1052817A - ワイヤーソー - Google Patents
ワイヤーソーInfo
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- JPH1052817A JPH1052817A JP22747096A JP22747096A JPH1052817A JP H1052817 A JPH1052817 A JP H1052817A JP 22747096 A JP22747096 A JP 22747096A JP 22747096 A JP22747096 A JP 22747096A JP H1052817 A JPH1052817 A JP H1052817A
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Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤーソーによる加工において、被加工物
の加工精度をよくするとともに、被加工物の歩留まりを
向上させ、加工速度を早くし、かつ、多溝ローラー寿命
の長いワイヤーソーを提供する。 【解決手段】 表面に複数のワイヤー溝を備えた多溝ロ
ーラーに加工用ワイヤ−を張設し、該ワイヤ−を移動さ
せて被加工物を加工するワイヤ−ソ−で、かつ該多溝ロ
ーラーを３本以上備えたワイヤーソーにおいて、該多溝
ローラーのすくなくとも溝部が樹脂で構成された樹脂製
多溝ローラーと、該多溝ローラーのすくなくとも溝部が
セラミックスで構成されたセラミックス製多溝ローラー
の２種類の該多溝ローラーが取り付けられていることを
特徴とする。
の加工精度をよくするとともに、被加工物の歩留まりを
向上させ、加工速度を早くし、かつ、多溝ローラー寿命
の長いワイヤーソーを提供する。 【解決手段】 表面に複数のワイヤー溝を備えた多溝ロ
ーラーに加工用ワイヤ−を張設し、該ワイヤ−を移動さ
せて被加工物を加工するワイヤ−ソ−で、かつ該多溝ロ
ーラーを３本以上備えたワイヤーソーにおいて、該多溝
ローラーのすくなくとも溝部が樹脂で構成された樹脂製
多溝ローラーと、該多溝ローラーのすくなくとも溝部が
セラミックスで構成されたセラミックス製多溝ローラー
の２種類の該多溝ローラーが取り付けられていることを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン、磁性
体、水晶等に切断、溝入等の加工を行うワイヤーソーに
関するものである。
体、水晶等に切断、溝入等の加工を行うワイヤーソーに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤーソーは、ワイヤーを張設した複
数の多溝ローラーを備えており、該多溝ローラーを回転
させて該ワイヤーを直線運動させることにより、シリコ
ン、磁性体、水晶、セラミックス等の被加工物（ワー
ク）を切断、溝入等の加工をする装置である。従来から
ワイヤーソー用の多溝ローラーとして、表面の溝部をナ
イロン、ウレタン等の合成樹脂からなるロ−ラ−が広く
用いられて来たが、溝部の摩耗が激しいことや熱膨張に
よる寸法精度の保持が困難であることなどの問題があ
り、その解決のため溝部をセラミックス等の高硬度物体
とした多溝ローラーを三角形状に配置したワイヤーソー
が提案されている（特開昭６３−２３７８６３）。
数の多溝ローラーを備えており、該多溝ローラーを回転
させて該ワイヤーを直線運動させることにより、シリコ
ン、磁性体、水晶、セラミックス等の被加工物（ワー
ク）を切断、溝入等の加工をする装置である。従来から
ワイヤーソー用の多溝ローラーとして、表面の溝部をナ
イロン、ウレタン等の合成樹脂からなるロ−ラ−が広く
用いられて来たが、溝部の摩耗が激しいことや熱膨張に
よる寸法精度の保持が困難であることなどの問題があ
り、その解決のため溝部をセラミックス等の高硬度物体
とした多溝ローラーを三角形状に配置したワイヤーソー
が提案されている（特開昭６３−２３７８６３）。
【０００３】しかし、このワイヤーソーは三角形状に配
置された３本のローラーはいずれも溝部がセラミックス
等の高硬度物体で形成されており、次のような問題があ
る。
置された３本のローラーはいずれも溝部がセラミックス
等の高硬度物体で形成されており、次のような問題があ
る。
【０００４】溝部をセラミックス等で形成した如きセラ
ミックス製多溝ローラーの場合は、ワイヤー溝がセラミ
ックスであるため、合成樹脂等と比較して非常に硬い。
そのためワイヤー溝の摩耗は少ないが、溝部に荷重が加
わったときにワイヤー溝の変形がほとんど無いため、多
溝ローラーの揺れ等による偏荷重がかかった場合にはロ
ーラーの方で緩衝吸収することが出来ず、すべてワイヤ
ーにかかることになり、ワイヤーの脱線、断線が発生し
やすい。一旦ワイヤーの脱線、断線が発生すると加工中
の被加工物を駄目にしてしまうことが多い。しかも、該
多溝ローラーの硬さから、ワイヤーのビビリ、各ワイヤ
ーの張力の急激な変動などをローラーにおいて吸収出来
ないため、その影響により加工中に、被加工物に小さな
欠け、バリ等が発生し易い。
ミックス製多溝ローラーの場合は、ワイヤー溝がセラミ
ックスであるため、合成樹脂等と比較して非常に硬い。
そのためワイヤー溝の摩耗は少ないが、溝部に荷重が加
わったときにワイヤー溝の変形がほとんど無いため、多
溝ローラーの揺れ等による偏荷重がかかった場合にはロ
ーラーの方で緩衝吸収することが出来ず、すべてワイヤ
ーにかかることになり、ワイヤーの脱線、断線が発生し
やすい。一旦ワイヤーの脱線、断線が発生すると加工中
の被加工物を駄目にしてしまうことが多い。しかも、該
多溝ローラーの硬さから、ワイヤーのビビリ、各ワイヤ
ーの張力の急激な変動などをローラーにおいて吸収出来
ないため、その影響により加工中に、被加工物に小さな
欠け、バリ等が発生し易い。
【０００５】又、ワイヤーソーが、ワイヤーの往復運動
により被加工物を切断、溝入が可能な装置において、セ
ラミックス製多溝ローラーを使用したワイヤーソーで
は、溝部を合成樹脂等で形成した樹脂製多溝ローラーを
使用したワイヤーソーと比較してローラー溝部とワイヤ
ーとの摩擦力が小さい為、多溝ローラーを正逆反転する
際に、ワイヤーソーの動きと直結したドライブ用多溝ロ
ーラーの動きにワイヤー等が、正確に追従出来ず、ワイ
ヤーと多溝ローラー間でスリップをおこす。このスリッ
プによりワイヤー、砥粒、ワイヤー溝がこすれあって、
該多溝ローラーのワイヤー溝の摩耗の原因ともなってい
る。従って、素早く反転出来ないためドライブ用多溝ロ
ーラーの反転速度を遅くしなければならず、加工が遅く
なる。しかも、樹脂製多溝ローラーと比較して、セラミ
ックス製多溝ローラーは、重量も重いため慣性力が大き
くなり、素早い反転が出来ない原因の一つとなってい
る。また、ワイヤーと多溝ローラー間にスリップが発生
すると、ワイヤーにビビリが発生して、これによって被
加工物に欠け・バリを生ずると共に加工精度も悪くな
る。このことも、多溝ローラーを早く反転出来ない原因
の１つである。
により被加工物を切断、溝入が可能な装置において、セ
ラミックス製多溝ローラーを使用したワイヤーソーで
は、溝部を合成樹脂等で形成した樹脂製多溝ローラーを
使用したワイヤーソーと比較してローラー溝部とワイヤ
ーとの摩擦力が小さい為、多溝ローラーを正逆反転する
際に、ワイヤーソーの動きと直結したドライブ用多溝ロ
ーラーの動きにワイヤー等が、正確に追従出来ず、ワイ
ヤーと多溝ローラー間でスリップをおこす。このスリッ
プによりワイヤー、砥粒、ワイヤー溝がこすれあって、
該多溝ローラーのワイヤー溝の摩耗の原因ともなってい
る。従って、素早く反転出来ないためドライブ用多溝ロ
ーラーの反転速度を遅くしなければならず、加工が遅く
なる。しかも、樹脂製多溝ローラーと比較して、セラミ
ックス製多溝ローラーは、重量も重いため慣性力が大き
くなり、素早い反転が出来ない原因の一つとなってい
る。また、ワイヤーと多溝ローラー間にスリップが発生
すると、ワイヤーにビビリが発生して、これによって被
加工物に欠け・バリを生ずると共に加工精度も悪くな
る。このことも、多溝ローラーを早く反転出来ない原因
の１つである。
【０００６】さらに近年では、被加工物の加工代を少な
くするためワイヤー径を細くしたり、要求加工精度も高
く、加工速度も早くするためによりワイヤーに高張力を
かけるようになり、前述の問題点がより重大な問題とな
っている。
くするためワイヤー径を細くしたり、要求加工精度も高
く、加工速度も早くするためによりワイヤーに高張力を
かけるようになり、前述の問題点がより重大な問題とな
っている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記事情に鑑
み、ワイヤーソーによる加工において、被加工物の加工
精度をよくするとともに、被加工物の歩留まりを向上さ
せ、加工速度を早くし、かつ、多溝ローラー寿命の長い
ワイヤーソーを以下の手段により構成した。
み、ワイヤーソーによる加工において、被加工物の加工
精度をよくするとともに、被加工物の歩留まりを向上さ
せ、加工速度を早くし、かつ、多溝ローラー寿命の長い
ワイヤーソーを以下の手段により構成した。
【０００８】本発明は、表面に複数のワイヤー溝を備え
た多溝ローラーに加工用ワイヤ−を張設し、該ワイヤ−
を移動させて被加工物を加工するワイヤ−ソ−で、かつ
該多溝ローラーを３本以上備えたワイヤーソーにおい
て、該多溝ローラーのすくなくとも溝部が樹脂で構成さ
れた樹脂製多溝ローラーと、該多溝ローラーのすくなく
とも溝部がセラミックスで構成されたセラミックス製多
溝ローラーの２種類の該多溝ローラーが取り付けられて
いることを特徴とするワイヤーソーである。
た多溝ローラーに加工用ワイヤ−を張設し、該ワイヤ−
を移動させて被加工物を加工するワイヤ−ソ−で、かつ
該多溝ローラーを３本以上備えたワイヤーソーにおい
て、該多溝ローラーのすくなくとも溝部が樹脂で構成さ
れた樹脂製多溝ローラーと、該多溝ローラーのすくなく
とも溝部がセラミックスで構成されたセラミックス製多
溝ローラーの２種類の該多溝ローラーが取り付けられて
いることを特徴とするワイヤーソーである。
【０００９】また本発明は、上記発明において被加工物
に相対する２本の多溝ローラーが、すくなくとも溝部を
セラミックスで構成されたセラミックス製多溝ローラー
であることを特徴とするワイヤーソーである。
に相対する２本の多溝ローラーが、すくなくとも溝部を
セラミックスで構成されたセラミックス製多溝ローラー
であることを特徴とするワイヤーソーである。
【００１０】また本発明は、上記発明において多溝ロー
ラーに張設した加工用ワイヤーに駆動力を与える多溝ロ
ーラーが、すくなくとも溝部を樹脂で構成された樹脂製
多溝ローラーであることを特徴とするワイヤーソーであ
る。
ラーに張設した加工用ワイヤーに駆動力を与える多溝ロ
ーラーが、すくなくとも溝部を樹脂で構成された樹脂製
多溝ローラーであることを特徴とするワイヤーソーであ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明は、セラミックス製および
樹脂製の２種類の多溝ローラーが、全く違った特性を有
していることに着目し、１装置内で１種類の多溝ローラ
ーを使用するのではなく、装置内の各部位の多溝ローラ
ーに要求される機能を有した、多溝ローラーを適選、配
置することにより、ワイヤーソーの性能を向上させたも
のである。
樹脂製の２種類の多溝ローラーが、全く違った特性を有
していることに着目し、１装置内で１種類の多溝ローラ
ーを使用するのではなく、装置内の各部位の多溝ローラ
ーに要求される機能を有した、多溝ローラーを適選、配
置することにより、ワイヤーソーの性能を向上させたも
のである。
【００１２】以下本発明を実施例の第１図に基づき説明
する。第１図はワイヤーソーの多溝ローラー部分を示す
ものである。被加工物３に相対する２本のヘッド用多溝
ローラー１ａ、１ｂと、これらのヘッド用ローラーの上
方に１本のドライブ用多溝ローラー２が設けられてい
る。これらの多溝ローラー間には加工用ワイヤー４が張
設されている。ドライブ用多溝ローラー２には駆動用モ
ーター（図示せず）が連結しており、該駆動用モーター
によってドライブ用多溝ローラー２が回転をすると多溝
ローラー間に張設されている加工用ワイヤー４が移動運
動する。ヘッド用ローラー１ａ、１ｂ間に張設された加
工用ワイヤーに当接するように設置された被加工物３
は、加工用ワイヤー４の移動運動によって切断・溝入等
の加工がなされる。この際被加工物３は加工物台５、も
しくは多溝ローラーが移動することにより、非加工物に
砥液とワイヤーを押しつけながら加工は進行する。
する。第１図はワイヤーソーの多溝ローラー部分を示す
ものである。被加工物３に相対する２本のヘッド用多溝
ローラー１ａ、１ｂと、これらのヘッド用ローラーの上
方に１本のドライブ用多溝ローラー２が設けられてい
る。これらの多溝ローラー間には加工用ワイヤー４が張
設されている。ドライブ用多溝ローラー２には駆動用モ
ーター（図示せず）が連結しており、該駆動用モーター
によってドライブ用多溝ローラー２が回転をすると多溝
ローラー間に張設されている加工用ワイヤー４が移動運
動する。ヘッド用ローラー１ａ、１ｂ間に張設された加
工用ワイヤーに当接するように設置された被加工物３
は、加工用ワイヤー４の移動運動によって切断・溝入等
の加工がなされる。この際被加工物３は加工物台５、も
しくは多溝ローラーが移動することにより、非加工物に
砥液とワイヤーを押しつけながら加工は進行する。
【００１３】この実施例において、被加工物３に相対す
る２本の多溝ローラーすなわちヘッド用多溝ローラー１
ａ、１ｂにはワイヤー溝部がセラミックス（アルミナ）
で形成されたセラミックス製多溝ローラーが採用され、
ドライブ用多溝ローラー２にはワイヤー溝部が樹脂（ナ
イロン）で形成された樹脂製多溝ローラーが採用されて
いる。
る２本の多溝ローラーすなわちヘッド用多溝ローラー１
ａ、１ｂにはワイヤー溝部がセラミックス（アルミナ）
で形成されたセラミックス製多溝ローラーが採用され、
ドライブ用多溝ローラー２にはワイヤー溝部が樹脂（ナ
イロン）で形成された樹脂製多溝ローラーが採用されて
いる。
【００１４】被加工物３に相対する２本のヘッド用多溝
ローラー１ａ、１ｂは、ワイヤー溝の精度が被加工物の
加工精度に大きく影響を及ぼす。よって、ヘッド用多溝
ローラーは、少なくともワイヤー溝部がセラミックスで
形成されたセラミックス製多溝ローラーを採用するのが
望ましい。本発明で使用するセラミックス製多溝ローラ
ーはすべての部位が、セラミックスで形成されていても
よいし、ワイヤー溝部をセラミックスで形成し、他は金
属等の他部材で形成したもの（例えば特開昭６３−２３
７８６３記載の多溝ローラー）であってもよい。ここで
のセラミックスは、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、
窒化珪素などの硬質セラミックスが用いられる。
ローラー１ａ、１ｂは、ワイヤー溝の精度が被加工物の
加工精度に大きく影響を及ぼす。よって、ヘッド用多溝
ローラーは、少なくともワイヤー溝部がセラミックスで
形成されたセラミックス製多溝ローラーを採用するのが
望ましい。本発明で使用するセラミックス製多溝ローラ
ーはすべての部位が、セラミックスで形成されていても
よいし、ワイヤー溝部をセラミックスで形成し、他は金
属等の他部材で形成したもの（例えば特開昭６３−２３
７８６３記載の多溝ローラー）であってもよい。ここで
のセラミックスは、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、
窒化珪素などの硬質セラミックスが用いられる。
【００１５】セラミックス製多溝ローラーを用いること
により、表１に示すとおり樹脂製多溝ローラーより熱膨
脹係数が非常に小さいため、温度変化に対するワイヤー
溝のピッチの変化が小さく、またワイヤー溝部が硬いた
めワイヤーの張力によるワイヤーソー溝の変形が極めて
小さいので、ワイヤー溝のピッチがワイヤーの張力によ
って変わらないという効果が発揮される。
により、表１に示すとおり樹脂製多溝ローラーより熱膨
脹係数が非常に小さいため、温度変化に対するワイヤー
溝のピッチの変化が小さく、またワイヤー溝部が硬いた
めワイヤーの張力によるワイヤーソー溝の変形が極めて
小さいので、ワイヤー溝のピッチがワイヤーの張力によ
って変わらないという効果が発揮される。
【００１６】
【表１】
【００１７】さらにセラミックスは耐摩耗性が高い為、
溝形状を樹脂製多溝ローラーより長時間正確に維持でき
る。実験の結果、セラミックス製多溝ローラーは、図６
に示すとおり、多溝ローラーの軸芯に対してラジアル方
向のみに摩耗が進んでいくことが判り、ある程度ワイヤ
ー溝の摩耗が進んでも溝ピッチ精度は、狂わず長時間安
定した精度で、被加工物を加工することが可能である。
溝形状を樹脂製多溝ローラーより長時間正確に維持でき
る。実験の結果、セラミックス製多溝ローラーは、図６
に示すとおり、多溝ローラーの軸芯に対してラジアル方
向のみに摩耗が進んでいくことが判り、ある程度ワイヤ
ー溝の摩耗が進んでも溝ピッチ精度は、狂わず長時間安
定した精度で、被加工物を加工することが可能である。
【００１８】一方、樹脂製多溝ローラーは、図７に示す
とおりワイヤー溝の摩耗が、多溝ローラーの軸芯に対し
てラジアル方向だけではなくアキシャル方向にも摩耗し
ていく為、ワイヤー溝のピッチが狂ってしまい、被加工
物の加工精度がすぐに悪くなってしまうという欠点があ
る反面、硬さが小さいためワイヤー溝部に偏荷重等がか
かってもある程度ワイヤー溝部にて吸収が可能であり、
またワイヤー溝部におけるワイヤーとの摩擦力はセラミ
ックスに比べ樹脂の方が大きい利点がある。
とおりワイヤー溝の摩耗が、多溝ローラーの軸芯に対し
てラジアル方向だけではなくアキシャル方向にも摩耗し
ていく為、ワイヤー溝のピッチが狂ってしまい、被加工
物の加工精度がすぐに悪くなってしまうという欠点があ
る反面、硬さが小さいためワイヤー溝部に偏荷重等がか
かってもある程度ワイヤー溝部にて吸収が可能であり、
またワイヤー溝部におけるワイヤーとの摩擦力はセラミ
ックスに比べ樹脂の方が大きい利点がある。
【００１９】本発明において、２本のヘッド用多溝ロー
ラーを含むすべて多溝ローラーにセラミックス製多溝ロ
ーラーを採用した場合、表１に示すように弾性係数が１
桁以上の差があり樹脂に比べワイヤー溝の変形が少ない
ため、多溝ローラーの揺れ、ワイヤーのビビリ、各ワイ
ヤーの張力の急激な変化等をセラミックス製多溝ローラ
ーによって吸収する事が出来ない。よって発生する偏荷
重のすべてをワイヤーで受けなければならないためワイ
ヤーの脱線、断線もしくは、被加工物の加工面のビビ
リ、バリ等の発生の原因となる。
ラーを含むすべて多溝ローラーにセラミックス製多溝ロ
ーラーを採用した場合、表１に示すように弾性係数が１
桁以上の差があり樹脂に比べワイヤー溝の変形が少ない
ため、多溝ローラーの揺れ、ワイヤーのビビリ、各ワイ
ヤーの張力の急激な変化等をセラミックス製多溝ローラ
ーによって吸収する事が出来ない。よって発生する偏荷
重のすべてをワイヤーで受けなければならないためワイ
ヤーの脱線、断線もしくは、被加工物の加工面のビビ
リ、バリ等の発生の原因となる。
【００２０】そこで２本のヘッド用多溝ローラー以外の
少なくとも１本を樹脂製多溝ローラーにする事により、
該樹脂製多溝ローラーがクッション材となり、ワイヤー
脱線断線又、被加工物の加工面のビビリ、バリなどの発
生を抑えることができる。
少なくとも１本を樹脂製多溝ローラーにする事により、
該樹脂製多溝ローラーがクッション材となり、ワイヤー
脱線断線又、被加工物の加工面のビビリ、バリなどの発
生を抑えることができる。
【００２１】実際に多溝ローラーが３本であるワイヤー
ソーを使用して非加工物の磁性体を切断した結果、３本
共セラミックス製多溝ローラーを使用したワイヤーソー
の場合、５μｍ以下の大きさの欠けが加工後の磁性体に
数カ所確認された。しかし、２本のヘッド用多溝ローラ
ー以外に１本樹脂製多溝ローラーを装着したワイヤーソ
ーによる同条件の加工を行った結果、欠け等は全く発生
しなかった。
ソーを使用して非加工物の磁性体を切断した結果、３本
共セラミックス製多溝ローラーを使用したワイヤーソー
の場合、５μｍ以下の大きさの欠けが加工後の磁性体に
数カ所確認された。しかし、２本のヘッド用多溝ローラ
ー以外に１本樹脂製多溝ローラーを装着したワイヤーソ
ーによる同条件の加工を行った結果、欠け等は全く発生
しなかった。
【００２２】つぎに、多溝ローラーとワイヤーとの摩擦
力について検討した。多溝ローラーの外径が１００ｍｍ
で６０°のＶ型ワイヤー溝に４種類の荷重をかけた、直
径０．１４ｍｍのワイヤーを用い、樹脂製及びセラミッ
クス製多溝ローラーとワイヤーとの摩擦力を調べた結
果、表２の結果となり、樹脂製多溝ローラーの方がセラ
ミックス製多溝ローラーより１００〜２００ｇ／本摩擦
力が大きいことが判明した。仮に、多溝ローラー１本当
たり３００本のワイヤーを巻いた場合、樹脂製多溝ロー
ラーとセラミックス製多溝ローラーとの摩擦力の差は、
３０〜６０Kgと大きな値となる。
力について検討した。多溝ローラーの外径が１００ｍｍ
で６０°のＶ型ワイヤー溝に４種類の荷重をかけた、直
径０．１４ｍｍのワイヤーを用い、樹脂製及びセラミッ
クス製多溝ローラーとワイヤーとの摩擦力を調べた結
果、表２の結果となり、樹脂製多溝ローラーの方がセラ
ミックス製多溝ローラーより１００〜２００ｇ／本摩擦
力が大きいことが判明した。仮に、多溝ローラー１本当
たり３００本のワイヤーを巻いた場合、樹脂製多溝ロー
ラーとセラミックス製多溝ローラーとの摩擦力の差は、
３０〜６０Kgと大きな値となる。
【００２３】
【表２】
【００２４】以上のことから、ワイヤーソーがワイヤー
を往復反転運動をさせながら、被加工物を切断等の加工
をする構造である場合においては、樹脂製多溝ローラー
をドライブ用多溝ローラーに使用すると次のような効果
を発揮する。反転時に大きな伝達力を必要とするドライ
ブ用多溝ローラーに摩擦力の大きい樹脂製多溝ローラー
を使用することにより、反転時のワイヤーと該ドライブ
用多溝ローラーとのスリップの発生を抑えることができ
る。スリップが発生しないため、スリップ時に際に起こ
るワイヤー溝の摩耗を抑えることができかつ、反転速度
を早くすることが出来るため、加工速度も早くなる。
又、スリップが発生するとワイヤーがビビリ、それが被
加工物の加工面にビビリ、欠け等を発生させる要因の１
つになっていたが、それも抑えることが出来る。
を往復反転運動をさせながら、被加工物を切断等の加工
をする構造である場合においては、樹脂製多溝ローラー
をドライブ用多溝ローラーに使用すると次のような効果
を発揮する。反転時に大きな伝達力を必要とするドライ
ブ用多溝ローラーに摩擦力の大きい樹脂製多溝ローラー
を使用することにより、反転時のワイヤーと該ドライブ
用多溝ローラーとのスリップの発生を抑えることができ
る。スリップが発生しないため、スリップ時に際に起こ
るワイヤー溝の摩耗を抑えることができかつ、反転速度
を早くすることが出来るため、加工速度も早くなる。
又、スリップが発生するとワイヤーがビビリ、それが被
加工物の加工面にビビリ、欠け等を発生させる要因の１
つになっていたが、それも抑えることが出来る。
【００２５】更に表１に示すとおり、樹脂はセラミック
スより比重が軽いため、１装置内のすべての多溝ローラ
ー重さの合計も軽くなる。よって慣性力も小さくなり、
上記の効果がさらに大きくなる。
スより比重が軽いため、１装置内のすべての多溝ローラ
ー重さの合計も軽くなる。よって慣性力も小さくなり、
上記の効果がさらに大きくなる。
【００２６】以上は、図１に示す実施例に基づいて説明
したが、他の実施例について以下記載する。図２は本発
明の上記の第１実施例の多溝ローラー部分を示す。多溝
ローラーを３本使用しするワイヤーソーで、１本のドラ
イブ用多溝ローラー２が樹脂製多溝ローラーで、非加工
物３に相対する２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
がセラミックス製多溝ローラーで構成されている。
したが、他の実施例について以下記載する。図２は本発
明の上記の第１実施例の多溝ローラー部分を示す。多溝
ローラーを３本使用しするワイヤーソーで、１本のドラ
イブ用多溝ローラー２が樹脂製多溝ローラーで、非加工
物３に相対する２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
がセラミックス製多溝ローラーで構成されている。
【００２７】図３に本発明の第２実施例の多溝ローラー
部分を示す。第１実施例の多溝ローラーの配置を上下逆
位置にした構造になっており、上方に非加工物３および
それに相対して２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
が配置され、該２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
はセラミックス製多溝ローラーで、下方の１本のドライ
ブ用多溝ローラー２は樹脂製多溝ローラーで構成されて
いる。
部分を示す。第１実施例の多溝ローラーの配置を上下逆
位置にした構造になっており、上方に非加工物３および
それに相対して２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
が配置され、該２本のヘッド用多溝ローラー１ａ、１ｂ
はセラミックス製多溝ローラーで、下方の１本のドライ
ブ用多溝ローラー２は樹脂製多溝ローラーで構成されて
いる。
【００２８】図４に本発明の第３実施例の多溝ローラー
部分を示す。多溝ローラーを４本使用するワイヤーソー
であって、下方に被加工物３を、それに相対してヘッド
用多溝ローラー１ａ、１ｂが配置され、上方ドライブ用
多溝ローラー２ａおよびガイド用多溝ローラー２ｂがそ
れぞれ１本が配置され、ヘッド用多溝ローラー１ａ、１
ｂはセラミックス製多溝ローラーで、他の２本の多溝ロ
ーラー２ａ、２ｂは樹脂製多溝ローラーで構成されてい
る。
部分を示す。多溝ローラーを４本使用するワイヤーソー
であって、下方に被加工物３を、それに相対してヘッド
用多溝ローラー１ａ、１ｂが配置され、上方ドライブ用
多溝ローラー２ａおよびガイド用多溝ローラー２ｂがそ
れぞれ１本が配置され、ヘッド用多溝ローラー１ａ、１
ｂはセラミックス製多溝ローラーで、他の２本の多溝ロ
ーラー２ａ、２ｂは樹脂製多溝ローラーで構成されてい
る。
【００２９】図５に本発明の第４実施例の多溝ローラー
部分を示す。多溝ローラーを４本使用するワイヤーソー
であって、第３実施例の配置を上下逆にしたものであ
る。第３実施例に準じてヘッド用多溝ローラー１ａ、１
ｂはセラミックス製多溝ローラーで、他の２本の多溝ロ
ーラー２ａ、２ｂは樹脂製多溝ローラーで構成されてい
る。
部分を示す。多溝ローラーを４本使用するワイヤーソー
であって、第３実施例の配置を上下逆にしたものであ
る。第３実施例に準じてヘッド用多溝ローラー１ａ、１
ｂはセラミックス製多溝ローラーで、他の２本の多溝ロ
ーラー２ａ、２ｂは樹脂製多溝ローラーで構成されてい
る。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、ワイヤーソーの１装置内にお
いて、樹脂製多溝ローラーとセラミックス製多溝ローラ
ーを組み合わせ、適選配置することにより、次の様な顕
著な効果を奏する。ワイヤー溝のピッチ精度が向上する
ことにより、被加工物の精度が向上する。樹脂製及びセ
ラミックス製多溝ローラーの対摩耗性が向上する。ワイ
ヤーの脱線、断線を起こしにくくなる。被加工物の欠
け、ビビリ等が減少する。多溝ローラーの反転動作が早
く出来、結果加工時間が短くなる。被加工物の歩留まり
が向上する。
いて、樹脂製多溝ローラーとセラミックス製多溝ローラ
ーを組み合わせ、適選配置することにより、次の様な顕
著な効果を奏する。ワイヤー溝のピッチ精度が向上する
ことにより、被加工物の精度が向上する。樹脂製及びセ
ラミックス製多溝ローラーの対摩耗性が向上する。ワイ
ヤーの脱線、断線を起こしにくくなる。被加工物の欠
け、ビビリ等が減少する。多溝ローラーの反転動作が早
く出来、結果加工時間が短くなる。被加工物の歩留まり
が向上する。
【図１】本発明の第１実施例のワイヤーソーの多溝ロー
ラー部分の要部を示す斜視図である。
ラー部分の要部を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例のワイヤーソーの多溝ロー
ラー部分の概要を示す説明図である。
ラー部分の概要を示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施例のワイヤーソーの多溝ロー
ラー部分の概要を示す説明図である。
ラー部分の概要を示す説明図である。
【図４】本発明の第３実施例のワイヤーソーの多溝ロー
ラー部分の概要を示す説明図である。
ラー部分の概要を示す説明図である。
【図５】本発明の第４実施例のワイヤーソーの多溝ロー
ラー部分の概要を示す説明図である。
ラー部分の概要を示す説明図である。
【図６】セラミックス製多溝ローラーのワイヤー溝断面
の概略図ある。
の概略図ある。
【図７】樹脂製多溝ローラーのワイヤー溝断面の概略図
ある。
ある。
１ａ、１ｂ ヘッド用多溝ローラー ２，２ａ ドライブ用多溝ローラー ２ｂ ガイド用多溝ローラー ３ 被加工物 ４ ワイヤー ５ 砥液供給装置 ６ 加工物台
Claims (3)
- 【請求項１】 表面に複数のワイヤー溝を備えた多溝ロ
ーラーに加工用ワイヤ−を張設し、該ワイヤ−を移動さ
せて被加工物を加工するワイヤ−ソ−で、かつ該多溝ロ
ーラーを３本以上備えたワイヤーソーにおいて、該多溝
ローラーのすくなくとも溝部が樹脂で構成された樹脂製
多溝ローラーと、該多溝ローラーのすくなくとも溝部が
セラミックスで構成されたセラミックス製多溝ローラー
の２種類の多溝ローラーが取り付けられていることを特
徴とするワイヤーソー。 - 【請求項２】 被加工物に相対する２本の多溝ローラー
が、すくなくとも溝部をセラミックスで構成されたセラ
ミックス製多溝ローラーであることを特徴とする請求項
１記載のワイヤーソー。 - 【請求項３】 多溝ローラーに張設したワイヤーに駆動
力を与える多溝ローラーが、すくなくとも溝部を樹脂で
構成された樹脂製多溝ローラーであることを特徴とする
請求項１、２記載のワイヤーソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22747096A JP3631857B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22747096A JP3631857B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ワイヤーソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1052817A true JPH1052817A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3631857B2 JP3631857B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=16861394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22747096A Expired - Fee Related JP3631857B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3631857B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009233779A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | ローラ部材およびワイヤソー装置 |
| JP2012017357A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Dic Corp | ローラ用２液硬化型ポリウレタン樹脂組成物、及びワイヤーソー用ローラ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102328350A (zh) * | 2011-06-20 | 2012-01-25 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种用于硅片切割的主辊 |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP22747096A patent/JP3631857B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009233779A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Kyocera Corp | ローラ部材およびワイヤソー装置 |
| JP2012017357A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Dic Corp | ローラ用２液硬化型ポリウレタン樹脂組成物、及びワイヤーソー用ローラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3631857B2 (ja) | 2005-03-23 |
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