JPH1054599A - 排気装置のフィルター - Google Patents
排気装置のフィルターInfo
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- JPH1054599A JPH1054599A JP8213554A JP21355496A JPH1054599A JP H1054599 A JPH1054599 A JP H1054599A JP 8213554 A JP8213554 A JP 8213554A JP 21355496 A JP21355496 A JP 21355496A JP H1054599 A JPH1054599 A JP H1054599A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- capturing
- plate
- cylinder
- intake
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルターの構成を簡単にするとともに、捕
捉能力を向上させ、油脂分が付着しにくくする。 【解決手段】 吸気側捕捉板と排気側捕捉板とを互いに
間隔を有して配置させ、吸気側捕捉板には多数の吸気口
を穿設させるとともに、吸気口に排気側捕捉板に延びる
捕捉筒を突設した。また、排気側捕捉板には捕捉筒と対
応しない位置に多数の排気口を開口させた構成である。
捉能力を向上させ、油脂分が付着しにくくする。 【解決手段】 吸気側捕捉板と排気側捕捉板とを互いに
間隔を有して配置させ、吸気側捕捉板には多数の吸気口
を穿設させるとともに、吸気口に排気側捕捉板に延びる
捕捉筒を突設した。また、排気側捕捉板には捕捉筒と対
応しない位置に多数の排気口を開口させた構成である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レストランなどお
ける厨房の調理装置の上方に配置される排気装置のフィ
ルターに関するものである。
ける厨房の調理装置の上方に配置される排気装置のフィ
ルターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】レストランなどおける厨房の調理装置の
上方には調理で発生する排気を室外に逃がすための排気
装置が設けられている。そして、この排気装置には斜め
に位置したフィルターが設けられており、このフィルタ
ーで排気中に含まれる油脂分を捕捉して除去している。
上方には調理で発生する排気を室外に逃がすための排気
装置が設けられている。そして、この排気装置には斜め
に位置したフィルターが設けられており、このフィルタ
ーで排気中に含まれる油脂分を捕捉して除去している。
【0003】排気中に含まれる油脂分は、排気の流れ方
向を変化させて、捕捉能力を向上させるため、複雑な構
造としている。例えば、吸気側と排気側とにそれぞれ断
面形状が略台形の折曲部を有する捕捉材を連続させて配
置させたもので、捕捉材のそれぞれの折曲部が互いに隣
り合う捕捉材の折曲部に適宜な間隔を有して挿入してい
ることで連続している。従って、排気の流れを変えるた
め、曲がりくねった構造にして、排気通路も長く形成し
ている。
向を変化させて、捕捉能力を向上させるため、複雑な構
造としている。例えば、吸気側と排気側とにそれぞれ断
面形状が略台形の折曲部を有する捕捉材を連続させて配
置させたもので、捕捉材のそれぞれの折曲部が互いに隣
り合う捕捉材の折曲部に適宜な間隔を有して挿入してい
ることで連続している。従って、排気の流れを変えるた
め、曲がりくねった構造にして、排気通路も長く形成し
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のフ
ィルターは、捕捉能力を向上させるため、構造が複雑で
あるばかりか、排気通路を長く形成するため、フィルタ
ーが厚くなり、そのうえ、排気通路には油脂分が付着し
て排気通路の通過面積を狭くして、捕捉能力を低下させ
るものであった。そのため、定期的にフィルターを清掃
する必要があり、この清掃を怠ると、火災の原因ともな
っていた。
ィルターは、捕捉能力を向上させるため、構造が複雑で
あるばかりか、排気通路を長く形成するため、フィルタ
ーが厚くなり、そのうえ、排気通路には油脂分が付着し
て排気通路の通過面積を狭くして、捕捉能力を低下させ
るものであった。そのため、定期的にフィルターを清掃
する必要があり、この清掃を怠ると、火災の原因ともな
っていた。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明のフィルターは、吸気側捕捉板と排気側捕捉
板とを互いに間隔を有して配置し、前記吸気側捕捉板に
は、前記排気側捕捉板に向かって設けた捕捉筒を設置
し、その捕捉筒の吸気口を前記吸気側捕捉板に開口し、
且つ前記排気側捕捉板には、前記捕捉筒と対応しない位
置に排気口を開口したことを特徴とする。
め、本発明のフィルターは、吸気側捕捉板と排気側捕捉
板とを互いに間隔を有して配置し、前記吸気側捕捉板に
は、前記排気側捕捉板に向かって設けた捕捉筒を設置
し、その捕捉筒の吸気口を前記吸気側捕捉板に開口し、
且つ前記排気側捕捉板には、前記捕捉筒と対応しない位
置に排気口を開口したことを特徴とする。
【0006】また、前記排気側捕捉板の前記捕捉筒と対
応する部分が捕捉筒の排気出口を被包するように断面円
弧状に形成されていることを特徴とする。
応する部分が捕捉筒の排気出口を被包するように断面円
弧状に形成されていることを特徴とする。
【0007】また、前記排気側捕捉板の前記捕捉筒と対
応する部分を平板状に形成し、また前記排気側捕捉板の
排気口に筒体を前記吸気側捕捉板に向けて設けたことを
特徴とする。
応する部分を平板状に形成し、また前記排気側捕捉板の
排気口に筒体を前記吸気側捕捉板に向けて設けたことを
特徴とする。
【0008】尚、少なくとも前記吸気側捕捉板の表面お
よび前記吸気側捕捉板の前記吸気口から前記排気側捕捉
板の前記排気口までの排気通路の壁面にフッ素樹脂を被
覆したことを特徴とする。
よび前記吸気側捕捉板の前記吸気口から前記排気側捕捉
板の前記排気口までの排気通路の壁面にフッ素樹脂を被
覆したことを特徴とする。
【0009】先ず、排気は吸気側捕捉板の表面に衝突し
て、比重の重い油脂分が捕捉除去され、更に排気は吸気
口から細径な捕捉筒に流入し、絞られることにより、流
速は速くなり、排気側捕捉板に効果的に衝突して捕捉さ
れ、その後排気口へ向きを変えながら捕捉板に接触しつ
つ遠心力等によって効果的に捕捉除去される。そして、
ほとんど油脂分を除去した排気のみが排気口より排出す
る。吸気側捕捉板、捕捉筒、排気側捕捉板で捕捉した油
脂分は流れ落ちて下方の油樋に落ちる。
て、比重の重い油脂分が捕捉除去され、更に排気は吸気
口から細径な捕捉筒に流入し、絞られることにより、流
速は速くなり、排気側捕捉板に効果的に衝突して捕捉さ
れ、その後排気口へ向きを変えながら捕捉板に接触しつ
つ遠心力等によって効果的に捕捉除去される。そして、
ほとんど油脂分を除去した排気のみが排気口より排出す
る。吸気側捕捉板、捕捉筒、排気側捕捉板で捕捉した油
脂分は流れ落ちて下方の油樋に落ちる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の第一実施例を図1乃至図
5に基づいて説明する。
5に基づいて説明する。
【0011】図1は本実施例のフィルター1の吸気側か
ら見た正面図であり、図2はその排気側から見た背面図
である。吸気側捕捉板2と、この吸気側捕捉板2と同形
状の排気側捕捉板3とが互いに適宜な間隔を有して配置
している。そして、これら吸気側捕捉板2と排気側捕捉
板3との四辺は枠体4によって保持している。
ら見た正面図であり、図2はその排気側から見た背面図
である。吸気側捕捉板2と、この吸気側捕捉板2と同形
状の排気側捕捉板3とが互いに適宜な間隔を有して配置
している。そして、これら吸気側捕捉板2と排気側捕捉
板3との四辺は枠体4によって保持している。
【0012】吸気側捕捉板2には、排気側捕捉板3に向
かって設けた捕捉筒6を設置し、その捕捉筒6の吸気口
5を前記吸気側捕捉板2に開口する。そして、排気側捕
捉板3には、捕捉筒6と対応しない位置に排気口8を開
口した。
かって設けた捕捉筒6を設置し、その捕捉筒6の吸気口
5を前記吸気側捕捉板2に開口する。そして、排気側捕
捉板3には、捕捉筒6と対応しない位置に排気口8を開
口した。
【0013】排気側捕捉板3は、断面形状円弧状にして
一辺の枠体4から対向する枠体4まで延びる捕捉部材7
を所定間隔をおいて並設して構成したもので、捕捉部材
7と捕捉部材7との間の隙間がスリット状の排気口8と
なる。そして、円弧状の捕捉部材7は前記の捕捉筒6の
排気出口9を被包するように位置して設けるとともに、
排気口8は隣接する捕捉筒6と捕捉筒6の中間に位置す
るように配置した。
一辺の枠体4から対向する枠体4まで延びる捕捉部材7
を所定間隔をおいて並設して構成したもので、捕捉部材
7と捕捉部材7との間の隙間がスリット状の排気口8と
なる。そして、円弧状の捕捉部材7は前記の捕捉筒6の
排気出口9を被包するように位置して設けるとともに、
排気口8は隣接する捕捉筒6と捕捉筒6の中間に位置す
るように配置した。
【0014】従って、吸気口5から捕捉筒6の内部を経
て捕捉筒6の排気出口9から排気側捕捉板2の円弧状に
沿った通路を経て排気口8までがフィルター1の排気通
路11となる。
て捕捉筒6の排気出口9から排気側捕捉板2の円弧状に
沿った通路を経て排気口8までがフィルター1の排気通
路11となる。
【0015】また、前記吸気側捕捉板2、捕捉筒6、排
気側捕捉板3の表面にはフッ素樹脂を被覆する。
気側捕捉板3の表面にはフッ素樹脂を被覆する。
【0016】以上のように構成した本実施例は、図5に
示すように、フード12の内部に斜めに設けられた取付
板13に取り付ける。そして、調理で発生する排気は上
昇してフィルター1の吸気側捕捉板2の表面に衝突し
て、吸気側捕捉板2の表面で比重の重い油脂分が捕捉さ
れて除去される。更に排気は吸気口5から捕捉筒6に流
入する。捕捉筒6により流入が絞られることにより流速
は速くなり、捕捉筒6の内周面にも衝突して効果的に捕
捉されて除去される。更に捕捉筒6の排気出口9から出
た排気は円弧状の捕捉部材7に衝突し、円弧に沿って接
触しながら向きを変える。この捕捉部材7に接触すると
ともに向きを変えたときの遠心力などによって、また油
脂分が捕捉され除去される。そして、ほとんど、油脂分
を除去した排気のみが排気口8から排出する。尚、これ
ら排気の流れを図4において矢印で示す。更に、フィル
ター1を通過した排気は排気ダクト15から室外へ放出
する。
示すように、フード12の内部に斜めに設けられた取付
板13に取り付ける。そして、調理で発生する排気は上
昇してフィルター1の吸気側捕捉板2の表面に衝突し
て、吸気側捕捉板2の表面で比重の重い油脂分が捕捉さ
れて除去される。更に排気は吸気口5から捕捉筒6に流
入する。捕捉筒6により流入が絞られることにより流速
は速くなり、捕捉筒6の内周面にも衝突して効果的に捕
捉されて除去される。更に捕捉筒6の排気出口9から出
た排気は円弧状の捕捉部材7に衝突し、円弧に沿って接
触しながら向きを変える。この捕捉部材7に接触すると
ともに向きを変えたときの遠心力などによって、また油
脂分が捕捉され除去される。そして、ほとんど、油脂分
を除去した排気のみが排気口8から排出する。尚、これ
ら排気の流れを図4において矢印で示す。更に、フィル
ター1を通過した排気は排気ダクト15から室外へ放出
する。
【0017】このように、吸気側捕捉板2、捕捉筒6、
排気側捕捉板3の各所で捕捉除去した油脂分は流れ落ち
てフィルター1の下方に設けた油樋14に集められ、更
に、図示しないオイルカップに貯まる。
排気側捕捉板3の各所で捕捉除去した油脂分は流れ落ち
てフィルター1の下方に設けた油樋14に集められ、更
に、図示しないオイルカップに貯まる。
【0018】本実施例では、吸気側捕捉板2、捕捉筒
6、排気側捕捉板3の表面にフッ素樹脂を被覆している
ことから、吸気側捕捉板2の表面や排気通路11の壁面
に油脂分が付着しにくく、流れて落ちて油樋14に集め
られる。従って、排気通路11の通過面積が油脂分の付
着によって、目詰まりを起こすということがなくなり、
優れた捕捉能力を有する。また、前述のような簡単な構
成で、捕捉能力が向上することから、長い排気通路を形
成することがなくフィルター1の厚さを薄く且つ軽量に
できる。
6、排気側捕捉板3の表面にフッ素樹脂を被覆している
ことから、吸気側捕捉板2の表面や排気通路11の壁面
に油脂分が付着しにくく、流れて落ちて油樋14に集め
られる。従って、排気通路11の通過面積が油脂分の付
着によって、目詰まりを起こすということがなくなり、
優れた捕捉能力を有する。また、前述のような簡単な構
成で、捕捉能力が向上することから、長い排気通路を形
成することがなくフィルター1の厚さを薄く且つ軽量に
できる。
【0019】尚、前記第一実施例では、例えば、吸気口
5の口径を30mmとし、排気口8の口幅を10mmと
した。また、吸気口5を円形としたが、その他、楕円
形、三角形、矩形としてもよく、また、吸気側捕捉板2
は板状部材を並設させて形成し、吸気口5をスリット状
とすることも差し支えない。また、排気口8もスリット
状としたが、排気側捕捉板3を吸気側捕捉板2のように
1枚の板部材で形成し、この吸気側捕捉板2に円形、楕
円形、三角形、矩形などの排気口8を開口する構成でも
よい。更に、前記第一実施例では、排気口8を隣接する
捕捉筒6の中間に位置するように構成したが、捕捉筒6
と対応しない位置ならばいずれの箇所でも差し支えな
い。また、本実施例では吸気口5を上下方向および左右
方向に等間隔に整然と開口したが、非等間隔にして整然
としていない開口でも差し支えない。もちろんこの場合
でも、排気口8を捕捉筒6と対応しない位置に設けるも
のである。
5の口径を30mmとし、排気口8の口幅を10mmと
した。また、吸気口5を円形としたが、その他、楕円
形、三角形、矩形としてもよく、また、吸気側捕捉板2
は板状部材を並設させて形成し、吸気口5をスリット状
とすることも差し支えない。また、排気口8もスリット
状としたが、排気側捕捉板3を吸気側捕捉板2のように
1枚の板部材で形成し、この吸気側捕捉板2に円形、楕
円形、三角形、矩形などの排気口8を開口する構成でも
よい。更に、前記第一実施例では、排気口8を隣接する
捕捉筒6の中間に位置するように構成したが、捕捉筒6
と対応しない位置ならばいずれの箇所でも差し支えな
い。また、本実施例では吸気口5を上下方向および左右
方向に等間隔に整然と開口したが、非等間隔にして整然
としていない開口でも差し支えない。もちろんこの場合
でも、排気口8を捕捉筒6と対応しない位置に設けるも
のである。
【0020】次に、第二実施例を図6乃至図9に基づい
て説明する。
て説明する。
【0021】排気側捕捉板3は平板状の部材で構成す
る。従って、排気側捕捉板3の捕捉筒6と対応する部分
は平板状である。そして、排気側捕捉板3の排気口8に
筒体10を吸気側捕捉板2に向けて設けた。尚、排気口
8を隣接する捕捉筒6の中間に位置するように配置し
た。
る。従って、排気側捕捉板3の捕捉筒6と対応する部分
は平板状である。そして、排気側捕捉板3の排気口8に
筒体10を吸気側捕捉板2に向けて設けた。尚、排気口
8を隣接する捕捉筒6の中間に位置するように配置し
た。
【0022】従って、吸気口5から捕捉筒6の内部を経
て捕捉筒6の排気出口9に至り、更に平板状の排気側捕
捉板3に沿った通路を経て筒体10の排気入口16から
筒体10の内部を経て排気口8までがフィルター1の排
気通路11となる。
て捕捉筒6の排気出口9に至り、更に平板状の排気側捕
捉板3に沿った通路を経て筒体10の排気入口16から
筒体10の内部を経て排気口8までがフィルター1の排
気通路11となる。
【0023】また、前記吸気側捕捉板2、捕捉筒6、排
気側捕捉板3、筒体10の表面にはフッ素樹脂を被覆す
る。
気側捕捉板3、筒体10の表面にはフッ素樹脂を被覆す
る。
【0024】以上のように構成した本第二実施例は、前
記第一実施例と同様に、排気は吸気側捕捉板2、捕捉筒
6、排気側捕捉板3、筒体10からなる排気通路11を
通過する間に、各所に衝突して、或いは捕捉筒6や筒体
10で流入が絞られることにより、流速は速くなり、ま
た、方向を変えながら、各所で比重の重い油脂分が捕捉
除去される。これらの排気の流れを図9において矢印で
示す。
記第一実施例と同様に、排気は吸気側捕捉板2、捕捉筒
6、排気側捕捉板3、筒体10からなる排気通路11を
通過する間に、各所に衝突して、或いは捕捉筒6や筒体
10で流入が絞られることにより、流速は速くなり、ま
た、方向を変えながら、各所で比重の重い油脂分が捕捉
除去される。これらの排気の流れを図9において矢印で
示す。
【0025】本実施例も、吸気側捕捉板2、捕捉筒6、
排気側捕捉板3、筒体10の表面にフッ素樹脂を被覆し
ていることから、排気通路11の壁面に油脂分が付着し
にくく、目詰まりを起こすということがなくなり、優れ
た捕捉能力を有する。殊に、排気口8に筒体10を設け
たことによって、ここでも、排気は絞られることによっ
て、流速は速くなり、また、排気通路11の長さが長く
なって、捕捉能力は向上する。更に、前述のような簡単
な構成で、捕捉能力が向上することから、フィルター1
の厚さを薄く且つ軽量にできる。
排気側捕捉板3、筒体10の表面にフッ素樹脂を被覆し
ていることから、排気通路11の壁面に油脂分が付着し
にくく、目詰まりを起こすということがなくなり、優れ
た捕捉能力を有する。殊に、排気口8に筒体10を設け
たことによって、ここでも、排気は絞られることによっ
て、流速は速くなり、また、排気通路11の長さが長く
なって、捕捉能力は向上する。更に、前述のような簡単
な構成で、捕捉能力が向上することから、フィルター1
の厚さを薄く且つ軽量にできる。
【0026】尚、前記第二実施例では、吸気口5の口径
は広径50mm、細径30mmの楕円形、排気口8の口
径は広径30mm、細径20mmの楕円形とした。尚、
その他、円形、三角形、矩形としてもよい。更に、排気
口8を隣接する捕捉筒6の中間に位置するように配置し
たが、捕捉筒6と対応しない位置ならばいずれの箇所で
も差し支えない。
は広径50mm、細径30mmの楕円形、排気口8の口
径は広径30mm、細径20mmの楕円形とした。尚、
その他、円形、三角形、矩形としてもよい。更に、排気
口8を隣接する捕捉筒6の中間に位置するように配置し
たが、捕捉筒6と対応しない位置ならばいずれの箇所で
も差し支えない。
【0027】更に尚、前記第一実施例、第二実施例のフ
ィルター1では、吸気側捕捉板2、捕捉筒6、排気側捕
捉板3、筒体10にすべてフッ素樹脂を被覆したが、吸
気側捕捉板2の表面および排気通路11のみに被覆して
もよく、或いはフッ素樹脂を被覆しないこともある。
ィルター1では、吸気側捕捉板2、捕捉筒6、排気側捕
捉板3、筒体10にすべてフッ素樹脂を被覆したが、吸
気側捕捉板2の表面および排気通路11のみに被覆して
もよく、或いはフッ素樹脂を被覆しないこともある。
【0028】
【発明の効果】本発明は以上の通りであるから、従来の
ように曲がりくねった構造で、排気通路も長く形成した
複雑な構成と違い、簡単な構成で捕捉能力に優れ、薄い
厚さのフィルターを提供するものである。また、フッ素
樹脂を被覆した構成にあっては、油脂分が排気通路の壁
面に付着しにくく、排気通路の目詰まりが起きにくいと
いう効果がある。従って、従来のように定期的な清掃も
必要がなく、火災の発生の危惧もなくなるものである。
ように曲がりくねった構造で、排気通路も長く形成した
複雑な構成と違い、簡単な構成で捕捉能力に優れ、薄い
厚さのフィルターを提供するものである。また、フッ素
樹脂を被覆した構成にあっては、油脂分が排気通路の壁
面に付着しにくく、排気通路の目詰まりが起きにくいと
いう効果がある。従って、従来のように定期的な清掃も
必要がなく、火災の発生の危惧もなくなるものである。
【図1】本発明の第一の実施例の吸気側から見た正面図
である。
である。
【図2】前記実施例の排気側から見た裏面図である。
【図3】図1のA−A線に沿う断面的説明図である。
【図4】図3の一部拡大断面図である。
【図5】前記実施例の取り付け状態を示す縦断面略図で
ある。
ある。
【図6】本発明の第二の実施例の吸気側から見た正面図
である。
である。
【図7】前記実施例の排気側から見た裏面図である。
【図8】図6のB−B線に沿う断面的説明図である。
【図9】図6の一部拡大断面図である。
1 フィルター 2 吸気側捕捉板 3 排気側捕捉板 4 枠体 5 吸気口 6 捕捉筒 7 捕捉部材 8 排気口 9 排気出口 10 筒体 11 排気通路 12 フード 13 取付板 14 油樋 15 排気ダクト 16 排気入口
Claims (4)
- 【請求項1】 吸気側捕捉板と排気側捕捉板とを互いに
間隔を有して配置し、前記吸気側捕捉板には、前記排気
側捕捉板に向かって設けた捕捉筒を設置し、その捕捉筒
の吸気口を前記吸気側捕捉板に開口し、且つ前記排気側
捕捉板には、前記捕捉筒と対応しない位置に排気口を開
口したことを特徴とする排気装置のフィルター。 - 【請求項2】 前記排気側捕捉板の前記捕捉筒と対応す
る部分が捕捉筒の排気出口を被包するように断面円弧状
に形成されている請求項1記載の排気装置のフィルタ
ー。 - 【請求項3】 前記排気側捕捉板の前記捕捉筒と対応す
る部分を平板状に形成し、また前記排気側捕捉板の排気
口に筒体を前記吸気側捕捉板に向けて設けてなる請求項
1記載の排気装置のフィルター。 - 【請求項4】 少なくとも前記吸気側捕捉板の表面およ
び前記吸気側捕捉板の前記吸気口から前記排気側捕捉板
の前記排気口までの排気通路の壁面にフッ素樹脂を被覆
してなる請求項1,2または3記載の排気装置のフィル
ター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8213554A JPH1054599A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 排気装置のフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8213554A JPH1054599A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 排気装置のフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054599A true JPH1054599A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16641135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8213554A Pending JPH1054599A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 排気装置のフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1054599A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005226915A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Sun Wave Ind Co Ltd | レンジフードにおけるフィルタレスによる油脂分の捕獲方法及びその捕獲装置 |
| CN112337226A (zh) * | 2019-08-08 | 2021-02-09 | 未来宝株式会社 | 半导体工程的反应副产物收集装置 |
-
1996
- 1996-08-13 JP JP8213554A patent/JPH1054599A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005226915A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Sun Wave Ind Co Ltd | レンジフードにおけるフィルタレスによる油脂分の捕獲方法及びその捕獲装置 |
| CN112337226A (zh) * | 2019-08-08 | 2021-02-09 | 未来宝株式会社 | 半导体工程的反应副产物收集装置 |
| CN112337226B (zh) * | 2019-08-08 | 2022-05-03 | 未来宝株式会社 | 半导体工程的反应副产物收集装置 |
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