JPH1054940A - 入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器 - Google Patents

入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器

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JPH1054940A
JPH1054940A JP9137409A JP13740997A JPH1054940A JP H1054940 A JPH1054940 A JP H1054940A JP 9137409 A JP9137409 A JP 9137409A JP 13740997 A JP13740997 A JP 13740997A JP H1054940 A JPH1054940 A JP H1054940A
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light emitting
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Albert G Choate
ジー ショーエツ アルバート
Terry L Herbeck
エル ハーベック テリー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査すべき製品上に傾斜して向けられる入射
照明の配向と傾斜との双方、特に配向の調節を可能とす
る新規な手段を有する改良型の表面照明器を提供する。 【解決手段】 円筒状の対物レンズハウジングの下方端
を中心として同軸で多数の発光ダイオードを放射状半径
方向に間隔をおいた円形列あるいはリング状に、かつ各
リングのダイオードをハウジングの軸を中心として互い
に等角間隔となるように配置し、作業台上に支持された
標本上に光線が斜めに下に向うように発光ダイオードの
発光端を作業台の上方に位置せしめる。ハウジングと同
軸に配置された全体として扇形の多数の区画の所望の一
または複数の区画でかつ区画内の所望の区分で弧状にダ
イオードが励起できるようにして照明の配向を変えうる
ように構成した。この場合に、コリメーダーレンズを各
ダイオードの発光端に取付けてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、輪郭（ＣＯＮＴＯＵ
Ｒ）プロジェクター、光学コンパレーター、顕微鏡等に
よって検査される対象標本を照明するための表面照明器
（ＳＵＲＦＡＣＥ ＩＬＬＵＭＩＮＡＴＯＲ）に関する
ものである。
【０００２】更に詳細には、本発明は標本上に向けられ
た入射照明の配向（ＯＲＩＥＮＴＡＴＩＯＮ）と傾斜を
調節するための新規な手段を有する改良された斜光表面
照明器に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】本出願人が有するアメリカ合衆国特許第
４５６７５５１号にて指摘される通り、標本の像を上述
した種類の検査器具に用いられる種類のレンズ系によっ
て拡大し観察しようとするとき、検査する標本の表面を
適切に照明することが重要である。
【０００４】例えば、このアメリカ合衆国特許第４５６
７５５１号には、斜め方向または多方向性の表面照明器
が記述されており、対物レンズ系を介して検査される標
本の表面に照明が多数の異なるが方向から投射される。
更に詳しくは、この先行技術になる装置は対物レンズハ
ウジングを中心として互いに９０゜の等角間隔を置いて
設けられた複数の（その図示された実施例においては４
つの）光源を有して光が４つの対応する反射面に投射さ
れ、この反射面はレンズハウジングの軸に対して傾斜し
ていて、対物レンズを囲むフレネルレンズ上に照明を反
射する。そして、フレネルレンズは検査される標本の表
面上に斜めに照明を投射する。
【０００５】かかる先行技術に見られる基本的な有利性
の一つは、フレネルレンズ上に反射される光が検査され
る標本の像行路、即ち光軸を横切る方向にフレネルレン
ズによって入射されることである。この結果、フレネル
レンズからの斜めの光線が標本から直接に画像軸即ち光
軸に沿って反射される光の妨げにならない。
【０００６】この先行技術になる構造は、４つの光源の
それぞれの強度を望む通りに調節することができるとい
う有利性を有するが、検査すべき標本上に向けられる入
射照明の配向と傾斜を変えることはできない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、検査
すべき製品上に斜めに向けられる入射照明の配向と傾
斜、特に配向の調節を可能にする新規な手段を有する改
良された多方向性の表面照明器を提供することにある。
【０００８】更に詳しくは、本発明の目的は、入射角の
傾斜を特定の光源のみを選択的に働かせることによって
容易に調節できるように複数の光源を配列した改良され
た多方向性表面器を提供することにある。
【０００９】更に、本発明の他の目的は、光源から生じ
た入射照明の配向と傾斜の調節ができるように配列さ
れ、選択的にオン／オフできる多数の光源を有する改良
された多方向性表面照明器を提供することにある。
【００１０】本発明のその他の目的は、添付図面を参照
して述べる以下の明細書及び上述の特許請求の範囲から
明らかな通りである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】円筒状の対物レンズハウ
ジングの下端の周囲に同軸で固定されている環状のラン
プハウジングは、放射状方向で間隔を置き、レンズハウ
ジングと同軸に置かれた複数の円形状列又は環状のリン
グ上に配列された複数のランプを有し、各環上のランプ
はハウジングの中心軸を中心として互いに角間隔を置い
ている。ランプの光を発する端部は作業台の上方にあっ
て、その光束は台上に支持された標本上に向って下方に
向けられる。これらのランプは、ハウジングの中心線と
同軸で配列された全体としてパイ形状あるいは扇形状に
分かれた各区画のランプを選択的に作動し得る回路によ
って制御され、特定の区画内のある環状のランプ中の特
定の区分のランプ群のみを照明することがができるの
で、その結果照明の配向を変えることができる。
【００１２】また、本発明の一実施例では、各環のラン
プがハウジングの中心線に対して異なって傾斜した光線
軸を有するようにしてあるので、投射される照明の傾斜
が環の選択いかんによって変えることができる。
【００１３】また、他の実施例では、ランプはその軸が
ハウジングの中心線と平行に延びるように装架され、フ
レネルレンズによって製品上に向けられている。好適な
ランプとしては、その発光端にコリメーターレンズ（Ｃ
ＯＬＬＩＭＡＴＩＮＧ ＬＥＮＳ）を付けた形式の発光
ダイオード（ＬＥＤ）がある。
【００１４】
【発明の実施の形態】添付図面、まずその図１と図２を
参照し、各部分をそこに付せられた符号によてこの発明
の実施の形態を説明すると、１０は通常の対物レンズ系
（図示せず）を収容する円筒状のレンズハウジング１２
有する種類の表面照明器の全体を示す。ハウジング１２
の下端を囲んで、環状で全体として円盤状のランプ支持
ハウジング１４が固着される。表面照明器１０は作業台
１６の上方に通常の方法で装架され、図１中で破線で示
される通り作業台は検査すべき標本又は製品Ｗをその上
支持する。
【００１５】図１と図２に示される実施態様では、ハウ
ジング１４の内方の開口端には２００個のランプＬが装
架されており、このランプはその外方の発光端がハウジ
ング１４から外方に対物面上の実質的に共通な一点に向
って作業台１６の方向に突出する。図２で更に明らかな
通りに、ランプＬはハウジング１４中で該ハウジング１
２，１４の中心軸線と同一軸上で配列された５個の円形
列になるように設けられる。
【００１６】ランプの隣り合う列あるいは環は互いに放
射状方向で等間隔に置かれ、かつ各円形列中にある各ラ
ンプＬはハウジング１２，１４の軸を中心として互いに
等角間隔を置いて配列されている。従って、図面で示さ
れる通り、最も内側の環は等角間隔の２４個のランプか
らなり、その発光端はレンズハウジング１２の中心線か
ら半径Ｒ１の円上にある。
【００１７】次の環は３２個のランプからなり、その発
光端はハウジングにの中心線から半径Ｒ２上にあり、そ
の次の列はハウジングの中心線から半径Ｒ３上に配置さ
れた４０個のランプからなり、更にその次の環は４８個
のランプからなり、その発光端はハウジング１２の中心
線から半径Ｒ４に位置する円上にあり、最後で最も外側
にある環は５６個のランプからなり、その発光端はハウ
ジングの中心線から半径Ｒ５に位置する円上にある。
【００１８】図２に示される通り、ランプはハウジング
１４中にあって円形の列に配置されると共に、これらの
等間隔で配置されたランプＬは例えば符号Ｓ１〜Ｓ８で
示される８つの等角間隔の区画に分けることができる。
後述するように、これらの区画はハウジング１４中のあ
る区域のあるランプＬのみの選択的な照明を可能にする
ように選択して作動されるものであって、光源からの照
明が検査される製品Ｗ上に異なる方向から選択的に当て
られるようにするものである。
【００１９】例えば、図５に示される如く、区画Ｓ１の
ランプは５つの異なる回路Ｓ１−１、Ｓ１−２、Ｓ１−
３、Ｓ１−４、Ｓ１−５によって制御される。これらの
回路はスイッチＲ１Ｓ１、Ｒ２Ｓ１、Ｒ３Ｓ１、Ｒ４Ｓ
１、Ｒ５Ｓ１を介して図５で符号ＰＳで示され電源にそ
れぞれ接続する。図において、スイッチＲ１Ｓ１〜Ｒ５
Ｓ１は通常「開」のモードとして示されている。
【００２０】これらスイッチのいずれかが「閉」にされ
ると、電力が対応する回路Ｓ１−１〜Ｓ１−５に供給さ
れ、対応するランプが点灯される。例えば、回路Ｓ１−
１が「閉」にされると、並列に接続された３個のランプ
全部が点灯し、それらはハウジング１４の中心線から距
離Ｒ１に位置する。同様に、回路Ｓ１−２、Ｓ１−３、
Ｓ１−４、Ｓ１−５によって制御される別のランプもま
た選択的に点灯できる。図５は、図２に示される区画Ｓ
１のランプ群についてのみ説明したが、同様な７個の別
の回路を用いて残りの７個の各区画Ｓ２〜Ｓ８のランプ
Ｌを点灯できるものと理解されたい。
【００２１】例えば、図６に示される如く、図示される
マイクロプロセッサー／制御器を使って、区画Ｓ１〜Ｓ
８のそれぞれの選択されたランプ群に選択的に電力を送
ることができる。図６において、ＳＳ１〜ＳＳ８は手動
スイッチを示し、これらの一つ或は複数を作業員が手動
で「閉」にして特定の区画を選択し、その中の特定のラ
ンプ群を点灯することができる。
【００２２】ＳＲ１〜ＳＲ５は手動で選択的に「閉」に
できるスイッチで、ある区画中のある環のランプ又はあ
る区画中のランプ群を指定して点灯することができる。
このランプ群は前述した通り、ハウジングの中心線から
半径距離Ｒ１〜Ｒ５のいずれかにあるものである。スイ
ッチＳＳ１〜ＳＳ８及びスイッチＳＲ１〜ＳＲ５は
「閉」にされると、図６中の符号２０で全体が示される
スイッチマトリックスに信号を送るように構成されてい
る。
【００２３】マトリックス２０によって図示される通
り、スイッチＳＳ１とＳＲ１とを同時に「閉」に選択す
ると、図５におけるスイッチＲ１Ｓ１を「閉」にする信
号が送られ、ハウジング１４の中心線から半径距離Ｒ１
にある区画Ｓ１中のランプ群に電力が送られる。スイッ
チＳＲ１〜ＳＲ５の全部がスイッチＳＳ１同時に「閉」
にされると、当然に区画Ｓ１中の全てのランプが照明さ
れる。しかしながら、スイッチＳＳ１を「閉」にして、
スイッチＳＲ１−ＳＲ５を選択的に「閉」にすると、区
画Ｓ１中の選択された５つの環中の複数の環のみのラン
プが点灯する。
【００２４】上記では言及しなかったが、残りの区画Ｓ
２−Ｓ８のそれぞれについて同様なスイッチ効果がスイ
ッチＳＳ２〜ＳＳ８と希望する円形又は環配列を選択す
るスイッチ、即ちスイッチＳＲ１〜ＳＲ５とを選択的に
操作することで達せられることは勿論のことである。
【００２５】図６において、マイクロプロセッサー／制
御器はランプＬによって発する照明強度を制御するよう
にも設計されている。このために、図６中の符号ＩＣで
示される回路は、制御器で制御されて大域的な強度制御
をなし、ランプＬからの照明の全体的な強度を必要によ
って制御することができる。その結果、図１と２によっ
て示されるランプ列を使い、図５と６によって示される
手段によって制御することにより、検査される標本に対
する照明の配向を制御できることになる。
【００２６】検査される標本上に向けられる照明の配向
を変え得るばかりではなく、製品上に向けられる照明の
傾斜度を選択的に変えることもできる。例えば、図１に
示される如く、レンズハウジング１２を囲むランプの５
つの環または円形列のそれぞれはハウジングの中心線か
ら放射状に異なる距離で離れているばかりでなく、これ
ら５個の環Ａ１〜Ａ５の中心軸線はそれぞれレンズハウ
ジングの中心軸線に対して異なる角度で傾斜している。
【００２７】この図で図示される実施態様では、軸Ａ１
に中心がある光線の入射角が最小で、軸Ａ５に沿って発
せられる光線において最大である。従って、列Ｒ１〜Ｒ
５を選択してランプＬを点灯すると、製品Ｗ上に向けら
れる照明の傾斜度を変えることができる。即ち、図１に
示される実施例のものにあっては、製品上に向けられる
光の配向と傾斜の双方を変えることができる。
【００２８】Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５の各環また
は列のランプＬによって製品Ｗ上に向けられる照明のそ
れぞれの傾斜角度を、それぞれから発せられる光線軸が
検査される製品とそれぞれ希望の入射角度をなすように
それぞれのランプをハウジング１４に取付けることによ
って自由に角度を変え得ることは勿論である。
【００２９】図３に示される実施態様について更に詳述
するが、この図中では先に述べた第１の実施態様にて示
されたところと同様な部分については同様な符号を付し
た。符号３０は別の実施態様になる照明器を全体的に示
し、この照明器には符号Ｒ１〜Ｒ５で示される５つの列
または環のランプＬがハウジング１４に装架されてお
り、該ランプの軸Ａ１〜Ａ５はレンズハウジング１２に
対して傾斜する代りに該レンズハウジングの軸と平行に
延びる。このような構成はランプＬをハウジング１４に
共通の平面で取付けるだけで済むという有利性を有す
る。
【００３０】この実施態様の更に異なる点は、その照明
器３０がランプＬの発光下方端の下方でレンズハウジン
グ１２と同軸上で装架された環状のフレネレレンズ３２
を有することである。上記したアメリカ合衆国特許第４
５６７５５１号で使われたものとそれ自体としては同様
なフレネルレンズがその外方の円周縁で環状クランプ又
はリング３の下端に取付けられ、該リングの下方端はハ
ウジング１４の外方円周面に取付けられ、レンズ３２は
照明器のランプＬの下方で該ランプと対応するように支
持される。上記アメリカ合衆国特許で記載される如く、
レンズ３２は溝付き側を貼り合わせた２板の同一の環状
のプラスチック又はガラス要素から作り得る。このよう
な構成によって、フレネルレンズ３２が図１にて示され
るところと同様に照明器３０の多数のランプＬからの照
明を図３において下方に製作品（図示されず）に向かっ
て方向を変え得るようにする。
【００３１】図４に示される実施態様において、符号４
０は更に他の態様の表面照明器を全体的に示すものであ
り、レンズハウジング１２と同軸でその下方端に固定さ
れかつ複数のランプを収容するランプ支持ハウジング１
４を有し、該ランプは図３に示されるところと同様な方
法で、即ちその光線の中央軸線がレンズハウジング１２
の軸と平行に延びるようにハウジング１４に装架されて
いる。
【００３２】また、図３で示される実施態様と同様に、
リングランプ４３がその上方端でハウジング１４と同軸
で該ハウジングの外方円周面に固定され、かつハウジン
グ１４と同軸でその下方に突き出し、その下方端にはフ
レネルレンズ３２が付けられる。該リング４３内にはフ
レネルレンズ３２とランプＬの下方端との間で、環状の
拡散（ＤＩＦＦＵＳＩＮＧ）要素４４が装架され、この
要素はレンズ３２のわずかに下方に間隔を置いた面上に
ある。
【００３３】図４に示される拡散要素を使う有利性は、
製品（図示せず）に向けられる照明を角度にもまた空間
的にもより一層均一にすることにある。
【００３４】上述した実施の態様において用いられるラ
ンプＬとして好適なものの一つは、発光ダイオード（Ｌ
ＥＤ）として知られる種類のものであり、これはランプ
の放射端、即ち図１にて例示された製品Ｗに向かった側
のランプＬの端部、または図３と図４に示されるランプ
Ｌの下方端に対応する端部を覆うように作られたコリメ
ーターレンズを有するものである。このようなランプは
光線の中央軸線からの広がり角度が少なく、例えば７゜
程度の本質的に平行化された光の光源の役割をなす。フ
レネルレンズが使用される実施態様において、フレネル
レンズによって光線は方向を変え、標本面（製作品の
面）上に焦点が合わされる。上記した種類のＬＥＤはヒ
ューレットパッカード社によってＨＬＭＡ−ＣＨＯＯ／
−ＣＬＯＯの品番で販売に供されている。
【００３５】当該技術に通とうする者にとっては、しか
しながら、他の光源、例えば光パイプ、通常の自然ラン
プ、あるいは同様な発光手段をコリメーターレンズと共
に用いてあるいは用いないで、本発明を逸脱しない範囲
で採用できることは自明のところである。
【００３６】更にまた、図示した実施態様では５つの円
形列のランプのみを図示したが、円形列は何列であって
もよく、本発明を逸脱しない限り使用するランプの全体
の数を増減し得ることも自明のところである。例えば、
上述した種類の表面照明器で使われるランプの数はＲ１
から必要な上限ＲＮまでの円形列に及ぶことができ、区
画数も同様にＳ１から必要とする上限のＳＮの中のいず
れともすることができる。同様に、必要な際には、各列
の隣り合うランプの角間隔が必ずしも等間隔である必要
はなく、列が互いに放射状方向において等間隔にある必
要もない。
【００３７】本発明を限られた数の実施態様について図
示して詳細に述べたが、種々の改変ができることは勿論
のことであり、また本発明は本技術に通とうする者にと
って自明である範囲または特許請求の範囲内にある改変
にも及ぶものであることは勿論のことである。
【００３８】
【発明の効果】本発明は上述のようにしてなり、検査す
べき製品上に斜めに向けられる入射照明の配向と傾斜、
特に入射角の傾斜を特定の光源のみを選択的に働かせる
ことによって配向の調節を可能にし、選択的にオン／オ
フできる多数の光源を有する多方向性の表面照明器を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】対物レンズ系の一端に同軸上で装架された環状
のランプハウジングを有し、このハウジングには放射状
方向で間隔を置いて円形状に配列された複数の光源が設
けられ、この光源が仮想線で示される製品に向けられた
ときにそこから発する光線の入射角が示されており、ラ
ンプハウジングの一部は図２の１−１線に沿った断面で
示される改良された表面照明器の側面図である。
【図２】表面照明器とその対物レンズ系の底面図であ
り、この実施例では円形の列をなす光源が８個の同様な
パイ形状の照明区画を作る。
【図３】図１に示される表面照明器の別の態様であり、
その一部分は断面で示される。
【図４】図３と同様な図であり、表面照明器の更に別の
態様になるものである。
【図５】照明の各区画の弧状の光源群を選択的に点灯で
きる配線図の一例を説明的に示すものである。
【図６】光源の選択的な照明を制御するための一実施例
を示す説明図である。
【符号の説明】
１０−表面照明器 １２−レンズハウジング １４−ランプ支持ハウジング １６−作業台 Ｗ−標本または製品 Ｌ−ランプ Ｒ１〜Ｒ５−半径距離 Ａ１〜Ａ５−ランプの光線 Ｓ１〜Ｓ８−区画 Ｓ１−１〜Ｓ１−５−回路 Ｒ１Ｓ１〜Ｒ５Ｓ１−スイッチ ＰＳ−電源 ２０−スイッチマトリックス ＳＳ１〜ＳＳ８−手動スイッチ ＳＲ１〜ＳＲ５−手動スイッチ ３０−表面照明器 ３２−フレネルレンズ ３３−クランプリング ４０−表面照明器 ４３−リングクランプ ４４−軟焦点用拡散アタッチメント要素
【手続補正書】
【提出日】平成９年６月１７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【発明の実施の形態】 添付図面、まずその図１と図２
を参照し、各部分をそこに付せられた符号によってこの
発明の実施の形態を説明すると、１０は通常の対物レン
ズ系（図示せず）を収容する円筒状のレンズハウジング
１２を有する種類の表面照明器の全体を示す。ハウジン
グ１２の下端を囲んで、環状で全体として円盤状のラン
プ支持ハウジング１４が固着される。表面照明器１０は
作業台１６の上方に通常の方法で装架され、図１中で破
線で示される通り作業台は検査すべき標本又は製品Ｗを
その上に支持する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】 図４に示される拡散要素を使う有利性
は、製品（図示せず）に向けられる照明を角度的にまた
空間的にもより一層均一にすることにある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルバート ジー ショーエツ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14543 ラッシュ ホネオイ フォールス ナンバ ー６ ロード 348番地 (72)発明者 テリー エル ハーベック アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14617 ロチエスター セント ポウル ブルバー ド 4295番地

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の離れた位置に置かれる標本の像を
    投射するための手段を収納する軸孔を有する第１のハウ
    ジングと、この第１のハウジングを囲みその一端と同軸
    でかつこの一端に隣接して置かれた開口端を有する第２
    のハウジングと、互いに間隔を置いて第２のハウジング
    に付けられていてそれぞれが発光端を有する多数の光源
    とを有し、第１のハウジングを囲んでその軸孔と同軸で
    放射状半径方向に間隔を置きかつ該軸孔の軸に対して直
    角に延びる共通の面上にある多数の円形状の列に上記し
    た発光端は配置され、励起されたとき光線を上記軸孔の
    軸と実質的に平行にかつ第２のハウジングの開口端の方
    に向け、第２のハウジングの開口端に光源の発光端と対
    面するように付けられたフレネルレンズを更に有し、光
    源からの光線はこのフレネルレンズを通って上記した所
    定の位置に置かれる標本の方に向かって標本上にその焦
    点が合わされ、かつ上記した光源を選択的に励起するた
    めの制御手段を更に有してなり、フレネルレンズによっ
    て標本上に向けられる照明の量と配向が制御されるよう
    に構成されてなることを特徴とする入射照明の配向と傾
    斜を調節する手段を備えた表面照明器。
  2. 【請求項２】 請求項１に述べる表面照明器で、その制
    御手段は各列中の隣接する所定の数の光源をそれぞれ制
    御する複数の電気回路を含み、この回路のそれぞれは一
    つ又は複数の列中にある隣接する数の光源を選択的に励
    起させるように働くスイッチ手段を有し、かつ各回路に
    よって制御される各列中の隣接する所定の数の光源の数
    は放射状半径方向の最も内側にある列において最小であ
    り、最も外側にある列において最大である上記の表面照
    明器。
  3. 【請求項３】 請求項２に述べる表面照明器で、各回路
    がそれぞれ等しい数の光源を制御し、各回路によって制
    御された光源から発する光線が全体として扇形状をなす
    上記の表面照明器。
  4. 【請求項４】 請求項１に述べる表面照明器で、光源と
    フレネルレンズとの間に置かれ光を拡散する要素を備え
    る上記の表面照明器。
  5. 【請求項５】 請求項１に述べる表面照明器で、光源は
    共通の平面に置かれた発光端を有する発光ダイオードか
    らなり、この各発光ダイオードはその発光端にコリメー
    ターレンズが取付けられている上記の表面照明器。
  6. 【請求項６】 請求項１に述べる表面照明器で、円形状
    の列は互いに放射状半径方向に等間隔を置いて並ぶ上記
    の表面照明器。
  7. 【請求項７】 請求項６に述べる表面照明器で、各円形
    状の列にある光源の総数は放射状方向で最も内側にある
    列から最も外側にある列へ次第に増加する上記の表面照
    明器。
  8. 【請求項８】 請求項１に述べる表面照明器で、光源の
    全体的強度を選択的に調節するための手段を備えてなる
    上記の表面照明器。
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DE (1) DE19653234B4 (ja)
FR (1) FR2748577B1 (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004502168A (ja) * 2000-06-28 2004-01-22 テラダイン・インコーポレーテッド 自動光学検査システム用の照明装置
JP2005227442A (ja) * 2004-02-12 2005-08-25 Olympus Corp 顕微鏡用照明装置
JP2005331623A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Ccs Inc 顕微鏡用照明装置
JP2007057296A (ja) * 2005-08-23 2007-03-08 Denso Wave Inc 光学読取装置
JP2009500937A (ja) * 2005-07-08 2009-01-08 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 走査型フラッシュ装置を備えるデジタル画像取り込み装置
JP2009502377A (ja) * 2005-08-02 2009-01-29 ベルヒトルト、ホールディング、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング 手術用照明ランプ
JP2009244037A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Ushio Inc 照明用光源およびそれを用いたパターン検査装置
US8033673B2 (en) 2007-02-20 2011-10-11 Mitutoyo Corporation Illumination device and vision measuring instrument
JP2012064179A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Keyence Corp 光学情報読取装置用のｌｅｄ照明装置
JP2012068784A (ja) * 2010-09-22 2012-04-05 Casio Comput Co Ltd 二次元パターン読み取り装置、その制御方法およびプログラム
KR101177163B1 (ko) 2008-03-31 2012-08-24 우시오덴키 가부시키가이샤 조명용 광원 및 그를 이용한 패턴 검사 장치
JP2015002824A (ja) * 2013-06-20 2015-01-08 株式会社中央技研 口腔医療用照明器具
JP2016212252A (ja) * 2015-05-08 2016-12-15 オリンパス株式会社 顕微鏡システムおよび照明操作装置
JP2018057891A (ja) * 2017-11-22 2018-04-12 株式会社中央技研 口腔医療用照明器具
KR20180101688A (ko) * 2017-03-03 2018-09-13 (주)커넥슨 광학검사장치용 조명유닛
JP2018185454A (ja) * 2017-04-27 2018-11-22 オリンパス株式会社 観察装置および観察方法
CN109154571A (zh) * 2016-05-31 2019-01-04 分子装置有限公司 利用倾斜照射的成像系统

Families Citing this family (152)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3118503B2 (ja) * 1996-07-08 2000-12-18 シーシーエス株式会社 照明装置
TW402856B (en) * 1996-12-26 2000-08-21 Palite Corp LED illuminator
US6626558B2 (en) * 1997-02-28 2003-09-30 Electro Optical Sciences Inc. Apparatus for uniform illumination of an object
JP3315358B2 (ja) 1997-12-02 2002-08-19 株式会社ミツトヨ 画像処理測定機の照明装置
US5897195A (en) * 1997-12-09 1999-04-27 Optical Gaging, Products, Inc. Oblique led illuminator device
US6179439B1 (en) * 1998-06-10 2001-01-30 Optical Gaging Products, Inc. High-incidence programmable surface illuminator for video inspection systems
US6441367B1 (en) 1999-06-02 2002-08-27 Mitutoyo Corporation Control systems and methods for diffuse illumination
US6334699B1 (en) 1999-04-08 2002-01-01 Mitutoyo Corporation Systems and methods for diffuse illumination
DE19919096A1 (de) * 1999-04-27 2000-11-02 Zeiss Carl Jena Gmbh Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung für Mikroskope
NL1012323C2 (nl) * 1999-06-14 2000-12-19 Eagle Vision Systems B V Werkwijze voor het inspecteren van een doorzichtige verpakking, en inrichting en systeem ten gebruike daarbij.
CA2314679A1 (en) 1999-07-28 2001-01-28 William Kelly Improvements in and relating to ring lighting
JP3269045B2 (ja) * 1999-08-03 2002-03-25 三洋電機株式会社 電子部品認識装置
DE19938926C2 (de) * 1999-08-17 2002-08-29 Schweizer Gmbh Optische Fabrik Vergrößerndes optisches System, insbesondere vergrößernde optische Sehhilfe
US6582090B1 (en) * 1999-08-27 2003-06-24 Delaware Capital Formation Method and apparatus for illuminating leads of a component
US6525303B1 (en) 1999-09-23 2003-02-25 Mitutoyo Corporation Control systems and methods for synchronizing diffuse illumination with a camera
DE19950899A1 (de) * 1999-10-22 2001-06-07 Lifatec Gmbh Faseroptik Und Op Beleuchtbare optische Vergrösserungsvorrichtung
DE10066519B3 (de) 1999-11-30 2019-08-14 Mitutoyo Corporation Bilderzeugungssonde
US7049761B2 (en) 2000-02-11 2006-05-23 Altair Engineering, Inc. Light tube and power supply circuit
EP1150154B1 (de) * 2000-04-26 2003-03-26 COBRA electronic GmbH Anordnung und Verfahren zur ringförmigen Beleuchtung, insbesondere zur Auflichtbeleuchtung bei Mikroskopen
JP2002008410A (ja) * 2000-06-20 2002-01-11 Ccs Inc 照明装置
US6356390B1 (en) * 2000-06-22 2002-03-12 Thomson Licensing, S.A. Light valve light source
US6618123B2 (en) * 2000-10-20 2003-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Range-finder, three-dimensional measuring method and light source apparatus
DE10064544A1 (de) * 2000-12-22 2002-06-27 Friedrich Burckhardt Ringleuchte
JP3496644B2 (ja) * 2001-01-12 2004-02-16 シーシーエス株式会社 検査用照明装置
DE50213922D1 (de) 2001-04-03 2009-11-26 Werth Messtechnik Gmbh Messgerät
DE10116588A1 (de) * 2001-04-03 2002-10-10 Werth Messtechnik Gmbh Beleuchtungsanordnung sowie Verfahren zum Beleuchten eines Objekts
DE10117446B4 (de) * 2001-04-06 2007-01-04 Optik Sommer Modulares Beleuchtungssystem, Traggestell und Leuchtmitteleinheit dafür
US7152996B2 (en) * 2001-04-27 2006-12-26 Altman Stage Lighting Co., Inc. Diode lighting system
US6614596B2 (en) * 2001-07-25 2003-09-02 Mitutoyo Corporation Systems and methods for increasing illumination density within a field of view of an imaging system
US20030025906A1 (en) * 2001-08-06 2003-02-06 Beamworks Ltd. Optical inspection of solder joints
US7604361B2 (en) 2001-09-07 2009-10-20 Litepanels Llc Versatile lighting apparatus and associated kit
US6749310B2 (en) * 2001-09-07 2004-06-15 Contrast Lighting Services, Inc. Wide area lighting effects system
US7331681B2 (en) * 2001-09-07 2008-02-19 Litepanels Llc Lighting apparatus with adjustable lenses or filters
JP2005038605A (ja) * 2002-02-12 2005-02-10 Daisei Denki Kk 照明器具
JP2003269919A (ja) * 2002-03-11 2003-09-25 Mitsutoyo Corp 画像処理型測定機の照明装置
US6796690B2 (en) * 2002-03-14 2004-09-28 The Boeing Company LED light source
JP3889992B2 (ja) * 2002-05-17 2007-03-07 株式会社ミツトヨ リング照明装置
US20030235800A1 (en) * 2002-06-24 2003-12-25 Qadar Steven Abdel LED curing light
JP2004111357A (ja) * 2002-07-09 2004-04-08 Topcon Corp 光源装置
EP1644661A4 (en) * 2002-07-12 2007-09-05 Electro Scient Ind Inc METHOD AND DEVICE FOR A SOURCE FOR EQUAL LIGHTING
DE10246889B4 (de) † 2002-10-08 2004-08-19 Karl Kaps Gmbh & Co. Kg Beleuchtungseinrichtung für ein optisches Vergrösserungsgerät sowie optisches Vergrösserungsgerät
EP1411290A1 (en) * 2002-10-18 2004-04-21 Altman Stage Lighting Co.,Inc. New York Corporation Diode lighting system
US6880954B2 (en) * 2002-11-08 2005-04-19 Smd Software, Inc. High intensity photocuring system
DE10256270A1 (de) * 2002-12-03 2004-06-24 Carl Zeiss Sms Gmbh Mikroskop mit UV-Halbleiter-Lichtquelle
US7006223B2 (en) * 2003-03-07 2006-02-28 3Gen, Llc. Dermoscopy epiluminescence device employing cross and parallel polarization
DE20304412U1 (de) * 2003-03-19 2003-06-12 Schott Glas, 55122 Mainz Steuereinheit für Mischlichtbeleuchtungen
US20040212996A1 (en) * 2003-05-02 2004-10-28 Friedrich Burckhardt Ring lamp
JP2005017905A (ja) * 2003-06-27 2005-01-20 Olympus Corp 実体顕微鏡
US6951392B2 (en) * 2003-07-09 2005-10-04 3M Innovative Properties Company Lens having at least one lens centration mark and methods of making and using same
US7334906B2 (en) * 2003-07-10 2008-02-26 Ichikoh Industries, Ltd. Outer mirror tilting apparatus
US7823789B2 (en) 2004-12-21 2010-11-02 Cognex Technology And Investment Corporation Low profile illumination for direct part mark readers
US7823783B2 (en) 2003-10-24 2010-11-02 Cognex Technology And Investment Corporation Light pipe illumination system and method
US9070031B2 (en) 2003-10-24 2015-06-30 Cognex Technology And Investment Llc Integrated illumination assembly for symbology reader
US9536124B1 (en) 2003-10-24 2017-01-03 Cognex Corporation Integrated illumination assembly for symbology reader
US7604174B2 (en) 2003-10-24 2009-10-20 Cognex Technology And Investment Corporation Method and apparatus for providing omnidirectional lighting in a scanning device
US7874487B2 (en) 2005-10-24 2011-01-25 Cognex Technology And Investment Corporation Integrated illumination assembly for symbology reader
DE10356384A1 (de) * 2003-12-03 2005-06-30 E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell- und Messgeräte Werkzeugbeleuchtungsvorrichtung
DE10360761A1 (de) * 2003-12-23 2005-07-28 Airbus Deutschland Gmbh Beleuchtungseinrichtung für eine Überwachungskamera
US7004599B2 (en) * 2004-01-02 2006-02-28 3Gen, Llc. Illuminated mirror employing cross and parallel polarization
DE102004014541B3 (de) * 2004-03-23 2005-05-04 Koenig & Bauer Ag Optisches System zur Erzeugung eines Beleuchtungsstreifens
US7504613B2 (en) * 2004-03-25 2009-03-17 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Optical imaging system having an illumination source between object and image
GB0407847D0 (en) * 2004-04-07 2004-05-12 Gekko Technology Ltd Lighting apparatus
GB2434198B (en) * 2004-04-07 2008-04-16 Gekko Technology Ltd Lighting apparatus
AT414050B (de) * 2004-06-07 2006-08-15 Photonic Optische Geraete Gmbh Blendeneinrichtung
DE102004051548A1 (de) * 2004-10-20 2006-05-04 Carl Zeiss Jena Gmbh Beleuchtungseinrichtung für Mikroskope
US7617984B2 (en) 2004-12-16 2009-11-17 Cognex Technology And Investment Corporation Hand held symbology reader illumination diffuser
US9292724B1 (en) 2004-12-16 2016-03-22 Cognex Corporation Hand held symbology reader illumination diffuser with aimer optics
US7430311B2 (en) * 2005-01-13 2008-09-30 Applied Vision Company, Llc System and method for inside can inspection
US20060166305A1 (en) * 2005-01-27 2006-07-27 Genetix Limited Animal cell confluence detection method and apparatus
US7310147B2 (en) * 2005-01-27 2007-12-18 Genetix Limited Robotic apparatus for picking of cells and other applications with integrated spectroscopic capability
TWM276556U (en) * 2005-03-04 2005-10-01 Biotek Technology Corp Improvement of optical system structure for treatment and cosmetology
US7344273B2 (en) * 2005-03-22 2008-03-18 Binary Works, Inc. Ring light with user manipulable control
DE202005004635U1 (de) * 2005-03-22 2005-07-21 Elmes Gmbh Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches oder medizinisches Gerät
WO2006114670A2 (en) * 2005-04-25 2006-11-02 Acol Technologies Sa Tiling of asymmtric light source elements
WO2007008742A1 (en) * 2005-07-08 2007-01-18 Electro Scientific Industries, Inc. Optimizing use and performance of optical systems implemented with telecentric on-axis dark field illumination
DE102005036230B3 (de) * 2005-08-02 2006-11-23 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Stereomikroskop mit Auflichtbeleuchtungseinrichtung
EP1934641A2 (en) * 2005-08-26 2008-06-25 Camtek Ltd. Device and method for controlling an angular coverage of a light beam
WO2007026690A1 (ja) * 2005-08-31 2007-03-08 Ccs Inc. 同軸光照射装置
US20070053185A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-08 Tony Whitehead Light source module
ITTO20050681A1 (it) * 2005-09-29 2007-03-30 Elsag Spa Sensore di visione per l'acquisizione di una immagine digitale
DE102005050722B4 (de) * 2005-10-19 2010-10-14 Stiftung Alfred-Wegener-Institut für Polar- und Meeresforschung Stiftung des öffentlichen Rechts Ringleuchte mit begrenztem Ausleuchtungs-Volumen und deren Verwendung
FR2893811B1 (fr) * 2005-11-21 2011-06-03 Zedel Lampe electrique a zoom electrique
DE102006023142A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Sick Ag Kamera-Beleuchtungseinheit
US7846391B2 (en) 2006-05-22 2010-12-07 Lumencor, Inc. Bioanalytical instrumentation using a light source subsystem
WO2008036414A2 (en) 2006-09-21 2008-03-27 Microscan Systems, Inc. Systems and/or devices for protecting a lens
EP1925962A1 (en) * 2006-11-21 2008-05-28 Swiss Medical Technology GmbH Stereo video microscope system
WO2008061738A1 (en) * 2006-11-21 2008-05-29 Swiss Medical Technology Gmbh Stereo video microscope system
US7408728B2 (en) * 2006-12-04 2008-08-05 Quality Vision International, Inc. System and method for focal length stabilization using active temperature control
US7986473B2 (en) * 2006-12-04 2011-07-26 Quality Vision International, Inc. System and method for focal length stabilization using active temperature control
US20080137184A1 (en) * 2006-12-07 2008-06-12 Hopler Mark D Illumination System for Surgical Microscope
JP5018073B2 (ja) * 2006-12-21 2012-09-05 富士ゼロックス株式会社 表面読取装置および対象物確認装置
US7896521B2 (en) * 2007-05-04 2011-03-01 Abl Ip Holding Llc Adjustable light distribution system
US8098375B2 (en) 2007-08-06 2012-01-17 Lumencor, Inc. Light emitting diode illumination system
CN101382648B (zh) * 2007-09-06 2011-03-16 株式会社涉谷光学 暗视场物镜装置
US7916398B2 (en) * 2007-10-12 2011-03-29 Quality Vision International, Inc. High performance front objective for video metrological system
US8085295B2 (en) * 2007-10-26 2011-12-27 Mitutoyo Corporation Controllable micro light assembly
US8118447B2 (en) 2007-12-20 2012-02-21 Altair Engineering, Inc. LED lighting apparatus with swivel connection
US7802910B2 (en) * 2008-01-29 2010-09-28 Dymax Corporation Light guide exposure device
US20090251751A1 (en) * 2008-04-02 2009-10-08 Kurt Kuhlmann Optical Imaging System
CA3162577C (en) 2008-05-20 2023-09-26 University Health Network Device and method for fluorescence-based imaging and monitoring
US8360599B2 (en) 2008-05-23 2013-01-29 Ilumisys, Inc. Electric shock resistant L.E.D. based light
DE102008030425A1 (de) * 2008-06-26 2010-01-21 Siemens Aktiengesellschaft LED-Beleuchtungssystem für ein elektrisches Prüfsystem
US8430526B2 (en) * 2008-08-29 2013-04-30 Northrop Grumman Systems Corporation Method and apparatus for producing a uniform irradiance distribution from an array of light emitting diodes
US8214084B2 (en) 2008-10-24 2012-07-03 Ilumisys, Inc. Integration of LED lighting with building controls
US7938562B2 (en) 2008-10-24 2011-05-10 Altair Engineering, Inc. Lighting including integral communication apparatus
DE102008055595A1 (de) 2008-12-30 2010-07-01 Werth Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum Messen eines Objekts
US8242462B2 (en) 2009-01-23 2012-08-14 Lumencor, Inc. Lighting design of high quality biomedical devices
US8317369B2 (en) * 2009-04-02 2012-11-27 Abl Ip Holding Llc Light fixture having selectively positionable housing
US8768159B2 (en) 2009-07-10 2014-07-01 Microscan Systems, Inc. Combination dark field and bright field illuminator
US8107808B2 (en) 2009-07-10 2012-01-31 Microscan Systems, Inc. Combination dark field and bright field illuminator
US7782513B1 (en) 2009-07-30 2010-08-24 Mitutoyo Corporation Fast variable angle of incidence illumination for a machine vision inspection system
CN102032504B (zh) * 2009-09-24 2014-04-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 影像测量仪光源
TWI460391B (zh) * 2009-10-08 2014-11-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 影像測量儀光源
WO2011103518A1 (en) 2010-02-19 2011-08-25 Litepanels, Ltd Photography led lighting and effects generation system
WO2011119958A1 (en) 2010-03-26 2011-09-29 Altair Engineering, Inc. Inside-out led bulb
US8541958B2 (en) 2010-03-26 2013-09-24 Ilumisys, Inc. LED light with thermoelectric generator
EP2598791A4 (en) * 2010-07-30 2017-11-29 KLA-Tencor Corporation Ring light illuminator, beam shaper and method for illumination
WO2012037182A1 (en) * 2010-09-14 2012-03-22 Applied Precision, Inc. Oblique-illumination systems and methods
US20120101343A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 Duffy Thomas P Medical imaging device
EP2633227B1 (en) 2010-10-29 2018-08-29 iLumisys, Inc. Mechanisms for reducing risk of shock during installation of light tube
US9791116B2 (en) * 2010-11-19 2017-10-17 GE Lighting Solutions, LLC Modular light engine for variable light pattern
US8466436B2 (en) 2011-01-14 2013-06-18 Lumencor, Inc. System and method for metered dosage illumination in a bioanalysis or other system
US8389957B2 (en) 2011-01-14 2013-03-05 Lumencor, Inc. System and method for metered dosage illumination in a bioanalysis or other system
US9103528B2 (en) 2012-01-20 2015-08-11 Lumencor, Inc Solid state continuous white light source
US9217561B2 (en) 2012-06-15 2015-12-22 Lumencor, Inc. Solid state light source for photocuring
US9285084B2 (en) 2013-03-14 2016-03-15 Ilumisys, Inc. Diffusers for LED-based lights
US9458990B2 (en) 2013-08-01 2016-10-04 3Gen, Inc. Dermoscopy illumination device with selective polarization and orange light for enhanced viewing of pigmented tissue
US9267650B2 (en) 2013-10-09 2016-02-23 Ilumisys, Inc. Lens for an LED-based light
US10502391B2 (en) * 2013-12-05 2019-12-10 Harman Professional Denmark Aps Light collector with a plurality of lenslets packed in an optimized dense circular pattern
WO2016011534A1 (en) 2014-07-24 2016-01-28 University Health Network Collection and analysis of data for diagnostic purposes
JP2016120535A (ja) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社ディスコ 加工装置
CN104696900B (zh) * 2015-03-31 2018-01-30 合肥鑫晟光电科技有限公司 光源装置及对位标记照相识别系统
DE102015212910A1 (de) 2015-07-09 2017-01-12 Sac Sirius Advanced Cybernetics Gmbh Vorrichtung zur Beleuchtung von Gegenständen
JP2017067632A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 キヤノン株式会社 検査装置および物品製造方法
AT518019A1 (de) 2015-12-01 2017-06-15 Bernecker + Rainer Industrie-Elektronik Ges M B H Beleuchtung für industrielle Bildverarbeitung
WO2017223204A1 (en) * 2016-06-22 2017-12-28 Cineled Lighting device and method of using the same
DE102016124612A1 (de) * 2016-12-16 2018-06-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Segmentierte Optik für ein Beleuchtungsmodul zur winkelselektiven Beleuchtung
JP7265531B2 (ja) 2017-09-28 2023-04-26 ユニヴァーサル インストゥルメンツ コーポレイション 改良されたリード先端照明装置、システム、および方法関連技術の相互参照
US10441379B2 (en) 2017-12-28 2019-10-15 3Gen, Inc. Multipurpose medical illuminator with magnification
DE102018200162A1 (de) * 2018-01-08 2019-07-11 Robert Bosch Gmbh Optisches Sensormodul für spektroskopische Messung
DE102018101908B4 (de) * 2018-01-29 2020-07-09 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Durchlichtmikroskop mit Zusatzbeleuchtungsmodul
USD857979S1 (en) 2018-03-05 2019-08-27 Intellytech Llc Foldable light emitting mat
USD857980S1 (en) 2018-04-05 2019-08-27 Intellytech Llc Foldable light emitting mat
CN109363768A (zh) * 2018-10-10 2019-02-22 南京诺源医疗器械有限公司 785nm波长光源近红外荧光造影手术引导系统
DE102018221825B4 (de) * 2018-12-14 2020-06-25 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Beleuchtungseinrichtung für eine Kamera oder einen optischen Sensor
RU200144U1 (ru) * 2019-10-24 2020-10-08 Акционерное общество "ЛОМО" (АО "ЛОМО") Цифровой микроскоп со сверхразрешением
US11395714B2 (en) 2019-11-11 2022-07-26 Dermlite Llc Medical illuminator with variable polarization
EP3926385B1 (en) * 2020-06-16 2024-05-15 Carl Zeiss Microscopy GmbH Digital microscope and microscopic set
CN113946043A (zh) * 2020-07-16 2022-01-18 香港科技大学 一种激发光源和包括该激发光源的荧光显微镜
US20240159998A1 (en) * 2022-11-16 2024-05-16 Electronics And Telecommunications Research Institute Illumination device of reflection type fourier ptychographic microscopy and control method thereof
US12242047B2 (en) 2023-06-29 2025-03-04 Mitutoyo Corporation Metrology system utilizing annular optical configuration
US12423779B1 (en) 2024-04-29 2025-09-23 Mitutoyo Corporation Metrology system utilizing points-from-focus type processes with glare reduction

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4567551A (en) * 1984-02-27 1986-01-28 Automation Gages, Inc. Multi-directional surface illuminator
EP0356680A1 (de) * 1988-08-11 1990-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Optische Aufnahmeeinrichtung für Bildverarbeitungssysteme
US4893223A (en) * 1989-01-10 1990-01-09 Northern Telecom Limited Illumination devices for inspection systems
DE3906555A1 (de) * 1989-03-02 1989-07-06 Zeiss Carl Fa Auflicht-objektbeleuchtungseinrichtung
JP2969401B2 (ja) * 1991-10-29 1999-11-02 株式会社新川 ボンデイングワイヤ検査装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004502168A (ja) * 2000-06-28 2004-01-22 テラダイン・インコーポレーテッド 自動光学検査システム用の照明装置
JP2005227442A (ja) * 2004-02-12 2005-08-25 Olympus Corp 顕微鏡用照明装置
JP2005331623A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Ccs Inc 顕微鏡用照明装置
JP2009500937A (ja) * 2005-07-08 2009-01-08 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 走査型フラッシュ装置を備えるデジタル画像取り込み装置
JP2009502377A (ja) * 2005-08-02 2009-01-29 ベルヒトルト、ホールディング、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング 手術用照明ランプ
JP2007057296A (ja) * 2005-08-23 2007-03-08 Denso Wave Inc 光学読取装置
US8033673B2 (en) 2007-02-20 2011-10-11 Mitutoyo Corporation Illumination device and vision measuring instrument
KR101177163B1 (ko) 2008-03-31 2012-08-24 우시오덴키 가부시키가이샤 조명용 광원 및 그를 이용한 패턴 검사 장치
JP2009244037A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Ushio Inc 照明用光源およびそれを用いたパターン検査装置
JP2012064179A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Keyence Corp 光学情報読取装置用のｌｅｄ照明装置
JP2012068784A (ja) * 2010-09-22 2012-04-05 Casio Comput Co Ltd 二次元パターン読み取り装置、その制御方法およびプログラム
JP2015002824A (ja) * 2013-06-20 2015-01-08 株式会社中央技研 口腔医療用照明器具
JP2016212252A (ja) * 2015-05-08 2016-12-15 オリンパス株式会社 顕微鏡システムおよび照明操作装置
CN109154571A (zh) * 2016-05-31 2019-01-04 分子装置有限公司 利用倾斜照射的成像系统
KR20180101688A (ko) * 2017-03-03 2018-09-13 (주)커넥슨 광학검사장치용 조명유닛
JP2018185454A (ja) * 2017-04-27 2018-11-22 オリンパス株式会社 観察装置および観察方法
JP2018057891A (ja) * 2017-11-22 2018-04-12 株式会社中央技研 口腔医療用照明器具

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