JPH1056049A - 集塵車および集塵車の使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送路内のパーティクルが半導体ウェハに付
着するのを防止する。 【解決手段】 集塵車本体６に駆動車輪１５を設け、集
塵車本体６にガスタンク７を設け、ガスタンク７に接続
して吹出しノズル８を設け、集塵車本体６に集塵タンク
１０を設け、集塵タンク１０に接続して吸引ノズル９を
設け、吸引ノズル９、集塵タンク１０の内表面に板状の
静電吸着体１１を設け、集塵タンク１０に排気用ポンプ
１２、フィルタ１３、排気口１４を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被処理物を気流によ
って搬送路内を搬送する気流搬送装置、特に半導体製造
装置において半導体ウェハを搬送する気流搬送装置にお
いて使用する集塵車および集塵車の使用方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置においては、半導体ウェ
ハを各処理装置間に搬送するために搬送装置を用いてい
る。この種の搬送装置としては、半導体ウェハカセット
治具を搬送車に積載して搬送する搬送装置、半導体ウェ
ハを一枚毎にロボットアームで搬送する搬送装置が一般
的である。しかし、これらの搬送装置においては、半導
体ウェハの処理空間の雰囲気は大気中であり、充分な高
清浄雰囲気空間となっていない。

【０００３】このため、半導体ウェハを気流（エアベア
リング）によって搬送路内を搬送する気流搬送装置が考
えられており、この気流搬送装置は搬送路内をクローズ
ドタイプ（密閉系）にすることができるから、充分な高
清浄雰囲気空間とすることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、気流搬送装置
においては、搬送路内のパーティクルが半導体ウェハに
付着するという問題がある。そして、半導体ウェハに形
成される半導体集積回路などの微細化、高性能化に伴っ
て汚染や付着異物に対する許容限度が低下しつつあるこ
とを考慮すれば、半導体製造装置の信頼度や半導体ウェ
ハの生産性（歩留まり）向上などの点から上記問題は重
要な問題となるのである。

【０００５】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、搬送路内のパーティクルが被処理物に付着
するのを防止することができる集塵車、集塵車の使用方
法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、被処理物を気流によって搬送す
る気流搬送装置の搬送路内を走行する集塵車において、
ガスを吹き出す吹出部と、ガスを吸引する吸引部とを設
ける。

【０００７】この場合、上記吸引部に静電気発生装置を
設ける。

【０００８】また、上記吸引部にフィルタを設ける。

【０００９】また、被処理物を気流によって搬送路内を
搬送する気流搬送装置の上記搬送路内の集塵を行なう集
塵車の使用方法において、上記搬送路の表面に複数の分
割静電吸着体に分割された静電吸着体を設け、各上記分
割静電吸着体に電源を接続し、ガスを吹き出す吹出部と
ガスを吸引する吸引部とを有する集塵車を上記搬送路内
を走行させ、上記集塵車の動きと同期させて上記分割静
電吸着体の電荷を減少させまたはゼロとし、上記吹出部
からガスを吹き出し、上記吸引部によりガスを吸引す
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る集塵車を示す
概略断面図である。図に示すように、集塵車本体６に駆
動車輪１５が設けられ、駆動車輪１５はバッテリを電源
とするモータ（図示せず）によって駆動される。また、
集塵車本体６にガスタンク７が設けられ、ガスタンク７
に接続して吹出しノズル８が設けられ、吹出しノズル８
は集塵車本体６の下面に開口している。また、集塵車本
体６に集塵タンク１０が設けられ、集塵タンク１０に接
続して吸引ノズル９が設けられ、吸引ノズル９は集塵車
本体６の下面に開口している。また、吸引ノズル９、集
塵タンク１０の内表面に静電気発生装置である板状の静
電吸着体１１が設けられ、集塵タンク１０に排気用ポン
プ１２、フィルタ１３、排気口１４が接続されている。
そして、ガスタンク７、吹出しノズル８で吹出部が構成
され、また吸引ノズル９、集塵タンク１０、排気用ポン
プ１２で吸引部が構成されている。

【００１１】図２は本発明に係る集塵車を使用すべき気
流搬送装置の一部を示す概略斜視図、図３は図２に示し
た気流搬送装置の一部を示す概略断面図である。図に示
すように、搬送路下部１ａと搬送路上部１ｂとからなる
搬送路１が設けられ、搬送路１は大気と遮断された密閉
空間となっており、搬送路下部１ａにガス噴射ノズル４
が設けられ、ガス噴射ノズル４はＮ₂ガス等の噴射ガス
供給装置（図示せず）と接続されており、搬送路上部１
ｂの内表面には静電吸着体３が着脱可能に取り付けら
れ、静電吸着体３は交互に並べられた板状の正分割静電
吸着体３ａと板状の負分割静電吸着体３ｂとからなり、
正分割静電吸着体３ａ、負分割静電吸着体３ｂに電圧を
制御できる直流電源２が接続されている。

【００１２】この気流搬送装置においては、ガス噴射ノ
ズル４から噴射ガスを噴射すれば、噴射ガスの気流によ
り半導体ウェハ（図示せず）を搬送することができる。
そして、直流電源２により正分割静電吸着体３ａに正の
電荷を帯電させ、負分割静電吸着体３ｂに負の電荷を帯
電させれば、搬送路１内に浮遊しているパーティクルお
よび搬送路１の内表面に付着しているパーティクルが正
あるいは負に帯電しているから、静電気（クーロン力）
によりパーティクルを静電吸着体３に吸着することがで
きるので、搬送路１内のパーティクルが半導体ウェハに
付着することがない。このため、半導体ウェハに形成さ
れる半導体集積回路などの微細化、高性能化等に与える
影響を低減することができ、半導体製造装置の信頼度、
半導体ウェハの生産性を向上することができる。また、
静電吸着体３が搬送路上部１ｂに着脱可能に取り付けら
れているから、静電吸着体３を搬送路上部１ｂから取り
外した状態で静電吸着体３に付着したパーティクルを除
去することができるので、容易に静電吸着体３からパー
ティクルを除去することができる。また、静電吸着体３
は正分割静電吸着体３ａと負分割静電吸着体３ｂとから
なるから、負に帯電したパーティクルおよび正に帯電し
たパーティクルを吸着することができるので、確実にパ
ーティクルを静電吸着体３に吸着させることができる。
また、静電吸着体３に電圧を制御できる直流電源２が接
続されているから、静電吸着体３の電荷量を制御するこ
とができるので、半導体ウェハを吸着しない範囲でパー
ティクルの吸着力を調整することができる。

【００１３】図４は本発明に係る集塵車を使用すべき他
の気流搬送装置の一部を示す概略断面図である。図に示
すように、搬送路上部１ｂは搬送路下部１ａに対して上
下動可能に支持され、搬送路下部１ａと搬送路上部１ｂ
との間にベローズ等の収縮可能な構造体５が設けられ、
モータにより駆動されるボールスクリュー等のねじ機
構、エアシリンダにより駆動されるリンク機構などから
なる昇降装置（図示せず）によって搬送路上部１ｂが上
下動され、搬送路１の高さを調整することができる。

【００１４】この気流搬送装置においては、搬送路１の
高さを低くすれば、静電吸着体３とパーティクルとの距
離を小さくすることができるから、静電吸着体３の吸着
力が大きくなるので、効率の良い集塵を行なうことがで
きる。また、直流電源２により静電吸着体３の電荷量を
制御するとともに、搬送路１の高さを調整すれば、より
効率の良い集塵を行なうことができる。

【００１５】図１に示した集塵車においては、図２、図
３に示した気流搬送装置、図４に示した気流搬送装置の
搬送路１内に位置させた状態で、吹出しノズル８からガ
スタンク７内の高圧ガスを搬送路下部１ａの表面に吹き
付けると、搬送路下部１ａの表面に付着したパーティク
ルがガスの吹き付けにより浮遊し、浮遊したパーティク
ルは吸引ノズル９から吸引される。そして、吸引ノズル
９から吸引されたパーティクルは静電吸着体１１に付着
し、またフィルタ１３によって捕獲される。したがっ
て、搬送路１内のパーティクルが半導体ウェハに付着す
ることがないから、半導体製造装置の信頼度、半導体ウ
ェハの生産性を向上することができる。また、パーティ
クルを静電吸着体１１、フィルタ１３によって除去する
から、吸引ノズル９から吸引したガスを搬送路１外に排
出するホース等のガス排出手段を設ける必要がない。

【００１６】図５は本発明に係る他の集塵車を示す概略
断面図である。図に示すように、ガスタンク７に接続し
て吹出しノズル１６が設けられ、吹出しノズル１６は集
塵車本体６の上面に開口している。また、集塵タンク１
０に接続して吸引ノズル１７が設けられ、吸引ノズル１
７は集塵車本体６の上面に開口している。また、吸引ノ
ズル１７、集塵タンク１０の内表面に静電気発生装置で
ある板状の静電吸着体１８が設けられている。そして、
ガスタンク７、吹出しノズル１６で吹出部が構成され、
また吸引ノズル１７、集塵タンク１０、排気用ポンプ１
２で吸引部が構成されている。

【００１７】図５に示した集塵車、集塵車の使用方法に
おいては、集塵車の動きと同期させて搬送路上部１ｂに
取り付けられた静電吸着体３の正分割静電吸着体３ａ、
負分割静電吸着体３ｂの電荷を減少させまたはゼロと
し、吹出しノズル１６からガスタンク７内の高圧ガスを
静電吸着体３の表面に吹き付けると、静電吸着体３の表
面に付着したパーティクルがガスの吹き付けにより浮遊
し、浮遊したパーティクルは吸引ノズル１７から吸引さ
れる。そして、吸引ノズル１７から吸引されたパーティ
クルは静電吸着体１８に付着し、またフィルタ１３によ
って捕獲される。

【００１８】このような集塵車、集塵車の使用方法にお
いては、集塵車の動きと同期させて正分割静電吸着体３
ａ、負分割静電吸着体３ｂの電荷を減少させまたはゼロ
としているから、静電吸着体３の表面に付着したパーテ
ィクルを確実に除去することができるので、静電吸着体
３の表面に付着したパーティクルを除去するために静電
吸着体３を搬送路１の外部に出す必要がない。このた
め、搬送路１を大気に開放する必要がないから、大気中
からパーティクルが搬送路１内に侵入することがないの
で、搬送路１内のパーティクルが半導体ウェハに付着す
ることがないため、半導体製造装置の信頼度、半導体ウ
ェハの生産性を向上することができる。

【００１９】なお、上述実施の形態においては、被処理
物が半導体ウェハの場合について説明したが、ガラス基
板等の他の被処理物を搬送する気流搬送装置にも本発明
を適用することができる。また、図１に示した集塵車に
おいては、吹出しノズル８、吸引ノズル９を集塵車本体
６の下面に開口させ、また図５に示した集塵車において
は、吹出しノズル１６、吸引ノズル１７を集塵車本体６
の上面に開口させたが、吹出しノズル、吸引ノズルを集
塵車本体６の下面および上面に開口させてもよい。この
場合、集塵車の動きと同期させて搬送路上部１ｂに取り
付けられた静電吸着体３の正分割静電吸着体３ａ、負分
割静電吸着体３ｂの電荷を減少させまたはゼロとしても
よく、また集塵車の動きにかかわらず搬送路上部１ｂに
取り付けられた静電吸着体３に電荷を帯電させない状態
としてもよい。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る集塵
車においては、搬送路からパーティクルを除去すること
ができるから、搬送路内のパーティクルが被処理物に付
着することがない。

【００２１】また、吸引部に静電気発生装置を設けたと
きには、吸引ノズルから吸引したガスを搬送路外に排出
するガス排出手段を設ける必要がない。

【００２２】また、吸引部にフィルタを設けたときに
は、吸引ノズルから吸引したガスを搬送路外に排出する
ガス排出手段を設ける必要がない。

【００２３】また、本発明に係る集塵車の使用方法にお
いては、静電吸着体の表面に付着したパーティクルを確
実に除去することができるから、静電吸着体の表面に付
着したパーティクルを除去するために静電吸着体を搬送
路の外部に出す必要がないので、搬送路を大気に開放す
る必要がなく、大気中からパーティクルが搬送路内に侵
入することがないため、搬送路内のパーティクルが半導
体ウェハに付着することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る集塵車を示す概略断面図である。

【図２】本発明に係る集塵車を使用すべき気流搬送装置
の一部を示す概略斜視図である。

【図３】図２に示した気流搬送装置の一部を示す概略断
面図である。

【図４】本発明に係る集塵車を使用すべき他の気流搬送
装置の一部を示す概略断面図である。

【図５】本発明に係る他の集塵車を示す概略断面図であ
る。

【符号の説明】

６…集塵車本体 ７…ガスタンク ８…吹出しノズル ９…吸引ノズル １０…集塵タンク １１…静電吸着体 １２…排気用ポンプ １３…フィルタ １６…吹出しノズル １７…吸引ノズル １８…静電吸着体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 由雄 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 都田 昌之 山形県米沢市城南四丁目３番16号 山形大 学内 (72)発明者 梅田 優 東京都中央区日本橋室町四丁目２番16号 株式会社渡邊商行内 (72)発明者 谷貝 道雄 東京都福生市熊川字武蔵野1598番地 株式 会社トムコ内 (72)発明者 城所 肇 東京都福生市熊川字武蔵野1598番地 株式 会社トムコ内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被処理物を気流によって搬送する気流搬送
   装置の搬送路内を走行する集塵車において、ガスを吹き
   出す吹出部と、ガスを吸引する吸引部とを具備すること
   を特徴とする集塵車。
2. 【請求項２】上記吸引部に静電気発生装置を設けたこと
   を特徴とする請求項１に記載の集塵車。
3. 【請求項３】上記吸引部にフィルタを設けたことを特徴
   とする請求項１に記載の集塵車。
4. 【請求項４】被処理物を気流によって搬送路内を搬送す
   る気流搬送装置の上記搬送路内の集塵を行なう集塵車の
   使用方法において、上記搬送路の表面に複数の分割静電
   吸着体に分割された静電吸着体を設け、各上記分割静電
   吸着体に電源を接続し、ガスを吹き出す吹出部とガスを
   吸引する吸引部とを有する集塵車を上記搬送路内を走行
   させ、上記集塵車の動きと同期させて上記分割静電吸着
   体の電荷を減少させまたはゼロとし、上記吹出部からガ
   スを吹き出し、上記吸引部によりガスを吸引することを
   特徴とする集塵車の使用方法。