JPH1056689A - 圧電発音体 - Google Patents
圧電発音体Info
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- JPH1056689A JPH1056689A JP8211409A JP21140996A JPH1056689A JP H1056689 A JPH1056689 A JP H1056689A JP 8211409 A JP8211409 A JP 8211409A JP 21140996 A JP21140996 A JP 21140996A JP H1056689 A JPH1056689 A JP H1056689A
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Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電振動板の収納ケースへ固着する接着剤の
流出を防止して音響特性への悪影響を阻止し、且つ接着
強度を高めた小型化、薄型化に対応する圧電発音体を提
供する。 【構成】 圧電発音体30は、収納ケース9に固着させ
る圧電振動板25の周辺部の接着剤8の塗布領域に断面
形状が複数の連続する三角波27の凹凸を折曲形成した
構成であり、接着剤8の流出を抑える壁ができ、且つ接
着剤との接着面積を広くすることができて僅かの接着領
域xで済む。
流出を防止して音響特性への悪影響を阻止し、且つ接着
強度を高めた小型化、薄型化に対応する圧電発音体を提
供する。 【構成】 圧電発音体30は、収納ケース9に固着させ
る圧電振動板25の周辺部の接着剤8の塗布領域に断面
形状が複数の連続する三角波27の凹凸を折曲形成した
構成であり、接着剤8の流出を抑える壁ができ、且つ接
着剤との接着面積を広くすることができて僅かの接着領
域xで済む。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話機や電子
音ブザー等において使用される圧電発音体、更に詳しく
は、圧電振動板の収納ケースへの固着に際して使用され
る接着剤の振動板内側への侵入を防止して接着剤の音圧
特性に与える影響を回避する圧電発音体に関するもので
ある。
音ブザー等において使用される圧電発音体、更に詳しく
は、圧電振動板の収納ケースへの固着に際して使用され
る接着剤の振動板内側への侵入を防止して接着剤の音圧
特性に与える影響を回避する圧電発音体に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】高度情報化時代を迎えて、圧電発音体は
旧来の電磁スピーカに代わって携帯電話機その他の情報
機器や電子機器等におけるスピーカーやマイクロホンと
して、また家庭電気製品に使用される電子音ブザー等と
して近年、需要が著しく拡大している。
旧来の電磁スピーカに代わって携帯電話機その他の情報
機器や電子機器等におけるスピーカーやマイクロホンと
して、また家庭電気製品に使用される電子音ブザー等と
して近年、需要が著しく拡大している。
【0003】この圧電発音体は圧電材の圧電効果を利用
した極めて簡単な構造で、小型化、薄型化、低コスト化
に適しており、上記用途に格好のものである。
した極めて簡単な構造で、小型化、薄型化、低コスト化
に適しており、上記用途に格好のものである。
【0004】以下、従来の圧電発音体の構造例を図5の
断面図を参照することにより説明する。
断面図を参照することにより説明する。
【0005】圧電素子21は、強誘電体等に圧力または
張力等を印加すると分極が発生して端面に静電荷を生じ
る圧電効果或いは電界を印加すると機械的応力を生じる
電歪効果を利用した振動エネルギー/電気エネルギー変
換素子であり、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)磁器等
の強誘電体セラミックスを圧電材として薄円板状に形成
され、その両主面に例えば銀等の電気伝導性の良好なる
電極が塗着形成されている。
張力等を印加すると分極が発生して端面に静電荷を生じ
る圧電効果或いは電界を印加すると機械的応力を生じる
電歪効果を利用した振動エネルギー/電気エネルギー変
換素子であり、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)磁器等
の強誘電体セラミックスを圧電材として薄円板状に形成
され、その両主面に例えば銀等の電気伝導性の良好なる
電極が塗着形成されている。
【0006】前記圧電素子21は、真鍮等を材質として
該圧電素子21よりも大径であって薄円板状に形成され
た圧電振動板22の一方の主面22aまたは両方の主面
に、一方の電極を介在して固着されることにより圧電要
素20が構成されている。なお、圧電素子を一方主面の
みに固着したものをユニモルフ、両主面に各々圧電素子
を固着したものをバイモルフと称する。
該圧電素子21よりも大径であって薄円板状に形成され
た圧電振動板22の一方の主面22aまたは両方の主面
に、一方の電極を介在して固着されることにより圧電要
素20が構成されている。なお、圧電素子を一方主面の
みに固着したものをユニモルフ、両主面に各々圧電素子
を固着したものをバイモルフと称する。
【0007】この際、図示しないが、前記圧電要素20
における圧電素子21に被着された他方の電極の一端部
及び前記圧電振動板22の一端部には、外部との電気的
信号の授受を行うための絶縁被覆導線が半田固定される
とともに、該圧電要素20のハウジング基体となる収納
ケース11より導出されているものとする。
における圧電素子21に被着された他方の電極の一端部
及び前記圧電振動板22の一端部には、外部との電気的
信号の授受を行うための絶縁被覆導線が半田固定される
とともに、該圧電要素20のハウジング基体となる収納
ケース11より導出されているものとする。
【0008】該収納ケース11は、一般には合成樹脂等
を材質として上記圧電要素20の周辺を収納ケース内壁
に圧電振動板が振動可能なように固定する固定体であっ
て、特にその形状、寸法、及び圧電振動板を固定する内
壁の構造に限定はないが、例えば、図6の収納ケース1
1では、上下に分かれた収納ケースA、Bの内壁嵌合部
分に形成された内壁に沿って周設される凹部に圧電振動
板の周辺部を挟みつつ接着剤にて周辺部上下を固着した
構造を成している。
を材質として上記圧電要素20の周辺を収納ケース内壁
に圧電振動板が振動可能なように固定する固定体であっ
て、特にその形状、寸法、及び圧電振動板を固定する内
壁の構造に限定はないが、例えば、図6の収納ケース1
1では、上下に分かれた収納ケースA、Bの内壁嵌合部
分に形成された内壁に沿って周設される凹部に圧電振動
板の周辺部を挟みつつ接着剤にて周辺部上下を固着した
構造を成している。
【0009】上記のような圧電発音体は薄型化、小型化
に適する反面、圧電振動板が小さくなることは低周波化
と相反することになる。
に適する反面、圧電振動板が小さくなることは低周波化
と相反することになる。
【0010】そこで、圧電振動板の接着剤が塗布されて
収納ケースと固着される周辺部の接着領域はできるだけ
狭くして振動領域を広げることが望ましい。
収納ケースと固着される周辺部の接着領域はできるだけ
狭くして振動領域を広げることが望ましい。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図6の
(a)の圧電要素7の斜視図及び図6の(b)の収納ケ
ース9に固着された圧電振動板周辺部の拡大断面図に示
されるように、従来の圧電振動板5の主面は一般には全
体が平坦面であり、圧電振動板の周辺部に塗布した接着
剤8(粘性のある流体)が圧電振動板5の接着領域xか
ら内側(圧電素子1のある中心側)へ流出してしまい、
硬化すると振動面に張り付いて弾性変位を阻害すること
で音響特性に悪影響を与えてしまう。
(a)の圧電要素7の斜視図及び図6の(b)の収納ケ
ース9に固着された圧電振動板周辺部の拡大断面図に示
されるように、従来の圧電振動板5の主面は一般には全
体が平坦面であり、圧電振動板の周辺部に塗布した接着
剤8(粘性のある流体)が圧電振動板5の接着領域xか
ら内側(圧電素子1のある中心側)へ流出してしまい、
硬化すると振動面に張り付いて弾性変位を阻害すること
で音響特性に悪影響を与えてしまう。
【0012】そこで本発明のうち請求項1記載の発明
は、圧電発音体の圧電振動板の周辺部に塗布された接着
剤が振動板の内側へ流出しないように凹凸の壁を設けた
圧電発音体を提供することを目的としたものである。
は、圧電発音体の圧電振動板の周辺部に塗布された接着
剤が振動板の内側へ流出しないように凹凸の壁を設けた
圧電発音体を提供することを目的としたものである。
【0013】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明の目的に加えて、特に、単なる凹凸よりも狭い
領域に「壁」を多数設けることができ、且つ振動板の薄
膜化に対処するものとして、更には凹凸を設けるよりも
簡単な折曲という「壁」をつくる手段を採用できること
の利点がある圧電発音体を提供することを目的とする。
載の発明の目的に加えて、特に、単なる凹凸よりも狭い
領域に「壁」を多数設けることができ、且つ振動板の薄
膜化に対処するものとして、更には凹凸を設けるよりも
簡単な折曲という「壁」をつくる手段を採用できること
の利点がある圧電発音体を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項1記載の発明は、圧電材の両面
に電極を形成した圧電素子を一方または両方の主面に固
着した圧電振動板の周辺部を収納ケースに接着剤にて固
定してなる圧電発音体における前記圧電振動板の両主面
の少なくとも接着剤が塗布される領域に周縁端から凹凸
を平行リング状に周設したことを特徴とする。
に、本発明のうち請求項1記載の発明は、圧電材の両面
に電極を形成した圧電素子を一方または両方の主面に固
着した圧電振動板の周辺部を収納ケースに接着剤にて固
定してなる圧電発音体における前記圧電振動板の両主面
の少なくとも接着剤が塗布される領域に周縁端から凹凸
を平行リング状に周設したことを特徴とする。
【0015】ここで、凹凸としては、圧伝振動板の厚さ
が20〜100μm程度の薄さになっていることからし
て、高さ0.1〜0.4mmの範囲の凹凸と成し、0.
1〜0.4mmピッチで2〜6組程度平行リング状に
(円形の圧電振動板では同心円となるリング状に)設け
られる。
が20〜100μm程度の薄さになっていることからし
て、高さ0.1〜0.4mmの範囲の凹凸と成し、0.
1〜0.4mmピッチで2〜6組程度平行リング状に
(円形の圧電振動板では同心円となるリング状に)設け
られる。
【0016】このように圧電振動板を形成すると、上記
凹凸が圧電振動板の周縁端から接着剤の塗布面全域に設
けられているので、径方向の塗布領域の幅を従来と同じ
くすると接着剤との接触面積が広くなり、且つ圧電振動
板の周辺部の接着領域に塗布された接着剤が凹凸が壁と
なって留まり内へ流出しない。然して圧電振動板を収納
ケースに固着するに必要な幅が小さくて済むので小型化
に有効であり、また接着剤が圧電振動板の振動する内側
に固着して圧電振動板の弾力性を奪って振動に悪影響を
与える虞が回避される。
凹凸が圧電振動板の周縁端から接着剤の塗布面全域に設
けられているので、径方向の塗布領域の幅を従来と同じ
くすると接着剤との接触面積が広くなり、且つ圧電振動
板の周辺部の接着領域に塗布された接着剤が凹凸が壁と
なって留まり内へ流出しない。然して圧電振動板を収納
ケースに固着するに必要な幅が小さくて済むので小型化
に有効であり、また接着剤が圧電振動板の振動する内側
に固着して圧電振動板の弾力性を奪って振動に悪影響を
与える虞が回避される。
【0017】ここで、上記凹凸の断面形状は特に限定さ
れるものではないが、圧電振動板は薄いほど音響特性
(音圧特性や周波数特性)が良いので、今後基本的に薄
くなる方向に移行していく点、及び小型化によって圧電
振動板の面積は小さくなり、できるだけ振動面を確保す
る必要から収納ケースへの接着領域(接着塗布面)は狭
いことが要請される点を十分考慮する必要がでてくる。
れるものではないが、圧電振動板は薄いほど音響特性
(音圧特性や周波数特性)が良いので、今後基本的に薄
くなる方向に移行していく点、及び小型化によって圧電
振動板の面積は小さくなり、できるだけ振動面を確保す
る必要から収納ケースへの接着領域(接着塗布面)は狭
いことが要請される点を十分考慮する必要がでてくる。
【0018】この点、圧電振動板の両主面の周辺部に文
字通りの凹凸(振動板の厚さよりも凹凸部分の厚さが局
所的に薄くなっているもの)を設けることが困難となる
(蓋し、過度に薄いと振動強度が確保できない)。
字通りの凹凸(振動板の厚さよりも凹凸部分の厚さが局
所的に薄くなっているもの)を設けることが困難となる
(蓋し、過度に薄いと振動強度が確保できない)。
【0019】そこで、請求項2記載の発明では、上記凹
凸による接着剤の流出防止の効果に加えて、前記凹凸の
断面形状が複数の連続する三角波となるように圧電振動
板の接着剤が塗布される周辺部を折曲したことを特徴と
する圧電発音体であり、接着剤の塗布面を僅かの領域に
限定しても(つまり径方向の塗布領域の幅を狭くして
も)十分な接着剤との接着面積を確保しつつ複数の凹凸
(壁)を設けることができ(高さを調整してピッチを狭
くすれば良い)、また圧電振動板の厚さを局所的に変え
ずに厚さ一定で(つまり圧電振動板の強度を落とすこと
なく)三角波(壁)を作ることが折曲という手段で容易
に実現できるのである。
凸による接着剤の流出防止の効果に加えて、前記凹凸の
断面形状が複数の連続する三角波となるように圧電振動
板の接着剤が塗布される周辺部を折曲したことを特徴と
する圧電発音体であり、接着剤の塗布面を僅かの領域に
限定しても(つまり径方向の塗布領域の幅を狭くして
も)十分な接着剤との接着面積を確保しつつ複数の凹凸
(壁)を設けることができ(高さを調整してピッチを狭
くすれば良い)、また圧電振動板の厚さを局所的に変え
ずに厚さ一定で(つまり圧電振動板の強度を落とすこと
なく)三角波(壁)を作ることが折曲という手段で容易
に実現できるのである。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【0021】図1は本発明の請求項1に係わる圧電発音
体の実施の形態例を示す断面図である。
体の実施の形態例を示す断面図である。
【0022】図2はその圧電発音体の圧電素子の斜視図
(a)及び収納ケースに接着固定された圧電振動板の状
態を説明するための拡大断面図(b)である。
(a)及び収納ケースに接着固定された圧電振動板の状
態を説明するための拡大断面図(b)である。
【0023】図3は本発明の請求項2に係わる圧電発音
体の実施例を示す断面図である。
体の実施例を示す断面図である。
【0024】図4はその圧電発音体の圧電振動板の周辺
部形状を説明するための拡大断面図である。
部形状を説明するための拡大断面図である。
【0025】図1において、圧電発音体20は、圧電材
2の両面に電極3、4を形成した圧電素子1を一方の主
面15aに固着した圧電振動板15の周辺部16を収納
ケース9に接着剤8にて固定した構造であって、特に図
2に示されるように、前記圧電振動板15の両主面15
a、15bの少なくとも接着剤8が塗布される領域(概
ね周辺部16に該当)に周縁端から凹凸17(便宜上凹
部分のみを符号17で示す)を平行リング状に周設した
ことを特徴とする。
2の両面に電極3、4を形成した圧電素子1を一方の主
面15aに固着した圧電振動板15の周辺部16を収納
ケース9に接着剤8にて固定した構造であって、特に図
2に示されるように、前記圧電振動板15の両主面15
a、15bの少なくとも接着剤8が塗布される領域(概
ね周辺部16に該当)に周縁端から凹凸17(便宜上凹
部分のみを符号17で示す)を平行リング状に周設した
ことを特徴とする。
【0026】上記凹凸17の周設によって、第一に従来
と同等幅の接着剤塗布領域xであっても、圧電振動板1
5の周辺部16と接着剤8との接触面積が広く確保でき
ることになる。
と同等幅の接着剤塗布領域xであっても、圧電振動板1
5の周辺部16と接着剤8との接触面積が広く確保でき
ることになる。
【0027】第二に接着剤8を塗布した場合に凹凸17
が「溜場」もしくは「壁」となって、接着剤8が圧電振
動板15の内側(圧電素子1が配設されている中央側)
への流出(侵入)が抑えられる。
が「溜場」もしくは「壁」となって、接着剤8が圧電振
動板15の内側(圧電素子1が配設されている中央側)
への流出(侵入)が抑えられる。
【0028】上記凹凸17は例えば従来の平坦な円形の
圧電振動板5の周辺部に溝を同心円状に周設することに
より形成することができる。
圧電振動板5の周辺部に溝を同心円状に周設することに
より形成することができる。
【0029】この際、凹凸(溝)は圧電振動板の周縁端
から接着剤塗布領域xの内端まで複数設けることが肝要
である。
から接着剤塗布領域xの内端まで複数設けることが肝要
である。
【0030】ところで、圧電発音体は小型化、薄型化、
音響特性向上の要請が強く、この要請に応えるため圧電
振動板も数十ミクロンの厚さになってきている。
音響特性向上の要請が強く、この要請に応えるため圧電
振動板も数十ミクロンの厚さになってきている。
【0031】然るに薄い圧電振動板15の周辺部に形成
した凹凸が前記のような溝形状であると、該周辺部が更
に薄い部分となって特に内側の溝部分の振動強度が弱く
なる虞が生じてくる。(薄い程音響特性は向上するが薄
過ぎても問題なのである。)また、小型化によって圧電
振動板の寸法も小さくなり、振動部分の面積を確保する
ために収納ケースとの接着剤塗布領域xはできるだけ小
さくする必要がある。
した凹凸が前記のような溝形状であると、該周辺部が更
に薄い部分となって特に内側の溝部分の振動強度が弱く
なる虞が生じてくる。(薄い程音響特性は向上するが薄
過ぎても問題なのである。)また、小型化によって圧電
振動板の寸法も小さくなり、振動部分の面積を確保する
ために収納ケースとの接着剤塗布領域xはできるだけ小
さくする必要がある。
【0032】これに応えるものとして、図3及び図4に
示される実施の形態では、特に圧電発音体30における
圧電振動板25の周辺部に設ける凹凸の断面形状が複数
の連続する三角波27となるように圧電振動板の接着剤
が塗布される周辺部を折曲したことを特徴とする。
示される実施の形態では、特に圧電発音体30における
圧電振動板25の周辺部に設ける凹凸の断面形状が複数
の連続する三角波27となるように圧電振動板の接着剤
が塗布される周辺部を折曲したことを特徴とする。
【0033】上記凹凸としての三角波断面形状では圧電
振動板の厚さが周縁端まで一定であり、薄過ぎるという
問題はなく、且つ三角波のピッチを調整して凹凸を多数
形成することもできて接着面積を前述の実施の形態より
も更に広くなる。
振動板の厚さが周縁端まで一定であり、薄過ぎるという
問題はなく、且つ三角波のピッチを調整して凹凸を多数
形成することもできて接着面積を前述の実施の形態より
も更に広くなる。
【0034】加えて、折曲による凹凸の形成が可能なの
で、極めて簡単に凹凸が形成できる。
で、極めて簡単に凹凸が形成できる。
【0035】なお、接着剤8は弾性力に富むシリコーン
系の樹脂接着剤の使用が最適であろう。
系の樹脂接着剤の使用が最適であろう。
【0036】また、収納ケース9の形状や圧電振動板と
の係止構造は特に上記実施の形態に限るものではない
が、本発明では接着剤を用いることが前提である。
の係止構造は特に上記実施の形態に限るものではない
が、本発明では接着剤を用いることが前提である。
【0037】
【発明の効果】本発明のうち請求項1に記載の発明は、
収納ケースに対する圧電振動板の固定をより強固なもの
とし、また接着剤の圧電振動板内側への流出を防止して
音響特性への影響を阻止する効果が得られる。
収納ケースに対する圧電振動板の固定をより強固なもの
とし、また接着剤の圧電振動板内側への流出を防止して
音響特性への影響を阻止する効果が得られる。
【0038】さらに、請求項2記載の発明は、請求項1
記載の発明の効果に加えて、圧電発音体の小型化や圧電
振動板の薄型化に対応するものとして、強度を確保しつ
つ僅かの接着剤塗布領域で済むという効果が得られる。
記載の発明の効果に加えて、圧電発音体の小型化や圧電
振動板の薄型化に対応するものとして、強度を確保しつ
つ僅かの接着剤塗布領域で済むという効果が得られる。
【図1】本発明の請求項1に係わる圧電発音体の実施の
形態例を示す断面図である。
形態例を示す断面図である。
【図2】本発明の請求項1に係わる圧電発音体の圧電素
子の斜視図(a)及び収納ケースに接着固定された圧電
振動板の状態を説明するための拡大断面図(b)であ
る。
子の斜視図(a)及び収納ケースに接着固定された圧電
振動板の状態を説明するための拡大断面図(b)であ
る。
【図3】本発明の請求項2に係わる圧電発音体の実施の
形態例を示す断面図である。
形態例を示す断面図である。
【図4】本発明の請求項2に係わる圧電発音体の圧電振
動板の周辺部形状を説明するための拡大断面図である。
動板の周辺部形状を説明するための拡大断面図である。
【図5】従来の圧電発音体の構造を示す断面図である。
【図6】従来の圧電発音体における収納ケースに接着固
定された圧電振動板の周辺部を示す拡大断面図である。
定された圧電振動板の周辺部を示す拡大断面図である。
1 圧電素子 2 圧電材 3、4 電極 5、15、25 圧電振動板 6 放音孔 7 圧電要素 8 接着剤 9 収納ケース 10、20、30 圧電発音体 16 周辺部 17 凹凸(溝) 27 三角波(凹凸) 26 凸部
Claims (2)
- 【請求項1】 圧電材の両面に電極を形成した圧電素子
を一方または両方の主面に固着した圧電振動板の周辺部
を収納ケースに接着剤にて固定してなる圧電発音体にお
いて、前記圧電振動板の両主面の少なくとも接着剤が塗
布される領域に周縁端から凹凸を平行リング状に周設し
たことを特徴とする圧電発音体。 - 【請求項2】 前記凹凸の断面形状が複数の連続する三
角波となるように圧電振動板の接着剤が塗布される周辺
部を折曲したことを特徴とする請求項1記載の圧電発音
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211409A JPH1056689A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 圧電発音体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211409A JPH1056689A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 圧電発音体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1056689A true JPH1056689A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16605485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8211409A Withdrawn JPH1056689A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 圧電発音体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1056689A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100448108B1 (ko) * | 1999-06-30 | 2004-09-10 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 압전 발음체 및 그 제조 방법 |
| JP2012009768A (ja) * | 2010-03-25 | 2012-01-12 | Kyocera Corp | 圧電電子部品 |
| JP2017003642A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 三和電気工業株式会社 | 光コネクタフェルール用ブーツ |
| CN114207854A (zh) * | 2019-08-06 | 2022-03-18 | 日清纺微电子有限公司 | 压电元件 |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP8211409A patent/JPH1056689A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100448108B1 (ko) * | 1999-06-30 | 2004-09-10 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 압전 발음체 및 그 제조 방법 |
| JP2012009768A (ja) * | 2010-03-25 | 2012-01-12 | Kyocera Corp | 圧電電子部品 |
| JP2017003642A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 三和電気工業株式会社 | 光コネクタフェルール用ブーツ |
| CN114207854A (zh) * | 2019-08-06 | 2022-03-18 | 日清纺微电子有限公司 | 压电元件 |
| KR20220043126A (ko) * | 2019-08-06 | 2022-04-05 | 니신보 마이크로 디바이즈 인크. | 압전 소자 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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