JPH1058293A - 洗浄機能付き研磨装置 - Google Patents

洗浄機能付き研磨装置

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JPH1058293A
JPH1058293A JP8212351A JP21235196A JPH1058293A JP H1058293 A JPH1058293 A JP H1058293A JP 8212351 A JP8212351 A JP 8212351A JP 21235196 A JP21235196 A JP 21235196A JP H1058293 A JPH1058293 A JP H1058293A
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polishing apparatus
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昌広 板倉
Hiroshi Soyama
浩 曽山
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Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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MITSUBOSHI DAIYAMONDO KOGYO KK
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨液を供給しながら研磨機によりガラス板
を研磨すると、研磨粉を含んだ懸濁水がガラス板表面に
付着するために研磨後に洗浄が必要となる。 【解決手段】 定位置にある研磨機4に対して、テーブ
ル2上にセットしたガラス板1を移動させる間に、ガラ
ス板1の端面に対して研磨を行う研磨装置において、少
なくとも研磨位置にあるガラス板1を覆うフード11を
設け、そのフード11の所定部に設けた通水管12から
給水し、フード周縁部でのギャップから漏出する水を研
磨液として用い、又、研磨後に更にエア吹き付けを行う
か、純水を流すことにより、ガラス板を最終的に洗浄す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板の端面を
研磨する研磨装置に関し、特に研磨時に生じた研磨粉を
含む懸濁液を洗浄できる洗浄機能付き研磨装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図1にこの種の従来の研磨装置を示して
いる。ガラス板1はテーブル2上に真空吸引により固定
されており、そのテーブル2自身はガイド3により、紙
面と垂直方向に平行移動する。4は、ガラス板1が移動
する間にその両側端面を研磨加工するために45°方向
に傾けて設置された研磨機であり、径の違う二つの砥石
1,G2により、ガラス板端面におけるエッジを加工し
(面取り)、又、図2のように、研磨機4を移動させて円
錐形状の砥石G3の傾斜面をガラス板端面に当接させる
ことにより端面研磨を行う。研磨時の過熱防止、摩擦力
の低減および研磨粉の洗い流しのために研磨部位に対し
て研磨液として水を注ぐために設けられたのがノズル5
である。
【0003】このような従来の構成では、砥石Gが高速
回転しているため、研磨粉を含んだ懸濁液がグラインダ
の円周方向に飛び散り、それがガラス板表面に付着す
る。時間が経ってその懸濁液が乾燥してしまえば、ガラ
ス板表面に研磨粉が汚泥物として付着し、除去が困難と
なるため、研磨後、早い時期にガラス板を洗浄する必要
がある。
【0004】そこで、従来の研磨装置においては、積み
重ねられたガラス板の中から1枚づつ取り出しては、研
磨を行い、研磨したガラス板は別の場所に積み重ねてい
き、所定枚数の研磨を終えた時点で、それらのガラス板
を洗浄ラインへ搬送して、又、1枚づつ洗浄する方法を
とるか、あるいは研磨装置のライン上に洗浄装置を増設
し、研磨が終われば洗浄装置によりガラス板を洗浄する
方法をとっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前者の方
法は、研磨後直ちに洗浄が行われないために、前述した
懸濁液が乾燥、もしくは半乾燥することがあるために洗
浄が困難となる。一方、後者の方法では、研磨装置とは
別に洗浄装置を増設しなければならないため、洗浄装置
のための設置スペースが新たに必要となり、又、研磨装
置と洗浄装置とで処理速度がほぼ同じになるよう両装置
を連係させて運転させる必要があった。
【0006】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、同一のテーブル上で研磨に並行し
て洗浄、脱液を行うことにより、上述した課題を解消し
た洗浄機能付き研磨装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】図3は、定位置にある研
磨機4に対して、テーブル2にセットしたガラス板1が
移動するタイプのものを示し、テーブル2が図中、右方
向に移動する間にガラス板1の端面が研磨機4によって
研磨される。請求項1に係わる発明では、図示したよう
な研磨位置にあるガラス板に1対してその上面を覆うよ
うにしてフード11が設けられ、そのフード11とガラ
ス板1との間の空間に水を通じる通水管12が備えられ
る。
【0008】そして、研磨機4による研磨中に通水管1
2から給水すれば、フード下にあるガラス板1は常に水
で覆われた状態となり、かつ、フード11と研磨端面と
のギャップZから漏出した水が研磨液として研磨機4に
供給される。これにより、研磨により生じた懸濁水はそ
のまま外部に排出されるようになり、仮に懸濁水の一部
が排出方向に逆流してフード11内の空間部に浸入する
ようなことがあっても、懸濁水は直接にガラス板1に付
着することなく多量の水で希薄され、まもなく前記ギャ
ップZから排出されるので、ガラス板1の表面は常に清
浄に保たれる。
【0009】2機の研磨機4でガラス板1における第1
と第3の端面を研磨(研磨機が1基の場合は第1の端面
のみ研磨)し、続いて同研磨機4を用いて第2と第4の
端面を研磨するには、テーブル2は図中右方向に前進
し、前方端でテーブル(2'で示す)が90°旋回した
後、元の位置に後退する間に研磨機4により、第2と第
4の端面が研磨される。
【0010】請求項2では、テーブル2が前進し、旋回
し、そして後退する間にもテーブル上のガラス板1を洗
浄できるように、第2のフード13と、その第2のフー
ド13の内部に水を通じるための通水管14を備える。
【0011】図4は、定位置にあるテーブル2に対し
て、研磨機4が移動するタイプのものを示し、研磨機4
が後退する間にガラス板1の第1および第3端面が研磨
され、テーブル2が90°旋回した後、同研磨機4が前
進する間にガラス板1の第2、第4の端面が研磨され
る。
【0012】請求項3に係わる発明では、このタイプの
研磨装置に図3に示したフード11および通水管12を
備えることで、研磨に並行して洗浄を行っている。
【0013】請求項4に示すように、図3、図4に示し
たフード11とガラス板1との空間に水を満たし、内圧
を高めにしておけば、前述した懸濁水の空間部への逆流
が抑えられるし、又、空間内に多量の水を蓄えておくこ
とで懸濁液はより希薄されるため、より清潔な洗浄を行
える。空間部を水で満たすには、通水管12,14より
の供給量を調整するか、前記ギャップZを調整すればよ
い。
【0014】図3、図4に示した通水管12,14を通
じて供給した水をフード内の空間に単に導くだけでな
く、請求項5に示したように、供給した水が研磨側端面
の方に流れるような整流手段(具体的な構造については
後で述べる)を備えれば、空間内での水の流れに乱れが
なくなり、懸濁水が内部へ拡散することなく外部に排出
されるようになる。
【0015】研磨が終了すれば、ガラス板の排出のため
に、図3、図4においてテーブル2が左方向に移送され
るが、この移送の間にガラス板(1'で示す)の上面に残
留した水(この洗浄水には懸濁水が僅かながらも含まれ
ていることがある)を除去できるように、請求項6で示
したように、吸引タイプのダクトもしくはエア吹き付け
のダクト15を設け、このダクト15により水を吸入す
るか、吹き飛ばすかしてガラス表面に対し最終的な洗浄
と脱液を行う。
【0016】又、請求項7に示したように、ダクト15
を用いて純水をガラス板1'に噴出して、ガラス板表面
に残留していた懸濁水を洗い流すことにより、ガラス表
面を最終的に洗浄することもできる。
【0017】
【発明の実施の形態】図5は、本発明の研磨装置の一形
態を示した平面図であり、A方向から眺めた側面図を図
6に示し、B方向から眺めた側面図を図7に示し、これ
らの図において上図と対応する要素に対しては共通の符
号を付している。
【0018】フード11と第2のフード13とはここで
は一体的に形成されており、両フードは仕切り51にて
仕切られている。図7に示すように、フード11(第2
のフード13でも同じ)は、上述した空間を形成する屋
根部52と、フード11の周縁部においてガラス板1と
のギャップZを決める側壁部53とからなり、この側壁
部53は、屋根部52に対して側方に移動可能であり、
フード11の横幅がガラス板1の横幅にほぼ等しくなる
ように調整可能となっている。
【0019】フード(第1のフード)11に設けられた通
水管12は、図7でわかるように、フード11を貫通し
て内部まで挿通されており、その通水管12の下端は閉
封されているが、下端部にて図中、左右に吐出孔12a
が設けられている。従って通水管12から水を供給する
と、吐出孔12aを通じて水は左右に分流し(図5では
吐出される様子を扇形54にて示す)、このフード11
内の空間で流れに乱れが生じることなく、両側の研磨機
4方向にそれぞれ流れるようになる。この吐出孔12a
が上述した整流手段に相当する。Yは飛沫よけ板であ
り、研磨機4による懸濁液が第2のフード13側に飛び
散るのを防ぐ。その他の構成は図1と同様である。
【0020】定位置にある研磨機4に対してテーブル2
が移動することにより、テーブル2上のガラス板1の第
1および第3の端面が研磨加工され、その加工後はテー
ブルは2'で示す右端に前進し、そこでテーブル2が9
0°旋回した後、元の位置に後退する。この間において
もガラス板1を洗浄できるように、第2のフード13が
ガラス板1の移動経路に設けられ、その第2のフード1
3に対して設けた通水管14は、図5に示すように、当
該第2のフード13が形成する空間においても、整流手
段を得るために、図中、右方向に延在するパイプ55に
つながっており、そのパイプ55の所定部に吐出孔が設
けられることにより、通水管14より供給した水はそれ
らの吐出孔からガラス板1の両側(図5では上下方向)に
向けて吐出される(その吐出の様子は扇形56にて示
す)。
【0021】さて、研磨機4により、ガラス板1が元の
位置に後退するとき、研磨機4によってガラス板1の第
2および第4の端面が研磨加工されるが、この時も通水
管12よりの通水によりガラス板1は研磨加工される。
このようにして研磨が終了すれば、ガラス板1の排出の
ためにテーブル2が左端に移動する。この移動の間にガ
ラス板1に対して最終的な洗浄を行うのがダクト15で
ある。
【0022】図8はそのダクト15を正面から見た図で
あり、ガラス板1と同じ程度の幅を持ち、その開口端部
は、ガラス板1と所定のギャップX(1〜2mm)で対向
する。図9はその吸引ダクト15を側方から眺めた図で
あり、左のものは、このダクト15によりエアーを吸引
する様子を示し、右のものはそのダクト15から清浄な
エアーを噴き出す様子を示している。
【0023】このように、移動中のガラス板1に対して
エアーを吸引するかエアーを噴き出すことにより、ガラ
ス板1の表面の残留した懸濁水を除去するが、ダクト1
5から純水を吐出して懸濁水を洗い流すようにしてもよ
い。
【0024】そのガラス板1がこのようにして最終的な
洗浄が行われ、テーブル2が右端まで移動すれば、その
テーブル2上のガラス板1は不図示のロボットにより、
テーブル57上に移送される。この後はテーブルは5
7'で示すように、図5中、上方向に移動して、そこで
テーブル57'上のガラス板1は除材ロボットにより、
別の位置に搬送され、空になったテーブルが57"で示
すように、図5中、下方向に移動すれば、給材ロボット
により、そのテーブル57"に未研磨のガラス板1が載
置され、そのテーブルが57で示すように元の位置に移
動すれば、そのテーブル57上のガラス板1はテーブル
2上にセットされて研磨が開始される。
【0025】上記実施形態は、図3(固定の研磨機4に
対してテーブル2が移動)に対応するものであり、図4
(固定したガラス板1に対して研磨機4が移動)のタイプ
のものも同様に実施することができる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガラス
板と研磨機とが相対的に移動する間にガラス板の端面を
研磨する装置において、少なくとも研磨位置にあるガラ
ス板に対し、所定のギャップを隔ててフードを覆い、こ
のフード内に水を連続的に供給し、そのフード内に水を
満たした状態で研磨機にて研磨するようにしたため、研
磨中のガラス板は常に水で覆われており、かつ、研磨に
より生じた懸濁液は、前記ギャップから漏出する水によ
って洗い流され、たとえ懸濁液がフード内に逆流したと
しても、多量の水で希薄されるため、ガラス板表面はつ
めに清浄に保たれる。又、その排出過程にて、ガラス板
表面に残留した懸濁液を吸引もしくは吹き付けにより除
去するか、純水を吐出して洗い流すようにすれば、ガラ
ス板表面をより清浄にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の研磨装置を用いて端面エッジを研磨す
る様子を示した図
【図2】 従来の研磨装置を用いて端面を研磨する様子
を示した図
【図3】 請求項1に係わる本発明を示した概略図
【図4】 請求項3に係わる本発明を示した概略図
【図5】 本発明の1実施形態を示した装置の平面図
【図6】 図5の装置の側面図
【図7】 図5の装置の正面図
【図8】 図5の装置に採用されたダクトの正面図
【図9】 図8のダクトを側面から見た図
【符号の説明】
1 ガラス板 2 テーブル 3 ガイド 4 研磨機 11 フード 12 通水管 13 第2のフード 14 通水管 15 吸引ダクト
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年9月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】そのガラス板1がこのようにして最終的な
洗浄が行われ、テーブル2が右端まで移動すれば、その
テーブル2上のガラス板1は不図示のロボットにより、
テーブル57上に移送される。この後はテーブルは5
7"で示すように、図5中、下方向に移動して、そこで
テーブル57"上のガラス板1は除材ロボットにより、
別の位置に搬送され、空になったテーブルが57'で示
すように、図5中、上方向に移動すれば、給材ロボット
により、そのテーブル57'に未研磨のガラス板1が載
置され、そのテーブルが57で示すように元の位置に移
動すれば、そのテーブル57上のガラス板1はテーブル
2上にセットされて研磨が開始される。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 定位置にある研磨機に対して、テーブル
    上にセットしたガラス板を移動させる間に、ガラス板の
    端面に対して研磨を行う研磨装置において、少なくとも
    研磨位置にあるガラス板を覆うようにしてフードを設
    け、そのフードの所定部に設けた通水管を通じて給水す
    ることにより、フード周縁部でのギャップから漏出する
    水を研磨液として用いることを特徴とする洗浄機能付き
    研磨装置。
  2. 【請求項2】 他の端面の研磨のために、ガラス板を所
    定位置に移送して方向転回する間にもガラス板を洗浄で
    きるよう、前記移送経路に、第2のフードおよび第2の
    フード内に水を供給する手段を備えた請求項1記載の洗
    浄機能付き研磨装置。
  3. 【請求項3】 定位置にあるテーブル上のガラス板に対
    して研磨機を移動させる間に、ガラス板の端面に対して
    研磨を行う研磨装置において、ガラス板を覆うようにし
    てフードを設け、そのフードの所定部に設けた通水管を
    通じて給水することにより、フード周縁部でのギャップ
    から漏出する水を研磨液として用いることを特徴とする
    洗浄機能付き研磨装置。
  4. 【請求項4】 上記フード内に常に水を満たした状態に
    して研磨を行う請求項1ないし3のいずれかに記載の洗
    浄機能付き研磨装置。
  5. 【請求項5】 上記通水管より供給した水が研磨側端面
    の方に向けて流れるように整流手段を備えた請求項1な
    いし4のいずれかに記載の洗浄機能付き研磨装置。
  6. 【請求項6】 研磨およびこの研磨と並行して行った洗
    浄を終えたガラス板を排出するために移動させる過程
    で、そのガラス板と所定のギャップで対向する開口端を
    有するダクトを備え、前記ダクトを通じて、エアの吸引
    もしくは噴き付けにより、ガラス板表面に残留していた
    懸濁水を除去する請求項1ないし5のいずれかに記載の
    洗浄機能付き研磨装置。
  7. 【請求項7】 研磨および洗浄を終えたガラス板を排出
    するために移動させる過程で、そのガラス板と所定のギ
    ャップで対向する開口端を有するダクトを備え、前記ダ
    クトを通じて純水を吐出することにより、ガラス板表面
    に残留していた懸濁水を除去する請求項1ないし5のい
    ずれかに記載の洗浄機能付き研磨装置。
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