JPH1058439A - Wire saw - Google Patents
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- JPH1058439A JPH1058439A JP22221096A JP22221096A JPH1058439A JP H1058439 A JPH1058439 A JP H1058439A JP 22221096 A JP22221096 A JP 22221096A JP 22221096 A JP22221096 A JP 22221096A JP H1058439 A JPH1058439 A JP H1058439A
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- outer roller
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤソーの加工用ローラにおいて、アウター
ローラをインナーローラに嵌着した状態で、それらの接
触面に錆が発生するのを防ぎ、アウターローラをインナ
ーローラに対し容易に脱着交換可能とする。
【解決手段】ワイヤを所定ピッチで巻回する加工用ロー
ラ１３，１４を、支持軸３６に回転可能に支持されたイ
ンナーローラ３７と、そのインナーローラ３７に着脱可
能に嵌着されたアウターローラ４２とから構成する。ア
ウターローラ４２を、内側の芯筒４３と外側の溝形成筒
４４との二層構造とする。インナーローラ３７を金属材
料で形成し、アウターローラ４２の芯筒４３をインナー
ローラ３７と異なった無機質材料で形成する。
(57) [Summary] In a wire saw processing roller, in a state where an outer roller is fitted to an inner roller, rust is prevented from being generated on their contact surfaces, and the outer roller is easily moved relative to the inner roller. Detachable and replaceable. An inner roller (37) rotatably supported by a support shaft (36), and an outer roller (42) removably fitted to the inner roller (37). And The outer roller 42 has a two-layer structure including an inner core tube 43 and an outer groove forming tube 44. The inner roller 37 is formed of a metal material, and the core tube 43 of the outer roller 42 is formed of an inorganic material different from that of the inner roller 37.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の脆性材料よ
りなるワークに対し、切断加工を施すワイヤソーに関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire saw for cutting a workpiece made of a brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and a ceramic using a wire.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それらのロー
ラの外周には多数の環状溝が所定ピッチで形成されてい
る。また、各加工用ローラ間において環状溝には１本の
ワイヤが順に巻回されている。そして、ワイヤが走行さ
れながら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供給
され、この状態でワイヤに対しワークが押し付け接触さ
れて、ワークに切断加工が施されるようになっている。2. Description of the Related Art In a wire saw of this type, a plurality of processing rollers are disposed at predetermined intervals, and a large number of annular grooves are formed on the outer periphery of the rollers at a predetermined pitch. In addition, one wire is sequentially wound around the annular groove between the processing rollers. Then, while the wire is running, a slurry containing loose abrasive grains is supplied onto the wire, and in this state, the work is pressed against and brought into contact with the wire, and the work is cut.
【０００３】この種のワイヤソーにおいて、ワークの加
工を継続していると、加工用ローラ上の環状溝が次第に
摩耗して加工精度が低下するおそれがある。このため、
ワイヤソーにおいては、各加工用ローラを、支持軸に回
転可能に支持されたインナーローラと、そのインナーロ
ーラに着脱可能に嵌着されたアウターローラとから構成
している。In this type of wire saw, if processing of a workpiece is continued, there is a possibility that the annular groove on the processing roller gradually wears and the processing accuracy is reduced. For this reason,
In a wire saw, each processing roller is composed of an inner roller rotatably supported by a support shaft and an outer roller detachably fitted to the inner roller.
【０００４】そして、アウターローラを、内側の芯筒と
外側の溝形成筒との二層構造とし、その溝形成筒の外周
面に環状溝を形成している。環状溝が摩耗した場合に
は、アウターローラをインナーローラに対し脱着して、
新しいものと交換するようにしていた。[0004] The outer roller has a two-layer structure of an inner core tube and an outer groove forming tube, and an annular groove is formed on the outer peripheral surface of the groove forming tube. If the annular groove is worn, remove the outer roller from the inner roller,
I was trying to replace it with a new one.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のワイ
ヤソーにおいては、インナーローラとアウターローラの
芯筒とが鉄系等の同質の金属材料により形成されてい
た。そのため、アウターローラをインナーローラに嵌着
した状態でアウターローラの芯筒とインナーローラとの
接触面に錆が発生しやすい。このように錆が発生する
と、アウターローラをインナーローラに対して脱着交換
する際に、それらの接触面が腐食結合状態にあって、脱
着交換作業がきわめて困難になるという問題があった。However, in the conventional wire saw, the inner cylinder of the inner roller and the outer roller is formed of the same metal material such as iron. Therefore, rust is easily generated on the contact surface between the core cylinder of the outer roller and the inner roller in a state where the outer roller is fitted to the inner roller. When rust is generated in this manner, when the outer roller is detached and replaced with respect to the inner roller, the contact surfaces thereof are in a corrosive bonding state, and there is a problem that the detaching and replacing operation becomes extremely difficult.
【０００６】また、この従来のワイヤソーにおいては、
アウターローラの芯筒が熱膨張係数の大きな鉄系等の金
属材料により形成されている。このため、加工運転時の
摩擦熱等に起因する温度上昇に伴い、アウターローラの
外径が膨張変形して、加工精度が著しく低下するという
問題もあった。Further, in this conventional wire saw,
The core cylinder of the outer roller is formed of a metal material such as iron having a large thermal expansion coefficient. For this reason, there is also a problem that the outer diameter of the outer roller expands and deforms due to a rise in temperature due to frictional heat or the like during the processing operation, and processing precision is significantly reduced.
【０００７】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その主たる
目的は、加工用ローラにおけるアウターローラをインナ
ーローラに嵌着した状態でそれらの接触面に錆が発生す
るのを防止することができ、アウターローラをインナー
ローラに対し容易に脱着交換することができるワイヤソ
ーを提供することにある。The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the prior art. Its main purpose is to prevent rust from being generated on the contact surfaces of the outer rollers of the processing roller when the outer rollers are fitted to the inner rollers, and to easily detach and replace the outer rollers with the inner rollers. The object of the present invention is to provide a wire saw.
【０００８】この発明の更なる目的は、加工用ローラに
おけるアウターローラの外径が、温度変化に伴って膨張
変形するのを抑制することができ、その膨脹変形により
加工精度が低下するのを防止することができるワイヤソ
ーを提供することにある。A further object of the present invention is to prevent the outer diameter of the outer roller of the processing roller from being expanded and deformed due to a temperature change, and to prevent the processing accuracy from being lowered by the expanded deformation. It is to provide a wire saw that can be used.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明のワイヤ並びにそれを用いた硬脆材料の
加工方法及びワイヤソーにおいては、特許請求の範囲の
各請求項に記載のように構成したものである。In order to achieve the above object, a wire, a method for processing a hard and brittle material using the same and a wire saw using the same according to the present invention are described in the appended claims. It is what was constituted.
【００１０】請求項１に記載のワイヤソーでは、加工用
ローラにおけるインナーローラとアウターローラの芯筒
とが異なった材料で形成されている。このため、アウタ
ーローラをインナーローラに嵌着した使用状態で、それ
らの接触面に錆が発生することはない。よって、アウタ
ーローラをインナーローラに対し脱着交換する際に、そ
れらの接触面が腐食結合していることはなく、脱着交換
作業を容易に行うことができる。In the wire saw according to the first aspect, the inner cylinder of the processing roller and the core cylinder of the outer roller are formed of different materials. For this reason, rust does not occur on the contact surfaces of the outer roller and the inner roller when the outer roller and the inner roller are used. Therefore, when the outer roller is detached and replaced with the inner roller, the contact surfaces thereof are not corroded, and the detaching and replacing operation can be easily performed.
【００１１】また、請求項２〜請求項４に記載のワイヤ
ソーでは、加工用ローラにおけるインナーローラが金属
材料で形成され、アウターローラの芯筒がカーボンまた
はセラミックよりなる無機質材料で形成されている。こ
の無機質材料は熱膨張係数が小さいため、加工運転時に
温度変化しても、アウターローラの外径が大きく膨張変
形することはない。よって、その膨脹変形により加工精
度が低下するのを防止することができる。Further, in the wire saw according to the second to fourth aspects, the inner roller of the processing roller is formed of a metal material, and the core cylinder of the outer roller is formed of an inorganic material made of carbon or ceramic. Since the inorganic material has a small thermal expansion coefficient, the outer diameter of the outer roller does not greatly expand and deform even when the temperature changes during the processing operation. Therefore, it is possible to prevent the processing accuracy from being lowered due to the expansion deformation.
【００１２】さらに、請求項２〜請求項４に記載のワイ
ヤソーでは、加工用ローラにおけるアウターローラの芯
筒が、カーボンまたはセラミックよりなる無機質材料で
形成されている。この無機質材料は金属材料に比較して
比重が小さいため、アウターローラ全体が軽量になる。
よって、インナーローラに対してアウターローラを脱着
交換する際に、アウターローラを容易に取り扱うことが
できる。Further, in the wire saw according to the second to fourth aspects, the core cylinder of the outer roller in the processing roller is formed of an inorganic material made of carbon or ceramic. Since the specific gravity of the inorganic material is smaller than that of the metal material, the weight of the entire outer roller is reduced.
Therefore, the outer roller can be easily handled when detaching and replacing the outer roller with the inner roller.
【００１３】しかも、請求項２〜請求項４に記載のワイ
ヤソーでは、加工用ローラのアウターローラが軽量にな
っているため、ワイヤの双方向走行による加工運転時
に、加工用ローラの慣性モーメントの影響を受けること
なく、加工用ローラの回転方向を反転させることができ
る。よって、ワイヤの双方向走行の加工運転時における
サイクルタイムを短縮することができる。Furthermore, in the wire saw according to the second to fourth aspects, since the outer roller of the processing roller is lightweight, the influence of the inertia moment of the processing roller during the processing operation by bidirectional traveling of the wire. The rotation direction of the processing roller can be reversed without receiving the rotation. Therefore, the cycle time during the machining operation of the bidirectional traveling of the wire can be reduced.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、この発明のワイヤソーの一
実施形態を図面に基づいて説明する。図２及び図３に示
すように、切断機構１１は装置フレーム１２上に装設さ
れている。この切断機構１１は平行に延びる加工用駆動
ローラ１３及び加工用被動ローラ１４を備え、それらの
外周には多数の環状溝１３ａ，１４ａが所定ピッチで形
成されている。尚、図面においては理解を容易にするた
めに、環状溝１３ａ，１４ａの数を実際よりも少なく描
いてある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the wire saw according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 2 and 3, the cutting mechanism 11 is mounted on an apparatus frame 12. The cutting mechanism 11 includes a processing drive roller 13 and a processing driven roller 14 extending in parallel, and a large number of annular grooves 13a and 14a are formed at a predetermined pitch on the outer periphery thereof. In the drawings, the number of annular grooves 13a and 14a is less than the actual number for easy understanding.
【００１５】１本の線材よりなるワイヤ１５は前記加工
用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに連続的
に巻回されている。図示しない駆動用モータにより加工
用駆動ローラ１３が回転され、ワイヤ１５の走行による
被動ローラ１４の従動を伴いながら、ワイヤ１５が双方
向に所定の走行速度で走行される。すなわち、ワイヤ１
５は１０ｍ前進、９ｍ後退というような動作を繰り返
し、全体として歩進的に前進する。A wire 15 made of one wire is continuously wound around each of the annular grooves 13a and 14a of the processing rollers 13 and 14. The processing drive roller 13 is rotated by a drive motor (not shown), and the wire 15 travels bidirectionally at a predetermined travel speed while the driven roller 14 is driven by the travel of the wire 15. That is, wire 1
5 repeats the operation of moving forward 10 m and moving backward 9 m, and moves forward step by step as a whole.
【００１６】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方において、フレーム１２に上下動可能に支持され、
その下部には硬脆材料よりなるワーク２０が着脱自在に
セットされる。ワーク昇降用モータ２１はフレーム１２
上に配設され、このモータ２１により図示しないボール
スクリュー等を介してワーク支持機構１９が上下動され
る。加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５の上方には
遊離砥粒を含むスラリをワイヤ１５上に供給するための
スラリ供給装置（図示しない）が設けられている。A work supporting mechanism 19 is supported by the frame 12 above the cutting mechanism 11 so as to be vertically movable.
A work 20 made of a hard and brittle material is detachably set at a lower portion thereof. The work lifting motor 21 is mounted on the frame 12
The work support mechanism 19 is vertically moved by a motor 21 via a ball screw (not shown) or the like. A slurry supply device (not shown) for supplying a slurry containing loose abrasive particles onto the wire 15 is provided above the wire 15 between the processing rollers 13 and 14.
【００１７】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間で
一方向に歩進的に走行されながら、ワーク支持機構１９
が切断機構１１に向かって下降される。このとき、スラ
リ供給装置によりワイヤ１５上へ遊離砥粒を含むスラリ
が供給されるとともに、そのワイヤ１５に対しワーク２
０が押し付け接触され、ラッピング作用によってワーク
２０がスライス加工される。During operation of the wire saw, the wire support 15 is moved while the wire 15 is traveling in one direction between the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11.
Is lowered toward the cutting mechanism 11. At this time, the slurry containing loose abrasive particles is supplied onto the wire 15 by the slurry supply device, and the work 2
0 is pressed against and the work 20 is sliced by the lapping action.
【００１８】リール機構２２は前記フレーム１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２３
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２４とを
備えている。尚、前述のように、ワイヤ１５が前進後退
の双方向に走行されるため、ワイヤ１５の巻取りと繰出
しとは交互に行われるが、ここでは説明の便宜上、繰出
しリール２３と巻取りリール２４とした。A reel mechanism 22 is mounted on the frame 12, and is a feed reel 23 for feeding the wire 15.
And a take-up reel 24 for taking up the wire 15. As described above, the winding and feeding of the wire 15 are performed alternately because the wire 15 travels in both the forward and backward directions. However, for convenience of explanation, the feeding reel 23 and the winding reel 24 are used here. And
【００１９】回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ２５，２６は
フレーム１２に配設され、それらのモータ軸にはリール
２３，２４が連結されている。トラバース機構２７はリ
ール機構２２に隣接してフレーム１２上に装設され、繰
出しリール２３からのワイヤ１５の繰出し及び巻取りリ
ール２４へのワイヤ１５の巻取りをトラバースしながら
案内する。A pair of reel rotation motors 25 and 26 comprising servo motors whose rotation direction and rotation speed can be changed are arranged on the frame 12, and reels 23 and 24 are connected to their motor shafts. The traverse mechanism 27 is mounted on the frame 12 adjacent to the reel mechanism 22 and guides the feeding of the wire 15 from the feeding reel 23 and the winding of the wire 15 to the take-up reel 24 while traversing.
【００２０】そして、前記リール機構２２の両リール２
３，２４の回転により、繰出しリール２３から切断機構
１１へワイヤ１５が繰り出されるとともに、加工後のワ
イヤ１５が巻取りリール２４に巻き取られる。The two reels 2 of the reel mechanism 22
By the rotation of the reels 3 and 24, the wire 15 is fed from the feed reel 23 to the cutting mechanism 11, and the processed wire 15 is wound on the take-up reel 24.
【００２１】張力付与機構２８及びガイド機構２９は、
前記リール機構２２と切断機構１１との間に配設されて
いる。そして、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４
間に巻回されたワイヤ１５の両端が、ガイド機構２９の
各ガイドローラ３０を介して張力付与機構２８に掛装さ
れている。この状態で、張力付与機構２８により、加工
用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が付与
される。The tension applying mechanism 28 and the guide mechanism 29
It is arranged between the reel mechanism 22 and the cutting mechanism 11. Then, the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11
Both ends of the wire 15 wound between them are mounted on the tension applying mechanism 28 via the respective guide rollers 30 of the guide mechanism 29. In this state, the tension applying mechanism 28 applies a predetermined tension to the wire 15 between the processing rollers 13 and 14.
【００２２】張力低減機構３１は、前記リール機構２２
と張力付与機構２８との間に配設され、一対の回転ロー
ラ３２を備えている。そして、これらの回転ローラ３２
にはワイヤ１５が掛装され、両回転ローラ３２が回転さ
れることによって、張力付与機構２８からリール機構２
２の各リール２３，２４側へ波及するワイヤ１５の張力
が低減されるようになっている。The tension reducing mechanism 31 is connected to the reel mechanism 22.
And a pair of rotary rollers 32 disposed between the tension applying mechanism 28 and the tension applying mechanism 28. And these rotating rollers 32
The wire 15 is mounted on the reel mechanism 2 and the two rotation rollers 32 are rotated, whereby the tension mechanism 28
The tension of the wire 15 spreading to the side of each of the reels 23 and 24 is reduced.
【００２３】次に、前記加工用駆動ローラ１３の構成に
ついて詳細に説明すると、図１に示すように、ブラケッ
ト３５はフレーム１２上に配設され、その前面には支持
軸３６が突設されている。円筒状のインナーローラ３７
は複数のベアリング３８を介して支持軸３６に回転可能
に支持され、その基端には駆動用プーリ１７が固定さ
れ、ベルト１８を介して回転される。Next, the structure of the processing drive roller 13 will be described in detail. As shown in FIG. 1, a bracket 35 is disposed on the frame 12 and a support shaft 36 is provided on the front surface thereof. I have. Cylindrical inner roller 37
Is rotatably supported on a support shaft 36 via a plurality of bearings 38, a driving pulley 17 is fixed to a base end thereof, and is rotated via a belt 18.
【００２４】取付リング４０は前記インナーローラ３７
の先端に螺着されている。ガイド筒４１は支持軸３６の
先端に取り付けられ、その外周面には先細テーパ状のガ
イド面４１ａが形成されている。アウターローラ４２は
支持軸３６に着脱可能に嵌着され、内側の芯筒４３と外
側の溝形成筒４４との二層構造になっている。抜け止め
フランジ４５は複数のネジ４６により取付リング４０に
着脱可能に取り付けられ、この抜け止めフランジ４５が
アウターローラ４２の先端面に当接することにより、ア
ウターローラ４２がインナーローラ３７上に一体回転可
能に抜け止め保持されている。The mounting ring 40 is provided on the inner roller 37.
It is screwed to the tip of. The guide cylinder 41 is attached to the tip of the support shaft 36, and a tapered guide surface 41a is formed on the outer peripheral surface thereof. The outer roller 42 is detachably fitted to the support shaft 36, and has a two-layer structure of an inner core tube 43 and an outer groove forming tube 44. The retaining flange 45 is detachably attached to the mounting ring 40 by a plurality of screws 46, and the outer roller 42 can be integrally rotated on the inner roller 37 by contact of the retaining flange 45 with the tip surface of the outer roller 42. Is retained.
【００２５】嵌合体４７は中心のテーパ状嵌合孔４７ａ
において、前記ガイド筒４１のガイド面４１ａに着脱可
能に嵌合され、その外周にはベアリング４８を介して両
加工用ローラ１３，１４共通の支持板４９が取着されて
いる。そして、この支持板４９の脚部４９ａが前記装置
フレーム１２の上面に接合されることにより、支持軸３
６の先端部がフレーム１２上に支持されている。The fitting body 47 has a central tapered fitting hole 47a.
2, a support plate 49 common to both the processing rollers 13 and 14 is attached to the outer periphery of the guide surface 41a of the guide cylinder 41 via a bearing 48. The legs 49a of the support plate 49 are joined to the upper surface of the device frame 12, so that the support shaft 3
6 is supported on the frame 12.
【００２６】操作ネジ５０は前記ガイド筒４１の端面中
央に回動可能に突設され、その先端には操作ハンドル５
１が取り付けられている。ナット５２は嵌合体４７に貫
通固定され、操作ネジ５０に螺合されている。そして、
操作ハンドル５１により操作ネジ５０を回転させたと
き、ナット５２を介して嵌合体４７がガイド筒４１に対
し軸線方向の外方に相対移動され、嵌合体４７の嵌合孔
４７ａがガイド筒４１のガイド面４１ａに対して、押し
付け嵌合または引き抜き離間される。An operation screw 50 is rotatably protruded from the center of the end surface of the guide cylinder 41, and has an operation handle 5 at its tip.
1 is attached. The nut 52 is penetrated and fixed to the fitting body 47 and is screwed to the operation screw 50. And
When the operation screw 50 is rotated by the operation handle 51, the fitting body 47 is relatively moved axially outward with respect to the guide cylinder 41 via the nut 52, and the fitting hole 47a of the fitting body 47 is The guide surface 41a is pressed and fitted or pulled away from the guide surface 41a.
【００２７】さて、この実施形態においては、前記イン
ナーローラ３７が鉄系の金属材料により形成されてい
る。また、アウターローラ４２の芯筒４３は、インナー
ローラ３７の材料とは異なった無機質材料により形成さ
れ、この無機質材料としては、例えば強化繊維を含むカ
ーボンあるいはセラミックが使用されている。さらに、
アウターローラ４２の溝形成筒４４はウレタンにより形
成され、その外周には前記環状溝１３ａ，１４ａが所定
ピッチで形成されている。In this embodiment, the inner roller 37 is formed of an iron-based metal material. The core cylinder 43 of the outer roller 42 is formed of an inorganic material different from the material of the inner roller 37. As the inorganic material, for example, carbon or ceramic containing reinforcing fibers is used. further,
The groove forming cylinder 44 of the outer roller 42 is formed of urethane, and the annular grooves 13a and 14a are formed on the outer periphery thereof at a predetermined pitch.
【００２８】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作について説明する。このワイヤソーにおいては、
ワイヤ１５がリール機構２２の繰出しリール２３から繰
り出され、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間に
おいて歩進的に走行された後、巻取りリール２４に巻き
取られる。そして、スラリ供給装置により加工用ローラ
１３，１４間のワイヤ１５上に遊離砥粒を含むスラリが
供給されながら、ワーク支持機構１９の下降によりワイ
ヤ１５に対してワーク２０が押し付け接触される。これ
により、ワーク２０が所定の厚さに切断加工される。Next, the operation of the wire saw configured as described above will be described. In this wire saw,
The wire 15 is paid out from the pay-out reel 23 of the reel mechanism 22, travels stepwise between the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11, and then is taken up by the take-up reel 24. Then, while the slurry containing the free abrasive grains is supplied onto the wire 15 between the processing rollers 13 and 14 by the slurry supply device, the work 20 is pressed against the wire 15 by the lowering of the work support mechanism 19 to make contact. Thereby, the work 20 is cut into a predetermined thickness.
【００２９】この加工運転に伴い、加工用ローラ１３，
１４上の環状溝１３ａ，１４ａが摩耗した場合には、操
作ハンドル５１により操作ネジ５０を回転させる。する
と、ナット５２を介して嵌合体４７がガイド筒４１に対
し軸線方向の外側に相対移動され、嵌合体４７の嵌合孔
４７ａが、ガイド筒４１のガイド面４１ａに対して引き
抜き離間される。これにより、支持板４９を嵌合体４７
とともに、支持軸３６の先端から取り外すことができ
る。With this processing operation, the processing rollers 13,
When the annular grooves 13a and 14a on the abrasion ring 14 are worn, the operation screw 50 is rotated by the operation handle 51. Then, the fitting body 47 is relatively moved to the outside of the guide cylinder 41 in the axial direction via the nut 52, and the fitting hole 47 a of the fitting body 47 is pulled out and separated from the guide surface 41 a of the guide cylinder 41. As a result, the support plate 49 is
At the same time, the support shaft 36 can be removed from the distal end.
【００３０】その後、ネジ４６を緩めて抜け止めフラン
ジ４５を取付リング４０上から取り外すと、アウターロ
ーラ４２の先端側が開放される。この状態で、アウター
ローラ４２をインナーローラ３７の外周から抜き取っ
て、新しいものと交換すればよい。そして、新しいアウ
ターローラ４２の取り付け後は、前記の取り外し時とほ
ぼ逆順にて抜け止めフランジ４５及び支持板４９を取着
することにより、アウターローラ４２をインナーローラ
３７上に抜け止め保持することができる。Thereafter, when the screw 46 is loosened and the retaining flange 45 is removed from the mounting ring 40, the distal end side of the outer roller 42 is opened. In this state, the outer roller 42 may be removed from the outer periphery of the inner roller 37 and replaced with a new one. After the new outer roller 42 is mounted, the outer roller 42 is retained on the inner roller 37 by retaining the retaining flange 45 and the support plate 49 in substantially the reverse order of the above-described removal. it can.
【００３１】この実施形態によって期待できる効果を以
下に記載する。 （ａ） この実施形態のワイヤソーでは、加工用ローラ
１３，１４におけるインナーローラ３７とアウターロー
ラ４２の芯筒４３とが異なった材料で形成されている。
このため、アウターローラ４２をインナーローラ３７に
嵌着した使用状態で、それらの接触面に錆が発生するこ
とがない。従って、環状溝１３ａ，１４ａの摩耗時に、
アウターローラ４２をインナーローラ３７に対して脱着
交換する場合、それらの接触面が腐食結合していること
はなく、脱着交換作業を容易に行うことができる。The effects that can be expected from this embodiment will be described below. (A) In the wire saw of this embodiment, the inner roller 37 of the processing rollers 13 and 14 and the core tube 43 of the outer roller 42 are formed of different materials.
Therefore, when the outer roller 42 is used in a state of being fitted to the inner roller 37, rust does not occur on the contact surfaces thereof. Therefore, when the annular grooves 13a, 14a are worn,
When the outer roller 42 is detached and replaced with respect to the inner roller 37, the contact surfaces thereof are not corroded, and the detaching and replacing operation can be easily performed.
【００３２】（ｂ） 加工用ローラ１３，１４における
インナーローラ３７が金属材料で形成され、アウターロ
ーラ４２の芯筒４３がカーボンまたはセラミックよりな
る無機質材料で形成されている。この無機質材料は、例
えばカーボンにおいては０〜０．０７×１０-6であるよ
うに熱膨張係数が極めて小さいため、加工運転時にアウ
ターローラ４２の外径が大きく膨張変形することはな
い。従って、アウターローラ４２の膨脹変形により、加
工精度が低下するのを防止することができる。(B) The inner rollers 37 of the processing rollers 13 and 14 are made of a metal material, and the core tube 43 of the outer roller 42 is made of an inorganic material made of carbon or ceramic. This inorganic material has a very small coefficient of thermal expansion, for example, 0 to 0.07 × 10 −6 for carbon, so that the outer diameter of the outer roller 42 does not greatly expand and deform during the processing operation. Therefore, it is possible to prevent the processing accuracy from being reduced due to the expansion and deformation of the outer roller 42.
【００３３】（ｃ） 前記のように、加工用ローラ１
３，１４におけるアウターローラ４２の芯筒４３がカー
ボンまたはセラミックよりなる無機質材料で形成されて
いる。この無機質材料の比重は、例えばカーボンにおい
ては１．８であるように、鉄系の金属材料に比較して比
重が１／４程度に小さいため、アウターローラ４２全体
を軽量化することができる。従って、インナーローラ３
７に対してアウターローラ４２を脱着交換する際に、ア
ウターローラ４２を容易に取り扱うことが可能となる。(C) As described above, the processing roller 1
The core tubes 43 of the outer rollers 42 in 3 and 14 are formed of an inorganic material made of carbon or ceramic. Since the specific gravity of this inorganic material is, for example, 1.8 for carbon, it is about 1/4 smaller than that of an iron-based metal material, so that the weight of the entire outer roller 42 can be reduced. Therefore, the inner roller 3
The outer roller 42 can be easily handled when the outer roller 42 is detached and replaced with the outer roller 7.
【００３４】（ｄ） 加工用ローラ１３，１４のアウタ
ーローラ４２が軽量になっているため、ワイヤ１５の双
方向走行における走行方向転換時に、加工用ローラ１
３，１４の質量による慣性モーメントの影響を抑制する
ことができる。このため、加工用ローラ１３，１４の回
転方向を迅速に反転させることができて、ワイヤ１５の
方向転換におけるサイクルタイムを短縮することがで
き、加工能率を向上させることができる。(D) Since the outer rollers 42 of the processing rollers 13 and 14 are light in weight, the processing roller 1
The influence of the moment of inertia due to the masses of 3, 14 can be suppressed. For this reason, the rotation direction of the processing rollers 13 and 14 can be quickly reversed, so that the cycle time in changing the direction of the wire 15 can be shortened, and the processing efficiency can be improved.
【００３５】尚、この発明を次のように変更して具体化
することも可能である。 （１） インナーローラ３７を、前記実施形態の金属材
料とは異なった材料、例えばアルミニウム合金等で形成
すること。The present invention can be embodied with the following modifications. (1) The inner roller 37 is formed of a material different from the metal material of the embodiment, for example, an aluminum alloy.
【００３６】（２） アウターローラ４２の芯筒４３
を、前記実施形態の無機質材料とは異なった材料、例え
ばＦＲＰで形成すること。 前記（１）及び（２）の場合も前記実施形態と同様な効
果を享受できる。(2) Core tube 43 of outer roller 42
Is formed of a material different from the inorganic material of the embodiment, for example, FRP. In the above cases (1) and (2), the same effects as in the above embodiment can be obtained.
【００３７】[0037]
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、加工用ローラにおけるアウターローラをイ
ンナーローラに嵌着した状態で、それらの接触面に錆が
発生するのを防止することができ、アウターローラをイ
ンナーローラに対し容易に脱着交換することができる。The present invention is configured as described above, and has the following effects. According to the first aspect of the present invention, it is possible to prevent rust from being generated on the contact surfaces of the outer rollers of the processing roller in a state where the outer rollers are fitted to the inner roller, and the outer roller is connected to the inner roller. On the other hand, it can be easily detached and replaced.
【００３８】請求項２〜請求項４に記載の発明によれ
ば、加工用ローラにおけるアウターローラの外径が、温
度変化に伴って膨張変形するのを抑制することができ、
その膨脹変形により加工精度が低下するのを防止するこ
とができる。According to the second to fourth aspects of the present invention, the outer diameter of the outer roller in the processing roller can be prevented from expanding and deforming with a change in temperature.
It is possible to prevent the processing accuracy from lowering due to the expansion deformation.
【００３９】請求項２〜請求項４に記載の発明によれ
ば、加工用ローラにおけるアウターローラを軽量にする
ことができ、インナーローラに対してアウターローラを
脱着交換する際に、アウターローラを容易に取り扱うこ
とができる。According to the invention as set forth in claims 2 to 4, the outer roller of the processing roller can be made lighter, and the outer roller can be easily attached and detached to the inner roller when the outer roller is detached and replaced. Can be handled.
【００４０】請求項２〜請求項４に記載の発明によれ
ば、加工用ローラにおけるアウターローラを軽量にする
ことができるため、加工運転時における加工用ローラの
慣性モーメントの影響を抑制することができて、ワイヤ
の双方向走行による加工時のサイクルタイムを短縮する
ことができる。According to the invention as set forth in claims 2 to 4, since the outer roller in the processing roller can be made lighter, the influence of the moment of inertia of the processing roller during the processing operation can be suppressed. As a result, the cycle time at the time of machining by the bidirectional traveling of the wire can be reduced.
【図１】 本発明のワイヤソーの加工用駆動ローラを示
す部分断面図。FIG. 1 is a partial sectional view showing a driving roller for processing a wire saw of the present invention.
【図２】 ワイヤソーの全体を示す正面図。FIG. 2 is a front view showing the entire wire saw.
【図３】 そのワイヤソーの平面図。FIG. 3 is a plan view of the wire saw.
１１…切断機構、１３…加工用駆動ローラ、１４…加工
用被動ローラ、１３ａ，１４ａ…環状溝、１５…ワイ
ヤ、１９…ワーク支持機構、２０…ワーク、３６…支持
軸、３７…インナーローラ、４２…アウターローラ、４
３…芯筒、４４…溝形成筒。11: Cutting mechanism, 13: Processing drive roller, 14: Processing driven roller, 13a, 14a: Annular groove, 15: Wire, 19: Work support mechanism, 20: Work, 36: Support shaft, 37: Inner roller, 42 ... outer roller, 4
3 core tube, 44 groove forming tube.
Claims (4)
チで巻回し、そのワイヤを走行させながらワイヤに対し
ワークを接触させて加工を施すようにしたワイヤソーに
おいて、 前記加工用ローラを、支持軸に回転可能に支持されたイ
ンナーローラと、そのインナーローラに着脱可能に嵌着
されたアウターローラとから構成し、そのアウターロー
ラを内側の芯筒と外側の溝形成筒との二層構造とし、前
記インナーローラとアウターローラの芯筒とを異なった
材料で形成したワイヤソー。1. A wire saw in which a wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and a workpiece is brought into contact with the wire while the wire is running, whereby the processing roller is supported. It consists of an inner roller rotatably supported on a shaft, and an outer roller detachably fitted to the inner roller, and the outer roller has a two-layer structure of an inner core tube and an outer groove forming tube. A wire saw in which the inner roller and the outer roller core tube are formed of different materials.
アウターローラの芯筒を無機質材料で形成した請求項１
に記載のワイヤソー。2. The inner roller is formed of a metal material,
2. A core tube of an outer roller is formed of an inorganic material.
The wire saw according to 1.
り形成した請求項２に記載のワイヤソー。3. The wire saw according to claim 2, wherein a core tube of said outer roller is formed of carbon.
より形成した請求項２に記載のワイヤソー。4. The wire saw according to claim 2, wherein a core tube of said outer roller is formed of ceramic.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22221096A JPH1058439A (en) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | Wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22221096A JPH1058439A (en) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | Wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1058439A true JPH1058439A (en) | 1998-03-03 |
Family
ID=16778866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22221096A Pending JPH1058439A (en) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | Wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1058439A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-08-23 JP JP22221096A patent/JPH1058439A/en active Pending
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