JPH106066A - レーザ加工機の防塵装置 - Google Patents
レーザ加工機の防塵装置Info
- Publication number
- JPH106066A JPH106066A JP8167628A JP16762896A JPH106066A JP H106066 A JPH106066 A JP H106066A JP 8167628 A JP8167628 A JP 8167628A JP 16762896 A JP16762896 A JP 16762896A JP H106066 A JPH106066 A JP H106066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- axis guide
- bend mirror
- longitudinal direction
- mirror block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 51
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000010186 staining Methods 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ジャバラを使用せずベンドミラーを汚さずに
高速移動が可能で、かつ低騒音化・焼損の防止を図るよ
うにする。 【解決手段】 レーザ加工機にベンドミラー1を備えた
ベンドミラーブロック3を移動自在に設け、このベンド
ミラーブロック3を案内すべくベンドミラーブロック3
の移動方向へ延伸した光軸ガイド13を設け、この光軸
ガイド13の上部に光軸ガイド13の長手方向およびこ
の長手方向と直交した方向へ適宜な間隔で複数のパージ
穴15を設けると共に、前記光軸ガイド13の上方にエ
アを供給するエアパージユニット17を前記光軸ガイド
13の長手方向へ前記各パージ穴15を囲繞すべく設
け、前記光軸ガイド13が逆U字形部11で構成され、
この逆U字形部11の両側面に前記光軸ガイド11の長
手方向へ延伸した集塵ユニット19を設けてなることを
特徴とする。
高速移動が可能で、かつ低騒音化・焼損の防止を図るよ
うにする。 【解決手段】 レーザ加工機にベンドミラー1を備えた
ベンドミラーブロック3を移動自在に設け、このベンド
ミラーブロック3を案内すべくベンドミラーブロック3
の移動方向へ延伸した光軸ガイド13を設け、この光軸
ガイド13の上部に光軸ガイド13の長手方向およびこ
の長手方向と直交した方向へ適宜な間隔で複数のパージ
穴15を設けると共に、前記光軸ガイド13の上方にエ
アを供給するエアパージユニット17を前記光軸ガイド
13の長手方向へ前記各パージ穴15を囲繞すべく設
け、前記光軸ガイド13が逆U字形部11で構成され、
この逆U字形部11の両側面に前記光軸ガイド11の長
手方向へ延伸した集塵ユニット19を設けてなることを
特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工機に
ベンドミラーを備えたベンドミラーブロックに外部から
粉塵などが進入するのを防ぐレーザ加工機の防塵装置に
関する。
ベンドミラーを備えたベンドミラーブロックに外部から
粉塵などが進入するのを防ぐレーザ加工機の防塵装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、レーザ加工機にはレーザ発振器か
ら出力されたレーザビームをレーザ加工ヘッド内の集光
レンズへ導くためにベンドミラーを備えたベンドミラー
ブロックが設けられている。このベンドミラーを備えた
ベンドミラーブロックはレーザ発振器とレーザ加工ヘッ
ドとの間に複数設けられている。しかも、この複数のベ
ンドミラーブロックのうち、例えばレーザ加工ヘッドが
移動するにつれて移動するベンドミラーブロックもあ
る。
ら出力されたレーザビームをレーザ加工ヘッド内の集光
レンズへ導くためにベンドミラーを備えたベンドミラー
ブロックが設けられている。このベンドミラーを備えた
ベンドミラーブロックはレーザ発振器とレーザ加工ヘッ
ドとの間に複数設けられている。しかも、この複数のベ
ンドミラーブロックのうち、例えばレーザ加工ヘッドが
移動するにつれて移動するベンドミラーブロックもあ
る。
【0003】この移動するベンドミラーブロックは、例
えば図4,図5に示されているような防塵装置101内
に設けられて防塵されている。すなわち、防塵装置10
1としてはフレーム103に固定したガイドロッド10
5が図4において左右方向へ延伸して設けられている。
このガイドロッド105には図4において左右方向へ適
宜な間隔で複数のジャバラ支持具107の上端が摺動自
在に装着されて、各ジャバラ支持具107が垂下して設
けられている。
えば図4,図5に示されているような防塵装置101内
に設けられて防塵されている。すなわち、防塵装置10
1としてはフレーム103に固定したガイドロッド10
5が図4において左右方向へ延伸して設けられている。
このガイドロッド105には図4において左右方向へ適
宜な間隔で複数のジャバラ支持具107の上端が摺動自
在に装着されて、各ジャバラ支持具107が垂下して設
けられている。
【0004】この各ジャバラ支持具107に図4におい
て左右方向へ延伸したジャバラ109が取付けられてい
る。このジャバラ109内にベンドミラーブロックが取
付けられて図4において左右方向へ移動するようになっ
ている。
て左右方向へ延伸したジャバラ109が取付けられてい
る。このジャバラ109内にベンドミラーブロックが取
付けられて図4において左右方向へ移動するようになっ
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の防塵装置101では、ベンドミラーブロックが移動
すると共にジャバラ109が移動するが、そのときの音
がうるさいという問題がある。また、各ジャバラ支持具
107がガイドロッド105にロックしてしまうことが
あり、その結果、ジャバラ109が切れたり、撓みなど
で焼損してしまうことがある。さらに、超高速移動には
不向きという問題もある。
来の防塵装置101では、ベンドミラーブロックが移動
すると共にジャバラ109が移動するが、そのときの音
がうるさいという問題がある。また、各ジャバラ支持具
107がガイドロッド105にロックしてしまうことが
あり、その結果、ジャバラ109が切れたり、撓みなど
で焼損してしまうことがある。さらに、超高速移動には
不向きという問題もある。
【0006】この発明の目的は、ジャバラを使用せずベ
ンドミラーを汚さずに高速移動が可能で、かつ低騒音
化、焼損の防止を図ったレーザ加工機の防塵装置を提供
することにある。
ンドミラーを汚さずに高速移動が可能で、かつ低騒音
化、焼損の防止を図ったレーザ加工機の防塵装置を提供
することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1によるこの発明のレーザ加工機の防塵装置
は、レーザ加工機にベンドミラーを備えたベンドミラー
ブロックを移動自在に設け、このベンドミラーブロック
を案内すべくベンドミラーブロックの移動方向へ延伸し
た光軸ガイドを設け、この光軸ガイドの上部に光軸ガイ
ドの長手方向およびこの長手方向と直交した方向へ適宜
な間隔で複数のパージ穴を設けると共に、前記光軸ガイ
ドの上方にエアを供給するエアパージユニットを前記光
軸ガイドの長手方向へ前記各パージ穴を囲繞すべく設け
てなることを特徴とするものである。
に請求項1によるこの発明のレーザ加工機の防塵装置
は、レーザ加工機にベンドミラーを備えたベンドミラー
ブロックを移動自在に設け、このベンドミラーブロック
を案内すべくベンドミラーブロックの移動方向へ延伸し
た光軸ガイドを設け、この光軸ガイドの上部に光軸ガイ
ドの長手方向およびこの長手方向と直交した方向へ適宜
な間隔で複数のパージ穴を設けると共に、前記光軸ガイ
ドの上方にエアを供給するエアパージユニットを前記光
軸ガイドの長手方向へ前記各パージ穴を囲繞すべく設け
てなることを特徴とするものである。
【0008】したがって、ベンドミラーを備えたベンド
ミラーブロックは、光軸ガイドに案内されて移動され
る。しかも、クリーンなエアがエアパージユニット内に
供給されると、エアパージユニット内のエアは複数のパ
ージ穴を経て光軸ガイド内に送られる。また、別系統で
クリーンなエアがベンドミラーブロック内を通って光軸
ガイド内に放出されるから、ベンドミラーブロック内に
備えられたベンドミラーは常にクリーンなエアで冷却さ
れると共に、ベンドミラーに粉塵などが付着されるのが
防止され常にクリーンな状態が保持される。
ミラーブロックは、光軸ガイドに案内されて移動され
る。しかも、クリーンなエアがエアパージユニット内に
供給されると、エアパージユニット内のエアは複数のパ
ージ穴を経て光軸ガイド内に送られる。また、別系統で
クリーンなエアがベンドミラーブロック内を通って光軸
ガイド内に放出されるから、ベンドミラーブロック内に
備えられたベンドミラーは常にクリーンなエアで冷却さ
れると共に、ベンドミラーに粉塵などが付着されるのが
防止され常にクリーンな状態が保持される。
【0009】而して、ジャバラを使用せず、ベンドミラ
ーブロックは、光軸ガイドで案内されているので、高速
移動が可能になると共に、低騒音化が図られ、さらにベ
ンドミラーの焼損の防止が図られる。
ーブロックは、光軸ガイドで案内されているので、高速
移動が可能になると共に、低騒音化が図られ、さらにベ
ンドミラーの焼損の防止が図られる。
【0010】請求項2によるこの発明のレーザ加工機の
防塵装置は、請求項1のレーザ加工機の防塵装置におい
て、前記光軸ガイドが逆U字形部で構成され、この逆U
字形部の両側面に前記光軸ガイドの長手方向へ延伸した
集塵ユニットを設けてなることを特徴とするものであ
る。
防塵装置は、請求項1のレーザ加工機の防塵装置におい
て、前記光軸ガイドが逆U字形部で構成され、この逆U
字形部の両側面に前記光軸ガイドの長手方向へ延伸した
集塵ユニットを設けてなることを特徴とするものであ
る。
【0011】したがって、光軸ガイドを構成する逆U形
部の両側面に光軸ガイドの長手方向へ延伸した集塵ユニ
ットが設けられているから、光軸ガイド内に進入しよう
とするゴミなどの粉塵が集塵され、光軸ガイド内にゴミ
などの粉塵が進入するのが防止される。
部の両側面に光軸ガイドの長手方向へ延伸した集塵ユニ
ットが設けられているから、光軸ガイド内に進入しよう
とするゴミなどの粉塵が集塵され、光軸ガイド内にゴミ
などの粉塵が進入するのが防止される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基いて詳細に説明する。
を図面に基いて詳細に説明する。
【0013】図1および図2を参照するに、ベンドミラ
ー1を備えたベンドミラーブロック3が移動方向(図1
において左右方向)へ図示省略の駆動装置により移動可
能に設けられている。このベンドミラーブロック3の後
側傾斜部3Kには後部パージユニット5が取付けられて
おり、この後部パージユニット5にはエア供給口7が設
けられている。また、ベンドミラーブロック3の前面部
3Fには前部パージユニット9が取付けられている。
ー1を備えたベンドミラーブロック3が移動方向(図1
において左右方向)へ図示省略の駆動装置により移動可
能に設けられている。このベンドミラーブロック3の後
側傾斜部3Kには後部パージユニット5が取付けられて
おり、この後部パージユニット5にはエア供給口7が設
けられている。また、ベンドミラーブロック3の前面部
3Fには前部パージユニット9が取付けられている。
【0014】前記ベンドミラーブロック3の外周部に
は、図2に示されているように逆U字形部11で構成さ
れた光軸ガイド13が図1において左右方向へ延伸して
設けられている。したがって、この光軸ガイド13の内
側面に沿ってベンドミラーブロック3が摺動自在に高速
移動されるものである。
は、図2に示されているように逆U字形部11で構成さ
れた光軸ガイド13が図1において左右方向へ延伸して
設けられている。したがって、この光軸ガイド13の内
側面に沿ってベンドミラーブロック3が摺動自在に高速
移動されるものである。
【0015】前記光軸ガイド13における逆U字形部1
1の上面には光軸ガイド13の長手方向(図1において
左右方向)およびこの長手方向と直交した方向(図2に
おいて左右方向)へ適宜な間隔で複数のパージ穴が設け
られている。また、光軸ガイド13における逆U字形部
11の上方には逆U字形状をしたエアパージユニット1
7が前記光軸ガイド13の長手方向(図1において左右
方向)へ前記パージ穴15を囲繞すべく設けられてい
る。
1の上面には光軸ガイド13の長手方向(図1において
左右方向)およびこの長手方向と直交した方向(図2に
おいて左右方向)へ適宜な間隔で複数のパージ穴が設け
られている。また、光軸ガイド13における逆U字形部
11の上方には逆U字形状をしたエアパージユニット1
7が前記光軸ガイド13の長手方向(図1において左右
方向)へ前記パージ穴15を囲繞すべく設けられてい
る。
【0016】上記構成により、加工すべきワークにレー
ザ加工ヘッドを例えば図1において左右方向へ移動せし
めてレーザ加工が行われる際に、ベンドミラーブロック
3もレーザ加工ヘッドと一緒に図1において左右方向へ
移動される。このとき、レーザ発振器で出力されたレー
ザビームLBは、図1において矢印で示したごとく右側
から左側へ進みベンドミラー1で90度折曲げられて下
方へ進行される。
ザ加工ヘッドを例えば図1において左右方向へ移動せし
めてレーザ加工が行われる際に、ベンドミラーブロック
3もレーザ加工ヘッドと一緒に図1において左右方向へ
移動される。このとき、レーザ発振器で出力されたレー
ザビームLBは、図1において矢印で示したごとく右側
から左側へ進みベンドミラー1で90度折曲げられて下
方へ進行される。
【0017】ベンドミラーブロック3が図1において左
右方向へ移動されている際、エアパージユニット17内
には図示省略のエア源よりクリーンなエアが供給されて
図1において矢印で示したごとく流れているから、エア
パージユニット17内のクリーンなエアは、各パージ穴
15から光軸ガイド13における逆U字形部11内に送
られる。また、別系統でクリーンなエアが供給口7から
供給されると、後部パージユニット5を経てベンドミラ
ーブロック73を通った後、前部パージユニット9を経
て逆U字形状部11内に放出されることになる。
右方向へ移動されている際、エアパージユニット17内
には図示省略のエア源よりクリーンなエアが供給されて
図1において矢印で示したごとく流れているから、エア
パージユニット17内のクリーンなエアは、各パージ穴
15から光軸ガイド13における逆U字形部11内に送
られる。また、別系統でクリーンなエアが供給口7から
供給されると、後部パージユニット5を経てベンドミラ
ーブロック73を通った後、前部パージユニット9を経
て逆U字形状部11内に放出されることになる。
【0018】したがって、クリーンなエアが光軸ガイド
13における逆U字形部11内を矢印で示したごとく一
方向へ流れているので、光軸ガイド13内にゴミなどの
粉塵があったとしてもベンドミラーブロック3内に進入
するのを防ぎ、ベンドミラーブロック3内に備えられた
ベンドミラー1の表面にゴミなどの粉塵が付着せず、単
にベンドミラー1の表面をクリーンな状態に維持せしめ
ることができる。
13における逆U字形部11内を矢印で示したごとく一
方向へ流れているので、光軸ガイド13内にゴミなどの
粉塵があったとしてもベンドミラーブロック3内に進入
するのを防ぎ、ベンドミラーブロック3内に備えられた
ベンドミラー1の表面にゴミなどの粉塵が付着せず、単
にベンドミラー1の表面をクリーンな状態に維持せしめ
ることができる。
【0019】また、別系統でクリーンなエアでベンドミ
ラー1が冷却されるので、熱変形するのを防ぐことがで
きる。
ラー1が冷却されるので、熱変形するのを防ぐことがで
きる。
【0020】而して、従来のようなジャバラを使用せ
ず、ベンドミラーブロック3は光軸ガイド13で案内さ
れているので、高速移動を可能にすると共に低騒音化を
図ることができる。また、ベンドミラーの焼損の防止を
図ることができる。
ず、ベンドミラーブロック3は光軸ガイド13で案内さ
れているので、高速移動を可能にすると共に低騒音化を
図ることができる。また、ベンドミラーの焼損の防止を
図ることができる。
【0021】図3には図2に代る他の実施の形態の例が
示されている。図3において図2における部品と同じ部
品には同一の符号を符し、重複する部分の説明を省略
し、異なっている点について説明する。
示されている。図3において図2における部品と同じ部
品には同一の符号を符し、重複する部分の説明を省略
し、異なっている点について説明する。
【0022】すなわち、図3において、光軸ガイド13
における逆U字形部11の両側面に集塵ユニット19を
設けたものである。
における逆U字形部11の両側面に集塵ユニット19を
設けたものである。
【0023】したがって、外部からゴミなどの粉塵が光
軸ガイド13における逆U字形部11に侵入するのを防
ぎ、集塵ユニット19で集塵せしめることができる。そ
の結果、逆U字形部11にゴミなどの粉塵が侵入しない
からベンドミラーブロック3内のベンドミラー1の表面
に粉塵が付着せずより一層の効果を発揮せしめることが
できる。
軸ガイド13における逆U字形部11に侵入するのを防
ぎ、集塵ユニット19で集塵せしめることができる。そ
の結果、逆U字形部11にゴミなどの粉塵が侵入しない
からベンドミラーブロック3内のベンドミラー1の表面
に粉塵が付着せずより一層の効果を発揮せしめることが
できる。
【0024】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
例に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
【0025】
【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例から理解さ
れるように、請求項1の発明によれば、ベンドミラーを
備えたベンドミラーブロックは、光軸ガイドに案内され
て移動される。しかも、クリーンなエアがエアパージユ
ニット内に供給されると、エアパージユニット内のエア
は複数のパージ穴を経て光軸ガイド内に送られる。ま
た、別系統でクリーンなエアがベンドミラーブロック内
を通って光軸ガイド内に放出されるから、ベンドミラー
ブロック内に備えられたベンドミラーは常にクリーンな
エアで冷却されると共に、ベンドミラーに粉塵などが付
着されるのが防止され常にクリーンな状態を保持せしめ
ることができる。
れるように、請求項1の発明によれば、ベンドミラーを
備えたベンドミラーブロックは、光軸ガイドに案内され
て移動される。しかも、クリーンなエアがエアパージユ
ニット内に供給されると、エアパージユニット内のエア
は複数のパージ穴を経て光軸ガイド内に送られる。ま
た、別系統でクリーンなエアがベンドミラーブロック内
を通って光軸ガイド内に放出されるから、ベンドミラー
ブロック内に備えられたベンドミラーは常にクリーンな
エアで冷却されると共に、ベンドミラーに粉塵などが付
着されるのが防止され常にクリーンな状態を保持せしめ
ることができる。
【0026】而して、ジャバラを使用せず、ベンドミラ
ーブロックは、光軸ガイドで案内されているので、高速
移動を可能にすることができると共に、低騒音化を図る
ことができ、さらにベンドミラーの焼損の防止を図るこ
とができる。
ーブロックは、光軸ガイドで案内されているので、高速
移動を可能にすることができると共に、低騒音化を図る
ことができ、さらにベンドミラーの焼損の防止を図るこ
とができる。
【0027】請求項2の発明によれば、光軸ガイドを構
成する逆U形部の両側面に光軸ガイドの長手方向へ延伸
した集塵ユニットが設けられているから、光軸ガイド内
に進入しようとするゴミなどの粉塵が集塵され、光軸ガ
イド内にゴミなどの粉塵が進入するのを防止することが
できる。
成する逆U形部の両側面に光軸ガイドの長手方向へ延伸
した集塵ユニットが設けられているから、光軸ガイド内
に進入しようとするゴミなどの粉塵が集塵され、光軸ガ
イド内にゴミなどの粉塵が進入するのを防止することが
できる。
【図1】この発明を実施する一実施の形態の例のレーザ
加工機の防塵装置の正面図である。
加工機の防塵装置の正面図である。
【図2】図1におけるII−II線に沿った断面図であ
る。
る。
【図3】図2に代る他の実施の形態の例を示す図であ
る。
る。
【図4】従来のレーザ加工機の防塵装置の正面図であ
る。
る。
【図5】図4における側面図である。
1 ベンドミラー 3 ベンドミラーブロック 5 後部パージユニット 7 エア供給口 9 前部パージユニット 11 逆U字形状部 13 光軸ガイド 15 パージ穴 17 エアパージユニット 19 集塵ユニット
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザ加工機にベンドミラーを備えたベ
ンドミラーブロックを移動自在に設け、このベンドミラ
ーブロックを案内すべくベンドミラーブロックの移動方
向へ延伸した光軸ガイドを設け、この光軸ガイドの上部
に光軸ガイドの長手方向およびこの長手方向と直交した
方向へ適宜な間隔で複数のパージ穴を設けると共に、前
記光軸ガイドの上方にエアを供給するエアパージユニッ
トを前記光軸ガイドの長手方向へ前記各パージ穴を囲繞
すべく設けてなることを特徴とするレーザ加工機の防塵
装置。 - 【請求項2】 前記光軸ガイドが逆U字形部で構成さ
れ、この逆U字形部の両側面に前記光軸ガイドの長手方
向へ延伸した集塵ユニットを設けてなることを特徴とす
る請求項1記載のレーザ加工機の防塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167628A JPH106066A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | レーザ加工機の防塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167628A JPH106066A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | レーザ加工機の防塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH106066A true JPH106066A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15853318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8167628A Pending JPH106066A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | レーザ加工機の防塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH106066A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115592279A (zh) * | 2022-12-08 | 2023-01-13 | 山东利华同辉光电科技有限公司(Cn) | 一种用于屏幕膜切割的辅助装置 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP8167628A patent/JPH106066A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115592279A (zh) * | 2022-12-08 | 2023-01-13 | 山东利华同辉光电科技有限公司(Cn) | 一种用于屏幕膜切割的辅助装置 |
| CN115592279B (zh) * | 2022-12-08 | 2023-03-07 | 山东利华同辉光电科技有限公司 | 一种用于屏幕膜切割的辅助装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100525984C (zh) | 加工装置 | |
| JP2001151525A (ja) | ガラス板分割方法及び装置 | |
| JPH106066A (ja) | レーザ加工機の防塵装置 | |
| US6097417A (en) | Vacuum system for removing ablated particles from media mounted in an internal drum platesetter | |
| ATE154708T1 (de) | Laserabtastvorrichtung | |
| JPS60206594A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JP2002316291A (ja) | レーザ加工機 | |
| JP7682750B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| RU96105103A (ru) | Установка для лазерной обработки листовых материалов | |
| JP2003164986A (ja) | 全光軸移動式レーザ加工機 | |
| JP2891379B2 (ja) | ワーク垂直型レーザーマシン | |
| TR26242A (tr) | Ip cikarma mekanizmasi | |
| JPH0968259A (ja) | ケーブル・ホースの案内支持装置 | |
| JPH0352793A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH1056769A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH0243597B2 (ja) | ||
| JPS639170A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH05285688A (ja) | レーザー切断機 | |
| JPH0243594B2 (ja) | ||
| JPS63230294A (ja) | レ−ザ加工装置用の煙除去装置 | |
| JPH09327786A (ja) | 熱加工装置 | |
| JP2002137084A (ja) | 光軸移動型レーザ加工機 | |
| JPH04327393A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS61145883A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH091367A (ja) | 金属板の切断方法 |