JPH1061664A - 直動転がり案内ユニット - Google Patents
直動転がり案内ユニットInfo
- Publication number
- JPH1061664A JPH1061664A JP8233590A JP23359096A JPH1061664A JP H1061664 A JPH1061664 A JP H1061664A JP 8233590 A JP8233590 A JP 8233590A JP 23359096 A JP23359096 A JP 23359096A JP H1061664 A JPH1061664 A JP H1061664A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motion
- guide unit
- rolling guide
- motion rolling
- track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/064—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24409—Interpolation using memories
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軌道台と摺動台との相対位置等を検知する検
知手段を備えた直動転がり案内ユニットであって、特に
小型化が容易であり、しかも使用条件に応じて柔軟に対
応させ得、かつ低廉なものを提供すること。 【解決手段】 軌道台1に細い溝1eを形成して、この
溝に極く細い線状のスケール11、12を配置する構成
を採用することで上記の効果を得ている。
知手段を備えた直動転がり案内ユニットであって、特に
小型化が容易であり、しかも使用条件に応じて柔軟に対
応させ得、かつ低廉なものを提供すること。 【解決手段】 軌道台1に細い溝1eを形成して、この
溝に極く細い線状のスケール11、12を配置する構成
を採用することで上記の効果を得ている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は直動転がり案内ユニ
ットに関し、特に、その具備する軌道台と摺動台との相
対位置を検知する検知手段を具備したものに関する。
ットに関し、特に、その具備する軌道台と摺動台との相
対位置を検知する検知手段を具備したものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の直動転がり案内ユニットの一例を
図12に示す。当該直動転がり案内ユニットは、特開平
3ー153915号公報において開示されているもので
ある。
図12に示す。当該直動転がり案内ユニットは、特開平
3ー153915号公報において開示されているもので
ある。
【0003】図示のように、当該直動転がり案内ユニッ
トは、左右の肩部に軌道としての上部転送面201a及
び下部転送面201bが長手方向に沿って形成された軌
道台201と、これら上部転送面201a及び下部転送
面201bに夫々対応する4条の転動体循環路202を
有して該軌道台201に対して相対運動自在な摺動台2
03と、該転動体循環路202内に配列収容されてこの
摺動台203の移動に伴って前記上部転送面201a及
び下部転送面201b上を転動しつつ循環して軌道台2
01及び摺動台203の間で荷重を受ける転動体として
の多数のボール205とを有している。
トは、左右の肩部に軌道としての上部転送面201a及
び下部転送面201bが長手方向に沿って形成された軌
道台201と、これら上部転送面201a及び下部転送
面201bに夫々対応する4条の転動体循環路202を
有して該軌道台201に対して相対運動自在な摺動台2
03と、該転動体循環路202内に配列収容されてこの
摺動台203の移動に伴って前記上部転送面201a及
び下部転送面201b上を転動しつつ循環して軌道台2
01及び摺動台203の間で荷重を受ける転動体として
の多数のボール205とを有している。
【0004】前記軌道台201の頂部にはその全長にわ
たって取付溝201dが形成されており、該取付溝20
1d内には帯状のスケール207が配設されている。こ
のスケール207は、その長手方向に沿って所定パター
ンにて着磁され、これが被検知部として作用する。
たって取付溝201dが形成されており、該取付溝20
1d内には帯状のスケール207が配設されている。こ
のスケール207は、その長手方向に沿って所定パター
ンにて着磁され、これが被検知部として作用する。
【0005】一方、前記摺動台203には、前記スケー
ル207と所定の間隙を隔てて対向するように磁気ヘッ
ド208が取り付けられている。該磁気ヘッド208
は、磁界の変化によって検知信号を発する。
ル207と所定の間隙を隔てて対向するように磁気ヘッ
ド208が取り付けられている。該磁気ヘッド208
は、磁界の変化によって検知信号を発する。
【0006】前記構成において、前記磁気ヘッド208
からの検知信号に基づいて軌道台201及び摺動台20
3の相対位置が検出される。
からの検知信号に基づいて軌道台201及び摺動台20
3の相対位置が検出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したスケール20
7は、帯状で面積の広がりがあることから、軌道台20
1にこれを設けるためにはある程度大きなスペースを要
し、かつ設置位置選定の自由度も小さく、直動転がり案
内ユニットの小型化を図る上で解決されるべき問題とな
っている。
7は、帯状で面積の広がりがあることから、軌道台20
1にこれを設けるためにはある程度大きなスペースを要
し、かつ設置位置選定の自由度も小さく、直動転がり案
内ユニットの小型化を図る上で解決されるべき問題とな
っている。
【0008】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、特に小型
化が容易であり、しかも使用条件に応じて柔軟に対応さ
せ得、かつ低廉な直動転がり案内ユニットを提供するこ
とである。
されたものであり、その目的とするところは、特に小型
化が容易であり、しかも使用条件に応じて柔軟に対応さ
せ得、かつ低廉な直動転がり案内ユニットを提供するこ
とである。
【0009】また、本発明は、更に他の効果をも奏し得
る直動転がり案内ユニットを提供する。
る直動転がり案内ユニットを提供する。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る直動転がり案内ユニットは、長手方向
に沿って軌道が形成された軌道台と、該軌道に対応する
負荷軌道を含む転動体循環路を有して前記軌道台に相対
運動自在な摺動台と、前記転動体循環路に配列収容され
て前記軌道上を転動しつつ荷重を受ける複数の転動体と
を備え、前記軌道台に前記軌道に沿う溝が複数形成さ
れ、N及びSの磁極を所定パターンにて着磁してなる被
検知部が形成された線状のスケールが該溝各々に配設さ
れ、前記摺動台に該スケール各々に対応して磁気センサ
からなる検知部を設けてなる。加えて、更に他の種々の
効果を得るために、下記の各構成が採用されている。す
なわち、前記直動転がり案内ユニットでは、前記スケー
ルがN及びSの磁極を微細にかつ交互に等ピッチで各ス
ケールとも同一位置に着磁してなり、該スケールに対応
した前記磁気センサがそれぞれ互いに所定距離ずれて配
設され位置検知できる検知部でなる。また、前記直動転
がり案内ユニットでは、前記スケールがN及びSの磁極
を微細にかつ交互に等ピッチで各スケールそれぞれ互い
に所定距離ずれて着磁してなり、該スケールに対応した
前記磁気センサがそれぞれ互いに同一位置に配設され位
置検知できる検知部でなる。また、前記直動転がり案内
ユニットにおいては、前記スケールのいずれか1に設け
られた被検知部は、前記摺動台の相対運動の測定基準及
び/又は作動ストローク限界を示す。更に、前記直動転
がり案内ユニットにおいては、前記スケールが前記軌道
台の対称位置2箇所に配設されてなる。次いで、前記直
動転がり案内ユニットでは、前記検知部が前記摺動台に
内装されてなる。また、前記直動転がり案内ユニットに
おいては、前記検知部が前記摺動台に外装されてなる。
に、本発明に係る直動転がり案内ユニットは、長手方向
に沿って軌道が形成された軌道台と、該軌道に対応する
負荷軌道を含む転動体循環路を有して前記軌道台に相対
運動自在な摺動台と、前記転動体循環路に配列収容され
て前記軌道上を転動しつつ荷重を受ける複数の転動体と
を備え、前記軌道台に前記軌道に沿う溝が複数形成さ
れ、N及びSの磁極を所定パターンにて着磁してなる被
検知部が形成された線状のスケールが該溝各々に配設さ
れ、前記摺動台に該スケール各々に対応して磁気センサ
からなる検知部を設けてなる。加えて、更に他の種々の
効果を得るために、下記の各構成が採用されている。す
なわち、前記直動転がり案内ユニットでは、前記スケー
ルがN及びSの磁極を微細にかつ交互に等ピッチで各ス
ケールとも同一位置に着磁してなり、該スケールに対応
した前記磁気センサがそれぞれ互いに所定距離ずれて配
設され位置検知できる検知部でなる。また、前記直動転
がり案内ユニットでは、前記スケールがN及びSの磁極
を微細にかつ交互に等ピッチで各スケールそれぞれ互い
に所定距離ずれて着磁してなり、該スケールに対応した
前記磁気センサがそれぞれ互いに同一位置に配設され位
置検知できる検知部でなる。また、前記直動転がり案内
ユニットにおいては、前記スケールのいずれか1に設け
られた被検知部は、前記摺動台の相対運動の測定基準及
び/又は作動ストローク限界を示す。更に、前記直動転
がり案内ユニットにおいては、前記スケールが前記軌道
台の対称位置2箇所に配設されてなる。次いで、前記直
動転がり案内ユニットでは、前記検知部が前記摺動台に
内装されてなる。また、前記直動転がり案内ユニットに
おいては、前記検知部が前記摺動台に外装されてなる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を添付図面
を参照しつつ説明する。
を参照しつつ説明する。
【0012】まず、本発明の第1実施例としての直動転
がり案内ユニットを、図1乃至図6に基づいて説明す
る。
がり案内ユニットを、図1乃至図6に基づいて説明す
る。
【0013】図1及び図2に示すように、この直動転が
り案内ユニットは、軌道台としてのトラックレール1
と、該トラックレール1に対して相対運動自在な摺動台
としてのスライドユニット3とを有している。
り案内ユニットは、軌道台としてのトラックレール1
と、該トラックレール1に対して相対運動自在な摺動台
としてのスライドユニット3とを有している。
【0014】トラックレール1にはその長手方向に等ピ
ッチにてボルト挿通孔1aが並設されており、該ボルト
挿通孔1aに挿通するボルト(六角穴付き)5によって
工作機械等の作業台上などに装着される。
ッチにてボルト挿通孔1aが並設されており、該ボルト
挿通孔1aに挿通するボルト(六角穴付き)5によって
工作機械等の作業台上などに装着される。
【0015】図1及び図3に示すように、トラックレー
ル1にはその左右の肩部に軌道としての軌道溝1cが長
手方向に沿って形成されている。そして、スライドユニ
ット3に、該軌道溝1cに対応して2条の転動体循環路
が形成され、該転動体循環路内には転動体としての多数
のボール4(図1参照)が配列収容されている。これら
ボール4は、トラックレール1及びスライドユニット3
の相対運動に伴って前記軌道溝1cに沿って転動しつつ
循環し、トラックレール1及びスライドユニット3の間
で荷重を受ける。
ル1にはその左右の肩部に軌道としての軌道溝1cが長
手方向に沿って形成されている。そして、スライドユニ
ット3に、該軌道溝1cに対応して2条の転動体循環路
が形成され、該転動体循環路内には転動体としての多数
のボール4(図1参照)が配列収容されている。これら
ボール4は、トラックレール1及びスライドユニット3
の相対運動に伴って前記軌道溝1cに沿って転動しつつ
循環し、トラックレール1及びスライドユニット3の間
で荷重を受ける。
【0016】図1及び図2に示すように、スライドユニ
ット3は、トラックレール1上に跨架されたケーシング
6と、該ケーシング6の進行方向両端にねじ6aによっ
て結合された一対のエンドキャップ7a、7bと、該エ
ンドキャップ7a、7bの各外面に該ねじ6aを以て共
締めされたエンドシール8a及び8bとを有している。
ット3は、トラックレール1上に跨架されたケーシング
6と、該ケーシング6の進行方向両端にねじ6aによっ
て結合された一対のエンドキャップ7a、7bと、該エ
ンドキャップ7a、7bの各外面に該ねじ6aを以て共
締めされたエンドシール8a及び8bとを有している。
【0017】図1に示すように、前記転動体循環路は、
前記ケーシング6に互いに平行に形成された負荷軌道溝
6c及びリターン路6dと、エンドキャップ7a、7b
に形成されて該負荷軌道溝6c及びリターン路6dの両
端同士を連通させる一対の略半環状の方向転換路(図示
せず)とからなる。該負荷軌道溝6cがトラックレール
1の軌道溝1cに対応している。
前記ケーシング6に互いに平行に形成された負荷軌道溝
6c及びリターン路6dと、エンドキャップ7a、7b
に形成されて該負荷軌道溝6c及びリターン路6dの両
端同士を連通させる一対の略半環状の方向転換路(図示
せず)とからなる。該負荷軌道溝6cがトラックレール
1の軌道溝1cに対応している。
【0018】なお、前記スライドユニット3の端部に
は、前記各ボール4にグリースを供給するためのグリー
スニップル9が取り付けられている。
は、前記各ボール4にグリースを供給するためのグリー
スニップル9が取り付けられている。
【0019】また、スライドユニット3のケーシング6
には、例えば4つのねじ孔6fが形成されており、該ね
じ孔6fに螺合するボルト(六角穴付き)10(図1参
照)により、図示しないテーブルが該ケーシング6上に
締結される。
には、例えば4つのねじ孔6fが形成されており、該ね
じ孔6fに螺合するボルト(六角穴付き)10(図1参
照)により、図示しないテーブルが該ケーシング6上に
締結される。
【0020】前記トラックレール1の例えば頂部には、
前記軌道溝1cに沿う溝1eが対称位置2箇所に形成さ
れている。該溝1e,1eには線状のスケール11がそ
れぞれ配設されており、かつ、圧入又は接着剤等を用い
て固着されている。
前記軌道溝1cに沿う溝1eが対称位置2箇所に形成さ
れている。該溝1e,1eには線状のスケール11がそ
れぞれ配設されており、かつ、圧入又は接着剤等を用い
て固着されている。
【0021】これらのスケール11、11はその素材と
して強磁性体(FeーCrーCoなど)が使用され、図
4に示すように断面円形の線材15から加圧して偏平と
した線材でなる。そして、前記溝1eは図3に示すよう
に前記スケールを埋設するごとくの凹溝で設定され、ス
ケール11がこの溝1eから例えば0.2mm突出し、
この突出部分を0.1mmだけ研削して除去(ハッチン
グを施した部分)することが行われている。
して強磁性体(FeーCrーCoなど)が使用され、図
4に示すように断面円形の線材15から加圧して偏平と
した線材でなる。そして、前記溝1eは図3に示すよう
に前記スケールを埋設するごとくの凹溝で設定され、ス
ケール11がこの溝1eから例えば0.2mm突出し、
この突出部分を0.1mmだけ研削して除去(ハッチン
グを施した部分)することが行われている。
【0022】なお、図3において記号Wで示す寸法、す
なわちトラックレール1の幅については、例えば5mm
程度から任意に選定可能である。
なわちトラックレール1の幅については、例えば5mm
程度から任意に選定可能である。
【0023】図1及び図2に示すように、スライドユニ
ット3には、前記スケール11、11各々に対応して検
知部17及び18が設けられている。これらの検知部1
7、18は、スライドユニット3の(エンドキャップ7
a)内周部に形成された溝7cに収容され、各スケール
11に対して所定の僅かな間隙を隔てた状態となされて
いる。
ット3には、前記スケール11、11各々に対応して検
知部17及び18が設けられている。これらの検知部1
7、18は、スライドユニット3の(エンドキャップ7
a)内周部に形成された溝7cに収容され、各スケール
11に対して所定の僅かな間隙を隔てた状態となされて
いる。
【0024】図5は、前記スケール11、11に夫々設
けられた被検知部を示すものである。該被検知部は、磁
性体であるスケール自体に、下記の所定パターンにて着
磁してなる。
けられた被検知部を示すものである。該被検知部は、磁
性体であるスケール自体に、下記の所定パターンにて着
磁してなる。
【0025】図示のように、スケール11が長手方向に
沿ってN及びSの磁極を微細にかつ交互に等ピッチで各
スケール11、11とも同一位置に多極着磁してなる。
図において、これら磁極を参照符号22にて示してい
る。これらの磁極22は、位置検知用及び相対運動方向
判別用のものである。
沿ってN及びSの磁極を微細にかつ交互に等ピッチで各
スケール11、11とも同一位置に多極着磁してなる。
図において、これら磁極を参照符号22にて示してい
る。これらの磁極22は、位置検知用及び相対運動方向
判別用のものである。
【0026】一方、スライドユニット3に設けられて前
記被検知部を検知する検知部17、18は、図5に示す
磁気センサ31、32、具体的にはホール効果素子等か
らなる磁電変換素子を備えている。
記被検知部を検知する検知部17、18は、図5に示す
磁気センサ31、32、具体的にはホール効果素子等か
らなる磁電変換素子を備えている。
【0027】図5に示すように、前記磁電変換素子3
1、32は、これらが感応すべき磁極22が並ぶ方向に
おいてそれぞれ互いに該磁極間のピッチPの1/2の所
定距離ずらせられている。これによって、両磁電変換素
子31、32からの信号波形は互いにπ/2だけ位相が
ずれる。これら磁電変換素子31、32により得られる
波形は0レベルを基準として正・負の連続した正弦波が
得られ、図6に示すように増幅回路36a、36bを通
すことによって0レベルからVmaxのレベルになるよ
うに増幅処理がなされている。これは後段における信号
処理を容易にするためである。
1、32は、これらが感応すべき磁極22が並ぶ方向に
おいてそれぞれ互いに該磁極間のピッチPの1/2の所
定距離ずらせられている。これによって、両磁電変換素
子31、32からの信号波形は互いにπ/2だけ位相が
ずれる。これら磁電変換素子31、32により得られる
波形は0レベルを基準として正・負の連続した正弦波が
得られ、図6に示すように増幅回路36a、36bを通
すことによって0レベルからVmaxのレベルになるよ
うに増幅処理がなされている。これは後段における信号
処理を容易にするためである。
【0028】次に、上述の被検知部及び検知部でなる検
知手段より発せられる検知信号に基づいてトラックレー
ル1及びスライドユニット3の相対位置の判定をなす制
御系の構成について説明する。
知手段より発せられる検知信号に基づいてトラックレー
ル1及びスライドユニット3の相対位置の判定をなす制
御系の構成について説明する。
【0029】図6に示すように、磁電変換素子31及び
32より出力された波形は増幅回路36a及び36bに
入力される。この増幅回路36a及び36bは、A/D
変換回路37a及び37b、ラッチ回路38a及び38
b、マルチプレクサ(MPX)39が順次接続され、こ
のマルチプレクサ39の出力がCPU(制御回路)40
に入力される構成となっている。該CPUにはメモリ
(ROM)42及び計数手段としてのアップダウンカウ
ンタ43、D/A変換回路44が接続されている。
32より出力された波形は増幅回路36a及び36bに
入力される。この増幅回路36a及び36bは、A/D
変換回路37a及び37b、ラッチ回路38a及び38
b、マルチプレクサ(MPX)39が順次接続され、こ
のマルチプレクサ39の出力がCPU(制御回路)40
に入力される構成となっている。該CPUにはメモリ
(ROM)42及び計数手段としてのアップダウンカウ
ンタ43、D/A変換回路44が接続されている。
【0030】前記A/D変換回路37a及び37bは、
前段の増幅回路36a及び36bによりレベル増幅され
たアナログ波形を二値化データに変換してラッチ回路3
8a及び38bに夫々のデータを入力する。このラッチ
回路38a及び38bは、前段のA/D変換回路37a
及び37bによって刻々変換されるデータを同期処理す
るために該A/D変換回路37aと37bのデータをラ
ッチしてホールドさせる。
前段の増幅回路36a及び36bによりレベル増幅され
たアナログ波形を二値化データに変換してラッチ回路3
8a及び38bに夫々のデータを入力する。このラッチ
回路38a及び38bは、前段のA/D変換回路37a
及び37bによって刻々変換されるデータを同期処理す
るために該A/D変換回路37aと37bのデータをラ
ッチしてホールドさせる。
【0031】このホールドされたデータはマルチプレク
サ39に入力される。このマルチプレクサ39は、後段
のCPU40に出力する場合にラッチ回路38a及び3
8bでラッチ処理されたデータを同時に出力することが
できないので、時分割処理して別々にCPU40に出力
して演算処理がなされる。
サ39に入力される。このマルチプレクサ39は、後段
のCPU40に出力する場合にラッチ回路38a及び3
8bでラッチ処理されたデータを同時に出力することが
できないので、時分割処理して別々にCPU40に出力
して演算処理がなされる。
【0032】次に、CPU40の演算処理について説明
する。
する。
【0033】まず、初期動作としてスライドユニット3
が駆動され、基準位置に移動(逆に、スライドユニット
3が固定でトラックレール1が移動しても同様)するこ
とにより図示しない基準位置検知手段より基準位置信号
が発せられる。この基準位置信号に応じてメモリ(RA
M)45(図6参照)にメモリされたスケール位置デー
タがリセットされる。このリセット指令によりスライド
ユニット3が所望の位置に向けて移動を開始する。これ
に応じて磁電変換素子31及び32からレベル増幅され
た互いに位相の異なる連続波形が得られる。
が駆動され、基準位置に移動(逆に、スライドユニット
3が固定でトラックレール1が移動しても同様)するこ
とにより図示しない基準位置検知手段より基準位置信号
が発せられる。この基準位置信号に応じてメモリ(RA
M)45(図6参照)にメモリされたスケール位置デー
タがリセットされる。このリセット指令によりスライド
ユニット3が所望の位置に向けて移動を開始する。これ
に応じて磁電変換素子31及び32からレベル増幅され
た互いに位相の異なる連続波形が得られる。
【0034】磁電変換素子31及び32の出力波形はこ
のように位相が異なるので、CPU40はこの異なる波
形データを比較することによってスライドユニット3の
移動方向を判定することができる。
のように位相が異なるので、CPU40はこの異なる波
形データを比較することによってスライドユニット3の
移動方向を判定することができる。
【0035】次に、スライドユニット3の移動量につい
ては下記のように求まる。
ては下記のように求まる。
【0036】すなわち、図5において、磁電変換素子3
1及び32の各スケール11、11に対する移動量をS
とすると、これがスライドユニット3の移動量となる。
1及び32の各スケール11、11に対する移動量をS
とすると、これがスライドユニット3の移動量となる。
【0037】この移動量の演算に関し、磁電変換素子3
1の出力をVA 、磁電変換素子32の出力をVB とし、
VA /VB の電圧の比を求める。
1の出力をVA 、磁電変換素子32の出力をVB とし、
VA /VB の電圧の比を求める。
【0038】メモリ42内にはVA /VB に対応する1
周期(P×2)内の微細な位置データが予めメモリされ
ているので、CPU40は、上記のような演算処理によ
って求められたVA /VB の値と一致する値をメモリ4
2から読みだして比較することによって図5に示す距離
αを求めることができる。この求められた距離αの位置
データは、それ以前に求められた位置データが既にメモ
リ45にメモリ(前記基準位置から最初に書き込まれる
時点ではメモリされていない)されているから、CPU
は該データを読み出した後、今回求められた距離αを加
算し、これによって算出された距離Sを位置データとし
てメモリ45に書き込む。そして、その位置データが図
示しない表示回路にて表示され(図6において「表示」
として示している)、相対位置が判定される。
周期(P×2)内の微細な位置データが予めメモリされ
ているので、CPU40は、上記のような演算処理によ
って求められたVA /VB の値と一致する値をメモリ4
2から読みだして比較することによって図5に示す距離
αを求めることができる。この求められた距離αの位置
データは、それ以前に求められた位置データが既にメモ
リ45にメモリ(前記基準位置から最初に書き込まれる
時点ではメモリされていない)されているから、CPU
は該データを読み出した後、今回求められた距離αを加
算し、これによって算出された距離Sを位置データとし
てメモリ45に書き込む。そして、その位置データが図
示しない表示回路にて表示され(図6において「表示」
として示している)、相対位置が判定される。
【0039】前述の実施例より、当該直動転がり案内ユ
ニットにおいては、細い線状のスケール11を採用して
いるので、スケール11の設置スペースが小さく、かつ
設置位置の選定の自由度も大きく、直動転がり案内ユニ
ット全体としての小型化が容易に実現されるという効果
がある。特に、線状である故に、トラックレール1への
装着が容易となっている。
ニットにおいては、細い線状のスケール11を採用して
いるので、スケール11の設置スペースが小さく、かつ
設置位置の選定の自由度も大きく、直動転がり案内ユニ
ット全体としての小型化が容易に実現されるという効果
がある。特に、線状である故に、トラックレール1への
装着が容易となっている。
【0040】また、該線状のスケール11をトラックレ
ール1に設けた溝1e内に配設しているので、該溝1e
を高精度に形成すればスケール11の曲がりが抑えら
れ、スケールとしての精度が確保される。
ール1に設けた溝1e内に配設しているので、該溝1e
を高精度に形成すればスケール11の曲がりが抑えら
れ、スケールとしての精度が確保される。
【0041】また、当該直動転がり案内ユニットでは、
複数本、この場合2本のスケールが異なる位置に設けら
れ、該スケール各々に対応して検知部17、18が個別
に設けられているので、該検知部17、18は磁電変換
素子の単体からなる小さなものでよく、分散して配置さ
れる。この点からも直動転がり案内ユニットの小型化が
図り易くなっている。
複数本、この場合2本のスケールが異なる位置に設けら
れ、該スケール各々に対応して検知部17、18が個別
に設けられているので、該検知部17、18は磁電変換
素子の単体からなる小さなものでよく、分散して配置さ
れる。この点からも直動転がり案内ユニットの小型化が
図り易くなっている。
【0042】また、検知の分解能を変更する場合、該ス
ケール11に対応する検知部の磁電変換素子31、32
の互いの所定距離をこの新たな分解能でなるスケールの
被検知部に合わせて調整するのみにて、使用条件に応じ
た柔軟な対応をなし得、しかも、分解能の変更の度に該
磁電変換素子31、32自体を新たなものに更新する必
要がないことからコストの低減が図られる。
ケール11に対応する検知部の磁電変換素子31、32
の互いの所定距離をこの新たな分解能でなるスケールの
被検知部に合わせて調整するのみにて、使用条件に応じ
た柔軟な対応をなし得、しかも、分解能の変更の度に該
磁電変換素子31、32自体を新たなものに更新する必
要がないことからコストの低減が図られる。
【0043】また、当該直動転がり案内ユニットにおい
ては、各スケール11、11がトラックレール1の対称
位置に配設されているので、占有スペースをコンパクト
にでき直動転がり案内ユニットの小型化を図り易くして
いる。
ては、各スケール11、11がトラックレール1の対称
位置に配設されているので、占有スペースをコンパクト
にでき直動転がり案内ユニットの小型化を図り易くして
いる。
【0044】
【実施例】続いて、前述した第1実施例のものと同様の
効果を奏し得る第2実施例としての直動転がり案内ユニ
ットについて説明する。但し、この第2実施例は以下に
説明する部分以外は上記第1実施例と同様に構成されて
いるので、全体としての構成及び動作の説明は重複する
故に省略し、要部のみの説明に止める。
効果を奏し得る第2実施例としての直動転がり案内ユニ
ットについて説明する。但し、この第2実施例は以下に
説明する部分以外は上記第1実施例と同様に構成されて
いるので、全体としての構成及び動作の説明は重複する
故に省略し、要部のみの説明に止める。
【0045】また、以下の説明及び各図において、第1
実施例と同一又は対応する構成部分については同じ参照
符号を付して示している。これらのことは、後述する第
3実施例以降に関しても同様である。
実施例と同一又は対応する構成部分については同じ参照
符号を付して示している。これらのことは、後述する第
3実施例以降に関しても同様である。
【0046】図7に示すように、この第2実施例の直動
転がり案内ユニットでは、トラックレール1に形成され
た2条の溝1e(図1、図2参照)各々に、前記第1実
施例で使用されているものと同じスケール11が夫々装
着されている。ここで異にすることは、これらスケール
11が、その各々の磁極22が互いに着磁ピッチPの1
/2の所定距離ずらして着磁されている。
転がり案内ユニットでは、トラックレール1に形成され
た2条の溝1e(図1、図2参照)各々に、前記第1実
施例で使用されているものと同じスケール11が夫々装
着されている。ここで異にすることは、これらスケール
11が、その各々の磁極22が互いに着磁ピッチPの1
/2の所定距離ずらして着磁されている。
【0047】対して、各スケールに対応する磁電変換素
子31、32はスケール11の長手方向において同一位
置に前記スライドユニットに配設されている。
子31、32はスケール11の長手方向において同一位
置に前記スライドユニットに配設されている。
【0048】この構成によっても、トラックレール1と
スライドユニット3との相対移動距離および移動方向を
検出することができる。
スライドユニット3との相対移動距離および移動方向を
検出することができる。
【0049】次に、本発明の第3実施例としての直動転
がり案内ユニットの要部を、図8を用いて説明する。
がり案内ユニットの要部を、図8を用いて説明する。
【0050】当該直動転がり案内ユニットは、下記の点
を除いて前述の第1実施例のものと同様に構成されてい
る。
を除いて前述の第1実施例のものと同様に構成されてい
る。
【0051】すなわち、第1実施例の直動転がり案内ユ
ニットでは互いに同じ構成の2本のスケール11が設け
られているのに対し、当該直動転がり案内ユニットでは
該スケール11は1本とされ、他の着磁パターンのスケ
ール12が設けられている。
ニットでは互いに同じ構成の2本のスケール11が設け
られているのに対し、当該直動転がり案内ユニットでは
該スケール11は1本とされ、他の着磁パターンのスケ
ール12が設けられている。
【0052】そして、2つの磁電変換素子31及び32
はこの一方のスケール11に対応して設けられ、これら
磁電変換素子31、32の互いの所定距離は、該スケー
ル11の磁極22のピッチをPとすれば2nP+P/2
に設定されている。つまり、磁電変換素子31及び32
間の互いの所定距離は、第1実施例のものにおけるP/
2に限らず、本実施例における数値n(周期分)を必要
に応じて適宜設定することで自在に変更し得ることを示
すものである。
はこの一方のスケール11に対応して設けられ、これら
磁電変換素子31、32の互いの所定距離は、該スケー
ル11の磁極22のピッチをPとすれば2nP+P/2
に設定されている。つまり、磁電変換素子31及び32
間の互いの所定距離は、第1実施例のものにおけるP/
2に限らず、本実施例における数値n(周期分)を必要
に応じて適宜設定することで自在に変更し得ることを示
すものである。
【0053】他方のスケール12には、被検知部として
例えばその長手方向中央に1つの磁極24(N又はS
極)が、又、両端に2つの磁極25、26が設けられて
いる。該磁極24はトラックレール1及びスライドユニ
ット3の相対運動の測定基準とされ、他の2つの磁極2
5、26は作動ストローク限界を示すものとされる。
例えばその長手方向中央に1つの磁極24(N又はS
極)が、又、両端に2つの磁極25、26が設けられて
いる。該磁極24はトラックレール1及びスライドユニ
ット3の相対運動の測定基準とされ、他の2つの磁極2
5、26は作動ストローク限界を示すものとされる。
【0054】このスケール12に対応して1つの磁気セ
ンサ、具体的には磁気抵抗素子(MR素子)34が設け
られている。この磁気抵抗素子34が原点たる磁極24
に感応して発する信号が基準位置信号となされる。
ンサ、具体的には磁気抵抗素子(MR素子)34が設け
られている。この磁気抵抗素子34が原点たる磁極24
に感応して発する信号が基準位置信号となされる。
【0055】本実施例においては、2本設けられたスケ
ールのうち1本のスケール12に設けた被検知部を、ト
ラックレール1及びスライドユニット3の相対運動の測
定基準及び作動ストローク限界を示すものとしている。
つまり、位置検知用及び相対運動方向判別用の被検知部
と分けて、各々独立したスケールとして設けている。よ
って、スケールそのものを極く細い線状のものとした点
と相まって、直動転がり案内ユニットの更なる小型化が
達成される。
ールのうち1本のスケール12に設けた被検知部を、ト
ラックレール1及びスライドユニット3の相対運動の測
定基準及び作動ストローク限界を示すものとしている。
つまり、位置検知用及び相対運動方向判別用の被検知部
と分けて、各々独立したスケールとして設けている。よ
って、スケールそのものを極く細い線状のものとした点
と相まって、直動転がり案内ユニットの更なる小型化が
達成される。
【0056】なお、スケール12に設けた測定基準用の
磁極24及び作動ストローク限界用の磁極25、26
は、必要に応じ、少なくともいずれか一方を設ければよ
い。
磁極24及び作動ストローク限界用の磁極25、26
は、必要に応じ、少なくともいずれか一方を設ければよ
い。
【0057】図9に、本発明の第4実施例としての直動
転がり案内ユニットを示す。
転がり案内ユニットを示す。
【0058】当該直動転がり案内ユニットは、エンコー
ダが有する検知部がスライドユニット3に外装されてい
る他は前記第1実施例(図1等参照)とほぼ同様の構成
を有する。但し、当該直動転がり案内ユニットは、第1
実施例のものに比して大型である。
ダが有する検知部がスライドユニット3に外装されてい
る他は前記第1実施例(図1等参照)とほぼ同様の構成
を有する。但し、当該直動転がり案内ユニットは、第1
実施例のものに比して大型である。
【0059】図示のように、本実施例では、スライドユ
ニット3とほぼ同様に構成されて該スライドユニット3
の一端に間座74を介して結合されたセンサーユニット
75を有し、検知部17及び18はこのセンサーユニッ
ト75に装着されている。
ニット3とほぼ同様に構成されて該スライドユニット3
の一端に間座74を介して結合されたセンサーユニット
75を有し、検知部17及び18はこのセンサーユニッ
ト75に装着されている。
【0060】かかる外装形式のものでは、スライドユニ
ット3には何等加工を施す必要がない。
ット3には何等加工を施す必要がない。
【0061】これに対し、前述の第1実施例では、スラ
イドユニット3について、図1に示す溝7cなどの若干
の加工を要するものの、検知部(参照符号17、18で
示した)はスライドユニット3に内装されて全体として
コンパクトにまとまり、小型化に関して有効である。
イドユニット3について、図1に示す溝7cなどの若干
の加工を要するものの、検知部(参照符号17、18で
示した)はスライドユニット3に内装されて全体として
コンパクトにまとまり、小型化に関して有効である。
【0062】なお、前述した各実施例においては、各磁
電変換素子31、32や磁気抵抗素子34(図8参照)
に対応して被検知部として作用するスケールが前記トラ
ックレールの溝に1本ずつ設けられているが、アンプの
ゲインアップ等を図るべく、図10に示すように2本又
はそれ以上の同種のスケールを平行に設けてもよい。
電変換素子31、32や磁気抵抗素子34(図8参照)
に対応して被検知部として作用するスケールが前記トラ
ックレールの溝に1本ずつ設けられているが、アンプの
ゲインアップ等を図るべく、図10に示すように2本又
はそれ以上の同種のスケールを平行に設けてもよい。
【0063】また、このように複数本のスケールを併設
する場合、例えばその内の1本をダミースケールとして
着磁を施さず、必要が生じたときに所要の着磁スケール
と交換するか、又は該ダミースケール自体に所要の着磁
を新たになすようにしてもよい。
する場合、例えばその内の1本をダミースケールとして
着磁を施さず、必要が生じたときに所要の着磁スケール
と交換するか、又は該ダミースケール自体に所要の着磁
を新たになすようにしてもよい。
【0064】加えて、各実施例では、使用されているス
ケールはその断面形状が偏平となされているが、図11
に示すように、断面形状が円形の線材をそのままスケー
ル11として使用することとしてもよい。この場合、図
示のように、該スケールが配設されるべくスプライン軸
1に形成される溝1eはU字状とすることが好ましい。
但し、各実施例において使用されている偏平なスケール
は、対応する磁電変換素子に差交する磁束数を増大でき
るなどの優位点がある。
ケールはその断面形状が偏平となされているが、図11
に示すように、断面形状が円形の線材をそのままスケー
ル11として使用することとしてもよい。この場合、図
示のように、該スケールが配設されるべくスプライン軸
1に形成される溝1eはU字状とすることが好ましい。
但し、各実施例において使用されている偏平なスケール
は、対応する磁電変換素子に差交する磁束数を増大でき
るなどの優位点がある。
【0065】更に、第3実施例(図8参照)で設けられ
た、測定基準(原点)及び作動ストローク限界(リミッ
ト位置)用のスケール12(図8などに図示)は位置検
知用のスケール11と同じく長尺に形成されているが、
該測定基準及び作動ストロール限界の配置位置は用途に
よって変えるので、このスケール12を短いものとし、
その位置を必要に応じて変えるようにしてもよい。
た、測定基準(原点)及び作動ストローク限界(リミッ
ト位置)用のスケール12(図8などに図示)は位置検
知用のスケール11と同じく長尺に形成されているが、
該測定基準及び作動ストロール限界の配置位置は用途に
よって変えるので、このスケール12を短いものとし、
その位置を必要に応じて変えるようにしてもよい。
【0066】また、本発明は、前述した各実施例の構成
に限らず、これら各実施例が含む構成を互いに組み合わ
せたり、応用し合うことなどにより、多岐にわたる構成
を実現できるものである。
に限らず、これら各実施例が含む構成を互いに組み合わ
せたり、応用し合うことなどにより、多岐にわたる構成
を実現できるものである。
【0067】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る直動
転がり案内ユニットにおいては、細い線状のスケールを
採用しているので、その設置スペースが小さく、かつ設
置位置の選定の自由度も大きく、案内ユニット全体とし
ての小型化が容易に実現されるという効果がある。特
に、線状故に軌道台への装着が容易となっている。ま
た、該線状のスケールを軌道台に設けた溝内に配設して
いるので、該溝を高精度に形成すればスケールの曲がり
が抑えられ、スケールとしての精度が確保される。ま
た、本発明による直動転がり案内ユニットでは、複数の
スケールが異なる位置に設けられ、該スケール各々に対
応して検知部が個別に設けられている。この構成によれ
ば、前述したスケールの設置位置の選定の自由度等の点
もさることながら、該検知部各々は例えば磁電変換素子
や磁気抵抗素子(MR素子)の単体からなる小さなもの
でよく、分散して配置されることからその占有スペース
は小さく、この点からも案内ユニットの小型化が図り易
くなっている。また、検知の分解能を変更する場合、ス
ケールに対応する各々の検知部の互いの所定距離を新た
な分解能でなるスケールの被検知部に合わせて調整する
のみにて、使用条件に応じた柔軟な対応をなし得、しか
も、分解能の変更の度に検知部自体を新たなものに更新
する必要がないことからコストの低減が図られる。
転がり案内ユニットにおいては、細い線状のスケールを
採用しているので、その設置スペースが小さく、かつ設
置位置の選定の自由度も大きく、案内ユニット全体とし
ての小型化が容易に実現されるという効果がある。特
に、線状故に軌道台への装着が容易となっている。ま
た、該線状のスケールを軌道台に設けた溝内に配設して
いるので、該溝を高精度に形成すればスケールの曲がり
が抑えられ、スケールとしての精度が確保される。ま
た、本発明による直動転がり案内ユニットでは、複数の
スケールが異なる位置に設けられ、該スケール各々に対
応して検知部が個別に設けられている。この構成によれ
ば、前述したスケールの設置位置の選定の自由度等の点
もさることながら、該検知部各々は例えば磁電変換素子
や磁気抵抗素子(MR素子)の単体からなる小さなもの
でよく、分散して配置されることからその占有スペース
は小さく、この点からも案内ユニットの小型化が図り易
くなっている。また、検知の分解能を変更する場合、ス
ケールに対応する各々の検知部の互いの所定距離を新た
な分解能でなるスケールの被検知部に合わせて調整する
のみにて、使用条件に応じた柔軟な対応をなし得、しか
も、分解能の変更の度に検知部自体を新たなものに更新
する必要がないことからコストの低減が図られる。
【図1】図1は、本発明の第1実施例としての直動転が
り案内ユニットの、一部断面を含む斜視図である。
り案内ユニットの、一部断面を含む斜視図である。
【図2】図2は、図1に示した直動転がり案内ユニット
の平面図である。
の平面図である。
【図3】図3は、図1及び図2に示した直動転がり案内
ユニットの一部の拡大図である。
ユニットの一部の拡大図である。
【図4】図4は、図1及び図2に示した直動転がり案内
ユニットが具備するスケールの正面図である。
ユニットが具備するスケールの正面図である。
【図5】図5は、図1及び図2に示した直動転がり案内
ユニットが具備する検知手段を示す平面図である。
ユニットが具備する検知手段を示す平面図である。
【図6】図6は、図1及び図2に示した直動転がり案内
ユニットに関する制御系を示すブロック図である。
ユニットに関する制御系を示すブロック図である。
【図7】図7は、本発明の第2実施例としての直動転が
り案内ユニットが具備する検知手段の平面図である。
り案内ユニットが具備する検知手段の平面図である。
【図8】図8は、本発明の第3実施例としての直動転が
り案内ユニットが具備する検知手段の平面図である。
り案内ユニットが具備する検知手段の平面図である。
【図9】図9は、本発明の第4実施例としての直動転が
り案内ユニットの要部の平面図である。
り案内ユニットの要部の平面図である。
【図10】図10は、本発明に係るスケールに関する部
分の変形例を示す正面図である。
分の変形例を示す正面図である。
【図11】図11は、本発明に係るスケールに関する部
分の他の変形例を示す正面図である。
分の他の変形例を示す正面図である。
【図12】図12は、従来の直動転がり案内ユニットの
要部の、一部断面を含む斜視図である。
要部の、一部断面を含む斜視図である。
1 トラックレール(軌道
台) 1c (トラックレール1
の)軌道溝 1e (トラックレール1
の)溝 3 スライドユニット(摺
動台) 4 ボール(転動体) 11、12 スケール 17、18 検知部 22、24、25、26 磁極 31、32 磁電変換素子 34 磁気抵抗素子 40 CPU(制御回路)
台) 1c (トラックレール1
の)軌道溝 1e (トラックレール1
の)溝 3 スライドユニット(摺
動台) 4 ボール(転動体) 11、12 スケール 17、18 検知部 22、24、25、26 磁極 31、32 磁電変換素子 34 磁気抵抗素子 40 CPU(制御回路)
Claims (7)
- 【請求項1】 長手方向に沿って軌道が形成された軌道
台と、 該軌道に対応する負荷軌道を含む転動体循環路を有して
前記軌道台に相対運動自在な摺動台と、 前記転動体循環路に配列収容されて前記軌道上を転動し
つつ荷重を受ける複数の転動体とを備え、 前記軌道台に前記軌道に沿う溝が複数形成され、N及び
Sの磁極を所定パターンにて着磁してなる被検知部が形
成された線状のスケールが該溝各々に配設され、 前記摺動台に該スケール各々に対応して磁気センサから
なる検知部を設けてなることを特徴とする直動転がり案
内ユニット。 - 【請求項2】 前記スケールがN及びSの磁極を微細に
かつ交互に等ピッチで各スケールとも同一位置に着磁し
てなり、該スケールに対応した前記磁気センサがそれぞ
れ互いに所定距離ずれて配設され位置検知できる検知部
でなることを特徴とする請求項1記載の直動転がり案内
ユニット。 - 【請求項3】 前記スケールがN及びSの磁極を微細に
かつ交互に等ピッチで各スケールそれぞれ互いに所定距
離ずれて着磁してなり、該スケールに対応した前記磁気
センサがそれぞれ互いに同一位置に配設され位置検知で
きる検知部でなることを特徴とする請求項1記載の直動
転がり案内ユニット。 - 【請求項4】 前記スケールのいずれか1に設けられた
被検知部は、前記摺動台の相対運動の測定基準及び/又
は作動ストローク限界を示すことを特徴とする請求項1
記載の直動転がり案内ユニット。 - 【請求項5】 前記スケールが前記軌道台の対称位置2
箇所に配設してなることを特徴とする請求項1乃至請求
項4のうちいずれか1記載の直動転がり案内ユニット。 - 【請求項6】 前記検知部は、前記摺動台に内装されて
なることを特徴とする請求項1乃至請求項5のうちいず
れか1記載の直動転がり案内ユニット。 - 【請求項7】 前記検知部は、前記摺動台に外装されて
なることを特徴とする請求項1乃至請求項5のうちいず
れか1記載の直動転がり案内ユニット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8233590A JPH1061664A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 直動転がり案内ユニット |
| US08/912,128 US5945824A (en) | 1996-08-15 | 1997-08-15 | Linear motion rolling guide unit with detection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8233590A JPH1061664A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 直動転がり案内ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1061664A true JPH1061664A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16957453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8233590A Pending JPH1061664A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 直動転がり案内ユニット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5945824A (ja) |
| JP (1) | JPH1061664A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008545143A (ja) * | 2005-07-06 | 2008-12-11 | シネーベルゲール ホルディング アーゲー | 位置測定装置を備える線形ガイド・システム |
| JP2009168721A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nippon Thompson Co Ltd | 小型スライド装置 |
| WO2009122693A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | Thk株式会社 | 位置検出装置及びこれを用いたリニアアクチュエータ |
| CN102095574A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-15 | 南京理工大学 | 滚动导轨结合面动态特性参数测试装置及其测试方法 |
| CN102095562A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-06-15 | 北京工业大学 | 滑动结合面动态特性测试装置及测试方法 |
| CN102183363A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-14 | 南京理工大学 | 滑动导轨结合面动态特性参数测试装置及其测试方法 |
| JP6085658B1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-02-22 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
| JP2020506408A (ja) * | 2017-02-15 | 2020-02-27 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | センサ装置 |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW435627U (en) * | 1999-03-05 | 2001-05-16 | Hiwin Tech Corp | A linear guideway with MR sensor |
| DE19941587B4 (de) * | 1999-09-01 | 2010-06-02 | Schaeffler Kg | Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen |
| US6761518B2 (en) * | 2001-09-11 | 2004-07-13 | HüLLER HILLE GMBH | Machine tool |
| DE20118622U1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-03-27 | ELGO-Electric GmbH, 78239 Rielasingen-Worblingen | Vorrichtung zur Positionserfassung |
| DE10205089A1 (de) * | 2002-02-07 | 2003-08-28 | Micro Mechatronic Technologies | Meßvorrichtung für relativ zueinander geführte Bauteile |
| JP4259978B2 (ja) * | 2003-03-25 | 2009-04-30 | Thk株式会社 | リニアモータアクチュエータ |
| TW200537074A (en) * | 2004-01-28 | 2005-11-16 | Prakash Krishna Ratnaparkhi | A scale |
| US20070002488A1 (en) * | 2005-07-04 | 2007-01-04 | Yamaha Corporation | Slide control device |
| US8182065B2 (en) * | 2005-07-29 | 2012-05-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatus and methods for compensation of thermal and hydroscopic expansion effects in a low cost motion control system |
| EP1752851A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-02-14 | Schneeberger Holding AG | Linearführungssystem mit einer Einrichtung zum Messen |
| JP4929935B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2012-05-09 | ヤマハ株式会社 | 磁気スケール体 |
| US7547141B2 (en) * | 2006-10-23 | 2009-06-16 | Hiwin Technologies Corp. | Linear motion guide apparatus having detecting device |
| DE102006056516A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Isel Automation Gmbh & Co. Kg | Lineareinheit |
| DE102009028093A1 (de) | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Sensorelements |
| DE102010019975B4 (de) | 2010-05-10 | 2017-03-30 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Linearführung |
| US20110290161A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Valley Precision, Inc. | Stage with magnetic loading |
| US8829740B2 (en) * | 2010-05-27 | 2014-09-09 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Sealed linear motor system |
| GB201100190D0 (en) | 2011-01-07 | 2011-02-23 | Rls Merlina Tehnika D O O | Encoder readhead apparatus |
| CN103367012B (zh) * | 2012-04-10 | 2015-09-09 | 纬创资通股份有限公司 | 用来启动电子装置的休眠模式的开关模块及电子装置 |
| JP5797712B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-10-21 | Thk株式会社 | 磁気スケール付き運動案内装置 |
| JP6361189B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2018-07-25 | Thk株式会社 | 運動案内装置 |
| JP6746500B2 (ja) * | 2014-04-04 | 2020-08-26 | エヌティエヌーエスエヌアール・ルルマン | 固定された経路に沿って可動なユニットからの情報を伝送する方法、その伝送装置、およびその設備 |
| JP6485012B2 (ja) * | 2014-11-26 | 2019-03-20 | アイシン精機株式会社 | 位置検出装置 |
| JP6804800B2 (ja) * | 2016-01-18 | 2020-12-23 | Thk株式会社 | 転がり案内装置 |
| CN106373707A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-02-01 | 青岛科技大学 | 一种适用于金属管道的柔性导轨磁化器 |
| US11620868B2 (en) | 2021-07-22 | 2023-04-04 | Trinity Axis Inc. | Techniques to dispense an item and release a jammed item from a dispensing system |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3505576A (en) * | 1966-07-12 | 1970-04-07 | Litton Business Systems Inc | Digital servomechanism including an inductive position encoder |
| US4792788A (en) * | 1987-11-23 | 1988-12-20 | General Electric Company | Position indicating system |
| JP2584875B2 (ja) * | 1989-11-08 | 1997-02-26 | テイエチケー 株式会社 | 直線摺動用ベアリング |
| WO1991012648A1 (fr) * | 1990-02-13 | 1991-08-22 | Hitachi Metals, Ltd. | Moteur lineaire a courant continu |
| US5047676A (en) * | 1990-04-02 | 1991-09-10 | Hitachi Metals, Ltd. | Brushless linear actuator with sensor-activated coils |
| US5023495A (en) * | 1990-04-17 | 1991-06-11 | Hitachi Metals & Shicoh Engine | Moving-magnet type linear d.c. brushless motor having plural moving elements |
| US5434602A (en) * | 1992-04-23 | 1995-07-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording apparatus with magnetic linear encoder |
| JP3347766B2 (ja) * | 1992-06-08 | 2002-11-20 | 日本トムソン株式会社 | リニアエンコーダ及びこれを具備した案内ユニット |
| JPH1061665A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-06 | Nippon Thompson Co Ltd | スプライン軸受 |
-
1996
- 1996-08-15 JP JP8233590A patent/JPH1061664A/ja active Pending
-
1997
- 1997-08-15 US US08/912,128 patent/US5945824A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008545143A (ja) * | 2005-07-06 | 2008-12-11 | シネーベルゲール ホルディング アーゲー | 位置測定装置を備える線形ガイド・システム |
| JP2011047957A (ja) * | 2005-07-06 | 2011-03-10 | Schneeberger Holding Ag | 位置測定装置を備える線形ガイド・システム及び線形ガイド・システムのガイド・キャリッジを移動する方法 |
| JP2009168721A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nippon Thompson Co Ltd | 小型スライド装置 |
| WO2009122693A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | Thk株式会社 | 位置検出装置及びこれを用いたリニアアクチュエータ |
| CN102095574A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-15 | 南京理工大学 | 滚动导轨结合面动态特性参数测试装置及其测试方法 |
| CN102183363A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-14 | 南京理工大学 | 滑动导轨结合面动态特性参数测试装置及其测试方法 |
| CN102095562A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-06-15 | 北京工业大学 | 滑动结合面动态特性测试装置及测试方法 |
| JP6085658B1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-02-22 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
| WO2017073349A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
| JP2017083283A (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-18 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
| US10401198B2 (en) | 2015-10-28 | 2019-09-03 | Thk Co., Ltd. | Position detection apparatus and motion guide apparatus with position detection apparatus |
| JP2020506408A (ja) * | 2017-02-15 | 2020-02-27 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | センサ装置 |
| US11085796B2 (en) | 2017-02-15 | 2021-08-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5945824A (en) | 1999-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1061664A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| US5779367A (en) | Spline bearing with detection device | |
| US4612502A (en) | Magnetic length or angle measuring system having improved magnetic sensor arrangement | |
| US5589769A (en) | Position detection apparatus including a circuit for receiving a plurality of output signal values and fitting the output signal values to a curve | |
| KR101163908B1 (ko) | 원점 위치 신호 검출기 | |
| US6674280B1 (en) | Position detection apparatus with distributed bridge sensor | |
| EP0555961B1 (en) | Absolute encoder | |
| CN101876557B (zh) | 位置检测装置及其信号处理方法 | |
| US5327077A (en) | Device including an even number of equally spaced magneto-resistors for detecting rotation or straight motion of a moving body | |
| GB2098332A (en) | Position sensor | |
| JP2529960B2 (ja) | 磁気的位置検出装置 | |
| US20150354987A1 (en) | Position detecting device | |
| JPH0685927U (ja) | スプライン軸受 | |
| CN1230684A (zh) | 用于磁测量装置和测量方法的电子电路 | |
| JPS6238316A (ja) | 絶対位置検出装置 | |
| US20140097833A1 (en) | Position detecting device | |
| WO2017073349A1 (ja) | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 | |
| JP3063044B2 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
| US20080218159A1 (en) | Sensor System For Determining a Position or a Rotational Speed of an Object | |
| JP2007192722A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH04301702A (ja) | 電磁気特性変化部の検出方法および装置 | |
| JP4420652B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH06209556A (ja) | リニアエンコーダ | |
| JPH02194316A (ja) | 変位検出装置 | |
| JPH10185507A (ja) | 位置検出器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060217 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060704 |