JPH1062147A - フィルム等の非金属材料のための非接触厚みゲージ - Google Patents

フィルム等の非金属材料のための非接触厚みゲージ

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JPH1062147A
JPH1062147A JP9150708A JP15070897A JPH1062147A JP H1062147 A JPH1062147 A JP H1062147A JP 9150708 A JP9150708 A JP 9150708A JP 15070897 A JP15070897 A JP 15070897A JP H1062147 A JPH1062147 A JP H1062147A
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thickness gauge
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gauge
sensor
distance
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JP9150708A
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Alessandro Masotti
マソッティ，アレッサンドロ
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Electronic Systems SpA
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ホイル、フィルム、テープ等の形
態の非金属材料（４）のための厚みゲージ（１）に関す
るものであり、流体センサーを利用して厚み測定精度を
高めることを目的とする。 【解決手段】 ゲージ（１）は、材料（４）の対面まで
の距離を測定すべく設計された第一の非接触測定手段
（３）と金属基準表面（６）までの距離を測定すべく設
計された第二の非接触測定手段（５）から成り、該第一
および第二の測定手段（３、５）は共に材料（４）を受
ける空間の一方に配置され、その測定値が同一の測定軸
（８）を参照するように二つの同軸空間領域で動作する
ゲージにおいて、第一の非接触測定手段（３）は後方散
乱式流体センサーである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、ホイル、フィルム、テ
ープ等の形態の非金属素材のための厚みゲージに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】上記のような素材の厚みは、放射源の吸
収を測ることにより間接的に測定されるか、もしくは、
フィルムの二面すなわち両表面までの距離を測り比較す
ることで直接的に測定される。フィルムの両面までの距
離を直接計測するゲージは、接触して又は接触しないで
測定を行う。
【０００３】イギリス公開公報２，２１７，８３５に、
非金属素材よりなるホイル、フィルム、テープの厚みが
測定可能な非接触厚みゲージが開示されている。同公報
において、特に、該ゲージがフィルムの上表面までの距
離を測る第一の光学センサーと金属基準表面までの距離
を測る第二の誘導センサーの組み合わせからなることが
示されている。
【０００４】誘導センサーは光学センサーを収納可能な
中空状であり、２つのセンサーは、同一の測定軸に沿っ
て測定可能に同軸上に配置されている。 第一のセンサ
ーは測定軸上で直接的に測定を行う間に、第二のセンサ
ーの測定は、当然、測定軸回りの領域（一般的には環形
状の領域）で起こる。その結果、第二のセンサーは、実
際には、測定軸に沿って金属基準表面までの距離を見積
もる。
【０００５】構成の第一の形態において、金属基準表面
はフィルムの下側表面に接触している。フィルムが移動
するので、摩擦を最小限にするために、好ましくは、上
記金属基準表面はローラーで構成される。上記公報は、
金属基準表面がフィルムの下側表面からある距離はなれ
た所に位置する第二の形態を記載しており、その距離は
第三の光学センサーを使用して得られるとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記厚
みゲージには幾つかの問題がある。検査する材料の組成
とその表面の特性の影響で、正反射率と拡散反射率の比
率が、拡散カーブにおけると同様に、かなりの変動があ
る。従って、従来技術に従って設計された厚みゲージに
使用される光学センサーは、被測定物の光学的特性に基
づいて専用に構成しなければならない。又、被測定物の
光学的特性は、センサーの調節システムを損ないうる固
有のもしくは偶発的な異質性をしばしば示す。
【０００７】ただし、この点で、厚みゲージに対する被
測定物のスピードは約１０ｍ／秒に達することに留意す
べきである。しかるに、光学センサーの調節器の時定数
は数十分の一秒と測定される。その結果、素材の光学的
特性の突然の変化で、光学センサーの調整回路が過負荷
となり、光学センサーの調節器の調整に要する時間（通
常、数十分の一秒）のために、測定の信頼度が落ちる。
【０００８】さらに、大型の現行の光学センサーとは、
非常に長い直径の誘導センサーを使うことを意味してお
り、そのことで、測定値の信頼度が低減する。実際、誘
導センサーが測定を行う環状領域のサイズが大きいほ
ど、測定軸に沿って見積もられた金属基準表面までの距
離の精度は落ちる。特に留意すべきは、測定した素材の
平均厚みが１ｍｍを満たない時、必ずしも十分とは言え
ないが、光学距離センサーの最大精度は約±１０μｍで
あることである。一般的に、現行の非金属素材用の非接
触厚みゲージは、信頼度に問題がある。
【０００９】上記の問題点に鑑みて、この発明は、フィ
ルム、ホイル、テープ等の形態の非金属素材用の改良さ
れた厚みゲージ及びその操作方法と較正方法を提供する
ものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の一態様によれ
ば、ホイル、フィルム、テープ等の材料の厚みを測定す
るためのゲージは、独立請求項１に記載されるように設
計されてなる。本発明の厚みゲージはフィルム、ホイ
ル、テープ等の形態の非金属材料の厚みを測定すべく設
計されたゲージであって、材料の対面または上面までの
距離を測定すべく設計された第一の非接触測定手段と金
属基準表面までの距離を測定すべく設計された第二の非
接触測定手段からなり、該第一と第二の手段は共に、該
材料を受ける空間の一方の配置され、その測定値が同一
の測定軸を参照するように二つの同軸空間領域で動作
し、該金属基準表面は素材を受ける該空間の反対側に配
置され、該第一の手段が第一の後方散乱式流体センサー
で構成されて、ゲージ操作が被測定材料（４）の光学的
特性に影響されないことを特徴としている。
【００１１】また、この発明は、請求項２４に記載のよ
うに、該ゲージの操作方法に関する。本発明の厚みの測
定方法は、フィルム、ホイル、テープ等の形態の非金属
材料の厚みを、材料の対面もしくは上面までの距離を測
定すべく設計された第一の非接触測定手段の測定値と金
属基準表面までの距離を測定すべく設計された第二の非
接触測定手段の測定値とを比較することで測定する方法
において、該第一及び第二の手段は共に該素材を受ける
空間の一方に配置され、その測定値が同一の測定軸を参
照するように二つの同軸空間領域で動作し、該金属基準
表面は該材料を受ける該空間の反対側に配置され、該第
一の手段は第一の後方散乱式流体センサーで構成され
て、それにより、ゲージの操作が被測定材料の光学的特
性に影響されないことを特徴としている。
【００１２】最後に、この発明は、請求項２９に記載の
ように、該ゲージを較正する方法に関する。本発明のゲ
ージの較正方法は、フィルム、ホイル、テープ等の形態
の非金属材料のための非接触厚みゲージを較正する方法
において、ゲージは材料表面までの距離を測定すべく設
計された第一の非接触測定手段と基準金属表面までの距
離を測定すべく設計された第二の非接触測定手段から成
り、該第一と第二の手段は共に該材料を受ける空間の一
方に配置され、その測定値が同一の測定軸を参照するよ
うに二つの同軸領域で動作し、該第一及び第二の手段は
該測定軸に沿って移動し一方、基準表面は固定されてお
り、該第一及び第二の手段の測定値は線型位置検出器の
測定値と対応していることを特徴としている。
【００１３】以下、この発明の一形態を、添付図面を参
照して、実施例によって説明する。
【００１４】
【発明の実施の形態】添付図面において、符号１（図４
及び６）は厚みゲージを示している。上記厚みゲージ１
は、基本的に、フィルム、ホイル、テープ等の形態の非
金属材料４の第一の面すなわち上面までの距離を測定す
るべく設計された第一の非接触測定手段３と、上方の金
属基準表面６までの距離を測定すべく設計された第二の
非接触測定手段５を備えてなる。第一及び第二の手段
３、５は共に、材料４の上面２の上方に位置し、それら
の測定値が同一の測定軸８に関して得られるように、同
軸空間領域内で動作する。
【００１５】構成の第一の形態（図４参照）によれば、
フィルム４は、金属基準表面６と接触した状態で移動す
る。すなわち、金属基準表面６は、フィルム４の第二の
面すなわち下面１８と一致している状態にある。フィル
ム４と上記基準表面６との摩擦を減少させるために、基
準表面６は回動面である。
【００１６】図示の厚みゲージの特徴は、第一の手段３
が後方散乱式流体センサーから成る点にある。後方散乱
式流体センサーの機能の原理は、流出口３６から放出さ
れて被測定表面２で反射された空気流により検知ダクト
内に導入された圧力を検出することにある。
【００１７】つまり、検知ダクト３５内に誘導された圧
力は、流出ダクト３６と被測定表面間の距離の関数とな
る。好ましい発明の実施例によれば、流出ダクト３６か
ら出る空気の流れは、約２５０ｍｂａｒの圧力を有し、
検知ダクト３５内で誘導された圧力は７０ｍｂａｒに達
する。通常、目的物の存在を検知するのに使用される上
記流体センサーは公知であるので、その説明は省略す
る。
【００１８】後方散乱式流体センサーを使用することに
よって、全体的に、材料４の光学的特性に鈍感で、材料
４の上面２を測定すべく設計されたゲージを構成するこ
とが可能になる。後方散乱式流体センサーの放射面積は
非常に小さく、光学センサーのそれ（直径約５ミリメー
タ）よりも小さいので、通常使用されるよりも小さい放
射面積の第二の測定系５の使用が可能になり、それによ
り、より精密な測定値が提供される。
【００１９】後方散乱式流体センサーはまた、光学サン
サーより高い精度を有し、通常約１．５ｍｍ／ｍｂａｒ
を示す。後方散乱式流体センサーは比較的大きな測定ス
ポット(通常直径約５ｍｍの円)を示し、それは、レーザ
距離ゲージの測定スポット(通常、約０．３ｍｍ x １ｍ
ｍの楕円)よりかなり大きい。この特性は、シート４の表
面形状が著しく不規則である時(例えば、不織布のよう
に)、得られた測定値は、結局最も重要な情報である平
均値を示すので、都合良く利用できる。
【００２０】材料４が生産ラインの出口で測定される場
合、材料の温度は周囲温度よりかなり高いことがしばし
ばある。 この熱の放出は、誘導センサー５内のインダク
タンスコイルの透磁率に影響し、測定誤差を引き起こ
す。このため、好ましい実施態様は、誘導センサー５を
一定温度に維持するよう設計された手段７を内蔵してい
る。発明の一構成によれば、該手段７は、電気温度調整
器により制御される電気抵抗からなる。発明の他の構成
では、上記手段７は、サーミスタから構成される。
【００２１】第一の手段３の読取の信頼度は、なかんず
く動力源の質に影響される。供給圧力の、たとえどんなに
短い期間の相対的に小さい値の変動であっても、流体基
準サンサー３の読み取りの信用度は低下する。このた
め、手段９が設置される。 手段９は、素材表面２の形状
の変動により第一の手段３から発せられたグローバル信
号の一部と、第一の手段３の動力源内の乱れにより発せ
られた信号の一部とを識別すべく設計されている。
【００２２】そのような構成形態として、上記手段９
は、第一の後方散乱式センサー３と同じ動力源から動力
を得る第二の後方散式流体センサーもしくは流体基準セ
ンサー(図２参照)よりなる。 流体基準センサー９は、
一定の予め設定された距離、すなわち、第一の流体サン
サー３が動作する測定範囲の平均値に等しい(もしく
は、おおむね等しい)距離を測定する。 基準センサー９
は一定距離を測定するので、同センサーが検知する変動
はいずれも、明らかに動力源における乱れによるものと
なる。
【００２３】もし、センサー３の信号と基準センサー９
の信号との差が、例えば、圧力差動増幅器（図８参照）
によって計算されるなら、信号が大略等しい値になるま
でに、すなわち、誤差成分がほぼ等しい値を取るまで
に、実質的にそのような誤差のない信号が得られる。
【００２４】他の実施例によれば、手段９は後方散乱式
流体センサー３と同じ動力源から動力を得る二つの基準
後方散乱式流体センサーから成る。この場合、二つの基
準センサー９は二種類の異なる定数、例えば、センサー
の測定範囲での二種類の中間距離を測定する。また、上
記二つの基準センサー９に測定された距離は一定である
から、これらセンサーに検知される変動はいずれも、明
らかに、動力源の乱れによるものになる。二つの基準セ
ンサー９を使う大きな利点は、全測定範囲に亙って高い
誤差防止効果を達成しうることにある。
【００２５】誘導センサーは相対的に広い測定範囲（事
実上、約ゼロから８ｍｍ）を有する一方、後方散乱式流
体センサーの測定範囲ははるかに狭い（事実上、約０．
１から１ｍｍ）（図７に示す丸点を付した線を参照）。
該ゲージの使用範囲を誘導センサー５が許容する限界ま
で拡大するために、流体センサー３は測定軸８に沿って
移動するように構成される。図示の構成では、センサー
３と５は共に可動性で、このために両センサーは直線軌
道２１を測定軸８に沿って動くスライド１０に連結され
ている。スライド１０は直流モーター、ステップモータ
等の適当なモーター系２０に駆動され、モーター系はボ
ール循環式ネジ等の適当な機械駆動を介して運動を伝え
る。
【００２６】第一及び第二の手段３と５の位置を調整で
きることでゲージを広い厚み範囲の被測定物に使用する
ことが可能になる。位置検出器又は変換器１１がゲージ
１の位置を確認するために設けられている。発明の好ま
しい実施態様によれば、第一、第二の測定手段３と５を
駆動する手段は、センサー３と５が機械に配置する時に
おいてもそれらセンサー３と５の較正に適切に使用され
る。
【００２７】言い換えれば、センサー３と５は測定軸８
に沿って移動しその測定値は検出器１１の測定値と比較
される。測定表面は、例えば、金属基準表面６としても
よい。ここで留意すべきは、この較正方法は測定された
表面を移動させる手段を必要としないことである。この
ように実施された較正の精度は、主に検出器または変換
器１１の精度に左右されるから、そのような検出器また
は変換器１１を選ぶ時は特に注意を払わねばならない。
【００２８】好ましい構成の形態によれば、変換器１１
は、軸上に可動なコアを有し、コアの位置に比例して出
力電圧を印加する電気変圧器で構成されるタイプの絶対
位置検出器であり、通常ＬＶＤＴ’ｓ（線型可変差動変
圧器、Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｒｉａｂｌｅ−Ｄｉｆｆｅｒ
ｅｎｔｉａｌ Ｔａｎｓｆｏｒｍｅｒｓ）として知られ
ている。結局誤作動の発端となる可動機械部品をなくし
てしまうために、光学機器で検出器１１を構成すること
も可能である。また、他の構成の形態によれば、変換器
１１はモーター２０の回転を計測する電動回転計測器
（エンコーダとしてもしられている）のような増分位置
検出器であってもよい。この場合、厚みゲージ１の現在
の垂直位置はそれ以前の移動量の代数和である。
【００２９】明らかに、許容しうる精度を提供する他の
位置検出器を使用することができる。添付図面による
と、厚みゲージ１は、測定すべき材料４の平面に基本的
に平行で材料４の動く方向に対して垂直な軸２３の回り
で振動する。この後者のシステムは好適である。なぜな
ら、このシステムにおいて、材料４とゲージ１間で滑り
や接触が生じた場合、材料４から速やかに厚みゲージ１
を引き込むことが可能となり、ゲージ１のダメージを回
避することができるからである。このために、厚みゲー
ジ１は第一のヒンジ１３を介してスライド１０に接続さ
れており、第二のヒンジ（図示せず）を介して線作動器
１５に接続されている。
【００３０】好ましい使用形態において、厚みゲージ１
は材料を測定している間は軸８について不動な状態にあ
る。素材が基本的に流体センサー３の測定範囲と同程度
の大きな変動のある厚み形状を有する場合、厚みゲージ
１が軸８の方向に、素材の厚みの変動に連続的に追随し
ながら移動することが好ましい（また必要である）。そ
の結果、素材の上面２からのゲージ１の距離は一定のま
まに保たれる。このために、厚みゲージ１と素材４の上
面２間の距離の変動に追随するべく既知の適当な電気回
路を設置する。この回路は、第一の設定された間隔で、
素材４の上面２と厚みゲージ１間の距離の変動（もしく
は誤差）を検出し、第二の設定された間隔でゲージ１と
上面２間の距離の変動に追随する電気モーター２０を制
御する。厚みゲージ１の位置調整は、比例動作（Ｐ）、
比例微分動作（ＰＤ）、もしくは比例微分積分動作（Ｐ
ＩＤ）で行われる。
【００３１】図５は発明の他の形態の構成を示してい
る。この構成は、材料４の低柔軟性または低密着性の点
で、材料の下面１８が金属基準表面６と継続的に接触し
ていない場合、好ましく採用される。この場合、フィル
ム４は基準表面６からある距離で保持され、上記基準表
面６と一体に第三の非接触測定系２５が配置され、材料
のフィルムの下面１８と基準表面６間の距離を測定す
る。
【００３２】以上説明した理由で、上記第三の系２５は
後方散乱式流体センサーで構成される。可能な形態の構
成において、金属基準表面６と第三のセンサー２５は、
例えば、センサー３と５を移動させるのに使用したモー
ター系のような手段で駆動されて、測定軸８に沿って動
くように設計されている。第二の位置変換器または検出
器を第三のセンサー２５と関連して配置することも可能
である（図示せず）。
【００３３】流体センサー２５の測定値は、既に説明し
たような一つ以上の流体基準センサーの測定値と比較す
ることで補正される。ゲージ１を較正するために、既知
の位置にある基準金属表面を測定軸８に沿って配置する
装置（図示せず）を設けることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一構成による厚みゲージの横断面の
一部における前面図である。
【図２】図１に示す装置の横断面の一部における側面図
である。
【図３】図２と同様図であり、非作動状態の厚みゲージ
を示している。
【図４】発明の一形態による厚みゲージの細部の横断面
図である。
【図５】図４の拡大横断面図である。
【図６】図４と同様図であり、発明の他の形態を示して
いる。
【図７】該ゲージに備えられたセンサーの曲線を示す線
図である。
【図８】該ゲージの一実施例に備えられた圧力差動増幅
器の曲線を示す線図である。
【符号の説明】
１ ゲージ ２ 上面 ３ 第一の非接触測定手段 ４ 材料 ５ 第二の非接触測定手段 ６ 金属基準表面 ８ 測定軸

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 フィルム、ホイル、テープ等の形態の非
    金属材料（４）の厚みを測定すべく設計されたゲージ
    （１）であって、素材（４）の対面または上面（２）ま
    での距離を測定すべく設計された第一の非接触測定手段
    （３）と金属基準表面（６）までの距離を測定すべく設
    計された第二の非接触測定手段（５）からなり、該第一
    と第二の手段（３と５）は共に該材料（４）を受ける空
    間の一方に配置され、その測定値が同一の測定軸（８）
    を参照するように二つの同軸空間領域で動作し、該金属
    基準表面（６）は素材（４）を受ける該空間の反対側に
    配置され、該第一の手段（３）が第一の後方散乱式流体
    センサーで構成されて、ゲージ操作が被測定素材（４）
    の光学的特性に影響されないことを特徴とする厚みゲー
    ジ（１）。
  2. 【請求項２】 該金属基準表面（６）は材料（４）の下
    面（１８）と接触していることを特徴とする請求項１に
    記載の厚みゲージ（１）。
  3. 【請求項３】 該材料（４）を受ける空間の反対面側に
    配置され該金属基準表面（６）と一体化された第三の非
    接触測定手段（２５）を含み、該第三の手段（２５）が
    該測定軸（８）に沿って基準表面（６）と材料（４）の
    下面（１８）との距離を測定すべく設計され、該第一の
    手段（３）と同じ特性を有する請求項１に記載の厚みゲ
    ージ（１）。
  4. 【請求項４】 該第一及び第二の非接触測定手段（３と
    ５）が素材（４）の平面に平行でかつ材料（４）の動く
    方向に垂直である軸（２３）に枢止されていることを特
    徴とする特許請求項２または３に記載の厚みゲージ
    （１）。
  5. 【請求項５】 該第二の手段（５）が誘導センサーであ
    ることを特徴とする特許請求項１、２、３または４に記
    載の厚みゲージ（１）。
  6. 【請求項６】 該誘導センサー（５）の温度を一定に保
    つよう設計された手段（７）を含むことを特徴とする特
    許請求項５に記載の厚みゲージ（１）。
  7. 【請求項７】 誘導センサー（５）の温度を一定に保つ
    よう設計された該手段が該誘導センサー（５）近傍に設
    置された抵抗（７）と温度調整器とから成ることを特徴
    とする特許請求項６に記載の厚みゲージ（１）。
  8. 【請求項８】 誘導センサーの温度を一定に保つよう設
    計された該手段がサーミスタ（７）から成ることを特徴
    とする特許請求項６に記載の厚みゲージ（１）。
  9. 【請求項９】 動力源内の乱れで引き起こされた第一の
    手段（３）による測定誤差を補償すべく設計された手段
    （９）と第三の手段（２５）により測定誤差を補償すべ
    く設計された別の手段（９）とを含むことを特徴とする
    請求項２から８のいずれかに記載の厚みゲージ（１）。
  10. 【請求項１０】 動力源の乱れを補償すべく設計された
    該手段が、その測定値が補正されるべき後方散式流体セ
    ンサーと同じ動力源から動力を得て一定基準値を測定す
    る後方散乱式流体基準センサー（９）から成り、該セン
    サー（３、２５）の出力信号と該基準センサー（９）の
    出力信号との差を計算する手段が設けられていることを
    特徴とする請求項９に記載の厚みゲージ（１）。
  11. 【請求項１１】 該動力源の乱れを補償すべく設計され
    た該手段が、その測定値が補正されるべき後方散式流体
    センサーと同じ動力源から動力を得て別の一定基準値を
    測定する少なくとも二つの後方散乱式センサー（９）か
    ら成り、該センサー（３、２５）の出力信号間の差と該
    少なくとも二つの基準センサー（９）の出力信号の差を
    計算する手段が設けられていることを特徴とする請求項
    ９に記載の厚みゲージ（１）。
  12. 【請求項１２】 該第一の非接触測定手段（３）がゲー
    ジ（１）の測定範囲を拡大すべく測定軸（８）に沿って
    移動すべく設計されていることを特徴する請求項２から
    １１のいずれかに記載の厚みゲージ（１）。
  13. 【請求項１３】 該第二の非接触測定手段（５）がゲー
    ジ（１）の測定範囲を拡大すべく測定軸（８）に沿って
    移動すべく設計されていることを特徴する請求項１２に
    記載の厚みゲージ（１）。
  14. 【請求項１４】 該第一と第二の非接触測定手段（３、
    ５）が互いに拘束されていることを特徴とする請求項１
    ３に記載の厚みゲージ（１）。
  15. 【請求項１５】 該第三の非接触測定手段（２５）が測
    定軸（８）に沿って移動すべく設計されていることを特
    徴とする請求項１３または１４に記載の厚みゲージ
    （１）。
  16. 【請求項１６】 該第一と第二（及び、任意で第三）の
    非接触測定手段（３、５、２５）を駆動するモーター系
    （２０）を含んでなることを特徴とする請求項１３、１
    ４、または１５に記載の厚みゲージ（１）。
  17. 【請求項１７】 該第一と第二（及び、任意で第三）の
    手段（３、５、２５）の測定軸（８）上の位置を検出す
    べく設計された手段（１１）を含み、それにより、上記
    手段（３、５、２５）が装置に配置される時、その較正
    が可能となることを特徴とする請求項１３から１６のい
    ずれかに記載の厚みゲージ（１）。
  18. 【請求項１８】 該システム（１１）が絶対位置検出器
    を含むことを特徴とする請求項１７に記載の厚みゲー
    ジ。
  19. 【請求項１９】 該検出器は線型可変差動変圧器（ＬＶ
    ＤＴ）であることを特徴とする請求項１８に記載の厚み
    ゲージ（１）。
  20. 【請求項２０】 該検出器が光学機器であることを特徴
    とする請求項１９に記載の厚みゲージ（１）。
  21. 【請求項２１】 該検出器が増分位置検出器を含むこと
    を特徴とする請求項１７に記載の厚みゲージ（１）。
  22. 【請求項２２】 該増分位置検出器がエンコーダである
    ことを特徴とする請求項２１に記載の厚みゲージ
    （１）。
  23. 【請求項２３】 材料（４）の上面（２）と第一及び第
    二の非接触測定手段（３、５）間の距離及び材料（４）
    の下面（１８）と第三の非接触測定手段（２５）（配置
    する場合）間の距離の変動を補償すべく設計された手段
    を含んでなることを特徴とする請求項１６から２２のい
    ずれかにに記載の厚みゲージ（１）。
  24. 【請求項２４】 フィルム、ホイル、テープ等の形態の
    非金属材料（４）の厚みを、材料４の対面もしくは上面
    （２）までの距離を測定すべく設計された第一の非接触
    測定手段（３）の測定値と金属基準表面（６）までの距
    離を測定すべく設計された第二の非接触測定手段（５）
    の測定値とを比較することで測定する方法において、該
    第一及び第二の手段（３、５）は共に該材料（４）を受
    ける空間の一方に配置され、その測定値が同一の測定軸
    （８）を参照するように二つの同軸空間領域で動作し、
    該金属基準表面（６）は該材料（４）を受ける該空間の
    反対側に配置され、該第一の手段（３）は第一の後方散
    乱式流体センサー（３）で構成されて、それにより、ゲ
    ージの操作が被測定材料（４）の光学的特性に影響され
    ないことを特徴とする、フィルム、ホイル、テープ等の
    形態の非金属材料（４）の厚みを測定する方法。
  25. 【請求項２５】 該金属基準表面（６）は材料（４）の
    下面（１８）と接触している請求項２４に記載の方法。
  26. 【請求項２６】 基準表面（６）と素材（４）の下面
    （１８）間の距離は、該金属基準表面（６）と一体にな
    っている後方散乱式流体センサーである第三の非接触セ
    ンサー（２５）手段で測定する請求項２４に記載の方
    法。
  27. 【請求項２７】 後方散乱式流体センサー（３）の測定
    値は、動力源の乱れによる誤差を識別するために、同一
    の動力源から動力を得一定の基準距離を測定する一つの
    基準後方散乱式流体センサー（９）の測定値と比較され
    る請求項２４、２５、または２６に記載の方法。
  28. 【請求項２８】 後方散乱式流体センサー（３）の測定
    値は、動力源の乱れによる誤差を識別するために、同一
    の動力源から動力を得、二種類の一定基準距離を測定す
    る少なくとも二つの基準後方散乱式流体センサー（９）
    の差の測定値と比較される請求項２４、２５、または２
    ６に記載の方法。
  29. 【請求項２９】 フィルム、ホイル、テープ等の形態の
    非金属材料（４）のための非接触厚みゲージ（１）を較
    正する方法において、ゲージ（１）は材料表面（２）ま
    での距離を測定すべく設計された第一の非接触測定手段
    （３）と基準金属表面（６）までの距離を測定すべく設
    計された第二の非接触測定手段（５）から成り、該第一
    と第二の手段（３、５）は該材料（４）を受ける空間の
    一方に共に配置され、その測定値が同一の測定軸を参照
    するように二つの同軸領域で動作し、該第一及び第二の
    手段（３、５）は該測定軸（８）に沿って移動し一方、
    基準表面（６）は固定されており、該第一及び第二の手
    段（３、５）の測定値は線型位置検出器（１１）の測定
    値と対応していることを特徴とする較正方法。
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