JPH1063301A - 回転機ユニットの異常検出システム - Google Patents
回転機ユニットの異常検出システムInfo
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- JPH1063301A JPH1063301A JP21453796A JP21453796A JPH1063301A JP H1063301 A JPH1063301 A JP H1063301A JP 21453796 A JP21453796 A JP 21453796A JP 21453796 A JP21453796 A JP 21453796A JP H1063301 A JPH1063301 A JP H1063301A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転機械稼働中に生じる種々の現象を事前に
捉え、ロータ等の損傷を未然に防止し、回転機械を使用
した製造装置の稼働を維持しながら装置の効率的な保全
管理が可能な回転機ユニットの異常検出システムを提供
する。 【解決手段】 複数系統の回転機ユニット１を有し、少
なくとも一系統の回転機ユニット１を稼働させ、残り系
統の回転機ユニット１を予備として備え、稼働中の回転
機ユニット１に設置されている振動センサ、温度セン
サ、圧力センサの各センサ出力又はモータ駆動電力の検
出手段の中の少なくとも一つ以上を具備し、各検出値の
いずれかが所定の範囲を外れた場合に、該稼働中の回転
機ユニット系統を予備の回転機ユニット系統に切り替え
る切替手段３を設ける。
捉え、ロータ等の損傷を未然に防止し、回転機械を使用
した製造装置の稼働を維持しながら装置の効率的な保全
管理が可能な回転機ユニットの異常検出システムを提供
する。 【解決手段】 複数系統の回転機ユニット１を有し、少
なくとも一系統の回転機ユニット１を稼働させ、残り系
統の回転機ユニット１を予備として備え、稼働中の回転
機ユニット１に設置されている振動センサ、温度セン
サ、圧力センサの各センサ出力又はモータ駆動電力の検
出手段の中の少なくとも一つ以上を具備し、各検出値の
いずれかが所定の範囲を外れた場合に、該稼働中の回転
機ユニット系統を予備の回転機ユニット系統に切り替え
る切替手段３を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば製造工場等
で使用される回転機械と駆動モータ等で構成される回転
機ユニットの異常検出システムに関する。
で使用される回転機械と駆動モータ等で構成される回転
機ユニットの異常検出システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の回転機ユニットの異常検出システ
ムは、振動センサを回転機械本体に取り付けて、振動セ
ンサによる検出値を予め設定した値と比較し、異常を検
出、警告を発する構成にしていた（特開平０６−１７３
８５４号公報）。
ムは、振動センサを回転機械本体に取り付けて、振動セ
ンサによる検出値を予め設定した値と比較し、異常を検
出、警告を発する構成にしていた（特開平０６−１７３
８５４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の振動セ
ンサのみを備えた回転機械の異常検出システムは、回転
機械稼働中に生じる種々の異常を事前に且つ的確に把握
できるものではなかった。
ンサのみを備えた回転機械の異常検出システムは、回転
機械稼働中に生じる種々の異常を事前に且つ的確に把握
できるものではなかった。
【０００４】例えば、粉状物質を含む流体を使用する回
転機械の場合、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸引
ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積することによ
り、ダクト系の圧力が上昇し、回転機械本体に異常な圧
力が加わり機械的損傷に至る場合や、吸引ダクト中の堆
積物が剥離し、回転機械内のロータ等に咬み込み、機械
的損傷に至る場合があるが、従来の振動センサによれ
ば、これらの異常を事前に検出することができなかっ
た。そのため、これら機械的損傷により突発的に回転機
械の停止により製造装置が停止し、製品歩留りの低下が
発生するという問題が指摘されていた。
転機械の場合、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸引
ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積することによ
り、ダクト系の圧力が上昇し、回転機械本体に異常な圧
力が加わり機械的損傷に至る場合や、吸引ダクト中の堆
積物が剥離し、回転機械内のロータ等に咬み込み、機械
的損傷に至る場合があるが、従来の振動センサによれ
ば、これらの異常を事前に検出することができなかっ
た。そのため、これら機械的損傷により突発的に回転機
械の停止により製造装置が停止し、製品歩留りの低下が
発生するという問題が指摘されていた。
【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であるが、一般に回転機械の稼働中に生じる種々の異常
現象を事前に捉え、ロータ等の損傷を未然に防止しなが
らも、正常な稼働を維持できる回転機ユニットの異常検
出システムを提供することを目的としている。
であるが、一般に回転機械の稼働中に生じる種々の異常
現象を事前に捉え、ロータ等の損傷を未然に防止しなが
らも、正常な稼働を維持できる回転機ユニットの異常検
出システムを提供することを目的としている。
〔構成〕前述した目的を達成するために、本発明に係わ
る回転機ユニットの異常検出システムの第一の特徴構成
は、特許請求の範囲の欄の請求項１に記載した通り、回
転機ユニットのモータ駆動電流またはモータ駆動電力を
検出する検出手段、前記回転機ユニットの振動を検出す
る振動センサ、前記回転機ユニットの温度を検出する温
度センサ、前記回転機械の吸引・吐出系統中の圧力を検
出する圧力センサの中の少なくとも一つ以上の検出手段
またはセンサを具備し、各検出値のいずれかが所定の範
囲を外れた場合に、該稼働中の回転機ユニットの異常を
検出する点にある。また、検出手段として、回転機械の
種類または取扱う流体によっては、漏洩センサ、変位セ
ンサ等が使用される。また第二の特徴構成は、特許請求
の範囲の欄の請求項２に記載した通り、上述の第一の特
徴構成に加えて、複数系統の回転機ユニットを有し、少
なくとも一系統の回転機ユニットを稼働させ、残り系統
の回転機ユニットを予備として備え、該稼働中の回転機
ユニットの異常を検出した場合に、該稼働中の回転機ユ
ニットを予備の回転機ユニットに切り替える切替手段を
設けてある点にある。
る回転機ユニットの異常検出システムの第一の特徴構成
は、特許請求の範囲の欄の請求項１に記載した通り、回
転機ユニットのモータ駆動電流またはモータ駆動電力を
検出する検出手段、前記回転機ユニットの振動を検出す
る振動センサ、前記回転機ユニットの温度を検出する温
度センサ、前記回転機械の吸引・吐出系統中の圧力を検
出する圧力センサの中の少なくとも一つ以上の検出手段
またはセンサを具備し、各検出値のいずれかが所定の範
囲を外れた場合に、該稼働中の回転機ユニットの異常を
検出する点にある。また、検出手段として、回転機械の
種類または取扱う流体によっては、漏洩センサ、変位セ
ンサ等が使用される。また第二の特徴構成は、特許請求
の範囲の欄の請求項２に記載した通り、上述の第一の特
徴構成に加えて、複数系統の回転機ユニットを有し、少
なくとも一系統の回転機ユニットを稼働させ、残り系統
の回転機ユニットを予備として備え、該稼働中の回転機
ユニットの異常を検出した場合に、該稼働中の回転機ユ
ニットを予備の回転機ユニットに切り替える切替手段を
設けてある点にある。
【０００６】〔作用及び効果〕第一の特徴構成によれ
ば、回転機械の駆動モータの電力または電流消費を監視
することで、回転機械の負荷の増大を、その変化の緩急
にかかわらず検知して、その値が許容範囲を逸脱した場
合には、稼働中の回転機械に機械的損傷が発生するおそ
れがあると判断できるのである。上記検出手段、回転機
ユニットの機械的振動を検出する振動センサ、温度を検
出する温度センサ、回転機械の吸引・吐出系統中の圧力
を検出する圧力センサの中の少なくとも一つ以上の検出
手段またはセンサにより回転機ユニットの異常を検出す
るものである。例えば、粉状物質を含む流体を使用する
回転機械では、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸引
ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積することによる
回転機械の吐出側の背圧の上昇等を上述の検出手段によ
り堆積物の増大を確認することにより、事前に堆積物の
検出を行うなどして回転機械を利用した製造装置の、突
発的な停止を未然に防止することができるのである。
ば、回転機械の駆動モータの電力または電流消費を監視
することで、回転機械の負荷の増大を、その変化の緩急
にかかわらず検知して、その値が許容範囲を逸脱した場
合には、稼働中の回転機械に機械的損傷が発生するおそ
れがあると判断できるのである。上記検出手段、回転機
ユニットの機械的振動を検出する振動センサ、温度を検
出する温度センサ、回転機械の吸引・吐出系統中の圧力
を検出する圧力センサの中の少なくとも一つ以上の検出
手段またはセンサにより回転機ユニットの異常を検出す
るものである。例えば、粉状物質を含む流体を使用する
回転機械では、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸引
ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積することによる
回転機械の吐出側の背圧の上昇等を上述の検出手段によ
り堆積物の増大を確認することにより、事前に堆積物の
検出を行うなどして回転機械を利用した製造装置の、突
発的な停止を未然に防止することができるのである。
【０００７】また温度センサ、圧力センサを使用する場
合は、例えば吸引ダクトまたは吐出ダクト内のガス温
度、圧力変化を監視することで、吸引ダクトまたは吐出
ダクト内部が閉塞状態にあることが検知でき、また回転
機械の吐出側の背圧の上昇も確認できる。また振動セン
サを使用する場合は、振動加速度や振動速度を監視する
ことで、例えば、ロータ、歯車、軸受け等の損傷が正確
に検出できる。これらモータ駆動電流またはモータ駆動
電力を検出する検出手段、温度センサ、圧力センサ、及
び振動センサ等を適宜選択し、必要に応じて組み合わせ
ることで、個々の回転機械に特有の異常が、より高精度
に検出可能となり、各検出値より異常の発生を早期に検
知し、例えば、回転機械を利用した製造装置では、突発
的な装置停止が未然に防止できるのである。
合は、例えば吸引ダクトまたは吐出ダクト内のガス温
度、圧力変化を監視することで、吸引ダクトまたは吐出
ダクト内部が閉塞状態にあることが検知でき、また回転
機械の吐出側の背圧の上昇も確認できる。また振動セン
サを使用する場合は、振動加速度や振動速度を監視する
ことで、例えば、ロータ、歯車、軸受け等の損傷が正確
に検出できる。これらモータ駆動電流またはモータ駆動
電力を検出する検出手段、温度センサ、圧力センサ、及
び振動センサ等を適宜選択し、必要に応じて組み合わせ
ることで、個々の回転機械に特有の異常が、より高精度
に検出可能となり、各検出値より異常の発生を早期に検
知し、例えば、回転機械を利用した製造装置では、突発
的な装置停止が未然に防止できるのである。
【０００８】第二の特徴構成によれば、第一の特徴構成
により回転機ユニットの異常の発生が早期に検知された
場合に、前記切替手段を作動させることにより、稼働中
の回転機ユニットを予備の回転機ユニットに切り替える
ことができるのである。更には、回転機ユニットを利用
した製造装置の、突発的な停止が未然に防止できるとと
もに、装置の正常稼働を維持したまま回転機ユニットの
修理または交換が可能となる等、装置の安定稼働ならび
に効率的且つ経済的な装置の保全管理が図れるのであ
る。
により回転機ユニットの異常の発生が早期に検知された
場合に、前記切替手段を作動させることにより、稼働中
の回転機ユニットを予備の回転機ユニットに切り替える
ことができるのである。更には、回転機ユニットを利用
した製造装置の、突発的な停止が未然に防止できるとと
もに、装置の正常稼働を維持したまま回転機ユニットの
修理または交換が可能となる等、装置の安定稼働ならび
に効率的且つ経済的な装置の保全管理が図れるのであ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１０】本発明に関わる回転機ユニットの異常監視
システムの一実施例として、粉状物質を含む流体を取扱
うポンプの例を示す。図１に示すように、回転機ユニッ
トであるメインポンプ１とブースタポンプ６が直列に配
置され、前記直列に配置されたメインポンプ１とブース
タポンプ６が２系統並列に配置されている。前記メイン
ポンプ１のそれぞれの吸引口に吸引ダクト４が、それぞ
れの吐出口に第１吐出ダクト５が接続されており、更
に、前記吐出ダクト５はブースタポンプ６のそれぞれの
吸引口に接続され、第２吐出ダクト７は前記ブースタポ
ンプ６のそれぞれの吐出口に接続されている。今、前記
２系統のメインポンプ１とブースタポンプ６のうち一方
が実用に供され、他方は予備として使用される場合を例
にとって説明する。
システムの一実施例として、粉状物質を含む流体を取扱
うポンプの例を示す。図１に示すように、回転機ユニッ
トであるメインポンプ１とブースタポンプ６が直列に配
置され、前記直列に配置されたメインポンプ１とブース
タポンプ６が２系統並列に配置されている。前記メイン
ポンプ１のそれぞれの吸引口に吸引ダクト４が、それぞ
れの吐出口に第１吐出ダクト５が接続されており、更
に、前記吐出ダクト５はブースタポンプ６のそれぞれの
吸引口に接続され、第２吐出ダクト７は前記ブースタポ
ンプ６のそれぞれの吐出口に接続されている。今、前記
２系統のメインポンプ１とブースタポンプ６のうち一方
が実用に供され、他方は予備として使用される場合を例
にとって説明する。
【００１１】前記回転機ユニットの異常検出システムを
稼働させると、前記２台のメインポンプ１のうち実用に
割り当てられた方が稼働状態になり、他方は予備として
待機状態となる。尚、待機状態にあるメインポンプ１の
吸引口、吐出口の少なくとも一方は、ポンプ側もしくは
ダクト側で遮断されている。
稼働させると、前記２台のメインポンプ１のうち実用に
割り当てられた方が稼働状態になり、他方は予備として
待機状態となる。尚、待機状態にあるメインポンプ１の
吸引口、吐出口の少なくとも一方は、ポンプ側もしくは
ダクト側で遮断されている。
【００１２】検出手段２としての有効電力計２ａ、無効
電力計２ｂを、前記２台のメインポンプ１のモータに共
通に設けられた電力供給線に介装し、稼働中のメインポ
ンプ１の有効電力及び無効電力を監視する。
電力計２ｂを、前記２台のメインポンプ１のモータに共
通に設けられた電力供給線に介装し、稼働中のメインポ
ンプ１の有効電力及び無効電力を監視する。
【００１３】また、温度センサ８を前記２台のメインポ
ンプ１の各ロータケーシング１ａに１ヶ所づつと各吐出
口に接続する吐出ダクト５上に１ヶ所づつ設け、吸引流
体やロータ温度の上昇を監視する。また、圧力センサ１
０を設置することで、ダクト中の圧力上昇を検知するこ
とができる。
ンプ１の各ロータケーシング１ａに１ヶ所づつと各吐出
口に接続する吐出ダクト５上に１ヶ所づつ設け、吸引流
体やロータ温度の上昇を監視する。また、圧力センサ１
０を設置することで、ダクト中の圧力上昇を検知するこ
とができる。
【００１４】更に、振動センサ９を前記２台のメインポ
ンプ１の各ロータケーシング１ａに１ヶ所づつ、各モー
タ直結側１ｂに１ヶ所づつ、各歯車側１ｃに１ヶ所づつ
設け、各部の振動加速度及び振動速度を監視する。
ンプ１の各ロータケーシング１ａに１ヶ所づつ、各モー
タ直結側１ｂに１ヶ所づつ、各歯車側１ｃに１ヶ所づつ
設け、各部の振動加速度及び振動速度を監視する。
【００１５】前記有効電力計２ａ、前記無効電力計２
ｂ、前記温度センサ８、前記振動センサ９のいづれかの
検出値が所定の範囲を外れた場合は、稼働中の回転機ユ
ニット系統を予備の回転機ユニット系統に切り替える切
替手段３が、予め設定された手順に従い作動する。例え
ば、稼働中のメインポンプ１の異常を検知すると同時
に、待機中であった予備のメインポンプ１を稼働させ
る。
ｂ、前記温度センサ８、前記振動センサ９のいづれかの
検出値が所定の範囲を外れた場合は、稼働中の回転機ユ
ニット系統を予備の回転機ユニット系統に切り替える切
替手段３が、予め設定された手順に従い作動する。例え
ば、稼働中のメインポンプ１の異常を検知すると同時
に、待機中であった予備のメインポンプ１を稼働させ
る。
【００１６】前記切替手段３は、例えばＡ／Ｄ変換器を
内蔵したマイクロコンピュータを備え、前記各検出値を
アナログ入力信号とし、前記予め設定された手順を前記
マイクロコンピュータの実行プログラムとして、前記マ
イクロコンピュータに内蔵の読み出し専用メモリに格納
し、そのプログラム実行結果としての出力信号でもっ
て、前記メインポンプ１の電源スイッチのオン・オフ等
を逐次制御する。
内蔵したマイクロコンピュータを備え、前記各検出値を
アナログ入力信号とし、前記予め設定された手順を前記
マイクロコンピュータの実行プログラムとして、前記マ
イクロコンピュータに内蔵の読み出し専用メモリに格納
し、そのプログラム実行結果としての出力信号でもっ
て、前記メインポンプ１の電源スイッチのオン・オフ等
を逐次制御する。
【００１７】図２に示すように、メインポンプ１の背圧
を強制的に変化させると、有効電力及び無効電力は双方
とも、的確に追従して変化しているのに対し、前記メイ
ンポンプ１のロータケーシング１ａ、モータ直結側１
ｂ、歯車側１ｃ各部の振動加速度の変化は、全く追従し
ていないことが判明し、回転機械駆動モータの電力また
は電流消費を監視することが、回転機械吐出側の背圧の
上昇を検知するのに非常に有効であることがわかる。
を強制的に変化させると、有効電力及び無効電力は双方
とも、的確に追従して変化しているのに対し、前記メイ
ンポンプ１のロータケーシング１ａ、モータ直結側１
ｂ、歯車側１ｃ各部の振動加速度の変化は、全く追従し
ていないことが判明し、回転機械駆動モータの電力また
は電流消費を監視することが、回転機械吐出側の背圧の
上昇を検知するのに非常に有効であることがわかる。
【００１８】実験例として、潤滑油が切れた場合とか、
歯車軸受けの破損の場合において、ローターケーシング
上に取り付けた振動センサが異常を顕著に検知できた。
背圧緩上昇の現象を検知するものとして、電力センサ以
外に排気管、ローターケーシングに取り付けた温度セン
サでも検知できる。以上のことから、回転機ユニットの
異常を検知するには、電力センサ、振動センサ、温度セ
ンサの内１つ以上のセンサの検出値が所定の範囲を外れ
た場合であってもよい。
歯車軸受けの破損の場合において、ローターケーシング
上に取り付けた振動センサが異常を顕著に検知できた。
背圧緩上昇の現象を検知するものとして、電力センサ以
外に排気管、ローターケーシングに取り付けた温度セン
サでも検知できる。以上のことから、回転機ユニットの
異常を検知するには、電力センサ、振動センサ、温度セ
ンサの内１つ以上のセンサの検出値が所定の範囲を外れ
た場合であってもよい。
【００１９】また、回転機械吐出側の背圧上昇の主たる
要因として、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吐出ダ
クト内壁に付着堆積することが考えられるが、該粉状物
質等が吐出ダクト内壁に付着堆積する場合は、同様に吸
引ダクト内壁にも該粉状物質等が付着堆積すると考えら
れるため、回転機械駆動モータの電力または電流消費を
監視することで、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸
引ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積する状況が的
確に把握できる。また、圧力センサを設けることによ
り、付着堆積する状態を圧力上昇を監視することにより
把握することができる。
要因として、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吐出ダ
クト内壁に付着堆積することが考えられるが、該粉状物
質等が吐出ダクト内壁に付着堆積する場合は、同様に吸
引ダクト内壁にも該粉状物質等が付着堆積すると考えら
れるため、回転機械駆動モータの電力または電流消費を
監視することで、吸引ガス中に含まれる粉状物質等が吸
引ダクトまたは吐出ダクト内壁に付着堆積する状況が的
確に把握できる。また、圧力センサを設けることによ
り、付着堆積する状態を圧力上昇を監視することにより
把握することができる。
【００２０】（別実施形態）以下に他の実施形態を説明
する。 ＜１＞ 本発明の回転機ユニットの異常検出システム
は、先に示した実施形態に限るものではなく、例えば図
１に示すブースタポンプ６に対してもメインポンプ１に
設けた検出手段や各種センサを設け、同様に異常検出を
するのも好ましい形態である。また、図３に示すよう
に、複数のメインポンプ１に対して一台のブースタポン
プ６を備え、前記メインポンプ１毎に異常監視を行う場
合や、図４に示すように、回転機ユニットの異常検出シ
ステムの用途によっては、前記ブースタポンプ６を設け
る必要がなく、各回転機ユニット系統に一台の回転機械
１を備える構成も考えられる。更に、回転機ユニットの
系統数は２以上の任意の系統数が可能である。 ＜２＞ 図１に示す検出手段２は各系統毎に設けること
もでき、また、図１に示す切替手段３は手動で操作され
ても、自動制御されても良い。 ＜３＞ 尚、本発明の回転機ユニットの異常検出システ
ムに用いられる回転機ユニットとして、例えば、半導体
工場等で使用されている真空ポンプ、各種の油回転真空
ポンプ、往復式真空ポンプ、回転式真空ポンプ等が適用
可能である。 ＜４＞ 更に、図５に示すように、例えば図１に示す回
転機ユニットの異常検出システムの実施形態に対し、回
転機ユニットの異常検出システムＳより出力される各種
センサ出力信号を信号受信部１６で受信増幅後、パソコ
ン１７へデータ転送し、前記パソコン１７上で傾向管理
を行うことも可能である。この場合、温度センサ出力信
号１１、振動センサ出力信号１２、圧力センサ出力信号
１３及び電力センサ出力信号１４は前記異常監視システ
ム１８内の端末制御部１５において受信増幅され、信号
受信部１６の受信ユニット１６ａへ転送され、通信ユニ
ット１６ｂを介して前記パソコン１７へ転送される。 ＜５＞ 上述の実施形態では、検出手段２として有効電
力計２ａ及び無効電力計２ｂの双方を設けて構成するも
のを説明したが、電力計としてはいずれか一方のみであ
ってもよく、更に、検出手段２としては電力以外に電流
を検出するものであってもよい。又、温度センサ８、振
動センサ９及び圧力センサ１０を備えず、検出手段２の
みを設けて構成するものであってもよい。
する。 ＜１＞ 本発明の回転機ユニットの異常検出システム
は、先に示した実施形態に限るものではなく、例えば図
１に示すブースタポンプ６に対してもメインポンプ１に
設けた検出手段や各種センサを設け、同様に異常検出を
するのも好ましい形態である。また、図３に示すよう
に、複数のメインポンプ１に対して一台のブースタポン
プ６を備え、前記メインポンプ１毎に異常監視を行う場
合や、図４に示すように、回転機ユニットの異常検出シ
ステムの用途によっては、前記ブースタポンプ６を設け
る必要がなく、各回転機ユニット系統に一台の回転機械
１を備える構成も考えられる。更に、回転機ユニットの
系統数は２以上の任意の系統数が可能である。 ＜２＞ 図１に示す検出手段２は各系統毎に設けること
もでき、また、図１に示す切替手段３は手動で操作され
ても、自動制御されても良い。 ＜３＞ 尚、本発明の回転機ユニットの異常検出システ
ムに用いられる回転機ユニットとして、例えば、半導体
工場等で使用されている真空ポンプ、各種の油回転真空
ポンプ、往復式真空ポンプ、回転式真空ポンプ等が適用
可能である。 ＜４＞ 更に、図５に示すように、例えば図１に示す回
転機ユニットの異常検出システムの実施形態に対し、回
転機ユニットの異常検出システムＳより出力される各種
センサ出力信号を信号受信部１６で受信増幅後、パソコ
ン１７へデータ転送し、前記パソコン１７上で傾向管理
を行うことも可能である。この場合、温度センサ出力信
号１１、振動センサ出力信号１２、圧力センサ出力信号
１３及び電力センサ出力信号１４は前記異常監視システ
ム１８内の端末制御部１５において受信増幅され、信号
受信部１６の受信ユニット１６ａへ転送され、通信ユニ
ット１６ｂを介して前記パソコン１７へ転送される。 ＜５＞ 上述の実施形態では、検出手段２として有効電
力計２ａ及び無効電力計２ｂの双方を設けて構成するも
のを説明したが、電力計としてはいずれか一方のみであ
ってもよく、更に、検出手段２としては電力以外に電流
を検出するものであってもよい。又、温度センサ８、振
動センサ９及び圧力センサ１０を備えず、検出手段２の
みを設けて構成するものであってもよい。
【図１】本発明の一実施形態を示すシステム構成図
【図２】回転機械吐出口側背圧変化に対する有効電力及
び無効電力の追従性実験結果及び回転機械のロータケー
シング、モータ直結側、歯車側各部の振動加速度の追従
性実験結果を示す特性図
び無効電力の追従性実験結果及び回転機械のロータケー
シング、モータ直結側、歯車側各部の振動加速度の追従
性実験結果を示す特性図
【図３】本発明の他の実施形態を示すシステム構成図
【図４】本発明の他の実施形態を示すシステム構成図
【図５】本発明の他の実施形態を示すシステム構成図
１ 回転機ユニット ２ 検出手段 ３ 切替手段 ４ 吸引ダクト ５ 第１吐出ダクト ６ ブースタポンプ ７ 第２吐出ダクト ８ 温度センサ ９ 振動センサ １０ 圧力センサ
Claims (2)
- 【請求項１】 回転機械と駆動モータ等で構成された回
転機ユニット（１）において、前記回転機ユニット
（１）のモータ駆動電流またはモータ駆動電力を検出す
る検出手段（２）、前記回転機ユニット（１）の機械的
振動を検出する振動センサ（９）、前記回転機ユニット
（１）の温度を検出する温度センサ（８）、前記回転機
械の吸引・吐出系統中の圧力を検出する圧力センサ（１
０）の中の少なくとも一つ以上の検出手段またはセンサ
を具備し、各検出値のいずれかが所定の範囲を外れた場
合に、該稼働中の回転機械系統の異常を検知する回転機
ユニットの異常検出システム。 - 【請求項２】 複数系統の回転機ユニット（１）を有
し、少なくとも一系統の回転機ユニット（１）を稼働さ
せ、残り系統の回転機ユニット（１）を予備として備
え、該稼働中の回転機ユニット（１）の異常を検知した
場合に、該稼働中の回転機ユニット（１）を予備の回転
機ユニット（１）に切り替える切替手段（３）を設けて
ある請求項１記載の回転機ユニットの異常検出システ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21453796A JPH1063301A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 回転機ユニットの異常検出システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21453796A JPH1063301A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 回転機ユニットの異常検出システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1063301A true JPH1063301A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16657384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21453796A Pending JPH1063301A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 回転機ユニットの異常検出システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1063301A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-08-14 JP JP21453796A patent/JPH1063301A/ja active Pending
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