JPH1063304A - 製造工程の管理方法およびその管理制御装置 - Google Patents
製造工程の管理方法およびその管理制御装置Info
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- JPH1063304A JPH1063304A JP21983196A JP21983196A JPH1063304A JP H1063304 A JPH1063304 A JP H1063304A JP 21983196 A JP21983196 A JP 21983196A JP 21983196 A JP21983196 A JP 21983196A JP H1063304 A JPH1063304 A JP H1063304A
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- processing
- processing time
- time
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- General Factory Administration (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロット数および処理工程の増大により各ロッ
トの処理順序および処理時間の組み合わせが膨大に対し
ても最適な処理順序を決定できる製造工程の管理方法お
よびその管理制御装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 予め判明している製品毎の基本処理順序
や単位工程ごとの単位処理時間等の設定データによっ
て、同一時刻に同一処理装置による処理が発生しないよ
うに各製品の処理順序の組み合わせパターンを設定し、
次いで組み合わせパターン毎に各製品に施される全ての
処理が終了するまでに要する全処理時間を算出し、次い
で算出された全処理時間の中から最短のものを判別し
て、該当する組み合わせパターンを選択し、次いで選択
された組み合わせパターンに基づいて、各処理装置にお
ける各製品の投入順序や投入時刻、処理時間の割り当て
を決定する。
トの処理順序および処理時間の組み合わせが膨大に対し
ても最適な処理順序を決定できる製造工程の管理方法お
よびその管理制御装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 予め判明している製品毎の基本処理順序
や単位工程ごとの単位処理時間等の設定データによっ
て、同一時刻に同一処理装置による処理が発生しないよ
うに各製品の処理順序の組み合わせパターンを設定し、
次いで組み合わせパターン毎に各製品に施される全ての
処理が終了するまでに要する全処理時間を算出し、次い
で算出された全処理時間の中から最短のものを判別し
て、該当する組み合わせパターンを選択し、次いで選択
された組み合わせパターンに基づいて、各処理装置にお
ける各製品の投入順序や投入時刻、処理時間の割り当て
を決定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体装
置の製造工程のように、一連の処理工程の中に同一の処
理装置を複数回使用する製造工程における製品の処理順
序の決定および進捗状況を効率的に管理する方法、およ
びその管理方法を用いたシステムを実現するための制御
装置に関する。
置の製造工程のように、一連の処理工程の中に同一の処
理装置を複数回使用する製造工程における製品の処理順
序の決定および進捗状況を効率的に管理する方法、およ
びその管理方法を用いたシステムを実現するための制御
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】製品を製造、処理する一連の工程におい
て、同一の製造装置あるいは処理装置を複数回使用せざ
るを得ない場合がある。たとえば、コンピュータや情報
通信機器等に搭載される半導体装置は、通常化学気相成
長（ＣＶＤ）、フォトエッチング、不純物拡散、イオン
注入等の種々の単位工程の組み合わせによって製造され
る。特に複雑な回路や積層配線等を有する半導体装置に
おいては、数十ステップ以上にも及ぶ処理工程を経て製
品が完成する。このような同一の製造装置あるいは処理
装置を使用する製造工程においては、効率的な生産計画
の作成と、その進捗状況の把握が生産能力あるいは処理
能力を決定するうえで重要な要因となる。以下、説明を
簡略化するために、半導体装置の製造工程の管理方法を
例に説明する。
て、同一の製造装置あるいは処理装置を複数回使用せざ
るを得ない場合がある。たとえば、コンピュータや情報
通信機器等に搭載される半導体装置は、通常化学気相成
長（ＣＶＤ）、フォトエッチング、不純物拡散、イオン
注入等の種々の単位工程の組み合わせによって製造され
る。特に複雑な回路や積層配線等を有する半導体装置に
おいては、数十ステップ以上にも及ぶ処理工程を経て製
品が完成する。このような同一の製造装置あるいは処理
装置を使用する製造工程においては、効率的な生産計画
の作成と、その進捗状況の把握が生産能力あるいは処理
能力を決定するうえで重要な要因となる。以下、説明を
簡略化するために、半導体装置の製造工程の管理方法を
例に説明する。
【０００３】従来の半導体装置の製造工程の管理は、た
とえば各ロット（ウエハ処理の最小単位）の処理状況を
一覧表にした工程管理表を作成し、生産管理担当者がこ
の工程管理表を参考にしながら次に処理すべきロットの
順番や各処理装置の割り当て時間を決定するという手作
業に頼っている。
とえば各ロット（ウエハ処理の最小単位）の処理状況を
一覧表にした工程管理表を作成し、生産管理担当者がこ
の工程管理表を参考にしながら次に処理すべきロットの
順番や各処理装置の割り当て時間を決定するという手作
業に頼っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような工程管
理表を用いた管理方法においては、顧客の都合等による
割り込みや納入期限の変更等の優先処理が発生した場
合、迅速に対応することができないという問題があっ
た。特に仕掛りとなっているロット数や処理工程の増大
に伴って、生産管理担当者の負担は増大し、特定ロット
の割り込みのように規則性のない優先処理によって、他
のロットの処理状況に重大な影響が及ぶ可能性がある。
たとえば、生産管理担当者の判断によっては特定の装置
への処理が集中して、次に処理すべきロットの待ち時間
（ロスタイム）が増大し、結果的に製造工程全体の進捗
を滞らせ、スループットの悪化をもたらす問題がある。
理表を用いた管理方法においては、顧客の都合等による
割り込みや納入期限の変更等の優先処理が発生した場
合、迅速に対応することができないという問題があっ
た。特に仕掛りとなっているロット数や処理工程の増大
に伴って、生産管理担当者の負担は増大し、特定ロット
の割り込みのように規則性のない優先処理によって、他
のロットの処理状況に重大な影響が及ぶ可能性がある。
たとえば、生産管理担当者の判断によっては特定の装置
への処理が集中して、次に処理すべきロットの待ち時間
（ロスタイム）が増大し、結果的に製造工程全体の進捗
を滞らせ、スループットの悪化をもたらす問題がある。
【０００５】上述した従来の問題点は、ロット数および
処理工程の増大により各ロットの処理順序および処理時
間の組み合わせが膨大となり、効率的な処理順序の把握
を困難にしていたことに起因するが、本発明の目的は、
このようなロット数や処理工程の増大に対しても最適な
処理順序を決定できる製造工程の管理方法およびその管
理制御装置を提供することにある。
処理工程の増大により各ロットの処理順序および処理時
間の組み合わせが膨大となり、効率的な処理順序の把握
を困難にしていたことに起因するが、本発明の目的は、
このようなロット数や処理工程の増大に対しても最適な
処理順序を決定できる製造工程の管理方法およびその管
理制御装置を提供することにある。
【０００６】特に、大量のデータを高速処理できるコン
ピュータ等を用い、同一時間に同一の処理装置を使用し
ない（競合しない）条件を満たすロットごとの処理順序
の組み合わせパターンを全て抽出し、その全ての組み合
わせパターンにおける全処理時間を算出し、その中から
最短の全処理時間を持つ処理順序を決定することによ
り、効率的な製造工程を実現する管理方法およびその制
御装置を提供するものである。また、割り込み等の優先
処理が生じた場合にも、優先処理順位の一番高いロット
の全処理時間を最短とし、以下優先処理順位にしたがっ
て全処理時間を最短化するように処理順序を決定するこ
とにより、処理装置ごとの割り当て時間を最適化するも
のである。
ピュータ等を用い、同一時間に同一の処理装置を使用し
ない（競合しない）条件を満たすロットごとの処理順序
の組み合わせパターンを全て抽出し、その全ての組み合
わせパターンにおける全処理時間を算出し、その中から
最短の全処理時間を持つ処理順序を決定することによ
り、効率的な製造工程を実現する管理方法およびその制
御装置を提供するものである。また、割り込み等の優先
処理が生じた場合にも、優先処理順位の一番高いロット
の全処理時間を最短とし、以下優先処理順位にしたがっ
て全処理時間を最短化するように処理順序を決定するこ
とにより、処理装置ごとの割り当て時間を最適化するも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、複数の連続する単位工程
からなり、二つ以上の異なる製品を処理する製造工程の
管理方法において、予め判明している前記各製品ごとの
基本処理順序および前記単位工程ごとの単位処理時間に
基づいて、同一時刻に同一処理が競合しない処理順序の
組み合わせパターンを作成する工程と、前記組み合わせ
パターンごとに全処理時間を計算する工程と、最短の全
処理時間を有する前記組み合わせパターンを選択する工
程と、該選択された組み合わせパターンにしたがって、
前記各製品の処理順序を決定する工程とを有するように
構成されている。
めに、請求項１記載の発明は、複数の連続する単位工程
からなり、二つ以上の異なる製品を処理する製造工程の
管理方法において、予め判明している前記各製品ごとの
基本処理順序および前記単位工程ごとの単位処理時間に
基づいて、同一時刻に同一処理が競合しない処理順序の
組み合わせパターンを作成する工程と、前記組み合わせ
パターンごとに全処理時間を計算する工程と、最短の全
処理時間を有する前記組み合わせパターンを選択する工
程と、該選択された組み合わせパターンにしたがって、
前記各製品の処理順序を決定する工程とを有するように
構成されている。
【０００８】また、請求項２記載の発明は、複数の連続
する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理す
る製造工程の管理方法において、予め判明している前記
各製品ごとの基本処理順序および優先処理順位ならびに
前記単位工程ごとの単位処理時間に基づいて、前記各製
品の処理順序の組み合わせパターンを前記優先処理順位
の一番高い製品から前記優先処理順位の低い製品へと順
次作成する工程と、前記組み合わせパターンごとに全処
理時間を計算する工程と、前記優先処理順位の高い製品
の処理時間を最短にするとともに、前記全処理時間を最
短にする前記組み合わせパターンを選択する工程と、該
選択された組み合わせパターンにしたがって、前記各製
品の処理順序を決定する工程とを有するように構成され
ている。
する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理す
る製造工程の管理方法において、予め判明している前記
各製品ごとの基本処理順序および優先処理順位ならびに
前記単位工程ごとの単位処理時間に基づいて、前記各製
品の処理順序の組み合わせパターンを前記優先処理順位
の一番高い製品から前記優先処理順位の低い製品へと順
次作成する工程と、前記組み合わせパターンごとに全処
理時間を計算する工程と、前記優先処理順位の高い製品
の処理時間を最短にするとともに、前記全処理時間を最
短にする前記組み合わせパターンを選択する工程と、該
選択された組み合わせパターンにしたがって、前記各製
品の処理順序を決定する工程とを有するように構成され
ている。
【０００９】さらに、請求項３記載の発明は、複数の連
続する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理
する製造工程の管理制御装置において、予め設定された
前記各製品ごとの基本処理順序および予め測定された前
記単位工程ごとの単位処理時間を入力する設定データ入
力手段と、前記基本処理順序および単位処理時間に基づ
いて、同一時刻に同一処理の競合が発生しない処理順序
の組み合わせパターンを作成する組み合わせパターン設
定手段と、前記組み合わせパターンごとに全処理時間を
計算する全処理時間演算手段と、最短の全処理時間を有
する前記組み合わせパターンを判別するパターン判別手
段と、前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間
を有する組み合わせパターンを出力するパターン出力手
段とを有するように構成されている。
続する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理
する製造工程の管理制御装置において、予め設定された
前記各製品ごとの基本処理順序および予め測定された前
記単位工程ごとの単位処理時間を入力する設定データ入
力手段と、前記基本処理順序および単位処理時間に基づ
いて、同一時刻に同一処理の競合が発生しない処理順序
の組み合わせパターンを作成する組み合わせパターン設
定手段と、前記組み合わせパターンごとに全処理時間を
計算する全処理時間演算手段と、最短の全処理時間を有
する前記組み合わせパターンを判別するパターン判別手
段と、前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間
を有する組み合わせパターンを出力するパターン出力手
段とを有するように構成されている。
【００１０】そして、請求項４記載の発明は、複数の連
続する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理
する製造工程の管理制御装置において、予め設定された
前記各製品ごとの基本処理順序および優先処理順位なら
びに予め測定された前記単位工程ごとの単位処理時間を
入力する設定データ入力手段と、前記基本処理順序およ
び優先処理順位ならびに単位処理時間に基づいて、前記
各製品ごとの処理順序の組み合わせパターンを前記優先
処理順位の一番高い製品から前記優先処理順位の低い製
品へと順次作成する組み合わせパターン設定手段と、前
記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する全処
理時間演算手段と、前記優先処理順位の高い製品の処理
時間を最短にするとともに、前記全処理時間を最短にす
る前記組み合わせパターンを判別するパターン判別手段
と、前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間を
有する組み合わせパターンを出力するパターン出力手段
とを有するように構成されている。
続する単位工程からなり、二つ以上の異なる製品を処理
する製造工程の管理制御装置において、予め設定された
前記各製品ごとの基本処理順序および優先処理順位なら
びに予め測定された前記単位工程ごとの単位処理時間を
入力する設定データ入力手段と、前記基本処理順序およ
び優先処理順位ならびに単位処理時間に基づいて、前記
各製品ごとの処理順序の組み合わせパターンを前記優先
処理順位の一番高い製品から前記優先処理順位の低い製
品へと順次作成する組み合わせパターン設定手段と、前
記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する全処
理時間演算手段と、前記優先処理順位の高い製品の処理
時間を最短にするとともに、前記全処理時間を最短にす
る前記組み合わせパターンを判別するパターン判別手段
と、前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間を
有する組み合わせパターンを出力するパターン出力手段
とを有するように構成されている。
【００１１】このような製造工程の管理方法およびその
管理制御装置によれば、基本処理動作として図１のフロ
ーチャートに示すように、予め判明している製品毎の基
本処理順序（単位工程の実行順序）や単位工程ごとの単
位処理時間（処理所要時間）等の設定データによって、
各製品が独立して処理される場合の処理装置ごとの時間
割り当てを想定できるため、同一時刻に同一処理装置に
よる処理が発生しないように各製品の処理順序の組み合
わせパターンを設定し（Ｓ１１）、次いで組み合わせパ
ターン毎に各製品に施される全ての処理が終了するまで
に要する全処理時間を算出し（Ｓ１２）、次いで算出さ
れた全処理時間の中から最短のものを判別して、該当す
る組み合わせパターンを選択し（Ｓ１３）、次いで選択
された組み合わせパターンに基づいて、各処理装置にお
ける各製品の投入順序や投入時刻、処理時間の割り当て
を決定することができる（Ｓ１４）。
管理制御装置によれば、基本処理動作として図１のフロ
ーチャートに示すように、予め判明している製品毎の基
本処理順序（単位工程の実行順序）や単位工程ごとの単
位処理時間（処理所要時間）等の設定データによって、
各製品が独立して処理される場合の処理装置ごとの時間
割り当てを想定できるため、同一時刻に同一処理装置に
よる処理が発生しないように各製品の処理順序の組み合
わせパターンを設定し（Ｓ１１）、次いで組み合わせパ
ターン毎に各製品に施される全ての処理が終了するまで
に要する全処理時間を算出し（Ｓ１２）、次いで算出さ
れた全処理時間の中から最短のものを判別して、該当す
る組み合わせパターンを選択し（Ｓ１３）、次いで選択
された組み合わせパターンに基づいて、各処理装置にお
ける各製品の投入順序や投入時刻、処理時間の割り当て
を決定することができる（Ｓ１４）。
【００１２】すなわち、本発明は、各ロットあるいは製
品を各処理装置に搬入（投入）する順序や時刻を最適化
し、各製造装置への処理負担を均等に配分することによ
り、効率的な生産を実現するものである。
品を各処理装置に搬入（投入）する順序や時刻を最適化
し、各製造装置への処理負担を均等に配分することによ
り、効率的な生産を実現するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】まず、本発明に係る製造工程の管
理方法およびその管理制御装置に適用される基本概念を
説明する。説明を簡単にするために、処理すべきロット
を３個とし、各々L1、L2、L3の記号で表す。また処理装
置を２台とし、各々S1、S2の記号で表す。各ロットL1、
L2、L3を各処理装置S1、S2で順次処理する工程は、たと
えばロットL1に関して、次のような記号列で表すことが
できる。
理方法およびその管理制御装置に適用される基本概念を
説明する。説明を簡単にするために、処理すべきロット
を３個とし、各々L1、L2、L3の記号で表す。また処理装
置を２台とし、各々S1、S2の記号で表す。各ロットL1、
L2、L3を各処理装置S1、S2で順次処理する工程は、たと
えばロットL1に関して、次のような記号列で表すことが
できる。
【００１４】 S1L1（T1L1）→S2L1（T2L1）→S1L1（T3L1）→S2L1（T4L1）→・・・ (1) ここで、S1L1（T1L1）は、処理装置S1を用いてロットL1
を処理することを意味し、処理に要する時間が（T1L1）
であることを表している。S2L1（T2L1）は、処理装置S2
を用いた工程で、その処理時間が（T2L1）であることを
表している。そして、この(1)式の処理記号列は、ロッ
トL1を１サイクル目として処理装置S1、S2により所定の
処理（S1L1（T1L1）→S2L1（T2L1））を施した後、２サ
イクル目として処理装置S1、S2において別の処理（S1L1
（T3L1）→S2L1（T4L1））を施した場合を示している。
を処理することを意味し、処理に要する時間が（T1L1）
であることを表している。S2L1（T2L1）は、処理装置S2
を用いた工程で、その処理時間が（T2L1）であることを
表している。そして、この(1)式の処理記号列は、ロッ
トL1を１サイクル目として処理装置S1、S2により所定の
処理（S1L1（T1L1）→S2L1（T2L1））を施した後、２サ
イクル目として処理装置S1、S2において別の処理（S1L1
（T3L1）→S2L1（T4L1））を施した場合を示している。
【００１５】次に、特定の処理装置について上記３個の
ロットL1、L2、L3が、投入された時刻を各々T1in、T
2in、T3inとして、各々のロットが独立して処理を進め
られると仮定すると、各々のロットが全ての処理を終え
て処理装置から搬出されるロット処理終了時刻T1out、T
2out、T3outは、次の式で与えられる。 T1out＝T1in＋（T1L1＋T2L1＋T3L1＋・・・） (2) T2out＝T2in＋（T1L2＋T2L2＋T3L2＋・・・） (3) T3out＝T3in＋（T1L3＋T2L3＋T3L3＋・・・） (4) そして、全てのロットが処理工程を終了する時刻T
maxは、次式で与えられる。
ロットL1、L2、L3が、投入された時刻を各々T1in、T
2in、T3inとして、各々のロットが独立して処理を進め
られると仮定すると、各々のロットが全ての処理を終え
て処理装置から搬出されるロット処理終了時刻T1out、T
2out、T3outは、次の式で与えられる。 T1out＝T1in＋（T1L1＋T2L1＋T3L1＋・・・） (2) T2out＝T2in＋（T1L2＋T2L2＋T3L2＋・・・） (3) T3out＝T3in＋（T1L3＋T2L3＋T3L3＋・・・） (4) そして、全てのロットが処理工程を終了する時刻T
maxは、次式で与えられる。
【００１６】 Tmax＝ｍａｘ（T1out、T2out、T3out） (5) また、一番早く処理を終えるロットが搬出される最短処
理時刻Tminは、次式で与えられる。 Tmin＝ｍｉｎ（T1out、T2out、T3out） (6) さらに、全てのロットにおける平均処理時間Taveは、次
式で与えられる。
理時刻Tminは、次式で与えられる。 Tmin＝ｍｉｎ（T1out、T2out、T3out） (6) さらに、全てのロットにおける平均処理時間Taveは、次
式で与えられる。
【００１７】 Tave＝（T1out＋T2out＋T3out）／３ (7) ここで、ロット処理終了時刻の総和（T1out＋T2out＋T3
out）を全処理時間という。すなわち、平均処理時間T
aveは全処理時間に比例することとなり、後述する最小
の平均処理時間Taveを判別する処理は最小の全処理時間
を判別することに等しい。
out）を全処理時間という。すなわち、平均処理時間T
aveは全処理時間に比例することとなり、後述する最小
の平均処理時間Taveを判別する処理は最小の全処理時間
を判別することに等しい。
【００１８】なお、これらの計算結果は理想化された条
件において成立するものであって、現実には割り込み等
の優先処理の発生や各処理装置における前段取りや後段
取り等の考慮されていない因子によりロスタイムが生
じ、上式は必ずしも成立しなくなる。本発明の特徴は、
このような状況においても効率的な処理順序や処理開始
時刻を設定する製造工程を実現することができるもの
で、特に各ロットの処理工程を考慮し、同一時刻に同一
処理装置の使用が生じないように仮定した処理順序の組
み合わせパターンの全てから、最小の平均処理時間
Tave′および最短処理時間Tm in′を持つ組み合わせパタ
ーンを選択することにある。
件において成立するものであって、現実には割り込み等
の優先処理の発生や各処理装置における前段取りや後段
取り等の考慮されていない因子によりロスタイムが生
じ、上式は必ずしも成立しなくなる。本発明の特徴は、
このような状況においても効率的な処理順序や処理開始
時刻を設定する製造工程を実現することができるもの
で、特に各ロットの処理工程を考慮し、同一時刻に同一
処理装置の使用が生じないように仮定した処理順序の組
み合わせパターンの全てから、最小の平均処理時間
Tave′および最短処理時間Tm in′を持つ組み合わせパタ
ーンを選択することにある。
【００１９】次に、本発明の請求項１に係る製造工程の
管理方法の一実施例について、上式および図２のフロー
チャートを参照しながら説明する。ここで、ロット間の
優先順位は設定されておらず、各々の処理への制約は、
同一時刻における同一処理の競合のみと仮定する。ま
ず、各ロットの投入から対象としている処理が終了して
搬出される時刻を対象処理終了時刻T1next、T2next、T3
nextとし、以下のように初期状態に設定する（Ｓ２
１）。
管理方法の一実施例について、上式および図２のフロー
チャートを参照しながら説明する。ここで、ロット間の
優先順位は設定されておらず、各々の処理への制約は、
同一時刻における同一処理の競合のみと仮定する。ま
ず、各ロットの投入から対象としている処理が終了して
搬出される時刻を対象処理終了時刻T1next、T2next、T3
nextとし、以下のように初期状態に設定する（Ｓ２
１）。
【００２０】 T1next＝０ (8) T2next＝０ (9) T3next＝０ (10) そして、各々のロットの基本処理順序および単位処理時
間を考慮して、同一時刻に同一の処理装置の使用が行な
われないようにするために、予め各ロットに施される全
ての処理工程から同一時刻に同一の処理装置を使用する
か否かを判定する（Ｓ２２）。同一時刻に同一の処理装
置を使用しない場合には、全てのロットL1、L2、L3の処
理ステップを進め、該当する処理の単位処理時間T1L1、
T2L2、T3 L3を各対象処理終了時間に単純に加算する（Ｓ
２４）。そのため、対象処理終了時刻T1next、T2next、
T3nextは以下のように与えられる。
間を考慮して、同一時刻に同一の処理装置の使用が行な
われないようにするために、予め各ロットに施される全
ての処理工程から同一時刻に同一の処理装置を使用する
か否かを判定する（Ｓ２２）。同一時刻に同一の処理装
置を使用しない場合には、全てのロットL1、L2、L3の処
理ステップを進め、該当する処理の単位処理時間T1L1、
T2L2、T3 L3を各対象処理終了時間に単純に加算する（Ｓ
２４）。そのため、対象処理終了時刻T1next、T2next、
T3nextは以下のように与えられる。
【００２１】T1next＝T1next＋T1L1 (11) T2next＝T2next＋T2L2 (12) T3next＝T3next＋T3L3 (13) ここで、左辺のT1next、T2next、T3nextは、今回の処理
が終了する時点での対象処理終了時刻であり、右辺のT1
next、T2next、T3nextは、(9)〜(10)式で初期化された
対象処理終了時刻あるいは今回に至るまでに施された処
理が終了した時点での対象処理終了時刻である。
が終了する時点での対象処理終了時刻であり、右辺のT1
next、T2next、T3nextは、(9)〜(10)式で初期化された
対象処理終了時刻あるいは今回に至るまでに施された処
理が終了した時点での対象処理終了時刻である。
【００２２】一方、同一時刻に同一の処理装置を使用す
る場合には、次に処理すべきロットを無作為に抽出し
（Ｓ２３）、そのロットの処理ステップを進め、該当す
る処理の単位処理時間を加算する（Ｓ２４）。たとえば
抽出されたロットがL1、単位処理時間がTiL1であるとす
ると、今回の処理が終了する時点での対象処理終了時刻
T1nextは以下のように与えられる。
る場合には、次に処理すべきロットを無作為に抽出し
（Ｓ２３）、そのロットの処理ステップを進め、該当す
る処理の単位処理時間を加算する（Ｓ２４）。たとえば
抽出されたロットがL1、単位処理時間がTiL1であるとす
ると、今回の処理が終了する時点での対象処理終了時刻
T1nextは以下のように与えられる。
【００２３】 T1next＝T1next＋TiL1 (14) そして、次ぎに処理すべきロットを残された２つのロッ
トL2、L3から再び無作為に１つを選択し、同様の計算を
行なう。たとえば選択されたロットがL2、単位処理時間
がTiL2であるとすると、今回の処理が終了する時点での
対象処理終了時刻T2nextは、ロットL1の処理が終了した
後に処理が始まることを考慮して、次式で与えられる。
トL2、L3から再び無作為に１つを選択し、同様の計算を
行なう。たとえば選択されたロットがL2、単位処理時間
がTiL2であるとすると、今回の処理が終了する時点での
対象処理終了時刻T2nextは、ロットL1の処理が終了した
後に処理が始まることを考慮して、次式で与えられる。
【００２４】 T2next＝T2next＋TiL1＋TiL2 (15) さらに、残りの１つのロットについても同様の処理を施
して、ロットがL3、単位処理時間がTiL3であるとする
と、今回の処理が終了する時点での処理終了時刻T3next
は、次式で与えられる。 T3next＝T3next＋TiL1＋TiL2＋TiL3 (16) 以上のような演算処理を全ロットについて全処理が終了
するまで繰り返す（Ｓ２５）。
して、ロットがL3、単位処理時間がTiL3であるとする
と、今回の処理が終了する時点での処理終了時刻T3next
は、次式で与えられる。 T3next＝T3next＋TiL1＋TiL2＋TiL3 (16) 以上のような演算処理を全ロットについて全処理が終了
するまで繰り返す（Ｓ２５）。
【００２５】このようにして求められた全ての処理が終
了した時点での対象処理終了時刻T1 next、T2next、T3
nextは、各処理の所要時間の総和であるため、所定のロ
ットが投入から全ての処理を終了して搬出されるまでの
ロット処理終了時刻に等しくなる。 T1out＝T1next (17) T2out＝T2next (18) T3out＝T3next (19) この(17)〜(19)式を用いて(7)、(6)式のように平均処理
時間Taveおよび最短処理時刻Tminを計算し、これらの計
算結果と組み合わせパターンとを第１の製造工程管理指
標（以下、単に指標という）として設定する（Ｓ２
６）。
了した時点での対象処理終了時刻T1 next、T2next、T3
nextは、各処理の所要時間の総和であるため、所定のロ
ットが投入から全ての処理を終了して搬出されるまでの
ロット処理終了時刻に等しくなる。 T1out＝T1next (17) T2out＝T2next (18) T3out＝T3next (19) この(17)〜(19)式を用いて(7)、(6)式のように平均処理
時間Taveおよび最短処理時刻Tminを計算し、これらの計
算結果と組み合わせパターンとを第１の製造工程管理指
標（以下、単に指標という）として設定する（Ｓ２
６）。
【００２６】次いで、再び対象処理終了時間T1next、T2
next、T3nextを初期状態に設定し、同一時刻に同一処理
装置を使用する場合の、次に処理すべきロットの抽出パ
ターンを変化させてロット処理終了時刻T1out、T2out、
T3outを算出し、平均処理時間Taveおよび最短処理時刻T
minを求め、これらの計算結果とその組み合わせパター
ンとを第２の指標とする。
next、T3nextを初期状態に設定し、同一時刻に同一処理
装置を使用する場合の、次に処理すべきロットの抽出パ
ターンを変化させてロット処理終了時刻T1out、T2out、
T3outを算出し、平均処理時間Taveおよび最短処理時刻T
minを求め、これらの計算結果とその組み合わせパター
ンとを第２の指標とする。
【００２７】すなわち、たとえば同一時刻に同一の処理
装置を使用する状態が３つのロットL1、L2、L3で発生し
た場合、ロットの抽出のパターンは６通りあり、そし
て、仮にこのようなロットL1、L2、L3の競合する処理装
置がｎ台あるとすると、処理順序の組み合わせパターン
は６n通りとなり、指標は６n個となる（Ｓ２７）。この
６n個の指標から最小の平均処理時間Taveおよび最短処
理時刻Tminを有するものを求め（Ｓ２８）、その場合の
各ロットの処理順序および投入時間に基づいて各処理装
置の使用時間割り当てを決定し、実際の製造工程を作成
する（Ｓ２９）。
装置を使用する状態が３つのロットL1、L2、L3で発生し
た場合、ロットの抽出のパターンは６通りあり、そし
て、仮にこのようなロットL1、L2、L3の競合する処理装
置がｎ台あるとすると、処理順序の組み合わせパターン
は６n通りとなり、指標は６n個となる（Ｓ２７）。この
６n個の指標から最小の平均処理時間Taveおよび最短処
理時刻Tminを有するものを求め（Ｓ２８）、その場合の
各ロットの処理順序および投入時間に基づいて各処理装
置の使用時間割り当てを決定し、実際の製造工程を作成
する（Ｓ２９）。
【００２８】上記実施例においては、同一時刻に同一の
処理装置を使用するロットについて、全ての処理順序の
組み合わせパターンの平均処理時間を算出し、その中か
ら最短の平均処理時間を有するパターンを選択して処理
工程を決定したが、本発明はこの方法に限定されるもの
ではない。他の方法について以下に説明する。本発明の
請求項１に係る製造工程の管理方法の他の実施例につい
て、図３のフローチャートを参照して説明する。なお、
上記実施例と同等の工程については説明を省略する。
処理装置を使用するロットについて、全ての処理順序の
組み合わせパターンの平均処理時間を算出し、その中か
ら最短の平均処理時間を有するパターンを選択して処理
工程を決定したが、本発明はこの方法に限定されるもの
ではない。他の方法について以下に説明する。本発明の
請求項１に係る製造工程の管理方法の他の実施例につい
て、図３のフローチャートを参照して説明する。なお、
上記実施例と同等の工程については説明を省略する。
【００２９】上記実施例と同等の手順、すなわちステッ
プＳ３１からＳ３６により(8)〜(19)式に与えられるよ
うに平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tminが計算さ
れ、第１の指標とする。次いで、第１の指標を基準値と
して、以降計算される他の組み合わせパターンの指標と
比較し、基準値以下の指標が発生した場合には、その指
標を基準値として同様の比較処理を繰り返し、基準値の
収束状態を判別して（たとえば、所定の設定値以下とな
ったとき）、その指標の持つ平均処理時間Taveおよび最
短処理時刻Tminを最短の処理時間と判定する（Ｓ３
７）。この判定結果により与えられる処理順序の組み合
わせパターンに基づいて製造工程を決定する（Ｓ３
８）。
プＳ３１からＳ３６により(8)〜(19)式に与えられるよ
うに平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tminが計算さ
れ、第１の指標とする。次いで、第１の指標を基準値と
して、以降計算される他の組み合わせパターンの指標と
比較し、基準値以下の指標が発生した場合には、その指
標を基準値として同様の比較処理を繰り返し、基準値の
収束状態を判別して（たとえば、所定の設定値以下とな
ったとき）、その指標の持つ平均処理時間Taveおよび最
短処理時刻Tminを最短の処理時間と判定する（Ｓ３
７）。この判定結果により与えられる処理順序の組み合
わせパターンに基づいて製造工程を決定する（Ｓ３
８）。
【００３０】次に、請求項２に係る製造工程の管理方法
の一実施例について説明する。本実施例の特徴は、優先
処理を施すロットに優先順位を設定し、その順位に応じ
てロットの処理時間を最短化するとともに、全体の平均
処理時間を最短化することにある。たとえば優先順位の
一番高いロットをL1、単位処理時間をTiL1とすると、対
象処理終了時刻T1nextは(14)式同様、対象となる処理の
単位処理時間TiL1を加算して以下のように与えられる。
の一実施例について説明する。本実施例の特徴は、優先
処理を施すロットに優先順位を設定し、その順位に応じ
てロットの処理時間を最短化するとともに、全体の平均
処理時間を最短化することにある。たとえば優先順位の
一番高いロットをL1、単位処理時間をTiL1とすると、対
象処理終了時刻T1nextは(14)式同様、対象となる処理の
単位処理時間TiL1を加算して以下のように与えられる。
【００３１】 T1next＝T1next＋TiL1 (20) ここで、T1nextは初期状態にある対象処理終了時刻であ
る。次に、残された２つのロットL2、L3から優先順位の
高い方を選択し、同様の計算を行なう。たとえば優先順
位の高いロットがL2、単位処理時間がTiL2とすると、対
象処理終了時刻T2nextは(15)式同様、ロットL1の処理が
終了した後に処理が始まることを考慮して、次式で与え
られる。
る。次に、残された２つのロットL2、L3から優先順位の
高い方を選択し、同様の計算を行なう。たとえば優先順
位の高いロットがL2、単位処理時間がTiL2とすると、対
象処理終了時刻T2nextは(15)式同様、ロットL1の処理が
終了した後に処理が始まることを考慮して、次式で与え
られる。
【００３２】 T2next＝T2next＋TiL1＋TiL2 (21) さらに、残りの１つのロットについても同様の処理を施
して、ロットL3の単位処理時間がTiL3であるとすると、
対象処理終了時刻T3nextは(16)式同様、次式で与えられ
る。 T3next＝T3next＋TiL1＋TiL2＋TiL3 (22) このような演算処理を全ての工程が終了するまで繰り返
し、上述した請求項１の実施例において示したように平
均処理時間Taveおよび最優先ロットの処理時間Tpriを計
算し、これらの計算結果とその組み合わせパターンとを
第１の指標として設定する。
して、ロットL3の単位処理時間がTiL3であるとすると、
対象処理終了時刻T3nextは(16)式同様、次式で与えられ
る。 T3next＝T3next＋TiL1＋TiL2＋TiL3 (22) このような演算処理を全ての工程が終了するまで繰り返
し、上述した請求項１の実施例において示したように平
均処理時間Taveおよび最優先ロットの処理時間Tpriを計
算し、これらの計算結果とその組み合わせパターンとを
第１の指標として設定する。
【００３３】次いで、再び対象処理終了時刻T1next、T2
next、T3nextを初期状態に設定し、同一時刻に同一処理
装置を使用する場合の、次に処理すべきロットの優先処
理順位を変化させて対象処理終了時刻T1next、T2next、
T3nextを算出し、平均処理時間Taveおよび最優先ロット
処理時間Tpriを計算し、これらの計算結果とその組み合
わせパターンとを第２の指標とする。なお、以上の説明
では、ロットの投入時刻をすべて０として計算を行った
が、この時刻をそれぞれ０ではない有限の値（ロットの
投入時刻をずらすことに対応している）に設定して計算
を行うこともできる。
next、T3nextを初期状態に設定し、同一時刻に同一処理
装置を使用する場合の、次に処理すべきロットの優先処
理順位を変化させて対象処理終了時刻T1next、T2next、
T3nextを算出し、平均処理時間Taveおよび最優先ロット
処理時間Tpriを計算し、これらの計算結果とその組み合
わせパターンとを第２の指標とする。なお、以上の説明
では、ロットの投入時刻をすべて０として計算を行った
が、この時刻をそれぞれ０ではない有限の値（ロットの
投入時刻をずらすことに対応している）に設定して計算
を行うこともできる。
【００３４】このような指標の設定方法は、上述した請
求項１の実施例においてロットを無作為に抽出する処理
手順に代えて、所定の優先処理順位にしたがって指定す
ることにより実現される。また、これらの指標から最適
な処理順序の組み合わせパターンを判定する手法として
は、設定された全ての指標の中から優先処理順位に応じ
て最短の処理時間を有するとともに、全処理時間が最短
化された組み合わせパターンを有する指標を選択する手
法、あるいは各指標の設定ごとに所定の基準値との比較
処理を繰り返し、処理時間が収束して最短化が判定され
た組み合わせパターンを選択する手法が適用される。
求項１の実施例においてロットを無作為に抽出する処理
手順に代えて、所定の優先処理順位にしたがって指定す
ることにより実現される。また、これらの指標から最適
な処理順序の組み合わせパターンを判定する手法として
は、設定された全ての指標の中から優先処理順位に応じ
て最短の処理時間を有するとともに、全処理時間が最短
化された組み合わせパターンを有する指標を選択する手
法、あるいは各指標の設定ごとに所定の基準値との比較
処理を繰り返し、処理時間が収束して最短化が判定され
た組み合わせパターンを選択する手法が適用される。
【００３５】次に、請求項３に係る管理制御装置の概略
構成の一実施例について図４にブロック図を示して説明
する。この管理制御装置は、請求項１記載の製造工程の
管理方法を実現するための構成である。図４において、
１は各ロット毎の基本処理順序および各ロットに施され
る単位工程の単位処理時間等の設定データを入力する設
定データ入力部（認識データ入力手段）、２は設定デー
タ入力部１により入力されたデータから同一時刻に同一
処理装置による処理が存在するか否かを判別する同一処
理判別部、３は同一処理判別部２からの指令に基づいて
各ロット毎の処理順序の組み合わせパターンを設定する
組み合わせパターン設定部（組み合わせパターン設定手
段）、４は組み合わせパターン設定部３により設定され
た処理順序の組み合わせパターンを格納、保持する組み
合わせパターン保持部、５は組み合わせパターン設定部
３により設定されたパターン毎に平均処理時間および最
短処理時間を算出する処理時間演算部（全処理時間演算
手段）、６は処理時間演算部５により算出された各パタ
ーン毎の平均処理時間および最短処理時間を格納する処
理時間格納部、７は処理時間演算部５により算出された
平均処理時間および最短処理時間から最短の処理時間を
持つパターンを判別する組み合わせパターン判別部（パ
ターン判別手段）、８はパターン判別部６の判別結果に
基づいて最短の処理時間を持つ処理順序の組み合わせパ
ターンを組み合わせパターン保持部４から抽出、出力す
る組み合わせパターン出力部（パターン出力手段）であ
る。これらの各構成はコンピュータ等の演算機能により
容易に実現され、たとえば同一処理判別部２、組み合わ
せパターン設定部３、処理時間演算部５および組み合わ
せパターン判別部７は中央処理演算部（ＣＰＵ）により
構成され、また組み合わせパターン保持部４および処理
時間格納部６はＲＡＭ等のメモリ部により構成される。
さらに、設定データ入力部１はたとえばキーボート等の
入力装置により構成され、組み合わせパターン出力部８
はモニターやプリンター等の出力装置、あるいはフロッ
ピーディスク等の記憶媒体により構成される。
構成の一実施例について図４にブロック図を示して説明
する。この管理制御装置は、請求項１記載の製造工程の
管理方法を実現するための構成である。図４において、
１は各ロット毎の基本処理順序および各ロットに施され
る単位工程の単位処理時間等の設定データを入力する設
定データ入力部（認識データ入力手段）、２は設定デー
タ入力部１により入力されたデータから同一時刻に同一
処理装置による処理が存在するか否かを判別する同一処
理判別部、３は同一処理判別部２からの指令に基づいて
各ロット毎の処理順序の組み合わせパターンを設定する
組み合わせパターン設定部（組み合わせパターン設定手
段）、４は組み合わせパターン設定部３により設定され
た処理順序の組み合わせパターンを格納、保持する組み
合わせパターン保持部、５は組み合わせパターン設定部
３により設定されたパターン毎に平均処理時間および最
短処理時間を算出する処理時間演算部（全処理時間演算
手段）、６は処理時間演算部５により算出された各パタ
ーン毎の平均処理時間および最短処理時間を格納する処
理時間格納部、７は処理時間演算部５により算出された
平均処理時間および最短処理時間から最短の処理時間を
持つパターンを判別する組み合わせパターン判別部（パ
ターン判別手段）、８はパターン判別部６の判別結果に
基づいて最短の処理時間を持つ処理順序の組み合わせパ
ターンを組み合わせパターン保持部４から抽出、出力す
る組み合わせパターン出力部（パターン出力手段）であ
る。これらの各構成はコンピュータ等の演算機能により
容易に実現され、たとえば同一処理判別部２、組み合わ
せパターン設定部３、処理時間演算部５および組み合わ
せパターン判別部７は中央処理演算部（ＣＰＵ）により
構成され、また組み合わせパターン保持部４および処理
時間格納部６はＲＡＭ等のメモリ部により構成される。
さらに、設定データ入力部１はたとえばキーボート等の
入力装置により構成され、組み合わせパターン出力部８
はモニターやプリンター等の出力装置、あるいはフロッ
ピーディスク等の記憶媒体により構成される。
【００３６】このような構成により、図２あるいは図３
のフローチャートに示したような製造工程の決定手順が
実現される。たとえば、処理順序の組み合わせパターン
の全てについて平均処理時間および最短処理時刻を演算
して指標を設定する処理動作（図２のフローチャート参
照）においては図４の実線矢印に示すように、組み合わ
せパターン設定部３により設定された処理順序の組み合
わせパターンの全てが組み合わせパターン保持部４に保
持され、これらのパターン全てについて処理時間演算部
５が平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tminを演算し
て一旦処理時間格納部６に格納する。そして、組み合わ
せパターン判別部７が最短の処理時間を持つパターンを
判定し、組み合わせパターン保持部４から該当するパタ
ーンを抽出して組み合わせパターン出力部８を介して出
力する。ここで、組み合わせパターンとその処理時間
（平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tmin）とは製造
工程管理指標としてテーブル化してメモリに格納するこ
とにより、組み合わせパターンの判別および該当するパ
ターンの抽出、出力動作においてＣＰＵの負担を軽減す
ることができる。
のフローチャートに示したような製造工程の決定手順が
実現される。たとえば、処理順序の組み合わせパターン
の全てについて平均処理時間および最短処理時刻を演算
して指標を設定する処理動作（図２のフローチャート参
照）においては図４の実線矢印に示すように、組み合わ
せパターン設定部３により設定された処理順序の組み合
わせパターンの全てが組み合わせパターン保持部４に保
持され、これらのパターン全てについて処理時間演算部
５が平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tminを演算し
て一旦処理時間格納部６に格納する。そして、組み合わ
せパターン判別部７が最短の処理時間を持つパターンを
判定し、組み合わせパターン保持部４から該当するパタ
ーンを抽出して組み合わせパターン出力部８を介して出
力する。ここで、組み合わせパターンとその処理時間
（平均処理時間Taveおよび最短処理時刻Tmin）とは製造
工程管理指標としてテーブル化してメモリに格納するこ
とにより、組み合わせパターンの判別および該当するパ
ターンの抽出、出力動作においてＣＰＵの負担を軽減す
ることができる。
【００３７】また、処理順序の組み合わせパターンの平
均処理時間および最短処理時刻が演算されるたびに基準
値との比較を行なう処理動作（図３のフローチャート参
照）においては図４の破線矢印に示すように、組み合わ
せパターン設定部３により設定された処理順序の組み合
わせパターンについて処理時間演算部５が平均処理時間
Taveおよび最短処理時刻Tminを演算し、組み合わせパタ
ーン判別部７が所定の基準値との比較を行ない、基準値
以下と判定した場合には、そのパターンを組み合わせパ
ターン保持部４に、また演算された処理時間（平均処理
時間Taveおよび最短処理時刻Tmin）を処理時間格納部６
に保持、格納し、その処理時間を新しい基準値として設
定する。そして、基準値が収束し、たとえば所定の設定
値以下となったと判定された場合には、その基準値を有
する組み合わせパターンを組み合わせパターン保持部４
から抽出し、組み合わせパターン出力部８を介して出力
する。ここで、最短の処理時間の判定方法として、組み
合わせパターンごとに処理時間を演算して基準値との比
較、判断を行なうことにより、組み合わせパターンや演
算された処理時間を格納しておくメモリの容量を小さく
することができるとともに、ＣＰＵの負担を軽減するこ
とができる。
均処理時間および最短処理時刻が演算されるたびに基準
値との比較を行なう処理動作（図３のフローチャート参
照）においては図４の破線矢印に示すように、組み合わ
せパターン設定部３により設定された処理順序の組み合
わせパターンについて処理時間演算部５が平均処理時間
Taveおよび最短処理時刻Tminを演算し、組み合わせパタ
ーン判別部７が所定の基準値との比較を行ない、基準値
以下と判定した場合には、そのパターンを組み合わせパ
ターン保持部４に、また演算された処理時間（平均処理
時間Taveおよび最短処理時刻Tmin）を処理時間格納部６
に保持、格納し、その処理時間を新しい基準値として設
定する。そして、基準値が収束し、たとえば所定の設定
値以下となったと判定された場合には、その基準値を有
する組み合わせパターンを組み合わせパターン保持部４
から抽出し、組み合わせパターン出力部８を介して出力
する。ここで、最短の処理時間の判定方法として、組み
合わせパターンごとに処理時間を演算して基準値との比
較、判断を行なうことにより、組み合わせパターンや演
算された処理時間を格納しておくメモリの容量を小さく
することができるとともに、ＣＰＵの負担を軽減するこ
とができる。
【００３８】次に、請求項４に係る管理制御装置の概略
構成の一実施例について説明する。この管理制御装置
は、請求項２記載の製造工程の管理方法を実現するため
の構成であり、その概略構成は、図４に示したブロック
図と同等である。本実施例の特徴は、各ロットの優先処
理順位に応じて処理時間を最短化するとともに、全体の
平均処理時間を最短化することにあり、組み合わせパタ
ーン設定部３は優先処理順位の高いロットから順次全処
理時間が最短となるように組み合わせパターンを設定
し、処理時間演算部５は設定された組み合わせパターン
毎に平均処理時間および最優先処理時間を算出し、組み
合わせパターン判別部７は算出された最優先処理時間が
最短となり、かつ全体の平均処理時間が最短となる組み
合わせパターンを判別するように構成される。すなわ
ち、組み合わせパターンの判別手法としては、上述した
ように優先処理順位に基づいて設定された処理順序の組
み合わせパターンの全てについて処理時間を算出し、そ
の中から最適な処理時間を有する組み合わせパターンを
選択する手法、あるいは組み合わせパターンの処理時間
を算出するたびに基準値との比較を行ない、最短の処理
時間を有する組み合わせパターンを判別する手法が適用
される。
構成の一実施例について説明する。この管理制御装置
は、請求項２記載の製造工程の管理方法を実現するため
の構成であり、その概略構成は、図４に示したブロック
図と同等である。本実施例の特徴は、各ロットの優先処
理順位に応じて処理時間を最短化するとともに、全体の
平均処理時間を最短化することにあり、組み合わせパタ
ーン設定部３は優先処理順位の高いロットから順次全処
理時間が最短となるように組み合わせパターンを設定
し、処理時間演算部５は設定された組み合わせパターン
毎に平均処理時間および最優先処理時間を算出し、組み
合わせパターン判別部７は算出された最優先処理時間が
最短となり、かつ全体の平均処理時間が最短となる組み
合わせパターンを判別するように構成される。すなわ
ち、組み合わせパターンの判別手法としては、上述した
ように優先処理順位に基づいて設定された処理順序の組
み合わせパターンの全てについて処理時間を算出し、そ
の中から最適な処理時間を有する組み合わせパターンを
選択する手法、あるいは組み合わせパターンの処理時間
を算出するたびに基準値との比較を行ない、最短の処理
時間を有する組み合わせパターンを判別する手法が適用
される。
【００３９】なお、以上本発明について実施例を示して
説明したが、本発明は上述した実施例の限定されるもの
ではなく、半導体装置以外の製造工程にも良好に適用で
きることはいうまでもない。また最短の処理時間の判別
の手法は、全ての処理時間から最小値を選択する手法や
処理時間の算出ごとに基準値比較を行なう手法以外のも
のであってもなんら支障はない。さらに、基準値として
は、前回までの処理時間のうちの最小値や各ロットを独
立して処理した場合に得られる処理時間であってもよい
し、他の生産工程との関係から割り当てられる任意の処
理時間であってもよい。
説明したが、本発明は上述した実施例の限定されるもの
ではなく、半導体装置以外の製造工程にも良好に適用で
きることはいうまでもない。また最短の処理時間の判別
の手法は、全ての処理時間から最小値を選択する手法や
処理時間の算出ごとに基準値比較を行なう手法以外のも
のであってもなんら支障はない。さらに、基準値として
は、前回までの処理時間のうちの最小値や各ロットを独
立して処理した場合に得られる処理時間であってもよい
し、他の生産工程との関係から割り当てられる任意の処
理時間であってもよい。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造工程
の管理方法およびその管理制御装置によれば、各ロット
の基本処理順序および単位工程ごとの単位処理時間を考
慮し、同一時刻に同一処理装置の使用が生じないように
設定したロットの処理順序の組み合わせパターンについ
て全処理時間を演算し、その中から最小の処理時間ある
いは基準値以下の処理時間を持つ組み合わせパターンを
選択することができるため、各ロットあるいは製品を各
処理装置に投入する順序や時刻を最適化し、各製造装置
への処理負担を均等に配分することができ、効率的な生
産を実現することができる。
の管理方法およびその管理制御装置によれば、各ロット
の基本処理順序および単位工程ごとの単位処理時間を考
慮し、同一時刻に同一処理装置の使用が生じないように
設定したロットの処理順序の組み合わせパターンについ
て全処理時間を演算し、その中から最小の処理時間ある
いは基準値以下の処理時間を持つ組み合わせパターンを
選択することができるため、各ロットあるいは製品を各
処理装置に投入する順序や時刻を最適化し、各製造装置
への処理負担を均等に配分することができ、効率的な生
産を実現することができる。
【図１】本発明の基本処理動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図２】本発明の請求項１に係る製造工程の管理方法に
おける処理動作の一実施例を示すフローチャートであ
る。
おける処理動作の一実施例を示すフローチャートであ
る。
【図３】本発明の請求項１に係る製造工程の管理方法に
おける処理動作の他の実施例を示すフローチャートであ
る。
おける処理動作の他の実施例を示すフローチャートであ
る。
【図４】本発明の請求項３に係る製造工程の管理制御装
置の一実施例を示すブロック図である。
置の一実施例を示すブロック図である。
１ 設定データ入力部 ２ 同一処理判別部 ３ 組み合わせパターン設定部 ４ 組み合わせパターン保持部 ５ 処理時間演算部 ６ 処理時間格納部 ７ 組み合わせパターン判別部 ８ 組み合わせパターン出力部
Claims (4)
- 【請求項１】複数の連続する単位工程からなり、二つ以
上の異なる製品を処理する製造工程の管理方法におい
て、 予め判明している前記各製品ごとの基本処理順序および
前記単位工程ごとの単位処理時間に基づいて、同一時刻
に同一処理が競合しない処理順序の組み合わせパターン
を作成する工程と、 前記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する工
程と、 最短の全処理時間を有する前記組み合わせパターンを選
択する工程と、 該選択された組み合わせパターンにしたがって、前記各
製品の処理順序を決定する工程とを有することを特徴と
する製造工程の管理方法。 - 【請求項２】複数の連続する単位工程からなり、二つ以
上の異なる製品を処理する製造工程の管理方法におい
て、 予め判明している前記各製品ごとの基本処理順序および
優先処理順位ならびに前記単位工程ごとの単位処理時間
に基づいて、前記各製品の処理順序の組み合わせパター
ンを前記優先処理順位の一番高い製品から前記優先処理
順位の低い製品へと順次作成する工程と、 前記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する工
程と、 前記優先処理順位の高い製品の処理時間を最短にすると
ともに、前記全処理時間を最短にする前記組み合わせパ
ターンを選択する工程と、 該選択された組み合わせパターンにしたがって、前記各
製品の処理順序を決定する工程とを有することを特徴と
する製造工程の管理方法。 - 【請求項３】複数の連続する単位工程からなり、二つ以
上の異なる製品を処理する製造工程の管理制御装置にお
いて、 予め設定された前記各製品ごとの基本処理順序および予
め測定された前記単位工程ごとの単位処理時間を入力す
る設定データ入力手段と、 前記基本処理順序および単位処理時間に基づいて、同一
時刻に同一処理の競合が発生しない処理順序の組み合わ
せパターンを作成する組み合わせパターン設定手段と、 前記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する全
処理時間演算手段と、 最短の全処理時間を有する前記組み合わせパターンを判
別するパターン判別手段と、 前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間を有す
る組み合わせパターンを出力するパターン出力手段とを
有することを特徴とする製造工程の管理制御装置。 - 【請求項４】複数の連続する単位工程からなり、二つ以
上の異なる製品を処理する製造工程の管理制御装置にお
いて、 予め設定された前記各製品ごとの基本処理順序および優
先処理順位ならびに予め測定された前記単位工程ごとの
単位処理時間を入力する設定データ入力手段と、 前記基本処理順序および優先処理順位ならびに単位処理
時間に基づいて、前記各製品ごとの処理順序の組み合わ
せパターンを前記優先処理順位の一番高い製品から前記
優先処理順位の低い製品へと順次作成する組み合わせパ
ターン設定手段と、 前記組み合わせパターンごとに全処理時間を計算する全
処理時間演算手段と、 前記優先処理順位の高い製品の処理時間を最短にすると
ともに、前記全処理時間を最短にする前記組み合わせパ
ターンを判別するパターン判別手段と、 前記判別結果に基づいて、前記最短の全処理時間を有す
る組み合わせパターンを出力するパターン出力手段とを
有することを特徴とする製造工程の管理制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21983196A JPH1063304A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 製造工程の管理方法およびその管理制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21983196A JPH1063304A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 製造工程の管理方法およびその管理制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1063304A true JPH1063304A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16741737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21983196A Pending JPH1063304A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 製造工程の管理方法およびその管理制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1063304A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030010529A (ko) * | 2001-07-26 | 2003-02-05 | 닛뽕덴끼 가부시끼가이샤 | 시스템 프로세싱 시간 계산 방법, 시스템 프로세싱 시간계산 장치, 및 시스템 프로세싱 시간 계산 프로그램이기록된 기록 매체 |
| JP2010079430A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 待ち時間制御システム、待ち時間制御方法、および待ち時間制御プログラム |
| JP2011077136A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム及びその制御方法 |
| JP2013214261A (ja) * | 2012-04-04 | 2013-10-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 着工日計画の作成システム及び作成プログラム |
| JP2015005085A (ja) * | 2013-06-20 | 2015-01-08 | Ｊｆｅスチール株式会社 | スケジューリング方法及びスケジューリング装置 |
| CN113299587A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-24 | 无锡亚电智能装备有限公司 | 一种晶圆清洗工艺任务排列方法及装置 |
-
1996
- 1996-08-21 JP JP21983196A patent/JPH1063304A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030010529A (ko) * | 2001-07-26 | 2003-02-05 | 닛뽕덴끼 가부시끼가이샤 | 시스템 프로세싱 시간 계산 방법, 시스템 프로세싱 시간계산 장치, 및 시스템 프로세싱 시간 계산 프로그램이기록된 기록 매체 |
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| CN113299587B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-04-26 | 无锡亚电智能装备有限公司 | 一种晶圆清洗工艺任务排列方法及装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A02 | Decision of refusal |
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