JPH1064419A - アパーチャグリルのパターン焼付け方法並びにその方法に使用するパターン焼付け用マスク材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 最終的に得られるアパーチャグリルのスリッ
ト状の細長透孔の端部に、カラー受像管に「ヤブレ」と
呼ばれる欠陥を発生させる原因となる形状不良が生じな
いようにするパターン焼付け方法を提供する。 【解決手段】 金属薄板の主面に形成されたレジスト膜
に密着させるマスク材に、互いに平行に多数配列される
各孔パターン１０の端部１２がそれぞれ先細りの台形状
に形成されたマスク材を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、トリニトロン
（登録商標）管などのカラー受像管に用いられ互いに平
行な多数の細長透孔が形成されたアパーチャグリルをフ
ォトエッチング法により製造する場合において、金属薄
板の両主面に形成された感光性のレジスト膜に所要のパ
ターンを焼き付けるパターン焼付け方法、並びに、その
焼付け方法において使用するパターン焼付け用マスク材
に関する。

【０００２】

【従来の技術】アパーチャグリルは、互いに平行な多数
のスリット状の細長透孔と、互いに隣り合う細長透孔に
挾まれた多数のグリッドとを有している。このアパーチ
ャグリルは、例えば特開平８−２２７６４号公報などに
開示された方法により、以下のような各工程を経て製造
される。

【０００３】まず、低炭素アルミキルド鋼、インバー型
合金などの、帯状をなし板厚が０．０５〜０．３ｍｍ程
度である金属薄板をアパーチャグリル素材とし、その金
属薄板を脱脂し水洗して整面処理する（整面工程）。次
に、金属薄板の両主面に感光性レジスト、例えば牛乳カ
ゼインに重クロム酸アンモニウムを添加した水溶性の感
光性レジストを塗布し、それを乾燥させることにより、
金属薄板の両主面にそれぞれ厚みが数μｍ程度である感
光性のレジスト膜を形成する（コーティング工程）。続
いて、金属薄板の両主面に形成された各レジスト膜の表
面に、多数の細長状の孔パターンが互いに平行に配列さ
れた各マスク材をそれぞれ密着させ、露光することによ
り、多数の孔パターンの画像をレジスト膜に焼き付ける
（焼付け工程）。次に、金属薄板の両主面に温水などの
現像液を吹き付けることにより、レジスト膜の多数の孔
パターンの現像を行い（現像工程）、その後に、金属薄
板を無水クロム酸溶液などの硬膜液に浸漬させ、金属薄
板にバーニング処理を施してレジスト膜を乾燥および硬
化させることにより、金属薄板の両主面に、多数の細長
状の孔パターンに応じて所要部分の金属薄板面が露出し
た多数の細長状の開口部パターンを有する耐エッチング
性のレジスト膜をそれぞれ形成させる（硬膜工程）。次
に、レジスト膜が形成された金属薄板に塩化第二鉄水溶
液などのエッチング液を吹き付けて、金属薄板の両主面
の、レジスト膜が被着していない被エッチング面をそれ
ぞれエッチングすることにより、金属薄板に互いに平行
な多数の細長透孔を形成する（エッチング工程）。そし
て、金属薄板に被着したレジスト膜を金属薄板の両主面
からそれぞれ剥離させ（剥離工程）、最後に、帯状の金
属薄板を切断して、多数の枚葉形式のアパーチャグリル
を得る。

【０００４】ところで、アパーチャグリルは、カラー受
像管に用いられ、３本の電子ビームを放射する電子銃と
電子ビームを受けて三原色に発光する蛍光体との間に配
置されて、各電子ビームのうちの必要な方向の電子ビー
ムだけを選択的に通過させて不要な方向の電子ビームを
遮断するが、アパーチャグリルに多数形成されたスリッ
ト状の細長透孔は、電子銃との対向面側の開口幅より蛍
光体との対向面側の開口幅が大きくなるように形成され
ている。したがって、上記した焼付け工程において、金
属薄板の一方の主面に形成されたレジスト膜に密着させ
られる第１マスク材と、金属薄板の他方の主面に形成さ
れたレジスト膜に密着させられる第２マスク材とでは、
それぞれのマスク材に配列される孔パターンの形状が異
なる。すなわち、図８に部分拡大図を示すように、第１
マスク材に配列される第１孔パターン１（同図（ａ））
に比べて、第２マスク材に配列される第２孔パターン２
（同図（ｂ））の幅が小さくされる。図８において、斜
線で示した部分がマスク材の遮光部分である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】焼付け工程で使用され
る従来のマスク材では、互いに平行に多数配列される細
長状の孔パターンの端部の形状が、図８の（ａ）、
（ｂ）に示すように、第１および第２の各孔パターン
１、２共に矩形状である。したがって、現像および硬膜
工程を経て金属薄板の両主面にそれぞれ形成される耐エ
ッチング性の各レジスト膜には、端部が矩形状となった
細長状の開口部パターンがそれぞれ形成され、エッチン
グ工程では、その各開口部パターンの被エッチング面が
両主面からそれぞれエッチングされることになる。

【０００６】ここで、互いに平行に並んだ多数の細長状
の開口部パターンを有するレジスト膜が被着した金属薄
板をエッチングしたとき、アパーチャグリルの有効面を
なす多数の細長透孔の形成領域となる多数の細長状の開
口部パターンの形成領域では、エッチング液により金属
薄板を腐食するのでエッチング液が疲労しやく、一方、
アパーチャグリルの非有効面となる開口部パターンの形
成領域外では、エッチング液による金属薄板の腐蝕が起
こらないのでエッチング液が疲労しない。このため、開
口部パターンの、開口部パターン形成領域とその領域外
との境界領域にある端部では、細長状の開口部パターン
の中央部に比べてエッチング液が疲労しにくく、開口部
パターンの端部には常に比較的新鮮なエッチング液が供
給され、そのエッチング液によって金属薄板の被エッチ
ング面が腐食されることになる。したがって、開口部パ
ターンの端部に矩形状に露出した金属薄板面は、開口部
パターンの中央部に露出した金属薄板面よりエッチング
され易くなってオーバーエッチングとなる。この結果、
最終的に得られたアパーチャグリルは、図９に部分拡大
図を示すように、スリット状の細長透孔３の端部４が球
根状に膨出した形状となり、細長透孔３の端部４におい
て電子ビームの遮蔽効果が低減して、カラー受像管に、
当該部分の蛍光体の輝度が上がる「ヤブレ」と呼ばれる
欠陥が発生する。図９において、５は細長透孔３の孔周
縁であり、６は開口幅が大きい側の金属薄板面の開口周
縁である。

【０００７】また、開口部パターンの端部では、金属薄
板面がエッチングされやすいため、複数の開口部パター
ン間でのエッチング程度の差も大きく現れることにな
り、得られたアパーチャグリルにおける各細長透孔の端
部形状が不均一になりやすい。また、開口部パターンの
端部において金属薄板面がエッチングされやすいことか
ら、金属薄板の両主面にそれぞれ形成された各レジスト
膜に第１パターンおよび第２パターンをそれぞれ密着さ
せたときに、第１パターンと第２パターンとが開口部パ
ターンの長手方向に位置ずれしていると、その位置ずれ
によるエッチングへの影響が現れやすくなり、得られた
アパーチャグリルにおける各細長透孔の端部位置が不均
一になりやすい、といった問題点がある。

【０００８】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、最終的に得られるアパーチャグリル
のスリット状の細長透孔の端部に、カラー受像管に「ヤ
ブレ」と呼ばれる欠陥を発生させる原因となる形状不良
が生じないようにし、また、アパーチャグリルにおける
各細長透孔の端部形状や端部位置が不均一になるのを可
及的に防止することができる、アパーチャグリルのパタ
ーン焼付け方法を提供すること、並びに、その焼付け方
法において使用するパターン焼付け用マスク材を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の、
アパーチャグリルのパターン焼付け方法は、金属薄板の
一方の主面に形成されたレジスト膜に、多数の細長状の
第１孔パターンが互いに平行に配列された第１マスク材
を密着させるとともに、金属薄板の他方の主面に形成さ
れたレジスト膜に、多数の細長状の、前記第１孔パター
ンより細幅の第２孔パターンが互いに平行に配列された
第２マスク材を、各第１孔パターンの位置と各第２孔パ
ターンの位置とをそれぞれ一致させて密着させ、各光源
から発せられた光を、前記第１および第２の各マスク材
を介し前記各レジスト膜にそれぞれ照射するパターン焼
付け方法において、前記第１マスク材および前記第２マ
スク材の少なくとも一方に、各孔パターンの少なくとも
一方の端部がそれぞれ先細りの台形状に形成されたマス
ク材を用いることを特徴とする。

【００１０】請求項２に係る発明のパターン焼付け方法
は、請求項１記載のパターン焼付け方法において、上記
第１マスク材に、各孔パターンの少なくとも一方の端部
がそれぞれ先細りの台形状に形成されたマスク材を用い
るようにすることを特徴とする。

【００１１】請求項３に係る発明のパターン焼付け方法
は、請求項１又は請求項２記載のパターン焼付け方法に
おいて、各孔パターンの両方の端部がそれぞれ先細りの
台形状に形成されたマスク材を用いるようにすることを
特徴とする。

【００１２】請求項４に係る発明の、アパーチャグリル
のパターン焼付け用マスク材は、多数の細長状の孔パタ
ーンが互いに平行に配列され、金属薄板の主面に形成さ
れたレジスト膜に密着させられるパターン焼付け用マス
ク材において、前記各孔パターンの少なくとも一方の端
部をそれぞれ先細りの台形状に形成したことを特徴とす
る。

【００１３】請求項５に係る発明のパターン焼付け用マ
スク材は、請求項４記載のパターン焼付け用マスク材に
おいて、上記各孔パターンの両方の端部をそれぞれ先細
りの台形状に形成したことを特徴とする。

【００１４】上記構成の請求項１に係る発明のパターン
焼付け方法では、また、請求項４に係る発明のパターン
焼付け用マスク材を使用して焼付け工程を行うようにし
たときは、金属薄板の両主面にそれぞれ形成された各レ
ジスト膜に密着させられる第１マスク材および第２マス
ク材の少なくとも一方に、各孔パターンの少なくとも一
方の端部がそれぞれ先細りの台形状に形成されたマスク
材を用いるようにしているので、焼付け工程並びに現像
および硬膜工程を経ることにより金属薄板の両主面に形
成される耐エッチング性のレジスト膜の少なくとも一方
には、少なくとも一方の端部が先細りの台形状となった
多数の細長状の開口部パターンが形成されることにな
る。そして、その金属薄板をエッチングしたとき、上記
したように、開口部パターンの端部には、開口部パター
ンの中央部に比べて新鮮なエッチング液が供給される
が、開口部パターンの、先細りの台形状となった端部で
は、従来のように矩形状となった端部に比べて金属薄板
の露出面が小さくなっている。このため、開口部パター
ンの、先細りの台形状となった端部の金属薄板面がエッ
チングされ易くなってオーバーエッチング気味となって
も、金属薄板に形成されたスリット状細長透孔の端部
は、球根状に膨出した形状にはならずに矩形状に近い形
状となる。

【００１５】また、金属薄板の主面に形成されたレジス
ト膜の開口部パターンの、先細りの台形状となった端部
では、従来のように矩形状となった端部に比べて金属薄
板の露出面が小さくなっているので、開口部パターンの
中央部に比べて新鮮なエッチング液が供給されてエッチ
ングされやすくなっていても、金属薄板の腐食量が矩形
状となった端部に比べて少なくなる。このため、複数の
開口部パターン間でのエッチング程度の差がそれほど大
きく現れなくなり、また、金属薄板の両主面にそれぞれ
形成された各レジスト膜に第１パターンおよび第２パタ
ーンをそれぞれ密着させたときに、第１パターンと第２
パターンとが開口部パターンの長手方向に位置ずれして
いても、その位置ずれによるエッチングへの影響がそれ
ほど大きく現れなくなる。

【００１６】請求項２に係る発明のパターン焼付け方法
では、第２マスク材に配列された第２孔パターンより幅
の広い、第１マスク材の第１孔パターンの端部が先細り
の台形状に形成されているので、焼付け工程および現像
・硬膜工程を経ることにより金属薄板の両主面にそれぞ
れ形成された耐エッチング性のレジスト膜のうち、幅の
広い開口部パターンが形成されたレジスト膜側におい
て、その開口部パターンの端部が先細りの台形状とな
る。このように、金属薄板の露出面がより大きくなる主
面側において、レジスト膜の開口部パターンの端部が先
細りの台形状となり、従来のように矩形状となった端部
に比べて金属薄板の露出面が小さくなっているため、請
求項１に係る発明の上記作用がより効果的に奏されるこ
ととなる。

【００１７】請求項３に係る発明のパターン焼付け方法
では、また、請求項５に係る発明のパターン焼付け用マ
スク材を使用して焼付け工程を行うようにしたときは、
焼付け工程並びに現像・硬膜工程およびエッチング工程
を経ることにより金属薄板に形成されるスリット状の細
長透孔の両端部が、球根状に膨出した形状にならずに矩
形状に近い形状になる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１ないし図７を参照しながら説明する。

【００１９】アパーチャグリルを製造する場合におい
て、パターンの焼付け工程は次のように行われる。すな
わち、コーティング工程により金属薄板の一方の主面
（アパーチャグリルをカラー受像管に組み込んだときに
蛍光体との対向面側となる面）に形成された感光性のレ
ジスト膜に、多数の細長状の第１孔パターンが互いに平
行に配列された第１マスク材を密着させる。また、金属
薄板の他方の主面（アパーチャグリルをカラー受像管に
組み込んだときに電子銃との対向面側となる面）に形成
された感光性のレジスト膜に、多数の細長状の、第１孔
パターンより細幅の第２孔パターンが互いに平行に配列
された第２マスク材を、各第１孔パターンの位置と各第
２孔パターンの位置とをそれぞれ一致させて密着させ
る。そして、上下にそれぞれ配設された各光源から第１
および第２の各マスク材を介して各レジスト膜へそれぞ
れ光を照射し、各レジスト膜をそれぞれ露光して、多数
の孔パターンの画像を各レジスト膜に焼き付ける。図１
は、この発明に係るパターン焼付け方法で使用されるマ
スク材の孔パターンの１例を示す部分拡大図である。

【００２０】図１の（ａ）は、第１マスク材に配列され
る第１孔パターン１０の一端部を示し、図１の（ｂ）
は、第２マスク材に配列される第２孔パターン１４の一
端部を示す。図１において（図４ないし図７においても
同じ）、斜線で示した部分がマスク材の遮光部分であ
る。各孔パターンの線幅は、高精細アパーチャグリル用
では、例えば第１孔パターン１０の線幅が１１５μｍで
第２孔パターン１４の線幅が４０μｍであり、ノーマル
アパーチャグリル用では、例えば第１孔パターンの線幅
が４００μｍで第２孔パターン１４の線幅が１６０μｍ
である。そして、第１孔パターン１０の端部１２が、先
細りの台形状に形成されている。先細りの台形状に形成
するのは、第１孔パターン１０の一方の端部のみでもよ
いし、両方の端部であってもよい。第１マスク材および
第２マスク材に多数の第１孔パターン１０および多数の
第２孔パターン１４を形成するには、フォトプロッタを
用いて所定形状のパターン画像を繰り返し描画するよう
にすればよい。第１孔パターン１０の端部１２の台形部
の形状、すなわち先端辺（上辺）の幅寸法ｗおよび台形
部の高さ寸法ｈは、金属薄板の厚み、孔パターンの線幅
などのエッチング条件に応じて変化させるようにすれば
よく、このために、エッチングにより金属薄板に良好な
形状の細長透孔が形成されるときの台形部の形状を予め
実験的に求めておくようにすればよい。

【００２１】図１の（ａ）および（ｂ）に示したような
第１孔パターン１０および第２孔パターン１４がそれぞ
れ多数配列された第１マスク材および第２マスク材を使
用してパターンの焼付けを行い、その後に、現像および
硬膜処理を施すことより、金属薄板の一方の主面に、端
部が先細りの台形状となった多数の細長状の第１開口部
パターンを有する耐エッチング性のレジスト膜が形成さ
れ、他方の主面に、端部が矩形状で第１開口部パターン
の幅より小さい幅の多数の細長状の第２開口部パターン
を有する耐エッチング性のレジスト膜が形成される。そ
して、この金属薄板をエッチングすると、開口部パター
ンの端部には開口部パターンの中央部に比べて新鮮なエ
ッチング液が供給されて、開口部パターンの端部ではオ
ーバーエッチング気味となるが、第１開口部パターンの
端部は先細りの台形状となっていて、第１開口部パター
ンの端部では金属薄板の露出面が小さくなっているた
め、図２に部分拡大図を示すように、スリット状の細長
透孔１６の端部１８が球根状に膨出した形状とならずに
矩形状となったアパーチャグリルが得られることにな
る。図２において、２０は細長透孔１６の孔周縁であ
り、２２は開口幅が大きい側の金属薄板面の開口周縁で
ある。

【００２２】図３は、主面に感光性のレジスト膜が形成
された帯状の金属薄板（アパーチャグリル素材）へのマ
スク材の配置例を示す概略平面図である。この配置例で
は、大型のアパーチャグリルを製造するための大型マス
ク材２６は、孔パターン２８の長手方向が金属薄板２４
の長尺方向に対し直交するようにして、金属薄板２４の
幅方向において１枚だけ配置され、また、小型のアパー
チャグリルを製造するための小型マスク材３０は、孔パ
ターン３２、３３の長手方向が金属薄板２４の長尺方向
に対し直交するようにして、金属薄板２４の幅方向にお
いて２枚並べて配置されている。このような場合には、
大型マスク材２６に配列される孔パターン２８の両端部
Ａ、Ｂの形状を、図４の（Ａ）および（Ｂ）に部分拡大
図を示すように、それぞれ同一形状の、先細りの台形状
とする。これに対し、小型マスク材３０に配列される孔
パターン３２の両端部Ｃ、Ｄの形状は、金属薄板２４の
端縁部側の端部Ｃの形状を図４の（Ｃ）に示すような先
細りの台形状とし、金属薄板２４の中央部側の端部Ｄの
形状を図４の（Ｄ）に示すように、矩形からの欠け部分
の面積が孔パターン３２の端部Ｃより小さくなるような
先細りの台形状とする。また、金属薄板２４の幅方向に
２枚並べて配置される他方の小型マスク材３０に配列さ
れる孔パターン３３の形状は、一方の小型マスク材３０
に配列される孔パターン３２の形状と上下対称とされ
る。このように、孔パターン３２、３３の端部の形状を
金属薄板２４面上の位置によって変化させるのは、焼付
けおよび現像・硬膜の各工程を経て金属薄板２４をエッ
チングしたときに、レジスト膜の開口部パターンの両端
部でエッチング液の疲労度に差が出るためである。すな
わち、レジスト膜の開口部パターンの、金属薄板２４の
中央部側の端部では、隣接するレジスト膜の開口部パタ
ーンの端部と接近しているために、レジスト膜の開口部
パターンの、金属薄板２４の端縁部側の端部に比べてエ
ッチング液が疲労しやすくなる。このため、レジスト膜
の開口部パターンの、金属薄板２４の中央部側の端部に
おける金属薄板の露出面が、開口部パターンの、金属薄
板２４の端縁部側の端部に比べて大きくなるように、小
型マスク材３０の孔パターン３２、３３の端部Ｄの形状
を端部Ｃの形状に比べてより矩形に近い台形状とする。

【００２３】図１に示した実施形態では、第１マスク材
に配列される第１孔パターン１０の端部１２を先細りの
台形状とし、第２マスク材に配列される第２孔パターン
１４の端部を矩形状としたが、図５の（ａ）に示すよう
に、第１マスク材に配列される第１孔パターン３４の端
部を矩形状とし、図５の（ｂ）に示すように、第２マス
ク材に配列される第２孔パターン３６の端部を先細りの
台形状とするようにしてもよい。また、図６の（ａ）に
示すように、第１マスク材に配列される第１孔パターン
３８の端部を先細りの台形状とするとともに、図６の
（ｂ）に示すように、第２マスク材に配列される第２孔
パターン４０の端部も先細りの台形状とすることもでき
る。さらに、図７の（ａ）に第１マスク材の第１孔パタ
ーン４２の部分拡大図を示し、図７の（ｂ）に第２マス
ク材の第２孔パターン４４の部分拡大図を示すように、
孔パターン４２の端部を、階段状に先細りとした台形状
としてもよい。

【００２４】

【発明の効果】請求項１に係る発明のパターン焼付け方
法によると、また、請求項４に係る発明のパターン焼付
け用マスク材を使用してパターンの焼付けを行うように
すると、最終的に得られるアパーチャグリルのスリット
状の細長透孔の端部に、カラー受像管の蛍光体の輝度が
局部的に上がる「ヤブレ」と呼ばれる欠陥を発生させる
原因となる形状不良が生じるのを防止することができ、
また、アパーチャグリルにおける各細長透孔の端部形状
や端部位置が不均一になるのを従来に比べて低減させる
ことができる。

【００２５】請求項２に係る発明のパターン焼付け方法
によると、焼付け工程および現像・硬膜工程を経ること
により金属薄板の両主面にそれぞれ形成された耐エッチ
ング性のレジスト膜のうち幅の広い開口部パターンが形
成されたレジスト膜側、すなわち、金属薄板の露出面が
より大きくなる主面側において、レジスト膜の開口部パ
ターンの端部が先細りの台形状となって金属薄板の露出
面が小さくなっているので、請求項１に係る発明の上記
効果がより効果的に得られることとなる。

【００２６】請求項３に係る発明のパターン焼付け方法
によると、また、請求項５に係る発明のパターン焼付け
用マスク材を使用してパターンの焼付けを行うようにす
ると、スリット状の細長透孔の両端部が球根状に膨出し
た形状にならずに矩形状に近い形状になったアパーチャ
グリルが得られることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るパターン焼付け方法で使用され
るマスク材の孔パターンの１例を示す部分拡大図であ
る。

【図２】図１に示したマスク材を使用してパターンの焼
付けを行ない現像および硬膜並びにエッチングの各工程
を経ることにより最終的に得られるアパーチャグリルの
一部を拡大して示す平面図である。

【図３】主面に感光性のレジスト膜が形成された帯状の
金属薄板（アパーチャグリル素材）へのマスク材の配置
例を示す概略平面図である。

【図４】図３に示した各マスク材に配列された孔パター
ンの端部の形状をそれぞれ示す部分拡大図である。

【図５】この発明に係るパターン焼付け方法で使用され
るマスク材の孔パターンの、図１に示したものとは別の
例を示す部分拡大図である。

【図６】同じく、マスク材の孔パターンのさらに別の例
を示す部分拡大図である。

【図７】同じく、マスク材の孔パターンのさらに別の例
を示す部分拡大図である。

【図８】従来のパターン焼付け方法で使用されるマスク
材の孔パターンを示す部分拡大図である。

【図９】図８に示したマスク材を使用してパターンの焼
付けを行ない現像および硬膜並びにエッチングの各工程
を経ることにより最終的に得られるアパーチャグリルの
一部を拡大して示す平面図である。

【符号の説明】

１０、３４、３８、４２ 第１孔パターン １２ 第１孔パターンの端部 １４、３６、４０、４４ 第２孔パターン １６ アパーチャグリルの細長透孔 １８ アパーチャグリルの細長透孔の端部 ２０ アパーチャグリルの細長透孔の孔周縁 ２４ 金属薄板（アパーチャグリル素材） ２６、３０ マスク材 ２８、３２、３３ 孔パターン

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属薄板の一方の主面に形成されたレジ
   スト膜に、多数の細長状の第１孔パターンが互いに平行
   に配列された第１マスク材を密着させるとともに、金属
   薄板の他方の主面に形成されたレジスト膜に、多数の細
   長状の、前記第１孔パターンより細幅の第２孔パターン
   が互いに平行に配列された第２マスク材を、各第１孔パ
   ターンの位置と各第２孔パターンの位置とをそれぞれ一
   致させて密着させ、各光源から発せられた光を、前記第
   １および第２の各マスク材を介し前記各レジスト膜にそ
   れぞれ照射する、アパーチャグリルのパターン焼付け方
   法において、 前記第１マスク材および前記第２マスク材の少なくとも
   一方に、各孔パターンの少なくとも一方の端部がそれぞ
   れ先細りの台形状に形成されたマスク材を用いることを
   特徴とする、アパーチャグリルのパターン焼付け方法。
2. 【請求項２】 第１マスク材に、各孔パターンの少なく
   とも一方の端部がそれぞれ先細りの台形状に形成された
   マスク材が用いられる請求項１記載の、アパーチャグリ
   ルのパターン焼付け方法。
3. 【請求項３】 マスク材の各孔パターンの両方の端部が
   それぞれ先細りの台形状に形成された請求項１又は請求
   項２記載の、アパーチャグリルのパターン焼付け方法。
4. 【請求項４】 多数の細長状の孔パターンが互いに平行
   に配列され、金属薄板の主面に形成されたレジスト膜に
   密着させられる、アパーチャグリルのパターン焼付け用
   マスク材において、 前記各孔パターンの少なくとも一方の端部をそれぞれ先
   細りの台形状に形成したことを特徴とする、アパーチャ
   グリルのパターン焼付け用マスク材。
5. 【請求項５】 各孔パターンの両方の端部がそれぞれ先
   細りの台形状に形成された請求項４記載の、アパーチャ
   グリルのパターン焼付け用マスク材。