JPH106494A

JPH106494A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH106494A
Application number: JP16543696A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Ota; 善久太田; Yuzuru Kudo; 譲工藤; Shinichi Tsunoda; 慎一角田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1996-06-26
Filing date: 1996-06-26
Publication date: 1998-01-13

Abstract

(57)【要約】【課題】濡れ性の高いインクに対する撥水性が十分で
ない。【解決手段】ノズル形成部材６の吐出面側表面の全体
に略均一な厚みでフッ化ピッチからなる層である表面処
理層７を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、特にノズル孔を形成するノズル形成部材の
吐出面側表面に撥水性を有する表面処理層を設けたイン
クジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写機等に用
いられるドロップオンディマンド（ＤＯＤ）型のインク
ジェット記録装置は、例えばインク滴を吐出する複数の
ノズルと、ノズルが連通する液室と、液室内のインクを
加圧するための圧電素子等の電気機械変換素子或いは熱
抵抗体（ヒータ）等の熱機械変換素子からなるエネルギ
ー発生手段とを備えたインクジェットヘッドを用いて、
記録信号が入力されたときにのみノズルからインク滴を
吐出飛翔させて、高速、高解像度の記録を行なうもので
ある。

【０００３】このようにインクジェットヘッドは、ヒー
タ、圧電素子等のエネルギー発生手段（アクチュエー
タ）を駆動することによってノズルから液滴化したイン
ク（インク滴）を吐出飛翔させて記録を行うため、ノズ
ルの形状、精度等がインク滴の噴射特性（インク滴吐出
性能）に影響を与えると共に、ノズルを形成している部
材の表面の特性がインク滴の噴射特性に影響を与える。
例えば、ノズル周辺部にインクが付着して不均一なイン
ク溜り（所謂濡れムラ）が発生すると、インク滴の吐出
方向が曲げられたり、インク滴の大きさにバラツキが生
じたり、インク滴の飛翔速度が不安定になる等の不都合
が生じることが知られている。

【０００４】そこで、従来、ノズル形成部材の表面（ノ
ズル孔の吐出側面）に、撥水性（撥インク性）を有する
表面処理（撥水処理）を施すことで均一性を高めること
が知られている。この撥水処理としては、例えばシリコ
ン系撥水剤、フッ素系撥水剤などの撥水剤を塗布する方
法（特開昭５５−６５５６４号公報参照）、フロロアル
コキシシランなどで表面処理する方法（特開昭５６−８
９５６９号公報参照）、フッ素系化合物やシラン系化合
物のプラズマ重合膜を形成する方法（特開昭６４−８７
３５９号公報参照）、フロロシリコーンコーティング剤
で処理する方法（特開平２−３９９４４号公報参照）、
フッ素系高分子共析メッキで撥水層を形成する方法（特
開昭６３−３９６３号公報、特開平４−２９４１４５号
公報参照）などがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、最近では紙
への定着性、耐水性等を向上するために、濡れ性を向上
したインクが使用されるようになってきており、上述し
た従来のような撥水性を有する表面処理層では十分な撥
水機能を果たさなくなり、高画質化を図る上での問題に
なっている。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、インクジェットヘッドの撥水性を向上することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１はインクジェットヘッドは、インクを吐出
するノズル孔を形成したノズル形成部材の吐出面側表面
に撥水性を有する表面処理層を設けたインクジェットヘ
ッドにおいて、前記表面処理層はフッ化ピッチで形成し
た構成とした。

【０００８】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記フッ化
ピッチを蒸着法でコーティングした構成とした。

【０００９】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記フッ化
ピッチを溶剤塗布法でコーティングした構成とした。

【００１０】請求項４のインクジェットヘッドは、イン
クを吐出するノズル孔を形成したノズル形成部材の吐出
面側表面に撥水性を有する表面処理層を設けたインクジ
ェットヘッドにおいて、前記表面処理層はフッ化ピッチ
を共析した複合メッキで形成した構成とした。

【００１１】請求項５のインクジェットヘッドは、イン
クを吐出するノズル孔を形成したノズル形成部材の吐出
面側表面に撥水性を有する表面処理層を設けたインクジ
ェットヘッドにおいて、前記表面処理層はフッ化ピッチ
を共析した複合メッキで形成したメッキ被膜の最表面を
フッ化ピッチで被覆して形成した構成とした。

【００１２】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記表面処理層の孔径が前記ノズル形成部材の孔
径よりも小さい構成とした。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの外観斜視図、図２は本発明の第１実
施例に係る同インクジェットヘッドのノズルプレートの
拡大斜視説明図、図３は図２のノズル配列方向の模式的
断面図である。

【００１４】このインクジェットヘッドは、基板１上に
エネルギー発生手段としての複数の圧電素子を配置した
圧電素子部材２を設け、この圧電素子部材２の各圧電素
子に対応して複数の液室及びインク流路を形成した液室
形成部材３を積層し、前面に各インク流路に対応してイ
ンク滴を吐出する複数のノズル４を形成したノズルプレ
ート５を設けている。

【００１５】ノズルプレート５は、図２及び図３に示す
ようにノズル孔６ａを形成したノズル形成部材６の吐出
面側表面に撥水性を有する表面処理層７を設けてなり、
ノズル孔６ａと表面処理層７の孔７ａで全体としてノズ
ル４を形成している。ノズル形成部材６は、例えばニッ
ケル電鋳、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ａｌなどの金属板、ポリイミ
ド、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイ
ドなどの有機材、アルミナ、チタン酸バリウムなどのセ
ラミックに孔明け加工を施してノズル孔６ａを形成した
ものである。孔明け加工方法は、材料とマッチングした
方法であればよく、パンチ加工、放電加工、エキシマレ
ーザー加工等を用いることができる。

【００１６】このノズル形成部材６の吐出面側表面の全
体に略均一な厚みでフッ化ピッチからなる層である表面
処理層７を形成している。このフッ化ピッチ層（表面処
理層）７の厚みは、１〜１０μｍ程度の範囲内にしてい
る。厚みを１μｍ以下にした場合には、表面をワイピン
グに対する耐久性が十分でなく、紙などの異物が表面に
接触した際に物理的な欠損が生じ易くなる。また、厚み
を１０μｍ以上にしたした場合には、各ノズル４のイン
ク滴吐出特性にバラツキを発生する要因になる。ノズル
孔６ａの径は記録装置の性能にもよるが、６００dpi以
上の高画質の解像度を得るためには２０〜３５μｍ程度
となる。

【００１７】ここで、フッ化ピッチについて説明する。
フッ化ピッチは、ピッチをフッ素雰囲気下で加熱するこ
とによって得られる物質である。ピッチは様々な大きさ
の芳香属六員環構造を基本構造とし、かつ六員環平面を
構成する芳香属がメチレンなどの脂肪族炭化水素基によ
り架橋された構造を有する化合物の混合物である。ピッ
チにある水素をフッ素に置換し、さらに二重結合部へフ
ッ素を付加反応させることでフッ化ピッチとなる。水素
はほぼ完全にフッ素化された状態になっている。

【００１８】このフッ化ピッチの特徴はＰＴＦＥ（ポリ
テトラフルオロエチレン）やフッ化黒鉛には殆ど存在し
ない「−ＣＦ₃基」を有していることにある。これによ
って水に対する非常に高い撥性が得られ、濡れやすいイ
ンクに対する十分な撥性を確保することができて、高画
質記録が可能になる。

【００１９】すなわち、インクジェット記録に用いるイ
ンクは、水よりも表面張力を低下させて紙への浸透性を
向上させているが、現在においては高画質化を図るため
に顔料等を含有したインク、いわば濡れやすいインクを
使用するようになっている。これはインクジェットヘッ
ドのノズル表面に要求される性質（撥性）と相反する傾
向であり、従前のＰＴＦＥや他の直鎖状フッ素系高分子
材料による撥性では対応することができない傾向に進ん
でいるが、本発明のようにフッ化ピッチ層で覆うことに
よってこのような濡れやすいインクに対しても十分に対
応することができるようになる。

【００２０】次に、フッ化ピッチのノズルプレートへの
コーティング工法について説明する。ノズルプレートに
撥水処理を施す場合には、第１に、ノズル孔内壁面に撥
水処理層が侵入しないこと、一方ノズル孔内壁面や液室
内部はインクの充填性向上、気泡巻き込み低減のために
もインクに濡れやすい性質を有していることが必要にな
る。第２に、均一な撥水処理層を形成することが必要
で、不均一な処理層はマルチノズル化、ラインヘッド化
を実現する上で必要なノズル間の吐出特性のバラツキを
生じさせる要因になる。

【００２１】このような観点から、フッ化ピッチを蒸着
法でコーティングする工法を採用することができる。フ
ッ化ピッチは、約４００℃以上の環境下で蒸発し、蒸着
性を有し、蒸着によって高い均一性を示すので、蒸着法
を用いてコーティングすることによって均一なフッ化ピ
ッチの表面処理層７を形成することができる。この場合
には、ノズル孔を形成したノズル形成部材５にフッ化ピ
ッチを蒸着させた後、パンチ加工或いはエキシマレーザ
ー加工等の微細孔加工工法を用いてノズルを形成するこ
とができる。この工法によると、ノズル孔内壁部にフッ
化ピッチ層が形成されることがない。

【００２２】また、フッ化ピッチを溶剤塗布法でコーテ
ィングする工法を採用することもできる。フッ化ピッチ
はＣ₆Ｆ₆などの構造が類似したフッ素系溶剤に可溶性を
示すので、フッ化ピッチを溶かした溶液を均一にノズル
形成部材６の表面に塗布することができる。これは、Ｐ
ＴＦＥなどは耐溶剤性が高く溶剤塗布ができなかったこ
とに比べて、工法的に非常に効率的になる。塗布工法と
しては、スピンコート法、スクリーン印刷法、タコ印刷
法、転写法などを採用することができる。スピンコート
法による場合には、フッ化ピッチ溶液の粘度に対してコ
ーター回転数を調整することによって塗布膜厚を容易に
制御することができる。さらに、溶剤塗布法を用いるこ
とによってノズル形成部材表面に選択的に表面処理層を
形成することが容易になり、より機能的な表面処理層の
形成を行うことができる。

【００２３】次に、本発明の第２実施例に係るインクジ
ェットヘッドについて、ノズル配列方向の模式的断面図
である図４を参照して説明する。この実施例において、
ノズルプレート５は、ノズル形成部材６の表面にフッ化
ピッチを共析した複合メッキで形成したメッキ被膜から
なる表面処理層８を設けている。このように複合メッキ
で形成することによって撥水性に優れ、耐ワイピングに
優れたノズル表面を得ることができる。

【００２４】ここで、フッ化ピッチの粒径は５μｍを越
えない範囲であり、平均粒径約０．５μｍ程度としてい
る。ノズル孔径が２０〜５０μｍ程度であるので、５μ
ｍを越えるフッ化ピッチ粒子はノズル表面、ノズルエッ
ジ部の不均一性を増大させることになり、インク吐出特
性のバラツキを大きくする原因となるので、好ましくは
ない。フッ化ピッチの含有率については、含有率を多く
するほど撥水性が向上するので、複合メッキが可能であ
る限り特に制限されるものではない。

【００２５】また、フッ化ピッチの含有率の下限につい
ては、例えば、フッ化ピッチ−ニッケル複合メッキで表
面処理層８を形成した場合、フッ化ピッチ複合メッキ被
膜のフッ化ピッチ共析割合（含有率）に対する水の接触
角を評価すると図５に示すようになる。なお、同図中、
△はＰＴＦＥの複合共析メッキで表面処理層の形成した
ＰＴＦＥ板の接触角を示している。

【００２６】この図から分かるように、フッ化ピッチの
含有率が１０vol％以上の領域では、ＰＴＦＥ表面処理
層の水の接触角である１０９゜を越える接触角が得られ
る。したがって、ＰＴＦＥ表面処理層以上の撥水性を実
現するためには、前記複合メッキ中に含まれるフッ化ピ
ッチの量を１０vol％以上にすることが好ましい。

【００２７】なお、複合メッキの形成手段としては公知
の方法を用いることができ、特に制限されるものではな
い。また、金属母材は、ニッケルに限らず、銅、クロ
ム、亜鉛、錫などの金属、或いはそれらの合金を用いる
ことができる。もっとも、ニッケルを金属母材に用いる
複合メッキは非常に汎用的な工法であって、コスト、耐
インク性に優れているという利点がある。さらに、金属
母材としてニッケルとリンの混合物を形成する無電解メ
ッキ法を用いる場合には、メッキ膜厚の精度を向上させ
ることができ、高集積ヘッドを得ることができる。

【００２８】次に、本発明の第３実施例に係るインクジ
ェットヘッドについて、ノズル配列方向の模式的断面図
である図６を参照して説明する。この実施例において
は、ノズルプレート５は、ノズル形成部材６の表面に第
２実施例と同様なフッ化ピッチを共析した複合メッキで
形成したメッキ被膜９を形成し、このメッキ被膜９の最
表面をフッ化ピッチ１０で被覆して形成した表面処理層
１１を設けている。

【００２９】この場合、メッキ被膜９上にフッ化ピッチ
１０を形成する方法としては、上述した蒸着法や溶剤塗
布法を用いることができる。その他、電着塗装法などの
均一な薄膜を形成可能な工法であれば、特に制限されな
い。

【００３０】このようにメッキ被膜最表面をフッ化ピッ
チで被覆することによって、複合メッキでは対応できな
いようなインクに対しても十分な撥水性を確保すること
ができる。すなわち、複合メッキによって得られる表面
はミクロンオーダーの面粗度があるため、表面張力が低
く濡れ性が高いインクに対しては十分な撥水性を有しな
いことが生じ得る。そこで、複合メッキの最表面をさら
にフッ化ピッチで被覆することによってメッキ被膜の表
面平滑度を向上させることができて、更に高い撥水性が
得られるようになるのである。

【００３１】次に、本発明の第４実施例に係るインクジ
ェットヘッドについて、ノズル配列方向の模式的断面図
である図７を参照して説明する。この実施例において
は、表面処理層７の孔７ａの最小径（孔径）Ｄ１をノズ
ル形成部材６のノズル孔６ａの最小径（ノズル孔径）よ
りも小さく形成している。

【００３２】このように表面処理層７の孔径をノズル形
成部材６のノズル孔径よりも小さくすることによって、
インク吐出時のエネルギーを効率良く吐出滴（インク
滴）に伝えることができ、滴速度が上がって、噴射効率
が高くなり、安定した噴射特性を得ることができて、印
字品質を向上することができる。

【００３３】また、表面処理層７の孔７ａを断面テーパ
形状に形成してノズル孔６ａに対して連続させることに
より、ノズル孔６ａと表面処理層７の孔７ａとの間に段
差がなくなり、この部分への気泡の滞留や引き込みが生
じ難くなり、これに伴う噴射ダウンを防止できると共
に、ノズル孔内壁面から表面処理層の孔内壁面が連続す
ることによって噴射方向が更に安定し、一層記録品質を
向上することができる。

【００３４】ここで、表面処理層７の孔径はノズル孔６
ａの径に対して５０％以上１００％未満にすることが好
ましい。表面処理層７の孔径をノズル孔径に対して１０
０％にすると、表面処理層７の孔径とノズル孔径が同じ
になってインク吐出時のエネルギーを効率良く吐出滴
（インク滴）に伝えることができなくなり、５０％未満
にすることはインク滴の噴射特性に影響を与えることが
ある。上記の範囲にすることによって、噴射効率の向
上、噴射特性の安定化を図ることができる。

【００３５】この実施例のようなインクジェットヘッド
の製造工程の一例について図８乃至図１１を参照して説
明する、同図（ａ）に示すようにエレクトロフォーミン
グ（電鋳）工法によってノズル孔６ａを形成したノズル
形成部材６を形成する。ノズル形成部材を電鋳工法で形
成することによって、ノズル孔がテーパ形状となり、ノ
ズル孔と表面処理部分の孔との段差を無くして滑らかに
することが容易にできる。

【００３６】そこで、同図（ｂ）に示すようにノズル形
成部材５の吐出面裏側にネガ型ドライフィルムレジスト
１５をラミネートする。このとき、ラミネート温度、圧
力を調整して、同図（ｂ）に示すようにドライフィルム
レジスト１５の一部がノズル孔６ａから吐出面側にはみ
出たはみ出し部１５ａが形成されるようにする。このは
み出し部１５ａの表面からのはみ出し量は形成する表面
処理層の厚みに応じて設定する。

【００３７】その後、同図（ｃ）に示すようにノズル形
成部材６の吐出面裏側から紫外線（ＵＶ光）を照射して
全面露光することにより、同図（ｄ）に示すようにドラ
イフィルムレジスト１５が硬化して硬化ドライフィルム
レジスト１６となる。このとき、ノズル形成部材６がマ
スクとなっているので、図９に拡大して示すようにノズ
ル孔６ａから吐出面側にはみ出しているはみ出し部１５
ａはノズル孔６ａに対向している部分のみが硬化されて
硬化はみ出し部１６ａとなる。

【００３８】そこで、これを現像することによって、図
８（ｅ）及び図１０に示すように、ノズル孔６ａから吐
出面側にはみ出したテーパ状の凸形状をなす突出部１７
ａを有するドライフィルムレジストパターン１７ができ
上がる。この場合、露光量及び／又は現像時間を調整可
能な露光装置や現像装置を使用することによって、例え
ば図１１（ａ）に示すように露光量を大きくして現像時
間を短くしたときには突出部１７ａは相対的に太くな
り、同図（ｂ）に示すように露光量を小さくして現像時
間を長くしたときには突出部１７ａは相対的に細くな
る、というようにドライフィルムレジストパターン１７
の突出部１７ａの形状を容易に変更設定することができ
る。

【００３９】次いで、図１０（ｆ）に示すようにフッ化
ピッチからなる表面処理層７を形成する。なお、このと
きの表面処理層７の厚みは、ドライフィルムレジストパ
ターン１７の突出部１７ａの厚み（ノズル形成部材５表
面からの高さ）より薄くなるようにすることが好まし
い。これは、表面処理層７の厚みが突出部１７ａの厚み
より厚くなると、突出部１７ａ上に表面処理層７が乗り
上げてしまって、充分な精度が得られず、かつフォトレ
ジストパターン１７の剥離時に剥離不良を引き起こすお
それがあるからである。

【００４０】その後、フォトレジストパターン１７を剥
離することによって、同図（ｇ）に示すようにノズル孔
６ａを形成したノズル形成部材６の表面にテーパ形状の
孔７ａを形成した表面処理層７を形成してなるノズルプ
レート５が得られる。なお、ここでは表面処理層７とし
ているが、上記の実施例のようにフッ化ピッチの複合メ
ッキによるもの、或いはこのメッキ被膜最表面をフッ化
ピッチで被膜したものなどを適用することもできる。

【００４１】なお、上記実施例においては、本発明をエ
ネルギー発生手段として圧電素子を用いるピエゾアクチ
ュエータ方式のインクジェットヘッドに適用した例につ
いて説明したが、エネルギー発生手段にヒーターを用い
るいわゆるバブルジェット方式のインクジェットヘッド
にも適用することができる。さらに、ノズル形成部材と
してはエネルギー発生手段でインクを加圧する液室を形
成する部材と別体にした構造のものに限らず、上記液室
を形成する部材と一体構造のものにも適用することがで
きる。

【００４２】さらに、上記実施例においては、ノズル形
成部材としてプレート状のものを用いた例について説明
したが、複数の部材（例えば溝を形成した部材とその溝
を覆う部材）を組合わせてノズル孔を形成するものであ
っても、本発明を同様に適用することができる。さらに
また、上記実施例においては、ノズル形成部材の全面に
表面処理層を設けた例で説明したが、一部に表面処理層
を設けることもできる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、インクを吐出するノズル孔を
形成したノズル形成部材の吐出面側表面にフッ化ピッチ
で形成した表面処理層を設けた構成としたので、撥水性
が向上し、濡れ性の高いインクに対しても良好な撥水性
が得られて、安定したインク滴吐出特性が得られ、信頼
性、耐久性の高いインクジェットヘッドを得ることがで
きる。

【００４４】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、フ
ッ化ピッチを蒸着法でコーティングした構成としたの
で、安価に均一なフッ化ピッチの表面処理層を形成する
ことができる。

【００４５】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、フ
ッ化ピッチを溶剤塗布法でコーティングした構成とした
ので、選択的に表面処理層を形成することができて、よ
り機能的に表面処理層を設けることができる。

【００４６】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、インクを吐出するノズル孔を形成したノズル形成部
材の吐出面側表面にフッ化ピッチを共析した複合メッキ
で形成した表面処理層を設けた構成としたので、撥水性
が向上し、濡れ性の高いインクに対しても良好な撥水性
が得られて、安定したインク滴吐出特性が得られ、更
に、ワイピング耐久性も向上して、信頼性、耐久性の高
いインクジェットヘッドを得ることができる。

【００４７】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、インクを吐出するノズル孔を形成したノズル形成部
材の吐出面側表面にフッ化ピッチを共析した複合メッキ
で形成したメッキ被膜の最表面をフッ化ピッチで被覆し
て形成した表面処理層を設けた構成としたので、より撥
水性が向上し、濡れ性の高いインクに対しても良好な撥
水性が得られて、安定したインク滴吐出特性が得られ、
更に、ワイピング耐久性も向上して、信頼性、耐久性の
高いインクジェットヘッドを得ることができる。

【００４８】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、表面処理層の孔径がノズル形成部材の孔
径よりも小さい構成としたので、インク滴吐出エネルギ
ー効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの外観
斜視図

【図２】本発明の第１実施例に係る同インクジェットヘ
ッドのノズルプレートの拡大斜視説明図

【図３】図２のノズル配列方向の模式的断面図

【図４】本発明の第２実施例に係るノズルプレートのノ
ズル配列方向の模式的断面図

【図５】フッ化ピッチ複合メッキ被膜におけるフッ化ピ
ッチ含有率と接触角の関係の一例を示す線図

【図６】本発明の第３実施例に係るノズルプレートのノ
ズル配列方向の模式的断面図

【図７】本発明の第４実施例に係るノズルプレートのノ
ズル配列方向の模式的断面図

【図８】図７のノズルプレートの製造方法の一例を説明
する工程図

【図９】図８（ｃ）の要部拡大図

【図１０】図８（ｄ）の要部拡大図

【図１１】露光量及び現像時間とドライフィルムレジス
トパターンの形状との関係の説明に供する説明図

【符号の説明】

１…基板、２…圧電素子部、３…液室形成部材、４…ノ
ズル、５…ノズルプレート、６…ノズル形成部材、７，
８，１１…表面処理層。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出するノズル孔を形成したノ
ズル形成部材の吐出面側表面に撥水性を有する表面処理
層を設けたインクジェットヘッドにおいて、前記表面処
理層はフッ化ピッチで形成したことを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項２】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記フッ化ピッチを蒸着法でコーティングし
たことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記フッ化ピッチを溶剤塗布法でコーティン
グしたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】インクを吐出するノズル孔を形成したノ
ズル形成部材の吐出面側表面に撥水性を有する表面処理
層を設けたインクジェットヘッドにおいて、前記表面処
理層はフッ化ピッチを共析した複合メッキで形成したこ
とを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】インクを吐出するノズル孔を形成したノ
ズル形成部材の吐出面側表面に撥水性を有する表面処理
層を設けたインクジェットヘッドにおいて、前記表面処
理層はフッ化ピッチを共析した複合メッキで形成したメ
ッキ被膜の最表面をフッ化ピッチで被覆して形成したこ
とを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記表面処理層の孔径が前
記ノズル形成部材の孔径よりも小さいことを特徴とする
インクジェットヘッド。