JPH1068889A - 顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法 - Google Patents

顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法

Info

Publication number
JPH1068889A
JPH1068889A JP9160631A JP16063197A JPH1068889A JP H1068889 A JPH1068889 A JP H1068889A JP 9160631 A JP9160631 A JP 9160631A JP 16063197 A JP16063197 A JP 16063197A JP H1068889 A JPH1068889 A JP H1068889A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pulse
optical
laser
optical arrangement
diffraction grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9160631A
Other languages
English (en)
Inventor
Ulrich Dr Simon
ウルリッヒ シモン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Carl Zeiss Jena GmbH
Original Assignee
VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7796087&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH1068889(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by VEB Carl Zeiss Jena GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Publication of JPH1068889A publication Critical patent/JPH1068889A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4246Bidirectionally operating package structures
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0064Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • G02B21/0084Details of detection or image processing, including general computer control time-scale detection, e.g. strobed, ultra-fast, heterodyne detection
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4206Optical features
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/292Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection by controlled diffraction or phased-array beam steering
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0057Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 2光束顕微鏡において、短パルスレーザの共
焦点光路への結合の改善。 【解決手段】 回折格子あるいはプリズムもしくはこれ
らの組み合わせにより光ファイバ進入パルスを、レーザ
出口のパルス形およびパルス長と一致するように調整し
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は共焦点顕微鏡光路に
おける、特にレーザ走査型顕微鏡の光学配置における、
短パルスレーザビームの結合に関する。
【0002】
【従来の技術】短パルスレーザの使用は、2光束レーザ
顕微鏡の場合によく知られた米国特許第5034613
号以来である。
【0003】光ファイバを経て共焦点走査光路に結合さ
れるレーザ光源の光は、米国特許第5181053号に
より知られている。
【0004】通常短パルスは分散媒体を通過の際、群速
度分散(GVD)の現象に基づいて、そのパルス持続時
間の延長を生ずる。その上、媒体中では、短パルスと共
に現れる高いパルス最高出力および強度により、例えば
短パルスのスペクトル構成が影響し、自己位相変調、ブ
リリュアン散乱、ラマン散乱等のような非線形光学現象
が実際に重要になる。
【0005】「生物学共焦点顕微鏡観察のハンドブッ
ク」447、448頁において、プリズムまたは回折格
子によって光学ガラスのGVDが補償されることが記載
されている。これが複雑な調整問題およびエネルギー損
失のための改良を確かにもたらすものか否かは疑問であ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、例えば2光束
顕微鏡において、短パルスレーザの共焦点光路への有利
な結合を課題とするものである。
【0007】この課題は請求項1の特徴によって解決さ
れる。
【0008】好ましい継続的形成は従属請求項の対象で
ある。
【0009】本発明は光ファイバを用いるレーザ走査型
顕微鏡において、特に短パルスレーザ(ピコ秒からフェ
ムト秒までのパルス幅)との結合を改善するものであ
る。
【0010】これは励起源として短パルスレーザを使用
する2光束顕微鏡及び時間位置分解顕微鏡において有効
であり、そこではこの技術は、例えば光学的構造の高い
柔軟性、高いレーザ光指向安定性およびレーザ光の高品
質、特に単一モードファイバシステムの結合の場合のよ
うなファイバ結合の全ての長所に役立つ。
【0011】本発明によって、特に光ファイバへの進入
前の好適なパルスは、研究すべき試料におけるパルス形
及びパルス長が、レーザ出口のそれと一致するように準
備されている。これによって短パルスの使用と光ファイ
バの使用の長所が組み合わされる。妨げとなる光ファイ
バを含む分散媒体の存在により生じる短パルスの異なる
スペクトル分布の走行時間差で、GVD及び全光学系の
分散が高度に補償できる。
【0012】
【発明の実施の態様】本装置は、この分布に対して効果
的な短縮光路によって、短パルスの緩やかなスペクトル
分布に時間的優位性を与える。
【0013】この装置は、実施例に示すように、プリズ
ムまたは回折格子配置、もしくは両方の組合せ、および
両者と反射要素との組合せを含むことによって、技術的
に実現される。
【0014】さらに短パルスが光ファイバに入る前に、
負のGVDの十分な量が印加されるので、ファイバと上
記光学系を通過することによって、試料におけるその本
来のパルス形を回復する。適応する「プレチャーピング
ユニット」を用いて、光ファイバの入口で負のGVDを
印加されたパルスによって、短パルスは時間的に著しく
広げられるので、光ファイバ内部のパルスピーク出力と
強度が、非線形現象の出現に対して臨界値を有する。そ
れによって光ファイバを通過する際、短パルスのスペク
トル構成を変えることなくその時間的形を保証する。De
mtroeder著「レーザ−スペクトロスコピー」Springer社
刊、1991年発行、418 頁以下を参照、光学的パルス圧縮
の際、記述された「自己位相変調」はこれまで都合よく
は現われなかった。
【0015】単一モード光ファイバを使用する際に、特
に、空間的フィルタとしてのファイバの効果に基づい
て、試料におけるレーザ光の空間的ビームプロフィル
は、励起レーザのレーザ出口においてそれを改良するこ
とができる。
【0016】これは特に励起光の収束性の良好さとそれ
に続く2光束励起確率の高さがきれいなレーザビームプ
ロフィルを必要とする2光束顕微鏡のような技術に対し
て有効である。
【0017】短パルスの伝送のために組み込まれる光フ
ァイバ自身を通って、同時に他のレーザがレーザ走査型
顕微鏡内で結合される。多くのレーザで同一対象点が、
同時にまたは時間的に前後して照射される。短パルスと
共に励起レーザビームプロフィルの空間的フィルタによ
る絞りのために、もっぱら回折を制限された収束と結合
した単一モード光ファイバまたは多モード光ファイバを
使用することによって、励起レーザビームのより良い収
束性およびそれと共により高い分解能または高い2光束
励起確率が可能になる。これにより、短パルスレーザと
結合するビーム指向安定性を改善できる。これは特に、
レーザ走査顕微鏡の後調整を必要とせずに、一般に複雑
で調整のわずらわしい短パルスレーザの最適化を可能に
し、その後光ファイバのカップリング効果を最大にする
だけで顕微鏡内部のビーム進行が不変に保たれる。
【0018】
【実施例】次に本発明をは図に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。
【0019】図1は、例えば約100fsのパルス幅を
有するチタン‐サファイアレーザを光源1とし、短パル
スのレーザ光源の光は、ここに4個の回折格子 2.1, 2.
2,2.3, 2,4からなる「プレチャーピングユニット」PU2
中に達する。わかりやすいように単一のパルスIとして
示してある。最初の回折格子2.1 における波長回折によ
って、回折格子2.2 に視準され、同時に回折格子2.3 に
より光線径および平行性に関する光線強度比の回復がさ
れ、赤色光成分よりも時間先行する青色光成分を、回折
格子2.4 で受けとる。ここを通った時間的に分布するレ
ーザパルスI’が、光路中の結合要素3および単一モー
ドファイバ4を通って、共焦点走査型顕微鏡5に達す
る。共焦点走査型顕微鏡5は、概略を図に示してあるよ
うにピンホール5.2 を有する連結レンズ5.1、半透過鏡
5.3、X−Y走査ユニット5.4、結像レンズ5.5、試料5.
6、結像レンズ5.7、ピンホール5.8および検出器5.9から
なっている。
【0020】図2では、PU2 中の回折格子2.1〜2.4の代
わりに4個のプリズム6.1、6.2、 6.3,6.4を備えてお
り、連続する視準および光線集中により、回折格子2.1
〜2.4と同様のスペクトル分解をもたらす。それぞれ備
えている4個の回折格子またはプリズムの代りに、図示
していないがいずれか2個の回折格子または2個のプリ
ズムと反射鏡の配置としてもよいが、それは反射鏡にお
ける反射の後のビーム進行の逆方向の進行が加わり、そ
れに伴って回折格子‐またはプリズム組合せの場合の2
倍の光路となる。多数の鏡の使用によって、さらにPU2
の数倍の光路となる。
【0021】図3では、プリズム7.1〜7.4からなるPU7
と回折格子8.1〜8.4とからなるPU8との組合せによって
目的とする効果をさらに強化できる。
【0022】特に、前述の「レーザ・スペクトロスコピ
ー」に記載された光学的パルス圧縮で、高次の分散効果
の補正ができる。
【0023】図1および図2に示した、回折格子2.1と
2.4、および回折格子2.2と2.3の間隔、またはプリズム
6.1と6.4、およびプリズム6.2と6.3の間隔の拡大によっ
て、また示された矢の方向に沿った回折格子2.2、2.3ま
たは6.2、6.3の移動によって、スペクトルの光路差が調
節可能に拡大され、間隔を縮小することによって縮小さ
れる。
【0024】その例をここにそれぞれ回折格子、または
プリズム2.2、2.3、6.2、6.3の第二の位置を点線で描い
て示してある。それと共にパルス幅の調節が可能で、光
ファイバから生ずる走行時間差が補償されるだけでな
く、しかもそれ以上に走行時間差が最適に調整でき、特
に共焦点顕微鏡の光路中の例えば対物レンズ、特に大き
い数値の口径の走査対物レンズ、鏡胴レンズ、および他
のガラスからなる光学素子に基因する広い分散媒体によ
る走行時間差を調整できる。
【0025】図示された矢の方向に沿った回折格子また
はプリズムの移動は、ここには示されていないが、専門
的には普通の公知の方法であり、手動または電動で方向
を定めて、行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】多数の回折格子の結合を有する走査型顕微鏡の
光学配置の概略図
【図2】多数のプリズムの結合を有する走査型顕微鏡の
光学配置の概略図
【図3】回折格子とプリズムの結合を有する走査型顕微
鏡の光学配置の概略図
【符号の説明】
1 レーザ光源 2.1〜2.4 回折格子 3 結合要素 4 単一モードファイバー 5 共焦点走査型顕微鏡 5.1 連結レンズ 5.2 ピンホール 5.3 半透過鏡 5.4 X−Y走査ユニット 5.5 結像レンズ 5.6 試料 5.7 結像レンズ 5.8 ピンホール 5.9 検出器 6.1〜6.4 プリズム 7.2〜7.4 プリズム 8.1〜8.4 回折格子

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一つのレーザ光の後方に配置
    された光ファイバにより結合が得られることを特徴とす
    る顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための
    装置。
  2. 【請求項2】 共焦点光路中で結合が得られ、対象物上
    にファイバ末端が写されることを特徴とする請求項1に
    記載の装置。
  3. 【請求項3】 顕微鏡がレーザ走査型顕微鏡であること
    を特徴とする請求項2に記載の装置。
  4. 【請求項4】 少なくとも一つの単一モードファイバを
    経て結合が得られることを特徴とする請求項1から3の
    少なくとも一つに記載の装置。
  5. 【請求項5】 レーザと光ファイバの間にレーザパルス
    の波長による時間的変化の調整のための光学的配置が備
    えられていることを特徴とする請求項1から4の少なく
    とも一つに記載の装置。
  6. 【請求項6】 光学的配置が少なくとも2個のプリズム
    から成ることを特徴とする請求項1から5の少なくとも
    一つに記載の装置。
  7. 【請求項7】 光学的配置が少なくとも2個の回折格子
    から成ることを特徴とする請求項1から5の少なくとも
    一つに記載の装置。
  8. 【請求項8】 光学的配置が一つのプリズムと回折格子
    の組合せから成ることを特徴とする請求項1から5の少
    なくとも一つに記載の装置。
  9. 【請求項9】 光学的配置が4個のプリズムまたは回折
    格子から成ることを特徴とする請求項1から5の少なく
    とも一つに記載の装置。
  10. 【請求項10】 プリズムまたは回折格子が反射鏡と組
    み合わされることを特徴とする請求項1から9の少なく
    とも一つに記載の装置。
  11. 【請求項11】 レーザパルスの異なる波長の時間的差
    異が光学的配置によって調整可能であることを特徴とす
    る請求項1から10の少なくとも一つに記載の装置。
  12. 【請求項12】 光学的配置の要素の間の間隔が調節可
    能であることを特徴とする請求項11に記載の装置。
  13. 【請求項13】 光学的配置のプリズムまたは鏡の間の
    間隔が調節可能であることを特徴とする請求項12に記
    載の装置。
  14. 【請求項14】 光ファイバ上で同時にまたは時間的に
    ずらして、短パルスビームとならんで広いレーザ光源の
    光が結合されることを特徴とする請求項1から13の少
    なくとも一つに記載の装置。
  15. 【請求項15】 少なくとも一つの光ファイバに関して
    顕微鏡の光路中の短パルスレーザビームのためのプリズ
    ムおよびまたは回折格子から成る一つの結合要素の調整
    のための方法であって、相互の間隔を変えるために、調
    整のための前記結合要素の少なくとも一つのプリズムお
    よびまたは回折格子が移動されることを特徴とする結合
    要素の調整のための方法。
JP9160631A 1996-06-04 1997-06-04 顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法 Pending JPH1068889A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19622359A DE19622359B4 (de) 1996-06-04 1996-06-04 Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
DE19622359.8 1997-10-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1068889A true JPH1068889A (ja) 1998-03-10

Family

ID=7796087

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9160631A Pending JPH1068889A (ja) 1996-06-04 1997-06-04 顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法
JP28462598A Expired - Lifetime JP4336787B2 (ja) 1996-06-04 1998-10-06 短パルスレーザビームを顕微鏡ビーム行程へ結合するための装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28462598A Expired - Lifetime JP4336787B2 (ja) 1996-06-04 1998-10-06 短パルスレーザビームを顕微鏡ビーム行程へ結合するための装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6178041B1 (ja)
JP (2) JPH1068889A (ja)
DE (1) DE19622359B4 (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206415A (ja) * 1998-06-18 2000-07-28 Carl Zeiss Jena Gmbh 短パルスレ―ザ―を分散する光ファイバ―を有する顕微鏡
JP2000347229A (ja) * 1999-04-27 2000-12-15 Carl Zeiss Jena Gmbh 顕微鏡における短パルスレーザーのレーザー出力および/またはパルス幅調整のための配置
JP2001066253A (ja) * 1999-06-30 2001-03-16 Carl Zeiss Jena Gmbh レーザ走査顕微鏡におけるパルス形態の最適化のためのシステム
JP2002048980A (ja) * 2000-06-17 2002-02-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 走査顕微鏡
JP2002055283A (ja) * 2000-06-17 2002-02-20 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh マルチバンド照明型走査顕微鏡およびその光学要素
JP2002082286A (ja) * 2000-06-17 2002-03-22 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 照明装置
JP2006510886A (ja) * 2002-12-19 2006-03-30 カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 試料の光学的検査および/または光学的加工のための方法および配置
JP2006229080A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Olympus Corp 超短パルスレーザ伝達装置
JP2008517291A (ja) * 2004-10-22 2008-05-22 マウナ ケア テクノロジーズ 検体のファイバ式マルチフォトン式顕微鏡イメージング装置および方法
JP2008534990A (ja) * 2005-01-16 2008-08-28 ベア,ステフェン,シー 単一波長誘導放出制御顕微鏡法
JP2010102345A (ja) * 2000-06-17 2010-05-06 Leica Microsystems Cms Gmbh 対象物の照明方法および装置
JP2018156072A (ja) * 2017-03-07 2018-10-04 イラミーナ インコーポレーテッド 光源配置を用いてフォーカストラッキングが改善したシステム及び方法
US10666872B2 (en) 2017-03-07 2020-05-26 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using a hybrid mode light source
US11125988B2 (en) 2017-03-07 2021-09-21 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using blocking structures

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6771417B1 (en) * 1997-08-01 2004-08-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Applications of adaptive optics in microscopy
DE19733195B4 (de) * 1997-08-01 2006-04-06 Carl Zeiss Jena Gmbh Hoch-Kompaktes Laser Scanning Mikroskop mit integriertem Kurzpuls Laser
US6855941B1 (en) * 1998-03-11 2005-02-15 Olympus Optical Co., Ltd. Laser microscope
DE19829953B4 (de) * 1998-07-04 2016-09-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE19833025C2 (de) * 1998-07-23 2001-07-05 Leica Microsystems Optische Anordnung zur Übertragung kurzer Laserpulse in Lichtleitfasern
CA2398029A1 (en) 2000-02-08 2001-08-16 Cornell Research Foundation, Inc. Multiphoton excitation through optical fibers for fluorescence spectroscopy
US6885683B1 (en) 2000-05-23 2005-04-26 Imra America, Inc. Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source
US6898367B2 (en) 2000-06-17 2005-05-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and instrument for microscopy
ATE313096T1 (de) * 2000-06-17 2005-12-15 Leica Microsystems Anordnung zum untersuchen mikroskopischer präparate mit einem scanmikroskop
EP1164406B1 (de) * 2000-06-17 2019-04-17 Leica Microsystems CMS GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
DE20122783U1 (de) 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
JP4693972B2 (ja) * 2000-09-29 2011-06-01 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
DE60128138T2 (de) 2000-11-02 2008-01-03 Cornell Research Foundation, Inc. In vivo multiphoton diagnostische detektion und bilddarstellung einer neurodegenerativen erkrankung
US7450618B2 (en) * 2001-01-30 2008-11-11 Board Of Trustees Operating Michigan State University Laser system using ultrashort laser pulses
US8208505B2 (en) 2001-01-30 2012-06-26 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser system employing harmonic generation
US7567596B2 (en) * 2001-01-30 2009-07-28 Board Of Trustees Of Michigan State University Control system and apparatus for use with ultra-fast laser
US7583710B2 (en) * 2001-01-30 2009-09-01 Board Of Trustees Operating Michigan State University Laser and environmental monitoring system
JP4845279B2 (ja) * 2001-02-09 2011-12-28 オリンパス株式会社 生体機能測定方法
FR2828024A1 (fr) * 2001-07-27 2003-01-31 Eric Mottay Source laser compacte ultrabreve a spectre large
JP3757854B2 (ja) * 2001-12-06 2006-03-22 株式会社島津製作所 複数の蛍光物質を含む試料の分析方法及び装置
US20040105678A1 (en) * 2002-11-29 2004-06-03 Xiang-Dong Cao Method and apparatus for providing simultaneous channel power equalization and monitoring
DE102004009068B4 (de) * 2003-02-25 2007-05-24 Toptica Photonics Ag Faseroptische Verstärkung von Lichtimpulsen
DE10319776A1 (de) * 2003-04-30 2004-11-18 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zur spektralen Selektion und Detektion der Spektralbereiche eines Lichtstrahls
US7351241B2 (en) 2003-06-02 2008-04-01 Carl Zeiss Meditec Ag Method and apparatus for precision working of material
CA2535843A1 (en) * 2003-08-19 2005-06-23 Cornell Research Foundation, Inc. Optical fiber delivery and collection system for biological applications such as multiphoton microscopy, spectroscopy, and endoscopy
US7277640B2 (en) * 2003-11-18 2007-10-02 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte Ltd Optical add/drop multiplexing systems
US7457331B2 (en) 2004-10-29 2008-11-25 Leica Microsystems Cms Gmbh Optical arrangement
DE102004052955B4 (de) * 2004-10-29 2014-02-13 Leica Microsystems Cms Gmbh Optische Anordnung
DE102004063692B3 (de) * 2004-12-28 2006-05-11 Georg-August-Universität Göttingen Positioniereinrichtung
WO2006088841A1 (en) * 2005-02-14 2006-08-24 Board Of Trustees Of Michigan State University Ultra-fast laser system
JP4869734B2 (ja) * 2005-04-25 2012-02-08 オリンパス株式会社 多光子励起走査型レーザ顕微鏡
US8618470B2 (en) * 2005-11-30 2013-12-31 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser based identification of molecular characteristics
DE102006017705B4 (de) * 2006-04-15 2010-01-07 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter und Laserscanning-Mikroskop
JP5248804B2 (ja) * 2007-04-20 2013-07-31 オリンパス株式会社 超短光パルスの光ファイバ伝送装置、およびこれを有する光学システム
JP5307439B2 (ja) * 2007-04-23 2013-10-02 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
JP5203063B2 (ja) 2008-06-24 2013-06-05 オリンパス株式会社 多光子励起測定装置
US8861075B2 (en) 2009-03-05 2014-10-14 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser amplification system
DE102009029831A1 (de) 2009-06-17 2011-01-13 W.O.M. World Of Medicine Ag Vorrichtung und Verfahren für die Mehr-Photonen-Fluoreszenzmikroskopie zur Gewinnung von Informationen aus biologischem Gewebe
JP5637669B2 (ja) * 2009-09-01 2014-12-10 浜松ホトニクス株式会社 パルス幅変換装置および光増幅システム
US8630322B2 (en) * 2010-03-01 2014-01-14 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser system for output manipulation
DE102010037190B4 (de) 2010-08-27 2015-11-26 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zum zeitlichen Verschieben von Weißlichtlaserpulsen
JP5860647B2 (ja) * 2011-03-16 2016-02-16 オリンパス株式会社 非線形光学装置、多光子顕微鏡および内視鏡
CN102621765A (zh) * 2012-03-28 2012-08-01 中国科学院物理研究所 基于色散预补偿的飞秒激光光纤分光装置
JP5524381B2 (ja) * 2013-03-29 2014-06-18 浜松ホトニクス株式会社 パルス幅変換装置および光増幅システム
JP2017513211A (ja) 2014-02-28 2017-05-25 イムラ アメリカ インコーポレイテッド 顕微鏡に適用される多波長超短パルスの生成及び放出
CN106483103A (zh) * 2016-12-01 2017-03-08 上海电机学院 一种高空间分辨的超快过程成像装置
JP2019207338A (ja) 2018-05-30 2019-12-05 オリンパス株式会社 観察装置、対物レンズ
CN110966930B (zh) * 2019-11-20 2020-11-03 北京理工大学 飞秒激光加工形态参数时间分辨差动共焦测量方法及装置
CN110966931B (zh) * 2019-11-20 2020-09-29 北京理工大学 一种飞秒激光加工形态参数时间分辨共焦测量方法及装置
CN117517319B (zh) * 2023-10-31 2025-07-04 哈尔滨工业大学 基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3741622A (en) * 1971-08-04 1973-06-26 Austin Co Variable magnification optical system
US4127828A (en) * 1976-04-12 1978-11-28 Molectron Corporation Optical beam expander for dye laser
US4255718A (en) * 1978-05-22 1981-03-10 Quanta-Ray, Inc. Transversely pumped dye laser having improved conversion efficiency
US4655547A (en) * 1985-04-09 1987-04-07 Bell Communications Research, Inc. Shaping optical pulses by amplitude and phase masking
US4685107A (en) * 1986-06-09 1987-08-04 Spectra-Physics, Inc. Dispersion compensated fiber Raman oscillator
EP0426748A1 (en) * 1988-07-29 1991-05-15 Edinburgh Instruments Ltd. Electro-optical measuring instruments
CA1325537C (en) * 1988-08-01 1993-12-28 Timothy Peter Dabbs Confocal microscope
JP2505892B2 (ja) * 1989-08-03 1996-06-12 浜松ホトニクス株式会社 パラメトリツクパルスレ―ザ
US5034613A (en) * 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
GB9003097D0 (en) * 1990-02-12 1990-04-11 Scient Generics Ltd Solid state laser diode light source
JP2613118B2 (ja) * 1990-04-10 1997-05-21 富士写真フイルム株式会社 共焦点走査型顕微鏡
US5084617A (en) * 1990-05-17 1992-01-28 Conoco Inc. Fluorescence sensing apparatus for determining presence of native hydrocarbons from drilling mud
US5101456A (en) * 1990-11-07 1992-03-31 At&T Bell Laboratories Predistortion apparatus for optical logic device
US5321501A (en) * 1991-04-29 1994-06-14 Massachusetts Institute Of Technology Method and apparatus for optical imaging with means for controlling the longitudinal range of the sample
US5687264A (en) * 1995-08-24 1997-11-11 Sandia Corporation Apparatus for injecting high power laser light into a fiber optic cable
US5862287A (en) * 1996-12-13 1999-01-19 Imra America, Inc. Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power
US5995281A (en) * 1997-04-09 1999-11-30 Carl Zeiss Jena Gmbh Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206415A (ja) * 1998-06-18 2000-07-28 Carl Zeiss Jena Gmbh 短パルスレ―ザ―を分散する光ファイバ―を有する顕微鏡
JP2000347229A (ja) * 1999-04-27 2000-12-15 Carl Zeiss Jena Gmbh 顕微鏡における短パルスレーザーのレーザー出力および/またはパルス幅調整のための配置
JP2001066253A (ja) * 1999-06-30 2001-03-16 Carl Zeiss Jena Gmbh レーザ走査顕微鏡におけるパルス形態の最適化のためのシステム
JP2002048980A (ja) * 2000-06-17 2002-02-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 走査顕微鏡
JP2002055283A (ja) * 2000-06-17 2002-02-20 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh マルチバンド照明型走査顕微鏡およびその光学要素
JP2002082286A (ja) * 2000-06-17 2002-03-22 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 照明装置
JP2010102345A (ja) * 2000-06-17 2010-05-06 Leica Microsystems Cms Gmbh 対象物の照明方法および装置
JP2006510886A (ja) * 2002-12-19 2006-03-30 カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 試料の光学的検査および/または光学的加工のための方法および配置
JP2008517291A (ja) * 2004-10-22 2008-05-22 マウナ ケア テクノロジーズ 検体のファイバ式マルチフォトン式顕微鏡イメージング装置および方法
US8237131B2 (en) 2004-10-22 2012-08-07 Mauna Kea Technologies System and method for carrying out fibre-type multiphoton microscopic imaging of a sample
JP2008534990A (ja) * 2005-01-16 2008-08-28 ベア,ステフェン,シー 単一波長誘導放出制御顕微鏡法
JP2006229080A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Olympus Corp 超短パルスレーザ伝達装置
JP2018156072A (ja) * 2017-03-07 2018-10-04 イラミーナ インコーポレーテッド 光源配置を用いてフォーカストラッキングが改善したシステム及び方法
US10416428B2 (en) 2017-03-07 2019-09-17 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using a light source configuration
US10666872B2 (en) 2017-03-07 2020-05-26 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using a hybrid mode light source
US11125988B2 (en) 2017-03-07 2021-09-21 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using blocking structures
US11143856B2 (en) 2017-03-07 2021-10-12 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using a light source configuration
US11190706B2 (en) 2017-03-07 2021-11-30 Illumina, Inc. Systems and methods for improved focus tracking using a hybrid mode light source

Also Published As

Publication number Publication date
DE19622359A1 (de) 1997-12-11
US6178041B1 (en) 2001-01-23
DE19622359B4 (de) 2007-11-22
JPH11218490A (ja) 1999-08-10
JP4336787B2 (ja) 2009-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1068889A (ja) 顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法
US5995281A (en) Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope
US6611643B2 (en) Illuminating device and microscope
US6796699B2 (en) Laser illuminator and method
EP0852716B1 (en) Multi-photon laser microscopy
US7466885B2 (en) Light source comprising a plurality of microstructured optical elements
US9588326B2 (en) Confocal incident-light scanning microscope with means for frequency conversion
US6898367B2 (en) Method and instrument for microscopy
US20050078363A1 (en) Scanning microscope
US6269206B1 (en) Microscope with a short pulse laser which is coupled in via a light-conducting fiber
US7474462B2 (en) Microscope with evanescent wave illumination
JP4560243B2 (ja) 顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置構造および走査顕微鏡のための照明装置
JPH11149045A (ja) 組込み短パルスレーザをもつハイコンパクトレーザ走査型顕微鏡
US6958858B2 (en) Method for scanning microscopy; and scanning microscope
GB2338568A (en) Endoscopes and microscopes
JP5228168B2 (ja) 試料の光学的検査のための方法および装置
Müller et al. Construction and performance of a custom-built two-photon laser scanning system
DE29609850U1 (de) Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
Brideau et al. Dispersion control considerations for multiphoton and non-linear laser microscopy applications
TW201812383A (zh) 用於在時間上拉伸/壓縮光學脈衝的空間啁啾腔
Brideau et al. Dispersion control considerations for multiphoton and non-linear laser-scanning microscopy applications
Dickinson et al. Multiphoton Laser Scanning Microscopy
GB2353369A (en) Endoscopes and microscopes
Kim et al. A custom-built two-photon microscope based on a mode-locked Yb3+ doped fiber laser
GB2361314A (en) Endoscope or microscope with photodetector

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040402

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070719

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070731

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071022

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071101

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071204

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080326

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080421

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20080509

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090723

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090728

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091019