JPH1068916A - 光導波路デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
光導波路デバイスおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH1068916A JPH1068916A JP8245660A JP24566096A JPH1068916A JP H1068916 A JPH1068916 A JP H1068916A JP 8245660 A JP8245660 A JP 8245660A JP 24566096 A JP24566096 A JP 24566096A JP H1068916 A JPH1068916 A JP H1068916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- optical
- face
- optical fiber
- waveguide device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光導波路素子と光ファイバの接合部での反射
による戻り光を低減し、かかる反射戻り光が光ファイバ
を通って光源に入射することを排除し、信頼性を維持す
る光導波路デバイス、および同一の光導波路基板素材か
ら複数の光導波路素子の有効な取得を含む光導波路デバ
イスの製造方法を提供すること。 【解決手段】 入射光導波路又は出射光導波路４の少な
くとも一端面は、光導波路素子の厚さ方向に傾斜し、端
面と光導波路が形成された面は、垂直から有限な角度α
をなし、光導波路の端面に接合される光ファイバ６と光
ファイバ６の端面の法線ａは、光導波路素子の厚さ方向
に有限の角度βをなし、かつ二つの有限の角度α，βの
正弦値の比は、光導波路および光ファイバの屈折率の比
に逆比例するように形成される。
による戻り光を低減し、かかる反射戻り光が光ファイバ
を通って光源に入射することを排除し、信頼性を維持す
る光導波路デバイス、および同一の光導波路基板素材か
ら複数の光導波路素子の有効な取得を含む光導波路デバ
イスの製造方法を提供すること。 【解決手段】 入射光導波路又は出射光導波路４の少な
くとも一端面は、光導波路素子の厚さ方向に傾斜し、端
面と光導波路が形成された面は、垂直から有限な角度α
をなし、光導波路の端面に接合される光ファイバ６と光
ファイバ６の端面の法線ａは、光導波路素子の厚さ方向
に有限の角度βをなし、かつ二つの有限の角度α，βの
正弦値の比は、光導波路および光ファイバの屈折率の比
に逆比例するように形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学効果を示
す基板に形成された光導波路を利用した光変調器、光電
界センサ等から構成される光導波路デバイスに関する。
す基板に形成された光導波路を利用した光変調器、光電
界センサ等から構成される光導波路デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】光変調器、光電界センサ等のデバイスに
使われる光導波路素子には、電気光学効果を示すニオブ
酸リチウム等の材料が基板として用いられる。
使われる光導波路素子には、電気光学効果を示すニオブ
酸リチウム等の材料が基板として用いられる。
【０００３】光導波路素子は、前記ニオブ酸リチウム結
晶からなる基板上にＴｉの熱拡散によって分岐干渉型光
導波路を形成し、さらに分岐干渉型光導波路の位相シフ
ト光導波路の近傍に変調電極を形成して製作される。
晶からなる基板上にＴｉの熱拡散によって分岐干渉型光
導波路を形成し、さらに分岐干渉型光導波路の位相シフ
ト光導波路の近傍に変調電極を形成して製作される。
【０００４】通常、このような光導波路素子の各パター
ンは、一枚の基板上に複数個並べて形成され、基板を方
形上に切断して、一枚の基板から一度に多くの素子が得
られる。
ンは、一枚の基板上に複数個並べて形成され、基板を方
形上に切断して、一枚の基板から一度に多くの素子が得
られる。
【０００５】光導波路素子を製作する技術には、蒸着あ
るいはスパッタリング技術、フォトリソグラフィー技
術、微細加工技術等の半導体技術を用いる。
るいはスパッタリング技術、フォトリソグラフィー技
術、微細加工技術等の半導体技術を用いる。
【０００６】図３は、このようにして作製された光導波
路素子を光変調器として、電気信号から光強度信号への
変調機能を有する光変調装置の構成概略を示す図であ
る。
路素子を光変調器として、電気信号から光強度信号への
変調機能を有する光変調装置の構成概略を示す図であ
る。
【０００７】図３において、光変調器２１の入力電気信
号は、光源２２から光ファイバ２３等を経由して導かれ
た光の強度信号に変調され、入射光と同じ光ファイバ２
３を反対方向に伝播し、光方向性分離器のひとつである
光サーキュレータ２４によって受光器２５に導かれる。
号は、光源２２から光ファイバ２３等を経由して導かれ
た光の強度信号に変調され、入射光と同じ光ファイバ２
３を反対方向に伝播し、光方向性分離器のひとつである
光サーキュレータ２４によって受光器２５に導かれる。
【０００８】この光変調装置２７は、入力電気信号を光
信号に変換し、光信号は光ファイバを伝送されるため、
伝送経路とその周囲との間に、誘導によるノイズの授受
や信号の漏洩がなく、また伝送損失が小さいため遠隔伝
送を可能とするなどの特徴がある。
信号に変換し、光信号は光ファイバを伝送されるため、
伝送経路とその周囲との間に、誘導によるノイズの授受
や信号の漏洩がなく、また伝送損失が小さいため遠隔伝
送を可能とするなどの特徴がある。
【０００９】図４は、同様に、光導波路素子をセンサヘ
ッドとして、光変調機能を応用して電界を検出する光電
界センサの構成概略を示す図である。
ッドとして、光変調機能を応用して電界を検出する光電
界センサの構成概略を示す図である。
【００１０】光電界センサは、センサヘッド３１の変調
電極５に接続するダイポールアンテナ３２などによって
とらえた電界を、前記光変調器と同様の原理によって検
出する。
電極５に接続するダイポールアンテナ３２などによって
とらえた電界を、前記光変調器と同様の原理によって検
出する。
【００１１】光変調器およびセンサヘッド３１等からな
る光導波路素子は、ともに入射光ファイバ２３ａ、およ
び出射光ファイバ２３ｂとそれぞれ接合されている。
る光導波路素子は、ともに入射光ファイバ２３ａ、およ
び出射光ファイバ２３ｂとそれぞれ接合されている。
【００１２】光源２２から出射された入射光は、入射光
ファイバ２３ａを経由してセンサヘッド３１や光変調器
等に入射され、またセンサヘッド３１や光変調器等から
の出射光は、同様に出射光ファイバ２３ｂを経由して、
受光器２５に向けて伝送される。
ファイバ２３ａを経由してセンサヘッド３１や光変調器
等に入射され、またセンサヘッド３１や光変調器等から
の出射光は、同様に出射光ファイバ２３ｂを経由して、
受光器２５に向けて伝送される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、通常
光導波路素子は、製造上の理由から長方形に加工され、
入射光導波路とその端面は垂直となっている。他方、光
ファイバも、その端面は垂直に形成されている場合が多
い。このため、入射光導波路の端面と光ファイバとの接
合部では、光は光ファイバの端面で、あるいは光導波路
の端面で、それぞれ一部反射し、反射光は再び光ファイ
バを伝わって光源に戻り、光源の動作不安定を招く原因
となっていた。
光導波路素子は、製造上の理由から長方形に加工され、
入射光導波路とその端面は垂直となっている。他方、光
ファイバも、その端面は垂直に形成されている場合が多
い。このため、入射光導波路の端面と光ファイバとの接
合部では、光は光ファイバの端面で、あるいは光導波路
の端面で、それぞれ一部反射し、反射光は再び光ファイ
バを伝わって光源に戻り、光源の動作不安定を招く原因
となっていた。
【００１４】本発明の課題は、これら光導波路素子と光
ファイバの接合部での反射による戻り光を低減し、かか
る反射戻り光が光ファイバを通って光源に入射すること
を排除し、信頼性を維持する光導波路デバイス、および
同一の光導波路基板素材から複数の光導波路素子の有効
な取得を含む光導波路デバイスの製造方法を提供するこ
とにある。
ファイバの接合部での反射による戻り光を低減し、かか
る反射戻り光が光ファイバを通って光源に入射すること
を排除し、信頼性を維持する光導波路デバイス、および
同一の光導波路基板素材から複数の光導波路素子の有効
な取得を含む光導波路デバイスの製造方法を提供するこ
とにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、電気光学効果を示す基板上に形成した
分岐干渉型光導波路から構成される光導波路素子、およ
び光導波路素子に接合し、光導波路素子の光導波路に光
を入射し、または光導波路からの出射光を伝達する光フ
ァイバからなる光導波路デバイスにおいて、光導波路の
少なくとも一端面は、光導波路素子の厚さ方向に傾斜
し、端面と光導波路が形成された面は、垂直から有限な
角度をなし、光導波路の端面に接合される光ファイバと
光ファイバ端面の法線は、光導波路素子の厚さ方向に有
限の角度をなし、かつ二つの有限の角度の正弦値の比
は、光導波路および光ファイバの屈折率の比に逆比例す
るように形成されている光導波路デバイスである。
に、本発明は、電気光学効果を示す基板上に形成した
分岐干渉型光導波路から構成される光導波路素子、およ
び光導波路素子に接合し、光導波路素子の光導波路に光
を入射し、または光導波路からの出射光を伝達する光フ
ァイバからなる光導波路デバイスにおいて、光導波路の
少なくとも一端面は、光導波路素子の厚さ方向に傾斜
し、端面と光導波路が形成された面は、垂直から有限な
角度をなし、光導波路の端面に接合される光ファイバと
光ファイバ端面の法線は、光導波路素子の厚さ方向に有
限の角度をなし、かつ二つの有限の角度の正弦値の比
は、光導波路および光ファイバの屈折率の比に逆比例す
るように形成されている光導波路デバイスである。
【００１６】本発明は、前記の光導波路デバイスを実
現するために、同一の基板素材上に、同一かつ複数の
分岐干渉型光導波路を平行に形成し、基板素材を、複数
の分岐干渉型光導波路に沿って平行に切断するととも
に、切断によって形成される各辺に隣接する前記光導波
路の少なくとも一方の端面を、基板素材の厚さ方向に傾
斜し、端面と光導波路が形成された面が、有限の角度を
なすように形成する光導波路デバイスの製造方法を提供
する。
現するために、同一の基板素材上に、同一かつ複数の
分岐干渉型光導波路を平行に形成し、基板素材を、複数
の分岐干渉型光導波路に沿って平行に切断するととも
に、切断によって形成される各辺に隣接する前記光導波
路の少なくとも一方の端面を、基板素材の厚さ方向に傾
斜し、端面と光導波路が形成された面が、有限の角度を
なすように形成する光導波路デバイスの製造方法を提供
する。
【００１７】更に、本発明は、前記，の光導波路デ
バイスを実現するために、光導波路の少なくとも一端
面を、光導波路素子の厚さ方向に傾斜し、端面と光導波
路とによって形成された面が有限の角度をなし、光導波
路の端面に接合される光ファイバと光ファイバ端面の法
線は、光導波路素子の厚さ方向に有限の角度をなし、か
つ、二つの有限の角度の正弦値の比は、光導波路および
光ファイバの屈折率の比に逆比例するように形成する形
成する光導波路デバイスの製造方法を提供する。
バイスを実現するために、光導波路の少なくとも一端
面を、光導波路素子の厚さ方向に傾斜し、端面と光導波
路とによって形成された面が有限の角度をなし、光導波
路の端面に接合される光ファイバと光ファイバ端面の法
線は、光導波路素子の厚さ方向に有限の角度をなし、か
つ、二つの有限の角度の正弦値の比は、光導波路および
光ファイバの屈折率の比に逆比例するように形成する形
成する光導波路デバイスの製造方法を提供する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。
て、図面を用いて説明する。
【００１９】図１は、光導波路素子に光ファイバが結合
された光導波路デバイスを示す説明図である。図１
（ａ）、図１（ｂ）は、光ファイバ６を接合した光導波
路デバイスのそれぞれ平面図および側面図を示し、図１
（ｃ）は、図１（ｂ）の側面図の各端面の法線および光
ファイバの方向を示す各補助線を付して示したＤの拡大
側面図である。ａは端面１０の法線、ｂはフェルール８
の方向、ｃは光導波路（基板１の上面１ａ）の方向であ
る。
された光導波路デバイスを示す説明図である。図１
（ａ）、図１（ｂ）は、光ファイバ６を接合した光導波
路デバイスのそれぞれ平面図および側面図を示し、図１
（ｃ）は、図１（ｂ）の側面図の各端面の法線および光
ファイバの方向を示す各補助線を付して示したＤの拡大
側面図である。ａは端面１０の法線、ｂはフェルール８
の方向、ｃは光導波路（基板１の上面１ａ）の方向であ
る。
【００２０】図１（ａ）の平面図では、光導波路素子
は、長方形で入射光導波路または出射光導波路４と各端
面はともに垂直になっている。図１（ｂ）の側面図で
は、光導波路端面は、光導波路が形成されている基板の
上面１ａとは垂直でなく、厚さ方向に傾斜をもってい
る。
は、長方形で入射光導波路または出射光導波路４と各端
面はともに垂直になっている。図１（ｂ）の側面図で
は、光導波路端面は、光導波路が形成されている基板の
上面１ａとは垂直でなく、厚さ方向に傾斜をもってい
る。
【００２１】図１（ｃ）では、光導波路端面の法線ａと
光導波路（基板１の上面１ａ）の方向とが交わる角度を
αとし、光導波路の端面の法線ａとフェルール８のなす
角度をβとする。両端面は一致して接続されている。
光導波路（基板１の上面１ａ）の方向とが交わる角度を
αとし、光導波路の端面の法線ａとフェルール８のなす
角度をβとする。両端面は一致して接続されている。
【００２２】光学的結合が達成されるためには、これら
の角度α、βおよびそれぞれの屈折率の間には、（１）
式で示されるように、スネルの法則が成立する。
の角度α、βおよびそれぞれの屈折率の間には、（１）
式で示されるように、スネルの法則が成立する。
【００２３】 ｓｉｎα／ｓｉｎβ＝ｎ２／ｎ１ ・・・・・・・ （１）
【００２４】ここで、ｎ１およびｎ２は、それぞれ入射
光導波路または出射光導波路、および光ファイバの屈折
率である。
光導波路または出射光導波路、および光ファイバの屈折
率である。
【００２５】以下においては、光導波路素子は、ニオブ
酸リチウム結晶からなる基板１に形成するものとし、ｎ
１＝２.２２、ｎ２＝１.５０の各値を使用した。
酸リチウム結晶からなる基板１に形成するものとし、ｎ
１＝２.２２、ｎ２＝１.５０の各値を使用した。
【００２６】光ファイバは、フェルール８を介して光導
波路の端面と光学的に結合されている。ここで、端面の
法線ａとその長さ方向、即ち基板１の上面１ａとのなす
角度βが８.０゜であるフェルール８を用いると、前記
（１）式から、αは５.４°となる。
波路の端面と光学的に結合されている。ここで、端面の
法線ａとその長さ方向、即ち基板１の上面１ａとのなす
角度βが８.０゜であるフェルール８を用いると、前記
（１）式から、αは５.４°となる。
【００２７】即ち、光導波路素子とフェルール８の接続
は、図１（ａ）の平面図上では直線状をなし、図１
（ｂ）の側面図では一定の角度をなしている。
は、図１（ａ）の平面図上では直線状をなし、図１
（ｂ）の側面図では一定の角度をなしている。
【００２８】光導波路端面の法線ａと光導波路は、側面
図において５.４゜、または−５.４゜の角度をなす。
図において５.４゜、または−５.４゜の角度をなす。
【００２９】接続されるフェルール８は、その端面の法
線ａと長さ方向が８.０゜の角度をなす。なおかつ、光
導波路と光ファイバは、これらの差分に等しい角度２.
６゜（β＝８.０゜，α＝−５.４゜）をなしている。こ
の時、これらの間には、前記スネルの法則が成立し、光
学的結合が成り立つ。
線ａと長さ方向が８.０゜の角度をなす。なおかつ、光
導波路と光ファイバは、これらの差分に等しい角度２.
６゜（β＝８.０゜，α＝−５.４゜）をなしている。こ
の時、これらの間には、前記スネルの法則が成立し、光
学的結合が成り立つ。
【００３０】
【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。
【００３１】図２は、本発明の実施例における基板素材
面に形成された複数の光導波路素子のパターンを示す図
である。
面に形成された複数の光導波路素子のパターンを示す図
である。
【００３２】ニオブ酸リチウム結晶の基板素材２上に分
岐干渉型光導波路３が形成され、各分岐干渉光導波路の
位相シフト光導波路の近傍には、金（Ａｕ）で変調電極
５を形成した。２ａは切断線を示し、この箇所を切断加
工するものである。
岐干渉型光導波路３が形成され、各分岐干渉光導波路の
位相シフト光導波路の近傍には、金（Ａｕ）で変調電極
５を形成した。２ａは切断線を示し、この箇所を切断加
工するものである。
【００３３】これらの手法は、Ｔｉ薄膜の形成、フォト
リソグラフィー技術、熱拡散、スパッタまたは蒸着技術
等によるものであり、個々の詳細な記述は省略する。
リソグラフィー技術、熱拡散、スパッタまたは蒸着技術
等によるものであり、個々の詳細な記述は省略する。
【００３４】ニオブ酸リチウム結晶の基板素材２の径は
３インチである。光導波路素子は、切断線２ａに沿って
切断される。その切断される寸法は、長さ４０ｍｍ、幅
６.０ｍｍである。切断加工代は０.２ｍｍである。以
上、述べたように、切断加工されて基板素材２上の８個
の分岐干渉光導波路３のパターンを有する光導波路素子
を得る。
３インチである。光導波路素子は、切断線２ａに沿って
切断される。その切断される寸法は、長さ４０ｍｍ、幅
６.０ｍｍである。切断加工代は０.２ｍｍである。以
上、述べたように、切断加工されて基板素材２上の８個
の分岐干渉光導波路３のパターンを有する光導波路素子
を得る。
【００３５】基板素材２と切断ブレードの間の角度は、
各セグメントに１個の分岐干渉型光導波路３が含まれる
ように、光導波路の長さ方向に垂直から５.４゜傾けて
基板素材を切断した。
各セグメントに１個の分岐干渉型光導波路３が含まれる
ように、光導波路の長さ方向に垂直から５.４゜傾けて
基板素材を切断した。
【００３６】その結果、光導波路端面は厚さ方向に傾斜
し、光導波路との角度αは側面図上で５.４゜の角度を
なす。
し、光導波路との角度αは側面図上で５.４゜の角度を
なす。
【００３７】その光導波路端面に接合されるフェルール
としては、その端面の法線と長さ方向が８゜の角度をな
すようにする。
としては、その端面の法線と長さ方向が８゜の角度をな
すようにする。
【００３８】これらの光ファイバ６と光導波路素子は、
入射光導波路または出射光導波路とフェルールが２.６
゜（β＝８.０°，α＝−５.４°）となるように角度を
調整し、紫外線硬化型接着剤を用いて接合することによ
って、光学的結合がとれた光導波路デバイスが得られ
る。
入射光導波路または出射光導波路とフェルールが２.６
゜（β＝８.０°，α＝−５.４°）となるように角度を
調整し、紫外線硬化型接着剤を用いて接合することによ
って、光学的結合がとれた光導波路デバイスが得られ
る。
【００３９】これらの角度の形成、あるいは設定角度に
接合する場合の公差は、小さいことが望ましく、０.５
°以内におさめるようにした。
接合する場合の公差は、小さいことが望ましく、０.５
°以内におさめるようにした。
【００４０】本発明は、図１に示したように、入射光導
波路および出射光導波路を有する、いわゆる透過型の光
導波路デバイスにおいては、いずれの端面においても有
効である。
波路および出射光導波路を有する、いわゆる透過型の光
導波路デバイスにおいては、いずれの端面においても有
効である。
【００４１】一端面で入射光導波路および出射光導波路
を兼ねる、いわゆる反射型においても、反射部が位相シ
フト光導波路に垂直である限り、本発明は同様に有効で
ある。
を兼ねる、いわゆる反射型においても、反射部が位相シ
フト光導波路に垂直である限り、本発明は同様に有効で
ある。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明により、光
導波路素子と光ファイバの接合部での反射による戻り光
を低減し、かかる反射戻り光が光ファイバを通って光源
に入射することを排除し、信頼性を維持する光導波路デ
バイス、および同一の光導波路基板素材から複数の光導
波路素子の有効な取得を含む光導波路デバイスの製造方
法を実現できた。
導波路素子と光ファイバの接合部での反射による戻り光
を低減し、かかる反射戻り光が光ファイバを通って光源
に入射することを排除し、信頼性を維持する光導波路デ
バイス、および同一の光導波路基板素材から複数の光導
波路素子の有効な取得を含む光導波路デバイスの製造方
法を実現できた。
【図１】光導波路素子に光ファイバが結合された光導波
路デバイスを示す説明図。図１（ａ）は、本発明の光導
波路デバイスを示す平面図。図１（ｂ）は側面図。図１
（ｃ）は図１（ｂ）のＤの拡大図。
路デバイスを示す説明図。図１（ａ）は、本発明の光導
波路デバイスを示す平面図。図１（ｂ）は側面図。図１
（ｃ）は図１（ｂ）のＤの拡大図。
【図２】本発明の実施例における基板素材面に形成され
た複数の光導波路素子のパターンを示す説明図。
た複数の光導波路素子のパターンを示す説明図。
【図３】光変調装置の構成概略を示す説明図。
【図４】光電界センサの構成概略を示す説明図。
１ 基板 １ａ 上面 ２ 基板素材 ２ａ 切断線 ３ 分岐干渉型光導波路 ４ 入射光導波路または出射光導波路 ５ 変調電極 ６ 光ファイバ ７ 反射部 ８ フェルール ９ 支持ブロック １０ 端面 ２１ 光変調器 ２２ 光源 ２３ 光ファイバ ２３ａ 入射光ファイバ ２３ｂ 出射光ファイバ ２４ 光サーキュレータ ２５ 受光器 ２６ 測定器 ２７ 光変調装置 ３１ センサヘッド ３２ ダイポールアンテナ
Claims (3)
- 【請求項１】 電気光学効果を示す基板上に形成した分
岐干渉型光導波路から構成される光導波路素子および該
光導波路素子に接合し、該光導波路素子の光導波路に光
を入射し、または前記光導波路からの出射光を伝達する
光ファイバからなる光導波路デバイスにおいて、前記光
導波路の少なくとも一端面は、前記光導波路素子の厚さ
方向に傾斜し、該端面と該光導波路が形成された面は、
垂直から有限な角度をなし、該光導波路の端面に接合さ
れる前記光ファイバと前記光ファイバ端面の法線は、前
記光導波路素子の厚さ方向に、有限の角度をなし、か
つ、二つの前記有限の角度の正弦値の比は、前記光導波
路および前記光ファイバの屈折率の比に逆比例するよう
に形成されていることを特徴とする光導波路デバイス。 - 【請求項２】 電気光学効果を示す基板上に形成した分
岐干渉型光導波路から構成される光導波路素子および該
光導波路素子に接合し、該光導波路素子の光導波路に光
を入射し、または前記光導波路からの出射光を伝達する
光ファイバからなる光導波路デバイスの製造方法におい
て、同一基板素材上に、同一かつ複数の前記分岐干渉型
光導波路を平行に形成し、前記基板素材を、前記複数の
分岐干渉型光導波路に沿って平行に切断するとともに、
前記切断によって形成される各辺に隣接する前記光導波
路の少なくとも一方の端面を、前記基板素材の厚さ方向
に傾斜し、該端面と光導波路が形成された面が、有限の
角度をなすように形成することを特徴とする光導波路デ
バイスの製造方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の光導波路デバイスの製造
方法において、前記光導波路の少なくとも一端面を、前
記光導波路素子の厚さ方向に傾斜し、該端面と光導波路
が形成された面が、有限の角度をなし、該光導波路の端
面に接合される前記光ファイバと前記光ファイバ端面の
法線は、前記光導波路素子の厚さ方向に、有限の角度を
なし、かつ、二つの前記有限の角度の正弦値の比は、前
記光導波路および前記光ファイバの屈折率の比に逆比例
するように形成することを特徴とする光導波路デバイス
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245660A JPH1068916A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245660A JPH1068916A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1068916A true JPH1068916A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=17136934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8245660A Withdrawn JPH1068916A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1068916A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122834A (ja) * | 2000-10-19 | 2002-04-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子 |
| JP2002131563A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-05-09 | Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp | 偏光依存性損失を減少させた多材料構造物及びその方法 |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
| JP2010237592A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光素子と光ファイバとの接合構造 |
-
1996
- 1996-08-27 JP JP8245660A patent/JPH1068916A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131563A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-05-09 | Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp | 偏光依存性損失を減少させた多材料構造物及びその方法 |
| JP2002122834A (ja) * | 2000-10-19 | 2002-04-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子 |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
| JP2010237592A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光素子と光ファイバとの接合構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4273445A (en) | Interferometer gyroscope formed on a single plane optical waveguide | |
| US4850666A (en) | Slab-type optical device | |
| EP0289332B1 (en) | Optical device | |
| CN113280802B (zh) | 一种谐振式集成光学陀螺用多功能铌酸锂芯片 | |
| EP1186936A1 (en) | Optical waveguide modulator with output light monitor | |
| CN104931036A (zh) | 一种铌酸锂基混合集成光纤陀螺光学芯片 | |
| JP2001517779A (ja) | 光集積回路 | |
| EP0646772B1 (en) | Optical waveguide with inclined endface | |
| US11460650B2 (en) | Optical waveguide device, and optical modulation device and optical transmission device using it | |
| US7778497B2 (en) | Optical modulators | |
| JPH11153719A (ja) | プレーナ導波路ターニングミラーを有する光集積回路 | |
| WO2001006212A1 (en) | An optical circuit | |
| KR100496309B1 (ko) | 광도파로의반사측단면에대해경사진반사판을구비한광변조소자 | |
| WO2016015578A1 (zh) | 光耦合装置及光模块 | |
| US5107535A (en) | Connecting method between waveguide substrate and optical fiber | |
| JPH1068916A (ja) | 光導波路デバイスおよびその製造方法 | |
| EP0726475A1 (en) | Optical waveguide | |
| JP2001350046A (ja) | 集積型光導波路素子 | |
| CN212009207U (zh) | 一种偏振模式转换器 | |
| JPH1010364A (ja) | 光導波路素子および光導波路デバイスの製造方法、ならびに光導波路デバイス | |
| JPH05224044A (ja) | モニタ付導波路型光デバイス | |
| JPS58202406A (ja) | 導波形光ビ−ム・スプリツタ | |
| CN112859391A (zh) | 混合集成光电芯片以及光调制器、光纤陀螺 | |
| JPH01222216A (ja) | 導波路型偏波面制御装置 | |
| JP2003207664A (ja) | 光回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050208 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050302 |