JPH1068918A - 基板位置決め方法およびその装置 - Google Patents
基板位置決め方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH1068918A JPH1068918A JP22390596A JP22390596A JPH1068918A JP H1068918 A JPH1068918 A JP H1068918A JP 22390596 A JP22390596 A JP 22390596A JP 22390596 A JP22390596 A JP 22390596A JP H1068918 A JPH1068918 A JP H1068918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- positioning
- head
- rotary table
- heads
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構造で高い位置決め精度を維持でき、
基板サイズの変更に対しても容易に対応できる基板位置
決め装置を提供する。 【解決手段】 回転テーブル21上の各ヘッド22に供給し
た基板11を周囲から位置決めローラを予め設定している
中心位置方向に移動させて所定の位置関係に位置決めす
る。回転テーブル21上におけるヘッド22の取り付け誤差
に関係なく、基板11を常に回転テーブル21上の正規な位
置に高精度に位置決めできる。１台の位置決め機構27に
より複数のヘッド22上の基板11を順次位置決めするの
で、構造が大幅に小形化・簡素化され、基板11のサイズ
の変化に対して特別な部品を要したり、この部品の取り
換え作業を要したりすることなく容易に対応でき、高い
位置決め精度になる。
基板サイズの変更に対しても容易に対応できる基板位置
決め装置を提供する。 【解決手段】 回転テーブル21上の各ヘッド22に供給し
た基板11を周囲から位置決めローラを予め設定している
中心位置方向に移動させて所定の位置関係に位置決めす
る。回転テーブル21上におけるヘッド22の取り付け誤差
に関係なく、基板11を常に回転テーブル21上の正規な位
置に高精度に位置決めできる。１台の位置決め機構27に
より複数のヘッド22上の基板11を順次位置決めするの
で、構造が大幅に小形化・簡素化され、基板11のサイズ
の変化に対して特別な部品を要したり、この部品の取り
換え作業を要したりすることなく容易に対応でき、高い
位置決め精度になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板をヘッドに対
して一定位置に位置決めできる基板位置決め方法および
その装置に関する。
して一定位置に位置決めできる基板位置決め方法および
その装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示器の液晶セルを構成するガラス
基板の製造工程には、図３で示すように、基板11の外周
部に形成された静電気などによる破壊を防止するための
短絡パターン12を、レーザ加工などによって除去する工
程がある。この除去工程では、周囲のパターンを損傷す
ることなく短絡パターン12のみを除去する必要があるた
め、基板11に対する高精度の位置決めが必要となる。
基板の製造工程には、図３で示すように、基板11の外周
部に形成された静電気などによる破壊を防止するための
短絡パターン12を、レーザ加工などによって除去する工
程がある。この除去工程では、周囲のパターンを損傷す
ることなく短絡パターン12のみを除去する必要があるた
め、基板11に対する高精度の位置決めが必要となる。
【０００３】従来、この種の位置決め装置としては、た
とえば特開平４−１４４３００号公報に記載の構成が知
られている。
とえば特開平４−１４４３００号公報に記載の構成が知
られている。
【０００４】この特開平４−１４４３００号公報には、
基板を吸着する機構を有するとともに基板を加工するた
めのヘッドを有し、このヘッドに対向してＸ−Ｙ軸方向
に移動可能な可動テーブルを配設している。また、基板
に設けられたマーキングを撮影するカメラが設けられて
いる。
基板を吸着する機構を有するとともに基板を加工するた
めのヘッドを有し、このヘッドに対向してＸ−Ｙ軸方向
に移動可能な可動テーブルを配設している。また、基板
に設けられたマーキングを撮影するカメラが設けられて
いる。
【０００５】そして、カメラにより基板のマーキングを
撮像し、この撮像されたマーキングの位置により可動テ
ーブルでＸ−Ｙ軸方向に基板を移動させて基板を所定位
置に移動させ、ヘッドに基板を吸着させて加工してい
る。
撮像し、この撮像されたマーキングの位置により可動テ
ーブルでＸ−Ｙ軸方向に基板を移動させて基板を所定位
置に移動させ、ヘッドに基板を吸着させて加工してい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平４−１４４３００号公報に記載の構成では、カメラ
により基板のマーキングを撮像し、この撮像されたマー
キングに基づき可動テーブルを移動させて基板を所定位
置に移動させなければならず、構成が複雑である問題を
有している。
開平４−１４４３００号公報に記載の構成では、カメラ
により基板のマーキングを撮像し、この撮像されたマー
キングに基づき可動テーブルを移動させて基板を所定位
置に移動させなければならず、構成が複雑である問題を
有している。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、簡単な構造で高い位置決め精度を維持でき、基板サ
イズの変更に対しても容易に対応できる基板位置決め方
法およびその装置を提供することを目的とする。
で、簡単な構造で高い位置決め精度を維持でき、基板サ
イズの変更に対しても容易に対応できる基板位置決め方
法およびその装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、保持機構を有
するヘッドを複数個備えたテーブルを移動させ、ヘッド
の停止状態にてこのヘッド上に供給された基板を、周囲
から位置決め部材を予め設定されている中心位置方向に
移動させて所定の位置関係に位置決めし、この位置決め
された基板を前記保持機構によりヘッド上に保持固定す
るもので、テーブル上の各ヘッドに供給された基板を周
囲から位置決め部材を予め設定されている中心位置方向
に移動させて所定の位置関係に位置決めするので、テー
ブル上におけるヘッドの取り付け誤差に関係なく、基板
を常にテーブル上の正規な位置に高精度に位置決めする
ことができ、１台の位置決め機構により複数のヘッド上
の基板を順次位置決めするので、構造が大幅に小形化・
簡素化され、基板のサイズの変化に対して特別な部品を
要したり、この部品の取り換え作業を要したりすること
なく容易に対応でき、高い位置決め精度になる。
するヘッドを複数個備えたテーブルを移動させ、ヘッド
の停止状態にてこのヘッド上に供給された基板を、周囲
から位置決め部材を予め設定されている中心位置方向に
移動させて所定の位置関係に位置決めし、この位置決め
された基板を前記保持機構によりヘッド上に保持固定す
るもので、テーブル上の各ヘッドに供給された基板を周
囲から位置決め部材を予め設定されている中心位置方向
に移動させて所定の位置関係に位置決めするので、テー
ブル上におけるヘッドの取り付け誤差に関係なく、基板
を常にテーブル上の正規な位置に高精度に位置決めする
ことができ、１台の位置決め機構により複数のヘッド上
の基板を順次位置決めするので、構造が大幅に小形化・
簡素化され、基板のサイズの変化に対して特別な部品を
要したり、この部品の取り換え作業を要したりすること
なく容易に対応でき、高い位置決め精度になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１および図２を参照して説明する。
１および図２を参照して説明する。
【００１０】21は回転テーブルで、この回転テーブル21
上には、ヘッド22が複数個、たとえば４個円周方向に等
間隔、たとえば９０°間隔で配置されている。また、こ
の回転テーブル21は、図示しない回転駆動機構により、
各ヘッド22の配置間隔に対応する回動角度、すなわち９
０°で間歇駆動される。そして、この回転テーブル21の
間歇回転に伴い、各ヘッド22は図示しない、基板11のロ
ーディングポジション、位置決めポジション、加工ポジ
ション、および、アンローデングポジションの４箇所に
順次停止する。なお、図１はヘッド22が位置決めポジシ
ョンに停止している状態を示している。
上には、ヘッド22が複数個、たとえば４個円周方向に等
間隔、たとえば９０°間隔で配置されている。また、こ
の回転テーブル21は、図示しない回転駆動機構により、
各ヘッド22の配置間隔に対応する回動角度、すなわち９
０°で間歇駆動される。そして、この回転テーブル21の
間歇回転に伴い、各ヘッド22は図示しない、基板11のロ
ーディングポジション、位置決めポジション、加工ポジ
ション、および、アンローデングポジションの４箇所に
順次停止する。なお、図１はヘッド22が位置決めポジシ
ョンに停止している状態を示している。
【００１１】また、各ヘッド22上には、ローディングポ
ジションにおいて、図示しない移載機構により、基板11
が供給される。そして、各ヘッド22は、基板11を位置決
め完了後に保持固定するための保持機構23を有してお
り、この保持機構23は、図２で示すように、平盤状で上
面に開口する多数の細孔24を有している。また、これら
細孔24は、ヘッド22を貫通する空気路25を通って図示し
ないバキューム装置に通じており、このバキューム圧に
より上面に載置された基板11を吸着し、保持固定する。
ジションにおいて、図示しない移載機構により、基板11
が供給される。そして、各ヘッド22は、基板11を位置決
め完了後に保持固定するための保持機構23を有してお
り、この保持機構23は、図２で示すように、平盤状で上
面に開口する多数の細孔24を有している。また、これら
細孔24は、ヘッド22を貫通する空気路25を通って図示し
ないバキューム装置に通じており、このバキューム圧に
より上面に載置された基板11を吸着し、保持固定する。
【００１２】さらに、27は位置決め機構で、この位置決
め機構27は、ヘッド22の２番目の停止位置である位置決
めポジションに対向して配置され、前段のローディング
ポジションにてヘッド22上に供給された基板11を、予め
設定された位置関係に位置決めする。
め機構27は、ヘッド22の２番目の停止位置である位置決
めポジションに対向して配置され、前段のローディング
ポジションにてヘッド22上に供給された基板11を、予め
設定された位置関係に位置決めする。
【００１３】また、この位置決め機構27はベースプレー
ト28を有し、このベースプレート28の上面の中心部には
ベアリングホルダ29が一体に設けられている。そして、
このベアリングホルダ29からは、互いに直交するＸ−Ｙ
方向に沿って４本のガイドレール30a ，30b ，31a ，31
b が延出し、ベースプレート28上に固定取り付けされて
おり、これらガイドレール30a ，30b ，31a ，31b の各
先端に対応するベースプレート28上には、ブラケット32
a ，32b ，33a ，33b が一体に立設されている。
ト28を有し、このベースプレート28の上面の中心部には
ベアリングホルダ29が一体に設けられている。そして、
このベアリングホルダ29からは、互いに直交するＸ−Ｙ
方向に沿って４本のガイドレール30a ，30b ，31a ，31
b が延出し、ベースプレート28上に固定取り付けされて
おり、これらガイドレール30a ，30b ，31a ，31b の各
先端に対応するベースプレート28上には、ブラケット32
a ，32b ，33a ，33b が一体に立設されている。
【００１４】ここで、互いに対向するブラケット32a ，
32b 間およびブラケット33a ，33b間には、対応するね
じ体35，36が、中央部に位置するベアリングホルダ29を
回転自在に貫通した状態でそれぞれ回転自在に軸支され
ている。そして、ねじ体35はＸ軸駆動機構を構成し、ね
じ体36はＹ軸駆動機構を構成するもので、それぞれベア
リングホルダ29に支持された中央部分を境にして、左ね
じ部35a ，36a と右ねじ部35b ，36b とに分割されてい
る。そして、ねじ体35の一端はベルト37を介してベース
プレート28上に設けられたＸ軸駆動モータ38に連結し、
また、ねじ体36の一端はベルト39を介して同じくベース
プレート28上に設けられたＹ軸駆動モータ40と連結して
おり、これら対応するモータ38，40により回転駆動され
る。
32b 間およびブラケット33a ，33b間には、対応するね
じ体35，36が、中央部に位置するベアリングホルダ29を
回転自在に貫通した状態でそれぞれ回転自在に軸支され
ている。そして、ねじ体35はＸ軸駆動機構を構成し、ね
じ体36はＹ軸駆動機構を構成するもので、それぞれベア
リングホルダ29に支持された中央部分を境にして、左ね
じ部35a ，36a と右ねじ部35b ，36b とに分割されてい
る。そして、ねじ体35の一端はベルト37を介してベース
プレート28上に設けられたＸ軸駆動モータ38に連結し、
また、ねじ体36の一端はベルト39を介して同じくベース
プレート28上に設けられたＹ軸駆動モータ40と連結して
おり、これら対応するモータ38，40により回転駆動され
る。
【００１５】また、各ガイドレール30a ，30b およびガ
イドレール31a ，31b には、スライダ42a ，42b および
スライダ43a ，43b の対応するものが、それぞれスライ
ド可能に取り付けられている。これら各一対のスライダ
42a ，42b およびスライダ43a ，43b は、各ねじ体35，
36の対応する左右一対のねじ部35a ，35b およびねじ部
36a ，36b と螺合している各一対のナット部材44a ，44
b およびナット部材45a ，45b を一体に取り付けてい
る。このため、各一対のスライダ42a ，42b およびスラ
イダ43a ，43b は、ねじ体35，36が対応するモータ38，
40によって回転駆動されることにより、対応するガイド
レール30a ，30b およびガイドレール31a，31b に沿っ
て、左右互いに逆向きに等しい距離だけ移動する。
イドレール31a ，31b には、スライダ42a ，42b および
スライダ43a ，43b の対応するものが、それぞれスライ
ド可能に取り付けられている。これら各一対のスライダ
42a ，42b およびスライダ43a ，43b は、各ねじ体35，
36の対応する左右一対のねじ部35a ，35b およびねじ部
36a ，36b と螺合している各一対のナット部材44a ，44
b およびナット部材45a ，45b を一体に取り付けてい
る。このため、各一対のスライダ42a ，42b およびスラ
イダ43a ，43b は、ねじ体35，36が対応するモータ38，
40によって回転駆動されることにより、対応するガイド
レール30a ，30b およびガイドレール31a，31b に沿っ
て、左右互いに逆向きに等しい距離だけ移動する。
【００１６】また、各ガイドレール30a ，30b およびガ
イドレール31a ，31b の側方のベースプレート28には、
対応するガイドレール30a ，30b およびガイドレール31
a ，31b と平行な長孔47a ，47b および長孔48a ，48b
がそれぞれ設けられており、各スライダ42a ，42b およ
びスライダ43a ，43b の一部は、これら対応する長孔47
a ，47b および長孔48a ，48b を通って、図２で示すよ
うに、ベースプレート28の下方に延出している。
イドレール31a ，31b の側方のベースプレート28には、
対応するガイドレール30a ，30b およびガイドレール31
a ，31b と平行な長孔47a ，47b および長孔48a ，48b
がそれぞれ設けられており、各スライダ42a ，42b およ
びスライダ43a ，43b の一部は、これら対応する長孔47
a ，47b および長孔48a ，48b を通って、図２で示すよ
うに、ベースプレート28の下方に延出している。
【００１７】そして、各スライダ42a ，42b およびスラ
イダ43a ，43b のベースプレート28の下方に延出した部
分には、ガイド一体型のシリンダ50a ，50b およびシリ
ンダ51a ，51b がそれぞれ下向きに設けられており、こ
れらシリンダ50a ，50b ，シリンダ51a ，51b の作動部
には、下端部に位置決め部材としての位置決めローラ52
a ，52b ，53a ，53b を取り付けた移動体プレート54a
，54b ，55a ，55b が一体に設けられている。したが
って、各シリンダ50a ，50b ，51a ，51b の動作によ
り、その作動部と一体の移動体プレート54a ，54b ，55
a ，55b と位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53b と
は、それぞれ図示のように基板11の周辺と対向する位置
まで下降するとともに、動作解除後、上方の退避位置に
復帰上昇する。
イダ43a ，43b のベースプレート28の下方に延出した部
分には、ガイド一体型のシリンダ50a ，50b およびシリ
ンダ51a ，51b がそれぞれ下向きに設けられており、こ
れらシリンダ50a ，50b ，シリンダ51a ，51b の作動部
には、下端部に位置決め部材としての位置決めローラ52
a ，52b ，53a ，53b を取り付けた移動体プレート54a
，54b ，55a ，55b が一体に設けられている。したが
って、各シリンダ50a ，50b ，51a ，51b の動作によ
り、その作動部と一体の移動体プレート54a ，54b ，55
a ，55b と位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53b と
は、それぞれ図示のように基板11の周辺と対向する位置
まで下降するとともに、動作解除後、上方の退避位置に
復帰上昇する。
【００１８】次に、上記実施の形態の動作について説明
する。
する。
【００１９】まず、回転テーブル21上のヘッド22に対し
て、ローディングポジションにて図示しない基板移載機
構により基板11が供給される。次に、回転テーブル21が
９０°回動し、基板11を搭載したヘッド22が位置決めポ
ジションに移動して停止すると、この位置決めポジショ
ンと対向する位置決め機構27が動作し、基板11を予め設
定された位置関係でヘッド22上に位置決めする。
て、ローディングポジションにて図示しない基板移載機
構により基板11が供給される。次に、回転テーブル21が
９０°回動し、基板11を搭載したヘッド22が位置決めポ
ジションに移動して停止すると、この位置決めポジショ
ンと対向する位置決め機構27が動作し、基板11を予め設
定された位置関係でヘッド22上に位置決めする。
【００２０】すなわち、まず、図２で示したガイド一体
型のシリンダ50a ，50b ，51a ，51b が動作し、各位置
決めローラ52a ，52b ，53a ，53b を、基板11の周辺部
と対向する位置まで下降させる。
型のシリンダ50a ，50b ，51a ，51b が動作し、各位置
決めローラ52a ，52b ，53a ，53b を、基板11の周辺部
と対向する位置まで下降させる。
【００２１】次に、Ｘ軸駆動モータ38およびＹ軸駆動モ
ータ40をそれぞれ回転させ、対応するねじ体35，36をそ
れぞれ回転駆動する。このねじ体35の回転により、その
左ねじ部35a および右ねじ部35b に螺合しているナット
部材44a ，44b およびこのナット部材44a ，44b と一体
のスライダ42a ，42b 、さらに、このスライダ42a ，42
b に取り付けられた位置決めローラ52a ，52b は、Ｘ軸
方向のガイドレール30a ，30b に沿って中心方向、すな
わちベアリングホルダ29に向う方向に移動する。同様
に、ねじ体36の回転により、その左ねじ部36a および右
ねじ部36b に螺合しているナット部材45a ，45b および
このナット部材45a ，45b と一体のスライダ43a ，43b
、さらに、このスライダ43a ，43b に取り付けられた
位置決めローラ53a ，53b は、Ｙ軸方向のガイドレール
31a ，31b に沿って中心方向に移動する。
ータ40をそれぞれ回転させ、対応するねじ体35，36をそ
れぞれ回転駆動する。このねじ体35の回転により、その
左ねじ部35a および右ねじ部35b に螺合しているナット
部材44a ，44b およびこのナット部材44a ，44b と一体
のスライダ42a ，42b 、さらに、このスライダ42a ，42
b に取り付けられた位置決めローラ52a ，52b は、Ｘ軸
方向のガイドレール30a ，30b に沿って中心方向、すな
わちベアリングホルダ29に向う方向に移動する。同様
に、ねじ体36の回転により、その左ねじ部36a および右
ねじ部36b に螺合しているナット部材45a ，45b および
このナット部材45a ，45b と一体のスライダ43a ，43b
、さらに、このスライダ43a ，43b に取り付けられた
位置決めローラ53a ，53b は、Ｙ軸方向のガイドレール
31a ，31b に沿って中心方向に移動する。
【００２２】そして、これら各位置決めローラ52a ，52
b および位置決めローラ53a ，53bの中心方向への移動
により、外周面はヘッド22上に載置された基板11の対応
する外辺に当接する。この場合、各位置決めローラ52a
，52b ，53a ，53b の予め設定した基準位置、すなわ
ち移動前の初期位置からの移動量を、基板11の面積に対
応して予め設定しておくことにより、ヘッド22上に載置
された基板11は各位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53
b によって規制される正規の位置に位置決めされる。
b および位置決めローラ53a ，53bの中心方向への移動
により、外周面はヘッド22上に載置された基板11の対応
する外辺に当接する。この場合、各位置決めローラ52a
，52b ，53a ，53b の予め設定した基準位置、すなわ
ち移動前の初期位置からの移動量を、基板11の面積に対
応して予め設定しておくことにより、ヘッド22上に載置
された基板11は各位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53
b によって規制される正規の位置に位置決めされる。
【００２３】そして、位置決め後は各ヘッド22毎に設け
られた保持機構23を動作させ、基板11をヘッド22上に保
持固定する。すなわち、図示しないバキューム装置によ
るバキューム圧により、多数の細孔24を介して基板11を
吸着して保持固定する。
られた保持機構23を動作させ、基板11をヘッド22上に保
持固定する。すなわち、図示しないバキューム装置によ
るバキューム圧により、多数の細孔24を介して基板11を
吸着して保持固定する。
【００２４】保持固定完了後、位置決め機構27を前述の
場合と反対に動作させ、各位置決めローラ52a ，52b ，
53a ，53b を基準位置まで後退させる。この後、さら
に、ガイド一体型のシリンダ50a ，50b ，51a ，51b の
動作を解除し、各位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53
b を、上方の退避位置まで復帰上昇させる。
場合と反対に動作させ、各位置決めローラ52a ，52b ，
53a ，53b を基準位置まで後退させる。この後、さら
に、ガイド一体型のシリンダ50a ，50b ，51a ，51b の
動作を解除し、各位置決めローラ52a ，52b ，53a ，53
b を、上方の退避位置まで復帰上昇させる。
【００２５】このようにヘッド22上に位置決め固定され
た基板11は、回転テーブル21の回動によって、次の加工
ポジションに移行し、図示しないレーザ加工機などによ
り、図３で示した短絡パターン12が除去される。短絡パ
ターン12が除去された基板11は、再び回転テーブル14の
回動によって、アンローディングポジションに移行し、
保持機構23による保持固定が解除される。その後、図示
しない移載機構によりヘッド22上からアンロードされ、
次工程に送られる。
た基板11は、回転テーブル21の回動によって、次の加工
ポジションに移行し、図示しないレーザ加工機などによ
り、図３で示した短絡パターン12が除去される。短絡パ
ターン12が除去された基板11は、再び回転テーブル14の
回動によって、アンローディングポジションに移行し、
保持機構23による保持固定が解除される。その後、図示
しない移載機構によりヘッド22上からアンロードされ、
次工程に送られる。
【００２６】ここで上記実施の形態では、ヘッド22の停
止位置である位置決めポジションに対向して固定配置さ
れた位置決め機構27により、回転テーブル21上の各ヘッ
ド22に供給された基板11を位置決めするので、回転テー
ブル21上におけるヘッド22の取り付け誤差に関係なく、
基板11を常に回転テーブル21上の正規な位置に高精度に
位置決めすることができる。このため、従来のように、
ヘッドの位置ずれに起因する加工不良が生じることはな
く、常に良好な加工結果を得ることができる。
止位置である位置決めポジションに対向して固定配置さ
れた位置決め機構27により、回転テーブル21上の各ヘッ
ド22に供給された基板11を位置決めするので、回転テー
ブル21上におけるヘッド22の取り付け誤差に関係なく、
基板11を常に回転テーブル21上の正規な位置に高精度に
位置決めすることができる。このため、従来のように、
ヘッドの位置ずれに起因する加工不良が生じることはな
く、常に良好な加工結果を得ることができる。
【００２７】また、従来のように位置決め機能をも有す
る複雑な構造のヘッドを回転テーブル上に複数個設ける
必要はなく、１台の位置決め機構27により複数ヘッド22
上の基板11を順次位置決めするので、構造が大幅に小形
化・簡素化でき、設備コストも低減する。
る複雑な構造のヘッドを回転テーブル上に複数個設ける
必要はなく、１台の位置決め機構27により複数ヘッド22
上の基板11を順次位置決めするので、構造が大幅に小形
化・簡素化でき、設備コストも低減する。
【００２８】さらに、位置決め機構27は固定して取り付
けられているため、電源の取り込みが容易であり、動作
量、すなわち位置決めローラの移動量を容易に調整可能
なモータ駆動機構を用いることができる。したがって、
各種サイズの基板11に対して、その位置決めローラ52a
，52b ，53a ，53b の移動量を予め設定しておけば、
基板11のサイズの変化に容易に対応できる。すなわち、
従来のように、サイズの異なるレバーなどの特別な部品
を用意し、サイズ変更毎にこの部品を取り換えたりする
必要がなく、単にスイッチの切換えなどにより、位置決
めローラ52a ，52b ，53a ，53b の停止位置、すなわち
位置決め位置を切り換えることができる。このことから
も、設備を小形化・簡素化でき、設備コストを低減化で
きるとともに、作業が簡単になり、作業時間も短縮する
ことができる。
けられているため、電源の取り込みが容易であり、動作
量、すなわち位置決めローラの移動量を容易に調整可能
なモータ駆動機構を用いることができる。したがって、
各種サイズの基板11に対して、その位置決めローラ52a
，52b ，53a ，53b の移動量を予め設定しておけば、
基板11のサイズの変化に容易に対応できる。すなわち、
従来のように、サイズの異なるレバーなどの特別な部品
を用意し、サイズ変更毎にこの部品を取り換えたりする
必要がなく、単にスイッチの切換えなどにより、位置決
めローラ52a ，52b ，53a ，53b の停止位置、すなわち
位置決め位置を切り換えることができる。このことから
も、設備を小形化・簡素化でき、設備コストを低減化で
きるとともに、作業が簡単になり、作業時間も短縮する
ことができる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、テーブル上の各ヘッド
に供給された基板を周囲から位置決め部材を予め設定さ
れている中心位置方向に移動させて所定の位置関係に位
置決めするので、回転テーブル上におけるヘッドの取り
付け誤差に関係なく、基板を常にテーブル上の正規な位
置に高精度に位置決めすることができ、１台の位置決め
機構により複数のヘッド上の基板を順次位置決めするの
で、構造が大幅に小形化・簡素化でき、基板のサイズの
変化に対して特別な部品を要したり、この部品の取り換
え作業を要したりすることなく容易に対応でき、常に高
い位置決め精度にできる。
に供給された基板を周囲から位置決め部材を予め設定さ
れている中心位置方向に移動させて所定の位置関係に位
置決めするので、回転テーブル上におけるヘッドの取り
付け誤差に関係なく、基板を常にテーブル上の正規な位
置に高精度に位置決めすることができ、１台の位置決め
機構により複数のヘッド上の基板を順次位置決めするの
で、構造が大幅に小形化・簡素化でき、基板のサイズの
変化に対して特別な部品を要したり、この部品の取り換
え作業を要したりすることなく容易に対応でき、常に高
い位置決め精度にできる。
【図１】本発明による基板位置決め装置の一実施の形態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】同上正面図である。
【図３】同上加工を要する位置決め対象の基板を示す斜
視図である。
視図である。
11 基板 21 回転テーブル 22 ヘッド 23 保持機構 27 位置決め機構 52a ，52b ，53a ，53b 位置決め部材としての位置
決めローラ
決めローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 保持機構を有するヘッドを複数個備えた
テーブルを移動させ、 ヘッドの停止状態にてこのヘッド上に供給された基板
を、周囲から位置決め部材を予め設定されている中心位
置方向に移動させて所定の位置関係に位置決めし、 この位置決めされた基板を前記保持機構によりヘッド上
に保持固定することを特徴とする基板位置決め方法。 - 【請求項２】 複数個のヘッドを配置し、これらヘッド
の配置間隔に対応して移動するテーブルと、 周囲から中心方向に移動して前記基板を位置決めさせる
位置決め部材を有し、前記ヘッドの停止位置に対向して
配置され、前記ヘッド上に供給された基板を前記位置決
め部材を周囲から中心方向に移動させて予め設定された
位置関係に位置決めする位置決め機構と、 前記ヘッド毎に設けられ、このヘッド上に位置決めされ
た基板をヘッド上に保持固定させる保持機構とを具備し
たことを特徴とする基板位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22390596A JPH1068918A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | 基板位置決め方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22390596A JPH1068918A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | 基板位置決め方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1068918A true JPH1068918A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16805554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22390596A Pending JPH1068918A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | 基板位置決め方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1068918A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7300084B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-11-27 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
| KR101518672B1 (ko) * | 2014-05-23 | 2015-05-07 | 이구환 | Smd 마이크로 퓨즈용 인쇄회로기판 세팅장치 |
| WO2019003403A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
| CN115623706A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-01-17 | 四川超声印制板有限公司 | 一种印制电路板压合装置 |
-
1996
- 1996-08-26 JP JP22390596A patent/JPH1068918A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7300084B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-11-27 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
| KR101518672B1 (ko) * | 2014-05-23 | 2015-05-07 | 이구환 | Smd 마이크로 퓨즈용 인쇄회로기판 세팅장치 |
| WO2019003403A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
| JPWO2019003403A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-11-21 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
| CN115623706A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-01-17 | 四川超声印制板有限公司 | 一种印制电路板压合装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20030021886A1 (en) | Method of printing and printing machine | |
| JP2930870B2 (ja) | 電子部品表面実装装置 | |
| EP1258180A1 (en) | Method of printing and printing machine | |
| JP7378514B2 (ja) | 個片化された被加工物の位置合わせ | |
| TWI451819B (zh) | Installation device and installation method of electronic parts | |
| US6467383B1 (en) | Machine for punching panels | |
| JP5023118B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
| TW201324032A (zh) | 面板的印刷裝置 | |
| JPS63162141A (ja) | ワークピース位置決め方法 | |
| US6621553B2 (en) | Apparatus and method for exposing substrates | |
| CN114859666A (zh) | 全场式曝光设备以及全场式曝光方法 | |
| US20030154868A1 (en) | Screen printing apparatus | |
| JP4504157B2 (ja) | 電子部品装着装置の装着ヘッド | |
| TW200300273A (en) | Method of a aligning a workpiece in a cutting machine | |
| JP4560682B2 (ja) | 導電性ボール搭載装置 | |
| JPH1068918A (ja) | 基板位置決め方法およびその装置 | |
| KR101141806B1 (ko) | 도포 장치와 그 도포 위치 보정 방법 | |
| JP2000250227A (ja) | 露光装置 | |
| KR101166058B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 및 실장 방법 | |
| JPH03217095A (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
| JP2000055615A (ja) | パターン修正装置 | |
| KR20100044446A (ko) | 노광장비의 레티클 이송용 로봇 | |
| JP2000174158A (ja) | ボールマウント装置 | |
| JPH01297888A (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JP2925670B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 |