JPH1068968A - 空間光変調素子及びこれを用いた画像投影装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 信号取出側から光導電層をリセットできる空
間光変調素子及びこれを用いた画像投影装置を提供す
る。 【解決手段】 透明基板１０１，１０７間に設けられる
光変調部１００を光導電層１０３、誘電体ミラー層１０
４、光変調層１０５により形成する一方、誘電体ミラー
層１０４の反射波長範囲を、信号取出側の透明基板１０
７から入射される信号取出光２００に含まれる光導電層
１０３の光導電率を変化させる感度波長を有する光のう
ち、所定の感度波長を有する光を透過させるような範囲
に設定することにより、信号取出側から光導電層１０３
をリセットすることができるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクタ、デ
ィスプレイ等に利用される空間光変調素子及びこれを用
いた画像投影装置に関し、特に画像書き込み部の小型化
や無調整化を図るものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、空間光変調素子（ＳＬＭ素子）は
第１の透明基板上に透明電極、光入射に対して光導電率
が変化する光導電層（以下ＰＣ層という）、遮光層、誘
電体ミラー層（反射層）、光変調層（例えば液晶層）、
第２の透明電極または第２の透明電極を有する第２の透
明基板から構成されており、第１及び第２の透明電極間
に印加される電圧をＰＣ層を介して光変調層へ印加する
構造である。

【０００３】この構成において、光変調層に印加される
電圧はＰＣ層に入射する信号光の光量に応じて変化する
ため、ＰＣ層への入射光量の変化を光変調層を介して取
り出すことで信号光により変調された出射光が得られ
る。

【０００４】ところで、空間光変調素子に連続的に入射
する第１の信号光により変調された第１の出力光から、
第２の信号光により変調された第２の出力光に変化する
際、第１の信号光により光変調層に印加された電圧を、
第２の信号光により印加される電圧を安定させるため、
一旦初期値（一定値）に戻す必要がある。このため、第
１の信号光と第２の信号光の入射の間に、印加電圧を初
期値とするため光導電層の光導電率を初期値に戻す光
（リセット光）を入射するように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の空間光変調素子において、リセット光は光変調層
全体が同じ状態に初期化されるようにＰＣ層全面に充分
な光量を与える必要がある。そのため、このような空間
光変調素子を用いた従来の画像投影装置においては、図
１３に示すように空間光変調素子１ＡのＰＣ層側にリセ
ット光用の光源２０を設ける必要があり、またこの光源
２０を設置するため、信号光を書き込む手段として用い
られるＣＲＴ６やＬＣＤ等を空間光変調素子１Ａの書き
込み面から離して設置する必要がある。

【０００６】ここで、このようにＣＲＴ６やＬＣＤ等を
空間光変調素子１Ａの書き込み面から離して設置するよ
うにすると、ＣＲＴ／ＬＣＤ上に形成される画像を空間
光変調素子１ＡのＰＣ層上に結像させる光学系２１が必
要となる。なお、この光学系２１としてファイバープレ
ート等の小型化に適したものがあるが、リセット光の導
入のための空間が必要であり、従来例では使用すること
ができない。また、信号光の結像系を使用するために発
生する光学調整等の複雑な作業も要求されるようにな
る。

【０００７】このように、リセット光をＰＣ層側から入
射するようにした場合は、空間光変調素子の入射画像の
書き込み側の構成が制限を受けるようになり、小型化や
無調整化が阻害されるという問題点があった。

【０００８】そこで、本発明は、このような問題点を解
決するためになされたものであり、信号取出側から光導
電層をリセットできる空間光変調素子及びこれを用いた
画像投影装置を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明電極がそ
れぞれ形成された信号入力側及び信号取出側の一対の透
明基板間に設けられた光導電層と、誘電体ミラー層と、
光変調層とを有する空間光変調素子において、前記信号
取出側の透明基板から入射される光に含まれる前記光導
電層の光導電率を変化させる感度波長を有する光のう
ち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラー層を
透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲が設定さ
れていることを特徴とするものである。

【００１０】また本発明は、透明電極がそれぞれ形成さ
れた信号入力側及び信号取出側の一対の透明基板間に設
けられ光導電層と、遮光層と、誘電体ミラー層と、光変
調層とを有する空間光変調素子において、前記信号取出
側の透明基板から入射される光に含まれる前記光導電層
の光導電率を変化させる感度波長を有する光のうち、所
定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラー層及び前記
遮光層を透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲
及び該遮光層の遮光波長範囲が設定されていることを特
徴とするものである。

【００１１】また本発明は、前記光変調層として液晶層
を用いたことを特徴とするものである。

【００１２】また本発明は、前記透明電極及び透明基板
は可視光線に対し透明であると共に、前記各透明基板か
ら入射される光に対しても透明であることを特徴とする
ものである。

【００１３】また本発明は、空間光変調素子と、前記空
間光変調素子に信号光を入射するよう該空間光変調素子
の信号入力側に設けられた書き込み部と、前記信号光を
取り出すための信号取出光を前記空間光変調素子に入射
するよう該空間光変調素子の信号取り出し側に設けられ
た光源とを備えた画像投影装置において、前記空間光変
調素子を請求項１乃至４記載の空間光変調素子とする一
方、該空間光変調素子と前記光源の間には前記信号光に
て変化した前記光導電層の光導電率を次の信号光が入射
される前に初期値に戻す初期化手段を設けたことを特徴
とするものである。

【００１４】また本発明は、前記初期化手段は、前記光
導電層の光導電率を変化させる感度波長の光のうち所定
の感度波長の光を該空間光変調素子に入射させて前記光
変調層を初期化するように構成されていることを特徴と
するものである。

【００１５】また本発明は、前記初期化手段は、前記光
変調層を初期化する所定の感度波長の光を前記信号取出
光から形成する初期化信号形成手段を有していることを
特徴とするものである。

【００１６】また本発明は、前記初期化手段は、前記所
定の感度波長の光を前記信号取出光に重畳して前記空間
光変調素子に入射することを特徴とするものである。

【００１７】また本発明は、前記初期化手段は、前記信
号取出光を入射する光源とは別な光源を用いて前記所定
の感度波長の光を形成することを特徴とするものであ
る。

【００１８】また、本発明のように信号入力側及び信号
取出側の一対の透明基板間に光導電層と、誘電体ミラー
層と、光変調層とを設ける一方、誘電体ミラーの反射波
長範囲を、信号取出側の透明基板から入射される光に含
まれる光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有す
る光のうち、所定の感度波長を有する光を透過させるよ
うな範囲に設定することにより、信号取出側から光導電
層をリセットすることができるようにする。

【００１９】また、信号入力側及び信号取出側の一対の
透明基板間に光導電層と、遮光層と、誘電体ミラー層
と、光変調層とを設ける一方、誘電体ミラーの反射波長
範囲及び遮光層の遮光波長範囲を、信号取出側の透明基
板から入射される光に含まれる光導電層の光導電率を変
化させる感度波長を有する光のうち、所定の感度波長を
有する光を透過させるような範囲に設定することによ
り、信号取出側から光導電層をリセットできるようにす
る。

【００２０】また、書き込み部から空間光変調素子に入
射された信号光を取り出すための信号取出光を空間光変
調素子に入射する光源を空間光変調素子の信号取出側に
設ける一方、この光源と空間光変調素子との間に初期化
手段を設け、この初期化手段にて信号光にて変化した光
導電層の光導電率を次の信号光が入射される前に初期値
に戻すことにより、次の信号光が前の信号光の影響を受
けないようにする。

【００２１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。

【００２２】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る
空間光変調素子の構造を示す断面図であり、同図におい
て、１は反射型の空間光変調素子、１０１は信号入力側
の透明基板である第１の透明基板、１０７は信号取出側
の透明基板である第２の透明基板である。

【００２３】ここで、第１の透明基板１０１にはスパッ
タリング法で形成されたＩＴＯ膜（インジウム・スズ酸
化膜）である透明電極１０２と、水素化アモルファスシ
リコンにて成膜されたＰＣ層１０３と、ＳｉＯ₂ 層とＴ
ｉＯ₂ 層を交互に重ねて形成された誘電体ミラー層１０
４とが順次積層されており、第２の透明基板１０７には
ＩＴＯ膜である透明電極１０６が形成されている。

【００２４】また、これら２つの透明基板１０１，１０
７の間には、第１の透明基板１０１から入射される信号
光２０２に応じて状態が変化する光変調層として液晶層
１０５が挟持されている。なお、これら第１の透明基板
１０１から順に形成されたＰＣ層１０３、誘電体ミラー
層１０４及び液晶層１０５とにより光変調部１００が形
成されるようになっている。

【００２５】そして、信号光２０２を取り出すための信
号取出光２００は、第２の透明基板１０７側から入射し
た後、誘電体ミラー１０４により反射されていくが、そ
の際、第１の透明基板１０１からＰＣ層１０３に入射す
る信号光２０２に応じて変化する液晶層１０５により変
調され、出力光２０１となって出力されるようになって
いる。

【００２６】なお、このような構成の空間光変調素子１
は、次のように作製される。

【００２７】まず、透明電極１０２としてＩＴＯ膜（イ
ンジウム・スズ酸化膜）を第１の透明基板１０１上にス
パッタリング法で形成する。次に、この第１の透明基板
１０２を低圧プラズマ装置に設置し、この装置内で約２
００℃に加熱すると共に装置内にＳｉＨ₄ ／Ｈ₂ の混合
ガスを導入し、この後低圧プラズマ装置内に高周波電源
によりＳｉＨ₄ ／Ｈ₂ の混合プラズマを励起して基板１
０１上に水素化アモルファスシリコン膜を形成してＰＣ
層１０３を成膜する。さらに、この後、このＰＣ層１０
３の上にＳｉＯ₂ 層とＴｉＯ₂ 層を交互に２７層重ねて
反射層として誘電体ミラー層１０４を形成する。

【００２８】次に、第２の透明基板１０７に透明基板１
０１と同様に透明電極１０６となるＩＴＯ膜をスパッタ
リング法で形成し、この後第１の透明基板１０１と第２
の透明基板１０７により液晶層１０５を挟持して空間光
変調素子１が作製される。

【００２９】ところで、図２は、ＰＣ層１０３（水素化
アモルファスシリコン）の光入射に対する分光感度を、
また図３は誘電体ミラー層１０４の反射率の分光特性を
示すものであり、これら図２及図３からわかるように、
誘電体ミラー１０４の反射波長範囲は、ＰＣ層１０３の
光導電率が変化する感度波長のうち所定の感度波長を含
まないようになっている。

【００３０】そして、このように所定の感度波長を含ま
ないように反射波長範囲を設定することにより、信号取
出光２００に含まれる所定の感度波長を有する光が誘電
体ミラー１０４を透過するようになり、これによりＰＣ
層１０３が変化し、信号取出側からの光によってＰＣ層
１０３を制御（リセット）できるようにしている。

【００３１】次に、本発明の第２の実施の形態に係る空
間光変調素子について説明する。

【００３２】図４は、第２の実施の形態に係る空間光変
調素子の構造を示す断面図であり、第１の実施の形態と
同様に第１の透明基板１０１としてガラス基板を用いた
ものである。同図において、１’は反射型の空間光変調
素子、１０８はアモルファスシリコンゲルマニウム膜よ
りなる遮光層であり、この遮光層１０８の遮光波長範囲
はＰＣ層１０３の所定の感度波長を含まない範囲として
いる。なお、１００’は、ＰＣ層１０３、遮光層１０
８、誘電体ミラー層１０４及び液晶層１０５とを有する
光変調部である。

【００３３】そして、このように遮光層１０８の遮光波
長範囲をＰＣ層１０３の所定の感度波長を含まない範囲
とすることにより、誘電体ミラー１０４を透過した光の
中にもＰＣ層１０３の光感度を有する光が含まれるよう
になり、これにより信号取出側からの光によってＰＣ層
１０３を制御（リセット）できるようにしている。

【００３４】なお、本実施の形態に係る空間光変調素子
の作製は、まず透明電極１０２としてＩＴＯ膜（インジ
ウム・スズ酸化膜）を第１の透明基板１０１上にスパッ
タリング法で形成し、さらに高周波プラズマ法により水
素化アモルファスシリコンを形成する。その後、ＳｉＨ
₄ ／Ｈ₂ の混合ガスの他にＧｅＨ₄ を加えた混合ガスに
よりアモルファスシリコンゲルマニウム膜を成膜し、遮
光層１０８を形成する。更に、この遮光層１０８の上に
Ｓｉｏ₂ 層とＴｉＯ₂ 層を交互に２７層重ねて誘電体ミ
ラー層１０４を形成する。

【００３５】次に、第２の透明基板１０７に透明電極１
０６としてＩＴＯ膜を形成し、第１の透明基板１０１と
第２の透明基板１０７の間に液晶層１０５を成す液晶を
挟持して空間光変調素子１’が作製される。

【００３６】次に、既述した構成の空間光変調素子を用
いた本発明の第３の実施の形態に係る映像投影装置につ
いて説明する。

【００３７】図５は、第１の実施の形態に係る空間光変
調素子１を用いた本実施の形態に係る映像投影装置の構
成を示す図であり、本実施の形態においては、空間光変
調素子１への信号光の書き込みはＣＲＴ６を用い、像形
成のための光学系７としてはファイバープレ−トを用い
た場合を示している。

【００３８】同図において、２は空間光変調素子１の信
号取出し側に設けられ、集光ミラー２ａ付きのメタルハ
ライドランプ２ｂを使用した光源であり、この光源２か
らの信号取出光２００は反射ミラー１１で反射された
後、偏光ビームスプリッタ３にてＳ偏光のみが反射され
て空間光変調素子１に入射するようになっている。ま
た、この空間光変調素子１に入射した光は、空間光変調
素子１の信号入力側に設けられた書き込み部であるＣＲ
Ｔ６から入射した信号光に応じた液晶層（図１及び図４
参照）の変化により偏光度が変調されて出射されるよう
になっている。

【００３９】さらに、この変調光は、偏光ビームスプリ
ッタ３により透過光と反射光とに分離された後、透過光
のみが出力光２０１として投影レンズ４を通過し、この
後スクリーン５に投影され、ＣＲＴ６による信号光に対
応した出力を表示するようになっている。

【００４０】一方、１０は光源２と反射ミラー１１の間
に設けられた初期化手段である回転フィルタであり、こ
の回転フィルタ１０は、光源２からの信号取出光２００
のうち空間光変調素子１のＰＣ層（図１参照）が感度を
持つ波長を除去するよう、例えば回転式のフィルタに赤
外光を反射する多層膜を形成することで実現されたもの
である。なお、１０Ａは回転フィルタ１０の回転軸であ
る。

【００４１】ところで、この回転フィルタ１０には、図
６に示すようにフィルタ機能を有していない部分が、例
えば回転フィルタ１０を一部扇状に切欠いて形成されて
いる。また、この回転フィルタ１０は、信号光の書き換
え同期と同じ同期、即ち第１の信号光が入光した後、次
の信号光が入光する間に、この切欠１０ａが光源２と反
射ミラー１１との間に形成される光路上を通過するタイ
ミングで回転するようになっている。

【００４２】ここで、このような光変調層を初期化する
所定の感度波長の光を信号取出光から形成する初期化信
号形成手段である切欠１０ａが形成された回転フィルタ
１０を備えることにより、通常はこの回転フィルタ１０
により信号取出光２００のうちの赤外光が遮光される一
方、第１の信号光とそれに続く第２の信号光の間は回転
フィルタ１０の切欠１０ａが光路上を通過するようにな
り、ＰＣ層（図１参照）に感度を有する赤外光が誘電体
ミラー（図１参照）を透過し、ＰＣ層に照射されるよう
になる。

【００４３】そして、このように回転フィルタ１０を設
けると共に信号取出光２００からリセット光である赤外
光を形成する一方、第１の信号光とそれに続く第２の信
号光の間に、空間光変調素子１の取り出し側（出力側）
からＰＣ層に感度を有する赤外光であるリセット光を照
射することにより、第１の信号光により形成されたＰＣ
層の状態をリセットすることができ、これにより第２の
信号光に影響を与えないようにすることができる。

【００４４】次に、第４の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。

【００４５】図７は、本実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図であり、この映像投影装置は空間光変調
素子１、光源２、偏光ビームスプリッタ３、書き込み用
ＣＲＴ６、書き込み光学系用ファイバープレート７、投
影レンズ４、スクリーン５を備える一方、初期化手段と
して回転フィルタ１０の代わりに回転反射板１２を備え
たものである。なお、１２Ａは回転反射板１２の回転軸
である。

【００４６】ところで、この回転反射板１２は図８に示
すように、可視光線を反射して赤外光線を通過するいわ
ゆるコールドミラー部１２ａと、Ａｇ等を蒸着して赤外
光を反射するようにした初期化信号形成手段である赤外
光反射部１２ｂとを有したものである。

【００４７】ここで、このような回転反射板１２を設け
ることにより、光源２からの光のうちの赤外光Ｌは、通
常図７の破線で示すように回転反射板１２を透過して空
間光変調素子３には到達しないが、赤外光反射部１２ｂ
が光路上に来た場合には赤外光を含んだ取出し光が空間
光変調素子１に入射するようになる。

【００４８】そして、この回転反射板１２を、既述した
第１の実施の形態と同様に書き込み用ＣＲＴ６の入力に
同期すると共に第１の信号光と第２の信号光の間のタイ
ミングで赤外光反射部１２ｂが光路上を通過するように
回転させることで、第１の信号光の影響を第２の信号光
に与えないためのリセット光を信号取出光２００に含ま
せることが可能となる。

【００４９】なお、これまでの説明では回転フィルタ１
０に切欠１０ａを、また回転反射板１２に赤外光反射部
１２ｂを、それぞれ一箇所に設けた場合について説明し
たが、本発明はこれに限らず入力の切換えのタイミング
に合わせて回転スピードを変化させるようにすれば２箇
所以上設けることもできる。

【００５０】次に、第５の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。

【００５１】図９は、本実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図であり、空間光変調素子１、光源２、偏
光ビームスプリッタ３、投影レンズ４、スクリーン５、
書き込み用ＣＲＴ６と、書き込み光学系用ファイバープ
レート７を備える一方、既述した回転フィルタ１０、回
転反射板１２の代わりに同期シャッター１５、コールド
ミラー１６及び反射ミラー１７から構成される初期化手
段を備えたものである。

【００５２】ここで、このコールドミラー１６は赤外光
を透過するものであり、同期シャッター１５は第１の信
号光と第２の信号光の間のタイミングで開く構成のもの
である。また、反射ミラー１７は凸面を有し、コールド
ミラー１６を透過した赤外光Ｌを同図に示すように反射
して空間光変調素子１に入射するためのものである。

【００５３】そして、このような構成とすることによ
り、光源２からの信号取出光２００は、コールドミラー
１６で反射され、赤外光以外が偏光ビームスプリッタ３
を通過して偏光となる一方、信号取出光２００に含まれ
る赤外光Ｌはコールドミラー１６を透過した後、反射ミ
ラー１７により光路を変えられて直接空間光変調素子１
に向かうようになる。なお、この赤外光Ｌは、通常は閉
じられている同期シャッター１５により遮断されるた
め、空間光変調素子１には入射しない。この状態で偏光
ビームスプリッタ３からの赤外光を含まない光を液晶層
で変調して出射する。

【００５４】一方、この同期シャッター１５が、ＣＲＴ
６からの入力の切換えのタイミングつまり第１の信号光
と第２の信号光の間のタイミングで開かれると、空間光
変調素子１のＰＣ層へ、信号取出光２００と重畳して赤
外光Ｌが入射するようになる。これにより、第１の信号
光により形成されたＰＣ層の状態をリセットすることが
でき、第２の信号光に影響を与えないようにすることが
できる。

【００５５】次に、第６の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。

【００５６】図１０は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子１、光源２、
偏光ビームスプリッタ３、投影レンズ４、スクリーン
５、書き込み用ＣＲＴ６、書き込み光学系用ファイバー
プレート７を備える一方、赤外光反射ミラー１４、反射
ミラー１６及び同期シャッター１５から構成される初期
化手段を備えている。なお、光源２は空間光変調素子１
側に設けられている。

【００５７】ここで、赤外光反射ミラー１４は赤外光Ｌ
を反射すると共に、反射させた赤外光Ｌを空間光変調素
子１に向かって照射させるように設置されている。そし
て、赤外光反射ミラー１４により、光源２からの信号取
出光２００は赤外光が除去された状態で反射ミラー１３
に向かった後、反射され、更に偏光ビームスプリッタ３
で偏光されて空間光変調素子１に入射する。そして、こ
の入射光はＣＲＴ６から信号光により変調された後、出
力光２０１としてスクリーン５上に出力される。

【００５８】なお、赤外光反射ミラー１４により反射さ
せられた赤外光Ｌは空間光変調素子１に向かうが、この
赤外光Ｌは通常は閉じられている同期シャッター１５に
より遮断されるため、空間光変調素子１には入射しな
い。

【００５９】一方、この同期シャッター１５が、ＣＲＴ
６からの入力の切換えのタイミングつまり第１の信号光
と第２の信号光の間のタイミングで開かれると、空間光
変調素子１のＰＣ層へ信号取出光２００と重畳して赤外
光Ｌが入射するようになる。これにより、第１の信号光
により形成されたＰＣ層の状態をリセットすることがで
き、第２の信号光に影響を与えないようにすることがで
きる。

【００６０】次に、第７の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。

【００６１】図１１は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子１、光源２、
偏光ビームスプリッタ３、投影レンズ、スクリーン５、
コールドミラー８、反射ミラー９を備える一方、空間光
変調素子１の出力側に、初期化手段として光源２とは別
のリセット用の赤外光を発生するリセット用光源１８を
設けると共に、リセット用光源１８をＣＲＴ６からの入
力光の切換えに対応して動作させることにより、第１の
信号光によるＰＣ層の変化が第２の信号光に対して影響
を与えないようにすることができる。

【００６２】次に、第８の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。

【００６３】図１２は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子１、光源２、
偏光ビームスプリッタ３、投影レンズ４、スクリーン
５、コールドミラー８、反射ミラー９を備える一方、リ
セット用の赤外光を発生するリセット用光源１９と同期
シャッター１５とから構成される初期化手段を備えてい
る。

【００６４】そして、ＣＲＴ６からの入力光の切換えの
タイミングに同期して同期シャッター１５を開くことに
より、第１の信号光によるＰＣ層の変化をリセットし、
第２の信号光に対して影響を与えないことが可能とな
る。なお、このリセット用光源１９は常時点灯していて
も構わない。

【００６５】ところで、これまでの説明において、光源
２としてメタルハライドランプ２ｂを用いたもの挙げて
いるが、ハロゲンランプ、Ｈｇアークランプ等を用いた
ものを使用することもできる。また、第５及び第６の実
施の形態においては、ＬＥＤ光源等も用いることが可能
である。

【００６６】さらに、偏光ビームスプリッタ３は、液晶
層が偏液晶層と異なる場合には、単なるビームスプリッ
タでも代用できる。また更に、書き込み信号の発生源と
したＣＲＴ６はこれに限定されるものではなく、ＬＥＤ
パネル、レーザスキャン装置、等の光画像形成可能なも
のであれば代替可能である。また、書き込み光学系とし
て記載したファイバープレート以外にプレートレンズ、
レンズ結像系、反射結像系等の使用も可能である。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、信
号取出光に含まれる光導電層の光導電率を変化させる感
度波長の光が誘電体ミラー層等を透過するようになるの
で、信号取出側から光導電層をリセットできる。これに
より、光導電層側以外からのリセットが可能となり、入
射画像の書き込み側の構成の制限を少なくでき、小型化
や無調整化などの利点が生かせるようになる。

【００６８】また、光源と空間光変調素子との間に設け
た初期化手段により、信号光にて変化した光導電層の光
導電率を次の信号光が入射される前に初期値に戻すこと
ができ、次の信号光が前の信号光の影響を受けないよう
にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る空間光変調素
子の構造を示す断面図。

【図２】上記空間光変調素子のＰＣ層の分光感度を示す
図表。

【図３】上記空間光変調素子の誘電体ミラーの分光反射
率を示す図表。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係る空間光変調素
子の構造を示す断面図。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。

【図６】上記映像投影装置の回転フィルタの平面図。

【図７】本発明の第４の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。

【図８】上記映像投影装置の回転反射板の平面図。

【図９】本発明の第５の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。

【図１０】本発明の第６の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。

【図１１】本発明の第７の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。

【図１２】本発明の第８の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。

【図１３】従来の空間光変調素子を用いた画像投影装置
の構成図。

【符号の説明】 １，１’，１Ａ 空間光変調素子 １００，１００’ 光変調部 １０１，１０７ 透明基板 １０２，１０６ 透明電極 １０３ ＰＣ層 １０４ 誘電体ミラー層 １０８ 遮光層 ２ 光源 ２００ 信号取出光 ２０２ 信号光 ６ ＣＲＴ １０ 回転フィルタ １０ａ 切欠き １２ 回転反射板 １２ｂ 赤外光反射部 １４ 赤外光反射ミラー １５ 同期シャッター １６ コールドミラー １７ 反射ミラー １８，１９ リセット用光源 Ｌ 赤外光

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明電極がそれぞれ形成された信号入力
   側及び信号取出側の一対の透明基板間に設けられた光導
   電層と、誘電体ミラー層と、光変調層とを有する空間光
   変調素子において、 前記信号取出側の透明基板から入射される光に含まれる
   前記光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有する
   光のうち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラ
   ー層を透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲が
   設定されていることを特徴とする空間光変調素子。
2. 【請求項２】 透明電極がそれぞれ形成された信号入力
   側及び信号取出側の一対の透明基板間に設けられた光導
   電層と、遮光層と、誘電体ミラー層と、光変調層とを有
   する空間光変調素子において、 前記信号取出側の透明基板から入射される光に含まれる
   前記光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有する
   光のうち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラ
   ー層及び前記遮光層を透過するよう該誘電体ミラー層の
   反射波長範囲及び該遮光層の遮光波長範囲が設定されて
   いることを特徴とする空間光変調素子。
3. 【請求項３】 前記光変調層として液晶層を用いたこと
   を特徴とする請求項１又は２記載の空間光変調素子。
4. 【請求項４】 前記透明電極及び透明基板は可視光線に
   対し透明であると共に、前記各透明基板から入射される
   光に対しても透明であることを特徴とする請求項１又は
   ２記載の空間光変調素子。
5. 【請求項５】 空間光変調素子と、前記空間光変調素子
   に信号光を入射するよう該空間光変調素子の信号入力側
   に設けられた書き込み部と、前記信号光を取り出すため
   の信号取出光を前記空間光変調素子に入射するよう該空
   間光変調素子の信号取り出し側に設けられた光源とを備
   えた画像投影装置において、 前記空間光変調素子を請求項１乃至４記載の空間光変調
   素子とする一方、該空間光変調素子と前記光源の間には
   前記信号光にて変化した前記光導電層の光導電率を次の
   信号光が入射される前に初期値に戻す初期化手段を設け
   たことを特徴とする画像投影装置。
6. 【請求項６】 前記初期化手段は、前記光導電層の光導
   電率を変化させる感度波長の光のうち所定の感度波長の
   光を該空間光変調素子に入射させて前記光変調層を初期
   化するように構成されていることを特徴とする請求項５
   記載の画像投影装置。
7. 【請求項７】 前記初期化手段は、前記光変調層を初期
   化する所定の感度波長の光を前記信号取出光から形成す
   る初期化信号形成手段を有していることを特徴とする請
   求項５及び６記載の画像投影装置。
8. 【請求項８】 前記初期化手段は、前記所定の感度波長
   の光を前記信号取出光に重畳して前記空間光変調素子に
   入射することを特徴とする請求項７記載の画像投影装
   置。
9. 【請求項９】 前記初期化手段は、前記信号取出光を入
   射する光源とは別な光源を用いて前記所定の感度波長の
   光を形成することを特徴とする請求項５及び６記載の画
   像投影装置。