JPH1069090A - Photosensitive film and production of color filter using the same - Google Patents

Photosensitive film and production of color filter using the same

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JPH1069090A
JPH1069090A JP8228387A JP22838796A JPH1069090A JP H1069090 A JPH1069090 A JP H1069090A JP 8228387 A JP8228387 A JP 8228387A JP 22838796 A JP22838796 A JP 22838796A JP H1069090 A JPH1069090 A JP H1069090A
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JP
Japan
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resin layer
photosensitive resin
film
cushion layer
colored photosensitive
Prior art date
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Pending
Application number
JP8228387A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromi Furubayashi
寛巳 古林
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
Manabu Saito
学 斉藤
Tadahiro Tanigawa
直裕 谷川
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive film capable of suppressing a migration of a monomer and a photointiator in the photosensitive resin layer to a cushion layer, less liable to a variation of sensitivity, almost free from ruggedness, capable of producing a high precision pattern with high productivity and fit to produce a color filter and to produce a color filter. SOLUTION: A transparent base film (a), a cushion layer (b) and a colored photosensitive resin layer (c) are successively laminated to obtain the objective photosensitive film. The photosensitive resin layer contains a photopolymerizable compd. having an ethylenic unsatd. group (B) and a photopolymn. initiator (C). The photosensitive film is stuck on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer (c) comes in contact with the substrate, the transparent base film (a) and the cushion layer (b) are peeled and the colored photosensitive resin layer (c) is patternwise exposed and developed. These processes are repeated to form a multicolored pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性フィルム及
びこれを用いたカラーフィルタの製造法関する。
The present invention relates to a photosensitive film and a method for producing a color filter using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶カラーテレビ、液晶カラー表
示のコンピューター等が実用化されているが、これらの
液晶表示装置は、透明電極を設けたガラス等の透明な基
板を1〜10μm程度の間隔を設けて、その間に液晶物
質を封入し、電極間の印加した電圧により液晶物質を配
向しその濃淡により表示する仕組になっている。さら
に、カラー表示のため、ガラス等の光学的に透明な基板
の表面に2種以上の色相を異にする、極めて微細なスト
ライプ状又はモザイク状のパターンを一定間隔に開け
て、平行又は交差して並べたカラーフィルタを設置して
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, liquid crystal color televisions, computers for liquid crystal color display, and the like have been put into practical use. Are provided, a liquid crystal substance is sealed between them, the liquid crystal substance is oriented by a voltage applied between the electrodes, and a display is performed by the density of the liquid crystal substance. Furthermore, for color display, two or more types of different hues, very fine stripe-like or mosaic-like patterns are spaced at regular intervals on the surface of an optically transparent substrate such as glass, and are parallel or intersecting. Color filters are arranged.

【0003】カラーフィルタは、通常、透明基板、着色
パターン、保護膜、透明電極の順に形成されている。着
色パターンは2種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状又はモザイク状のパターンからなるものであ
る。これらのパターンは、色相を所定の順序に所定の間
隔をおいて整然と配置し、しかも厚さむらの少ない均一
な層とする必要があり、種々のカラーフィルタの製造法
が提案されている。例えば、スクリーン印刷法では、低
コストのカラーフィルタの形成が可能である。また、フ
ォトリソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラー
フィルタ用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマ
スクを通して紫外線照射し、未露光部を除去した後、防
染層を形成しながら染色する方法が有る。
A color filter is usually formed in the order of a transparent substrate, a colored pattern, a protective film, and a transparent electrode. The coloring pattern is composed of an extremely fine stripe or mosaic pattern having two or more different hues. In these patterns, it is necessary to arrange the hues in a predetermined order and at predetermined intervals, and to form uniform layers with little unevenness in thickness. Various color filter manufacturing methods have been proposed. For example, the screen printing method can form a low-cost color filter. In addition, a method using a photolithography technique, that is, a method of irradiating a transparent film formed on a color filter substrate with ultraviolet light through a predetermined negative mask, removing unexposed portions, and dyeing while forming an anti-staining layer. There is.

【0004】前記の方法の改良方法として、基板上に着
色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、
露光、現像して一色のパターンを形成させ、この工程を
他の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタ
を形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造
時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジ
スト等に一般に使用されている透明支持体フィルム及び
感光性樹脂層からなる感光性フィルムを使用した多色の
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に
高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られて
いる。また、透明基板上に、支持体フィルムと一色に着
色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着
色された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせ
る工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び
前記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返し
て多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造され
る。
As an improvement of the above method, a colored solution of the photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried,
There is a method of forming a color filter by exposing and developing a pattern of one color, and repeating this process for other colors in the same manner. In addition, multicolor fine stripes or mosaics using a photosensitive film consisting of a transparent support film and a photosensitive resin layer, which are generally used for etching resists, plating resists, solder resists, etc. at the time of manufacturing printed wiring boards. 2. Description of the Related Art A method of manufacturing a color filter that can easily form a pattern with high precision is known. Also, a step of bonding a photosensitive film composed of a support film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate; The step of forming the pattern and the step of peeling and developing the support film are repeated to form a multicolor pattern, thereby producing a color filter.

【0005】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂層を、透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性フィ
ルムの感光性樹脂層を透明基板上に転写して、所定のパ
ターンのマスクを介して露光、現像してパターンを形成
する方法(特開昭61−99102号公報)が知られて
いる。また、このフィルムに所定のパターンのマスクを
介して露光、現像してパターンを形成した後、透明基板
上に転写してカラーフィルタのパターンを形成する方法
(特開昭61−99103号公報)及びこのフィルムを
透明基板上に加熱圧着して、所定のパターンのマスクを
介して露光して、支持体フィルムを剥離し、現像して透
明着色の画像パターンを形成する方法(特開昭63−1
87203号公報)が知られている。また、着色感光性
樹脂層の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着体を構成し
た感光性フィルムを用いて、特開昭63−187203
号公報と同様の方法でカラーフィルタのパターンを形成
する方法(特開平2−24624号公報)が知られてい
る。
For example, a photosensitive resin layer containing one hue colorant is applied to a transparent support film and dried, and the photosensitive resin layer of the photosensitive film is transferred onto a transparent substrate, and is transferred through a mask having a predetermined pattern. (Japanese Patent Laid-Open No. 61-99102) is known. A method of forming a pattern by exposing and developing the film through a mask having a predetermined pattern, and then transferring the film onto a transparent substrate to form a color filter pattern (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-99103); This film is heated and pressed on a transparent substrate, exposed through a mask having a predetermined pattern, and the support film is peeled off and developed to form a transparent colored image pattern (Japanese Patent Laid-Open No. 63-1).
87203). Further, a photosensitive film in which an adhesive of a polyvinyl acetate copolymer is formed on a colored photosensitive resin layer is disclosed in JP-A-63-187203.
There is known a method of forming a color filter pattern in the same manner as in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-24624.

【0006】しかしながら、感光性フィルムを用いたカ
ラーフィルタの製造法においては、多色の内二色目以降
を感光性フィルムのラミネート(積層)で形成するた
め、どうしても既に形成されてパターンが影響し、表面
の段差が発生する問題がある。この段差は、後の工程の
透明樹脂からなるオーバーコート層の塗布むらやその後
のスパッタリングによるIn23−SnO2系の電極形
成不良による高抵抗化の問題がある。また、直接に画像
の荒れとして現れることもある。この段差を低減するた
めに、着色感光性樹脂層と透明支持体の間に熱可塑性の
樹脂層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦化する
方法(特開平4−208940号公報、特開平7−20
309号公報等)が提案されている。この方法では、着
色感光性樹脂層とクッション層が密着しているため、ク
ッション層の上に所定のパターンのマスクを介して露光
しなければならなく、著しい解像度不足を招く結果とな
っている。このため露光前に透明支持体フィルムと一緒
にクッション層を剥離する方法が提案されている。
However, in a method of manufacturing a color filter using a photosensitive film, the second and subsequent colors of the multicolor are formed by laminating the photosensitive film. There is a problem that a step on the surface occurs. This step may later high resistance by In 2 O 3 -SnO 2 based electrode forming defective by uneven coating and subsequent sputtering made of a transparent resin overcoat layer process problems. In addition, it may directly appear as a rough image. In order to reduce the level difference, a method of providing a thermoplastic resin layer between the colored photosensitive resin layer and the transparent support and flattening it by pressure and temperature during lamination (JP-A-4-208940, JP-A-4-208940, 7-20
No. 309) has been proposed. In this method, since the colored photosensitive resin layer and the cushion layer are in close contact with each other, it is necessary to expose the cushion layer through a mask having a predetermined pattern, resulting in a remarkable lack of resolution. Therefore, a method has been proposed in which the cushion layer is peeled off together with the transparent support film before exposure.

【0007】しかし、この方法では、透明支持体フィル
ムとクッション層を剥離する際に着色感光性樹脂層とク
ッション層の密着が強く、着色感光性樹脂層が透明基板
上に残らない問題がある。また、クッション層と着色感
光性樹脂層を積層した後に、着色感光性樹脂層の感度が
変動し、カラーフィルタの製造工程において生産性が悪
いことが問題になっている。
However, this method has a problem that when the transparent support film and the cushion layer are peeled off, the adhesion between the colored photosensitive resin layer and the cushion layer is strong, and the colored photosensitive resin layer does not remain on the transparent substrate. Further, after laminating the cushion layer and the colored photosensitive resin layer, the sensitivity of the colored photosensitive resin layer fluctuates, and there is a problem that productivity is poor in a color filter manufacturing process.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、クッション層への感光性樹脂層中のモノマ及び光開
始剤の移行を抑制でき、感度の変動が少なく、段差が小
さく、高精度のパターンを生産性よく製造できるカラー
フィルタの製造に好適な感光性フィルムを提供するもの
である。請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の
効果を奏し、よりクッション層への感光性樹脂層中のモ
ノマ及び光開始剤の移行を抑制でき、より感度の変動が
少ない感光性フィルムを提供するものである。請求項3
記載の発明は、請求項1又は2記載の発明の効果を奏
し、さらに作業性、環境安全性等が優れる感光性フィル
ムを提供するものである。請求項4記載の発明は、クッ
ション層への感光性樹脂層中のモノマ及び光開始剤の移
行を抑制でき、感度の変動が少なく、段差が小さく、高
精度のパターンを生産性よく製造できるカラーフィルタ
の製造法を提供するものである。
According to the first aspect of the present invention, the transfer of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer can be suppressed, the fluctuation of the sensitivity is small, the step is small, and the precision is high. It is intended to provide a photosensitive film suitable for the production of a color filter capable of producing the pattern with high productivity. The invention according to claim 2 has the effect of the invention according to claim 1, and can suppress the migration of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer, and the sensitivity film has less fluctuation in sensitivity. Is provided. Claim 3
The invention described provides the effect of the invention described in claim 1 or 2, and further provides a photosensitive film having excellent workability, environmental safety, and the like. The invention according to claim 4 can suppress the migration of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer, reduce the variation in sensitivity, reduce the level difference, and produce a highly accurate pattern with high productivity. A method for manufacturing a filter is provided.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、(a)透明支
持体フィルム、(b)クッション層及び(c)着色され
た感光性樹脂層を順次積層してなる感光性フィルムにお
いて、(b)クッション層中に、(B)エチレン性不飽
和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を
含有する感光性フィルムに関する。また、本発明は、
(b)クッション層中の(B)エチレン性不飽和基を有
する光重合性化合物の配合量が、クッション層の総量を
100重量部として、0.3〜30重量部であり、
(C)光重合開始剤の配合量が、クッション層の総量を
100重量部として、0.1〜30重量部である前記感
光性フィルムに関する。
According to the present invention, there is provided a photosensitive film comprising (a) a transparent support film, (b) a cushion layer and (c) a colored photosensitive resin layer which are sequentially laminated. The present invention relates to a photosensitive film containing (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator in a cushion layer. Also, the present invention
(B) the compounding amount of (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group in the cushion layer is 0.3 to 30 parts by weight, with the total amount of the cushion layer being 100 parts by weight;
(C) The photosensitive film, wherein the amount of the photopolymerization initiator is 0.1 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the cushion layer.

【0010】また、本発明は、(c)着色された感光性
樹脂層が、(A)カルボキシル基を有する有機高分子化
合物、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物、(C)光重合開始剤及び(D)顔料又は染料を含有
するものである前記感光性フィルムに関する。また、本
発明は、(I)前記感光性フィルムを、(c)着色され
た感光性樹脂層が、透明基板上に接するように貼り合わ
せる工程、(II)(a)透明支持体フィルム及び(b)
クッション層を剥離する工程並びに(III)(c)着色
された感光性樹脂層をパターン状に露光、現像する工程
を含む工程を繰り返すことにより、多色のパターンを形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造法に関す
る。
Further, the present invention provides (c) a method in which the colored photosensitive resin layer comprises (A) an organic polymer compound having a carboxyl group, (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, The present invention relates to the photosensitive film containing a photopolymerization initiator and (D) a pigment or a dye. Also, the present invention provides (I) a step of (c) laminating the photosensitive film so that a colored photosensitive resin layer is in contact with a transparent substrate, (II) (a) a transparent support film, and b)
A color characterized by forming a multicolor pattern by repeating a step of peeling the cushion layer and a step of (III) (c) exposing and developing the colored photosensitive resin layer in a pattern. The present invention relates to a method for manufacturing a filter.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の感光性フィルムは、
(a)透明支持体フィルム、(b)クッション層及び
(c)着色された感光性樹脂層を順次積層してなるもの
であり、(b)クッション層中に、(B)エチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤
を含有するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive film of the present invention comprises
(A) a transparent support film, (b) a cushion layer, and (c) a colored photosensitive resin layer which are sequentially laminated, and (b) an ethylenically unsaturated group in the cushion layer. And (C) a photopolymerization initiator.

【0012】本発明における(a)透明支持体フィルム
としては、厚さが2〜100μm程度のポリエステルフ
ィルムを使用することができ、具体的には、帝人製テト
ロンフィルム、デュポン社製マイラーフィルム等のポリ
エステルフィルムなどが挙げられる。
As the transparent support film (a) in the present invention, a polyester film having a thickness of about 2 to 100 μm can be used. Specific examples include Tetron film manufactured by Teijin and Mylar film manufactured by DuPont. Examples include a polyester film.

【0013】本発明における(b)クッション層は、
(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
(C)光重合開始剤を必須成分として含有するものであ
る。
In the present invention, (b) the cushion layer comprises:
It contains (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator as essential components.

【0014】本発明における(B)エチレン性不飽和基
を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコ
ールにα,β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物(トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメ
チロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレ
ート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサメタクリレート等)、グリシジル基
含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物(トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジ
ルエーテルジアクリレート、ビスフェノールAジグリシ
ジルエーテルジメタクリレート等)、多価カルボン酸
(無水フタル酸等)と水酸基及びエチレン性不飽和基を
有する化合物(β−ヒドロキシエチルアクリレート、β
−ヒドロキシエチルメタクリレート等)とのエステル化
合物、アクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステル
(アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸
エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタ
クリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタ
クリル酸2−エチルヘキシル等)、トリメチルヘキサメ
チレンジイソシアナートと2価アルコールとアクリル酸
ヒドロキシモノエステル又はメタクリル酸ヒドロキシモ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物等が挙げられる。これらは単独で又は2種類
以上を組み合わせて使用される。
As the photopolymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated group in the present invention, for example, a compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol (trimethylolpropane diacrylate) , Trimethylolpropane dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethanetrimethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, etc.), and glycidyl group-containing compounds. Compounds obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid (trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether diacrylate) Over DOO, bisphenol A diglycidyl ether dimethacrylate), a compound having a hydroxyl group and ethylenically unsaturated group with a polyvalent carboxylic acid (such as phthalic anhydride) (beta-hydroxyethyl acrylate, beta
-Hydroxyethyl methacrylate or the like, an alkyl ester of acrylic acid or methacrylic acid (methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate) and urethane diacrylate compounds obtained by reacting trimethylhexamethylene diisocyanate with a dihydric alcohol and hydroxy monoester acrylate or hydroxy monoester methacrylate. These are used alone or in combination of two or more.

【0015】本発明における(C)光重合開始剤として
は、例えば、芳香族ケトン(ベンゾフェノン、4,4′
−ジメチルアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、
4,4′−ジエチルアミノベンゾフェノン、4−メトキ
シ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等)、ベンゾイ
ン(ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等)、2,4,5−
トリアリールイミダゾール二量体(2−(o−クロロフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2
−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシ
フェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、
2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェ
ニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2
−ジ(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等)などが挙げられるがこれ
に限定されるものではない。これらは単独で又は2種類
以上を組み合わせて使用される。
As the photopolymerization initiator (C) in the present invention, for example, aromatic ketones (benzophenone, 4,4 ')
-Dimethylaminobenzophenone (Michler's ketone),
4,4'-diethylaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, etc., benzoin (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.), 2,4,5 −
Triarylimidazole dimer (2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2
-(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, , 4-Di (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2
-Di (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer) and the like, but are not limited thereto. These are used alone or in combination of two or more.

【0016】本発明における(b)クッション層には、
必須成分である(B)エチレン性不飽和基を有する光重
合性化合物及び(C)光重合開始剤の他に、通常、熱可
塑性樹脂が用いられる。熱可塑性樹脂としては、例え
ば、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、
エチレンエチルアクリレート共重合体樹脂、エチレンメ
タクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アイオ
ノマー樹脂等が挙げられる。
In the present invention, (b) the cushion layer comprises:
In addition to the essential components (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator, usually a thermoplastic resin is used. As the thermoplastic resin, for example, polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer resin,
Examples include ethylene ethyl acrylate copolymer resin, ethylene methacrylic acid copolymer resin, polyvinyl chloride resin, and ionomer resin.

【0017】本発明における(b)クッション層におい
て、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物
の配合量は、(b)クッション層の総量を100重量部
として、0.3〜30重量部とすることが好ましく、
0.3〜20重量部とすることがより好ましい。この配
合量が0.3重量部未満では、(c)着色された感光性
樹脂層の感度の変動を抑制できない傾向があり、30重
量部を超えると、(b)クッション層から、(c)着色
された感光性樹脂層へ(B)成分が逆移行し、所望の感
度よりも感度が高くなりすぎる傾向があり、また、
(b)クッション層が柔らかくなりすぎて、(c)着色
された感光性樹脂層から剥離できなくなる傾向がある。
In the (b) cushion layer of the present invention, the compounding amount of (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group is 0.3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the (b) cushion layer. Preferably by weight,
More preferably, the content is 0.3 to 20 parts by weight. If the amount is less than 0.3 parts by weight, the sensitivity of the (c) colored photosensitive resin layer tends to be unable to be suppressed, and if it exceeds 30 parts by weight, (c) The component (B) tends to migrate backward to the colored photosensitive resin layer, and the sensitivity tends to be higher than desired, and
(B) The cushion layer tends to be too soft and cannot be separated from the (c) colored photosensitive resin layer.

【0018】なお、本発明における(b)クッション層
に用いる、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性
化合物は、後述する(c)着色された感光性樹脂層に用
いることができる(B)エチレン性不飽和基を有する光
重合性化合物と、必ずしも同一である必要はないが、1
種類以上の(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性
化合物が共通であることが好ましい。
The (B) photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group used in the (b) cushion layer in the present invention can be used in the (c) colored photosensitive resin layer described later ( B) It is not always necessary to be the same as the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group.
It is preferred that at least two or more (B) photopolymerizable compounds having an ethylenically unsaturated group are common.

【0019】本発明における(b)クッション層におい
て、(C)光重合開始剤の配合量は、(b)クッション
層の総量を100重量部として、1.0〜30重量部と
することが好ましい。この配合量が1.0重量部未満で
は、(c)着色された感光性樹脂層の感度の変動を抑制
できない傾向があり、光感度が不充分となる傾向があ
る。また、30重量部を超えると、(b)クッション層
から、(c)着色された感光性樹脂層へ(C)成分が逆
移行し、所望の感度よりも感度が高くなりすぎる傾向が
ある。
In the (b) cushion layer of the present invention, the amount of the photopolymerization initiator (C) is preferably from 1.0 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the (b) cushion layer. . If the compounding amount is less than 1.0 part by weight, there is a tendency that fluctuation in sensitivity of the colored photosensitive resin layer (c) cannot be suppressed, and the light sensitivity tends to be insufficient. On the other hand, when the amount exceeds 30 parts by weight, the component (C) reversely moves from the (b) cushion layer to the (c) colored photosensitive resin layer, and the sensitivity tends to be higher than desired.

【0020】なお、本発明における(b)クッション層
に用いる、(C)光重合開始剤は、後述する(c)着色
された感光性樹脂層に用いることができる(C)光重合
開始剤と、必ずしも同一である必要はないが、1種類以
上の(C)光重合開始剤が共通であることが好ましい。
The (C) photopolymerization initiator used for the (b) cushion layer in the present invention is the same as the (C) photopolymerization initiator that can be used for the (c) colored photosensitive resin layer described later. However, it is not always necessary that they be the same, but it is preferable that one or more (C) photopolymerization initiators are common.

【0021】また、本発明における(b)クッション層
には、(c)着色された感光性樹脂層からの剥離を容易
にできる点から、ワックスを含有させることができる。
Further, the cushion layer (b) in the present invention may contain a wax in that it can be easily separated from the colored photosensitive resin layer (c).

【0022】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層は、紫外線により露光され、アルカリ水溶液で現像
可能な樹脂であることが好ましく、例えば、(A)カル
ボキシル基を有する有機高分子化合物、(B)エチレン
性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始
剤及び(D)顔料又は染料を含有するものであることが
より好ましい。
The colored photosensitive resin layer (c) in the present invention is preferably a resin that can be exposed to ultraviolet light and developable with an aqueous alkali solution. For example, (A) an organic polymer compound having a carboxyl group; More preferably, it contains (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a pigment or dye.

【0023】本発明における(A)カルボキシル基を有
する有機高分子化合物としては、例えば、アクリル酸ア
ルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステルと、
アクリル酸又はメタクリル酸との共重合体、アクリル酸
アルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステル
と、アクリル酸又はメタクリル酸と、これらと共重合し
得るビニルモノマとの共重合体等が挙げられる。
The (A) organic polymer compound having a carboxyl group in the present invention includes, for example, alkyl acrylate or alkyl methacrylate,
Copolymers of acrylic acid or methacrylic acid, copolymers of alkyl acrylate or alkyl methacrylate, acrylic acid or methacrylic acid, and vinyl monomers copolymerizable therewith, and the like can be given.

【0024】アクリル酸アルキルエステル又はメタクリ
ル酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メ
チル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタク
リル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチ
ル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸2−
エチルヘキシル等が挙げられる。
Examples of the alkyl acrylate or alkyl methacrylate include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, and methacrylic acid 2 −
Ethylhexyl and the like.

【0025】また、アクリル酸アルキルエステル又はメ
タクリル酸アルキルエステルや、アクリル酸又はメタク
リル酸と、これらと共重合し得るビニルモノマとして
は、例えば、アクリル酸ジメチルエチル、メタクリル酸
ジメチルエチル、アクリル酸テトラヒドロフルフリル、
メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、2,2,2−ト
リフルオロエチルアクリレート、2,2,2−トリフル
オロエチルメタクリレート、2,2,3,3−テトラフ
ルオロプロピルアクリレート、2,2,3,3−テトラ
フルオロプロピルメタクリレート、アクリルアミド、ジ
アセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等
が挙げられる。
Examples of alkyl acrylate or methacrylate, or acrylic or methacrylic acid and vinyl monomers copolymerizable therewith include, for example, dimethylethyl acrylate, dimethylethyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate ,
Tetrahydrofurfuryl methacrylate, 2,2,2-trifluoroethyl acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl methacrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl acrylate, 2,2,3,3-tetra Fluoropropyl methacrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyltoluene and the like.

【0026】さらに、アクリル酸又はメタクリル酸を共
重合成分として含む、テレフタル酸、イソフタル酸、セ
バシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリロニト
リルの共重合体、セルロースアセテート、セルロースア
セテートブチレート、メチルセルロース、エチルセルロ
ースなども使用することができる。
Further, polyesters such as terephthalic acid, isophthalic acid and sebacic acid, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, methylcellulose, ethylcellulose and the like containing acrylic acid or methacrylic acid as a copolymer component are also included. Can be used.

【0027】本発明における(A)カルボキシル基を有
する有機高分子化合物の重量平均分子量(ゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリ
スチレン検量線を用いて換算した値)は、20,000
〜300,000とすることが好ましい。
The weight average molecular weight of the (A) organic polymer compound having a carboxyl group in the present invention (a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve) is 20,000.
It is preferably set to ~ 300,000.

【0028】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層に使用できる(B)エチレン性不飽和基を有する光
重合性化合物としては、前述した(b)クッション層に
使用できる(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性
化合物等が挙げられ、これらは単独で又は2種類以上を
組み合わせて使用される。
In the present invention, (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group which can be used in the colored photosensitive resin layer (B) can be used in the above-mentioned (b) cushion layer. Examples thereof include photopolymerizable compounds having an unsaturated group, and these are used alone or in combination of two or more.

【0029】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層に使用できる(C)光重合開始剤としては、前述し
た(b)クッション層に使用できる(C)光重合開始剤
等が挙げられ、これらは単独で又は2種類以上を組み合
わせて使用される。
The (C) photopolymerization initiator which can be used for the colored photosensitive resin layer (C) in the present invention includes the above-mentioned (B) photopolymerization initiator which can be used for the cushion layer (b). These are used alone or in combination of two or more.

【0030】本発明における(D)顔料又は染料として
は、特に制限はなく、公知の着色剤を使用することがで
き、感光性樹脂層の成分、特に、(A)カルボキシル基
を有する有機高分子化合物又は(B)エチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物に対する相容性、目標とする
色相、光透過性等を考慮して選択することができる。
The pigment or dye (D) in the present invention is not particularly limited, and a known coloring agent can be used. The component (A) of the photosensitive resin layer, in particular, (A) an organic polymer having a carboxyl group The selection can be made in consideration of the compatibility with the compound or the photopolymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated group, a target hue, light transmittance, and the like.

【0031】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層において、(A)成分の配合量は、(c)着色され
た感光性樹脂層中の(A)成分及び(B)成分の総量を
100重量部として、20〜60重量部とすることが好
ましい。この配合量が20重量部未満では、塗膜性が不
充分となる傾向があり、60重量部を超えると、硬化物
の膜特性が低下する傾向がある。
In the colored photosensitive resin layer (c) of the present invention, the amount of the component (A) is determined by the total amount of the component (A) and the component (B) in the colored photosensitive resin layer (c). To 100 parts by weight, and preferably 20 to 60 parts by weight. If the amount is less than 20 parts by weight, the coating properties tend to be insufficient, and if it exceeds 60 parts by weight, the film properties of the cured product tend to deteriorate.

【0032】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層において、(B)成分の配合量は、(c)着色され
た感光性樹脂層中の(A)成分及び(B)成分の総量を
100重量部として、40〜80重量部とすることが好
ましい。この配合量が40重量部未満では、光感度が不
充分となる傾向があり、硬化物の膜特性が低下する傾向
がある。また、80重量部を超えると、塗膜性が不充分
となる傾向がある。
In the colored photosensitive resin layer (c) of the present invention, the amount of the component (B) is determined by the total amount of the component (A) and the component (B) in the colored photosensitive resin layer (c). Of 100 parts by weight, and preferably 40 to 80 parts by weight. If the amount is less than 40 parts by weight, the photosensitivity tends to be insufficient, and the film properties of the cured product tend to decrease. If it exceeds 80 parts by weight, the coating properties tend to be insufficient.

【0033】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層において、(C)成分の配合量は、(c)着色され
た感光性樹脂層中の(A)成分及び(B)成分の総量1
00重量部に対して、1.0〜30重量部とすることが
好ましい。この配合量が1.0重量部未満では、光感度
が不充分となる傾向があり、30重量部を超えると、露
光の際、(c)着色された感光性樹脂層の表面での光吸
収が増大し、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
In the colored photosensitive resin layer (c) of the present invention, the amount of the component (C) is determined by the total amount of the components (A) and (B) in the colored photosensitive resin layer (c). 1
Preferably, the amount is 1.0 to 30 parts by weight based on 00 parts by weight. If the amount is less than 1.0 part by weight, the photosensitivity tends to be insufficient. If the amount exceeds 30 parts by weight, (c) light absorption on the surface of the colored photosensitive resin layer upon exposure And the photocuring inside tends to be insufficient.

【0034】本発明における(c)着色された感光性樹
脂層において、(D)成分の配合量は、(c)着色され
た感光性樹脂層中の(A)成分及び(B)成分の総量1
00重量部に対して、1〜50重量部とすることが好ま
しい。。この配合量が1重量部未満では、着色が不充分
となる傾向があり、50重量部を超えると、光透過率が
低下する傾向がある。
In the colored photosensitive resin layer (c) in the present invention, the amount of the component (D) is determined by the total amount of the component (A) and the component (B) in the colored photosensitive resin layer (c). 1
Preferably, the amount is 1 to 50 parts by weight based on 00 parts by weight. . If the amount is less than 1 part by weight, the coloring tends to be insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the light transmittance tends to decrease.

【0035】また、本発明における(c)着色された感
光性樹脂層には、熱重合性成分安定剤、メラミン樹脂等
熱硬化性樹脂などを含有することもできる。
Further, the colored photosensitive resin layer (c) in the present invention may contain a thermopolymerizable component stabilizer, a thermosetting resin such as a melamine resin, and the like.

【0036】本発明の感光性フィルムは、前記(a)透
明支持体フィルム上に、(b)クッション層に使用され
る各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥して
(b)クッション層を形成し、次いで、この(b)クッ
ション層の上に、(c)着色された感光性樹脂層に使用
される各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥し
て(c)着色された感光性樹脂層を形成することにより
得ることができる。
The photosensitive film of the present invention is obtained by dissolving (b) each component used for the cushion layer in a solvent on the transparent support film (a), applying the solution, and drying the solution (b). A cushion layer is formed, and then, on the (b) cushion layer, each component used for the (c) colored photosensitive resin layer is dissolved in a solvent, and this solution is applied and dried (c). ) It can be obtained by forming a colored photosensitive resin layer.

【0037】(b)クッション層に使用される各成分及
び(c)着色された感光性樹脂層に使用される各成分を
溶解する溶剤としては、例えば、、アセトン、メチルエ
チルケトン、トルエン、エチルセロソルブ、酢酸エチ
ル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙
げられる。
Examples of the solvent that dissolves each component used in (b) the cushion layer and (c) each component used in the colored photosensitive resin layer include acetone, methyl ethyl ketone, toluene, ethyl cellosolve, and the like. Examples include ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, and the like.

【0038】(b)クッション層の溶液及び(c)着色
された感光性樹脂層の溶液を塗布する際の塗布方法とし
ては、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビア
コータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ
等が挙げられる。(b)クッション層及び(c)着色さ
れた感光性樹脂層の乾燥温度は、通常、40〜150℃
であり、乾燥時間は、通常、2〜30分間である。
As a method of applying the (b) solution of the cushion layer and the (c) solution of the colored photosensitive resin layer, for example, a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, a bar coater And the like. The drying temperature of (b) the cushion layer and (c) the colored photosensitive resin layer is usually 40 to 150 ° C.
The drying time is usually 2 to 30 minutes.

【0039】本発明の感光性フィルムにおける(b)ク
ッション層の膜厚は、3〜30μmとすることが好まし
く、5〜20μmとすることがより好ましい。この膜厚
が3μm未満では、(b)クッション層を設けた効果が
小さくなり、(c)着色された感光性樹脂層の1色目の
パターンの設けられた基板或いは1色目のパターン及び
2色目のパターンの設けられた基板の表面の凹凸への追
従性が不充分となる傾向があり、30μmを超えると、
コストアップとなる傾向がある。
The thickness of the cushion layer (b) in the photosensitive film of the present invention is preferably 3 to 30 μm, more preferably 5 to 20 μm. When the thickness is less than 3 μm, the effect of (b) providing the cushion layer is reduced, and (c) the substrate on which the first color pattern of the colored photosensitive resin layer is provided or the first color pattern and the second color pattern are formed. There is a tendency that the followability to the unevenness of the surface of the substrate provided with the pattern is insufficient, and if it exceeds 30 μm,
The cost tends to increase.

【0040】本発明の感光性フィルムにおける(c)着
色された感光性樹脂層の膜厚は、0.5〜5.0μmと
することが好ましく、1.0〜2.5μmとすることが
より好ましい。この膜厚が0.5μm未満では、塗膜外
観不良(かすれ)及び色相調整不能となる傾向があり、
5.0μmを超えると、コストアップ及び塗膜外観不良
(流れによるスジ)となる傾向がある。
The thickness of the colored photosensitive resin layer (c) in the photosensitive film of the present invention is preferably 0.5 to 5.0 μm, more preferably 1.0 to 2.5 μm. preferable. When the film thickness is less than 0.5 μm, the coating film appearance tends to be poor (blurring) and the hue cannot be adjusted,
If it exceeds 5.0 μm, the cost tends to increase and the coating film appearance tends to be poor (streak due to flow).

【0041】本発明の感光性フィルムには、(c)着色
された感光性樹脂層を保護するために、前記(c)着色
された感光性樹脂層の上に、さらに保護フィルムを積層
することが好ましい。保護フィルムとしては、例えば、
ポリエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム等が使
用できるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の点から、ポ
リオレフィンフィルムが好ましく、ポリエチレンフィル
ムがより好ましい。また、保護フィルム厚さは、10〜
40μmとすることが好ましい。保護フィルム厚さが1
0μm未満では、取扱性が劣る傾向があり、40μmを
超えると、コストアップとなる傾向がある。
In the photosensitive film of the present invention, (c) a protective film is further laminated on the (c) colored photosensitive resin layer in order to protect the colored photosensitive resin layer. Is preferred. As a protective film, for example,
A polyester film, a polyolefin film, or the like can be used, but a polyolefin film is preferable, and a polyethylene film is more preferable in terms of price, flexibility, strength, hardness, and the like. The protective film thickness is 10 to
Preferably it is 40 μm. Protective film thickness is 1
If it is less than 0 μm, the handleability tends to be poor, and if it exceeds 40 μm, the cost tends to increase.

【0042】また、本発明の感光性フィルムは、(a)
透明支持体フィルム上に、(b)クッション層に使用さ
れる各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾燥して
(b)クッション層を形成したものと、別途(a)透明
支持体フィルム上に、(c)着色された感光性樹脂層に
使用される各成分を溶剤に溶解し、この溶液を塗布、乾
燥して(c)着色された感光性樹脂層を形成したものと
を、(b)クッション層と(c)着色された感光性樹脂
層を接するようにして張り合わせることにより得ること
もできる。
Further, the photosensitive film of the present invention comprises (a)
On a transparent support film, (b) each component used for a cushion layer is dissolved in a solvent, and this solution is applied and dried to form (b) a cushion layer. On a film, (c) each component used for the colored photosensitive resin layer is dissolved in a solvent, and this solution is applied and dried to form (c) a colored photosensitive resin layer. , (B) and the (c) colored photosensitive resin layer in contact with each other.

【0043】このようにして得られた本発明の感光性フ
ィルムは、ロール状にして、保管することが可能であ
る。
The thus obtained photosensitive film of the present invention can be stored in the form of a roll.

【0044】本発明のカラーフィルタの製造法は、
(I)前記本発明の感光性フィルムを、(c)着色され
た感光性樹脂層が、透明基板上に接するように貼り合わ
せる工程、(II)(a)透明支持体フィルム及び(b)
クッション層を剥離する工程並びに(III)(c)着色
された感光性樹脂層をパターン状に露光、現像する工程
を含む各工程を繰り返すことにより、多色のパターンを
形成することを特徴とする。
The method for producing the color filter of the present invention is as follows.
(I) a step of laminating the photosensitive film of the present invention so that (c) a colored photosensitive resin layer is in contact with a transparent substrate; (II) (a) a transparent support film and (b)
A multicolor pattern is formed by repeating each step including a step of peeling the cushion layer and a step (III) of exposing and developing the colored photosensitive resin layer in a pattern. .

【0045】本発明における透明基板としては、透明で
あれば特に制限はなく、その材質として、例えば、ガラ
ス、プラスチック等が挙げられる。以下、本発明のカラ
ーフィルタの製造法について詳述する。 〔(I)前記本発明の感光性フィルムを、(c)着色さ
れた感光性樹脂層が、透明基板上に接するように貼り合
わせる工程〕まず、必要に応じてブラックマトリックス
が形成された透明基板を、必要に応じて加熱(100〜
200℃、3〜30分間)した後、この透明基板上に、
(c)着色された感光性樹脂層が接するように、感光性
フィルムの保護フィルムを剥がしながらラミネート(貼
り合わせ)する。
The transparent substrate in the present invention is not particularly limited as long as it is transparent, and examples of the material include glass and plastic. Hereinafter, the method for producing the color filter of the present invention will be described in detail. [(I) Step of bonding the photosensitive film of the present invention so that (c) the colored photosensitive resin layer is in contact with the transparent substrate] First, if necessary, a transparent substrate on which a black matrix is formed Is optionally heated (100-
(200 ° C., 3-30 minutes), and then on this transparent substrate,
(C) Laminating (laminating) the protective film of the photosensitive film while peeling it so that the colored photosensitive resin layer is in contact with the photosensitive film.

【0046】ラミネートは、通常、ホットロールと呼ば
れる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる加熱
用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロールに
より、(c)着色された感光性樹脂層を加熱し、軟化し
ながら行う。ラミネート時のラミネート温度は、60〜
150℃とすることが好ましく、ロール圧力は、9.8
×104〜4.9×105Paとすることが好ましく、ラミ
ネート速度は、0.5〜6.0m/分とすることが好ま
しい。
Lamination is usually performed by heating and softening the (c) colored photosensitive resin layer by a heatable roll called a hot roll or a heating jacket called a heat shoe and a roll called a laminate roll. Do. Laminating temperature during lamination is 60 ~
Preferably, the temperature is 150 ° C., and the roll pressure is 9.8.
It is preferable that the pressure is set to × 10 4 to 4.9 × 10 5 Pa, and the laminating speed is set to 0.5 to 6.0 m / min.

【0047】〔(II)(a)透明支持体フィルム及び
(b)クッション層を剥離する工程〕前記(I)の工程
が終了した後、(c)着色された感光性樹脂層上の、
(b)クッション層を剥離することにより、(a)透明
支持体フィルム及び(b)クッション層を同時に剥離す
ることができる。また、最初に(a)透明支持体フィル
ムを剥離し、次いで、(b)クッション層を剥離するこ
ともできる。
[(II) Step of peeling off (a) the transparent support film and (b) the cushion layer] After the step (I) is completed, (c) the colored photosensitive resin layer
By peeling the (b) cushion layer, (a) the transparent support film and (b) the cushion layer can be peeled at the same time. Alternatively, (a) the transparent support film may be firstly peeled off, and then (b) the cushion layer may be peeled off.

【0048】剥離方法としては、例えば、直線型針、鉤
型針等で、(a)透明支持体フィルム及び(b)クッシ
ョン層の一方或いは両方を引っ掛けて、保獲/保持して
引っ張ることにより、(a)透明支持体フィルムと
(b)クッション層を併せて一体で(c)着色された感
光性樹脂層から引き剥がす方法又は(a)透明支持体フ
ィルムを(b)クッション層から、(b)クッション層
を(c)着色された感光性樹脂層から別々に引き剥がす
方法、粘着面を有するプローブを(a)透明支持体フィ
ルムに粘着させて、保獲/保持して引っ張ることによ
り、(a)透明支持体フィルムと(b)クッション層を
併せて一体で(c)着色された感光性樹脂層から引き剥
がす方法又は粘着面を有するプローブを(a)透明支持
体フィルムに粘着させて、保獲/保持して引っ張って、
(a)透明支持体フィルムを(b)クッション層から引
き剥がした後、(b)クッション層に粘着面を有するプ
ローブを粘着させて、保獲/保持して引っ張ることによ
り、(b)クッション層を(c)着色された感光性樹脂
層から引き剥がす方法等により、物理的に剥離する方法
が挙げられる。
As a peeling method, for example, one or both of (a) the transparent support film and (b) the cushion layer are hooked with a linear needle, a hook-shaped needle, or the like, and are caught / held and pulled. (A) a method in which the transparent support film and the (b) cushion layer are combined together and peeled off from the (c) colored photosensitive resin layer, or (a) the transparent support film is separated from the (b) cushion layer by (b) b) a method in which the cushion layer is separately peeled from the colored photosensitive resin layer, and a probe having an adhesive surface is adhered to the (a) transparent support film, and the probe is captured / held and pulled. (A) A method in which the transparent support film and the (b) cushion layer are combined together and peeled off from the colored photosensitive resin layer or a probe having an adhesive surface is adhered to the (a) transparent support film. Pulling and barking / retention,
(A) After peeling the transparent support film from the (b) cushion layer, the probe having an adhesive surface is adhered to the (b) cushion layer, and the probe is caught / held and pulled to thereby obtain the (b) cushion layer. (C) physically peeling off from the colored photosensitive resin layer.

【0049】〔(III)(c)着色された感光性樹脂層
をパターン状に露光、現像する工程〕前記(II)の工程
が終了した後、(c)着色された感光性樹脂層の上に、
所定パターンのネガマスクを乗せて、パターン状に露光
する。露光は、通常、専用の露光機を使用し、接触又は
非接触型のものを用いて行う。露光時の光源としては、
例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドラ
ンプ、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するもの
を用いることができる。次いで、未露光部分を現像液で
現像することにより除去して、着色パターンが形成され
る。現像方法としては、例えば、ディップ法、スプレー
法等が挙げられ、高解像度化には高圧スプレー法が最適
である。現像液としては、通常、アルカリ現像型では、
1重量%の炭酸ナトリウム水溶液又は0.1重量%のほ
う砂水溶液が用いられるが、現像液はアルカリ性であれ
ば、これに限定されない。
[(III) (c) Step of Exposing and Developing the Colored Photosensitive Resin Layer in a Pattern] After the above-mentioned step (II) is completed, (c) On the colored photosensitive resin layer, To
A negative mask having a predetermined pattern is placed, and exposure is performed in a pattern. Exposure is usually performed using a contact or non-contact type using a dedicated exposure machine. As a light source for exposure,
For example, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, and the like that effectively emit ultraviolet light can be used. Next, the unexposed portion is removed by developing with a developing solution to form a colored pattern. Examples of the developing method include a dip method and a spray method, and a high-pressure spray method is most suitable for high resolution. As a developing solution, usually, in an alkali developing type,
An aqueous solution of 1% by weight of sodium carbonate or an aqueous solution of 0.1% by weight of borax is used, but the developer is not limited thereto as long as it is alkaline.

【0050】本発明における前記(I)の工程、(II)
の工程及び(III)の工程を、色の異なる本発明の感光
性フィルムを用いて、所定回数繰り返すことにより、多
色の着色パターンを形成させたカラーフィルタを製造す
ることができる。また、本発明の感光性フィルムを使用
することにより、二色目以降の着色パターンを形成する
際に、特別な処理をすることなくパターンの段差を低減
することができる。
In the present invention, the step (I) and the step (II)
By repeating the step (III) and the step (III) a predetermined number of times using the photosensitive films of the present invention having different colors, it is possible to manufacture a color filter having a multicolored pattern formed thereon. Further, by using the photosensitive film of the present invention, when forming a colored pattern of the second color or later, the step of the pattern can be reduced without performing special processing.

【0051】[0051]

〔感光性フィルム(1)の作製〕[Preparation of photosensitive film (1)]

(a)透明支持体フィルムのポリエステルフィルム上
に、表1に示すの(b)クッション層の溶液を、コンマ
コータで塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で、10
分間乾燥して乾燥後の膜厚が20μmの(b)クッショ
ン層を形成したフィルムを得た。
(A) A solution of the (b) cushion layer shown in Table 1 was applied on a polyester film of a transparent support film using a comma coater, and the solution was applied to a hot air convection dryer at 100 ° C for 10 minutes.
After drying for 20 minutes, a film having a thickness of 20 μm after drying (b) on which a cushion layer was formed was obtained.

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】次に、別途(a)透明支持体フィルムのポ
リエステルフィルム上に、表2に示す(c)着色された
感光性樹脂層の溶液を、グラビアコータで塗布し、10
0℃の熱風対流式乾燥機で、10分間乾燥して乾燥後の
膜厚が2.0μmの、(c)着色された感光性樹脂層を
形成したフィルムを得た。
Next, a solution of the colored photosensitive resin layer (c) shown in Table 2 was separately coated on a (a) polyester film of a transparent support film by a gravure coater.
The film was dried with a hot air convection dryer at 0 ° C. for 10 minutes to obtain a (c) colored photosensitive resin layer-formed film having a dried film thickness of 2.0 μm.

【0054】[0054]

【表2】 [Table 2]

【0055】次に、上記で得られたフィルムの(b)
クッション層面に、フィルムの(c)着色された感光
性樹脂層を接するように貼り合わせて、感光性フィルム
(1)を作製した。
Next, (b) of the film obtained above
The (c) colored photosensitive resin layer of the film was adhered to the cushion layer surface so as to be in contact therewith, thereby producing a photosensitive film (1).

【0056】〔感光性フィルム(2)の作製〕 比較例1 実施例1において、表1に示すの(b)クッション層の
溶液の配合から、(B)成分及び(C)成分を除いた以
外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム(2)を
作製した。
[Preparation of Photosensitive Film (2)] Comparative Example 1 In Example 1, except that the components (B) and (C) were excluded from the formulation of the (b) cushion layer solution shown in Table 1. In the same manner as in Example 1, a photosensitive film (2) was produced.

【0057】〔カラーフィルタの作製〕 実施例2 実施例1で得られた感光性フィルム(1)の(c)着色
された感光性樹脂層側の保護フィルム〔(a)透明支持
体フィルム(ポリエステルフィルム)〕を剥がしなが
ら、150℃で予め加熱したガラス基板上に、(c)着
色された感光性樹脂層を、ロール温度が110℃、ロー
ル圧力が6×105Pa、ラミネート速度が1.0m/分
でラミネートした。次いで、(b)クッション層の
(a)透明支持体フィルム(ポリエステルフィルム)と
(b)クッション層を除去し、所定のパターンのネガマ
スクを通して、露光機HMW−590(5kW、超高圧水
銀灯、オーク製作所製)を使用し、400mJ/cm2の露光
量で、パターン状に露光した後、30℃の0.1重量%
のほう砂水溶液で、20秒間スプレー現像して未露光部
を除去し、一色目の着色パターンを形成した。
[Preparation of Color Filter] Example 2 (c) A protective film on the colored photosensitive resin layer side of the photosensitive film (1) obtained in Example 1 [(a) Transparent support film (polyester) While peeling the film)], the colored photosensitive resin layer (c) was rolled on a glass substrate heated in advance at 150 ° C. at a roll temperature of 110 ° C., a roll pressure of 6 × 10 5 Pa, and a lamination speed of 1. Lamination was performed at 0 m / min. Next, the (a) transparent support film (polyester film) of the (b) cushion layer and the (b) cushion layer are removed, and an exposure machine HMW-590 (5 kW, ultra-high pressure mercury lamp, Oak Manufacturing Co., Ltd.) is passed through a predetermined pattern of negative mask. ) At a light exposure of 400 mJ / cm 2 in a pattern and then 0.1% by weight at 30 ° C.
The unexposed portions were removed by spray development with an aqueous borax solution for 20 seconds to form a first colored pattern.

【0058】この着色パターンの形成工程を赤、青、緑
の順に各色の感光性フィルムを用いて3回繰り返して行
い、多色パターンを形成した。得られた多色パターン
は、整然と並んでおり、得られた膜厚も良好なものであ
った。次いで、得られた多色パターンを150℃で45
分間加熱してカラーフィルタを得た。
This process of forming a colored pattern was repeated three times using a photosensitive film of each color in the order of red, blue, and green to form a multicolor pattern. The obtained multicolor patterns were neatly arranged and the obtained film thickness was good. Next, the obtained multicolor pattern was subjected to 45 ° C at 150 ° C.
After heating for a minute, a color filter was obtained.

【0059】比較例2 実施例2において、実施例1で得られた感光性フィルム
(1)を、比較例1で得られた感光性フィルム(2)に
代えた以外は、実施例2と同様にして一色目の着色パタ
ーンを形成した。得られた一色目の着色パターンは、画
素の膜厚が減少し、目標膜厚が得られなかった。また、
この着色パターンの形成工程を赤、青、緑の順に各色の
感光性フィルムを用いて3回繰り返して行い、多色パタ
ーンを形成した。得られた多色パターンは、赤、青、緑
の画素の膜厚も不揃いになり、カラーフィルタとして使
用できるものではなかった。
Comparative Example 2 The procedure of Example 2 was repeated, except that the photosensitive film (1) obtained in Example 1 was replaced with the photosensitive film (2) obtained in Comparative Example 1. To form a first colored pattern. In the obtained first colored pattern, the film thickness of the pixel was reduced, and the target film thickness could not be obtained. Also,
This process of forming a colored pattern was repeated three times using photosensitive films of each color in the order of red, blue, and green to form a multicolor pattern. In the obtained multicolor pattern, the thicknesses of the red, blue, and green pixels were also uneven, so that the pattern could not be used as a color filter.

【0060】[0060]

【発明の効果】請求項1記載の感光性フィルムは、クッ
ション層への感光性樹脂層中のモノマ及び光開始剤の移
行を抑制でき、感度の変動が少なく、段差が小さく、高
精度のパターンを生産性よく製造できるカラーフィルタ
の製造に好適なものである。請求項2記載の感光性フィ
ルムは、請求項1記載の感光性フィルムの効果を奏し、
よりクッション層への感光性樹脂層中のモノマ及び光開
始剤の移行を抑制でき、より感度の変動が少ないもので
ある。請求項3記載の感光性フィルムは、請求項1又は
2記載の感光性フィルムの効果を奏し、さらに作業性、
環境安全性等が優れる。請求項4記載のカラーフィルタ
の製造法は、クッション層への感光性樹脂層中のモノマ
及び光開始剤の移行を抑制でき、感度の変動が少なく、
段差が小さく、高精度のパターンを生産性よく製造でき
るカラーフィルタを製造法できる。
According to the photosensitive film of the present invention, the migration of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer can be suppressed, the fluctuation of the sensitivity is small, the step is small, and the pattern with high precision is obtained. Is suitable for the production of a color filter which can be produced with high productivity. The photosensitive film according to claim 2 has the effect of the photosensitive film according to claim 1,
The transfer of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer can be further suppressed, and the fluctuation of the sensitivity is less. The photosensitive film according to claim 3 has the effects of the photosensitive film according to claim 1 or 2, and further has workability,
Excellent environmental safety. In the method for producing a color filter according to claim 4, it is possible to suppress the transfer of the monomer and the photoinitiator in the photosensitive resin layer to the cushion layer.
A method of manufacturing a color filter with small steps and capable of manufacturing a highly accurate pattern with high productivity can be achieved.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/027 511 G03F 7/027 511 7/028 7/028 (72)発明者 谷川 直裕 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical display location G03F 7/027 511 G03F 7/027 511 7/028 7/028 (72) Inventor Naohiro Tanikawa Ibaraki 4-13-1, Higashicho, Hitachi City Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Factory

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)透明支持体フィルム、(b)クッ
ション層及び(c)着色された感光性樹脂層を順次積層
してなる感光性フィルムにおいて、(b)クッション層
中に、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性フィルム。
1. A photosensitive film obtained by sequentially laminating (a) a transparent support film, (b) a cushion layer, and (c) a colored photosensitive resin layer. A) a photosensitive film containing a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator.
【請求項2】 (b)クッション層中の(B)エチレン
性不飽和基を有する光重合性化合物の配合量が、クッシ
ョン層の総量を100重量部として、0.3〜30重量
部であり、(C)光重合開始剤の配合量が、クッション
層の総量を100重量部として、0.1〜30重量部で
ある請求項1記載の感光性フィルム。
2. The compounding amount of the photopolymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated group in the (b) cushion layer is 0.3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the cushion layer. The photosensitive film according to claim 1, wherein the compounding amount of (C) the photopolymerization initiator is 0.1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the cushion layer.
【請求項3】 (c)着色された感光性樹脂層が、
(A)カルボキシル基を有する有機高分子化合物、
(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、
(C)光重合開始剤及び(D)顔料又は染料を含有する
ものである請求項1又は2記載の感光性フィルム。
(C) the colored photosensitive resin layer comprises:
(A) an organic polymer compound having a carboxyl group,
(B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group,
The photosensitive film according to claim 1, comprising (C) a photopolymerization initiator and (D) a pigment or a dye.
【請求項4】 (I)請求項1、2又は3記載の感光性
フィルムを、(c)着色された感光性樹脂層が、透明基
板上に接するように貼り合わせる工程、(II)(a)透
明支持体フィルム及び(b)クッション層を剥離する工
程並びに(III)(c)着色された感光性樹脂層をパタ
ーン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り返すこと
により、多色のパターンを形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造法。
4. (I) a step of bonding the photosensitive film according to claim 1, 2 or 3 so that (c) a colored photosensitive resin layer is in contact with a transparent substrate, and (II) (a) The multicolor pattern is obtained by repeating the steps of: (a) removing the transparent support film and (b) the cushion layer, and (III) (c) exposing and developing the colored photosensitive resin layer in a pattern. Forming a color filter.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006093040A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-08 Fujifilm Corporation Pattern forming material, pattern forming apparatus and pattern forming method
JP2012018230A (en) * 2010-07-06 2012-01-26 Dainippon Printing Co Ltd Optical sheet and video display device

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