JPH1069094A - 印刷配線板用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】露光対象の印刷配線板ごとに、その板厚および
サイズに対応する帯状スペーサーのセット／交換を不要
とするとともに、エアー抜け性を向上させて解像度を改
善する印刷配線板用露光装置を提供する。 【解決手段】真空止め機能を有する環状シール材５およ
び真空引きを行うための真空吸引孔８を有する透明なア
クリル等から成る露光ステージ９と、印刷配線板４をマ
スク・フィルム６に密着させるために、上から加圧する
機能を有する焼き枠３と、紫外線ランプ１１が内部に収
納されるベース１０とにより構成されている。上記の焼
き枠３には、複数の貫通穴２が設けられており、これら
の貫通穴２の下部には高分子ポリマー樹脂から成る樹脂
性シート７が配置され、規定圧力のエアーが焼き枠３の
貫通穴２および樹脂性シート７に送り込まれるように構
成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は印刷配線板用露光装
置に関し、特にマスクフィルムと印刷配線板とを密着さ
せて露光を行う印刷配線板用露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、印刷配線板の製造工程である露光
工程において用いられている印刷配線板用露光装置の１
例の横断面図が図４に示されており、また当該印刷配線
板用露光装置の露光ステージの平面図が図５に示され
る。図４および図５に示されるように、本従来例は、ゴ
ム等から成り真空止め機能を有する環状シール材５が表
面周辺に設けられており、真空引きを行うために真空ポ
ンプに接続される真空吸引孔８を有するアクリル等の透
明板から成る露光ステージ９と、印刷配線板４と略同じ
厚みの帯状スペーサー１４と、印刷配線板４をマスク・
フィルム６に密着させるために上から加圧する機能（当
該機能関係は図示されない）を持つアクリル板等から成
る焼き枠３により露光部が構成されている。また、上記
露光ステージ９は、紫外線ランプ１１を内部に収納して
いるベース１０の上部に装着されている。

【０００３】図４および図５において、印刷配線板４に
対する露光は、以下のようにして行われる。即ち、露光
ステージ９上の所定の場所にマスク・フィルム６を固定
して印刷配線板４をのせ、更にその周囲に印刷配線板４
と略同じ厚みの帯状スペーサー１４をセットする。その
後、焼き枠３を下ろして露光ステージ９の真空吸引孔８
より真空引きを行い、印刷配線板４とマスク・フィルム
６とを密着させる。そして密着後にベース１０の内部の
紫外線ランプ１１により紫外線ＵＶを照射して露光を行
う。露光終了後には真空引きを解除して印刷配線板４を
取り出す。

【０００４】上記のような従来の露光装置においては、
露光時のマスク・フィルム６と印刷配線板４とを露光ス
テージ９の表面に押しつけて密着させる際に、印刷配線
板４と同じ厚みの帯状スペーサー９をセットすることが
必要となる。この帯状スペーサー１４を使用しない場合
には焼き枠３に歪が発生して、印刷配線板４の表面とマ
スク・フィルム６との間に隙間が生じ、そのために印刷
配線の解像度を劣化させるという問題がある。

【０００５】この問題点に対応して、従来の上記スペー
サー使用に代わる方法としては、１例として、特開平４
−３０７５５２号公報に開示されているように、焼き枠
３に凹凸を有する通気性の弾性シートを設けることによ
り、多少の板厚変更に対しても追随可能とする方法が知
られている。図６は、当該特開平４−３０７５５２号公
報に開示されている従来例の焼き枠部の横断面図であ
る。図６に示されるように、アクリル等の透明板から成
る露光ステージ９には、表面周縁にゴム等から成る環状
シール材５と真空引きを行うための真空ポンプに接続さ
れる真空吸引孔８とが設けられている。そして、更に、
上側には印刷配線板４とマスク・フィルム６とを密着さ
せるトラバーサ１５と、印刷配線板４を真空吸着する吸
着板１６とが設けられており、当該吸着板１６の吸着面
には凹凸のある吸着面１８を有する弾性ゴムシード１７
が装着されている。また、上記の露光ステージ９は、内
部に紫外線ランプ１１を収納しているベース１０の上に
装着されており、更に、露光ステージ９上には、印刷配
線板４と略同じ厚みの帯状スペーサー１４が設けられて
いる。一方において、上記のトラバーサ１５は、接続ダ
クト１９を介して真空ポンプ（図示されない）に接続さ
れている。また、上記吸着板１６には、多数の吸引孔２
０が設けられており、これらの吸引孔２０は接続ダクト
１９に連通されている。しかし、当該特開平３ー０７５
５２号公報に開示されている従来例による方法において
も、スペーサーとしては露光する印刷配線板のサイズに
合わせて多種類準備する必要があり、印刷配線板４のサ
イズを変更するたびに、当該スペーサーを取り外して、
該当するスペーサーをセットすることが必要となり、そ
のための工数が余分にかかるという問題がある。また、
露光装置において、スペーサーが印刷配線板４の周囲を
取り囲むようにセットされているために、スペーサー自
身がエアー抜けの妨げになり、密着不良が発生して印刷
配線の解像度を上げることができないという問題があ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の印刷配
線板露光装置は、種々の大きさの印刷配線板のサイズに
対応することが不可能であり、印刷配線板の各サイズご
とにスペーサーの準備および交換してセットすることが
必要となるという欠点があり、更に、板厚についても対
応範囲が狭く、各板厚ごとにスペーサーの準備および交
換が必要であり、その交換に要する工数が多大になると
いう欠点がある。

【０００７】本発明の目的は、焼き枠に貫通穴を配列
し、エアー配管により排気ポンプと樹脂性シートを接続
することにより、エアーの加圧により露光する印刷配線
板以外のスペーサーのセットおよび交換を不要とするこ
とを可能にするとともに、樹脂性シート内に送り込むエ
アー圧を調整することにより、印刷配線板と板厚の変動
に対する対応をも可能とし、加えて樹脂性シートを円形
分離することにより、エアーの抜け性を向上させて、こ
れにより、従来の印刷配線板のサイズおよび板厚により
帯状スペーサーのセット、交換を不要とするとともに、
印刷配線の解像度を向上させることのできる印刷配線板
用の露光装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の印刷配線板用露
光装置は、弾性を有する環状シール材と当該環状シール
材の内側に真空吸引孔を有する透明板とにより形成さ
れ、上面に所定のマスク・フィルムを介して露光対象の
印刷配線板が配置される露光ステージと、複数の貫通穴
が配列されて設けられており、下面には柔軟性を有する
樹脂性シートが装着され、上面には前記各貫通穴に対応
して複数の加圧用のエアー配管が連接されて、前記印刷
配線板の上面に配置される焼き枠と、内部に露光用の紫
外線ランプを収納し、上部に前記露光ステージを装着す
るベースと、を少なくとも備えて構成されることを特徴
としている。

【０００９】なお、前記焼き枠においては、前記複数の
貫通穴に連接される加圧用のエアー配管により送り込ま
れるエアーによる加圧作用により、前記貫通穴を介し
て、前記印刷配線板の上面に対応する領域を除く前記柔
軟性を有する樹脂性シートの対応領域にわたり、当該樹
脂性シートを膨張させて凸状の樹脂性シートを形成し、
露光時における歪の発生を防止する機能を有することを
特徴としている。

【００１０】また、前記焼き枠に設けられている複数の
貫通穴は、それぞれ同一の大きさを有する任意形状の貫
通穴により形成してもよく、或はまた、それぞれ同一径
の円形の貫通穴により形成するようにしてもよい。

【００１１】更に、前記焼き枠に設けられている複数の
貫通穴は、当該焼き枠の周辺より内部に向ってその大き
さが順次小さくなる任意形状の貫通穴により形成しても
よく、或はまた、当該焼き枠の周辺より内部に向ってそ
の径が順次小さくなる円形の貫通穴により形成してもよ
い。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。

【００１３】図１は本発明の第１の実施形態を示す横断
面図であり、図２は本実施形態に含まれる焼き枠の平面
図である。図１に示されるように、本実施形態は、真空
止め機能を有するゴム等から成る環状シール材５および
真空引きを行うために真空ポンプに接続される真空吸引
孔８を有するアクリル等の透明板から成る露光ステージ
９と、印刷配線板４をマスク・フィルム６に密着させる
ために上から加圧する機能（当該機能関係は図示されな
い）を有する焼き枠３と、紫外線ランプ１１が内部に収
納されているベース１０により構成されている。また、
上記の焼き枠３には、図２に示されるように、複数（図
２の実施形態においては１０８個）の貫通穴２が設けら
れており、これらの貫通穴２の下部には高分子ポリマー
樹脂から成る樹脂性シート７が配置されている。なお、
焼き枠３に対応する印刷配線板４の配置位置は、図２の
焼き枠の平面図に対応して、印刷配線板の位置４ａとし
て示されるとうりである。焼き枠３の貫通穴２の上部に
は、エアー配管１が、それぞれの貫通穴２に対応して設
けられており、これらのエアー配管１は排気ポンプ１２
に接続されている。またエアー配管１の途中には圧力設
定付きゲージ１３が設けられており、規定圧力のエアー
が焼き枠３の貫通穴２および樹脂性シート７に送り込ま
れるように構成されている。

【００１４】この樹脂性シート７は高分子ポリマー樹脂
により形成されており、排気ポンプ１２によりエアーを
送り込むことによって膨張し、それぞれの貫通穴２に対
応して局部的な円形凸状の樹脂性シート（凸状）７ａが
形成される。この場合に、圧力設定付きゲージ１３によ
り、エアー配管１に送り込むエアー圧を調整することに
より、当該円形凸状の樹脂性シートの膨張による高さを
任意の高さに調整することができる。更に、図２の焼き
枠３の平面図を参照して明らかなように、焼き枠３の貫
通穴２により、上述のように、局部的に円形凸状の樹脂
性シートが形成されるが、露光の対象とする印刷配線板
４のサイズにより、当該印刷配線板４と接する樹脂性シ
ート７の箇所においては、当該印刷配線板４により抑圧
されて、樹脂性シート７が膨張することができず、前記
円形凸状の樹脂性シートが形成されることがなく、平面
状態がそのまま保持される。この状態は、図２の焼き枠
の平面図を用いて、印刷配線板の位置４ａにおいて、貫
通穴２に対応して、膨張することのできない樹脂性シー
ト７上の位置が●の表示により示されている。勿論、印
刷配線板の位置４ａ以外の貫通穴２に対応する樹脂性シ
ート７においては、上述のように、円形凸状の樹脂性シ
ートが形成される。なお、真空引きを行う際に、樹脂性
シート７の印刷配線板４に接する部分が飛び出さないよ
うにするために、焼き枠３により印刷配線板４とマスク
・フィルム６とを加圧し、その後において密着させるた
めの真空引きを行う仕組みとなっている。

【００１５】以上説明したように、露光の対象とする印
刷配線板４のサイズに対応して、当該印刷配線板４と接
する樹脂性シート７の箇所においては、自動的に前記円
形凸状の樹脂性シートを形成することなく平面状態をそ
のまま保持することにより、印刷配線板４のサイズおよ
び板厚による帯状スペーサーのセットおよび交換を不要
にするとともに、印刷配線の解像度の向上を図ることが
可能となる。

【００１６】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図３は本実施形態に含まれる焼き枠の平面図で
ある。なお、本実施形態の構成および焼き枠の機構は、
図１に示される第１の実施形態の場合と同様である。本
実施形態の第１の実施形態と異なる点は、第１の実施形
態の場合には、焼き枠３に設けられている貫通穴３の径
が一定の値であるのに対比して、本実施形態において
は、図３に示されるように、焼き枠３には、それぞれ径
の異なる貫通穴（大）２ａ、貫通穴（中）２ｂおよび貫
通穴（小）２ｃが設けられており、これらの貫通穴は、
焼き枠３の周辺に近い位置には貫通穴の径が大きい貫通
穴（大）２ａが配置され、内側に近づくに従って貫通穴
の径が小さくなるように、貫通穴（中）２ｂおよび貫通
穴（小）２ｃが順次配置されている。このように貫通穴
を配置することにより、焼き枠３の外周に近い位置にお
いては、樹脂性シートが、貫通穴を介して、より大きく
膨張することによって生じる円形凸状の樹脂性シートが
形成され、これにより焼き枠３の周辺部にはより一層強
い力がかかる状態となり、焼き枠３の歪の防止効果が更
に改善されるという利点がある。

【００１７】次に、前記第１の実施形態の印刷配線板用
露光装置において、印刷配線板４の厚み、露光時におけ
る高分子ポリマー樹脂内のエアー圧、焼き枠３を介して
形成される円形凸状の樹脂性シートの高さおよび露光時
の解像度についての実験結果を下記の表１に示し、ま
た、当該第１の実施形態に対する比較例として、従来の
印刷配線板用露光装置において、印刷配線板４の厚み、
スペーサーの厚みおよび露光時の解像度についての実験
結果を下記表２に示す。前記表１は、焼き枠３の樹脂性
シート７内にエアーを送り込んで露光した結果であり、
当該樹脂性シート７内のエアー圧を変えるとともに、印
刷配線板４の厚みを種々の値に変えて実験することによ
り得られた結果である。なお、表１および表２に示され
る解像度の数値は、１００μｍ以下の解像度の度合を表
わしており、「○」は解像度が優れている状態を示して
おり、「△」は解像度がやや劣っている状態を示し、
「×」は解像度が劣っている状態を示している。

【００１８】従って、表１に示されるように、第１の実
施形態においては、厚みが０．１〜２．０ｍｍの印刷配
線板については、優れた解像度を得ることができること
が分かる。また表２に示されるように、本実施形態に対
する比較例としての従来例においては、厚みの小さい印
刷配線板および厚みの大きい印刷配線板については、双
方ともに十分な解像度を得ることができないことが分か
る。このことからも明らかなように、従来の印刷配線板
用露光装置においては、印刷配線板の厚みが変わるたび
ごとに、スペーサーの厚みを変えることが必要となり、
余分の工数が必要となる。

【００１９】

【表１】

【００２０】

【表２】

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、焼き枠
に貫通穴を配列し、当該焼き枠に設けられている高分子
ポリマー樹脂性シート内に、エアー配管により排気ポン
プと樹脂性シートを接続することにより、エアーを送っ
て膨張させて加圧して円形凸状の樹脂性シートを形成
し、更に、当該樹脂性シート内のエアー圧を適度に調整
することにより、当該円形凸状の樹脂性シートの高さを
調節することにより、各種の印刷配線板と板厚の変動に
対する対応を可能とし、加えて樹脂性シートを円形分離
することにより、エアーの抜け性を向上させて、印刷配
線板のサイズおよび板厚により、従来必要とされている
帯状スペーサーのセットおよび交換を不要として工数を
低減することが可能になるとともに、印刷配線の解像度
を向上させることのできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す横断面図であ
る。

【図２】前記第１の実施形態に含まれる焼き枠を示す平
面図である。

【図３】本発明の第２の実施形態に含まれる焼き枠を示
す平面図である。

【図４】従来例を示す横断面図である。

【図５】従来例の露光ステージを示す平面図である。

【図６】他の従来例を示す横断面図である。

【符号の説明】 １ エアー配管 ２ 貫通穴 ２ａ 貫通穴（大） ２ｂ 貫通穴（中） ２ｃ 貫通穴（小） ３ 焼き枠 ４ 印刷配線板 ４ａ 印刷配線板の位置 ５ 環状シール材 ６ マスク・フィルム ７ 樹脂性シート ７ａ 樹脂性シート（凸状） ８ 真空吸引孔 ９ 露光ステージ １０ ベース １１ 紫外線ランプ １２ 排気ポンプ １３ 圧力設定付きゲージ １４ 帯状スペーサー １５ トラバーサ １６ 吸着板 １７ 弾性ゴムシート １８ 吸着面 １９ 接続ダクト ２０ 吸引孔

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性を有する環状シール材と当該環状シ
   ール材の内側に真空吸引孔を有する透明板とにより形成
   され、上面に所定のマスク・フィルムを介して露光対象
   の印刷配線板が配置される露光ステージと、 複数の貫通穴が配列されて設けられており、下面には柔
   軟性を有する樹脂性シートが装着され、上面には前記各
   貫通穴に対応して複数の加圧用のエアー配管が連接され
   て、前記印刷配線板の上面に配置される焼き枠と、 内部に露光用の紫外線ランプを収納し、上部に前記露光
   ステージを装着するベースと、 を少なくとも備えて構成されることを特徴とする印刷配
   線板用露光装置。
2. 【請求項２】 前記焼き枠において、前記複数の貫通穴
   に連接される加圧用のエアー配管により送り込まれるエ
   アーによる加圧作用により、前記貫通穴を介して、前記
   印刷配線板の上面に対応する領域を除く前記柔軟性を有
   する樹脂性シートの対応領域にわたり、当該樹脂性シー
   トを膨張させて凸状の樹脂性シートを形成し、露光時に
   おける焼き枠の歪の発生を防止する機能を有することを
   特徴とする請求項１記載の印刷配線板用露光装置。
3. 【請求項３】 前記焼き枠に設けられている複数の貫通
   穴が、それぞれ同一の大きさを有する任意形状の貫通穴
   により形成される請求項１または請求項２記載の印刷配
   線板用露光装置。
4. 【請求項４】 前記焼き枠に設けられている複数の貫通
   穴が、それぞれ同一径の円形の貫通穴により形成される
   請求項１または請求項２記載の印刷配線板用露光装置。
5. 【請求項５】 前記焼き枠に設けられている複数の貫通
   穴が、当該焼き枠の周辺より内部に向ってその大きさが
   順次小さくなる任意形状の貫通穴により形成される請求
   項１または請求項２記載の印刷配線板用露光装置。
6. 【請求項６】 前記焼き枠に設けられている複数の貫通
   穴が、当該焼き枠の周辺より内部に向ってその径が順次
   小さくなる円形の貫通穴により形成される請求項１また
   は請求項２記載の印刷配線板用露光装置。