JPH1069799A - 集積回路メモリ・デバイス用組込み自己テスト装置 - Google Patents

集積回路メモリ・デバイス用組込み自己テスト装置

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JPH1069799A
JPH1069799A JP9147019A JP14701997A JPH1069799A JP H1069799 A JPH1069799 A JP H1069799A JP 9147019 A JP9147019 A JP 9147019A JP 14701997 A JP14701997 A JP 14701997A JP H1069799 A JPH1069799 A JP H1069799A
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Kuong Hua Hii
ファ ヒィ クウォン
Theo J Powell
ジェイ.パウエル テオ
R Cline Danny
アール.クライン ダニー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリ・デバイスの検査に莫大な時間を必要
としない組込み自己テスト配置を提供する。 【解決手段】 集積回路は組込み自己テスト(BIS
T)配置60を有する。組込み自己テスト配置60は、
テスト・アルゴリズム命令を記憶する読出し専用メモリ
(ROM)400を有する。ROM論理回路410は読
出し専用メモリから読み出された命令を受け取り、この
命令に応じて一群の出力信号を生ずる。集積回路の自己
テストを制御するために、BISTレジスタ420は論
理回路からの出力信号の群を受け取り記憶する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路デバイス
のテストの分野に関し、さらに詳細にいえば、集積回路
デバイス用組込み自己テスト(BIST)配置に関す
る。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】メモリ・デバイスの従
来のテストでは、RAS,CASおよびWEのような制
御信号やAo〜Anのようなアドレス信号やデータを検
査されるデバイスに供給するのに、テスタが用いられ
る。検査されるデバイスからの出力がテスタにより抽出
され、それにより、そのデバイスが良品であるかまたは
欠陥品であるかが決定される。デバイスが高密度になる
と、メモリの検査には長い時間が必要である。その結
果、検査コストが増大する。集積回路メモリ・デバイス
の容量が256メガビットあるいはそれ以上に増大する
につれて、デバイス1個当たりの検査時間が、集積回路
メモリ・デバイスのコストの主要な部分になっている。
【0003】集積回路メモリ・デバイスの1個当たりの
検査時間を短くする1つの方法は、複数個のセルに対す
る1つのビットを並列にして多重化することにより、1
つのテスト・データ・ビットを複数個のセルに同時に加
えることである。けれども、もし一度に1個のセルがア
クセスされるのでないならば、この方法ではいくつかの
欠陥を排除することはできない。並列の多重度が限定さ
れている場合、すなわち同時にテストされる素子の数が
限定されている場合、テスト時間が長くなり、それはま
た製造サイクル時間が長くなるという結果になる。1つ
のバッチのメモリ・デバイスを検査する場合、いくつか
のメモリ・デバイスが実際に機能検査を受けている間、
他の大部分のデバイスが検査を受けるために列をなして
待つことが必要である。このことに対する1つの解決法
はさらに多数個のテスタを用意することであるが、それ
はコストがますますかかるので実際的ではない。検査さ
れたメモリ・デバイスのバッチを顧客に届けるまでの時
間が、結果として長くなる。また、別の解決法は、検査
されるデバイスに対し、テスタによるテストを並行して
実行することである。この解決法の問題点は、並行する
導線が多くなり、その並行する導線の間でクロストーク
が起こり得るために、良品のデバイスが欠陥デバイスと
して判定されることがある点である。
【0004】テスタによるメモリ・デバイス当たりの検
査時間が莫大な量になることがなく、大容量のメモリ・
デバイスを効率的に検査する方法を得ることについて解
決しなければならない問題点がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この問題点およびその他
の問題点は、組込み自己テスト(BIST)配置を備え
た集積回路により解決される。組込み自己テスト配置
は、テスト・アルゴリズム命令を記憶する読出し専用メ
モリを有する。論理回路がこの読出し専用メモリから読
み出された命令を受け取り、その命令に応じて一群の出
力信号を生ずる。BISTレジスタが論理回路からの出
力信号群を受け取って記憶し、それにより、集積回路の
自己テストの制御を行う。パス/フェイル比較器回路
は、期待されるデータ・ビットを、メモリ・アレイに書
き込まれたデータ・ビットおよびメモリ・アレイから読
み出されたデータ・ビットと比較し、それにより、この
集積回路がテストにパスしたかまたはテストに対しフェ
イルであるかが決定される。
【0006】
【発明の実施の形態】図1〜図4は、組込み自己テスト
(BIST)配置60を備えた集積回路ダイナミック・
ランダム・アクセス・メモリ・デバイス50のブロック
線図である。デバイス50は、正規動作の期間中に同期
ランダム・アクセス・メモリとして動作するように設計
される。または、この組込み自己テスト配置は、デバイ
ス50が正規モードで動作していない時には、特有の自
己テスト・モードで動作する。この組込み自己テスト配
置は、すべてのテスト信号がデバイスの内部で発生する
ように設計され、デバイスが自己テストを実行する自己
テスト・モードを得るために、この配置を簡単にセット
アップすることができる。この簡単なセットアップが行
われると、効率的なコストの方式で、この組込み自己テ
スト配置はメモリ自己テストを実行する。この配置はま
た、テスタ・リソースにより制限されることなく、多数
のデバイスを並列にテストすることができる。
【0007】デバイス50が正規モードで動作している
間、このデバイスはよく知られている同期ダイナミック
・ランダム・アクセス・メモリ・デバイスと同じように
動作する。マイクロプロセッサのようなディジタル・プ
ロセッサにより発生される行アドレスおよび列アドレス
はそれぞれ、アドレス・バスA0〜A13を通して、制
御信号RAS ,CAS がいずれかがロードされるま
で、アドレス・バッファ100にタイム・マルチプレッ
シングされる。その後、それらは行デコーダ200また
は列デコーダ210のいずれかにより復号される。制御
信号RAS ,CAS はまた、ディジタル・プロセッ
サにより発生される。このディジタル・プロセッサは図
には示されていない。
【0008】ディジタル・プロセッサからの書込みイネ
ーブル信号WE の状態に応じて、メモリ・アレイ22
0のバンクに配置された記憶セルにデータが書き込ま
れ、またはこれらの記憶セルからデータが読み出され
る。メモリ・アレイ220のバンクに書き込まれるべき
データは、データ・バスDQ0〜DQ31を通してデバ
イス50に送られる。この入ってくるデータは、データ
・バッファ回路230によりバッファ作用を受け、内部
データ・バス240を通してメモリ・アレイ220に進
む。メモリ・アレイ220では、過剰に書き込まれるま
で、または指定された時間間隔でリフレッシュされなく
なるまで、データが記憶される。データがメモリ・アレ
イ220に記憶されている間、そのデータを呼び出すこ
とができ、内部データ・バス240とデータ・バッファ
230とを通して、データ・バスDQ0〜DQ31に読
み出すことができる。このデータ・バスDQ0〜DQ3
1は、典型的には、マイクロプロセッサのようなディジ
タル・プロセッサのデータ受信端子およびデータ送信端
子に接続される。このディジタル・プロセッサは図には
示されていない。
【0009】メモリ・デバイス50が同期ダイナミック
・ランダム・アクセス・メモリであるから、システムに
接続されたディジタル・プロセッサ,周辺デバイスおよ
び制御回路とその動作を同期させるために、外部ソース
からこのデバイスにシステム・クロック信号CLKが加
えられる。このシステム・クロックは、ディジタル・プ
ロセッサの動作を制御するクロックである。クロック信
号CLKがクロック・バッファ110に加えられる。ク
ロック・バッファ110は、正規動作の期間中メモリ・
アレイ220を動作させるために、内部クロック信号C
LKを出力する。この内部クロック信号CLKは、この
ような正規同期メモリ動作の期間中、アドレス復号化の
動作,メモリ・アレイへのデータの書き込みの動作およ
びメモリ・アレイからのデータの読み出しの動作を制御
する。
【0010】ディジタル・プロセッサからメモリ・デバ
イス50に加えられる制御信号RAS ,CAS ,W
は、制御信号バッファ120に加えられる。正規モ
ード動作の期間中、これらの制御信号は、制御バッファ
120と制御バス125とを通り、メモリ・アレイ22
0の主制御ユニット130に送られる。正規モード動作
の期間中のメモリ・アレイ220では、内部システム・
クロック信号CLKと共にこれらの制御信号RAS
CAS ,WE は、前記で説明されたようにアレイ2
20の動作を制御する。
【0011】正規モード動作と自己テスト・モード動作
とは、メモリ・デバイス50の2つの分離された別個の
動作である。これら2つのモードは交互に起こる。した
がって、デバイス50がその正規モードで動作している
間、その自己テスト・モードに偶然に進むことはあり得
ない。また、それがその活性自己テスト・モードにある
間、その正規モードに偶然に進むことはあり得ない。こ
れらが、説明される組込み自己テスト配置60によりデ
バイス50の動作に課せられた条件である。
【0012】前記で説明したように、動作の自己テスト
・モードは動作の正規モードとは異なる。自己テスト・
モードには、メモリ・デバイス50のパワー・アップに
よってのみ入る。デバイス50を自己テスト・モードに
入れる時には、特別な信号状態が加えられる。
【0013】本発明のBIST方式では、自己テスト・
モードに入るためにおよび自己テストを通って実際に進
むために必要とされるのは、このデバイスの外部からの
DC信号のみである。下記の形式の外部DC信号が加え
られる。 (a) 多重化されたアドレス・ピンの1つ(例えば、
ピンA4)に過大電圧 (b) 「0」と「1」の両方をそれに接続することが
できるスイッチ・オンCS (c) テストおよびオプション選択のための残りのア
ドレス・ピンに関する「0」または「1」の論理レベ
ル、 (d) 出力ピンの1つに関するパス/フェイル検出、 (e) 自己テスト動作の完了を識別するための出力検
出器ピン。
【0014】前記のセットアップの場合、DC信号のみ
が関与する。複雑なタイミングは必要でない。したがっ
て、信号品質に関連すべき要求はない。信号はDCであ
るから、このデバイスに対する信号の品質は常に良好で
ある。多数個のデバイスをBIST基板上に置いて、同
時に自己テストすることができる。BIST基板上のす
べてのデバイスにBISTを並行して適用できるから、
デバイス当たりのテストのサイクル時間を短くすること
ができる。
【0015】図6は、複数個の集積回路デバイスのすべ
てを自己テストのために同時にセットアップすることが
できるように並列に相互接続された複数個の集積回路デ
バイスを取り付けるための配置を示す図である。いった
んセットアップされると、一部分のデバイスまたは全部
のデバイスに対して自己テストを同時に実行することが
できる。
【0016】自己テスト動作の間、BIST回路は、C
LK,RAS ,CAS ,WE ,アドレス・ビットお
よびデータ・ビットのようなすべての信号の制御を引き
継ぐ。例えば、BISTアドレス・ビットB AxはB
IST回路により発生される。自己テスト動作の期間
中、BISTアドレス・ビットは、外部で発生されたア
ドレス・ビットAxを置き換える。BISTアドレス・
ビットB Axは、アドレス・バッファの右から主回路
をインタフェースする。
【0017】正規モード動作の期間中、BISTアドレ
ス・ビットB Axは発生されなく、無視される。パワ
ーアップの期間中、もしBISTリクェストが検出され
るならば、アドレス・ラインを用いてBIST配置に情
報を持ち込む。図7のテスト・イネーブルド・シフト・
レジスタ330は、特定のテストがイネーブルにされる
かまたはされないかを決定するデータを受け取って記憶
する。これらのデータは、図3の右側のシフト・レジス
タに記憶される。活性自己テスト・モードの期間中、デ
バイスを動作させるためにBISTで発生されたアドレ
ス信号が用いられ、外部から加えられるアドレス信号A
xは無視される。
【0018】図8は、活性自己テスト動作の期間中、ア
レイ・アドレスの発生を制御するBISTアドレス制御
回路65のブロック線図である。図9、図10、図11
および図12は、図8のアドレス制御回路65に備えら
れる回路の論理概要図である。
【0019】従来のテスト条件を精密にシュミレートす
ることを確実に得るために、バッファにできるだけ近い
主回路と、BIST信号がインターフェースする。この
ことにより、BIST回路はできるだけ多くのメモリ・
デバイス回路をテストすることができる。
【0020】図13A〜図13Cは、BIST発生信号
と主デバイスとの間のインターフェースを示した図であ
る。BIST発生信号の主な機能は、メモリ・デバイス
が受け取る外部信号を置き換えることである。したがっ
て、BISTインターフェースには、BIST発生信号
B−Axと外からの外部信号Axとの間で選定を行うマ
ルチプレックス回路が配置される。前記の2つの場合に
加えて、アドレス・ラインが多くの目的のために用いら
れる。図13Bに示されているように、BIST回路に
情報を持ち込むためのパワーアップにもアドレス・ライ
ンが用いられる。自己テスト配置により発生される制御
信号B PADDIS,B IN ENは、あらゆる時
刻でのマルチプレクサの動作の仕方を制御する。
【0021】図1のアドレス・バスA0〜A13を用い
て、パワーアップの期間中およびパワーアップの後、自
己テスト・モードのための特別の信号状態が加えられ
る。アドレス・バスA0〜A13の中の1つの導線を通
して、過大電圧信号がBIST検出器回路300に加え
られる。BIST検出器回路300は、この過大電圧状
態に応答して、それ自身を待機自己テスト状態にする。
この説明では、アドレス導線A4は例えば過大電圧導線
として用いられる。BIST検出器回路300がその待
機状態に止まっている間、組込み自己テスト配置は、実
行されるべき特定のテストに関する情報を蓄積すること
により、テストの準備をすることができる。この特定の
テストは、典型的には、実行される可能性のあるテスト
の大きな群の中から選定されるであろう。別の入力信号
が加わるまで、この組込み自己テスト配置は自己テスト
待機状態に止まるであろう。一方、組込み自己テスト配
置60が活性自己テスト・モードにあるよりはむしろ待
機モードにあるために、あたかもそれが正規モードにあ
るかのように、メモリ・アレイ220にデータを書き込
むことが、またはメモリ・アレイ220からデータを読
み出すことができる。
【0022】自己テスト配置60は、導線135を通し
て高レベル信号CS をBIST検出器回路300に加
えることにより、待機モードから活性自己テスト・モー
ドにされる。組込み自己テスト配置60およびメモリ・
デバイス50は、信号CS が高レベルに止まる限り活性
自己テスト・モードで動作し、信号CS が低レベルに
進む時に正規動作に戻るであろう。
【0023】図14において、BIST検出器回路30
0は入力端子301,135,303を有する。入力端
子301,135,303はそれぞれ、信号VUPB,
アドレス・バスA0〜A13の導線からの過大電圧信号
A4および制御信号CS を受け取る。出力導線304
は、デバイス50がその自己テスト・モードで動作する
時を指示する組込み自己テスト・イネーブル信号BIS
ENを伝送する。BIST検出器回路300は、パ
ワーアップの期間中だけ、BISTリクェストを検出す
る。BISTリクェストを検出するためには、パワーア
ップにおいて検出されるべき過大電圧と、その時に
「0」の値を有する信号CS とを必要とする。回路3
00がパワーアップの際これらの2つの状態を検出する
時、チップはBIST待機モードに進む。回路300が
BIST待機モードにありそして信号CS が高レベル
に進むと、回路300は自己テスト活性モードに入る。
【0024】図15は、図14のBIST検出器回路3
00の動作のタイミングを示した図である。図15に
は、いくつかの重要な信号がその相互の関連関係と共に
示されている。BIST検出器回路300に加えられる
すべての信号は基本的には電圧レベルであることに注目
されたい。下記で説明されるように、活性自己テスト・
モードの期間中、外部の変動する制御信号がメモリ・デ
バイス50に加えられる必要はない。可能な範囲のテス
トを実行するための信号はすべて、デバイス50の組込
み自己テスト配置60により発生される。
【0025】BIST検出器回路300の構成と動作に
ついてのさらに詳細な説明は、出願中特許シリアル番号
第 号(TI−22640)に開示されている。こ
の出願中特許は本出願と同日に受け付けられている。こ
の出願中特許には、BIST検出器回路300はエント
リおよびエクスイット制御回路として参照されている。
この出願中特許の主題部分は、参考として本発明の中に
取り込まれている。
【0026】A4と制御信号CS との2つの信号は、
組込み自己テスト・エントリのために多重化される。信
号A4または他の任意のアドレス・ビットは、過大電圧
として多重化される。制御信号CS は、BISTエン
トリおよびEXITのタイミングのために用いられる。
デバイスがパワーアップされている時、もし過大電圧が
検出されそして制御信号CS が低レベルであるなら
ば、BISTリクェストが検出される。もし過大電圧が
VUPBの立下りエッジで検出されるならば、デバイス
はBIST待機モードに進むであろう。もし制御信号C
がその後で高レベルに引き上げられるならば、デバ
イスはBIST活性モードに進むだけであろう。このこ
とにより、BIST活性モードに入る時刻の完全な制御
ができるであろう。BIST動作の期間中、もしCS
が低レベルにされるならば、デバイスはBISTを直ち
に出るであろう。CS が低レベルである時、正規動作
が起こる。このことは、BIST活性モードが正規モー
ド動作の期間中に起こることを防止する。
【0027】BIST待機モードでは、デバイスはあた
かも正規モードにあるかのように動作することができ
る。デバイスが正規モードにある間、制御信号CS
正規に動作することに注目されたい。制御信号CS
異なるように機能するのは、BISTモードにある時だ
けである。デバイスがBIST待機モードにある時、テ
スト(DFT)モードに対する設計を実行することがで
きる。BIST待機にある間DFTモードを用いる1つ
の方法は、BIST活性モード動作の前に、アドレス・
レンジ・モード・ロード開始および停止アドレスを有す
ることである。
【0028】図16〜図21を参照すると、自己テスト
動作の期間中に用いられるアドレス情報を記憶するため
のアドレス・レンジ・レジスタがある。BISTリクェ
ストが検出される時、導線A4上の過大電圧信号に対す
るアドレスを除いて、アドレス・ラインに配置された情
報をロードするために、内部信号B SR LOADが
発生される。ロードされた情報は2組の情報を含む。ア
ドレス導線A0〜A3,A5〜A10のテスト選定デー
タは、特定のテストのおのおのがBIST活性モードで
実行されるべきかまたは実行されるべきでないかを決定
する。第2に、BISTは、内部外部クロック・オプシ
ョン,完全/部分アレイ・オプション,イネーブル・デ
ィスエーブル出力オプションのようなオプションを動作
する。
【0029】図3に、BIST発振器回路310が示さ
れている。BIST発振器回路310は、持続的に繰り
返すクロック信号B CLKを発生する配置を有する。
クロック信号B CLKを用いて、組込み自己テスト動
作の異なる部分を制御するために、一群の特定のクロッ
ク信号を発生する。
【0030】図22は、図3のBISTクロック発生器
回路350の論理概要図である。BISTクロック発生
器回路350は、BISTクロック信号B CLK
A,B CLK B,B CLK Cを生ずる。
【0031】活性自己テスト・モードに入ると、図1の
クロック・バッファ回路110の制御を引き継ぐため
に、クロック信号B CLKがクロック・バッファ回路
110に送られる。クロック・バッファ回路110はそ
の後の活性自己テスト・モードの期間中、組込み自己テ
スト配置60の要素と共に、メモリ・アレイ220への
アクセスおよび動作を制御するクロック信号B CLK
を生ずる。最初は、アドレス・バッファ100からのデ
ータが、内部アドレス・バス140を通して、図3のイ
ネーブルド・テスト回路330に転送される。例示され
た回路330は、関連する活性テスト・モードの期間中
に実行されるべき1つの特定のテストまたは一群のテス
トを識別するデータを記憶するシフト・レジスタ配置で
ある。このデータは、例えば、実行されるべきテストの
おのおのに対し高レベルであることができ、実行される
べきでないテストのおのおのに対し低レベルであること
ができる。選定されたテスト・データがイネーブルド・
テスト回路330にいったん記憶されると、アドレス・
レンジ・レジスタ340に一群のアドレスを記憶するこ
とができる。
【0032】図23を参照すると、イネーブルド・テス
ト回路330に記憶される情報の一覧が示されている。
図23では、アドレス・ビット位置A0〜A3はそれぞ
れ、グロース(gross)・テスト,ポーズ(pau
se)・テスト,Xマーチ(X march)およびY
マーチ(Y march)を表す。アドレス・ビット位
置A5〜A10はそれぞれ、ショート・ディスターブ,
ロング・ディスターブ,ページ・ディスターブ,バーン
・イン,1行書込みおよび1列読出しを表す。アドレス
・ビット位置A11およびバンク・アドレスBA0,B
A1はそれぞれ、出力イネーブル,サブ・アレイ・オプ
ションおよび内部クロック/外部クロック選定を表す。
【0033】クロックはBIST動作に対して必要であ
る。BIST回路は、このクロックに一定の周波数を供
給する内部発振器を有する。工学的目的およびデバッグ
目的のために組み込まれた外部クロック・オプションが
ある。もし必要ならばクロック周波数を変更することが
できる。パワーアップの期間中にBISTリクェストが
検出される時、外部クロックを用いるかまたは内部クロ
ックを用いるかの決定がロードされる。
【0034】前述したアドレス・レンジ・レジスタ34
0は、4個のレジスタの群を有する。これらのレジスタ
は、1個または複数個のテストが開始および終了すべき
であるメモリ・アレイ220の開始アドレスおよび終了
アドレスを決定する行アドレスおよび列アドレスをそれ
ぞれ受け取って記憶する。このようなアドレスは、デバ
イス50のテストに責任のある人の裁量で用いられる。
行アドレス0および列アドレス0で開始するメモリ全体
にわたって、デフォルト条件がテストを実行する。した
がって、デバイス50が最初に活性自己テスト・モード
に引き入れられる時、アドレス・レンジ・レジスタ34
0はゼロにリセットされる。その後、DFTモード・ロ
ード動作の期間中にもし必要ならば、レンジ・アドレス
を記憶することができる。
【0035】初期に製造されたチップのいずれについて
の試作品のデバッグの期間中、完成したアレイが正しく
動作することはありそうにない。このような状況の場
合、BISTテストは常に不合格となるであろう。それ
は、機能しないいくつかのセルが常に存在するからであ
り、また、BISTテストに対し障害を起こすからであ
る。このことは、BIST論理は完全には検査できない
ことを意味する。それは、完全に良好な部分が製造され
るまで、BIST論理が「PASS」信号に戻ることを
可能にするようなBISTの適用は決して存在しないか
らである。第2の問題点は、チップのデバッグの期間中
に起こる。もしBISTが完全なアレイのテストに限定
されるならば、デバッグのための支援としてアレイのサ
ブセットを目標に定めるのに用いることはできない。
【0036】サブアレイのテストでは、開始アドレスを
任意の位置にすることができ、また、終了アドレスを任
意の位置にすることができ、さらに、DFTモードを通
してBISTアドレス・レンジ・レジスタにそれらをロ
ードすることができる。BISTテストは、開始アドレ
スの1つのアドレス位置が終了位置と同じであることを
含めて、開始位置と終了位置との間に適用される。BI
STを適用する前に、その度にアドレス・レンジを変更
することができ、それにより、繰り返しテストすること
を通して欠陥のない領域のアイランドにBISTを適用
することができる。
【0037】図24および図25を参照すると、プログ
ラム・カウンタ360を備えたプログラム制御回路が示
されている。BISTプログラム・カウンタ360は、
テスト・シーケンスを制御するために、組込み自己テス
ト配置60に備えられる。活性自己テスト・モードが開
始されると、BISTプログラム・カウンタ360は信
号B RESETによりそのゼロ状態にリセットされ
る。これがシーケンシャル論理配置であり、このシーケ
ンシャル論理配置は、その現在の状態がBISTROM
レジスタにより供給されるデータの状態と組み合わせ
て、BISTプログラム・カウンタ360の次の状態を
決定する。この状態は、クロック発生器350から供給
されるクロック信号B CLK Bに応答して変化す
る。
【0038】図26は、図3に示されたBIST RO
Mアドレス・デコーダ370の論理概要図である。BI
STプログラム・カウンタ360の状態は一群の2進信
号により表される。この一群の2進信号は、バス361
を通り、BIST ROMアドレス・デコーダ370の
入力に送られる。入力2進信号のこの群は、BISTR
OM400から1行のデータを選定するために、64コ
ードから1コードに復号される。
【0039】図27は、図4の12ビットBIST R
OM400による64ワードのレイアウトの概要図であ
る。BIST ROM400は、メモリ・アレイ220
の動作可能性を決定するために用いられる複数個の異な
るテスト・ルーチンを制御するための命令シーケンスを
記憶する64行の読出し専用メモリである。提案された
BIST方式は、ROMに記憶された10個のアルゴリ
ズムを有する。典型的には、このアルゴリズムのおのお
のは一連の命令で作成される。10個のアルゴリズムは
64個のROMワードを取り上げ、ROMワードのおの
おのは12ビットを有する。BIST ROM400に
送られる行アドレスのおのおのは、クロック信号B
LKに応答してその中に記憶されている1行のデータを
呼び出す。
【0040】アルゴリズムの中の第1の命令は、そのテ
ストがイネーブルにされるかどうかを決定する命令であ
る。そのテストがイネーブルにされるかまたはされない
かは、テスト選定情報がテスト・イネーブルド・レジス
タにロードされる時のパワーアップの際に決定される。
テストの全部またはサブセットを選定することができ
る。もし「0」論理値が対応するテスト・イネーブルド
・レジスタにロードされるならば、1つのブロックのテ
スト・コードがスキップされる。
【0041】大部分のアルゴリズムに対し、アルゴリズ
ムの中の最後の命令は「反転されたパターン」に対する
テストである。典型的なテストの場合、2個のデータ・
パターン(「0」および「1」)を実行する必要があ
る。このことは、それぞれのパターンに対して1度ず
つ、テストのおのおのが2回実行されることを意味す
る。この命令は、レジスタを調べて、現在のテストが正
規パターン(パターン「0」)が実行されているかどう
かを判定する。もしそのように実行されているならば、
プログラム・カウンタはテストの開始に飛び、反転され
たパターンでテストを繰り返す。もし反転されたパター
ンが実行されていると命令が判定するならば、プログラ
ム・カウンタは単に1だけインクリメント(増分)し、
両方のデータ・パターンがすでに実行されているので、
次のテストに進む。
【0042】図28を参照すると、BIST ROM4
00に記憶されたデータの表が示されている。左側の列
は10個のアルゴリズムの名称のリストである。このリ
ストは、実行するように選定することができるテスト
と、すべてのテストが完了したという命令とを表す。
【0043】最初のアルゴリズムGROSSは、グロー
ス・テストを実行するためのアルゴリズムである。4行
のデータがあり、そのおのおのがグロース・テストに対
する1つの命令を表す。これらの命令に対するアドレス
は、左から2列目に16進コードで示されている。右側
の列は、それぞれの命令に対するニーモニック名を表
す。この表の主要なブロックは、BIST ROM40
0に記憶されるデータを表す。この表には、12列のデ
ータがある。この表には、それぞれのアルゴリズムの開
始アドレスおよび終了アドレスを区切る太い水平のライ
ンがある。したがって、アルゴリズムGROSSの第4
命令であるアドレス・16進の3の下に太線がある。
【0044】アルゴリズムGROSSの第4命令は、ジ
ャンプ・ノット・テスト・イネーブル(jnte)ツウ
・ポーズ、すべてのセルにゼロを書込む、期待されたデ
ータゼロを有するすべてのセルを読出す、データの反
転、もし以前に反転されないならばジャンプ(divn
j)である。Z1はそこにジャンプするラベルである。
【0045】図29を参照すると、2つの主要な形式の
命令がある。第1の形式はプログラム制御命令である。
この形式の命令はプログラムの流れを処理する。プログ
ラム制御命令は、BIST動作を制御するために導入さ
れる。第2の形式は、アレイのセルがどのように呼び出
されるかおよびそれにどのように書き込まれるかおよび
/またはそれからどのように読み出されるかを制御する
アレイ・アクセス命令である。それらは、基本的には、
テスタに通常見い出される、BIST ROMフォーマ
ットに翻訳される同じ形式の命令である。アレイ220
からパターンを呼び戻す命令は、アレイ・アクセス命令
の1つの例である。
【0046】命令は2つの部分に分けられる。命令の最
初の6ビットは取られるべき作用を定め、最後の6ビッ
トはその命令に付随するデータである。
【0047】全アレイを読み出すようなアレイ・アクセ
ス命令に対し、最初の6ビットは、それが書込みである
かまたは読出しであるかまたは両方であるか、全アレイ
または行のみまたは列のみが呼び出されるのであるか、
のアレイ・アクセスの形式を定める。全アレイから読み
出すためには、読出し(ビット11),X(ビット9)
およびY(ビット8)が1にセットされる。命令の最後
の6ビットは、用いられるべきタイミング・セット(T
セット0,Tセット1)、データ値(ED)およびパタ
ーン()を含めて全アレイがどのように読み出されるか
に関する情報、およびアドレスが増分されるべきかまた
は減分されるべきかに関する情報を提供する。
【0048】「テスト・イネーブル」命令のようなプロ
グラム制御命令の場合、4個の最上位のビットは「0」
であり、ビット7およびビット6はプログラム制御形式
を決定する。最後の6ビットは、もし実際に決定がジャ
ンプするように行われるならば、ジャンプするべきアド
レスを提供する。
【0049】無条件ジャンプ命令がある。最上位の6ビ
ットに対する「110011」、および最下位の6ビッ
トに対するジャンプするべきアドレスである。
【0050】ROMの最後の命令(図28参照)は、B
IST動作の終了を信号するアイドル命令である。この
命令の最後の6ビットは、現在の256Mの改定数を保
持する。
【0051】現在の回路と共にプログラムすることがで
きる多くの可能な命令の組み合わせがある。もし新しい
アルゴリズムがBIST動作に対して必要であるなら
ば、ROMを単に再プログラムすることにより、それを
含めることができる。命令を作成するのに利用可能なオ
プションの組み合わせは、下記の通りである。
【0052】
【表1】
【0053】図30および図31を参照すると、ROM
論理回路410の論理概要図が示されている。それぞれ
の命令がBIST ROM400から読み出される時、
ROM論理回路410の入力にデータが送られる。RO
M論理回路410は、それぞれの命令ワードの12ビッ
トのデータを復号化する組合せ論理回路である。ROM
論理回路410からの出力信号はROMレジスタ回路4
20のデータ入力に送られる。ROMレジスタ回路42
0には、命令の完全な実行に必要な時間の間、データが
記憶される。
【0054】組込み自己テスト配置60が活性自己テス
ト・モードに入る時、BISTプログラム・カウンタ3
60がリセットされる。プログラム・カウンタ360の
この初期状態がBIST ROMアドレス・デコーダ3
70を通して復号されて、BIST ROM400に対
する行アドレス信号が生ずる。この行アドレスが送られ
た後、そしてクロック信号に応答して、BIST RO
M400の選定された行からのデータが読み出される。
この選定された行から読み出されたすべてのデータは、
ROM論理回路410の入力に送られる。
【0055】図30および図31は、BIST ROM
400の選定された行から送られたデータの行に関する
必要な組合せ論理機能を実行するROM論理回路410
の論理概要図の例を示す。回路410は、回路410に
よる論理処理により得られる一群の出力信号を生ずる。
回路から生ずる出力信号のこの群がROMレジスタ42
0に並列に送られ、ROMレジスタ420に記憶され
る。ROMレジスタ420は、BISTデータ・バス4
21を通してパス/フェイル比較器回路430に、一群
の導線422を通してBISTタイミング発生器440
に、プログラム・カウンタ入力バス423を通してBI
STプログラム・カウンタ360に、出力信号の群を送
るように構成される。
【0056】図31を参照すると、1つの実施例として
示されたROMレジスタ回路420の論理概要が示され
ている。プログラム・カウンタ入力バス423に送られ
たデータは、プログラム制御命令が実行されている時に
のみ、プログラム・カウンタ360によって受け取られ
る。BISTタイミング発生器に送られたデータは、B
RAS ,B CAS およびB WE のような自
己テスト信号の発生を制御する。これらの自己テスト信
号は、正規動作の期間中メモリをアクセスするためにマ
イクロプロセッサにより用いられて、それらと同じ名称
の制御信号RAS ,CAS ,WE の機能を実行す
る。BISTデータ・バス421を通してパス/フェイ
ル比較器回路430に送られた信号は、メモリ・アクセ
ス命令およびデータ・ビットを有する。
【0057】図44は、組込み自己テスト配置60に用
いることができる1つの実施例として示されたパス/フ
ェイル回路430の論理概要図である。パス/フェイル
回路430は、ROMレジスタ420からBISTデー
タ・バス421を通して受け取る制御信号およびデータ
・ビットに応答し、BIST ROM400からの書込
み命令に応答してメモリ・アレイ220の少なくとも1
つのバンクに書き込まれるべきデータ信号の群のシーケ
ンスを生ずる。パス/フェイル回路430はまた、BI
STデータ・バス421を通して制御信号およびデータ
・ビットを受け取り、読出し命令に応答してメモリ・ア
レイ220からDQバス431にデータを読み出す。こ
の場合、BISTデータ・バス421からのデータ・ビ
ットが、前に存在していたデータ・ビットの状態と一致
するように処理される。前に存在していたこのデータ・
ビットは、DQバス431にデータがそれから読み出さ
れる、そのアレイ・ロケーション/複数個のアレイ・ロ
ケーションに書き込まれたデータ・ビットである。この
期待されたデータ・ビットが、メモリ・アレイ220か
ら読み出されたデータと比較され、もし比較されたデー
タが同じであるならば、この比較の結果はパス信号であ
り、もし比較されたデータが同じでないならば、それは
フェイル信号である。このパス信号は低レベル信号であ
り、データを書き込みおよび読み出すことにより通過し
た回路および記憶セルが正しく動作していることを示
す。フェイル信号は高レベル信号であり、データを書き
込みおよび読み出すことにより通過した回路のいくつか
の部分または記憶セルが正しく動作していないことを示
す。
【0058】フェイル信号は、導線B パス/フェイル
を通って、PFレジスタ432に送られる。PFレジス
タ432はこのフェイル信号を記憶する。その後、この
記憶されたフェイル信号をDQバッファ回路230を通
してメモリ・デバイスの外部パッドに送ることができ
る。PFレジスタ432は、活性自己テスト・モードの
エントリの際リセットされる。パス信号が低レベルであ
るので、そしてPFレジスタがテスト動作を始めるため
にリセットされるので、パス信号は無視されて実効的に
放棄される。デバイスは動作可能であるという仮定がな
される。したがって、1つのテスト不合格は、保持され
るべき重要度の情報に過ぎない。
【0059】図32を参照すると、パス/フェイル比較
器のVHDL言語の説明が示されている。VHDL言語
は、設計者により現在用いられる論理回路を記述するた
めの標準的な言語である。チェッカ・ボード・データの
ための信号CKBDIと、交替するデータのための信号
ALTERNATEと、期待されたデータ(ED)
のための信号B RDATAと、書込みデータ(DA
T)のための信号B WDATAとを用いて、書き込む
ことが期待されおよび読み出されたデータと比較するこ
とが期待されるデータが計算される。この計算された期
待されるデータと読み出されたデータとが比較されて、
テストがパスであるかまたはフェイルであるかが決定さ
れる。
【0060】図33(a)を参照すると、機能表が与え
られている。アレイ220の32ビットが、8個のDQ
ラインを用いて4個のデータ・ビットに圧縮される。圧
縮表が図33aに示されている。B PF 結果は、こ
の表に示された対応する値に応じてパスまたはフェイル
を与える。
【0061】組込み自己テスト(BIST) 10.00 BISTの概観 メモリ機能テストの場合、デバイスをテストするために
種々のアルゴリズムが用いられる。テスト・アルゴリズ
ムを表しそしてデバイスに加えられるテスト信号を発生
するために、通常、テスタが用いられる。その時、デバ
イスの出力がテスタで収集され、パスであるかフェイル
であるかが決定される。256M SDRAMのような
非常に高密度のメモリ・デバイスの場合、テスト時間が
非常に長くなると思われ、そのため、テスタですべての
機能テストをすることは実際的ではなく、コストの点で
効率的ではない。組込み自己テスト(BIST)回路が
テスタの代わりに設計された。BIST回路(図51、
図52)の役割は、テスト・アルゴリズムに付随するす
べてのテスト信号をデバイスの内部で発生することであ
る。テスタを用いる代わりに、テストされるデバイス
は、もし一定の電圧条件が満たされるならば、BIST
モードでパワーアップされ、自分自身をテストするであ
ろう。BISTモードでは、BIST発生信号が、すべ
てのアドレスおよびデータと共に、RASおよびCAS
のような制御信号の制御を行う。
【0062】BISTの利点:テストのコスト節約。
【0063】組込み自己テスト回路は下記の部品で作成
される(図60)。 周波数50MHzの発振器 A4の過大電圧検出器 64ワード×12ビットROM 6ビットのプログラム・カウンタ 6対64デコーダ 14ビットXレジスタ,9ビットYレジスタおよび14
ビット・リフレッシュ・レジスタ タイミング発生器 アドレス・レンジ・カウンタ イネーブルド・テスト・アルゴリズムの記憶のためのシ
フト・レジスタ 内部パターン・データ発生器 パス・フェイル比較回路 出力マルチプレクサ
【0064】BIST回路は、シリコンの表面で1.9
mm2 の領域を占め、全チップ領域の約0.5%を占め
る。BIST回路はチップの最も右端に配置され、アド
レス・インタフェースのような臨界速度インタフェース
論理は、正規動作の速度を低下させることを避けるため
に、高速路の近くに配置される。制御論理,ROMおよ
び種々の他のBIST論理は、シリコン領域がチップの
中央領域または交差領域の中よりも優先権の低いチップ
の端部に配置される(図61)。
【0065】256M BIST方式では、10個のア
ルゴリズムが実施された。それらの要約が示される(図
62)。
【0066】BIST回路の振舞いはVHDLコードで
説明され、QVHDLsimを用いてシミュレートされ
る。発振器,過大電圧検出器およびROM以外のすべて
のBIST回路は、自動論理2を用いて合成された。
【0067】10.01 BISTエントリ(Entr
y)およびエクスイット(Exit) BISTエントリおよびエクスイットの方式は、下記の
要請を満たすように設計される。 1. BISTが低コストのBIST基板で動作するた
めに必要とされるタイミングを有しない、単純なエント
リおよびエクスイットのシーケンス。 2. 偶然のBISTエントリがない。 3. BIST回路動作をテストするための読出しおよ
び書込みのための正規およびBISTモード間で交替す
る性能。
【0068】信号の品質に関して心配することなく非常
に高い並列度で単純なBIST基板の上でBIST動作
を実行することができるように、単純なエントリおよび
エクスイットのシーケンスを有することが重要である。
【0069】BISTエントリ:このことを実行するた
めに、DC信号のみが必要であるようにBISTエント
リが設計される。BISTに入るために、必要であるこ
との全部は、A4の過大電圧と、パワーアップの期間中
のCS上の低レベル(および選定されたオプションに応
じて他のピンに関する高レベルまたは低レベル)である
(図63)。
【0070】待機モードにある間、デバイスはあたかも
正規モードにあるかのように動作し、読出し命令,書込
み命令,レギュラMRS命令およびDFT命令さえも実
行することができる。
【0071】デバイスがBIST待機モードにある間、
CSピンの立上りエッジがBIST動作を開始するであ
ろう。
【0072】過大電圧の検出からBIST動作を実際に
開始するまでに遅延を有することが重要である。それ
は、ユーザにとって適切な時刻にBIST動作を開始す
る機会をユーザに与えるからである。
【0073】アドレス・レンジを設定するために、ユー
ザがDFTモードを用いることができ、例えば、BIS
T動作が始まる前にデバイスが定常状態に落ち着くため
の十分な時間を与えることができる。また、ユーザが正
規モードで1行を書き込むことができ、後でBISTに
入り、BIST回路の機能度を検査するためにBIST
モードのアレイの中のデータを再び読み出す(またはそ
の逆)ことができる。
【0074】BISTエクスイット CSの立下りエッジはすべてのBIST動作を無条件に
エクスイットするであろう。そして、BISTモードに
戻るただ1つの方法は、パワーダウンし、その後再び過
大電圧でパワーアップすることである。
【0075】偶然のBISTエントリをまた防止しなけ
ればならない。このことを達成するために、VUPBの
立下りエッジにおいて、パワーアップの際の過大電圧の
みを検出することができる。任意の他の時刻にそれを検
出することができない。パワーアップの期間中のこのこ
とおよびCSインタロックは、BIST待機モードに入
るただ1つの機会をデバイスに与える。このことは、デ
バイスの動作期間中に偶然のBISTエントリの機会を
最小にする。
【0076】過大電圧がA4で検出される時、B SR
LOADパルスが発生する。このパルスは、他の13
個のアドレスに利用可能な情報をシフト・レジスタにロ
ードする。これらには、クロック・オプション,アレイ
寸法オプションおよび出力イネーブル・オプションに対
する情報と共に、BISTにおいて実行されるべきテス
トに関する情報が含まれる。これらについての詳細はB
SHIFTブロックに示されている。
【0077】BIST動作に対するエントリおよびエク
スイットのタイミング・シーケンスは、ここで要約され
る(図64)。
【0078】パワーアップ・セットアップの1つの例
は、ピンアウトの例である(図65)。
【0079】10.1 BOV 入力:B OVDETECT、B DONE、TLBA
DDRNG、PBCSB BIST、VUPB 出力:B SR LOAD、B IN EN、B EX
TCLK、B PADDIS BIST EN BIS
MCEN 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右側
【0080】この回路の機能は、パワーアップの期間中
に過大電圧を検出することである。他のすべての時刻に
は過大電圧を検出しない。
【0081】パワーアップの期間中、VUPBの立下り
エッジにおいて、B OVERDETECTを帯電する
ために約16nsを与えるパルスVUPBNが発生す
る。VUPBNの立下りエッジは、もしB OVERD
ETECTが高レベルであるならば、そしてもしPBC
SB BISTが低レベルであるならば、過大電圧ラッ
チOVLATCHBを低レベルに設定するであろう。O
VLATCHBの低レベルは、過大電圧の検出を信号
し、BIST待機モードにエントリする。
【0082】BIST待機モードの期間中、もしPBC
SB BISTがその後で高レベルに進むならば、BI
ST動作の開始を信号するためにBIST ENは高レ
ベルに進むであろう。PBCSB BISTの高レベル
から低レベルへの遷移は、過大電圧ラッチをリセット
し、OVLATCHBを高レベルにセットするであろ
う。それはまた、BIST ENに対し、BISTエク
スイットに低レベル信号を送らせる。
【0083】もしパワーアップの期間中に過大電圧が検
出されないならば、B OVERDETECTは低レベ
ルであり、それはBIST待機モードに入らないであろ
う。
【0084】もし過大電圧がパワーアップにおいて検出
され、OVLATCHBがパワーアップでセットされる
ならば、アドレス・ラインの情報をシフト・レジスタに
ロードするために、B SR LOADパルスが発生さ
れる。この情報は、どのテストがBISTモードで実行
されるかを決定する。
【0085】B PADDISおよびB IN ENを
用いて、BIST信号と外部信号とのマルチプレクシン
グが制御される。正規動作では、外部信号が用いられ
る。これは、デバイスが動作する正規モードである。
【0086】もし過大電圧がパワーアップの時に検出さ
れ、デバイスがBIST動作に対して待機しているなら
ば、B IN ENは高レベルにセットされ、アドレス
信号がBIST回路に入ることができるであろう。開始
アドレスおよび停止アドレスがBIST回路にロードさ
れるTLBADDRNG DFTモードでは、B IN
ENはまた高レベルである。
【0087】BIST動作では、外部信号が無視され、
BIST信号(B ADDRx)が用いられる。
【0088】2つの目的のために、B EXTCLKを
用いてBIST回路に外部クロック信号が持ち込まれ
る。この外部クロックは外部クロック・オプションのた
めに必要である。DFTモードの期間中、アドレス・レ
ンジ(TLBADDRNG)の中にロードすることがま
た必要である。
【0089】10.2 BOVBIAS 入力:ESDA4、VUPB 出力:B OVDETECT 回路の#:1/チップ ロケーション:右コーナ
【0090】BOVBIASは過大電圧検出器である。
もしVUPBが低レベルに進んだ後ESDA4に過大電
圧状態が存在するならば、ノードOVは帯電されるであ
ろう。
【0091】10.3 BIROSC(図34) 入力:PB CLKBIST、BIST EN、MD
SLFR、B CLKMUX 出力:B IRCLK、BCLK EN、B CLK 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0092】BIROSCは、すべてのBIST動作に
対するクロック信号を発生する主要な発振器である。そ
れはデュアルモード発振器回路である。BISTモード
では(BIST ENが高レベルである時)、それは高
周波モードで動作し、BIST回路にB CLKを供給
してBIST動作を同期して制御する。正規モードでは
(BIST ENが低レベルである時)、それは低周波
モードで動作し、自己リフレッシュ・モードに対して用
いられる低周波B IRCLKを生ずる。それはまた、
VBB回路に対する低周波クロックである(図66)。
【0093】この回路はまた、BIST動作のための内
部クロックおよび外部クロックを制御するのに用いられ
る。
【0094】もしデバイスがBISTモードでパワーア
ップされそして内部クロック・オプションが選定される
ならば、B CLKMUXが低レベルにセットされるで
あろう。このことは、BCLK ENを高レベルにセッ
トし、デバイスに進むCLK信号の制御を引き継ぐであ
ろう。発振器はBIST動作のために必要な20nsク
ロックを発生するであろう。外部CLKは低レベルに引
き下げられる必要がある。もしB CLKMUXが高レ
ベルであるならば、外部クロック・オプションが選定さ
れ、PB CLKBISTがBISTのためのクロック
として用いられるであろう。
【0095】さらに一定の発振器周波数を確実に得るた
めに、ノードBNN,IRNNを用いて処理の変化に対
する補償が行われる。
【0096】10.4 BIRBIT(図33) 入力:CLK 出力:Q 回路の#:6/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0097】この回路は、CLK周波数を半分に分割す
るために用いられる。QはCLKの周波数の半分であ
る。
【0098】10.5 BSLFRCLK 入力:B IRCLK、VUPB 出力:SLFR TIME 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0099】SLFR TIMEは、自己リフレッシュ
のために用いられるクロックであり、またVBBポンプ
にも用いられるクロックである。それは、約8USの周
期で振動する。
【0100】10.9 BTIMEDRV 入力:B PCOUNTER(0) 出力:B PCOUNTERD(9:0)、B PCO
UNTERDB(9:0) 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0101】BIST回路の中の主要なカウンタからト
ルー信号およびバー信号を発生する。タイミングの組を
発生するために、これらのトルー信号およびバー信号は
TGEN回路に進む(図47)。
【0102】10.10 BRM(図27) 入力:B ROM ADDR(63:0) 出力:B WORD(11:0) 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0103】BRMは64個のROMワードを有し、そ
のワードのおのおのは12ビットの幅を有する。BIS
T回路のデコーダは、どのROMワードが読み出される
べきかを決定する。
【0104】10.10.1 Gross(Zrom)
アルゴリズム 1. 選定されたパターンでアレイを書き込む。 2. 書き込まれた選定されたパターンを確認するため
に、アレイを読み出す。
【0105】注: (a) 選定されたパターンは、すべて0のパターン,
すべて1のパターンまたは0と1の任意の組合わせのパ
ターンである。
【0106】10.10.2 Pauseアルゴリズム 1. 選定されたパターンでアレイを書き込む。 2. 経過する指定された時間の間待機する。 3. 書き込まれた選定されたパターンが保持されるの
を確認するために、アレイを読み出す。
【0107】注: (a) 選定されたパターンは、すべて0のパターン,
すべて1のパターンおよび/または0と1の任意の組合
わせである。
【0108】10.10.3 Xmarchアルゴリズ
ム 1. バックグラウンド・パターンでアレイを書き込
む。 2. おのおのの行に対しバックグラウンド・パターン
を読み出し、反転されたパターンをおのおのの列の中に
書き込む。 3. おのおのの行に対し反転されたパターンを読み出
し、オリジナルのパターンをおのおのの列の中に書き込
む。 4. 欠陥が起こっていないことを確認するために、オ
リジナルのバックグラウンド・パターンを読み出す。
【0109】注: (a) バックグラウンド・パターンは、すべて0のパ
ターン,すべて1のパターンまたは0と1の組合わせで
ある。
【0110】10.10.4 Ymarchアルゴリズ
ム 1. バックグラウンド・パターンでアレイを書き込
む。 2. おのおのの列に対しバックグラウンド・パターン
を読み出し、反転されたパターンをおのおのの行の中に
書き込む。 3. おのおのの列に対し反転されたパターンを読み出
し、オリジナルのパターンをおのおのの行の中に書き込
む。 4. 欠陥が起こっていないことを確認するために、オ
リジナルのバックグラウンド・パターンを読み出す。
【0111】注: (a) バックグラウンド・パターンは、すべて0のパ
ターン,すべて1のパターンまたは0と1の組合わせで
ある。
【0112】10.10.5 Sdistアルゴリズム 1. バックグラウンド・パターンでアレイを書き込む
(オプション)。 2. 指定された時間が経過するまで外乱パターンで目
標行を繰り返し書き込む。 3. リフレッシュする。 4. 外乱型のエラー欠陥が起こっていないことを確認
するために、目標行に対し近傍の行を書き込む。 5. バックグラウンド・パターンを目標行に戻す。 6. チップのすべての行を目標にすることにより繰り
返す。
【0113】注: (a) 外乱パターンは、すべて1のパターン,すべて
0のパターンまたは0と1の任意の組合わせである。 (b) バックグラウンド・パターンは、すべて0のパ
ターン,すべて1のパターンまたは0と1の組合わせで
ある。 (c) ステップ4とステップ5とを交換することがで
きる。
【0114】10.10.6 Ldistアルゴリズム アルゴリズム・ステップはSdistアルゴリズムに対
するステップと同じである。RASBパルスとCASB
パルスとの間の時間を長くするために、Ldistアル
ゴリズムは異なる時間の組を用いる。
【0115】10.10.7 Pdistアルゴリズム アルゴリズム・ステップはSdistアルゴリズムに対
するステップと同じである。Pdistアルゴリズム
は、ページ・モードで外乱パターンを書き込む。ページ
・モードでは、すべての列がその行の中に書き込まれる
まで、その行は活性化されたままである。
【0116】10.10.8 Burninアルゴリズ
ム 1. 選定されたパターンでアレイを継続的に書き込
む。
【0117】注: (a) 選定されたパターンは、すべて0のパターン,
すべて1のパターンまたは0と1の任意の組合わせであ
る。
【0118】10.10.9 Write 1 Rom
アルゴリズム 1. 選定されたパターンでアレイの1行を書き込む。
【0119】注: (a) 選定されたパターンは、すべて0のパターン,
すべて1のパターンまたは0と1の任意の組合わせであ
る。
【0120】10.10.10 Read 1 Col
umnアルゴリズム 1. アレイの1列を読み出す。
【0121】注: (a) 選定されたパターンは、すべて0のパターン,
すべて1のパターンまたは0と1の任意の組合わせであ
る。
【0122】10.10.11 Finishアルゴリ
ズム DONEフラッグをトルーにセットし、プログラム・カ
ウンタを不活性にする。
【0123】10.11ないし10.18 BRM0
7ないしBRM56 63 入力:B ROM ADDRx、ここでxは0から63
までの範囲の数 出力:B WORD0ないしB WORD11 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0124】BIST ROM回路は8個の個別の回路
に分割される。これらの回路のおのおのは8ワードを有
する。
【0125】10.19 BROMDRV(図53) 入力:B WORD、B PRECHARGE、B
OM WORD 出力:B WORD0ないしB WORD11 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0126】BROMDRVは、12ビットのROMワ
ードに対する駆動器回路である。デバイスがアレイ・ア
クセス・モードにない時、BIST動作の期間中、12
ビットのデータ・ラインが2クロック・サイクルごとに
1回プリチャージされる(図68)。
【0127】 10.20 BIST(図51、図52) 入力:BIST EN、B EEPRMOPT、TLBADDRN G、PB CLKBIST、B SR LOAD、B YSTOPE、B XS TOPE、B YSTARTE、B XSTARTE、VUPB、TLBMON 3 TLBMON2、TLBMON1、TLBROMR、B R OM WORD B RASA1、B RASB1、B RASC1、B R ASA2、B RASB2、B RASC2、 B CASA1、B CASB1、B CASC1、B C ASA2、B CASB2、B CASC2、 B OEA1、B OEB1、B OEC1、B OEA2 、B OEB2、B OEC2、 B DMUXA1、B DMUXB1、B DMUXC1、B DMUXA1、 B DMUXB1、B DMUXC1、 B YMUXA1、B YMUXB1、B YMUXC1、B YMUXA1、 B YMUXB1、B YMUXC1 B FIXCOUNTA、B FIXCOUNTB、B F IXCOUNTC B PERIODA1、B PERIODB1、B PER IODC1、 出力:B DONE、B OUTPUTEN、B CLKMUX、 B ROM PRECHARGE、 B DQL(23:18)、B RASB、B CASB、 B WDATA TIMEB、B WB、 B PCOUNTER、B ADDR、B PF RESU LT、B ROM ADDR、B DQ 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0128】このブロックのすべての回路は、VHDL
コードでコーディングの後、オートロジック2を用いて
合成される。それは8個の主要なブロックを有する。 1. B CLK GEN(図22):異なる位相の補
助クロックを発生する。また、ROMのプリチャージ信
号を発生する。 2. B ADDRCLT(図8〜図12):アクセス
されるべきセルのアドレスを発生し制御する。 3. B CROM(図40):ROMのテスト状態を
記憶し、プログラム・カウンタおよびデコーダを保持す
る。 4. B PG CONTROL(図24):テスト・
プログラムの流れを制御する。 5. B PASSFAIL:アレイに書き込まれるべ
きデータ・パターンを発生し、パス・フェイル比較を実
行する。 6. B DQMUX:DQに現れるBIST信号に対
するマルチプレクシングを制御する。 7. B ADDRNG(図16〜図21):BIST
動作の開始アドレスおよび停止アドレスを制御する。 8. B TGEN(図47〜図50):すべての制
御,データおよびアドレス信号のタイミングを制御し発
生する。
【0129】10.21 B CLK GEN 入力:B CLK、VUPB、B SR LOAD、B
DONE、B ROM PRE EN、 出力:B CLK B、B RESET、B CLK
C、B CLK A、B ROM PRECHARG
E、B CLK AD 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0130】この回路はbistの主要なクロックB
CLKを取り、2クロック・サイクルの中でそれから4
個の他のクロックを作る。B CLK Aの立上りエッ
ジは、プログラム・カウンタにより示された最も新しい
命令を更新する。この最も新しい命令の復号は、このエ
ッジで開始する。B CLK ADの立上りエッジは、
新規に復号された命令を実行するクロックである。B
CLK Bの立上りエッジでは、プログラム・カウンタ
で取られる作用に基づいて決定が行われる。B CLK
Cはリセット信号として作用する。
【0131】それはまた、ROMに対するプリチャージ
信号を発生する(図69)。
【0132】 10.22 B CROM(図40) 入力:B CLK A、B CLK C、B ROM WORD、 TLBROMR、B RESET、 B INS COMPLETED、B PC LOAD、B CLK B、B PC LO ADDR、 B RPTINV STATE 出力:B RPT INV、B YEN、B DONE、B DECR、B ALTERNATE、B INC、B XEN、B TIME SET1、B XEN、B TIME SET0、B CKBD、B CHK KEY、 B REN、B READ、B PAUSE、B JUMP 、B CHK TIMEOUT、B WRITE、B JMP ADDR、B ROM ADDR、B RDATA、B WDATA 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0133】B CROMはROMの動作を制御する。
それは、デコーダとプログラム・カウンタと現在の命令
を復号するB ROMLOGIC(図30)とを作り上
げる。プログラム・カウンタは、パワーアップの期間中
ワード0を示す。その後、BIST動作において、要求
された命令を実行するために、PCはROMの中の関連
するワードを示すであろう。ROMの中の64個のワー
ドの1つを示すために、デコーダは6ビット・プログラ
ム・カウンタを復号する(図70)。
【0134】10.23 B DECODER(図2
6) 入力:B PC ADDR 出力:B ROM ADDRN 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0135】これは、プログラムからの6ビット入力ア
ドレスをROMの中の64ワードに復号されるべき単純
な6対64デコーダである。
【0136】10.24 B PC(図25) 入力:B PC LOAD、B PC LD ADD
R、B CLK B、B RESET、B INS
OMPLETED 出力:B PC ADDR、 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0137】プログラム・カウンタは、実行されるべき
ROMの中の命令を示す。B CLK Bを用いて、プ
ログラム・カウンタをその新しい値に変える。
【0138】命令が完了すると、プログラム・カウンタ
は2つの方法で変わることができる。それは、1だけイ
ンクリメントする(正規のプログラムの流れ)か、また
はROMの64個のワードの任意の1つにジャンプする
(条件付きジャンプまたは条件付きでないジャンプ)こ
とができる。
【0139】B CLK Bの立上りエッジにおいて、
入ってくる2つの信号、すなわちB PC LOADおよ
びB INS COMPLETEDに、回路が注目する
であろう。
【0140】もしB PC LOADが高レベルである
ならば、B PC LD ADDRに現れるアドレスで
PCをロードすることにより、ジャンプを行うであろ
う。もしB INS COMPLETEDが高レベルで
あるならば、PCを1だけインクリメントさせ、次の命
令に進むであろう。もしB PC LD ADDRとB
INS COMPLETEDのいずれもが高レベルでな
いならば、その時には何の作用も起こらなく、PCは同
じに止まるであろう。B PC LOADとB PC
ADDRとは同時には高レベルであることはできな
い(図71)。
【0141】もしROMの内容を読み出してそれをDQ
ピンに出力したいならば、ROM読出しDFTモードを
用いることができる。デバイスは過大電圧でパワーアッ
プする必要があり、次にBIST待機モードにある間T
LBROMRへのDFTエントリを実行し、その後BI
STモードに進むためにCSを高レベルに引き上げる必
要がある。
【0142】1つのROMワードから次のROMワード
に移動するために、外部クロックが用いられる。PCは
2クロック・サイクルごとに、すなわちB CLK
の立上りエッジごとに、インクリメントされる。このこ
とは、DFT TLROMRモードの期間中、B IN
COMPLETEDを高レベルに強制的にすること
により実行される。
【0143】 10.25 B ROMLOGIC(図30、図31) 入力:B ROM WORD、TLBROMR、B CLK C、 B CLK A、B RESET 出力:B JMP ADDR、B DONE、B CHK TIM EOUT、B RPT INV、 B TIMESET1、B TIMESET0、B DECR、B XEN、B JUMP、B CHK KEY B ALTERNATE、B REN、B WRITE、B PAUSE、B READ、B RDATA、 B WDATA、B CKBD、B INC、B YEN、 B CLK ARESET 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0144】B ROMLOGICは、命令ワードに含
まれる12ビットのデータを復号する。2つの主要な形
式の命令がある。第1は、プログラム制御命令である。
この形式の命令はプログラムの流れを処理する。これら
の命令は、BIST動作を制御するために導入される。
第2は、アレイ・アクセス命令であり、この形式の命令
はアレイがどのようにテストされるべきかを制御する。
これらは、基本的には、テスタに通常見られるのと同じ
形式の命令である。この場合、これらの命令はBIST
フォマットに翻訳される。
【0145】1つの命令が2つの部分に分けられる。1
つの命令の最初の6ビットは取られるべき作用を定め、
最後の6ビットはその命令に付随するデータである。
【0146】読出し全アレイ命令の場合、Read(ビ
ット11),X(ビット9)およびY(ビット8)が1
にセットされる。この命令の最後の6ビットは、読出し
全アレイがどのように達成されるべきかに関する情報、
すなわち用いられるべきタイミングの組,用いられるべ
きデータ・パターン等に関する情報を提供する。
【0147】プログラム制御命令の場合、4個の最上桁
のビットは「0」であり、ビット7およびビット6はプ
ログラム制御命令を定める。最後の6ビットは、もしそ
の決定が実際にジャンプが行われるものであるならば、
ジャンプされるべきアドレスを提供する。
【0148】1つの無条件ジャンプ命令がある。最上桁
の6ビットに対し「110011」および6個の最下桁
に対しジャンプすべきアドレスである。
【0149】ROMの中の最後の命令は、BIST動作
の終了を信号するアイドル命令である。この命令の最後
の6ビットは、現在の256Mの改定数を保持する(図
72)。
【0150】前記の命令は、全アレイ(イネーブルにさ
れたXおよびYの両方)から、データ「0」を除いたタ
イミングの組Aと真の内部データ・パターンとDQの中
の同じデータとを用いて、読出しを実行するであろう
(図73)。
【0151】現在の回路でプログラムすることができ
る、命令の多くの可能な組合わせがある。もし新しいア
ルゴリズムがBISTに対して必要であるならば、RO
Mを単に再プログラムすることによりそれを含めること
ができる。1つの命令を作成するために、オプションの
種々の組合わせを利用することができる。
【0152】 10.26 B TGEN 入力:B READ、B RESET、B PAUSE、B YC ARRY 1、B CLK、B WRITE、 B TIME SET0、B TIME SET1、B I NS COMPLETED、B REN、 B OEA1、B OEA2、B、B OEB1、B OE B2、B、B OEC1、B OEC2、 B RASA1、B RASA2、B RASB1、B R ASB2、B RASC1、B RASC2、 B CASA1、B CASA2、B CASB1、B C ASB2、B CASC1、B CASC2、 B DMUXA1、B DMUXB1、B DMUXC1、B DMUXA1、 B DMUXB1、B DMUXC1、 B YMUXA1、B YMUXB1、B YMUXC1、B YMUXA1、 B YMUXB1、B YMUXC1、 B FIXCOUNTA、B FIXCOUNTB、B F IXCOUNTC B PERIODA1、B PERIODB1、B PER IODC1、 出力:B YSELB、B RASB、B CASB、B WB、 B OEB、B PERIODB、 B ROM PRE EN、B WDATA TIMB、B TIMECNT REF、B PCOUNTER 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0153】BISTテストに用いられるタイミングの
組は、BIROSC(図34)ブロックで発生された主
要なクロックを用いることにより発生される。このクロ
ックは50MHzクロックであり、このタイミングの組
の分解能は20nsである。カウンタは、主要なクロッ
クの立上りエッジの数をカウントする。制御タイミング
は、このカウンタの指定されたカウントを指示すること
によりセットされる。以下の例では、活性化はカウント
2により指示され、不活性化はカウント12により指示
される(図74)。
【0154】3つの形式のタイミングの組の全体、すな
わち短タイミングの組,長タイミングの組およびページ
・タイミングの組の全体が、BISTで実施された10
個のアルゴリズムで用いられた(図75)。
【0155】10.27 B COUNTER10B
(図39) 入力:B CNTR10 CLK、B CNTR10
CLR 出力:B CNTR10 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0156】B CNTR10 CLKの立上りエッジ
は、1だけカウンタをインクリメントさせるであろう。
カウンタは常にイネーブルにされる。
【0157】10.28 B COUNTER10A
(図38) 入力:B CNTR10 CLK、B CNTR10
EN、B CNTR10 CLR 出力:B CNTR10 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0158】もしB CNTR10 ENが高レベルで
あるならば、B CNTR10 CLKの立上りエッジ
は、1だけカウンタをインクリメントさせるであろう。
【0159】 10.29 B ADDRCTL 入力:B PAUSE、B PERIODB、B RESET、B CLK AD、B YEN、B XEN、 B REN、B INC、B YSELB、BIST EN 、B DECR、B SUBARRAY、 B XADDR STP、B YADDR STP、B X ADDR STR、B YADDR STR 出力:B YCLR、B XCLR、B RCARRY、B YC ARRY、B XCARRY、 B YNOCARRYJ、B YCARRY 1、B XN OCARRY、B LSB YADDR、 B LSB XADDR、B ADDR 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0160】B ADDRCTLは2個のブロックを有
し、B ADDR CTRはすべてのアドレス・カウン
タを有し、B RESET ENはアドレス・カウンタ
のオーバフローを検出するための制御を提供する。
【0161】 10.30 B ADDR CTR 入力:B SUBARRAY、B INC、B DECR、B A DDRCLK、B XCLR、B YCLR、 B RCLR、B XEN、B YEN、B REN、B YSELB、BIST EN、 B XADDR STP、B YADDR STP、B X ADDR STR、B YADDR STR 出力:B RCARRY、B YCARRY、B XCARRY、 B YNOCARRYJ、B YCARRY 1、B XN OCARRY、B LSB YADDR、 B LSB XADDR、B ADDR 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0162】B ADDR CTRは3個のカウンタを
有する、すなわち行カウンタ,列カウンタおよびリフレ
ッシュ・カウンタを有する。マルチプレクサは、どのカ
ウンタ値がBIST動作の期間中B ADDR信号とし
て用いられるかを決定する。正規アクセスの場合、Xカ
ウンタおよびYカウンタのみが用いられる。B YSE
LBは、列アドレスと行アドレスとの間の選択に用いら
れる信号である(図76)。リフレッシュの期間中、リ
フレッシュ・カウンタのみが用いられる。
【0163】アドレス指定マルチプレクシング・シーケ
ンスは、B ADDRCLK,B INCおよびB YS
ELBの組み合わせにより制御される。B PERIO
DBパルスは、アドレス・カウンタを1だけインクリメ
ントするB ADDRCLKを発生する。
【0164】B YSELBの低レベルは列アドレスの
選択を示す。B YSELBの高レベルは行アドレスの
選択を示す。B INCはイネーブルにされたアドレス
・カウンタを1だけインクリメントさせるであろう(図
77)。
【0165】10.31 B ROW CTR(図4
6、図55) 入力:B INC、B DECR、B ADDRCL
K、B XCLR、B XEN、B XSTART、B
XSTOP 出力:B CARY、B XCARRY、B XNOC
ARRYJ、B XADDR 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0166】Xカウンタは14ビット・カウンタであ
り、それは現在の行アドレスを保持する。それは、B
DECRの状態に応じて前方向および後方向にカウント
することができる。B DECRの低レベルは、前方向
にカウントすること、すなわちB ADDRCLKの立
上りエッジごとにカウンタ値を1だけインクリメントす
ることを意味する。このカウンタはB XENによりイ
ネーブルにされる。
【0167】もしサブアレイ・オプションが選択される
ならば、このカウンタは前にロードされた開始アドレス
で開始されるであろう。いったん停止アドレスに到達す
ると、オーバフローが起こるであろう。
【0168】10.32 B COL CTR(図3
7) 入力:B INC、B DECR、B ADDRCL
K、B YCLR、B YEN、B YSTART、B
YSTOP 出力:B CARY、B YCARRY、B YNOC
ARRYJ、B YADDR 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0169】Yカウンタは9ビット・カウンタであり、
それは現在の列アドレスを保持する。それは、B DE
CRの状態に応じて前方向および後方向にカウントする
ことができる。B DECRの低レベルは、前方向にカ
ウントすること、すなわちB ADDRCLKの立上りエ
ッジごとにカウンタ値を1だけインクリメントすること
を意味する。このカウンタはB YENによりイネーブ
ルにされる。
【0170】もしサブアレイ・オプションが選択される
ならば、このカウンタは前にロードされた開始アドレス
で開始されるであろう。いったん停止アドレスに到達す
ると、オーバフローが起こるであろう。
【0171】10.33 B REF CTR(図4
5) 入力:B ADDRCLK、B RCLR、B RE
N、B XSTART、B XSTOP、 出力:B RCARRY、B RADDR 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0172】リフレッシュ・カウンタは14ビット・カ
ウンタである。それは前方向にだけカウントする。もし
RENが高レベルであるならば、B ADDRCL
Kの立上りエッジごとにカウンタ値が1だけインクリメ
ントされる。リフレッシュ・カウンタは、3つの外乱テ
ストでのみ用いられる。リフレッシュ命令の期間中、イ
ネーブルにされるすべての行に対し、疑似読出しが実行
される。このことはアレイをリフレッシュするが、パス
/フェイルの比較は実行されない。
【0173】10.34 B ADDR RESET
EN(図35、図36、図54) 入力:B INC、B PERIODB、B XEN、
YEN、B REN、B RCLR、B REN、 B X2YLINK B RESET、B CLK C、B CLK AD、
XCARRY、B YCARRY、B RCARR
Y、B PAUSE 出力:B ADDRCLK、B YENABLE、B
XRESET、B YRESET、B RRESET 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0174】この回路は、アドレス・カウンタをインク
リメントまたはデクリメント(減分)するのに用いられ
るクロック(B ADDRCLK)を発生する。B
DDRCLKは2つの方法で、すなわちINC命令の期
間中にまたはアレイ・アクセス・サイクルの終了の期間
中に、発生される。リセット信号(XCLR,YCLR
およびRCLR)は、B CLK Cの立上りエッジで
発生される。オーバフローが起こる時、これらはカウン
タをオリジナルの状態にリセットする。
【0175】B X2YLINKは、全アレイのテスト
のために、XレジスタとYレジスタを一緒に結び付ける
ために用いられる。CARRY信号は、アレイ・アクセ
ス命令の完了を信号するために用いられる。それがプロ
グラム・カウンタに送られて、次の命令に進むことを告
げる。
【0176】 10.35 B PG CONTROL 入力:VUPB、B RESET、BIST EN、B DONE 、B TIMEOUT CHK、B INC、B XEN、B XCARRY、 B XNOCARRYJ、B XCLR、B YEN、B YCARRY、 B XNOCARRYJ、B YCLR、B REN、B RCARRY、B CHK KEY、 B RPT INV、B JUMP、B TIMECN T REF、B ADDRU、B ADDRL、 B CLK C、B CLK A、B SR LOAD 出力: B INS COMPLETED、B PC LOAD、B RPTINV S TATE、B SUBARRAY B CLKMUX、B OUTPUTEN 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0177】このブロックは、プログラム・カウンタを
制御するために用いられる回路を含んでいる。それはま
た、実行するべきテストに関する情報を保持するシフト
・レジスタを含んでいる。
【0178】1つの命令が完了した時、このブロック
は、プログラム・カウンタをインクリメントするか新し
いアドレスでプログラム・カウンタをロードするかの決
定を行うであろう。
【0179】10.36 B SHIFT(図7) 入力:VUPB、BIST EN、B DONE、B
SR CLK、B SR LOAD、B ADDRU、
ADDRL 出力:B LSB SR、B SUBARRAY、B
CLKMUX、B OUTPUTEN 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0180】B SHIFTレジスタは、パワーアップ
の期間中にラッチされたデータを保持する。テスト
n命令が1回実行されるたびに、シフト・レジスタは1
位置だけ右にシフトする。この命令は、最後のビットを
検査して、テストがイネーブルであるかどうかを調べる
(図78)。
【0181】10.37 B ECOMPARE10
(図43) 入力:B ECMPR10 EN、B AIN9 0、
BIN9 0 出力:B ECMPR10 RSLT、B ECMPR
10 RSLTB 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0182】これは単純な比較器である。もし比較イネ
ーブル信号が高レベルであるならば、B ECMPR1
RSLTは高レベルであるであろう。もし2個の1
0ビット入力が等しいならば、バー信号は低レベルであ
るであろう。または、もし2個の入力が等しくないなら
ば、B ECMPR10 RSLTは低レベルであるで
あろう。もし比較がイネーブルでないならば、入力のい
かんにかかわらず両方の出力は低レベルであるであろ
う。
【0183】10.38 B PASSFAIL(図3
3、図44) 入力:B RESET、B CLK、B RDATA、
WDATA、B OEB、B ALTERNAT
E、B CKBD、B WRITE、B LSB XA
DDR、B LSB YADDR、B DQ 出力:B WEVNVAL、B WODDVAL、B
PF RESULT、B DODD、B DEVEN 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0184】この回路は、アレイに書き込まれるべき内
部データ・パターンを発生する。この回路はまた、パス
・フェイル比較のための期待されるデータを発生する。
比較のためのタイミングはB OEBタイミングにより
制御される。
【0185】10.39 B DQMUX(図41、図
42) 入力:TLBROMR、TLBMON1、TLBMON
2、TLBMON3、B WRITE、B WDATA
TIMB、B ROM WORD、B WEVNVA
L、B WODDVAL、B RASB、B CAS
B、B WB、B CLK、B DODD、B DEVE
N、B OEB、B ADDR 出力:B DQ、B DQL 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0186】この回路は、外側の世界に進む異なる信号
を多重化する巨大なマルチプレクサである。正規モード
では、パス・フェイル信号のみが外部に進む。他の3つ
のモニタ・モードでは、異なる制御信号が外部に進む
(図79)。
【0187】10.40 B ADDRNG 入力:B EEPRMOPT、PB CLKBIST、
TLBADDRNG、B ADDR、B XSTART
E、B XSTOPE、B YSTARTE、B XS
TOPE、 出力:B XADDR STR、B XADDR ST
P、B YADDR STR、B YADDR STP 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0188】この回路を用いて、サブアレイBISTテ
ストのための開始アドレスおよび停止アドレスがロード
される。この状態になるために、DFTモードが用いら
れる。このDFTモードに入る時、クロックの次の4個
の立上りエッジがXおよびYの開始および停止アドレス
にロードされるであろう(図80)。
【0189】10.41 BONEXX 入力:IN 出力:OUT 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0190】これはROMの「1」ビットであり、BO
NExxは高レベルを表す。INは「ワードライン」
(B ROM ADDR(x))に接続される。OUT
は常に高レベルにプリチャージされ、INが高レベルで
あってもなくても低レベルに引き下げられることはない
(図81)。
【0191】10.42 BZEROXX 入力:IN 出力:OUT 回路の#:1/チップ ロケーション:チップの右コーナ
【0192】これはROMの0ビットであり、BZER
Oxxは低レベルを表す。INは「ワードライン」(B
ROM ADDR(X))に接続される。OUT(B
WORD(Y))は高レベルにプリチャージされる
が、もしこのセルが選定されINが高レベルに進むなら
ば、OUTは低レベルに引き下げられるであろう(図8
2)。
【0193】前記において、組込み自己テスト回路を備
えた集積回路メモリ・デバイスの1つの実施例の構成と
動作を説明した。本発明の範囲内において、他の構成体
の可能であることが容易に理解されるはずである。
【図面の簡単な説明】
【図1】組込み自己テスト回路と共に配置された集積回
路メモリ・デバイスのブロック線図の一部分の図であっ
て、図5に示された左上部分の図。
【図2】組込み自己テスト回路と共に配置された集積回
路メモリ・デバイスのブロック線図の一部分の図であっ
て、図5に示された右上部分の図。
【図3】組込み自己テスト回路と共に配置された集積回
路メモリ・デバイスのブロック線図の一部分の図であっ
て、図5に示された左下部分の図。
【図4】組込み自己テスト回路と共に配置された集積回
路メモリ・デバイスのブロック線図の一部分の図であっ
て、図5に示された右下部分の図。
【図5】図1、図2、図3、および図4の相互配置を示
す図。
【図6】同時にテストを行うために取り付けられた複数
個のデバイスの図。
【図7】BIST動作のためのテスト・イネーブルド・
シフト・レジスタの論理概要図。
【図8】BIST配置のためのアドレス制御回路のブロ
ック線図。
【図9】図8のアドレス制御回路に用いられる論理概要
図。
【図10】図8のアドレス制御回路に用いられる論理概
要図。
【図11】図8のアドレス制御回路に用いられる論理概
要図。
【図12】図8のアドレス制御回路に用いられる論理概
要図。
【図13】メモリ・デバイスのアドレス・バッファの動
作を示した概要図であって、Aは正規モードでの図、B
はパワーアップでの図、CはBIST動作での図。
【図14】BIST検出器回路の論理図。
【図15】図14の検出器回路の動作状態を示すタイミ
ング図。
【図16】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図17】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図18】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図19】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図20】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図21】BISTアドレス・レジスタ回路の論理概要
図。
【図22】BISTクロック発生器回路の論理概要図。
【図23】どのテスト動作が特定の自己テストの実行の
ためにイネーブルにされるべきかまたはイネーブルにさ
れるべきでないかを表すデータを記憶するためのレジス
タ位置を示す表。
【図24】プログラム・カウンタを有するBISTプロ
グラム制御回路の論理概要図。
【図25】プログラム・カウンタを有するBISTプロ
グラム制御回路の論理概要図。
【図26】BIST ROMデコーダの論理概要図。
【図27】テスト・アルゴリズム命令を記憶するための
BIST ROMの概要図。
【図28】実行することができるいくつかのDRAMに
対する動作シーケンスを決定するためにBIST RO
Mの中に記憶されたデータの表。
【図29】BIST ROMの分離した列に記憶された
ビットの機能を示す表。
【図30】1つの例として示されたROM論理回路に対
する論理概要図。
【図31】ROM論理回路に対する論理概要図。
【図32】パス/フェイル比較器のVHDL言語記述の
表。
【図33】真理値表および定義とBIST内部リフレッ
シュ・ビットの概要図であって、(a)は真理値表およ
び定義を示し、(b)はBIST内部リフレッシュ・ビ
ットの概要図。
【図34】内部リフレッシュ発振器の概要図。
【図35】アドレス・リセット回路シート1の概要図。
【図36】アドレス・リセット回路シート2の概要図。
【図37】列カウンタの概要図。
【図38】10ビット・カウンタ「A」の概要図。
【図39】10ビット・カウンタ「B」の概要図。
【図40】制御ROMの概要図。
【図41】データ・マルチプレクサ(MUX)の概要
図。
【図42】データ・マルチプレクサ(MUX)(続き)
の概要図。
【図43】比較回路の概要図。
【図44】パス・フェイル検出回路の概要図。
【図45】リフレッシュ・カウンタの概要図。
【図46】行カウンタの概要図。
【図47】タイミング発生器シート1の概要図。
【図48】タイミング発生器シート2の概要図。
【図49】タイミング発生器シート3の概要図。
【図50】タイミング発生器シート4の概要図。
【図51】完全BIST論理の概要図。
【図52】完全BIST機能論理の概要図。
【図53】ROM駆動器論理の概要図。
【図54】アドレス・リセット・イネーブルの概要図。
【図55】行カウンタの概要図。
【図56】列カウンタの概要図。
【図57】リフレッシュ・カウンタの概要図。
【図58】10ビット・カウンタ「A」の概要図。
【図59】10ビット・カウンタ「B」の概要図。
【図60】BISTブロックおよびインタフェースの概
要図。
【図61】BISTレイアウト・ロケーションの図。
【図62】アルゴリズムとタイミングの組の図。
【図63】エントリ/エクスイット状態遷移の図。
【図64】タイミング図。
【図65】BISTに対するピン・アウトおよびキー信
号の図。
【図66】クロック多重化のための表。
【図67】ROMメモリ・マップの図。
【図68】アレイ・アクセスおよびプログラム制御のた
めのタイミング図。
【図69】タイミング図。
【図70】ROMインタフェースのブロック線図。
【図71】命令タイミングの図。
【図72】制御ワードの図。
【図73】タイミングの組の表。
【図74】タイミング発生器の図。
【図75】タイミングの組の図。
【図76】マルチプレクサの図。
【図77】DUT(Device Under Tes
t、テストされているデバイス)タイミングの図。
【図78】エントリおよびテスト制御のためのアドレス
制御ビットの図。
【図79】DQ(Data/Output、データ/出
力)多重化の図。
【図80】アドレス・レンジ選定の図。
【図81】ROMプログラミング概要図、オプション低
レベル、の図。
【図82】ROMプログラミング概要図、オプション高
レベル、の図。
【図83】多重化回路の図。
【符号の説明】
60 組込み自己テスト(BIST)構成体 140 読出し専用メモリ(ROM) 410 ROM論理回路 420 BISTレジスタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダニー アール.クライン アメリカ合衆国テキサス州ダラス,サンセ ット ドライブ 174

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テスト・アルゴリズム命令を記憶する読
    出し専用メモリと、 該読出し専用メモリと相互に接続された、該読出し専用
    メモリから読み出された命令を受け取る、該命令に応じ
    て出力端子に一群の出力信号を生ずる論理回路と、 前記出力端子に接続された、前記論理回路からの前記一
    群の出力信号を受け取って記憶する組込み自己テストレ
    ジスタと、を有する組込み自己テスト配置を備えた集積
    回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載された組込み自己テスト
    配置を備えた集積回路であって、前記組込み自己テスト
    配置が、前記組込み自己テストレジスタと相互に接続さ
    れた、前記組込み自己テストレジスタに記憶された信号
    を受け取る、行アドレス・ストローブと列アドレス・ス
    トローブと書込みイネーブル信号とを生ずるタイミング
    発生器をさらに有する、組込み自己テスト配置を備えた
    集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載された組込み自己テスト
    配置を備えた集積回路であって、前記組込み自己テスト
    配置が、 複数個の群の入力端子、一群の入力制御端子および一群
    の出力端子を備えたマルチプレクサと、 該マルチプレクサの第1群の入力端子を前記組込み自己
    テストレジスタに相互に接続する、前記組込み自己テス
    トレジスタに記憶された信号を前記マルチプレクサに伝
    送する第1バスと、 前記マルチプレクサの前記一群の入力制御端子に相互に
    接続された、前記行アドレス・ストローブと前記列アド
    レス・ストローブと前記書込みイネーブル信号とを前記
    マルチプレクサに送る第2バスと、をさらに有する、組
    込み自己テスト配置を備えた集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項2に記載された組込み自己テスト
    配置を備えた集積回路であって、前記組込み自己テスト
    配置が、 組込み自己テストクロック信号を発生する発振器と、 前記組込み自己テストクロック信号に応答してカウント
    するように配置された組込み自己テスト・プログラム・
    カウンタと、 該組込み自己テスト・プログラム・カウンタの一群の入
    力端子を前記組込み自己テストレジスタに相互に接続す
    る、該組込み自己テストレジスタに記憶された信号を前
    記組込み自己テスト・プログラム・カウンタに伝送する
    第3バスと、 前記組込み自己テスト・プログラム・カウンタのカウン
    トに応答して、該カウントを復号し、前記読出し専用メ
    モリに対する行アドレスを選定する信号を発生する組込
    み自己テスト・アドレス・デコーダと、 前記読出し専用メモリの行アドレス入力を前記組込み自
    己テスト・アドレス・デコーダに相互に接続する、該組
    込み自己テスト・アドレス・デコーダからの復号された
    行アドレスを前記読出し専用メモリの行アドレス入力に
    伝送する第4バスと、をさらに有する、組込み自己テス
    ト配置を備えた集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載された組込み自己テスト
    配置を備えた集積回路であって、前記組込み自己テスト
    ・プログラム・カウンタが、 該組込み自己テスト・プログラム・カウンタを予め定め
    られた初期状態に設定するリセット信号を受け取るリセ
    ット入力と、 前記組込み自己テスト・プログラム・カウンタに記憶さ
    れたカウント状態をインクリメントするカウンタ信号を
    受け取るインクリメント入力と、 前記組込み自己テストレジスタから伝送されてきた信号
    により表される状態に前記組込み自己テスト・プログラ
    ム・カウンタの状態を変えるジャンプ信号を受け取るジ
    ャンプ入力と、を有する、組込み自己テスト配置を備え
    た集積回路。
  6. 【請求項6】 組込み自己テスト配置を備えた集積回路
    メモリ・アレイ・デバイスであって、 アドレスのシーケンスを受け取って記憶するためのアド
    レス・バッファと、 入力信号に応答し、前記デバイスの動作を正規モードま
    たは自己テスト・モードのいずれかに交替して制御する
    組込み自己テスト検出器と、 開始および終了アドレスを受け取って記憶するために配
    置された、前記デバイスが自己テスト・モードで動作し
    ている間前記メモリ・アレイの自己テスト動作のために
    配置されたアドレス・レンジ・レジスタと、 該アドレス・レンジ・レジスタと前記アドレス・バッフ
    ァとに相互に接続された、前記開始アドレスで開始しそ
    して前記終了アドレスで停止するアドレスのシーケンス
    を前記アドレス・バッファに印加する自己テスト・アド
    レス・カウンタと、を有する、組込み自己テスト配置を
    備えた集積回路メモリ・アレイ・デバイス。
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