JPH1069872A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH1069872A JPH1069872A JP8228042A JP22804296A JPH1069872A JP H1069872 A JPH1069872 A JP H1069872A JP 8228042 A JP8228042 A JP 8228042A JP 22804296 A JP22804296 A JP 22804296A JP H1069872 A JPH1069872 A JP H1069872A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- camera
- focus
- optical lens
- monitor
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】観察像のフォーカスのずれを明確にし正確な電
子顕微鏡のフォーカス調整を可能にする。 【解決手段】電子顕微鏡の観察像をＴＶカメラで撮影
し、付属の光学レンズで光学的に拡大、モニタ上に表示
する。
子顕微鏡のフォーカス調整を可能にする。 【解決手段】電子顕微鏡の観察像をＴＶカメラで撮影
し、付属の光学レンズで光学的に拡大、モニタ上に表示
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子顕微鏡に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡で観察像のフォーカス調整
は、蛍光板上の像を見やすいように部屋を暗くし、さら
に、像のフォーカスのずれが明確となるように、ルーペ
等で覗くことで光学的に拡大し実施していた。
は、蛍光板上の像を見やすいように部屋を暗くし、さら
に、像のフォーカスのずれが明確となるように、ルーペ
等で覗くことで光学的に拡大し実施していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】像のフォーカスを調整
するために部屋を暗くし、ルーペ等を覗いて拡大しなく
とも、像のフォーカスのずれが明確となるようにする。
するために部屋を暗くし、ルーペ等を覗いて拡大しなく
とも、像のフォーカスのずれが明確となるようにする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】観察像の正確なフォーカ
ス調整を可能にする手段として、ＴＶカメラ等で電子顕
微鏡像を撮影し、そのＴＶカメラで取り込まれる像を、
ＴＶカメラに付属する光学レンズ等を用いて拡大し、モ
ニタ上に表示する。すなわち、光学レンズを用いて像を
拡大することで、従来、暗室内でルーペ等で実行してい
たものと同様、像のフォーカスずれが明確になる。
ス調整を可能にする手段として、ＴＶカメラ等で電子顕
微鏡像を撮影し、そのＴＶカメラで取り込まれる像を、
ＴＶカメラに付属する光学レンズ等を用いて拡大し、モ
ニタ上に表示する。すなわち、光学レンズを用いて像を
拡大することで、従来、暗室内でルーペ等で実行してい
たものと同様、像のフォーカスずれが明確になる。
【０００５】
【発明の実施の形態】図３に一般的な電子顕微鏡の構
成、及び、ＴＶカメラで像を取り込む際の実施例を示
す。電子顕微鏡は、電子銃１から電子線２が放出し、照
射レンズ３で必要な明るさ、ビーム径に設定し、試料４
に照射する。その時の試料情報を含んだ電子線を対物レ
ンズ５，結像レンズ６で拡大し、蛍光板８上に結像させ
る。蛍光板８では、試料情報を含んだ電子線を光電変換
し、光に変換されたものを像７として観察する。
成、及び、ＴＶカメラで像を取り込む際の実施例を示
す。電子顕微鏡は、電子銃１から電子線２が放出し、照
射レンズ３で必要な明るさ、ビーム径に設定し、試料４
に照射する。その時の試料情報を含んだ電子線を対物レ
ンズ５，結像レンズ６で拡大し、蛍光板８上に結像させ
る。蛍光板８では、試料情報を含んだ電子線を光電変換
し、光に変換されたものを像７として観察する。
【０００６】ＴＶカメラを用いた像７の撮影方法は様々
あるが、ここでは、蛍光板８のベースを石英ガラス等の
光を透過する材質で製作し、蛍光板８下に設置した光学
レンズ９，ＴＶカメラ１０で、蛍光板の像７を撮影，モ
ニタ１５上に表示，観察する場合を示した。
あるが、ここでは、蛍光板８のベースを石英ガラス等の
光を透過する材質で製作し、蛍光板８下に設置した光学
レンズ９，ＴＶカメラ１０で、蛍光板の像７を撮影，モ
ニタ１５上に表示，観察する場合を示した。
【０００７】通常、電子顕微鏡のフォーカス調整は、像
７を見やすくするために部屋を暗くし、さらに、像のフ
ォーカスのずれが明確となるように、ルーペ等で覗くこ
とで光学的に拡大し実施していた。
７を見やすくするために部屋を暗くし、さらに、像のフ
ォーカスのずれが明確となるように、ルーペ等で覗くこ
とで光学的に拡大し実施していた。
【０００８】また、図１に示したようにＴＶカメラで像
を撮影し、モニタ上で観察する場合には、蛍光板上の像
を直接目で観察する際に実施していた、ルーペ等で光学
的に拡大するという手段がないため、像のフォーカスず
れが不明瞭なままであり、調整が困難になるとともに、
どうしてもフォーカスの甘い像となりがちであった。そ
こで本発明では、ＴＶカメラ１０に付属する光学レンズ
９のフォーカス調整は予め実施した上で、電子顕微鏡の
フォーカスを調整する際には、蛍光板８上の観察像をＴ
Ｖカメラ１０等で撮影し、ＴＶカメラに付属する光学レ
ンズ９で倍率を上げ拡大し、モニタ１５上に表示する。
そうすることで、電子顕微鏡像のフォーカスずれが明瞭
になり、より正確なフォーカス調整が可能になるととも
に、ＴＶカメラのモニタ上で像を観察することから、暗
い部屋ばかりでなく、明るい部屋でも調整が可能とな
る。
を撮影し、モニタ上で観察する場合には、蛍光板上の像
を直接目で観察する際に実施していた、ルーペ等で光学
的に拡大するという手段がないため、像のフォーカスず
れが不明瞭なままであり、調整が困難になるとともに、
どうしてもフォーカスの甘い像となりがちであった。そ
こで本発明では、ＴＶカメラ１０に付属する光学レンズ
９のフォーカス調整は予め実施した上で、電子顕微鏡の
フォーカスを調整する際には、蛍光板８上の観察像をＴ
Ｖカメラ１０等で撮影し、ＴＶカメラに付属する光学レ
ンズ９で倍率を上げ拡大し、モニタ１５上に表示する。
そうすることで、電子顕微鏡像のフォーカスずれが明瞭
になり、より正確なフォーカス調整が可能になるととも
に、ＴＶカメラのモニタ上で像を観察することから、暗
い部屋ばかりでなく、明るい部屋でも調整が可能とな
る。
【０００９】次に、観察像をモニタ拡大するための手段
および実施例を示す。
および実施例を示す。
【００１０】図２に、光学レンズ９，ＴＶカメラ１０の
物理的位置を移動することで、倍率を変化する方法を示
す。ＴＶカメラで像を効率良く撮影するためには、光学
レンズ９，ＴＶカメラ１０と蛍光板との距離を離した方
がよいが、光学レンズ９，ＴＶカメラ１０の物理的位置
を、ある距離Ｄだけ蛍光板８側に移動すると、撮影視野
はＷ１からＷ２と狭くなるが、モニタ１５上の観察像は
拡大できる。つまり、この移動距離Ｄを大きくすればす
るほど(蛍光板８に近づければ近づけるほど)、拡大され
た像をモニタ１５上に表示できる。この時、光学レンズ
９には接写レンズ等を使用することで像フォーカスは調
整しやすくなる。
物理的位置を移動することで、倍率を変化する方法を示
す。ＴＶカメラで像を効率良く撮影するためには、光学
レンズ９，ＴＶカメラ１０と蛍光板との距離を離した方
がよいが、光学レンズ９，ＴＶカメラ１０の物理的位置
を、ある距離Ｄだけ蛍光板８側に移動すると、撮影視野
はＷ１からＷ２と狭くなるが、モニタ１５上の観察像は
拡大できる。つまり、この移動距離Ｄを大きくすればす
るほど(蛍光板８に近づければ近づけるほど)、拡大され
た像をモニタ１５上に表示できる。この時、光学レンズ
９には接写レンズ等を使用することで像フォーカスは調
整しやすくなる。
【００１１】次に実施例を図１示す。事前に、フォーカ
スが調整しやすいような倍率となるようにカメラの移動
距離を移動制御部１４に記憶させておく。また、移動に
ともなう光学レンズ９のフォーカスの変化についても、
光学レンズを電動レンズのものを使用した場合には、そ
のフォーカス変更量もフォーカス制御部１３に記憶させ
ておく。その上で、例えば顕微鏡の操作卓上にフォーカ
ス調整というボタンを設けておき、そのボタンが押され
たならば、移動制御部１４に記憶していたある距離Ｄだ
け、エアシリンダ，モータ等のアクチュエータ１７で移
動するとともに、フォーカス制御部１３で光学レンズ９
のフォーカスを変化させる。そうすることで、拡大され
た観察像をモニタ上に表示することができ、その像を元
に電子顕微鏡のフォーカス調整を実施する。また、像の
拡大には、光学レンズとしてズームレンズ等を用いれば
ＴＶカメラ，光学レンズの位置を移動しなくとも同様の
効果が得られる。
スが調整しやすいような倍率となるようにカメラの移動
距離を移動制御部１４に記憶させておく。また、移動に
ともなう光学レンズ９のフォーカスの変化についても、
光学レンズを電動レンズのものを使用した場合には、そ
のフォーカス変更量もフォーカス制御部１３に記憶させ
ておく。その上で、例えば顕微鏡の操作卓上にフォーカ
ス調整というボタンを設けておき、そのボタンが押され
たならば、移動制御部１４に記憶していたある距離Ｄだ
け、エアシリンダ，モータ等のアクチュエータ１７で移
動するとともに、フォーカス制御部１３で光学レンズ９
のフォーカスを変化させる。そうすることで、拡大され
た観察像をモニタ上に表示することができ、その像を元
に電子顕微鏡のフォーカス調整を実施する。また、像の
拡大には、光学レンズとしてズームレンズ等を用いれば
ＴＶカメラ，光学レンズの位置を移動しなくとも同様の
効果が得られる。
【００１２】
【発明の効果】観察像を拡大したものをモニタ上に表示
し、フォーカスのずれが明確となるようにすることで、
電子顕微鏡のフォーカス調整が正確かつ容易なものにな
る。つまり、調整に熟練度を要さずとも高精細な像観察
が可能となる。また、モニタ上で調整することから、明
るい部屋でも調整可能な、より使い勝手の良い電子顕微
鏡を提供することができる。
し、フォーカスのずれが明確となるようにすることで、
電子顕微鏡のフォーカス調整が正確かつ容易なものにな
る。つまり、調整に熟練度を要さずとも高精細な像観察
が可能となる。また、モニタ上で調整することから、明
るい部屋でも調整可能な、より使い勝手の良い電子顕微
鏡を提供することができる。
【図１】本発明の実施例の説明図。
【図２】像を拡大するための実施例の説明図。
【図３】電子顕微鏡の概要、および、ＴＶカメラによる
撮影方法例の説明図。
撮影方法例の説明図。
【符号の説明】 １…電子銃、２…電子線、３…照射レンズ、４…試料、
５…対物レンズ、６…結像レンズ、７…観察像、８…蛍
光板、９…光学レンズ、１０…ＴＶカメラ、１１…画
角、１２…レンズ電流制御、１３…フォーカス制御部、
１４…移動制御部、１５…モニタ、１６…中央演算処理
装置、１７…アクチュエータ。
５…対物レンズ、６…結像レンズ、７…観察像、８…蛍
光板、９…光学レンズ、１０…ＴＶカメラ、１１…画
角、１２…レンズ電流制御、１３…フォーカス制御部、
１４…移動制御部、１５…モニタ、１６…中央演算処理
装置、１７…アクチュエータ。
Claims (1)
- 【請求項１】電子銃と照射系，結像系の各種レンズ、及
び、観察記録系から構成される一般的な電子顕微鏡にお
いて、ＴＶカメラ，モニタを含み、カメラに付属の光学
レンズで観察像を光学的に倍率変化することで、観察像
のフォーカス調整を、より正確に、かつ容易にし得るよ
うな構成にしたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228042A JPH1069872A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228042A JPH1069872A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1069872A true JPH1069872A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16870295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8228042A Pending JPH1069872A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1069872A (ja) |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP8228042A patent/JPH1069872A/ja active Pending
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