JPH1071555A

JPH1071555A - 磁気研磨方法

Info

Publication number: JPH1071555A
Application number: JP22569996A
Authority: JP
Inventors: Nobuhiro Yoshioka; 伸宏吉岡; Shigeki Banno; 茂樹番野
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1996-08-27
Filing date: 1996-08-27
Publication date: 1998-03-17
Anticipated expiration: 2016-08-27
Also published as: JP3291205B2

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気研磨をおこなう箇所における磁性粉の量
の一定化を図り、加工効率及び加工品質を高める。【解決手段】駆動可能な鉄芯１と、鉄芯１に磁力を与
えるコイル２からなり、鉄芯１に磁性粉３を磁気的に吸
着し、別途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨
方法において、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉３
の量を検知し、その検知情報に基づいて磁性粉３の供給
量を制御して、加工部の磁性粉３の量を一定化するよう
にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主として電気カミ
ソリ刃、リレー部品、マイクロスイッチ部品、コネクタ
部品等、フープ状の金属薄板状のようなプレス加工部品
のバリ取り、表面研磨に使用する磁気研磨方法に関し、
詳しくは、磁気研磨をおこなう箇所における磁性粉の量
の一定化を図り、加工効率及び加工品質を高めようとす
る技術に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気研磨における磁性粉供給方法
は、図１０に示す特開平３−２０２２６７号に示すよう
に、磁化した棒状体Ｂにより、磁性粉３を吸着し、加工
部に間欠的に供給するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような方
法においては、プレス加工を行った後の金属フープ材料
のプレスバリ取りやカミソリ刃の表面研磨バリ取り等の
磁気研磨加工が有効に利用できると考えられているが、
このような金属フープ材料を磁気研磨加工するには以下
のような問題点があった。

【０００４】１）長尺物であるため連続的に加工するこ
とが必要であるが、従来例に示すように、磁性砥石や鉄
粉などの磁性粉を連続的に供給できる手段がなく、間欠
的に加工を止めて供給しており、加工効率が低い。２）連続的に磁性粉を供給するだけでは、磁性粉が工作
物に付着することによる持ち出し、あるいは研磨液、ラ
ッピングオイルなどの加工液による磁性粉の流出が発生
し、加工部に存在する磁性粉の量が変化して、加工能率
や加工品質がばらつき安定しないという問題がある。

【０００５】本発明はこのような問題を解消しようとす
るものであり、その目的とするところは、磁性粉を連続
的に供給し、加工箇所における磁性粉の量を一定化し、
加工効率、加工品質を安定化させることができる磁気研
磨方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明において
は、駆動可能な鉄芯１と、鉄芯１に磁力を与えるコイル
２からなり、鉄芯１に磁性粉３を磁気的に吸着し、別
途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨方法にお
いて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉３の量を検
知し、その検知情報に基づいて磁性粉３の供給量を制御
して、加工部の磁性粉３の量を一定化するようにしたこ
とを特徴とするものである。

【０００７】請求項２の発明においては、駆動可能な鉄
芯１と、鉄芯１に磁力を与えるコイル２からなり、鉄芯
１に磁性粉３と研磨部材５とを混合焼結した磁性研磨材
を磁気的に吸着して加工、または磁性粉３と液状の研磨
材を混合供給して加工する磁気研磨方法において、磁気
研磨中の加工部に存在する磁性研磨材、または磁性粉３
の量を検知し、その検知情報に基づいて磁性粉３の供給
量を制御して、加工部の磁性粉３の量を一定化するよう
にしたことを特徴とするものである。

【０００８】請求項３の発明においては、磁性粉３の検
知手段は、磁気回路中のヨーク７部分を分断してギャッ
プＧを設け、このギャップＧにおける磁束密度を検知
し、この検知結果に基づいて鉄芯１，１間の間隙部８に
存在する磁性粉３の量を測定することを特徴とするもの
である。請求項４の発明においては、磁性粉３の検知手
段を加工ヘッド９に対して工作物Ｗの送り方向下流側に
設け、工作物Ｗに付着して持ち出される磁性粉３の量を
測定することを特徴とするものである。

【０００９】請求項５の発明においては、磁性粉３の検
知手段は、工作物Ｗをガイドするガイドレール１０，１
０の軸端にロードセル１１のような力センサー１２を設
け、力センサー１２にて工作物Ｗに掛かる力を検知して
加工部分に存在する磁性粉３の量を測定することを特徴
とするものである。請求項６の発明においては、磁性粉
３の供給を、モーノ型ポンプ１３と、モーノ型ポンプ１
３の駆動源としてサーボモータやステッピングモータ等
の回転速度を制御できるモータを用いておこなうことを
特徴とするものである。

【００１０】請求項７の発明においては、モーノ型ポン
プ１３に供給する磁性粉３を、液状の界面活性剤３９と
して混合して供給することを特徴とするものである。請
求項８の発明においては、モーノ型ポンプ１３に供給す
る磁性粉３を、高粘度のゲル状物質４０と混合して供給
することを特徴とするものである。請求項９の発明にお
いては、供給する磁性粉３は、駆動源としてサーボモー
タやステッピングモータ等の回転速度を制御できるモー
タを用いたロータリー式、振動式、オーガ式等の粉体定
量供給装置１５の吐出口１６を圧縮エアーが流れるパイ
プ１７に接続して、磁性粉３をエアー圧により圧送して
供給することを特徴とするものである。

【００１１】請求項１の構成においては、加工部におけ
る磁性粉３の量を常時モニタリング及び制御して一定化
することができ、加工能率や加工品質を安定化させるこ
とができる。請求項２の構成においては、加工部におけ
る磁性粉３の量を常時モニタリング及び制御して一定化
することができ、加工能率や加工品質を安定化させるこ
とができる。

【００１２】請求項３の構成においては、磁気回路中に
ギャップＧを設けてこの箇所の磁束密度を検知すること
で、磁性粉３の量を容易に検知することができる。請求
項４の構成においては、加工部の間隙部８が広く、鉄芯
１，１の径が大きくても、これらに影響されることな
く、工作物Ｗに付着して持ち出される磁性粉３の量を検
知することで、加工部における磁性粉３の量の検知が容
易におこなえる。

【００１３】請求項５の構成においては、磁気損失（加
工効率を落とすこと）なく磁性粉３の量を検知すること
ができる。請求項６の構成においては、磁性粉３を供給
するのに、微少供給量であっても供給精度を高めること
ができ、脈動がなく、安定供給が可能となる。請求項７
の構成においては、供給媒体中に磁性粉３が均一に分散
させることができ、安定した供給が可能となる。

【００１４】請求項８の構成においては、供給媒体中に
磁性粉３を均一に分散させることができ、沈降を防止で
き、安定した供給が可能になる。請求項９の構成におい
ては、磁性粉３を供給するのに、微少供給量であっても
供給精度を高めることができ、脈動がなく、安定供給が
可能となり、また、バインダが不要となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気研磨方法に
使用する磁気研磨装置の実施の一形態を示し、工作物Ｗ
は紙面と直交する方向に送られる。工作物Ｗの両側には
略一定の間隙部８を介して対向する鉄芯１，１が配設さ
れ、その鉄芯１，１の外周にはそれぞれ銅線を巻き付け
てコイル２，２を備え、両コイル２，２には直流電流を
供給して鉄芯１，１の対向面は互いに異極になるように
している。鉄芯１の工作物Ｗとの対向面と反対側には略
コ字状のヨーク７を設け、磁気的に閉回路としている。
鉄芯１は回転自在に支持され、モータ１４によって回転
駆動できるようになっている。駆動方式は揺動運動や超
音波振動でもよい。

【００１６】磁性粉３はアトマイズ鉄粉で粒子径が５０
〜２００μｍ程度のものを使用する。加工液は♯１００
０〜♯１００００程度のＷＡ砥粒と界面活性剤、消泡
剤、水を含んだ水溶性研磨液を使用する。これ以外にも
磁性粉３として鉄粉と研磨砥粒を混合して焼結した磁性
研磨材や加工液として水溶性研削液やラッピングオイル
などを好適に使用することができる。本実施例では、磁
性粉３をポリアクリル酸系の増粘剤、プロピレングリコ
ール系の分散剤と水を含んだ高粘度のゲル状物質に重量
比３０〜８０％程度で混合して使用している。

【００１７】磁性粉３の供給源として、一軸偏心ネジ型
で断面が円形のロータと断面が長方形のステータを持
ち、両者の空間に充填した物質を吸い込み側から吐出側
に移送する周知のモーノ型ポンプ１３使用し、モーノ型
ポンプ１３の駆動源として、回転数を任意にかつ高精度
に制御可能なステッピングモータ３５を使用している。
また、ステッピングモータ３５の回転軸とモーノ型ポン
プ１３の回転軸はカップリング継手１８で締結してい
る。

【００１８】ゲル状物質４０と混合した磁性粉３をモー
ノ型ポンプ１３の吸い込み口に設けたホッパ１９に充填
し、充填された磁性粉３はステッピングモータ３５の回
転により、モーノ型ポンプ１３を介して吐出口２０から
回転数に比例した量が排出される。吐出口２０には継手
を介してチューブ２１が接続されており、チューブ２１
は加工部の鉄芯１と工作物Ｗとの間隙部８の側方または
上方まで延長してある。

【００１９】研磨液は同じく加工部の鉄芯１と工作物Ｗ
との間隙部８の側方または上方にノズル２２を設け、研
磨液ポンプ（図示せず）から送られた液を加工部に吐出
する。なお供給液量は加工状態に応じて任意に調節でき
る。ヨーク７中には微小なギャップＧを設け、そのギャ
ップＧに薄型の磁気センサー２３を挿入し、ギャップＧ
部分の磁束密度を測定するのである。

【００２０】測定した磁束密度の値はガウスメータ２４
の出力端子より、アナログ電圧値として出力され、デー
タ処理装置２５の入力端子に入る。データ処理装置２５
では、所望のサンプリング周波数でアナログ電圧値のデ
ータをＡ／Ｄ変換し、時間の経過と共に磁束密度の値を
記録する。コイル２への励磁電流が一定の場合、加工部
の磁性粉３の量が増えてきた場合には、工作物Ｗと鉄芯
１の端面の間隙部８中の見かけの透磁率が増大すること
に相当するので、対向した鉄芯１，１間の磁束密度が増
大し、それと共にヨーク７を流れる磁束密度も増大す
る。

【００２１】逆に加工部の磁性粉３の量が減ってきた場
合には、ヨーク７を流れる磁束密度が減少する。従っ
て、加工部の磁性粉３の量の変化を磁束密度の値の変化
として検知することが可能であり、予め磁性粉３の量と
磁束密度の関係を把握しておけば、その時の磁束密度の
値が何グラムの磁性粉３の量に相当するかがすぐわかる
（図２参照）。

【００２２】もし、検知した値が予め定めた磁性粉３の
量の範囲を越えていれば、ステッピングモータ３５を制
御するコントローラ３６にステッピングモータ３５の回
転数変更の指令を出し、磁性粉３の量が多ければ回転数
減少、少なければ回転数増大というように、所定の磁性
粉３の量との誤差分、供給する量を変化させるようモー
タドライバ３７の周波数信号を増減する（図３参照）。
データ処理装置３５とコントローラ３６にはパーソナル
コンピュータ等が好適に利用できる。

【００２３】このように、請求項１及び請求項２の発明
においては、磁性粉３の量を常時モニタリングして一定
化するように制御しているため、安定した加工能率や加
工品質を得ることができるのである。そして、請求項３
の発明においては、磁気回路中のヨーク７部分を分断し
てギャップＧを設け、このギャップＧにおける磁束密度
を検知し、この検知結果に基づいて鉄芯１，１間の間隙
部８に存在する磁性粉３の量を測定するのであり、磁気
回路中にギャップＧを設けてこの箇所の磁束密度を検知
することで、磁性粉３の量を容易に検知することができ
るのである。

【００２４】具体的には、図４に示すように、ヨーク部
材７ａ，７ｂ間に真鍮板７ｃが介装されて真鍮ボルト３
８にて連結されて、ギャップＧが構成され、ギャップＧ
に磁気センサー２３のヘッドが挿入されて、この箇所の
磁束密度を検知するこができるようにしたものである。
請求項４の発明の実施の一形態を図５に示している。加
工ヘッド９の磁極（鉄芯１）間の間隙が広く、ヘッド径
が大きい場合には、磁極間の空間体積が大きいため、磁
性粉３がわずかに変化してもそれが磁極間の透磁率の変
化として出てこないので、磁気センサー２３のヘッド挿
入部の磁束密度の変化は検知できないレベルとなる。本
請求項の発明は、上記のような場合の磁性粉３の量の検
知のために用いられるもので、検知用磁極部分の間隙部
８が小さいため、わずかな磁性粉３の量の変化であって
も検知可能としたものである。

【００２５】即ち、図１と同様なコイル２ｄとヨーク７
ｄを加工ヘッド９とは別に、工作物Ｗの送り方向の下流
側に設け、略コ字状のヨーク７ｄの中央部に１ｍｍ程度
のギャップＧｄを設け、その中心に工作物Ｗを流す。略
コ字状のヨーク７ｄのコーナー部分に図１と同様なギャ
ップＧｅを設け、磁気センサー２３のヘッドを挿入す
る。

【００２６】工作物Ｗが鉄等の磁性材料である場合、磁
性粉３は工作物Ｗに付着して持ち出され、加工ヘッド９
の下流の検知部分の磁極に磁気的に吸引されて磁極端面
に付着する、こうして工作物Ｗの加工時間の経過と共に
磁極に付着する磁性粉３の量は増加して行き、それに伴
って検知部分の磁束密度も増加する。しかして、或る一
定時間経過後の磁束密度を毎回計測するようにセットし
ておき、その磁束密度の値が所定の値かどうかを判定
し、加工ヘッド９部分に存在する磁性粉３の量を推測す
る。

【００２７】所定の磁束密度の値よりも小さい場合に
は、工作物Ｗに付着した磁性粉３の量が少なく、加工ヘ
ッド９部分に存在する磁性粉３の量も少ないため、磁性
粉供給装置のモータコントローラ３６に回転数を上げる
よう指令を出す。逆に大きい場合は回転数を下げる指令
を出す。磁束密度測定後、一旦コイル２ｄの励磁電流を
切り、磁極間に存在する磁性粉３を落下除去する。この
とき場合によっては、圧縮エアーで吹き飛ばしたり、流
水で流したりしてもよい。その後、再びコイル２ｄの励
磁電流をオンし、磁束密度の測定を開始する。

【００２８】請求項５の発明の実施の一形態を図６に示
している。工作物Ｗは図面の右から左に送られる。工作
物Ｗは円形の一対のガイドロール１０，１０ａに巻き付
いてガイドされた状態で送られる。鉄芯１は工作物Ｗの
上方にあって、工作物Ｗとの対向面と反対側には略コ字
状のヨーク７を設け、ヨーク７のもう一つの端面は鉄芯
１の端面と或る間隙を持って対向し、磁気的に閉回路と
なっている。

【００２９】鉄芯１は回転自在に支持され、モータ（図
示せず）によって回転駆動するようになっている。加工
ヘッド９の両側で近傍のガイドロール１０ａ，１０ａの
軸端はベアリング２６に嵌合し、ベアリング２６はベア
リングケース２７に嵌合支持されている。ベアリングケ
ース２７は力センサー１２の一例である箱形のロードセ
ル１１に固定されており、ロードセル１１は鉛直方向の
圧縮力を検知できるようになっている。ロードセル１１
が検知した力はアンプで増幅され、アンプの出力端子か
ら図１と同じデータ処理装置２５に取り込まれる。磁性
粉３は図１と同様に供給した上で磁気研磨を開始し、同
時にロードセル１１による力の検知も開始する。磁性粉
３の量が安定している場合には、工作物Ｗに一定の研磨
圧力がかかるため、ロードセル１１にも一定の力が検出
されるが、磁性粉３の量が増加した場合、工作物Ｗに対
する研磨圧力が増え、ロードセル１１にかかる力も増加
するため、予め磁性粉３の量とロードセル１１による検
出荷重の関係を把握しておけば、ロードセル１１による
検出荷重のモニタリングにより、磁性粉３の量の検知が
可能となるのである。

【００３０】しかして、請求項５の発明においては、ヨ
ーク７の途中にギャップＧを設ける方式に比べ、磁気損
失がないため加工効率を落とすことなく、磁性粉３の量
の検知が可能である。また、工作物Ｗの破断も検知でき
るのである。請求項６の発明の実施の形態は、請求項
１、請求項２の実施の形態で記述したので省略する。

【００３１】請求項７の発明の実施の一形態の要部を図
７に示している。一般に、モーノ型ポンプ１３はらせん
形状のロータとステータが嵌合しているため、磁性粉３
をそのままの状態で供給すると、ロータとステータが早
く磨耗してしまうという欠点がある。また、これを防止
するために磁性粉３を水に混ぜて供給する方式が考えら
れるが、水だけでは、磁性粉３（鉄粉）がすぐに沈降し
て固まってしまう欠点がある。

【００３２】この対策として、請求項７の発明は、界面
活性剤３９が研磨材を均一に分散させ、潤滑能力を高め
る役割を持っていることを利用して、例えばポリカルボ
ン酸塩、リン酸エステル等の粘凋質の界面活性剤３９と
磁性粉３を混合してモーノ型ポンプ１３に供給すること
により、モーノ型ポンプ１３のロータおよびステータの
磨耗を防止し、磁性粉３の沈降防止と分散による供給の
安定化を実現している。

【００３３】請求項８の発明の実施の一形態の要部を図
８に示している。請求項８の発明は、請求項７の実施の
形態と同様に界面活性剤３９の代わりに、高粘度のゲル
状物質４０を使用してモーノ型ポンプ１３のロータおよ
びステータの磨耗防止を図っている。ゲル状物質４０の
成分は請求項１及び請求項２の説明において詳述したの
で省略する。

【００３４】請求項９の発明の実施の一形態は、図１と
同様なコイル２と同様なヨーク７を設けた加工ヘッド９
の構成で、磁性粉供給装置に例えばロータリ式（サーク
ル式）、振動式、オーガ式等の粉体定量供給機を用い、
駆動源として回転速度を任意に高精度に制御可能なサー
ボモータやステッピングモータを使用している。図９は
粉体供給装置にロータリ式フィーダを使用した例であ
る。

【００３５】ロータリフィーダ３０はホッパ３１内に充
填した粉体を羽根車の回転により、ホッパ３１と回転テ
ーブルの間隙からホッパ３１外へ切り出し、外周部に切
り出された磁性粉３を吐出口３２から排出する。ロータ
リフィーダ３０の吐出口３２には略逆円錐形のホッパ３
１が固定され、ホッパ３１の下端は圧縮エアーが流れる
パイプ３３が継手３４を介して接続されており、圧縮エ
アーが流れるパイプ３３は加工ヘッド９の間隙部８の側
方または上方に端面が配設されている。

【００３６】磁性粉３は吐出口３２から出た後、ホッパ
３１に落下し、ホッパ３１下部に滞留したのち、圧縮エ
アーの背圧により、パイプ３３内に吸い込まれ、加工ヘ
ッド９の間隙部８の近傍まで送られ、排出される。排出
される磁性粉３は磁気的に吸引され、最も磁束密度が高
い間隙部８内部に入り込む。このとき、間隙部８中の磁
性粉３や研磨液が飛散してしまわないよう、供給エアー
の圧力及び流量を適宜調整する。

【００３７】しかして、微少供給量であっても高精度に
供給制御が可能、脈動がないため、安定定量供給が可
能、バインダが不要となる。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明においては、駆動可能な
鉄芯と、鉄芯に磁力を与えるコイルからなり、鉄芯に磁
性粉を磁気的に吸着し、別途、液状の研磨材を供給して
加工する磁気研磨方法において、磁気研磨中の加工部に
存在する磁性粉の量を検知し、その検知情報に基づいて
磁性粉の供給量を制御して、加工部の磁性粉の量を一定
化するようにしているから、加工部における磁性粉の量
を常時モニタリング及び制御して一定化することがで
き、加工能率や加工品質を安定化させることができると
いう利点がある。

【００３９】請求項２の発明においては、駆動可能な鉄
芯と、鉄芯に磁力を与えるコイルからなり、鉄芯に磁性
粉と研磨部材とを混合焼結した磁性研磨材を磁気的に吸
着して加工、または磁性粉と液状の研磨材を混合供給し
て加工する磁気研磨方法において、磁気研磨中の加工部
に存在する磁性研磨材、または磁性粉の量を検知し、そ
の検知情報に基づいて磁性粉の供給量を制御して、加工
部の磁性粉の量を一定化するようにしているから、加工
部における磁性粉の量を常時モニタリング及び制御して
一定化することができ、加工能率や加工品質を安定化さ
せることができるという利点がある。

【００４０】請求項３の発明においては、磁性粉の検知
手段は、磁気回路中のヨーク部分を分断してギャップを
設け、このギャップにおける磁束密度を検知し、この検
知結果に基づいて鉄芯間の間隙部に存在する磁性粉の量
を測定するから、磁気回路中にギャップを設けてこの箇
所の磁束密度を検知することで、磁性粉の量を容易に検
知することができるという利点がある。

【００４１】請求項４の発明においては、磁性粉の検知
手段を加工ヘッドに対して工作物の送り方向下流側に設
け、工作物に付着して持ち出される磁性粉の量を測定す
るから、加工部の間隙部が広く、鉄芯の径が大きくて
も、これらに影響されることなく、工作物に付着して持
ち出される磁性粉の量を検知することで、加工部におけ
る磁性粉の量の検知が容易におこなえるという利点があ
る。

【００４２】請求項５の発明においては、磁性粉の検知
手段は、工作物をガイドするガイドレールの軸端にロー
ドセルのような力センサーを設け、力センサーにて工作
物に掛かる力を検知して加工部分に存在する磁性粉の量
を測定するから、磁気損失（加工効率を落とすこと）な
く磁性粉の量を検知することができるという利点があ
る。

【００４３】請求項６の発明においては、磁性粉の供給
を、モーノ型ポンプと、モーノ型ポンプの駆動源として
サーボモータやステッピングモータ等の回転速度を制御
できるモータを用いておこなうから、磁性粉を供給する
のに、微少供給量であっても供給精度を高めることがで
き、脈動がなく、安定供給が可能となるという利点があ
る。

【００４４】請求項７の発明においては、モーノ型ポン
プに供給する磁性粉を、液状の界面活性剤として混合し
て供給するから、供給媒体中に磁性粉が均一に分散させ
ることができ、安定した供給が可能となるという利点が
ある。請求項８の発明においては、モーノ型ポンプに供
給する磁性粉を、高粘度のゲル状物質と混合して供給す
るから、供給媒体中に磁性粉を均一に分散させることが
でき、沈降を防止でき、安定した供給が可能になるとい
う利点がある。

【００４５】請求項９の発明においては、供給する磁性
粉は、駆動源としてサーボモータやステッピングモータ
等の回転速度を制御できるモータを用いたロータリー
式、振動式、オーガ式等の粉体定量供給装置の吐出口を
圧縮エアーが流れるパイプに接続して、磁性粉をエアー
圧により圧送して供給するから、磁性粉を供給するの
に、微少供給量であっても供給精度を高めることがで
き、脈動がなく、安定供給が可能となり、また、バイン
ダが不要となるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示す説明図である。

【図２】磁性粉の量とギャップ部の磁束密度との関係を
示すグラフである。

【図３】磁性粉の供給処理を説明するフローチャートで
ある。

【図４】ギャップを示し、（ａ）は水平断面図、（ｂ）
は側断面図である。

【図５】請求項４の発明を説明する図である。

【図６】請求項６の発明を説明する図である。

【図７】請求項７の発明における界面活性剤と磁性粉を
混合した場合の模式図である。

【図８】請求項８の発明における高粘度ゲル状物質と磁
性粉を混合した場合の模式図である。

【図９】請求項９の発明を説明する図である。

【図１０】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１鉄芯２コイル３磁性粉５研磨部材７ヨーク８間隙部９加工ヘッド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動可能な鉄芯と、鉄芯に磁力を与える
コイルからなり、鉄芯に磁性粉を磁気的に吸着し、別
途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨方法にお
いて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉の量を検知
し、その検知情報に基づいて磁性粉の供給量を制御し
て、加工部の磁性粉の量を一定化するようにしたことを
特徴とする磁気研磨方法。
【請求項２】駆動可能な鉄芯と、鉄芯に磁力を与える
コイルからなり、鉄芯に磁性粉と研磨部材とを混合焼結
した磁性研磨材を磁気的に吸着して加工、または磁性粉
と液状の研磨材を混合供給して加工する磁気研磨方法に
おいて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性研磨材、ま
たは磁性粉の量を検知し、その検知情報に基づいて磁性
粉の供給量を制御して、加工部の磁性粉の量を一定化す
るようにしたことを特徴とする磁気研磨方法。
【請求項３】磁性粉の検知手段は、磁気回路中のヨー
ク部分を分断してギャップを設け、このギャップにおけ
る磁束密度を検知し、この検知結果に基づいて鉄芯間の
間隙部に存在する磁性粉の量を測定することを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載の磁気研磨方法。
【請求項４】磁性粉の検知手段を加工ヘッドに対して
工作物の送り方向下流側に設け、工作物に付着して持ち
出される磁性粉の量を測定することを特徴とする請求項
３記載の磁気研磨方法。
【請求項５】磁性粉の検知手段は、工作物をガイドす
るガイドレールの軸端にロードセルのような力センサー
を設け、力センサーにて工作物に掛かる力を検知して加
工部分に存在する磁性粉の量を測定することを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載の磁気研磨方法。
【請求項６】磁性粉の供給を、モーノ型ポンプと、モ
ーノ型ポンプの駆動源としてサーボモータやステッピン
グモータ等の回転速度を制御できるモータを用いておこ
なうことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気
研磨方法。
【請求項７】モーノ型ポンプに供給する磁性粉を、液
状の界面活性剤として混合して供給することを特徴とす
る請求項６記載の磁気研磨方法。
【請求項８】モーノ型ポンプに供給する磁性粉を、高
粘度のゲル状物質と混合して供給することを特徴とする
請求項６記載の磁気研磨方法。
【請求項９】供給する磁性粉は、駆動源としてサーボ
モータやステッピングモータ等の回転速度を制御できる
モータを用いたロータリー式、振動式、オーガ式等の粉
体定量供給装置の吐出口を圧縮エアーが流れるパイプに
接続して、磁性粉をエアー圧により圧送して供給するこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気研磨方
法。