JPH1071569A - 超砥粒焼結部材及びそれを用いた工具並びにその製造方法 - Google Patents

超砥粒焼結部材及びそれを用いた工具並びにその製造方法

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JPH1071569A
JPH1071569A JP11522097A JP11522097A JPH1071569A JP H1071569 A JPH1071569 A JP H1071569A JP 11522097 A JP11522097 A JP 11522097A JP 11522097 A JP11522097 A JP 11522097A JP H1071569 A JPH1071569 A JP H1071569A
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俊之 西尾
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宏次 草田
Kensaku Sasaki
謙作 佐々木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超砥粒の保持が充分で、寿命の長い超砥粒焼
結部材並びにこれを用いた工具を経済的に提供する。 【解決手段】 金属部片5と、結合金属粉に50vol
%以下の超砥粒を加えた混合物を圧縮成形した圧縮成形
体3との組合わせ物13を、カプセル9内に圧力媒体粉
12に埋めて装填し、脱気密封した後、これをHIP装
置に装入して圧縮焼結して、理論密度比96%以上の超
砥粒焼結部材を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は金属部片と、ダイヤ
モンド、立方晶窒化ほう素(CBN)或はこの混合物な
どの超砥粒を、単金属粉、合金粉などの金属粉で焼結し
た金属焼結体とが一体に接合されてなる超砥粒焼結部材
及びそれを用いたソー、砥石、ドレッサーなどの超砥粒
工具並びにその製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】超砥粒層並びに超砥粒工具の製造法とし
ては、超砥粒と結合金属粉の混合物乃至は、この混合物
と台金とを接して金型に装入し、ホットプレス(HP)
により焼結する方法がよく知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】超砥粒工具において
は、例えば図5(イ)(ロ)に示すワイヤーソー1にお
けるワイヤーの長さ方向に間隔をおいて取り付けられた
ダイヤモンドビーズ2のように、石材、コンクリートな
どの切断に際し、結合金属相16によってダイヤモンド
粒子4の保持が充分で、その脱落がないことが必要であ
る。 そして、切断の進行に連れて、該ビーズ2の表面は次第
に摩損し、遂いには寿命となるので、摩損しにくく、寿
命の長いことが求められている。また摩損がビーズ全体
にわたって均一であることが望まれている。なお図
(イ)における7はゴム被覆、(ロ)は(イ)のA−A
断面図で、5は取付用の支持体となる鉄筒、6はワイヤ
ーロープである。
【0004】上記長寿命のためには、結合金属相16の
組成分布並びに密度が全体にわたって均質で、密度が高
く、機械的強度の強いことが必要である。 ところが従来のHPを用いる製造法は、金型費などが嵩
みコスト高であると共に、焼結時Cu、Snの液相が最
外層に流出して、図1(ヘ)の8のようなバリを生じ、
表1に示すように、結合金属相16の組成分布が不均質
となっているものが多い。 そして上下方向の1軸圧縮で
あるため、図のような薄肉形状のものにおいては、中央
部と上下間の密度差が生じ易く、全体の平均密度として
も、理論密度比94.0%程度以上には形成しにくく充
分な強度の向上は期待し難い。
【0005】
【表1】
【0006】他方上記本発明の対象とは異なる、超硬
質、高硬度の緻密な焼結体の製造法として、HIP法を
用いる次の様な提案がある。
【0007】1つは特開平3−150303号公報で、
これはダイヤモンドやCBNを主成分とし、これに微量
のバインダ金属粉を含んだ原料に、BN粉成形体を用い
てHIP法により高温、高圧をかけるものである。 他の1つは特開平5−61226号公報で、これはダイ
ヤモンド粉に可成り多量の周期律表第4a、5a、6a
族遷移金属、Si、B、Alの酸化物、窒化物、炭化
物、炭窒化物の1つ以上を加えた原料に、同様にHIP
法により高温高圧をかけてHv800以上の高硬度焼結
体を製造すると言うものである。
【0008】上記何れの提案においても、本発明の対象
とする金属部片と超砥粒を含有する金属焼結体よりなる
部材において、HIP法を採用することの必要性や可能
性を示す記載はなく、また採用するための具体的方法を
示唆する点もない。 本発明者らは、前記問題を解決する
手段として、種々試作研究の結果、HIP法に基づく次
のような新しい超砥粒焼結部材並びにその形成方法を完
成した。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の超砥粒焼結部材
の第1の特徴は、金属部片と、集中度5〜200の超砥
粒を含有する金属焼結体とが、焼結により一体に接合さ
れてなる部材であって、該焼結はHIPによって施さ
れ、組織が均質であって、かつその理論密度比が96%
以上であることである。そして焼結する金属としては、
W2 C等のフィラーを含むか、含まない多相系非鉄金属
であることが最も好ましい。
【0010】また超砥粒焼結部材の用途としては、超砥
粒を含まない金属部片が支持用、取付用などの工具母体
として働くワイヤーソー用ダイヤモンドビーズ、ペンシ
ルエッジ型ホイール、ソーブレードなどが好ましい。 勿
論他の研削砥石、ドレッサーとしても用いられる。
【0011】このような特性を持つ本発明の超砥粒焼結
部材は、次のような方法により容易に経済的に製造でき
ることを第2の特徴とする。 (1)結合金属粉に50vol%以下の超砥粒を加えた
混合物を型押圧縮成形する工程と、該圧縮成形体の1個
又は複数個を、予め準備された金属部片と組合わせる工
程と、該組合わせ物をその侭か又更に冷間等方圧縮(C
IP)を施して仮固定してカプセル内に装入し、圧力媒
体粉の中に埋める工程と、該カプセル内を減圧し密封す
る工程と、該カプセルをHIP装置中に装入してHIP
を施す工程と、を具備することを特徴とする製造方法。
【0012】(2)上記組合わせ物にCIPを施して仮
固定することに替え、比較的低温で仮焼結を施して仮固
定する製造方法。
【0013】(3)前記金属部片は金属焼結体を支持固
定するための工具母体となる筒状体又は外周端面に凹部
を設けた円板状体によって形成され、これに組合される
圧縮成形体は、上記筒状体の外周に挿嵌できる第2の筒
状体又は外周端面の凹部に嵌め込まれる扇形に形成され
てなる製造方法。
【0014】(4)前記型押圧縮成形体の空隙率は40
%程度とした製造方法。
【0015】(5)前記カプセル内に充填する圧力媒体
粉を予め装入する組合せ物の形状、装入個数、位置に対
応した組合せ受型形状に圧縮成形しておくことも1つの
好ましい方法である。
【0016】(6)超砥粒としてはダイヤモンド、CB
N或はこれの混合物などが使用され、結合金属として
は、Co等で固相焼結するものも使用されるが、これを
Niに置換したもの、更にこれらにCu、Sn、等の液
相を生じる金属乃至合金粉を加えた多相系の非鉄金属粉
を用いることが好ましい。また必要によっては、金属粉
中にW2 Cなどのフィラーを加えることもできる。 (7)特殊な場合には、カプセルを省略し、前記超砥粒
と結合金属粉との混合物の圧縮成形体と金属部片との組
合せ物を金属箔で包み減圧密封し、これをHIP装置に
装入してHIPを施すことも可能である。 この金属箔密
封物をカプセル内に装入し、圧力媒体粉の中に埋めてH
IPを施すことも勿論可能である。
【0017】前記混合する超砥粒粉を50vol%以下
としたのは、超砥粒を用いた砥石、ドレッサー、ソーブ
レードにおける超砥粒の集中度は、異例に高いものにお
いても200以下であり、通常は100程度より更に低
いからである。 本発明者らは、このダイヤモンドビーズにおいては、石
材切断の苛酷な条件に耐えるため、特に強度の高い結合
金属相が必要であることに着目し、上記のような方法に
より結合金属相の密度を高め、その目的を達したもので
ある。
【0018】
【発明の実施の形態】以下その具体的な内容を実施例に
よって説明する。
【0019】
【実施例】 (実施例1)図5に示すワイヤーソー用のダイヤモンド
ビーズ2の試作例を実施例1並びに比較例1として説明
する。 (1)使用原材料 混合粉末 超砥粒 ダイヤモンド粉 #40 含有量 0.5ct/ケ 結合金属粉成分(wt%) Co 81 Cu 6.3 Sn 2.7 W2 C10 支持体とする鉄筒5.材質 SUM24L Cuメッキ厚10μm 寸法[図1(イ)] 高さH10mm 内径D1 3mm 外径D2 7mm
【0020】混合粉末をメカプレスにより図1(ロ)の
3のように下記リング形状に型押圧縮成形する。 高さH1 実施例 7 mm 比較例 7 mm 内径D3 実施例 7.1mm 比較例 7.1mm 外径D4 実施例 11.5mm 比較例 10.5mm 空隙率 実施例 40% 比較例 40%
【0021】上記リング形状型押体3を、図1(ハ)の
様に鉄筒5の中央部外周に挿嵌して組合わせ、比較例に
おいては、これをHP装置に装入し830℃、200k
g/cm2 、120分保持して焼結し、図1(ヘ)に示
すようなダイヤモンドビーズ2を形成する。圧縮焼結に
より、高さH1 は6.5mmに縮まり、内径D3 は鉄筒
5の外周に接合固着され、外径側にはプレスによるバリ
8が生じる。 このバリ8は、焼結時の液相が流出したも
ので、前記したような結合金属成分の分布が不均一とな
る因ともなっているものである。また、このバリ8の生
じる高さ方向中央部分は圧縮度が低くなって、密度が低
く、全体としての理論密度比は94.0%、硬度はHR
B97.2であった。
【0022】実施例においては、図1(ハ)の様に組合
わせたものをゴム筒に封入してCIPをかけ、鉄筒5に
リング形状型押体3を圧縮固着する。この圧縮により外
径D4 は図1(ニ)のように小径部11.3mmのつつ
み状を呈する。この圧縮した組合わせ物13の多数を、
図2(イ)(ロ)に示すような厚さ2mmの軟鋼板製の
カプセル9に装入する。
【0023】装入に当っては図2のように、圧力媒体粉
12として#100のアルミナ粉をよく敷き詰めて、こ
の粉末に完全にかつ13同士が直接接しないように間隔
をあけて埋め込むようにする。 埋めこみ後ふた10を
(ロ)のようにカプセル9に溶接14し、300℃に加
熱して、水分を飛ばすと共に、脱気口11より真空引き
して、締めつけ密封15した。
【0024】密封したカプセル9をHIP装置に装入
し、850℃、200kg/cm3 、120分保持して
焼結し、図1(ホ)に示すようなダイヤモンドビーズ2
を形成した。 圧縮焼結により高さH1 は6.5mm外径D4 は大径部
10.6mm、小径部10.3mmのつつみ状を呈し、
バリは生じない。 結合金属相の成分分布は、表2に示すように、HPによ
るものに比し断面全体にわたって均質で、密度もむらな
く理論密度比は97.4%、硬度はHRB103.1で
あった。
【0025】
【表2】
【0026】上記実施例並びに前記比較例によるダイヤ
モンドビーズ2は、それぞれバレル研磨を施し、バリの
残っているものについてはバリ取り、鉄筒5の内径D2
の変形しているものについては内径加工を施して、ワイ
ヤーロープ6に間隔を設けて挿通し、図5に示すような
ワイヤーソー1を製作した。
【0027】このワイヤーソーにより鉄筋コンクリート
の切断試験を行ったところ、図4に示すにように、切断
面積の増加に連れてのダイヤモンドビーズ2の外径の摩
耗度合は共に一定でないが、実施例のものが少い方が多
く、結局総摩耗量としては、実施例が比較例の半分程度
となり、寿命は2倍近くであった。 なお、ワイヤーソーにおける外径摩耗はどうしても、偏
摩耗を起こしやすいので、摩耗量がビーズ層厚みの約1
/2を越えた時が、寿命と推定した。
【0028】なお、上記比較例と実施例との製造設備
費、操業費を比較すると、規模、操業率にもよるが、実
施例によるものは比較例におけるもっとも大きな金型費
を半分以下に抑制することが出来、経済的に遥かに優れ
ている。そして、できた部材が秀れた特性を有している
ことは既に述べた通りである。
【0029】また上記実施例においては、焼結されたも
のにバレル研磨を施したものについて示したが、ダイヤ
モンドビーズ2の外表面は、比較例と違い圧力媒体粉に
直接接して焼結形成されているので、ダイヤモンド粒子
4先端が露出した状態となっているので、これを省略す
ることが出来る。 圧縮成形体の空隙率を40%程度とし
たのは、この程度未満ではプレス作業に支障を生じ易
く、金型の損耗も激しいためで、この程度を超える場合
には圧縮成形体がくずれ易く、ハンドリング等操作困難
だからである。CIPをかけたのはこの操作性の向上特
にリング形状型押体3と鉄筒5との組合わせ物の、組合
せ形状を維持固定しておく上で重要であり、これがHI
Pの容易さにもつながる。
【0030】また鉄筒5の内径は、HIPによる変形を
切削加工により修正したが、鉄筒にかえ丸棒を使用し、
これをHIP後孔開け加工を施して形成することに代え
れば、材料費加工費共更に減ずることが出来る。この場
合丸棒の上下端面に、孔加工中心点を示す円錐凹みなど
の表示を設けておくことが重要である。
【0031】圧力媒体粉としては#100のアルミナに
ついて示したが、焼結時無変形、無反応な粉体であれば
よいので窒化ほう素(BN)、グラファイト、SiC、
SiO、SiO2 或は鋳物砂などの適度な粒度なもの、
或はこれらの混合物で、熱伝導が良く流動抵抗の低いも
のを選択して用いれば良い。また実施例では圧力媒体粉
中に埋め込んだ後300℃に加熱して脱気したが、40
0℃またはそれ以上に加熱してもよい。
【0032】HIP装置としては、アルゴンを用いた加
熱温度1200℃、圧力500kg/cm2 、装入容積
500cm2 ×100cmのものを用いたが、他の仕様
でも勿論差し支えない。なお本発明におけるHIPと
は、純理論的な熱間等方圧縮(HIP)のみさすもので
はなく、擬似HIPを含むものであって、このようなH
IPによれば、焼結における液相の浸透も均一に行なわ
れるので、液相生成物の配合割合を減らして、焼結体の
強度を計ることも、また更に超砥粒の性能劣化の生じな
い範囲で、焼結温度、圧力を上げ焼結時間の短縮や固相
焼結による焼結体の強度向上を計ることも可能である。
また実施例においては鉄筒5との焼結結合を促進するた
めにCuメッキを施しているが、これの省略も可能であ
る。
【0033】前記実施例においては、組合わせ物をカプ
セル9内で圧力媒体粉末のなかに埋め込んだものについ
て示したが、場合によってはこの粉末を予め組合わせ物
の形状、個数、位置に合わさせた受型を形成するよう
な、複数個の組合せた受形圧縮体に形成しておき、この
受形の中に充填してもよい。
【0034】(実施例2)次に上記実施例と同様なダイ
ヤモンドビーズ2の製造において、リング状型押体3の
構成物のうち、結合金属粉成分のCoをNiに置き換
え、該型押体3と鉄筒5との組合わせ物のCIPによる
圧縮固着に替え、低温の仮焼結により固着した第2の実
施例について説明する。
【0035】メカプレスにより図1(ロ)の様に成形さ
れた理論密度比約66%のリング形状型押体3を、図1
(ハ)の様に鉄筒5の中央部外周に挿嵌して組合わせ、
図3の概略図に示す様に、該組合わせ物13の形状に沿
う段付き溝18を有するカーボン板17の該溝18に多
数個配置する。
【0036】この配置状態即ち上溝18によりリング状
型押体3が鉄筒5の外周上中央部に挿嵌された状態を保
った儘、該カーボン板17を焼結炉に装入して、不活性
雰囲気下大気圧で750℃に90分間保持した後、約9
0分で徐冷して、仮焼結した組合わせ物13を得た。
【0037】この組合わせ物13は、仮焼結によりリン
グ状型押体3の部分の理論密度比は約75%に上昇する
と共に略図1の(ニ)の様に収縮して、鉄筒5の外周に
接着して仮固定される。
【0038】上記仮焼結は仮固定を主目的に施すもので
あるが、実施例1におけるCIPを施すのに比し、設備
上、工数上並びに安全性に優れ、より量産に適する。
【0039】なお、仮焼結温度は、前記型押体3の組成
にもよるが、700℃程度より低いと仮固定不足のもの
が生じ、800℃程度以上となると割れを生じるものが
あったりするので、この間の温度範囲が好ましい。
【0040】上記仮焼結した組合わせ物13は、前記実
施例1と同様に、図2のようにカプセル9に装入して圧
力媒体粉12に埋め込み、脱気密封15した。
【0041】密封したカプセル9をHIP装置に装入
し、前記仮焼結温度より100℃程度以上高温の950
℃で、500kg/cm2 、120分保持してHIPを
施した。このHIPにより、リング形状型押体3は理論
密度比略100%の焼結された金属結合相16となっ
た。
【0042】上記HIPを施して形成したダイヤモンド
ビーズ2を用いて、実施例1と同様にしてワイヤーソー
1を製作し、切断試験を行ったところ、外径摩耗量は本
実施例のものが実施例1における比較例(HP品)より
30%近く少なく、切断速度も優れていることが認めら
れた。
【0043】(実施例3)図6は、ペンシルエッジ型の
ダイヤモンドホイールの試作例を示す概略図で、(イ)
及び(ロ)は扇形型押体19の側面図及びそのAA断面
図である。(ハ)及び(ニ)は上記扇形型押体19を、
ホイールボディ20の外周端縁に設けた凹部21に嵌挿
した状態を示す側面図及びそのBB断面図である。
【0044】鋼製のホイールボディ20の外径は204
mm、外周部の肉厚Tは15mmで、外周端縁に砥面を
形成するための扇形型押体19は、砥面を20等分し2
0個形成することとした。
【0045】この扇形型押体19は、♯40/50のダ
イヤモンド粉を2.2ct/cm3分含有した結合金属
粉(Co90、Cu7.5、Sn2.5wt%)をメカ
プレスで理論密度比65%に圧縮成形して得た。得た扇
形型押体19を、図6(ハ)(ニ)のようにホイールボ
ディ20の凹部21に密接して挿嵌して仮固定した組合
わせ物とする。
【0046】上記組合わせ物を前記実施例と同様に、カ
プセル9に装入して圧力媒体粉12に埋めこみ、脱気密
封して、HIP装置に装入し、830℃、200kg/
cm2 、120分保持して焼結し、ペンシルエッジ型の
ダイヤモンドホイールを得た。
【0047】扇形型押体19は、HIP処理時ホイール
ボディ20の凹部によって、形状並びに位置が設定通り
維持されているため、容易に設計通りのペンシルエッジ
型のダイヤモンドホイールを得ることが出来た。以上は
扇形型押体19の断面が凹形状のペンシルエッジ型のダ
イヤモンドホイールについて説明したが、扇形型押体1
9の断面が凸形状のダイヤモンドホイールについても同
様に適用できる。
【0048】
【発明の効果】上記各項において説明したように、本発
明によれば、均質で高密度の焼結が容易にできるので、
超砥粒の含有量も、切れ味を低下させないよう充分に保
ちながら、結合金属焼結体の強度を上げ、長寿命の部材
を提供することができる。
【0049】
【図面の簡単な説明】
【図1】それぞれ実施例1におけるダイヤモンドビーズ
の製作過程を示す縦断側面図で、(イ)は鉄筒、(ロ)
はダイヤモンド粉と結合金属粉の混合物の型押圧縮体、
(ハ)は(イ)と(ロ)の組合せ状態、(ニ)は(ハ)
をCIPにより圧縮した成形体、(ホ)は(ニ)にHI
Pを施した圧縮焼結体、(ヘ)は(ハ)を直接HPによ
り型押焼結した状態を示す。
【図2】(イ)及び(ロ)は図1(ニ)の成形体をカプ
セルに装入し、密封する状態を説明する縦断面及び側面
よりの概略図である。
【図3】実施例2における組合わせ物を配置するカーボ
ン板の状態を説明する概略斜視図である。
【図4】比較例1と実施例1の鉄筋コンクリート切断に
よる外径摩耗の状態を示す図表である。
【図5】(イ)及び(ロ)はワイヤーソーの構成を説明
する側面及びそのA−A断面の概略図である。
【図6】実施例3を説明する概略図で(イ)及び(ロ)
は扇形型押体の側面図及びAA断面図、(ハ)及び
(ニ)はホイールボディの側面図及びBB断面図であ
る。
【符号の説明】
1.ワイヤーソー 20.ホイール
ボディ(金属部片) 2.ダイヤモンドビーズ 21.20の凹
部 3.リング形状型押体(圧縮成形体) 4.ダイヤモンド粒 5.鉄筒(金属部片) 6.ワイヤーロープ 7.ゴム被覆 8.バリ 9.カプセル 10.ふた 11.脱気口 12.圧力媒体粉 13.組合わせ物 14.溶接 15.密封 16.超砥粒を含有する結合金属相 17.カーボン板 18.17の段付き溝 19.扇形型押体(圧縮成形体)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 草田 宏次 大阪府堺市鳳北町2丁80番地 大阪ダイヤ モンド工業株式会社内 (72)発明者 佐々木 謙作 大阪府堺市鳳北町2丁80番地 大阪ダイヤ モンド工業株式会社内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属部片と、集中度5〜200の超砥粒
    を含有する金属焼結体とが、焼結により一体に接合され
    てなる部材であって、該焼結は熱間等方圧縮(HIP)
    によって施され、組織が均質でかつ理論密度比が96%
    以上であることを特徴とする超砥粒焼結部材。
  2. 【請求項2】 金属焼結体はフィラーを含むか又は含ま
    ない多相系非鉄金属が、液相焼結によって形成されてな
    ることを特徴とする請求項1記載の部材。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の超砥粒焼結部材に
    おいて、金属部片は金属焼結体を支持固定する工具母
    体、金属焼結体の外表面は砥面として、その儘又は加工
    を加えて用いられることを特徴とする超砥粒工具。
  4. 【請求項4】 超砥粒工具は次のA、B又はCの何れか
    である請求項3記載の工具。 A.金属部片は筒状であり、金属焼結体は該筒状の外周
    に一体に接合されて外周砥面を形成したビーズ。 B.A記載のビーズが、ワイヤーロープに挿通されて、
    長さ方向に間隔を設けて固着されてなるソーワイヤ。 C.金属部片は外周端面に凹部を設けた円板状であり、
    金属焼結体はその複数が連続して又は間隔をおいて、円
    板状の凹部に一体に接合されて砥面を形成したホイール
    又はソーブレード。
  5. 【請求項5】 フィラーを含むか又は含まない結合金属
    粉に50vol%以下の超砥粒を加えた混合物を型押圧
    縮成形する工程と、該圧縮成形体の1個又は複数個と金
    属部片を組合わせる工程と、該組合わせ物をその侭か、
    又は冷間等方圧縮(CIP)を加えた後カプセル内に装
    入し圧力媒体粉の中に埋める工程と、該カプセルを減圧
    し密封する工程と、該カプセルをHIP装置中に装入し
    てHIPを施す工程と、を具備することを特徴とする請
    求項1若しくは2又は請求項3記載の超砥粒焼結部材又
    は超砥粒工具の製造方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の方法において、組合わせ
    物にCIPを加えるのに替え仮焼結を施し、HIPは仮
    焼結の温度以上で施すことを特徴とする請求項1若しく
    は2又は請求項3記載の超砥粒部材又は超砥粒工具の製
    造方法。
  7. 【請求項7】 圧縮成形体の空隙率を40%程度とした
    ことを特徴とする請求項5又は請求項6記載の製造方
    法。
  8. 【請求項8】組み合わせ物を埋める圧力媒体粉は予め組
    合わせ物の形状、装入個数、位置に対応した組合せ受型
    形状に圧縮形成されてなることを特徴とする請求項5若
    しくは6又は請求項7記載の製造方法。
  9. 【請求項9】 超砥粒はダイヤモンド、結合金属粉は多
    相系非鉄金属粉、焼結は液相焼結であることを特徴とす
    る請求項5若しくは6又は請求項7、請求項8記載の製
    造方法。
  10. 【請求項10】 超砥粒と結合金属粉との混合物の圧縮
    成形体と金属部片又は金属圧粉体片とを組合せたものを
    金属箔で密封する工程と、該密封物をカプセル内に装入
    して圧力媒体粉の中に埋めて密封した後、HIP装置に
    装入してHIPを施す工程とを具備してなることを特徴
    とする請求項1若しくは2又は請求項3記載の超砥粒焼
    結部材又は超砥粒工具の製造方法。
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