JPH10719A - セラミックグリーンシート用キャリアフィルム - Google Patents
セラミックグリーンシート用キャリアフィルムInfo
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- JPH10719A JPH10719A JP15247396A JP15247396A JPH10719A JP H10719 A JPH10719 A JP H10719A JP 15247396 A JP15247396 A JP 15247396A JP 15247396 A JP15247396 A JP 15247396A JP H10719 A JPH10719 A JP H10719A
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- Japan
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- green sheet
- carrier film
- film
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- ceramic green
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤性、離型
性、耐熱性及び寸法安定性に優れたセラミックグリーン
シート用キャリアフィルムを提供する。 【解決手段】 特定の物性を有する二軸延伸ポリエチレ
ンナフタレートフィルムの片面に、特定の物性を有する
離型層が形成されているセラミックグリーンシート用キ
ャリアフィルム。
性、耐熱性及び寸法安定性に優れたセラミックグリーン
シート用キャリアフィルムを提供する。 【解決手段】 特定の物性を有する二軸延伸ポリエチレ
ンナフタレートフィルムの片面に、特定の物性を有する
離型層が形成されているセラミックグリーンシート用キ
ャリアフィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート製造時に用いられるキャリアフィルムに関す
る。より詳しくは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性に優れたキャリアフ
ィルムに関する。
ンシート製造時に用いられるキャリアフィルムに関す
る。より詳しくは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性に優れたキャリアフ
ィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、セラミックＩＣ基板及びパッケ
ージ等の製造において使用されるグリーンシートは、ア
ルミナ、バインダ、可塑剤及び溶剤等からなるスラリー
を、ドクターブレード法等によりキャリアフィルム上に
塗布した後、赤外線照射又は熱風等で乾燥させて得ら
れ、その厚さは０．０５〜１ｍｍである。得られたグリ
ーンシートは、金型等で任意の形状にキャリアフィルム
ごと打ち抜かれ、又、必要に応じてスルーホール等が同
様の方法で形成される。その後、導体印刷、焼成及びメ
ッキ等の工程を経て、目的とするセラミック配線板を得
ている。
ージ等の製造において使用されるグリーンシートは、ア
ルミナ、バインダ、可塑剤及び溶剤等からなるスラリー
を、ドクターブレード法等によりキャリアフィルム上に
塗布した後、赤外線照射又は熱風等で乾燥させて得ら
れ、その厚さは０．０５〜１ｍｍである。得られたグリ
ーンシートは、金型等で任意の形状にキャリアフィルム
ごと打ち抜かれ、又、必要に応じてスルーホール等が同
様の方法で形成される。その後、導体印刷、焼成及びメ
ッキ等の工程を経て、目的とするセラミック配線板を得
ている。
【０００３】従来、キャリアフィルムには紙、ポリプロ
ピレン（以下ＰＰと記す）及びポリエチレンテレフタレ
ート（以下ＰＥＴと記す）等が使用されており、必要に
応じて離型剤等がキャリアフィルム表面に塗布されてい
る。
ピレン（以下ＰＰと記す）及びポリエチレンテレフタレ
ート（以下ＰＥＴと記す）等が使用されており、必要に
応じて離型剤等がキャリアフィルム表面に塗布されてい
る。
【０００４】上記キャリアフィルムに要求される物性と
しては、表面平滑性、金型等で切断し易くするための打
ち抜き性、スラリー中の有機溶剤に侵されない耐溶剤
性、グリーンシートを剥離し易くするための離型性、ス
ラリーの乾燥に耐え得る耐熱性及び寸法安定性等があ
る。
しては、表面平滑性、金型等で切断し易くするための打
ち抜き性、スラリー中の有機溶剤に侵されない耐溶剤
性、グリーンシートを剥離し易くするための離型性、ス
ラリーの乾燥に耐え得る耐熱性及び寸法安定性等があ
る。
【０００５】しかしながら、従来の技術では上記物性を
全て満たすキャリアフィルムは得られなかった。例え
ば、キャリアフィルムとして、紙を使用した場合は、紙
は表面平滑性が悪いので得られたグリーンシートの表面
平滑性も悪く、最終製品として十分なものが得られな
い。又、切断時に紙粉等が出てグリーンシートに付着す
るという不具合も生じる。ＰＰを使用した場合は、ＰＰ
は耐熱性に劣るのでスラリーの乾燥が低温に限られ、乾
燥工程に時間がかかり生産性が悪い。特公昭６２─２７
３７１０においては、ＰＥＴが使用されているが、切断
時のキャリアフィルムの伸びが大きく加工性が悪いとい
う問題があった。
全て満たすキャリアフィルムは得られなかった。例え
ば、キャリアフィルムとして、紙を使用した場合は、紙
は表面平滑性が悪いので得られたグリーンシートの表面
平滑性も悪く、最終製品として十分なものが得られな
い。又、切断時に紙粉等が出てグリーンシートに付着す
るという不具合も生じる。ＰＰを使用した場合は、ＰＰ
は耐熱性に劣るのでスラリーの乾燥が低温に限られ、乾
燥工程に時間がかかり生産性が悪い。特公昭６２─２７
３７１０においては、ＰＥＴが使用されているが、切断
時のキャリアフィルムの伸びが大きく加工性が悪いとい
う問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、表面
平滑性、打ち抜き性、耐溶剤性、離型性、耐熱性及び寸
法安定性に優れたセラミックグリーンシート用キャリア
フィルムを提供することにある。
平滑性、打ち抜き性、耐溶剤性、離型性、耐熱性及び寸
法安定性に優れたセラミックグリーンシート用キャリア
フィルムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のセラミックグリ
ーンシート用キャリアフィルムは、３０分間１００℃に
保った時の熱収縮率が０．３％以下、ＭＤ及びＴＤの引
張破壊伸びが１３０％以下並びに表面粗さＲａが０．１
μｍ以下である二軸延伸ポリエチレンナフタレート（以
下ＰＥＮと記す）フィルムの片面に、剥離強度が１０〜
５０ｇ／２５ｍｍ、残留接着率が９０％以上の離型層が
形成されていることを特徴とする。
ーンシート用キャリアフィルムは、３０分間１００℃に
保った時の熱収縮率が０．３％以下、ＭＤ及びＴＤの引
張破壊伸びが１３０％以下並びに表面粗さＲａが０．１
μｍ以下である二軸延伸ポリエチレンナフタレート（以
下ＰＥＮと記す）フィルムの片面に、剥離強度が１０〜
５０ｇ／２５ｍｍ、残留接着率が９０％以上の離型層が
形成されていることを特徴とする。
【０００８】本発明における二軸延伸ＰＥＮフィルムと
は、逐次二軸延伸又は同時二軸延伸によりＭＤ及びＴＤ
に１．５〜１０倍に延伸された、ポリエチレン─２，６
─ナフタレートを主成分とするポリマーからなり、必要
に応じて有機及び無機充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、帯電防止剤、有機滑剤、着色剤、安定剤並びに可塑
剤等が添加されていてもよい。
は、逐次二軸延伸又は同時二軸延伸によりＭＤ及びＴＤ
に１．５〜１０倍に延伸された、ポリエチレン─２，６
─ナフタレートを主成分とするポリマーからなり、必要
に応じて有機及び無機充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、帯電防止剤、有機滑剤、着色剤、安定剤並びに可塑
剤等が添加されていてもよい。
【０００９】本発明でいうＭＤとは、原反フィルムの製
造工程における機械方向、即ち、成形され移動する方向
であり、ＴＤとはＭＤと直交する方向である。
造工程における機械方向、即ち、成形され移動する方向
であり、ＴＤとはＭＤと直交する方向である。
【００１０】上記二軸延伸ＰＥＮフィルムは、３０分間
１００℃に保った時の熱収縮率が０．３％以下であり、
０．３％を超えるとグリーンシート乾燥時の該フィルム
の熱収縮のため、得られるグリーンシートの表面平滑性
が損なわれる。又、熱収縮率をさらに低下させるために
アニール処理等が施されていてもよい。アニール処理と
は、例えば、無張力又は適度の張力を加え、１００〜２
００℃で数秒〜１時間程度の間熱を加えて１度熱収縮を
起こすことにより、２度目以降の熱収縮率を低下させる
ことである。尚、ここでいう熱収縮率とは、〔（ (処理
前のサンプルの長さ) − (処理後のサンプルの長さ) ）
／ (処理前のサンプルの長さ) 〕×１００により計算し
た値である。
１００℃に保った時の熱収縮率が０．３％以下であり、
０．３％を超えるとグリーンシート乾燥時の該フィルム
の熱収縮のため、得られるグリーンシートの表面平滑性
が損なわれる。又、熱収縮率をさらに低下させるために
アニール処理等が施されていてもよい。アニール処理と
は、例えば、無張力又は適度の張力を加え、１００〜２
００℃で数秒〜１時間程度の間熱を加えて１度熱収縮を
起こすことにより、２度目以降の熱収縮率を低下させる
ことである。尚、ここでいう熱収縮率とは、〔（ (処理
前のサンプルの長さ) − (処理後のサンプルの長さ) ）
／ (処理前のサンプルの長さ) 〕×１００により計算し
た値である。
【００１１】又、上記二軸延伸ＰＥＮフィルムのＭＤ及
びＴＤの引張破壊伸びは１３０％以下であり、１３０％
を超えると切断時等の該フィルムの伸びにより、打ち抜
き性が損なわれる。引張破壊伸びは、二軸延伸倍率等に
より調整される。尚、ここでいう引張破壊伸びとはＪＩ
Ｓ Ｋ ７１１３に準拠して測定した値である。
びＴＤの引張破壊伸びは１３０％以下であり、１３０％
を超えると切断時等の該フィルムの伸びにより、打ち抜
き性が損なわれる。引張破壊伸びは、二軸延伸倍率等に
より調整される。尚、ここでいう引張破壊伸びとはＪＩ
Ｓ Ｋ ７１１３に準拠して測定した値である。
【００１２】又、上記二軸延伸ＰＥＮフィルムの表面粗
さＲａは０．１μｍ以下であり、０．１μｍを超えると
得られるグリーンシートの表面平滑性が損なわれる。本
発明では、二軸延伸ＰＥＮフィルムとグリーンシートの
間に離型層が形成されているが、離型層は非常に薄膜の
ため、二軸延伸ＰＥＮフィルム及びグリーンシートの表
面の粗さＲａは等価とみなせる。尚、ここでいう表面の
粗さＲａとはＪＩＳＢ ０６０１に準拠して測定した値
である。
さＲａは０．１μｍ以下であり、０．１μｍを超えると
得られるグリーンシートの表面平滑性が損なわれる。本
発明では、二軸延伸ＰＥＮフィルムとグリーンシートの
間に離型層が形成されているが、離型層は非常に薄膜の
ため、二軸延伸ＰＥＮフィルム及びグリーンシートの表
面の粗さＲａは等価とみなせる。尚、ここでいう表面の
粗さＲａとはＪＩＳＢ ０６０１に準拠して測定した値
である。
【００１３】上記二軸延伸ＰＥＮフィルムの厚さは、薄
すぎると作業性及びキャリアフィルムとしての機能が低
下し、厚すぎるとコストが高くなることから、２５〜１
２５μｍが好ましい。
すぎると作業性及びキャリアフィルムとしての機能が低
下し、厚すぎるとコストが高くなることから、２５〜１
２５μｍが好ましい。
【００１４】本発明における離型層はグリーンシートを
剥離し易くするためのものであり、これを形成する離型
剤としては特には限定されず、例えば、付加反応型シリ
コーン、縮合反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコー
ン及び電子線硬化型シリコーン等のシリコーン系離型
剤、長鎖アルキルアクリレート重合物及び長鎖アルキル
変性高分子等の有機離型剤並びにフッ素系離型剤等があ
げられるが、剥離性の優れるシリコーン系離型剤が好ま
しい。
剥離し易くするためのものであり、これを形成する離型
剤としては特には限定されず、例えば、付加反応型シリ
コーン、縮合反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコー
ン及び電子線硬化型シリコーン等のシリコーン系離型
剤、長鎖アルキルアクリレート重合物及び長鎖アルキル
変性高分子等の有機離型剤並びにフッ素系離型剤等があ
げられるが、剥離性の優れるシリコーン系離型剤が好ま
しい。
【００１５】上記離型剤は、一般に溶剤に溶解されてい
る。溶剤としては、例えば、アルコール類、ケトン類、
炭化水素類、セロソルブ類、フェノール類及びエステル
類等の単独又は２種以上の混合物からなる有機溶剤があ
げられ、必要に応じて水で希釈されていてもよい。又、
必要に応じて界面活性剤、柔軟剤、架橋剤、触媒及びシ
リカ粉末等が添加されていてもよい。
る。溶剤としては、例えば、アルコール類、ケトン類、
炭化水素類、セロソルブ類、フェノール類及びエステル
類等の単独又は２種以上の混合物からなる有機溶剤があ
げられ、必要に応じて水で希釈されていてもよい。又、
必要に応じて界面活性剤、柔軟剤、架橋剤、触媒及びシ
リカ粉末等が添加されていてもよい。
【００１６】又、上記離型剤が熱硬化性以外の場合は、
それぞれの離型剤に適する紫外線照射及び電子線照射等
の任意の硬化工程が単独又は後述する乾燥工程と併用さ
れてよい。
それぞれの離型剤に適する紫外線照射及び電子線照射等
の任意の硬化工程が単独又は後述する乾燥工程と併用さ
れてよい。
【００１７】本発明における離型層は上記離型剤溶液を
二軸延伸ＰＥＮフィルムへ塗布及び乾燥することにより
形成される。塗布及び乾燥は任意の方法が使用されてよ
く、例えば、塗布方法としてはグラビアコーター、マイ
ヤーバーコーター、ロールコーター、ブレードコータ
ー、キスロールコーター及びダイコーター等があげら
れ、乾燥方法としては熱風乾燥及び赤外線乾燥等があげ
られる。
二軸延伸ＰＥＮフィルムへ塗布及び乾燥することにより
形成される。塗布及び乾燥は任意の方法が使用されてよ
く、例えば、塗布方法としてはグラビアコーター、マイ
ヤーバーコーター、ロールコーター、ブレードコータ
ー、キスロールコーター及びダイコーター等があげら
れ、乾燥方法としては熱風乾燥及び赤外線乾燥等があげ
られる。
【００１８】又、二軸延伸ＰＥＮフィルムの表面に、離
型層との密着性を向上させるため、コロナ放電処理又は
各種アンカー剤層の形成等が施されていてもよい。コロ
ナ放電処理の際の濡れ性は４０ｄｙｎ／ｃｍ以上が好ま
しく、さらに好ましくは５０ｄｙｎ／ｃｍ以上である。
型層との密着性を向上させるため、コロナ放電処理又は
各種アンカー剤層の形成等が施されていてもよい。コロ
ナ放電処理の際の濡れ性は４０ｄｙｎ／ｃｍ以上が好ま
しく、さらに好ましくは５０ｄｙｎ／ｃｍ以上である。
【００１９】上記離型層の剥離強度は１０〜５０ｇ／２
５ｍｍであり、１０ｇ／２５ｍｍ未満ではグリーンシー
トの滑り等が発生し、５０ｇ／２５ｍｍを超えると剥離
の機能が低下する。尚、本発明でいう剥離強度とは、離
型層が形成されていない側のキャリアシート表面を両面
テープで金属板に貼り合わせた後、離型層の表面にポリ
エステルテープ（日東電工社製、商品名３１Ｂ）を２ｋ
ｇのローラーで１往復させて貼り合わせ２０分間放置し
た後、３００ｍｍ／ｍｉｎの速さで１８０度の角度で該
ポリエステルテープを剥離した際の剥離強度の値であ
る。この時の温度は通して２３℃である。
５ｍｍであり、１０ｇ／２５ｍｍ未満ではグリーンシー
トの滑り等が発生し、５０ｇ／２５ｍｍを超えると剥離
の機能が低下する。尚、本発明でいう剥離強度とは、離
型層が形成されていない側のキャリアシート表面を両面
テープで金属板に貼り合わせた後、離型層の表面にポリ
エステルテープ（日東電工社製、商品名３１Ｂ）を２ｋ
ｇのローラーで１往復させて貼り合わせ２０分間放置し
た後、３００ｍｍ／ｍｉｎの速さで１８０度の角度で該
ポリエステルテープを剥離した際の剥離強度の値であ
る。この時の温度は通して２３℃である。
【００２０】又、上記離型層の残留接着率は９０％以上
であり、９０％未満では、グリーンシートに離型剤が転
写し、例えば導電ペースト印刷時に印刷ができないとか
印刷が剥がれる等の問題が生じる。尚、本発明でいう残
留接着率とは、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した
１８０度引きはがし粘着力がＦ0 であるポリエステルテ
ープ３１Ｂ（日東電工社製）を２ｋｇのローラーで１往
復させて離型層の表面に貼り合わせ、２０ｇ／ｃｍ2 の
荷重をかけて２０時間放置した後該ポリエステルテープ
を剥離し、該ポリエステルテープの１８０度引きはがし
粘着力をＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠して測定した値を
Ｆとし、（Ｆ／Ｆ0 ）×１００の計算により得られた値
である。この時の温度は通して２３℃である。
であり、９０％未満では、グリーンシートに離型剤が転
写し、例えば導電ペースト印刷時に印刷ができないとか
印刷が剥がれる等の問題が生じる。尚、本発明でいう残
留接着率とは、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した
１８０度引きはがし粘着力がＦ0 であるポリエステルテ
ープ３１Ｂ（日東電工社製）を２ｋｇのローラーで１往
復させて離型層の表面に貼り合わせ、２０ｇ／ｃｍ2 の
荷重をかけて２０時間放置した後該ポリエステルテープ
を剥離し、該ポリエステルテープの１８０度引きはがし
粘着力をＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠して測定した値を
Ｆとし、（Ｆ／Ｆ0 ）×１００の計算により得られた値
である。この時の温度は通して２３℃である。
【００２１】
実施例１、比較例３、４ 厚さ７５μｍの二軸延伸ＰＥＮフィルムの片面に、表１
に示した離型剤１００重量部、触媒（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ２１２ＣＡＴ）
０．６重量部及びトルエン５００重量部からなる離型剤
溶液を、乾燥後の塗布量が０．１ｇ／ｍ2 となるように
マイヤーバーコーターで塗布し、１４０℃で３０秒間乾
燥して、グリーンシート用キャリアフィルムを得た。
に示した離型剤１００重量部、触媒（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ２１２ＣＡＴ）
０．６重量部及びトルエン５００重量部からなる離型剤
溶液を、乾燥後の塗布量が０．１ｇ／ｍ2 となるように
マイヤーバーコーターで塗布し、１４０℃で３０秒間乾
燥して、グリーンシート用キャリアフィルムを得た。
【００２２】実施例２ 二軸延伸ＰＥＮフィルムの離型層を形成する面に、表面
の濡れ性が５６ｄｙｎ／ｃｍになるようにコロナ放電処
理を施した以外は実施例１と同様にして、グリーンシー
ト用キャリアフィルムを得た。
の濡れ性が５６ｄｙｎ／ｃｍになるようにコロナ放電処
理を施した以外は実施例１と同様にして、グリーンシー
ト用キャリアフィルムを得た。
【００２３】比較例１ 二軸延伸ＰＥＮフィルムを二軸延伸ＰＥＴフィルムに代
えた以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キ
ャリアフィルムを得た。
えた以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キ
ャリアフィルムを得た。
【００２４】比較例２ 厚さ７５μｍの二軸延伸ＰＥＮフィルムを厚さ６０μｍ
の二軸延伸ＰＰフィルムに代え、離型層の乾燥を９０℃
で１０秒間とした以外は実施例１と同様にして、グリー
ンシート用キャリアフィルムを得た。
の二軸延伸ＰＰフィルムに代え、離型層の乾燥を９０℃
で１０秒間とした以外は実施例１と同様にして、グリー
ンシート用キャリアフィルムを得た。
【００２５】比較例５ 離型層の乾燥を９０℃で１０秒間とした以外は実施例１
と同様にして、グリーンシート用キャリアフィルムを得
た。
と同様にして、グリーンシート用キャリアフィルムを得
た。
【００２６】比較例６ 二軸延伸ＰＥＮフィルムを未延伸ＰＥＮフィルムに代え
た以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キャ
リアフィルムを得た。
た以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キャ
リアフィルムを得た。
【００２７】キャリアフィルム材質、離型剤組成及び得
られたキャリアフィルムの物性等を表１に示した。又、
以下の方法により得られたキャリアフィルムの実用評価
を行った。まず、アルミナ、ポリビニルブチラール樹
脂、可塑剤及び溶剤からなるスラリーをキャリアフィル
ム上にドクターブレードにより乾燥後の厚さが１００μ
ｍとなるように塗布し、１００℃で２時間乾燥してグリ
ーンシートを得た後、金型にて５０×５０ｍｍのシート
に切断し、フィルムの打ち抜き性を顕微鏡にて評価し
た。 ○；切り口は平滑であった。 ×；一部切断できなかった。
られたキャリアフィルムの物性等を表１に示した。又、
以下の方法により得られたキャリアフィルムの実用評価
を行った。まず、アルミナ、ポリビニルブチラール樹
脂、可塑剤及び溶剤からなるスラリーをキャリアフィル
ム上にドクターブレードにより乾燥後の厚さが１００μ
ｍとなるように塗布し、１００℃で２時間乾燥してグリ
ーンシートを得た後、金型にて５０×５０ｍｍのシート
に切断し、フィルムの打ち抜き性を顕微鏡にて評価し
た。 ○；切り口は平滑であった。 ×；一部切断できなかった。
【００２８】次にグリーンシートをキャリアフィルムよ
り剥離し、剥離性を評価した。 ○；簡単に剥離できた。上記１８０度引きはがし粘着力
が２００ｇ／２５ｍｍ以下。 △；グリーンシートに破損はなかったが剥離が重かっ
た。上記１８０度引きはがし粘着力が２００ｇ／２５ｍ
ｍを超えた。 ×；グリーンシートの破損又は滑りが生じた。
り剥離し、剥離性を評価した。 ○；簡単に剥離できた。上記１８０度引きはがし粘着力
が２００ｇ／２５ｍｍ以下。 △；グリーンシートに破損はなかったが剥離が重かっ
た。上記１８０度引きはがし粘着力が２００ｇ／２５ｍ
ｍを超えた。 ×；グリーンシートの破損又は滑りが生じた。
【００２９】次にグリーンシートの表面平滑性を目視に
より評価した。 ○；平滑であった。 ×；平滑でなかった。
より評価した。 ○；平滑であった。 ×；平滑でなかった。
【００３０】次にＥＳＣＡによりグリーンシートへの離
型剤の移行性を評価した。 ○；ほとんど移行はみられなかった。 ×；移行が多くみられた。
型剤の移行性を評価した。 ○；ほとんど移行はみられなかった。 ×；移行が多くみられた。
【表１】
【００３１】*1；軽剥離付加型シリコーン離型剤（東レ
・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３３
３） *2；中剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ３４５） *3；重剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３２０） *4；重剥離添加剤（東レ・ダウコーニング・シリコーン
社製、商品名ＳＤ７２９２）
・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３３
３） *2；中剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ３４５） *3；重剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３２０） *4；重剥離添加剤（東レ・ダウコーニング・シリコーン
社製、商品名ＳＤ７２９２）
【００３２】
【発明の効果】本発明のセラミックグリーンシート用キ
ャリアフィルムは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性の全てに優れたもの
である。
ャリアフィルムは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性の全てに優れたもの
である。
Claims (1)
- 【請求項１】 ３０分間１００℃に保った時の熱収縮率
が０．３％以下、ＭＤ及びＴＤの引張破壊伸びが１３０
％以下並びに表面粗さＲａが０．１μｍ以下である二軸
延伸ポリエチレンナフタレートフィルムの片面に、剥離
強度が１０〜５０ｇ／２５ｍｍ及び残留接着率が９０％
以上の離型層が形成されていることを特徴とするセラミ
ックグリーンシート用キャリアフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15247396A JPH10719A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | セラミックグリーンシート用キャリアフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15247396A JPH10719A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | セラミックグリーンシート用キャリアフィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10719A true JPH10719A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15541292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15247396A Withdrawn JPH10719A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | セラミックグリーンシート用キャリアフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10719A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000117900A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-25 | Toyobo Co Ltd | 離型フィルム |
| JP2002052671A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-19 | Tdk Corp | 剥離フィルムおよびその製造方法 |
| JP2006159530A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | カバーテープ |
| JP2010069868A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-04-02 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | グリーンシート成形用キャリヤーフィルム |
| JP2010221636A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Mitsubishi Plastics Inc | ポリエステル離型フィルム |
-
1996
- 1996-06-13 JP JP15247396A patent/JPH10719A/ja not_active Withdrawn
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