JPH1073646A - 半導体集積回路の試験方法 - Google Patents
半導体集積回路の試験方法Info
- Publication number
- JPH1073646A JPH1073646A JP8229889A JP22988996A JPH1073646A JP H1073646 A JPH1073646 A JP H1073646A JP 8229889 A JP8229889 A JP 8229889A JP 22988996 A JP22988996 A JP 22988996A JP H1073646 A JPH1073646 A JP H1073646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- signal
- input
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
ラッキング試験を短時間で行う。 【解決手段】試験対象である半導体集積回路に入力信号
を与え、その出力信号を検出し、入力信号と出力信号と
の関係から半導体集積回路の特性試験を行う方法におい
て、測定周波数に近接する周波数範囲内で、周波数が異
なりそれぞれ入力レベルを異ならせた正弦波信号群を生
成する工程と、その正弦波信号群を合成した信号を入力
信号として半導体集積回路に与える工程と、半導体集積
回路の出力信号をフーリエ変換により入力信号と同じ周
波数に展開する工程と、対応する入力信号と出力信号か
ら異なる入力レベル毎の半導体集積回路の特性を検出す
る工程とを有することを特徴とする。
Description
試験方法に係り、特に、アナログ回路の入出力の直線性
等をチェックするゲイントラッキング試験を短時間で行
うことができる試験方法に関する。
ンアンプやアナログ・デジタル変換器等のアナログ回路
の場合、その入力と出力との間にある直線性を持った特
性になっているか否かの試験を行う必要がある。しか
も、近年の半導体集積回路の短納期化と低価格化に伴
い、その試験工程を簡略化又は削減が要求されている。
アナログ回路の場合は、デジタル回路の場合よりも試験
のパラメータが多く、試験時間が長くなる傾向にある。
な例であるオペレーションアンプの場合で説明すると、
その利得は一般に外部の抵抗値で決定され、理想的には
どのような周波数や信号振幅で入力されようとも、その
利得（ゲイン）は一定であるはずである。しかしなが
ら、オペレーションアンプの回路素子などのばらつき等
により、入力の振幅が変動するとその利得も変動して回
路設計値と異なる応答特性を示すことになる。この様な
特性をゲイントラッキング性と称される。
えてそれぞれの出力の振幅を求めて、各入力振幅毎の利
得を求めていた。そして、その利得がある許容範囲内に
あるか否かのチェックを行っていた。しかし、それでは
入力振幅のポイント数だけ測定を繰り返す必要があり、
試験時間が長くなる傾向にある。
を解決した半導体集積回路の試験方法を提供することに
ある。
を短時間で行うことができる半導体集積回路の試験方法
を提供することにある。
よれば、試験対象である半導体集積回路に入力信号を与
え、その出力信号を検出し、該入力信号と出力信号との
関係から該半導体集積回路の特性試験を行う方法におい
て、測定周波数に近接する周波数範囲内で、周波数が異
なりそれぞれ入力レベルを異ならせた正弦波信号群を生
成する工程と、該正弦波信号群を合成した信号を入力信
号として前記半導体集積回路に与える工程と、該半導体
集積回路の出力信号をフーリエ変換により入力信号と同
じ周波数に展開する工程と、対応する入力信号と出力信
号から異なる入力レベル毎の該半導体集積回路の特性を
検出する工程とを有することを特徴とする半導体集積回
路の試験方法を提供することにより達成される。
周波数とは異なり該半導体集積回路の動作周波数範囲に
分散する周波数を有する追加の正弦波信号を追加するこ
とを特徴とする。
を異ならせて生成し、逆フーリエ変換等で合成し、その
入力合成波に対する出力合成波を再度フーリエ変換で同
じ周波数に展開し、複数の振幅の入力信号と出力信号と
の関係を同時に検出することができる。
を持つ正弦波を追加することで、周波数特性も同時に得
ることができる。
ついて図面に従って説明する。しかしながら、かかる実
施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではな
い。
ションアンプ回路である。また図２は、その入出力特性
を示す図である。オペレーションアンプ回路は、差動増
幅回路１０に図示される様に抵抗Ｒ１，Ｒ２が接続され
ている。そして、入力Ｘｉｎに対してＲ２／Ｒ１に比例
した利得で出力Ｘｏｕｔが生成される。その場合、理想
的には如何なる振幅の入力Ｘｉｎに対しても、その利得
倍した出力Ｘｏｕｔが生成されるべきである。しかしな
がら、実際には入力の振幅が大きくなるとその出力は飽
和してしまい、実際の利得は低下する。
２は正常なＬＳＩの場合であり、ある動作範囲内であれ
ば、入力と出力とは直線性を維持するが、入力の振幅が
大きくなると出力は飽和する。ただし、動作範囲内では
直線性を維持して利得は一定になるので、良品と判断さ
れる。
に歪みが伴うと、図中１４、１６の様にその直線性は失
われる。従って、動作範囲内での入力に対して出力が直
線性を維持して利得が一定になるかどうかの試験が必要
になる。
Ｄ変換回路である。また、図４は、その入出力特性を示
す図である。Ａ／Ｄ変換回路２０には、アナログ入力Ａ
ｉｎに対して例えば４ビットのデジタル出力Ｄｏｕｔが
生成される。その正常な入出力特性は、図４に示される
通り、直線性を持っている。しかし、内部回路のバラツ
キ等により、図中に２４、２６として示される通りその
特性が歪んでしまう場合がある。そこで、入力の振幅を
変えた時の出力の値をチェックする必要がある。
る為の回路構成である。この試験回路では、振幅が異な
る複数の入力信号を同時に試験対象の半導体集積回路に
与え、その出力からそれぞれの振幅における利得や入出
力特性を求める様にしている。その場合、複数の信号を
区別する為にそれぞれの周波数を異ならせて与える様に
する。
入力信号データ生成部である。入力信号データ生成部３
１では、動作特性範囲内にあるある基本周波数の近傍に
異なる周波数で振幅が順次異なる正弦波データを生成す
る。入力レベルに重み付けされた複数の周波数の正弦波
データである。そして、そのデータに対して逆フーリエ
変換を施して、時間の関数の合成波データを生成する。
その合成波データが任意波形発生回路３２に供給され、
実際のアナログの合成波３３が生成される。任意波形発
生回路３２は、基本的にはＤ／Ａ変換回路である。
その内部特性に従う出力波３４を出力する。そして、デ
ジタイザ３５によりあるサンプリング時間間隔のデジタ
ル値が検出される。このデジタイザ３５は、基本的には
Ａ／Ｄ変換回路である。
ル値をフーリエ変換して元の正弦波の周波数に展開して
戻して出力回路３６に与えられる。そこで、各周波数毎
の出力振幅を検出し、最初の入力信号の振幅との関係が
求められる。
入力信号の振幅と出力信号の振幅からそれぞれの利得Ｇ
＝Ｘｏｕｔ／Ｘｉｎを求め、入力信号に振幅の動作範囲
内で利得が一定であるか否かのチェックが行われる。即
ち、図５の例でいえば、利得は Ｇ＝ＰointＮ’／ＰointＮ により求められる。但し、Ｎ’、Ｎは、各周波数の入
力、出力信号に対応して与えた番号である。
成される正弦波スペクトル群は、動作範囲の基本周波数
の近傍で異ならせた周波数が利用される。即ち、入力信
号ｐｏｉｎｔ１〜５の周波数は、全て動作範囲内の周波
数である。従って、出力信号は、被試験回路３０の周波
数特性の影響を受けないで振幅特性に依存した振幅を持
ったものとなる。
も検出する場合の入力信号である正弦波の周波数スペク
トラム例を示す図である。即ち、横軸が周波数、縦軸が
振幅の場合の複数の入力信号の例である。周波数ｆａ，
ｆｂ，ｆｃが、動作周波数範囲内の両端と中心の周波数
である。従って、周波数ｆａ，ｆｂ，ｆｃに対しては動
作振幅範囲の中心Ａの振幅の入力信号を与えることで、
振幅の影響を受けることなく周波数特性をチェックす
る。
は、動作周波数範囲内の中心周波数ｆｂを基準周波数と
して、その近傍の周波数を利用してｆ１，ｆ２，ｆ３，
ｆ４，ｆ５，ｆ６，ｆ７の如く振幅を異ならせた入力信
号を与える。これらの正弦波の振幅は、動作振幅範囲内
に広く分散させた値に選択されている。従って、これら
の入力信号ｆ１〜ｆ７は周波数特性の影響は受けずに被
試験回路の振幅特性をチェックすることができる。
験回路に従って合成して被試験回路に与え、その合成出
力にフーリエ変換を施すことで時間軸から周波数領域に
展開して、各周波数の信号の出力結果を同時に得ること
ができる。
周波数特性をチェックし、信号ｆ１〜ｆ７を利用して振
幅特性をチェックすることができる。
イントラッキング試験等の複数の振幅の入力信号に対す
る出力信号の振幅を求め、その利得や入出力の直線性を
チェックする場合、周波数を異ならせてそれぞれに異な
る振幅を持つ正弦波群を合成して同時に被試験ＬＳＩに
与えて、その出力を周波数毎に再度展開することで、短
時間での試験が可能になる。しかも、動作周波数範囲内
に分散した周波数の正弦波も利用することにより、周波
数特性も同時にチェックすることができる。
回路である。
図である。
ある。
成である。
力信号である正弦波の周波数スペクトラム例を示す図で
ある。
Claims (2)
- 【請求項１】試験対象である半導体集積回路に入力信号
を与え、その出力信号を検出し、該入力信号と出力信号
との関係から該半導体集積回路の特性試験を行う方法に
おいて、 測定周波数に近接する周波数範囲内で、周波数が異なり
それぞれ入力レベルを異ならせた正弦波信号群を生成す
る工程と、 該正弦波信号群を合成した信号を入力信号として前記半
導体集積回路に与える工程と、 該半導体集積回路の出力信号をフーリエ変換により入力
信号と同じ周波数に展開する工程と、 対応する入力信号と出力信号から異なる入力レベル毎の
該半導体集積回路の特性を検出する工程とを有すること
を特徴とする半導体集積回路の試験方法。 - 【請求項２】請求項１記載の半導体集積回路の試験方法
において、 前記正弦波信号群に、更に前記測定周波数とは異なり該
半導体集積回路の動作周波数範囲に分散する周波数を有
する追加の正弦波信号を追加することを特徴とする。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22988996A JP3518956B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 半導体集積回路の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22988996A JP3518956B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 半導体集積回路の試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073646A true JPH1073646A (ja) | 1998-03-17 |
| JP3518956B2 JP3518956B2 (ja) | 2004-04-12 |
Family
ID=16899312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22988996A Expired - Lifetime JP3518956B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 半導体集積回路の試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3518956B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012253944A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Advantest Corp | ワイヤレス給電装置およびワイヤレス給電システム |
| CN110456272A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-15 | 国电联合动力技术有限公司 | 一种发电机组整机安全系统的测试系统及测试方法 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP22988996A patent/JP3518956B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012253944A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Advantest Corp | ワイヤレス給電装置およびワイヤレス給電システム |
| CN110456272A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-15 | 国电联合动力技术有限公司 | 一种发电机组整机安全系统的测试系统及测试方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3518956B2 (ja) | 2004-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6594604B2 (en) | S-parameter measurement system for wideband non-linear networks | |
| KR101407354B1 (ko) | 기기 채널 내의 하모닉 왜곡에 대한 보상 | |
| US4539518A (en) | Signal generator for digital spectrum analyzer | |
| JP2011505016A (ja) | チップの欠陥検出のために関連度値を判定し、チップ上の位置で欠陥確率を判定する方法及び装置 | |
| Bjorsell et al. | Measuring Volterra kernels of analog-to-digital converters using a stepped three-tone scan | |
| US4335373A (en) | Method for analyzing a digital-to-analog converter with a nonideal analog-to-digital converter | |
| Roberts | Metrics, techniques and recent developments in mixed-signal testing | |
| JP2008286699A (ja) | 信号入出力装置、試験装置および電子デバイス | |
| US4667296A (en) | Testing the transfer function linearity of analogue input circuits | |
| JP3518956B2 (ja) | 半導体集積回路の試験方法 | |
| Negreiros et al. | A statistical sampler for a new on-line analog test method | |
| US4465995A (en) | Method and apparatus for analyzing an analog-to-digital converter with a nonideal digital-to-analog converter | |
| Sarson et al. | Using distortion shaping technique to equalize ADC THD performance between ATEs | |
| Flores et al. | A noise generator for analog-to-digital converter testing | |
| Stefani et al. | Simple and time-effective procedure for ADC INL estimation | |
| CN117110850A (zh) | 一种基于st2500测试机的mcu片上adc测试方法 | |
| JP2007212456A (ja) | モデルベース試験の精度を改善する励起信号発生装置 | |
| US6549573B2 (en) | Testing method and apparatus of glitch noise and storage medium | |
| US8421474B2 (en) | Circuit test apparatus | |
| GB2349523A (en) | Testing an analogue component | |
| Jenq | Discrete-time method for signal-to-noise power ratio measurement | |
| JP3172003B2 (ja) | 集積回路試験装置 | |
| Ben-Hamida et al. | Testing of embedded A/D converters in mixed-signal circuit | |
| US6654700B2 (en) | Testing method of semiconductor integrated circuit and equipment thereof | |
| JP3147915B2 (ja) | 波形測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040120 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040127 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040127 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080206 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206 Year of fee payment: 5 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100206 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110206 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110206 Year of fee payment: 7 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110206 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140206 Year of fee payment: 10 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |