JPH1075059A - セラミックグリーンシート積層体の製造方法 - Google Patents

セラミックグリーンシート積層体の製造方法

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JPH1075059A
JPH1075059A JP23051196A JP23051196A JPH1075059A JP H1075059 A JPH1075059 A JP H1075059A JP 23051196 A JP23051196 A JP 23051196A JP 23051196 A JP23051196 A JP 23051196A JP H1075059 A JPH1075059 A JP H1075059A
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JP
Japan
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ceramic green
green sheet
sheet laminate
positioning
pin
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Pending
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JP23051196A
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English (en)
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Hiroshi Yamada
浩 山田
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Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
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Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱圧着されたセラミックグリーンシート積層
体をプレス用台板の位置決めピンから抜き取る作業を自
動化する。 【解決手段】 複数枚のセラミックグリーンシート21
の位置決め孔23をプレス用台板22の位置決めピン2
4に挿入して位置決めしながら積層し、その上から押え
板25を重ねた状態で、加熱しながら加圧して熱圧着し
てセラミックグリーンシート積層体20を作る。この
後、真空吸着盤27で押え板25を取り外した後、プレ
ス用台板22の両側部をクランプ機構30で固定し、プ
レス用台板22の下方に位置するノックアウト板33を
上昇させて、各ノックアウトピン34をプレス用台板2
2の位置決めピン24の周囲複数箇所に形成された各ピ
ン貫通孔31に差し込むことで、ノックアウトピン34
でセラミックグリーンシート積層体20を押し上げて位
置決めピン24から抜き取る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プレス用台板上で
熱圧着されたセラミックグリーンシート積層体をプレス
用台板から分離する作業を自動化したセラミックグリー
ンシート積層体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】セラミック多層基板は、グリーンシート
積層法で製造される場合が多い。このグリーンシート積
層法は、内層配線パターンと層間接続用のビア導体が印
刷された複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、
これを加熱しながら加圧して積層体を作り、このセラミ
ックグリーンシート積層体を焼成してセラミック多層基
板を製造する。
【0003】このグリーンシート積層法では、各層間で
内層配線パターンとビア導体の位置を正確に合わせる必
要があるため、積層工程において、図5に示すように各
層のセラミックグリーンシート11に形成された位置決
め孔12を、プレス用台板13に立設された位置決めピ
ン14に挿入することで、各層のセラミックグリーンシ
ート11を位置決めしながら積層し、その上から押え板
15を重ねた状態で、プレス機で加圧して熱圧着するよ
うにしている。熱圧着後は、作業者が押え板15を取り
外した上で、セラミックグリーンシート積層体を位置決
めピン14から抜き取るようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の製
造方法では、作業者が手作業でセラミックグリーンシー
ト積層体をプレス用台板13の位置決めピン14から抜
き取るようにしているため、その作業が甚だ面倒であ
り、生産能率が悪く、コスト高になるという欠点があ
る。しかも、焼成前のセラミックグリーンシート積層体
は比較的柔らかいため、作業者が手作業でセラミックグ
リーンシート積層体を位置決めピン14から抜き取る際
に、セラミックグリーンシート積層体の位置決め孔12
が位置決めピン14に強く擦られて変形してしまうこと
がある。そのため、後工程でこの位置決め孔12を用い
てセラミックグリーンシート積層体を位置決めする時の
位置決め精度が低下し、製造するセラミック多層基板の
品質に悪影響を及ぼすという欠点もある。
【0005】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たものであり、従ってその目的は、熱圧着されたセラミ
ックグリーンシート積層体をプレス用台板の位置決めピ
ンから抜き取る作業を自動化できて、生産能率を向上で
きると共に、セラミックグリーンシート積層体の位置決
め孔の変形を防止することができて、後工程でのセラミ
ックグリーンシート積層体の位置決め精度を向上するこ
とができるセラミックグリーンシート積層体の製造方法
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1のセラミックグリーンシート積層
体の製造方法は、熱圧着されたセラミックグリーンシー
ト積層体をプレス用台板から分離する際に、該プレス用
台板をクランプ機構で固定し、ノックアウト装置を作動
させて、ノックアウトピンを前記プレス用台板の位置決
めピンの近傍に形成されたピン貫通孔に差し込んで、該
ノックアウトピンで前記セラミックグリーンシート積層
体を押し上げることで、該セラミックグリーンシート積
層体を前記位置決めピンから抜き取る。
【0007】これにより、セラミックグリーンシート積
層体の抜き取り作業が自動化される。しかも、抜き取り
時にノックアウトピンでセラミックグリーンシート積層
体を押し上げることで、セラミックグリーンシート積層
体に加える抜き取り力の方向が常に位置決めピンの方向
と一致して、抜き取り時にセラミックグリーンシート積
層体の位置決め孔が位置決めピンに強く擦られることが
なくなり、抜き取り時の位置決め孔の変形が防止され
る。
【0008】この場合、請求項2のように、前記プレス
用台板の位置決めピンの周囲に2個以上のピン貫通孔を
形成し、位置決めピン1本当たり2本以上のノックアウ
トピンで前記セラミックグリーンシート積層体を押し上
げることが好ましい。このようにすれば、焼成前のセラ
ミックグリーンシート積層体が比較的曲りやすいという
事情があっても、ノックアウトピンによる押し上げ力が
位置決めピンの周囲の複数箇所で均等に作用するため、
セラミックグリーンシート積層体が位置決めピンの周囲
で均等に押し上げられる。これにより、抜き出し時のセ
ラミックグリーンシート積層体の位置決め孔の周囲部分
の曲りがより確実に抑えられて、位置決めピンからの位
置決め孔の抜き出しが一層スムーズとなり、位置決め孔
の変形防止がより確実なものとなる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図1
乃至図4に基づいて説明する。複数枚のセラミックグリ
ーンシート21を金属製のプレス用台板22上に積層す
る際に、各セラミックグリーンシート21の例えば四隅
部に形成された位置決め孔23(図2参照)を、プレス
用台板22の四箇所に上向きに立設された位置決めピン
24に挿入することで、各セラミックグリーンシート2
1を位置決めしながら複数枚のセラミックグリーンシー
ト21を積層する。予め、各層のセラミックグリーンシ
ート21には、内層配線パターンと層間接続用のビア導
体が印刷されている。
【0010】セラミックグリーンシート21の積層後、
図3及び図1(a)に示すように、最上段のセラミック
グリーンシート21上に金属製の押え板25を重ね合わ
せる。この押え板25にも位置決め孔26が形成され、
この位置決め孔26を位置決めピン24に挿入すること
で、押え板25を最上段のセラミックグリーンシート2
1に密着させる。この状態で、圧着工程へ搬送し、セラ
ミックグリーンシート21を加熱しながら押え板25の
上方からプレス機(図示せず)で加圧することで、複数
枚のセラミックグリーンシート21を熱圧着して一体化
し、セラミックグリーンシート積層体20を製造する。
【0011】圧着工程後、セラミックグリーンシート積
層体20をプレス用台板22から次のようにして分離す
る。まず、図1(a)に示すように、セラミックグリー
ンシート積層体20をプレス用台板22と押え板25と
の間に挟み込んだ状態で、真空吸着盤27の下方へ搬送
する。この真空吸着盤27の下面には吸着パッド35が
設けられ、該真空吸着盤27は、エアシリンダ等の昇降
機構36によって上下動される。そして、真空吸着盤2
7の下方にセラミックグリーンシート積層体20が搬送
されてくると、昇降機構36が作動して真空吸着盤27
が下降し、吸着パッド35で押え板25を吸着して上方
へ取り外し、この押え板25を収納ラック28(図4参
照)内に収納する。この一連の作業は、ロボット(図示
せず)によって自動化されている。このような作業の繰
り返しにより、収納ラック28内の押え板25の収納枚
数が満載枚数に達すると、収納ラック28が洗浄工程へ
搬送され、収納ラック28内の押え板25が一括して洗
浄機(図示せず)で洗浄される。
【0012】一方、押え板25が取り外されたセラミッ
クグリーンシート積層体20は、プレス用台板22上に
積層された状態で、図1(b)に示すように、ノックア
ウト装置29の上方へ搬送される。このノックアウト装
置29の両側には、クランプ機構30が設けられ、ノッ
クアウト装置29の上方へ搬送されてきたプレス用台板
22の両側部がクランプ機構30でクランプ(固定)さ
れる。
【0013】この場合、プレス用台板22には、図2に
示すように、各位置決めピン24の周囲に複数個(本実
施形態では2個)のピン貫通孔31が等ピッチで形成さ
れている。一方、ノックアウト装置29は、駆動源とし
てエアシリンダ32を用い、このエアシリンダ32で上
下動されるノックアウト板33に、プレス用台板22の
各ピン貫通孔31に差し込まれるノックアウトピン34
が上向きに立設されている。
【0014】ノックアウト装置29の上方へ搬送されて
きたプレス用台板22の両側部がクランプ機構30でク
ランプされると、図1(c)に示すように、ノックアウ
ト装置29のエアシリンダ32が作動してノックアウト
板33が上昇し、各ノックアウトピン34がプレス用台
板22の各ピン貫通孔31に差し込まれる。これによ
り、ノックアウトピン34でセラミックグリーンシート
積層体20が押し上げられ、該セラミックグリーンシー
ト積層体20が位置決めピン24から抜き取られてプレ
ス用台板22と分離される。このセラミックグリーンシ
ート積層体20は所定形状に切断され、面取り等を行っ
た後、焼成工程へ搬送され、焼成されてセラミック多層
基板となる。
【0015】以上説明した製造方法によれば、クランプ
機構30とノックアウト装置29とを用いることで、熱
圧着後のセラミックグリーンシート積層体20を位置決
めピン24から抜き取る作業を自動化できて、生産能率
を向上でき、低コスト化が可能となる。
【0016】しかも、ノックアウトピン34でセラミッ
クグリーンシート積層体20を押し上げて抜き取るよう
にしたので、セラミックグリーンシート積層体20に加
える抜き取り力の方向を常に位置決めピン24の方向と
一致させることができて、抜き取り時にセラミックグリ
ーンシート積層体20の位置決め孔23が位置決めピン
24に強く擦られることがなくなり、位置決め孔23を
変形させずにスムーズに抜き取ることができる。
【0017】特に、本実施形態では、焼成前のセラミッ
クグリーンシート積層体20が比較的曲りやすいという
事情を考慮して、プレス用台板22の位置決めピン24
の周囲に複数個のピン貫通孔31を形成し、位置決めピ
ン24の1本当たり複数本のノックアウトピン34でセ
ラミックグリーンシート積層体20を押し上げるように
したので、セラミックグリーンシート積層体20を位置
決めピン24の周囲で複数本のノックアウトピン34に
よって均等に押し上げることができる。これにより、抜
き出し時のセラミックグリーンシート積層体20の位置
決め孔23の周囲部分の曲りをより確実に抑えることが
できて、位置決めピン24からの位置決め孔23の抜き
出しが一層スムーズとなり、位置決め孔23の変形防止
がより確実なものとなる。この結果、後工程でこの位置
決め孔23を用いてセラミックグリーンシート積層体2
0を位置決めする時の位置決め精度を向上することがで
き、製造するセラミック多層基板の品質向上に役立つ。
【0018】尚、上記実施形態では、ノックアウトピン
34を位置決めピン24の近傍のみに設けたが、位置決
めピン24間の中間位置にノックアウトピンを追加して
も良い。このようにすれば、位置決めピン24間の中間
位置でのセラミックグリーンシート積層体20の曲りを
抑えることができる。
【0019】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の請求項1のセラミックグリーンシート積層体の製造方
法によれば、クランプ機構とノックアウト装置とを用い
ることで、熱圧着後のセラミックグリーンシート積層体
を位置決めピンから抜き取る作業を自動化できて、生産
能率を向上でき、低コスト化が可能となると共に、セラ
ミックグリーンシート積層体に加える抜き取り力の方向
を常に位置決めピンの方向と一致させることができて、
位置決め孔を変形させずにスムーズに抜き取ることがで
き、後工程でのセラミックグリーンシート積層体の位置
決め精度を向上することができて、製造するセラミック
多層基板の品質向上に寄与することができる。
【0020】更に、請求項2では、位置決めピン1本当
たり2本以上のノックアウトピンでセラミックグリーン
シート積層体を押し上げるようにしたので、セラミック
グリーンシート積層体を位置決めピンの周囲で複数本の
ノックアウトピンによって均等に押し上げることができ
て、抜き出し時のセラミックグリーンシート積層体の位
置決め孔の周囲部分の曲りをより確実に抑えることがで
きて、位置決め孔の変形防止をより確実なものとするこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の製造方法を示すもので、
(a)は押え板を取り外す工程を示す断面図、(b)は
プレス用台板をクランプする工程を示す断面図、(c)
はセラミックグリーンシート積層体を位置決めピンから
抜き取る工程を示す断面図
【図2】押え板とセラミックグリーンシート積層体とプ
レス用台板を分解して示す斜視図
【図3】プレス用台板上にセラミックグリーンシート積
層体と押え板を重ねた状態を示す斜視図
【図4】押え板を収納する収納ラックの斜視図
【図5】従来の製造方法を説明する縦断面図
【符号の説明】
20…セラミックグリーンシート積層体、21…セラミ
ックグリーンシート、22…プレス用台板、23…位置
決め孔、24…位置決めピン、25…押え板、27…真
空吸着盤、28…収納ラック、29…ノックアウト装
置、30…クランプ機構、31…ピン貫通孔、32…エ
アシリンダ、33…ノックアウト板、34…ノックアウ
トピン。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数枚のセラミックグリーンシートをプ
    レス用台板上に積層する際に、各セラミックグリーンシ
    ートに形成された位置決め孔を、前記プレス用台板に立
    設された位置決めピンに挿入することで、各セラミック
    グリーンシートを位置決めしながら積層し、その上から
    押え板を重ねた状態で、加熱しながらプレス機で加圧し
    て複数枚のセラミックグリーンシートを熱圧着してセラ
    ミックグリーンシート積層体を製造する方法において、 熱圧着されたセラミックグリーンシート積層体を前記プ
    レス用台板から分離する際に、該プレス用台板をクラン
    プ機構で固定し、ノックアウト装置を作動させて、ノッ
    クアウトピンを前記プレス用台板の位置決めピンの近傍
    に形成されたピン貫通孔に差し込んで、該ノックアウト
    ピンで前記セラミックグリーンシート積層体を押し上げ
    ることで、該セラミックグリーンシート積層体を前記位
    置決めピンから抜き取ることを特徴とするセラミックグ
    リーンシート積層体の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記プレス用台板には、前記位置決めピ
    ンの周囲に2個以上のピン貫通孔を形成し、位置決めピ
    ン1本当たり2本以上のノックアウトピンで前記セラミ
    ックグリーンシート積層体を押し上げることを特徴とす
    る請求項1に記載のセラミックグリーンシート積層体の
    製造方法。
JP23051196A 1996-08-30 1996-08-30 セラミックグリーンシート積層体の製造方法 Pending JPH1075059A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200122088A (ko) * 2019-04-17 2020-10-27 주식회사 서연이화 차량용 프레스 성형품의 프레스 성형 방법
CN112776135A (zh) * 2021-01-30 2021-05-11 黄超 氧化铝陶瓷制品用自动上料压力机
CN113580339A (zh) * 2021-08-03 2021-11-02 苏州珂玛材料科技股份有限公司 一种陶瓷生胚加工用工装
CN115274536A (zh) * 2022-08-02 2022-11-01 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 叠压装置及叠压机

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200122088A (ko) * 2019-04-17 2020-10-27 주식회사 서연이화 차량용 프레스 성형품의 프레스 성형 방법
CN112776135A (zh) * 2021-01-30 2021-05-11 黄超 氧化铝陶瓷制品用自动上料压力机
CN113580339A (zh) * 2021-08-03 2021-11-02 苏州珂玛材料科技股份有限公司 一种陶瓷生胚加工用工装
CN115274536A (zh) * 2022-08-02 2022-11-01 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 叠压装置及叠压机
CN115274536B (zh) * 2022-08-02 2025-12-02 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 叠压装置及叠压机

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