JPH108241A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH108241A JPH108241A JP16401196A JP16401196A JPH108241A JP H108241 A JPH108241 A JP H108241A JP 16401196 A JP16401196 A JP 16401196A JP 16401196 A JP16401196 A JP 16401196A JP H108241 A JPH108241 A JP H108241A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 膜厚が一定した処理厚さの金属被膜を帯鋼に
蒸着し、帯鋼の品質を向上させる。 【解決手段】 シャッタシャフト２を微小回転角で回転
して蒸気流通穴と蒸気流量調整穴との開口面積を微調節
することにより、帯材蒸着部に供給する金属蒸気４０ａ
の流量を微調整し、一定した金属蒸気４０ａの流量を維
持して膜厚が一定した処理厚さの金属被膜を帯鋼５０に
蒸着し、帯鋼５０の品質を向上させる。
蒸着し、帯鋼の品質を向上させる。 【解決手段】 シャッタシャフト２を微小回転角で回転
して蒸気流通穴と蒸気流量調整穴との開口面積を微調節
することにより、帯材蒸着部に供給する金属蒸気４０ａ
の流量を微調整し、一定した金属蒸気４０ａの流量を維
持して膜厚が一定した処理厚さの金属被膜を帯鋼５０に
蒸着し、帯鋼５０の品質を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走行する被蒸着帯材に
略真空状態で金属被膜を蒸着めっきする真空蒸着装置に
関する。
略真空状態で金属被膜を蒸着めっきする真空蒸着装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図８に基づいて従来の真空蒸着装置を説
明する。図８には従来の真空蒸着装置の縦断面を示して
ある。
明する。図８には従来の真空蒸着装置の縦断面を示して
ある。
【０００３】図８において、５１はるつぼであり、るつ
ぼ５１の周囲には誘導加熱器５２が装着され、るつぼ５
１は真空チャンバ６１に内装されている。真空チャンバ
６１には帯鋼搬入路６３及び帯鋼搬出路６４及び排気管
６２が設けられている。また、真空チャンバ６１の外部
下方には溶解炉５４が配設され、溶解炉５４は真空チャ
ンバ６１を貫通する吸引管５３を介してるつぼ５１に接
続されている。
ぼ５１の周囲には誘導加熱器５２が装着され、るつぼ５
１は真空チャンバ６１に内装されている。真空チャンバ
６１には帯鋼搬入路６３及び帯鋼搬出路６４及び排気管
６２が設けられている。また、真空チャンバ６１の外部
下方には溶解炉５４が配設され、溶解炉５４は真空チャ
ンバ６１を貫通する吸引管５３を介してるつぼ５１に接
続されている。
【０００４】５８は断熱箱であり、断熱箱５８の上面及
び下面には帯鋼５０が通過するスリット５８ａが穿設さ
れ、断熱箱５８には加熱器５９が内装されている。そし
て、断熱箱５８は真空チャンバ６１に内装されている。
また、５６は蒸着路であり、蒸着路５６は帯鋼５０の走
行路となって開口部５６ａが対向するように二股に分か
れており、蒸着路５６は断熱箱５８に内装されている。
３０はシャッタユニットであり、シャッタユニット３０
はシャッタブロック３１とシャッタ板３２とから成って
おり、シャッタユニット３０は断熱箱５８を貫通してる
つぼ５１の金属蒸発面４１の上方に接続された供給管５
５と蒸着路５６とに介装されている。
び下面には帯鋼５０が通過するスリット５８ａが穿設さ
れ、断熱箱５８には加熱器５９が内装されている。そし
て、断熱箱５８は真空チャンバ６１に内装されている。
また、５６は蒸着路であり、蒸着路５６は帯鋼５０の走
行路となって開口部５６ａが対向するように二股に分か
れており、蒸着路５６は断熱箱５８に内装されている。
３０はシャッタユニットであり、シャッタユニット３０
はシャッタブロック３１とシャッタ板３２とから成って
おり、シャッタユニット３０は断熱箱５８を貫通してる
つぼ５１の金属蒸発面４１の上方に接続された供給管５
５と蒸着路５６とに介装されている。
【０００５】例えば、Ｍｇ或いはＺｎ等の金属を溶解炉
５４によって溶融金属４０に溶解すると共に、断熱箱５
８内を加熱器５９によって加熱し、真空チャンバ６１内
を排気管６２から吸引して例えば１０-3torrの略真空状
態に減圧する。この真空チャンバ６１の内部と外部との
気圧差によって溶解炉５４内の溶融金属４０を吸引管５
３からるつぼ５１に吸い上げ、溶融金属４０を誘導加熱
器５２によって所要の温度に加熱して金属蒸気４０ａを
蒸発させ、シャッタ板３２をシャッタブロック３１内で
昇降させてその開度を調節し、金属蒸気４０ａの流量を
調整しながら供給管５５及びシャッタ５７から蒸着路５
６に供給して双方の開口部５６ａから吐出させる。そし
て、金属蒸気４０ａよりも低温の帯鋼５０を帯鋼搬入路
６３、断熱箱５８のスリット５８ａから双方の開口部間
を走行させ、その両面に金属蒸気４０ａを蒸着して帯鋼
搬出路６４から搬出する。
５４によって溶融金属４０に溶解すると共に、断熱箱５
８内を加熱器５９によって加熱し、真空チャンバ６１内
を排気管６２から吸引して例えば１０-3torrの略真空状
態に減圧する。この真空チャンバ６１の内部と外部との
気圧差によって溶解炉５４内の溶融金属４０を吸引管５
３からるつぼ５１に吸い上げ、溶融金属４０を誘導加熱
器５２によって所要の温度に加熱して金属蒸気４０ａを
蒸発させ、シャッタ板３２をシャッタブロック３１内で
昇降させてその開度を調節し、金属蒸気４０ａの流量を
調整しながら供給管５５及びシャッタ５７から蒸着路５
６に供給して双方の開口部５６ａから吐出させる。そし
て、金属蒸気４０ａよりも低温の帯鋼５０を帯鋼搬入路
６３、断熱箱５８のスリット５８ａから双方の開口部間
を走行させ、その両面に金属蒸気４０ａを蒸着して帯鋼
搬出路６４から搬出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空蒸着装置で
は、図８に示すようにシャッタ板３２を昇降させてシャ
ッタユニット３０の開度を調節するので、特に金属蒸気
４０ａの微小流量域における微細な流量調整が困難であ
る。従って、双方の蒸着路５６の開口部５６ａ間で蒸着
される帯鋼５０の金属被膜厚さの微調整ができないの
で、その品質が低下してしまう。
は、図８に示すようにシャッタ板３２を昇降させてシャ
ッタユニット３０の開度を調節するので、特に金属蒸気
４０ａの微小流量域における微細な流量調整が困難であ
る。従って、双方の蒸着路５６の開口部５６ａ間で蒸着
される帯鋼５０の金属被膜厚さの微調整ができないの
で、その品質が低下してしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、金属蒸気流通方向と直交する方向に
シャフト回転穴を穿設すると共にこのシャフト回転穴と
直交して貫通する蒸気流通穴を穿設したシャッタブロッ
クと、前記蒸気流通穴と係合可能な蒸気流量調整穴を穿
設して前記シャフト回転穴に回転可能に嵌挿したシャッ
タシャフトとから成るロータリシャッタユニットを、真
空チャンバ内の金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着
部とに介装して成ることを特徴とする。
の本発明の構成は、金属蒸気流通方向と直交する方向に
シャフト回転穴を穿設すると共にこのシャフト回転穴と
直交して貫通する蒸気流通穴を穿設したシャッタブロッ
クと、前記蒸気流通穴と係合可能な蒸気流量調整穴を穿
設して前記シャフト回転穴に回転可能に嵌挿したシャッ
タシャフトとから成るロータリシャッタユニットを、真
空チャンバ内の金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着
部とに介装して成ることを特徴とする。
【０００８】そして、大径の蒸気流量調整穴及びこの大
径の蒸気流量調整穴よりも小径で前記シャッタシャフト
に径の異なる複数の蒸気流量調整穴を軸方向に並べて穿
設したシャッタシャフトと、前記シャッタブロックとか
ら成るロータリシャッタユニットを、真空チャンバ内の
金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着部とに介装して
成ることを特徴とする。
径の蒸気流量調整穴よりも小径で前記シャッタシャフト
に径の異なる複数の蒸気流量調整穴を軸方向に並べて穿
設したシャッタシャフトと、前記シャッタブロックとか
ら成るロータリシャッタユニットを、真空チャンバ内の
金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着部とに介装して
成ることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】真空チャンバ内を略真空に減圧
し、金属蒸発槽内の溶融金属蒸発面から金属蒸気を蒸発
させ、ロータリシャッタユニットのシャッタシャフトを
所要の回転角で回転してその蒸気流量調整穴とシャッタ
ブロックの蒸気流通穴とを係合させると共にその開口面
積を調節し、金属蒸気の流量を微調整して帯材蒸着部に
供給し、走行する帯材に蒸着して膜厚が一定した所要厚
さの金属被膜を形成する。
し、金属蒸発槽内の溶融金属蒸発面から金属蒸気を蒸発
させ、ロータリシャッタユニットのシャッタシャフトを
所要の回転角で回転してその蒸気流量調整穴とシャッタ
ブロックの蒸気流通穴とを係合させると共にその開口面
積を調節し、金属蒸気の流量を微調整して帯材蒸着部に
供給し、走行する帯材に蒸着して膜厚が一定した所要厚
さの金属被膜を形成する。
【００１０】また、シャッタシャフトを所要の回転角で
回転してその大径蒸気流量調整穴及びシャッタシャフト
に配設した各々の蒸気流量調整穴とシャッタブロックの
各々の蒸気流通穴とを係合させると共にその開口面積を
微調節し、金属蒸気の流量をさらに微調整して帯材蒸着
部に供給し、走行する帯材に蒸着してさらに膜厚が一定
した所要厚さの金属被膜を形成する。
回転してその大径蒸気流量調整穴及びシャッタシャフト
に配設した各々の蒸気流量調整穴とシャッタブロックの
各々の蒸気流通穴とを係合させると共にその開口面積を
微調節し、金属蒸気の流量をさらに微調整して帯材蒸着
部に供給し、走行する帯材に蒸着してさらに膜厚が一定
した所要厚さの金属被膜を形成する。
【００１１】
【実施例】図１には本発明の第１実施例に係る真空蒸着
装置の縦断面、図２には図１中のロータリシャッタユニ
ットを拡大した縦断面、図３には図２のIII-III 線矢視
状態、図４にはロータリシャッタユニットの作用説明、
図５には実験によるシャッタシャフトの回転角と金属蒸
気の流量率を表す線図を示してある。尚、従来の真空蒸
着装置と同一の部材及び部位には同一の符号を付して重
複する説明は省略してある。
装置の縦断面、図２には図１中のロータリシャッタユニ
ットを拡大した縦断面、図３には図２のIII-III 線矢視
状態、図４にはロータリシャッタユニットの作用説明、
図５には実験によるシャッタシャフトの回転角と金属蒸
気の流量率を表す線図を示してある。尚、従来の真空蒸
着装置と同一の部材及び部位には同一の符号を付して重
複する説明は省略してある。
【００１２】図１において、るつぼ５１内の溶融金属４
０の金属蒸発面４１の上方には供給路５５が配置され、
この供給路５５と蒸着路５６とにはロータリシャッタユ
ニット１０が介装されている。
０の金属蒸発面４１の上方には供給路５５が配置され、
この供給路５５と蒸着路５６とにはロータリシャッタユ
ニット１０が介装されている。
【００１３】図２及び図３において、１はシャッタブロ
ックであり、シャッタブロック１にはシャフト回転穴１
ａが供給路５５及び蒸着路５６内の金属蒸気４０ａの流
通方向と直交する水平方向に穿設されている。シャッタ
ブロック１には入側溝１ｂ及び出側溝１ｃが水平方向に
刻設されると共に、入側溝１ｂと出側溝１ｃを接続する
複数の蒸気流通穴１ｄがシャフト回転穴１ａを貫通して
穿設されている。
ックであり、シャッタブロック１にはシャフト回転穴１
ａが供給路５５及び蒸着路５６内の金属蒸気４０ａの流
通方向と直交する水平方向に穿設されている。シャッタ
ブロック１には入側溝１ｂ及び出側溝１ｃが水平方向に
刻設されると共に、入側溝１ｂと出側溝１ｃを接続する
複数の蒸気流通穴１ｄがシャフト回転穴１ａを貫通して
穿設されている。
【００１４】２はシャッタシャフトであり、シャッタシ
ャフト２には例えば内径３０mm，２８mm，２４mm，２０
mmのそれぞれ径が異なる流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，
２ｄが、図５のような連続的に流量調整が可能となる配
置で穿設されている。シャッタシャフト２は、シャフト
回転穴１ａに回転可能に嵌挿されている。このシャッタ
ブロック１とシャッタシャフト２とにより、ロータリシ
ャッタユニット１０が構成されている。
ャフト２には例えば内径３０mm，２８mm，２４mm，２０
mmのそれぞれ径が異なる流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，
２ｄが、図５のような連続的に流量調整が可能となる配
置で穿設されている。シャッタシャフト２は、シャフト
回転穴１ａに回転可能に嵌挿されている。このシャッタ
ブロック１とシャッタシャフト２とにより、ロータリシ
ャッタユニット１０が構成されている。
【００１５】その他の構成は図８に示した真空蒸着装置
と同一である。上述した真空蒸着装置の作用を説明す
る。
と同一である。上述した真空蒸着装置の作用を説明す
る。
【００１６】図１に示すように、断熱箱５８内に加熱器
５９によって加熱し、排気管６２から図示しない真空吸
引装置によって真空チャンバ６１内を吸引し、真空チャ
ンバ６１内を例えば１０-3torrの略真空状態に減圧す
る。真空チャンバ６１の内部と外部との気圧差によって
溶解炉５４内の溶融金属４０を吸引管５３からるつぼ５
１内に吸い上げ、誘導加熱器５２によって加熱して金属
蒸気４０ａを蒸発させ、ロータリシャッタユニット１０
によってその流量を調整しながら供給管５５から二股に
分かれている蒸着路５６に供給する。
５９によって加熱し、排気管６２から図示しない真空吸
引装置によって真空チャンバ６１内を吸引し、真空チャ
ンバ６１内を例えば１０-3torrの略真空状態に減圧す
る。真空チャンバ６１の内部と外部との気圧差によって
溶解炉５４内の溶融金属４０を吸引管５３からるつぼ５
１内に吸い上げ、誘導加熱器５２によって加熱して金属
蒸気４０ａを蒸発させ、ロータリシャッタユニット１０
によってその流量を調整しながら供給管５５から二股に
分かれている蒸着路５６に供給する。
【００１７】そして、金属蒸気４０ａを吐出している双
方の開口部５６ａ間で金属蒸気４０ａよりも低温の帯鋼
５０を走行させ、帯鋼５０に金属蒸気４０ａを蒸着して
所要の膜厚の金属被膜を形成する。
方の開口部５６ａ間で金属蒸気４０ａよりも低温の帯鋼
５０を走行させ、帯鋼５０に金属蒸気４０ａを蒸着して
所要の膜厚の金属被膜を形成する。
【００１８】図２、図３にはロータリシャッタユニット
１０を完全に閉にした状態を示してある。図に流量調整
穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを二点鎖線で示すように、シ
ャッタシャフト２を回転すると、シャッタ開口度は全開
の状態になる。また、図４に示すように、シャッタシャ
フト２を全開の位置から例えば３０度の回転角θで回転
し、蒸気流通穴１ｄと流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄを所要の開度で係合させる。
１０を完全に閉にした状態を示してある。図に流量調整
穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを二点鎖線で示すように、シ
ャッタシャフト２を回転すると、シャッタ開口度は全開
の状態になる。また、図４に示すように、シャッタシャ
フト２を全開の位置から例えば３０度の回転角θで回転
し、蒸気流通穴１ｄと流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄを所要の開度で係合させる。
【００１９】そして、蒸着される帯鋼５０の金属微膜の
膜厚によってシャッタシャフト２を微小角度で回転して
各々の流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの開口面積を
微調節し、金属蒸気４０ａの流量を微調整して蒸着路５
６に供給し、開口部から金属蒸気４０ａを吐出させて走
行する帯鋼５０に蒸着する。このように、シャッタシャ
フト２を微小回転して金属蒸気４０ａの流量を微調整す
ることで、膜厚が一定した所要厚さの金属被膜を形成す
ることが可能になる。
膜厚によってシャッタシャフト２を微小角度で回転して
各々の流量調整穴２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの開口面積を
微調節し、金属蒸気４０ａの流量を微調整して蒸着路５
６に供給し、開口部から金属蒸気４０ａを吐出させて走
行する帯鋼５０に蒸着する。このように、シャッタシャ
フト２を微小回転して金属蒸気４０ａの流量を微調整す
ることで、膜厚が一定した所要厚さの金属被膜を形成す
ることが可能になる。
【００２０】図５には、シャッタブロック１及びシャッ
タシャフト２の常温及び７００℃に加熱した状態での実
験結果である各々の回転角θにおけるロータリシャッタ
ユニット１０の開口面積比及び金属蒸気４０ａの流量率
を示してある。
タシャフト２の常温及び７００℃に加熱した状態での実
験結果である各々の回転角θにおけるロータリシャッタ
ユニット１０の開口面積比及び金属蒸気４０ａの流量率
を示してある。
【００２１】図６、図７に基づいて本発明の第２実施例
を説明する。図６には本発明の第２実施例に係る真空蒸
着装置のロータリシャッタユニットの縦断面、図７には
図６中のVII-VII 線矢視状態を示してある。
を説明する。図６には本発明の第２実施例に係る真空蒸
着装置のロータリシャッタユニットの縦断面、図７には
図６中のVII-VII 線矢視状態を示してある。
【００２２】図示の例は、シャッタブロック１１の供給
路５５及び蒸着路５６内における金属蒸気４０ａの流通
方向と直交する水平方向にシャフト回転穴１１ａを穿設
すると共に、シャフト回転穴１１ａを水平方向に貫通す
る各々の蒸気流通穴１１ｄを穿設し、第１実施例の入側
溝１ｂ及び出側溝１ｃを省略してその構造を簡単にした
ものである。その他の構成は第１実施例と同一である。
路５５及び蒸着路５６内における金属蒸気４０ａの流通
方向と直交する水平方向にシャフト回転穴１１ａを穿設
すると共に、シャフト回転穴１１ａを水平方向に貫通す
る各々の蒸気流通穴１１ｄを穿設し、第１実施例の入側
溝１ｂ及び出側溝１ｃを省略してその構造を簡単にした
ものである。その他の構成は第１実施例と同一である。
【００２３】上述した構成によると、シャッタシャフト
２を回転してその各々の流量調整穴２ａ〜２ｄと上下流
通穴１１ｄとを係合させ、シャッタシャフト２を微小回
転して金属蒸気４０ａの流量を微調整することで、膜厚
が一定した所要厚さの金属被膜を形成することが可能に
なる。
２を回転してその各々の流量調整穴２ａ〜２ｄと上下流
通穴１１ｄとを係合させ、シャッタシャフト２を微小回
転して金属蒸気４０ａの流量を微調整することで、膜厚
が一定した所要厚さの金属被膜を形成することが可能に
なる。
【００２４】
【発明の効果】本発明の真空蒸着装置では、シャッタシ
ャフトを微小回転角で回転して蒸気流通穴と蒸気流量調
整穴との開口面積を微調節することにより、帯材蒸着部
に供給する金属蒸気の流量を微調整することができる。
この結果、一定した金属蒸気の流量を維持することが可
能になり、膜厚が一定した処理厚さの金属被膜を帯材に
蒸着してその品質を向上することができる。
ャフトを微小回転角で回転して蒸気流通穴と蒸気流量調
整穴との開口面積を微調節することにより、帯材蒸着部
に供給する金属蒸気の流量を微調整することができる。
この結果、一定した金属蒸気の流量を維持することが可
能になり、膜厚が一定した処理厚さの金属被膜を帯材に
蒸着してその品質を向上することができる。
【００２５】また、本発明の真空蒸着装置では、大径の
蒸気流量調整穴及びこの大径の蒸気流量調整穴よりも小
径でシャッタシャフトに配設した径の異なる複数の蒸気
流量調整穴を穿設したシャッタシャフトを微小角度で回
転して蒸気流通穴と蒸気流量調整穴との開口面積をさら
に微細に調節することにより、金属蒸気の流量をさらに
微調整して帯材蒸着部に供給する金属蒸気の流量をさら
に微細に調整することができる。この結果、膜厚がさら
に一定した所要厚さの金属被膜を帯材に蒸着することが
可能になり、その品質をさらに向上することができる。
蒸気流量調整穴及びこの大径の蒸気流量調整穴よりも小
径でシャッタシャフトに配設した径の異なる複数の蒸気
流量調整穴を穿設したシャッタシャフトを微小角度で回
転して蒸気流通穴と蒸気流量調整穴との開口面積をさら
に微細に調節することにより、金属蒸気の流量をさらに
微調整して帯材蒸着部に供給する金属蒸気の流量をさら
に微細に調整することができる。この結果、膜厚がさら
に一定した所要厚さの金属被膜を帯材に蒸着することが
可能になり、その品質をさらに向上することができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る真空蒸着装置の縦断
面図。
面図。
【図２】図１中のロータリシャッタユニットを拡大した
縦断面図。
縦断面図。
【図３】図２のIII-III 線矢図。
【図４】ロータリシャッタユニットの作用説明図。
【図５】実験によるシャッタシャフトの回転角と金属蒸
気の流量率を示す線図。
気の流量率を示す線図。
【図６】本発明の第２実施例に係る真空蒸着装置におけ
るロータリシャッタユニットの縦断図。
るロータリシャッタユニットの縦断図。
【図７】図６中のVII-VII 矢視図。
【図８】従来の真空蒸着装置の縦断面図。
１，１１ シャッタブロック １ｄ，１１ｄ 蒸気流通穴 ２ シャッタシャフト ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 流量調整穴 １０，２０ ロータリシャッタユニット ４０ 溶融金属 ４０ａ 金属蒸気 ４１ 蒸発面 ５０ 帯鋼 ５１ るつぼ ５２ 誘導加熱器 ５５ 供給路 ５６ 蒸着路 ５６ａ 開口部 ６１ 真空チャンバ θ 回転角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 直彦 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 金属蒸気流通方向と直交する方向にシャ
フト回転穴を穿設すると共にこのシャフト回転穴と直交
して貫通する蒸気流通穴を穿設したシャッタブロック
と、前記蒸気流通穴と係合可能な蒸気流量調整穴を穿設
して前記シャフト回転穴に回転可能に嵌挿したシャッタ
シャフトとから成るロータリシャッタユニットを、真空
チャンバ内の金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着部
とに介装して成ることを特徴とする真空蒸着装置。 - 【請求項２】 請求項１において、大径の蒸気流量調整
穴及びこの大径の蒸気流量調整穴よりも小径で前記シャ
ッタシャフトに径の異なる複数の蒸気流量調整穴を軸方
向に並べて穿設したシャッタシャフトと、前記シャッタ
ブロックとから成るロータリシャッタユニットを、真空
チャンバ内の金属蒸発槽の金属蒸気蒸発面と帯材蒸着部
とに介装して成ることを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16401196A JPH108241A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16401196A JPH108241A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH108241A true JPH108241A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15785085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16401196A Withdrawn JPH108241A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH108241A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10256038A1 (de) * | 2002-11-30 | 2004-06-17 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Bedampfungsvorrichtung |
| WO2006050847A1 (de) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum aufdampfen eines beschichtungsmaterials |
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-
1996
- 1996-06-25 JP JP16401196A patent/JPH108241A/ja not_active Withdrawn
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