JPH1082607A5 - - Google Patents

Description

【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る２次元位置検出装置は、Ｘ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＸ軸検出部と、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＹ軸検出部とを、２次元面上で交差して配置してなる基部と、前記基部に対してＸ及びＹ軸方向に相対的に変位するものであり、磁気応答性の材質を含み、かつ永久磁石成分を含んで構成されてなる磁気応答部材と、前記基部において所定の位置に対応して配置された導電性物質とを具備してなり、前記基部の２次元面に対する前記磁気応答部材の相対的位置に応じたＸ軸成分位置検出信号とＹ軸成分位置検出信号とを前記Ｘ軸検出部及びＹ軸検出部から夫々出力され、前記磁気応答部材の変位に応じて導電性物質に生じる渦電流による磁界により、該磁気応答部材の永久磁石成分と前記導電性物質とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置に吸引され、その動きが緩衝されることを特徴とするものである。

【０００５】
本発明によれば、夫々が交流励磁型検出要素であるＸ軸検出部とＹ軸検出部とを基部の２次元面上で交差して配置してなり、Ｘ及びＹ軸方向に関して所定のサイズを有すると共に磁気応答性の材質を含んで構成されてなる磁気応答部材を、該基部に対してＸ及びＹ軸方向に相対的に変位可能に配置したものである。従って、基部の２次元面に対する磁気応答部材の相対的位置に応じてＸ軸検出部及びＹ軸検出部の各極における電磁的結合が可変的に定まり、これに応じたＸ軸成分位置検出信号とＹ軸成分位置検出信号とが前記Ｘ軸検出部及びＹ軸検出部から夫々得られ、両Ｘ，Ｙ軸成分位置の組合せによって２次元位置の検出がなされる。
ここで、可動部である磁気応答部材は永久磁石成分を含んで構成されてなり、かつ、前記基部において所定の位置に対応して導電性物質が配置されている。従って、磁気応答部材が変位するとき、基部に固定された導電性物質に渦電流が流れ、これによって生じる磁界により、該磁気応答部材の永久磁石成分と前記導電性物質とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置（例えばＸ，Ｙ座標の原点位置）に吸引され、その動きが緩衝される。従って、検出用の可動部（磁気応答部材）の不所望の慣性的な動き・振動を緩衝（吸収）して、瞬間的な運動つまり加速度的変位を抽出してこれを正確に検出することができる。

【０００６】
別の例として、本発明に係る２次元位置検出装置は、Ｘ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＸ軸検出部と、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＹ軸検出部とを、２次元面上で交差して配置してなる基部と、前記基部に対してＸ及びＹ軸方向に相対的に変位するものであり、導電性物質を含んで構成されてなる磁気応答部材と、前記基部において所定の位置に対応して配置された永久磁石とを具備してなり、前記基部の２次元面に対する前記磁気応答部材の相対的位置に応じたＸ軸成分位置検出信号とＹ軸成分位置検出信号とを前記Ｘ軸検出部及びＹ軸検出部から夫々出力され、前記磁気応答部材の変位に応じて導電性物質に生じる渦電流による磁界により、前記永久磁石と前記磁気応答部材とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置に吸引され、その動きが緩衝されることを特徴とする。
この場合も、磁気応答部材が変位するとき、該磁気応答部材側の導電性物質に渦電流が流れ、これによって生じる磁界により、該磁気応答部材と基部に固定された永久磁石とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置（例えばＸ，Ｙ座標の原点位置）に吸引され、その動きが緩衝される。従って、検出用の可動部（磁気応答部材）の不所望の慣性的な動き・振動を緩衝（吸収）して、瞬間的な運動つまり加速度的変位を抽出してこれを正確に検出することができる。

Claims (3)

1. Ｘ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＸ軸検出部と、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＹ軸検出部とを、２次元面上で交差して配置してなる基部と、
   前記基部に対してＸ及びＹ軸方向に相対的に変位するものであり、磁気応答性の材質を含み、かつ永久磁石成分を含んで構成されてなる磁気応答部材と、
   前記基部において所定の位置に対応して配置された導電性物質と
   を具備してなり、前記基部の２次元面に対する前記磁気応答部材の相対的位置に応じたＸ軸成分位置検出信号とＹ軸成分位置検出信号とを前記Ｘ軸検出部及びＹ軸検出部から夫々出力され、前記磁気応答部材の変位に応じて導電性物質に生じる渦電流による磁界により、該磁気応答部材の永久磁石成分と前記導電性物質とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置に吸引され、その動きが緩衝されることを特徴とする２次元位置検出装置。
2. Ｘ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＸ軸検出部と、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の極を含み、各極は交流励磁に応じて出力を生じる巻線部を有しているＹ軸検出部とを、２次元面上で交差して配置してなる基部と、
   前記基部に対してＸ及びＹ軸方向に相対的に変位するものであり、導電性物質を含んで構成されてなる磁気応答部材と、
   前記基部において所定の位置に対応して配置された永久磁石と
   を具備してなり、前記基部の２次元面に対する前記磁気応答部材の相対的位置に応じたＸ軸成分位置検出信号とＹ軸成分位置検出信号とを前記Ｘ軸検出部及びＹ軸検出部から夫々出力され、前記磁気応答部材の変位に応じて導電性物質に生じる渦電流による磁界により、前記永久磁石と前記磁気応答部材とが引合い、該磁気応答部材が前記所定の配置に吸引され、その動きが緩衝されることを特徴とする２次元位置検出装置。
3. 前記磁気応答部材は、球形状を成したものである請求項１又は２に記載の２次元位置検出装置。