JPH1089936A

JPH1089936A - ディスクの反り形状表示方法

Info

Publication number: JPH1089936A
Application number: JP9380597A
Authority: JP
Inventors: Katsuhide Ebisawa; 勝英蛯沢
Original assignee: Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
Current assignee: DIC Corp
Priority date: 1996-05-29
Filing date: 1997-04-11
Publication date: 1998-04-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ディスクの反り形状を二次元座標平面上に三次
元的に可視化して表示する方法。【解決手段】ディスクＡの表面に対して垂直な方向から
のレーザービームの連続的な照射手段Ｂとディスクの半
径方向の反りに基づく、反射ビームの正反射位置からの
振れを検出する位置検出手段Ｃを有し、照射手段と反射
ビーム位置検出手段の相対位置が固定された一体化構造
のヘッドＤを形成する。該検出ヘッドＤをディスクの半
径方向に平行移動するか、又はディスクを検出ヘッドと
の相対位置を保ったまま該半径方向に移動する、いずれ
か一方の手段Ｅと、ディスクを回転する手段Ｆとディス
クの回転位置を読み取る手段Ｇと、反射ビームの位置検
出手段及び回転位置読み取り手段からの信号を、一定の
時間間隔で抽出したものを記録手段Ｈと記録した信号の
演算手段Ｉにより、可視的に表示するディスク反り形状
表示方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明はＣＤ、ＭＯ、ＤＶ
Ｄなどの光反射性の表面を有する円形デスクの反り角度
及び反り形状を検査する方法に関する。

【０００２】

【従来技術】ＣＤ、ＭＯ、ＤＶＤなどの光反射性の表面
を有する円形デスクの反り角及び反り形状を検査するた
めの従来の方法は、例えば、レーザービームを被測定面
に照射し、その反射ビームの振れを位置検出センサーで
測定するというものである。

【０００３】従来より、光源からのビームが被検査面に
垂直に当たって反射した時の正反射位置からの振れ幅を
位置検出センサーによって測定し、この振れ幅と反射点
と受光点間の幾何学的距離との関係から、反り角度を算
出して求める方法がとられている。

【０００４】以下、従来技術による反り角度の測定法を
図を用いて説明する。図１は被測定物であるデスクに、
反り、歪みなどの機械的変形が存在しない場合の様子を
図解したものである。図１の１はレーザー照射装置、２
はビームスプリッター、３はデスク、４は位置検出セン
サーを表す。

【０００５】続いて、図２は、デスクに歪みがありレー
ザー照射位置での反り角度が、基準面に対してθだけ傾
きがある場合の様子を示したものである。簡単な幾何学
的考察から、デスクの傾きが基準面に対してθである
時、反射光線は基準面に対してθの２倍に等しい角度だ
けずれて反射して戻る。

【０００６】このように反射して戻った光線はビームス
プリッター２で進路を約９０度変更され、位置検出セン
サーの受光面に当たり、これによってビームの中心位置
が検出される。

【０００７】位置検出センサーは、ビームが当たった位
置が受光面の中央、即ち、正反射位置である時、レベル
ゼロの電圧を出力し、以下、受光面の正反射位置からの
ずれに応じ、それに比例した値の電圧を出力する。

【０００８】位置検出センサーの出力により反射ビーム
のずれ量δが求まった時、反り角度は一般に２θとして
定義され、次式として求められる。

【０００９】

【式１】２θ＝arctan｛δ／（Ｌ_A＋Ｌ_B）｝ −−−（１）式

【００１０】一般には、このような２θをデスク全面に
わたって測定し、その時の最大となった値が反り角度と
して定義される。θはデスクが基準面に対して実際に反
っている角度を表す。尚、（１）式において２θをrad
単位で表し、（Ｌ_A＋Ｌ_B）≫δを仮定できる場合では、
単に２θ＝δ／（Ｌ_A＋Ｌ_B）としても実用上問題ない。

【００１１】反り角度２θをデスクの全域にわたって測
定するためには、図１に示したレーザー光源と位置検出
センサーとの相対位置関係は固定し、デスクを回転しな
がら、レーザーの照射位置がデスクの半径方向と一致す
るように相対移動させ、この際に現れる位置検出センサ
ーからの出力を逐次読み取るか、又は、記録することに
よってデスクの反り角度を測定することができる。

【００１２】前記相対移動の方法は、例えばレーザー及
びセンサー対は固定しておき、デスクを回転しながら水
平方向に移動する機構を設けることによってデスク全面
を走査することができる。或いはこれとは逆に、デスク
の方は一点に固定して単に回転させながら、レーザーと
センサー対〔検出ヘッド〕の方をデスク上方において、
半径方向に移動させながら走査することも可能である。

【００１３】このようにして得られた結果を表示する場
合には、例えば、横軸を時間軸にとり、単に受光器から
の出力を時間変化的に表示する方法、或いは、デスクと
位置検出センサーとの幾何学的な配置で決まる寸法定数
から反り角度を算出し、横軸にデスクの位置を表す量、
例えば角度や円周方向の位置を表す量を横軸にとり、縦
軸に反り角度をとって表す方法などがとられている。

【００１４】しかしながら、これらの方法においても、
その測定結果からデスクが、実際にどのような形状にな
っており、どの部分がどのような方向に歪んでいるかを
直感的に把握しにくいという問題があった。

【００１５】それは測定によって得られる物理量が『角
度』という抽象的な量であるという点と、デスク表面上
の各点データの羅列に過ぎないところに因っているもの
と推察される。

【００１６】

【本発明が解決しようとする課題】本発明はかかる状況
に鑑み、従来技術によって得られる円形デスクの反り角
度の数値データに基づき、三次元的な形状を数値演算に
よって近似的に求め、かつ、それを表示する方法を提供
することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意検討したところ、従来技術で容易に
得られるところの、円形デスクを回転させながら全面に
わたって反り角度を測定した時の数値データに、適当な
近似条件を導入することによって、三次元的な表現が可
能となることを見いだし、本発明を完成するに至った。

【００１８】即ち、本発明において前提となる従来技術
による装置構成は、デスク（Ａ）の表面に対して垂直な
方向から、レーザービームを連続的に照射する照射手段
（Ｂ）と、前記デスク（Ａ）の半径方向の反りに基づ
く、前記反射ビームの正反射位置からの振れを検出する
位置検出手段（Ｃ）を有し、かつ、前記照射手段（Ｂ）
と前記反射ビーム位置検出手段（Ｃ）の相対位置が固定
されていて、一体化構造（以下検出ヘッド（Ｄ）と称
す）のものであって、前記検出ヘッド（Ｄ）と前記デス
ク（Ａ）が、前記デスク（Ａ）の半径方向に相対的に平
行移動するか、又はデスク（Ａ）が検出ヘッド（Ｄ）の
相対位置を保ったままその半径方向に平行移動する、い
ずれか一方の手段（Ｅ）と、前記デスク（Ａ）を回転す
る手段（Ｆ）と、前記デスク（Ａ）の回転位置を読み取
る手段（Ｇ）と、前記反射ビームの位置検出手段（Ｃ）
及び前記回転位置読み取り手段（Ｇ）からの信号を、一
定の時間間隔で抽出し、前記抽出したものを記録する手
段（Ｈ）と、前記記録した信号を演算処理する手段
（Ｉ）とを有するものである。

【００１９】本発明において，デスクとディスクとは同
義である。被測定物体であるところの前記デスク（Ａ）
は表面が光反射性であり、形状は円形である必要があ
る。

【００２０】測定誤差を小さくするためには、レーザー
照射に用いるビーム径はなるべく小さい方が望ましく
１．５ｍｍ以下であるのが良い。或いは、反射ビームの
受光位置で、ビーム径を調節できる機構を有するものが
望ましい。

【００２１】反射したビームの位置（振れ）を検出する
手段としては、公知公用の位置検出素子ＰＳＤ（Positi
on Sensitive Device）を用いることができる。ＰＳＤ
には一次元タイプのものと二次元タイプのものの両方が
あるが、本発明を有効かつ安価に利用するためには一次
元タイプのものが望ましい。

【００２２】レーザー照射手段と反射ビームの振れを検
出する手段を一体化したヘッドをデスクの半径方向に対
し、相対的に平行移動する手段としては、公知公用の一
軸電動スライダを用いることができる。

【００２３】デスクの回転に使用する回転機構として
は、デスクの回転速度のばらつきが小さくなるようなも
のであることが望ましく、動力源としてはＡＣサーボモ
ータなどを直結して用いることができる。

【００２４】デスクの回転位置を読み取る手段として
は、例えば、デスクを回転させるための軸に光を遮蔽す
るのに十分な片を取り付けておいて、これを公知公用の
フォトインタラプタ素子によって、前記遮蔽片が通過し
たことを検出し、回転パルスを生成する方法がある。

【００２５】ビーム位置検出手段及び回転位置検出手段
からの出力信号を一定の時間間隔で抽出し、かつ、それ
らを随時記録する手段としては、Ａ／Ｄ変換器と電子メ
モリーとが一体となった機構のものを用いることができ
る。このような機構を有する公知公用の装置としては、
例えば、オートニクス（株）の製品名デジタイザー（モ
デルＳ１２１）、ＮＦ回路ブロック（株）の製品名ウェ
ーブメモリー５８２２などがある。

【００２６】前記記録手段に記録保持した情報を演算す
る手段としては、公知公用の殆どあらゆるメーカー及び
型式のパーソナルコンピュータを用いることができる。

【００２７】上述構成要素を有機的に関連づけ動作させ
るには、例えば、次のようにする。即ち、前記デスク
（Ａ）を前記回転手段（Ｆ）で回転しながら、前記検出
ヘッド（Ｄ）から前記デスク（Ａ）の表面に照射したス
ポットを、前記デスク（Ａ）の光反射面内で半径方向に
相対移動させ、その時の前記デスク（Ａ）の半径方向の
反りに起因する前記反射ビームの位置の変化を、前記デ
スク（Ａ）の回転角度に対応づけて、前記信号記録手段
（Ｈ）に逐次保存しておき、デスク全面の走査が終了し
た後に、これらの保存された情報を取り出して、前記演
算処理手段（Ｉ）により演算する。

【００２８】上述した動作において、デスクの回転速度
及び情報記録の時間間隔が一定である場合には、デスク
１回転あたりに前記位置検出手段（Ｃ）から信号情報が
抽出される個数は一定となる。又、前記位置検出手段
（Ｃ）からの情報を、抽出開始するためのタイミング信
号として、例えば前述の公知公用のフォトインタラプタ
素子で生成した回転パルスを用いれば、前記反射ビーム
の位置の変化をデスクの回転角度に対応づけて記録保存
することは容易である。

【００２９】便宜上、以下の説明ではデスク１回転あた
りに抽出されるデータ数をＩ、デスク１回転あたりに前
記照射手段（Ｂ）で照射したスポットがデスク半径方向
に対して移動する距離（以下移動ピッチ）をｐとする。
上述動作において前記照射スポットがデスク表面上をな
ぞる軌跡は、図４に示すような渦巻き状となる。

【００３０】この渦巻き状の軌跡に、内側から１，２，
３，・・・と番号を付け、最外周にあたる軌跡はＮとす
る。渦巻き状軌跡１の始点が、前記位置検出手段（Ｃ）
からの情報を抽出開始した位置に対応し、渦巻き状軌跡
１の終点は渦巻き状軌跡２の始点となる。データ抽出は
各軌跡毎にＩ個ずつ、かつ、同一軌道上（略同一円）で
は等間隔となるように行う。隣接する渦巻き状軌跡の間
隔は移動ピッチｐに対応する。

【００３１】前記信号記録手段（Ｈ）に記録保存した情
報に基づきデスク形状を演算によって求める方法は次の
ようなものである。即ち、前記渦巻き状軌跡１の位置に
おける反りの値は便宜上無視し、前記軌跡１の内側の領
域は平面と仮定する。この仮定は実用上殆ど問題になら
ない。その理由は、現実のデスクでは歪みや変形が、殆
どの場合、デスクの外周側にかけて大きくなり内周側で
は比較的小さいこと、或いは、デスク製造技術そのもの
が年々向上していることに相俟って、デスクの変形の絶
対値そのものが小さくなってきていることが上げられ
る。

【００３２】前記位置検出手段（Ｃ）によるデータ抽出
が、渦巻き状軌跡ｎ上のｉ番目の位置で得られた値をＸ
_ni（但し、ｎ＝１，２，・・・，Ｎ及びｉ＝１，
２，・・・，Ｉ）と表すと、Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・Ｘ_ni，・
・，Ｘ_Niは、ほぼ同一半径上で抽出されたデータと見な
すことができる。そして、前記渦巻き状軌跡１上での反
りの値は便宜上無視し、かつ、前記軌跡１の内側の領域
を平面と見なすと、渦巻き状軌跡２上のｉの位置におけ
る反りの値（便宜的にＳ_2iと記す）は、Ｘ_1iを用いて一
次近似的に次のように表される。

【００３３】

【式２】Ｓ_2i＝p×sinθ_2i −−−（２）式

【００３４】

【式３】 θ_2i＝(1/2)×arctan{X_2i/(L_A+L_B)} −−−（３）式

【００３５】より一般的には、上式のサフィックス２を
ｎに変えたものが、任意の渦巻き状軌跡ｎ上の任意ｉ番
目の位置で抽出したＸ_Niの値により、その位置を基準に
して次の隣接する渦巻き状軌跡ｎ＋１上のｉ番目の位置
での変位量Ｓ_niを表す。

【００３６】前記信号記録手段（Ｈ）で記録を開始した
前記デスク（Ａ）の内周側の所定位置、即ち、データＸ
₁₁が抽出された位置を含み、前記入射ビームと垂直に交
差する面を基準面とし、任意地点における前記基準面か
らの変位量Ｔ_niは、次式で求められる。

【００３７】

【式４】

【００３８】次に、前記デスク（Ａ）の反り形状を概略
立体的に表示するために、前記レーザービームが前記基
準面上に描く前記渦巻き状軌跡を略楕円状に表示し、こ
の際に、略楕円の式のｙ成分に、各走査位置における前
記基準面からの距離Ｔ_niを加え合わせる。即ち、それは
次式で表せる。

【００３９】

【式５】ｘ_ni＝(a+np+360pi/I）×sin(360i/I) −−−（５）式ｙ_ni＝κＴ_ni+(b+np+360pi/I）×cos(360i/I)

【００４０】上式で求められる座標（ｘ_ni,ｙ_ni）を、
順次直線により接続して行くことによって、前記デスク
（Ａ）の反り形状を、二次元座標平面上に三次元的に可
視化して表示することができる。座標（ｘ_ni,ｙ_ni）の
接続の仕方は、先ずｎ＝１に対して、ｉを１からＩまで
変化させ逐次接続する。次にｎ＝２として、同様にｉを
１からＩまでを接続する。このような操作をｎ＝Ｎまで
行って終了する。

【００４１】（５）式において、ａ及びｂは前記渦巻き
状軌跡１（最内周）を略楕円状に表すための長径と短
径、Ｔ_niは（４）式で求められる値、ｐは移動ピッチ、
Ｉは前記位置検出手段（Ｃ）により前記デスク（Ａ）の
１回転あたりに抽出されるデータ数をそれぞれ表す。Ｉ
の値は必要とする測定精度によって決められるものであ
るが、Ｉの値が小さいと、前記座標（ｘ_ni，ｙ_ni）を接
続した時の略楕円が滑らかなものと成らず、凸凹したも
のとなってしまうので、少なくともＩ≧５０であること
が望ましい。

【００４２】又、κは反り形状を三次元的に可視化して
表示するときの感度、或いは、強調度を調節するための
係数であり（以下κを単に強調係数と記す）、この値を
大きくするほど僅かな反りでも、表現上は大きな反りが
あるかのように表されるようになる。

【００４３】以上述べたように、本発明は従来技術で得
られる（１）式より求まる反り角度を出発点とし、これ
をデスク表面の前記渦巻き軌跡上で測定したものを
（２）式、（３）式を経て、（４）式により基準面から
の変位を求め、この変位量を（５）式に示すように略楕
円の式のｙ成分に加え合わせた結果に基づき、前記デス
ク（Ａ）の反り形状を二次元座標平面上に三次元的に可
視化して表示することを特徴とするものである。

【００４４】

【作用】反り角度の測定データに基づき基準面からの変
位が求まる。その変位を略楕円の式のｙ成分に加算し
て、楕円座標を直線接続することにより、反り形状を二
次元座標平面上に三次元的に可視化して表示することが
できる。

【００４５】

【発明の実施形態】本発明は、次の実施形態を包含す
る。（構成する要素）光反射性を有する円形デスク（Ａ）の
反り形状を測定する方法であって、前記デスク（Ａ）の
表面に対して垂直な方向から、レーザービームを連続的
に照射する照射手段（Ｂ）と、前記デスク（Ａ）の半径
方向の反りに基づく、前記反射ビームの正反射位置から
の振れを検出する位置検出手段（Ｃ）を有し、かつ、前
記照射手段（Ｂ）と前記反射ビーム位置検出手段（Ｃ）
の相対位置が固定されていて、一体化構造のもの（以下
検出ヘッド（Ｄ）と称す）であって、前記検出ヘッド
（Ｄ）が前記デスク（Ａ）の半径方向に相対的に平行移
動するか、又はデスク（Ａ）が検出ヘッド（Ｄ）の相対
位置を保ったままその半径方向に平行移動する、いずれ
か一方の手段（Ｅ）と、前記デスク（Ａ）を回転する手
段（Ｆ）と、前記デスク（Ａ）の回転位置を読み取る手
段（Ｇ）と、前記反射ビームの位置検出手段（Ｃ）及び
前記回転位置読み取り手段（Ｇ）からの信号を、一定の
時間間隔で抽出し、前記抽出したものを記録する手段
（Ｈ）と、前記記録した信号を演算処理する手段（Ｉ）
とを有し、（構成要素を動作させる方法）前記デスク
（Ａ）を前記回転手段（Ｆ）で回転しながら、前記検出
ヘッド（Ｄ）から前記デスク（Ａ）の表面に照射したス
ポットを、前記平行移動手段（Ｅ）により、前記デスク
（Ａ）の光反射面内で半径方向に相対移動させた時の、
前記デスク（Ａ）の半径方向の反りに起因する前記反射
ビームの位置の変化を、前記デスク（Ａ）の回転角度に
対応させて、前記信号記録手段（Ｈ）に保存し、前記演
算処理手段（Ｉ）により演算し、それによって得た出力
情報を、可視的に表示するデスク反り形状表示方法であ
って、（演算処理の方法）前記信号記録手段（Ｈ）で記
録を開始した、前記デスク（Ａ）の内周側の所定位置を
含み、前記入射ビームと垂直に交差する面を基準面と
し、前記基準面と前記デスク回転軸とが交差する点を座
標原点とし、前記デスク（Ａ）の内周側第１周めにおけ
る走査位置での反りの値は便宜上無視し、前記出力信号
記録手段（Ｉ）の第1周目に対応する情報に基づいて、
第２周め走査位置における変位量を求め、以下同様に、
ｎ周めに対応する情報に基づいて、第ｎ＋１周め走査位
置における変位量を求め、かかる順序によって次々に求
めた各走査位置での変位量を、同一半径上で加え合わせ
ることによって、前記デスク（Ａ）の半径位置及び角度
位置における前記基準面からの距離Ｔを求め、（表示の
方法）前記デスク（Ａ）の反り形状を概略立体的に表示
するために、前記レーザービームが前記基準面上に描く
軌跡を略楕円状に表示し、この際に、略楕円の式のｙ成
分に、各走査位置における前記基準面からの距離Ｔを加
え合わせることによって、前記デスク（Ａ）の反り形状
を、２次元座標平面上に３次元的に可視化して表示する
ことを特徴とする前記デスク（Ａ）の歪み形状表示方
法。

【００４６】

【実施例】本発明の１実施例として、図３の装置を用
い、直径１２０ｍｍのＣＤ（コンパクトデスク）の反り
形状を表示する例を示す。

【００４７】該デスクの反りを測定する範囲は、情報記
録層がある側の面の直径４７ｍｍの位置から直径１１６
ｍｍまでの領域とした。

【００４８】該装置において、デスクの回転速度を毎秒
１２回転と一定にし、位置検出センサーのデータ抽出間
隔を８３３μｓｅｃ、検出ヘッドの移動ピッチをｐ＝
１．０８ｍｍとなるように動作させたところ、デスク１
回転あたりのデータ抽出数はＩ＝１００、及び、走査数
（渦巻き状軌跡の回転数）は３２となった。従って、本
実施例において、演算の対象となる測定データの総数は
３２００個となった。

【００４９】次に、本発明の方法を用いて、該デスクの
反り形状を三次元的に可視化して表示したものを図５に
示す。基準面からの変位量Ｔ_niはμｍ単位で求め、その
数値を（５）式において加算した。スケールの取り方
は、パソコン全体画面を横方向１４００，縦方向１０５
０となるようにスケーリングし、最内周略楕円及び最外
周略楕円の長径を、それぞれ１６０、５００とし、同様
に短径はそれぞれ９０，２８１としてグラフィクス表示
させた。

【００５０】図５（ａ）は強調係数κの値が１の場合，
図５（ｂ）は３の場合，図５（ｃ）は５の場合を、それ
ぞれ表す。演算の元となるデータは（ａ）〜（ｃ）共に
同一のものである。図中に示した＊マークは、基準面か
らの反りの値（変位）が最大になっている地点を表す。
数値的には最大地点においても僅か５０μｍ程度の変位
であったが、強調係数κの値が大きくなる連れて、反り
の様子がより明瞭に表現されてくるのが分かる。

【００５１】尚、かかる表示方法においては、最初の座
標スケールの決め方によって略楕円形の形状そのものも
変わる。従って前記κの値も相対的なものと言える。

【００５２】

【発明の効果】従来、単なる数値の羅列に過ぎなかった
反り測定データを、二次元座標平面上に三次元的に可視
化表示することにより、デスクのリアルな形状が、直感
的に把握できるようになった。

【００５３】

【図面の簡単な説明】

【００５４】

【図１】従来技術による反り角度の測定方法の例を表す
図である。

【００５５】

【図２】図１において、測定対象であるデスクが反りを
有していた場合に、レーザービームが振れる様子を表し
た図である。

【００５６】

【図３】本発明の方法を適用する場合のハードウェア構
成の例を表した図である。

【００５７】

【図４】照射スポットがデスク表面上をなぞる軌跡を示
した図であり、図中の黒点印しはデータ抽出を行う地点
を表す。

【００５８】

【図５】本発明の方法によって、デスク形状を二次元座
標平面上に三次元的に可視化して表示した例を表す図で
ある。

【００５９】

【符号の説明】

１半導体レーザービーム照射装置２ビームスプリッター３デスク（測定対象物）４位置検出素子（位置検出センサー）５基準面６最大変位位置を示すマーク（Ａ）デスク（Ｂ）レーザービーム照射手段（Ｃ）位置検出手段（Ｄ）検出ヘッド（Ｅ）検出ヘッド移動手段（Ｆ）デスク回転手段（Ｇ）デスク回転位置を検出手段（回転パルス発生手
段）（Ｈ）情報記録手段（Ｉ）情報処理手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光反射性を有する円形デスク（Ａ）の反り
形状を測定する方法であって、前記デスク（Ａ）の表面
に対して垂直な方向から、レーザービームを連続的に照
射する照射手段（Ｂ）と、前記デスク（Ａ）の半径方向
の反りに基づく、前記反射ビームの正反射位置からの振
れを検出する位置検出手段（Ｃ）を有し、かつ、前記照
射手段（Ｂ）と前記反射ビーム位置検出手段（Ｃ）の相
対位置が固定されていて、一体化構造のもの（以下検出
ヘッド（Ｄ）と称す）であって、前記検出ヘッド（Ｄ）
が前記デスク（Ａ）の半径方向に相対的に平行移動する
か、又はデスク（Ａ）が検出ヘッド（Ｄ）の相対位置を
保ったままその半径方向に平行移動する、いずれか一方
の手段（Ｅ）と、前記デスク（Ａ）を回転する手段
（Ｆ）と、前記デスク（Ａ）の回転位置を読み取る手段
（Ｇ）と、前記反射ビームの位置検出手段（Ｃ）及び前
記回転位置読み取り手段（Ｇ）からの信号を、一定の時
間間隔で抽出し、前記抽出したものを記録する手段
（Ｈ）と、前記記録した信号を演算処理する手段（Ｉ）
とを有し、前記デスク（Ａ）を前記回転手段（Ｆ）で回
転しながら、前記検出ヘッド（Ｄ）から前記デスク
（Ａ）の表面に照射したスポットを、前記平行移動手段
（Ｅ）により、前記デスク（Ａ）の光反射面内で半径方
向に相対移動させた時の、前記デスク（Ａ）の半径方向
の反りに起因する前記反射ビームの位置の変化を、前記
デスク（Ａ）の回転角度に対応させて、前記信号記録手
段（Ｈ）に保存し、前記演算処理手段（Ｉ）により演算
し、それによって得た出力情報を、可視的に表示するデ
スク反り形状表示方法であって、前記信号記録手段
（Ｈ）で記録を開始した、前記デスク（Ａ）の内周側の
所定位置を含み、前記入射ビームと垂直に交差する面を
基準面とし、前記基準面と前記デスク回転軸とが交差す
る点を座標原点とし、前記デスク（Ａ）の内周側第１周
めにおける走査位置での反りの値は便宜上無視し、前記
出力信号記録手段（Ｉ）の第1周目に対応する情報に基
づいて、第２周め走査位置における変位量を求め、以下
同様に、ｎ周めに対応する情報に基づいて、第ｎ＋１周
め走査位置における変位量を求め、かかる順序によって
次々に求めた各走査位置での変位量を、同一半径上で加
え合わせることによって、前記デスク（Ａ）の半径位置
及び角度位置における前記基準面からの距離Ｔを求め、
前記デスク（Ａ）の反り形状を概略立体的に表示するた
めに、前記レーザービームが前記基準面上に描く軌跡を
略楕円状に表示し、この際に、略楕円の式のｙ成分に、
各走査位置における前記基準面からの距離Ｔを加え合わ
せることによって、前記デスク（Ａ）の反り形状を、２
次元座標平面上に３次元的に可視化して表示することを
特徴とする前記デスク（Ａ）の歪み形状表示方法。