JPH1090033A - ガス流又は液流を瞬時に識別する方法及び該方法を実施するための装置 - Google Patents
ガス流又は液流を瞬時に識別する方法及び該方法を実施するための装置Info
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- JPH1090033A JPH1090033A JP9256251A JP25625197A JPH1090033A JP H1090033 A JPH1090033 A JP H1090033A JP 9256251 A JP9256251 A JP 9256251A JP 25625197 A JP25625197 A JP 25625197A JP H1090033 A JPH1090033 A JP H1090033A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス又は流体流の組成を瞬時に識別する方法
と、該方法を実施するための装置とを提供する。 【解決手段】 流体流は、導管内のオリフィスを通過す
る。該オリフィスと平行に且つその上方に、質量流量計
を含む毛細導管が設けられる。物理的性質の組み合わせ
が測定される。該組み合わせを特定のガス組成に係る表
の値と比較することにより、現在の組成を決定すること
ができる。
と、該方法を実施するための装置とを提供する。 【解決手段】 流体流は、導管内のオリフィスを通過す
る。該オリフィスと平行に且つその上方に、質量流量計
を含む毛細導管が設けられる。物理的性質の組み合わせ
が測定される。該組み合わせを特定のガス組成に係る表
の値と比較することにより、現在の組成を決定すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、質量流量センサを
介してガス又は流体又はその組成を瞬時に識別する方法
及び装置に関する。
介してガス又は流体又はその組成を瞬時に識別する方法
及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ここで、「組成」とは、特性、特に当該
濃度において特定の成分がガス（混合物）内に静的に或
いは「経時的に」動的に存在する量を指す。濃度は、当
該物質の付加量を変えることにより、変更し得る。かく
して、当該組成の推移即ち組成の変化の程度に関するデ
ータが「オンライン」で得られる。かかるデータは、種
々の工程、例えば半導体産業において材料膜を基板上に
堆積させる反応ガスの濃度をできるだけ一定に保持する
ことが必要な化学蒸着（ＣＶＤ）等の工程では重要であ
る。
濃度において特定の成分がガス（混合物）内に静的に或
いは「経時的に」動的に存在する量を指す。濃度は、当
該物質の付加量を変えることにより、変更し得る。かく
して、当該組成の推移即ち組成の変化の程度に関するデ
ータが「オンライン」で得られる。かかるデータは、種
々の工程、例えば半導体産業において材料膜を基板上に
堆積させる反応ガスの濃度をできるだけ一定に保持する
ことが必要な化学蒸着（ＣＶＤ）等の工程では重要であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなオンライン
測定（即ち工程中の測定）は今までのところは実施され
ておらず、例えば濃度に関するデータは、結果から「逆
算」されて、ＣＶＤ法等において前記濃度を調節する装
置及び反応ガスをキャリヤガスに供給する「バブラ」に
帰還される。
測定（即ち工程中の測定）は今までのところは実施され
ておらず、例えば濃度に関するデータは、結果から「逆
算」されて、ＣＶＤ法等において前記濃度を調節する装
置及び反応ガスをキャリヤガスに供給する「バブラ」に
帰還される。
【０００４】
【課題を解決するための手段】しかしながら、本発明に
係る方法を用いることにより、上述したようなオンライ
ン測定を実施することができる。この目的で、本方法
は、ガス又は流体の流通時に、大きさが調節可能なオリ
フィス即ち小孔を有する導管に流体を通し、オリフィス
に対して平行にオリフィス上を通過するように取り付け
られた毛細導管に上記流体の枝流を通すことにより、流
体の組成の特性を表す流体の物理的性質の各組み合わせ
を連続的に決定し、上記導管が、毛細管を通る流れの温
度分布の変化から質量流量を測定して物理的性質の上記
各組み合わせを決定しこれを当該類型の流体に対して予
め作成された当該各組み合わせの表と比較する、熱質量
流量計を備えている、ことを特徴とする。
係る方法を用いることにより、上述したようなオンライ
ン測定を実施することができる。この目的で、本方法
は、ガス又は流体の流通時に、大きさが調節可能なオリ
フィス即ち小孔を有する導管に流体を通し、オリフィス
に対して平行にオリフィス上を通過するように取り付け
られた毛細導管に上記流体の枝流を通すことにより、流
体の組成の特性を表す流体の物理的性質の各組み合わせ
を連続的に決定し、上記導管が、毛細管を通る流れの温
度分布の変化から質量流量を測定して物理的性質の上記
各組み合わせを決定しこれを当該類型の流体に対して予
め作成された当該各組み合わせの表と比較する、熱質量
流量計を備えている、ことを特徴とする。
【０００５】上記物理的性質とは、密度ρ、粘度μ及び
熱容量Ｃｐである。ここにいう流体の例としては、キャ
リヤガスＨ2及びＮ2にＴＥＯＳ（オルト珪酸トリエチ
ル）、ＳｉＣｌ4、ＴｉＣｌ4、及びＨ2Ｏ等の蒸発性物
質を加えた混合物があるが、純物質でもよい。
熱容量Ｃｐである。ここにいう流体の例としては、キャ
リヤガスＨ2及びＮ2にＴＥＯＳ（オルト珪酸トリエチ
ル）、ＳｉＣｌ4、ＴｉＣｌ4、及びＨ2Ｏ等の蒸発性物
質を加えた混合物があるが、純物質でもよい。
【０００６】オリフィスに沿って、圧力降下Δｐが生じ
るが、圧力降下Δｐの大きさは、当該流体の密度ρ及び
オリフィスを通る体積流量Φｖｏによって決まる。今、
Δｐが決定されていて体積流量が既知であるとすると、
密度ρは、 Δｐ＝Ｃ0・ρ・Φ2 ｖｏ …（１） により決定することができる。ここで、Ｃ0は、オリフ
ィスの寸法により決まる定数である。
るが、圧力降下Δｐの大きさは、当該流体の密度ρ及び
オリフィスを通る体積流量Φｖｏによって決まる。今、
Δｐが決定されていて体積流量が既知であるとすると、
密度ρは、 Δｐ＝Ｃ0・ρ・Φ2 ｖｏ …（１） により決定することができる。ここで、Ｃ0は、オリフ
ィスの寸法により決まる定数である。
【０００７】上記圧力降下Δｐは、測定毛細管を用いて
測定され、毛細管を通る流量Φｖｃは層流であるので、
該流量は上記Δｐに比例する。
測定され、毛細管を通る流量Φｖｃは層流であるので、
該流量は上記Δｐに比例する。
【０００８】また、 Δｐ＝Ｃｃ・μ・Φｖｃ…（２） が成り立つ。ここで、 Ｃｃ ＝ 毛細管の寸法により決まる定数 μ ＝ 流体粘度 Φｖｃ＝ 毛細管を通る体積流量 オリフィスと毛細管とは、互いに平行に取り付けられて
いるので、 Δｐ毛細管 ＝ Δｐオリフィス…（３） が成り立ち、Φ2 ｖｏに比例することが分かる。更に、
毛細管とオリフィスの寸法は、ΦｖｃがΦｖｏよりずっ
と小さくなるように選定される。その時、このシステム
を通る全流量は、Φｖｏに略等しくなる。
いるので、 Δｐ毛細管 ＝ Δｐオリフィス…（３） が成り立ち、Φ2 ｖｏに比例することが分かる。更に、
毛細管とオリフィスの寸法は、ΦｖｃがΦｖｏよりずっ
と小さくなるように選定される。その時、このシステム
を通る全流量は、Φｖｏに略等しくなる。
【０００９】Φｖｃは、例えば米国特許第５０３６７０
１号公報に記載されているような、毛細管上に設けられ
た所謂熱センサを用いて測定される。流体流の場合には
毛細管の周りの加熱コイルを用いて実現される温度分布
の被測定移動量ΔＴは、現時の質量流量を前記センサに
より測定して求める。即ち、 ΔＴ ＝ Ｃ′・ρ・Ｃｐ・Φｖｃ…（４） が成り立つ。ここで、 Ｃ′＝ 定数 μ ＝ 流体密度 Ｃｐ＝ 流体の熱容量 Φｖｃ ＝ 前記毛細管を通る体積流量 等式（１）、（２）、（３）及び（４）から以下の等式 ΔＴ ＝ Ｃ″・ρ2 ・Ｃｐ・Φ2 ｖtotal・１／μ が成り立つ。ここで、 Ｃ″ ＝ 定数 ρ ＝ 流体密度 Ｃｐ ＝ 流体の熱容量 Φｖtotal＝ オリフィスを通る流体の体積流量 μ ＝ 流体粘度 全流量を既知としてΦｖｃがΦｖｏよりずっと小さいと
いう条件下でΔＴを測定することにより、項ρ2 Ｃｐ／
μを決定することができる。
１号公報に記載されているような、毛細管上に設けられ
た所謂熱センサを用いて測定される。流体流の場合には
毛細管の周りの加熱コイルを用いて実現される温度分布
の被測定移動量ΔＴは、現時の質量流量を前記センサに
より測定して求める。即ち、 ΔＴ ＝ Ｃ′・ρ・Ｃｐ・Φｖｃ…（４） が成り立つ。ここで、 Ｃ′＝ 定数 μ ＝ 流体密度 Ｃｐ＝ 流体の熱容量 Φｖｃ ＝ 前記毛細管を通る体積流量 等式（１）、（２）、（３）及び（４）から以下の等式 ΔＴ ＝ Ｃ″・ρ2 ・Ｃｐ・Φ2 ｖtotal・１／μ が成り立つ。ここで、 Ｃ″ ＝ 定数 ρ ＝ 流体密度 Ｃｐ ＝ 流体の熱容量 Φｖtotal＝ オリフィスを通る流体の体積流量 μ ＝ 流体粘度 全流量を既知としてΦｖｃがΦｖｏよりずっと小さいと
いう条件下でΔＴを測定することにより、項ρ2 Ｃｐ／
μを決定することができる。
【００１０】得られたρ2 Ｃｐ／μの値を、同じ（各）
成分の組み合わせから成る表に分類されたある流体のや
はりρ2 Ｃｐ／μの値と比較することにより、流体内の
（各）成分の濃度に関するデータを得ることができる。
測定値は、流体のあるがままの諸特徴を表す。
成分の組み合わせから成る表に分類されたある流体のや
はりρ2 Ｃｐ／μの値と比較することにより、流体内の
（各）成分の濃度に関するデータを得ることができる。
測定値は、流体のあるがままの諸特徴を表す。
【００１１】殆どの場合、ここにいう流体の組成は、当
該目的に適した装置を用いて該流体にある成分を添加す
ることにより得られる。
該目的に適した装置を用いて該流体にある成分を添加す
ることにより得られる。
【００１２】本発明に係る方法の一実施形態によれば、
そのとき前記組成は一定に維持され、或いは、熱質量流
量計から得た信号を供給装置に帰還させることにより特
定の時間依存パターンに調節する。
そのとき前記組成は一定に維持され、或いは、熱質量流
量計から得た信号を供給装置に帰還させることにより特
定の時間依存パターンに調節する。
【００１３】次に、キャリヤガスへの反応ガスの供給
を、例えば所謂「バブラ（ｂｕｂｂｌｅｒ）」内で行
う。例えばＣＶＤ法で使用される混合物は、キャリヤガ
スとしてＨ2を含み、固体物質を蒸発させることにより
バブラ内でキャリヤガスに添加される反応ガスとして
（ＣＨ3）3Ｉｎ（トリメチルインジウム、ＴＭＩと略
称）を含む。キャリヤガスとしてＨ2以外のガスを選定
してもよく、また、反応ガスとして、ＴＭＩ以外のガス
即ち蒸気を選定してもよい。
を、例えば所謂「バブラ（ｂｕｂｂｌｅｒ）」内で行
う。例えばＣＶＤ法で使用される混合物は、キャリヤガ
スとしてＨ2を含み、固体物質を蒸発させることにより
バブラ内でキャリヤガスに添加される反応ガスとして
（ＣＨ3）3Ｉｎ（トリメチルインジウム、ＴＭＩと略
称）を含む。キャリヤガスとしてＨ2以外のガスを選定
してもよく、また、反応ガスとして、ＴＭＩ以外のガス
即ち蒸気を選定してもよい。
【００１４】本発明は、また、本発明に係る方法を実施
するための装置も含む。
するための装置も含む。
【００１５】本装置は、流体が流れる導管部を備え、該
導管部内に流体が流通する「オリフィス」（ある種の隔
膜）を設け、米国特許第５０３６７０１号公報に記載さ
れた熱流量センサを備えた毛細管でありオリフィス上方
を通過する分流導管を用いてオリフィスに沿った圧力降
下を測定する、ことを特徴とする。
導管部内に流体が流通する「オリフィス」（ある種の隔
膜）を設け、米国特許第５０３６７０１号公報に記載さ
れた熱流量センサを備えた毛細管でありオリフィス上方
を通過する分流導管を用いてオリフィスに沿った圧力降
下を測定する、ことを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本装置の概略を示した図面
に基づき、本装置を更に説明する。
に基づき、本装置を更に説明する。
【００１７】導管１を通って、体積流量Φｔｏｔを有す
る流体が矢印５により示された方向に流れる。導管１内
には、矢印で示された方向に体積流量Φｖｏを流通させ
るオリフィス４が設けられている。体積流量Φｔｏｔか
ら枝分かれした体積流量Φｖｃが流れる「分流管」即ち
毛細管２を用いて、上記オリフィス４に沿った圧力降下
Δｐが測定される。毛細管２は、熱源３から成る熱質量
流量計を備え、熱源３の両側で毛細管を流れる流体の温
度Ｔ１及びＴ２がそれぞれ測定される。上述したよう
に、測定された温度分布の変化量（Ｔ２−Ｔ１）は、オ
リフィス４に沿った圧力降下Δｐの測定値に一致する。
る流体が矢印５により示された方向に流れる。導管１内
には、矢印で示された方向に体積流量Φｖｏを流通させ
るオリフィス４が設けられている。体積流量Φｔｏｔか
ら枝分かれした体積流量Φｖｃが流れる「分流管」即ち
毛細管２を用いて、上記オリフィス４に沿った圧力降下
Δｐが測定される。毛細管２は、熱源３から成る熱質量
流量計を備え、熱源３の両側で毛細管を流れる流体の温
度Ｔ１及びＴ２がそれぞれ測定される。上述したよう
に、測定された温度分布の変化量（Ｔ２−Ｔ１）は、オ
リフィス４に沿った圧力降下Δｐの測定値に一致する。
【００１８】センサにより生成された信号は、一つ以上
の成分の付加を制御する装置、例えばキャリヤガスを付
加（反応）ガスと混合するバブラに、帰還してもよい。
の成分の付加を制御する装置、例えばキャリヤガスを付
加（反応）ガスと混合するバブラに、帰還してもよい。
【００１９】流体密度の変化は、Ｃｐ、μ及び全流量が
不変であるという条件下で本発明の装置を二重に実施す
ることにより、直接測定してもよい。この場合、第一の
装置を純粋な（キャリヤ）ガスが流れ、第二の装置を同
じ（キャリヤ）ガスが一種類以上の成分を付加されて流
れる。二つの装置のセンサ（流量計）の抵抗は、ホイー
トストンブリッジ内に配置される。このとき、出力信号
は、密度変化の直接的な測定値となる。
不変であるという条件下で本発明の装置を二重に実施す
ることにより、直接測定してもよい。この場合、第一の
装置を純粋な（キャリヤ）ガスが流れ、第二の装置を同
じ（キャリヤ）ガスが一種類以上の成分を付加されて流
れる。二つの装置のセンサ（流量計）の抵抗は、ホイー
トストンブリッジ内に配置される。このとき、出力信号
は、密度変化の直接的な測定値となる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上のように、質量流量セン
サを用いて、ガス又は流体、又はその組成を瞬時に識別
する方法であって、ガス又は流体の流通時に、大きさが
調節可能なオリフィス即ち小孔を有する導管に流体を通
し、オリフィスに対して平行にオリフィス上を通過する
ように取り付けられた毛細導管に上記流体の枝流を通す
ことにより、流体の組成の特性を表す流体の物理的性質
の各組み合わせを連続的に決定し、上記導管が、毛細管
を通る流れの温度分布の変化から質量流量を測定して物
理的性質の上記各組み合わせを決定しこれを当該類型の
流体に対して予め作成された当該各組み合わせの表と比
較する、熱質量流量計を備えている、こととしたので、
オンライン測定を実施することができる。
サを用いて、ガス又は流体、又はその組成を瞬時に識別
する方法であって、ガス又は流体の流通時に、大きさが
調節可能なオリフィス即ち小孔を有する導管に流体を通
し、オリフィスに対して平行にオリフィス上を通過する
ように取り付けられた毛細導管に上記流体の枝流を通す
ことにより、流体の組成の特性を表す流体の物理的性質
の各組み合わせを連続的に決定し、上記導管が、毛細管
を通る流れの温度分布の変化から質量流量を測定して物
理的性質の上記各組み合わせを決定しこれを当該類型の
流体に対して予め作成された当該各組み合わせの表と比
較する、熱質量流量計を備えている、こととしたので、
オンライン測定を実施することができる。
【図１】本発明の方法を実施するための装置の概略図で
ある。
ある。
１ 導管 ２ 毛細管 ３ 熱源 ４ オリフィス
Claims (5)
- 【請求項１】 質量流量センサを用いて、ガス又は流
体、又はその組成を瞬時に識別する方法であって、ガス
又は流体の流通時に、大きさが調節可能なオリフィス即
ち小孔を有する導管に流体を通し、オリフィスに対して
平行にオリフィス上を通過するように取り付けられた毛
細導管に上記流体の枝流を通すことにより、流体の組成
の特性を表す流体の物理的性質の各組み合わせを連続的
に決定し、上記導管が、毛細管を通る流れの温度分布の
変化から質量流量を測定して物理的性質の上記各組み合
わせを決定しこれを当該類型の流体に対して予め作成さ
れた当該各組み合わせの表と比較する、熱質量流量計を
備えている、ことを特徴とする方法。 - 【請求項２】 熱質量流量計から得た信号を、媒体の組
成を決定する装置に、該組成が一定に維持され或いは必
要なパターンに経時的に調節されるように、帰還させる
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 流体が、キャリヤガスと、例えば所謂バ
ブラ内で上記キャリヤガスに付加される反応ガスとから
成り、熱センサから得た信号をバブラに帰還させること
を特徴とする請求項２に記載の方法。 - 【請求項４】 キャリヤガスが水素ガスであり、反応ガ
スがＴＭＩと略称されるトリメチルインジウム（Ｃ
Ｈ3）3Ｉｎであることを特徴とする請求項３に記載の方
法。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の
方法を実施するための装置であって、流体が流れる導管
部を備え、該導管部内に流体が流通する「オリフィス」
（隔膜）を設け、米国特許第５０３６７０１号公報に記
載された熱流量センサを備えた毛細管でありオリフィス
上方を通過する分流導管を用いてオリフィスに沿った圧
力降下を測定することを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1003973A NL1003973C2 (nl) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | Werkwijze voor het momentaan identificeren van een gas- of vloeistofstroom en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze. |
| NL1003973 | 1996-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090033A true JPH1090033A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=19763471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9256251A Pending JPH1090033A (ja) | 1996-09-06 | 1997-09-05 | ガス流又は液流を瞬時に識別する方法及び該方法を実施するための装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5987981A (ja) |
| EP (1) | EP0829793B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1090033A (ja) |
| AT (1) | ATE242501T1 (ja) |
| DE (1) | DE69722544T2 (ja) |
| DK (1) | DK0829793T3 (ja) |
| ES (1) | ES2201242T3 (ja) |
| NL (1) | NL1003973C2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012108124A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Axetris Ag | 流量センサ |
| US20140345363A1 (en) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | Mems Ag | Method and measuring apparatus for determining physical properties of gas |
| CN111504854A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-08-07 | 中国矿业大学 | 一种牛顿流体粘度的温差型测量装置及测量方法 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6978680B2 (en) * | 2003-02-27 | 2005-12-27 | General Electric Company | Dynamic pressure probe holder and method of obtaining a dynamic pressure signal |
| CN100476371C (zh) * | 2004-02-23 | 2009-04-08 | 格奥波尔系统股份公司 | 准确测量质量流的方法 |
| JP5361147B2 (ja) * | 2007-06-25 | 2013-12-04 | アズビル株式会社 | 流量計の調整方法、流量計測装置及び調整データ管理システム |
| US7895890B2 (en) * | 2007-07-03 | 2011-03-01 | Van Ee William J | Liquid depth sensing and identification system |
| DE102008043327A1 (de) * | 2008-10-30 | 2010-05-06 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Verfahren und thermisches Durchflussmessgerät zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer, zumindest von der chemischen Zusammensetzung eines Messmediums abhängigen Größe |
| US9795757B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-10-24 | Vyaire Medical Capital Llc | Fluid inlet adapter |
| US9746359B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-08-29 | Vyaire Medical Capital Llc | Flow sensor |
| US9707369B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-07-18 | Vyaire Medical Capital Llc | Modular flow cassette |
| US9541098B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-01-10 | Vyaire Medical Capital Llc | Low-noise blower |
| US9962514B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-05-08 | Vyaire Medical Capital Llc | Ventilator flow valve |
| US9433743B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-06 | Carefusion 303, Inc. | Ventilator exhalation flow valve |
| CA3105189A1 (en) | 2018-07-06 | 2020-01-09 | Becton, Dickinson And Company | Flow sensor and method for adjusting fluid flow measurement |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3425277A (en) * | 1966-11-14 | 1969-02-04 | Gen Electric | Electrical thermal flowmeter |
| US3559482A (en) * | 1968-11-27 | 1971-02-02 | Teledyne Inc | Fluid flow measuring apparatus |
| US3613448A (en) * | 1969-11-26 | 1971-10-19 | Teledyne Inc | Fluid flow measuring apparatus |
| DE2723809A1 (de) * | 1976-06-14 | 1977-12-15 | Bayer Ag | Verfahren zur messung von stroemungsgeschwindigkeiten |
| US4100801A (en) * | 1976-02-09 | 1978-07-18 | Tylan Corporation | Mass flow sensing system |
| FR2432160A1 (fr) * | 1978-07-27 | 1980-02-22 | Alsthom Atlantique | Dispositif de mesure du debit d'une canalisation |
| US4433545A (en) * | 1982-07-19 | 1984-02-28 | Chang Yan P | Thermal power plants and heat exchangers for use therewith |
| US4790194A (en) * | 1987-05-01 | 1988-12-13 | Westinghouse Electric Corp. | Flow measurement device |
| NL8900474A (nl) * | 1989-02-24 | 1990-09-17 | Bronkhorst High Tech Bv | Massa-debietmeter met temperatuursensoren. |
| US5295394A (en) * | 1991-06-13 | 1994-03-22 | Mks Japan Inc. | Bypass unit for a flowmeter sensor |
| JP2703694B2 (ja) * | 1992-05-28 | 1998-01-26 | 信越半導体株式会社 | ガス供給装置 |
| US5325852A (en) * | 1993-07-21 | 1994-07-05 | Accurate Metering Systems, Inc. | Method and apparatus for adjusting the density of a liquid |
| US5511416A (en) * | 1993-09-15 | 1996-04-30 | Alicat Scientific, Inc. | Wide range laminar flow element |
-
1996
- 1996-09-06 NL NL1003973A patent/NL1003973C2/nl not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-08-11 DE DE69722544T patent/DE69722544T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-11 EP EP97202471A patent/EP0829793B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-11 ES ES97202471T patent/ES2201242T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-11 AT AT97202471T patent/ATE242501T1/de active
- 1997-08-11 DK DK97202471T patent/DK0829793T3/da active
- 1997-09-02 US US08/921,913 patent/US5987981A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-05 JP JP9256251A patent/JPH1090033A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012108124A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Axetris Ag | 流量センサ |
| US20140345363A1 (en) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | Mems Ag | Method and measuring apparatus for determining physical properties of gas |
| US9612229B2 (en) * | 2013-05-24 | 2017-04-04 | Mems Ag | Method and measuring apparatus for determining physical properties of gas |
| US10816525B2 (en) | 2013-05-24 | 2020-10-27 | Mems Ag | Method and measuring apparatus for determining physical properties of gas |
| CN111504854A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-08-07 | 中国矿业大学 | 一种牛顿流体粘度的温差型测量装置及测量方法 |
| CN111504854B (zh) * | 2020-04-13 | 2021-12-31 | 中国矿业大学 | 一种牛顿流体粘度的温差型测量装置及测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| DE69722544T2 (de) | 2004-04-29 |
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