JPH1090071A - 回転炉心管内の被処理物の温度測定方法、回転炉及び被加熱物の製造方法 - Google Patents
回転炉心管内の被処理物の温度測定方法、回転炉及び被加熱物の製造方法Info
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- JPH1090071A JPH1090071A JP24350996A JP24350996A JPH1090071A JP H1090071 A JPH1090071 A JP H1090071A JP 24350996 A JP24350996 A JP 24350996A JP 24350996 A JP24350996 A JP 24350996A JP H1090071 A JPH1090071 A JP H1090071A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 27
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転方式の加熱装置における被処理物の温度
測定方法の提供。 【解決手段】 透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉
における被処理物の温度測定において、炉心管の半径方
向の外部より赤外線放射温度計を用いることを特徴とす
る回転炉内の被処理物の温度測定方法。
測定方法の提供。 【解決手段】 透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉
における被処理物の温度測定において、炉心管の半径方
向の外部より赤外線放射温度計を用いることを特徴とす
る回転炉内の被処理物の温度測定方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明石英ガラス製
の炉心管を持つ回転炉における被処理物の温度測定方
法、回転炉並びに被加熱物の製造方法に関する。
の炉心管を持つ回転炉における被処理物の温度測定方
法、回転炉並びに被加熱物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】従来から、粉粒体を連続的に焼成や乾燥を
行うに際しては、被処理物の温度管理は重要な運転管理
項目となっている。特に処理プロセスの温度や滞留時間
により性状が変化する、いわゆる熱敏感性粉粒体の処理
においては、被処理物の温度と保持時間が重要となる。
ここで被処理物の温度管理については、被処理物の温度
を直接測定し、その値を元に加熱装置の出力を制御して
所定の被処理物温度を確保する方法がとられる。
行うに際しては、被処理物の温度管理は重要な運転管理
項目となっている。特に処理プロセスの温度や滞留時間
により性状が変化する、いわゆる熱敏感性粉粒体の処理
においては、被処理物の温度と保持時間が重要となる。
ここで被処理物の温度管理については、被処理物の温度
を直接測定し、その値を元に加熱装置の出力を制御して
所定の被処理物温度を確保する方法がとられる。
【０００３】ところで、粉粒体を連続的に焼成や乾燥を
行う装置としては、回転方式の加熱装置が多く用いられ
ている。図３に示すようにこの方式の装置での主体は回
転を与えられて運転される円筒状の炉心管１の部分であ
り、その一端から投入された被処理物は、円筒内を通過
する間、内部を通過する熱風あるいは円筒の加熱壁面と
有効に接触して焼成もしくは乾燥される。ここで被処理
物の温度測定の方法としては、円筒の一端から熱伝対な
どの接触式の測温装置３を挿入して測定する方法が採ら
れる。
行う装置としては、回転方式の加熱装置が多く用いられ
ている。図３に示すようにこの方式の装置での主体は回
転を与えられて運転される円筒状の炉心管１の部分であ
り、その一端から投入された被処理物は、円筒内を通過
する間、内部を通過する熱風あるいは円筒の加熱壁面と
有効に接触して焼成もしくは乾燥される。ここで被処理
物の温度測定の方法としては、円筒の一端から熱伝対な
どの接触式の測温装置３を挿入して測定する方法が採ら
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの従来の測温
方式では、接触式測温装置３が片持ち支持の構造である
ため測温装置支持４の材質によっては、挿入長に限界が
ある。また、接触方式であるため被処理物との接触、摩
耗により被処理物への異物混入の問題もある。このよう
に、従来技術によっては回転炉内で加熱される被処理物
の温度測定を行うのは非常に困難であった。
方式では、接触式測温装置３が片持ち支持の構造である
ため測温装置支持４の材質によっては、挿入長に限界が
ある。また、接触方式であるため被処理物との接触、摩
耗により被処理物への異物混入の問題もある。このよう
に、従来技術によっては回転炉内で加熱される被処理物
の温度測定を行うのは非常に困難であった。
【０００５】本発明は、このような従来技術の問題に鑑
みてなされたものであって、粉粒体、特に不純物の混入
を嫌う被処理物、例えば高純度セラミックス原料等の焼
成や乾燥を行うに際して一般的に用いられる回転方式の
加熱装置における被処理物の温度測定方法の提供を目的
としている。
みてなされたものであって、粉粒体、特に不純物の混入
を嫌う被処理物、例えば高純度セラミックス原料等の焼
成や乾燥を行うに際して一般的に用いられる回転方式の
加熱装置における被処理物の温度測定方法の提供を目的
としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
に鑑み鋭意検討を重ねた結果、本発明に到達した。すな
わち、本発明は、透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転
炉における被処理物の温度測定において、炉心管の半径
方向の外部より赤外線放射温度計を用いることを特徴と
する回転炉内の被処理物の温度測定方法、透明石英ガラ
ス製の炉心管を持つ回転炉であって、炉心管の半径方向
の外部に赤外線放射温度計を設けてなる回転炉、並びに
透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉により加熱処理
を行うに際し、炉心管の半径方向の外部より赤外線放射
温度計を用いて被処理物の温度測定を行うことを特徴と
する被加熱物の製造方法、に存する。
に鑑み鋭意検討を重ねた結果、本発明に到達した。すな
わち、本発明は、透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転
炉における被処理物の温度測定において、炉心管の半径
方向の外部より赤外線放射温度計を用いることを特徴と
する回転炉内の被処理物の温度測定方法、透明石英ガラ
ス製の炉心管を持つ回転炉であって、炉心管の半径方向
の外部に赤外線放射温度計を設けてなる回転炉、並びに
透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉により加熱処理
を行うに際し、炉心管の半径方向の外部より赤外線放射
温度計を用いて被処理物の温度測定を行うことを特徴と
する被加熱物の製造方法、に存する。
【０００７】本発明により、回転炉内における被処理物
の温度測定を行うに際し、直接被処理物の温度を測定す
ることなく、回転する透明石英ガラス製の炉心管の半径
方向から外壁を通して、透明石英ガラスを透過する波長
域の赤外線を用いて、非接触法式で炉心管内の被処理物
の温度を測定することができるため、回転状態の回転炉
内の被処理物の温度を容易に測定することができ、また
測定時の異物混入等のおそれもない。
の温度測定を行うに際し、直接被処理物の温度を測定す
ることなく、回転する透明石英ガラス製の炉心管の半径
方向から外壁を通して、透明石英ガラスを透過する波長
域の赤外線を用いて、非接触法式で炉心管内の被処理物
の温度を測定することができるため、回転状態の回転炉
内の被処理物の温度を容易に測定することができ、また
測定時の異物混入等のおそれもない。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明における回転炉の構造とし
ては、従来より粉粒体の焼成や乾燥を行うに際して一般
的に用いられる、回転方式の加熱装置の構造が制限なく
用いることができる。好ましくはコンタミを防止するた
めに、炉心管の外部に加熱体を設けた外熱式の回転炉と
する。ここで本発明においては、炉心管を透明石英ガラ
ス製とする。この場合、炉心管全体を透明ガラス製とし
てもよいが、被処理物の少なくとも一部と温度計とを結
ぶ線上の部位を透明石英ガラス製とし、被処理物が発す
る波長を透過しうる構造であれば、本発明を実施するこ
とができる。例えば、覗き窓のように、透明石英ガラス
をはめ込む構造とした場合には、断続的に被処理物の温
度と炉心管の温度とが交互に測定されることになるが、
温度測定は可能である。しかしながら、一般的には炉心
管材質から被処理物へのの異物の混入等を防ぐため等の
理由により、炉心管全体を透明石英ガラス製とするのが
望ましい。
ては、従来より粉粒体の焼成や乾燥を行うに際して一般
的に用いられる、回転方式の加熱装置の構造が制限なく
用いることができる。好ましくはコンタミを防止するた
めに、炉心管の外部に加熱体を設けた外熱式の回転炉と
する。ここで本発明においては、炉心管を透明石英ガラ
ス製とする。この場合、炉心管全体を透明ガラス製とし
てもよいが、被処理物の少なくとも一部と温度計とを結
ぶ線上の部位を透明石英ガラス製とし、被処理物が発す
る波長を透過しうる構造であれば、本発明を実施するこ
とができる。例えば、覗き窓のように、透明石英ガラス
をはめ込む構造とした場合には、断続的に被処理物の温
度と炉心管の温度とが交互に測定されることになるが、
温度測定は可能である。しかしながら、一般的には炉心
管材質から被処理物へのの異物の混入等を防ぐため等の
理由により、炉心管全体を透明石英ガラス製とするのが
望ましい。
【０００９】被処理物としては透明ガラス製炉心管を持
つ回転炉で加熱処理に供される粉粒体であれば、特に制
限なく適用することができる。特に、不純物の混入を嫌
う、高純度セラミックス粉粒体、高純度ガラス粉粒体等
に好適に適用することができる。
つ回転炉で加熱処理に供される粉粒体であれば、特に制
限なく適用することができる。特に、不純物の混入を嫌
う、高純度セラミックス粉粒体、高純度ガラス粉粒体等
に好適に適用することができる。
【００１０】本発明においては、円筒炉心管の半径方向
の外部より赤外線放射温度計を用いて温度測定を行う。
ここで、炉心管の「半径方向の外部」とは、炉心管の外
部であって、温度計の先端部分と炉心管の中心軸とを結
んだ直線が、炉心管の半径方向である場所をいう。赤外
線放射温度計の位置は、円筒炉心管の半径方向の外部で
あれば特に限定されず本発明を実施することができ、例
えば炉心管外部に設置された加熱体に貫通孔を設け、更
に外部に設置した赤外線放射温度計により測温すること
も可能である。この場合、加熱体に設ける貫通孔は、直
径２０ｍｍ程度のものでも十分に炉心管内の被処理物を
測温することができることが、本発明者らにより確認さ
れている。本発明で用いられる赤外線放射温度計として
は特に限定されず、被処理物の発する赤外線の波長を測
定する形式のものであればいずれも用いることができ
る。
の外部より赤外線放射温度計を用いて温度測定を行う。
ここで、炉心管の「半径方向の外部」とは、炉心管の外
部であって、温度計の先端部分と炉心管の中心軸とを結
んだ直線が、炉心管の半径方向である場所をいう。赤外
線放射温度計の位置は、円筒炉心管の半径方向の外部で
あれば特に限定されず本発明を実施することができ、例
えば炉心管外部に設置された加熱体に貫通孔を設け、更
に外部に設置した赤外線放射温度計により測温すること
も可能である。この場合、加熱体に設ける貫通孔は、直
径２０ｍｍ程度のものでも十分に炉心管内の被処理物を
測温することができることが、本発明者らにより確認さ
れている。本発明で用いられる赤外線放射温度計として
は特に限定されず、被処理物の発する赤外線の波長を測
定する形式のものであればいずれも用いることができ
る。
【００１１】
【作用】本発明は、上記の様に回転する透明石英ガラス
製の炉心管の外壁を通して、非接触方式で炉心管内の被
処理物の温度を測定することができるため、任意の位置
で測定が可能であり、温度測定装置が直接被処理物と接
触することがないため接触や摩耗による不純物の混入の
問題がない。
製の炉心管の外壁を通して、非接触方式で炉心管内の被
処理物の温度を測定することができるため、任意の位置
で測定が可能であり、温度測定装置が直接被処理物と接
触することがないため接触や摩耗による不純物の混入の
問題がない。
【００１２】
【実施例】次に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の測定方法を用いた回転方式の加熱
装置の一例の全体構造図を示す断面図である。図２は図
１に示した加熱装置における測温装置の設置位置Ａ−Ａ
線に沿う断面図である。図中、１は炉心管、２は加熱
体、３は接触式の測温装置、４は測温装置支持、５は貫
通孔、６は粉面、７は非接触式の測温装置、８は被処理
物である。
する。図１は本発明の測定方法を用いた回転方式の加熱
装置の一例の全体構造図を示す断面図である。図２は図
１に示した加熱装置における測温装置の設置位置Ａ−Ａ
線に沿う断面図である。図中、１は炉心管、２は加熱
体、３は接触式の測温装置、４は測温装置支持、５は貫
通孔、６は粉面、７は非接触式の測温装置、８は被処理
物である。
【００１３】図１に示す加熱装置は、透明石英ガラス製
の炉心管１の外側に５分割した加熱体２を配設した炉で
あって、その加熱体に図２に示すように炉心管１の中心
方向に向い、被処理物である高純度セラミックス粉の転
動によって形成される粉面６に対して直角方向に直径５
ｍｍの貫通孔５を設け、その孔の先端部に非接触式測温
装置７を配設して透明石英ガラス製の炉心管１内の被処
理物である高純度セラミックス粉の温度を測定した。
の炉心管１の外側に５分割した加熱体２を配設した炉で
あって、その加熱体に図２に示すように炉心管１の中心
方向に向い、被処理物である高純度セラミックス粉の転
動によって形成される粉面６に対して直角方向に直径５
ｍｍの貫通孔５を設け、その孔の先端部に非接触式測温
装置７を配設して透明石英ガラス製の炉心管１内の被処
理物である高純度セラミックス粉の温度を測定した。
【００１４】回転炉方式の加熱装置および測温装置の仕
様は下記の通りである。
様は下記の通りである。
【００１５】更に、本発明における温度測定方法による
測定精度を確認するため、図３に示した従来の接触式測
温方式を併用して比較した結果、接触式測温方式の測定
値に対して±１０℃以下の精度で被処理物の温度を測定
することができた。
測定精度を確認するため、図３に示した従来の接触式測
温方式を併用して比較した結果、接触式測温方式の測定
値に対して±１０℃以下の精度で被処理物の温度を測定
することができた。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる回
転炉内の被処理物の温度測定方法によれば透明石英ガラ
ス製の炉心管を持つ回転炉の炉心管内の被処理物を、非
接触方式で測定できるため、被処理物への不純物の混入
がなく、加熱体に最大でも直径２０ｍｍ程度の貫通孔を
設けるのみで測定が可能であるため、加熱体の分割設置
などを行えば炉の軸方向に対して任意の位置で測定が可
能となる。
転炉内の被処理物の温度測定方法によれば透明石英ガラ
ス製の炉心管を持つ回転炉の炉心管内の被処理物を、非
接触方式で測定できるため、被処理物への不純物の混入
がなく、加熱体に最大でも直径２０ｍｍ程度の貫通孔を
設けるのみで測定が可能であるため、加熱体の分割設置
などを行えば炉の軸方向に対して任意の位置で測定が可
能となる。
【００１７】従って、透明石英ガラス製の炉心管を持つ
回転方式の加熱装置において被処理物の温度測定可能で
あるため、運転面、製品品質確保ための温度管理の面で
工業的に有用である。
回転方式の加熱装置において被処理物の温度測定可能で
あるため、運転面、製品品質確保ための温度管理の面で
工業的に有用である。
【図１】本発明の測定方法を用いた回転方式の加熱装置
の一例の全体構造図を示す断面図
の一例の全体構造図を示す断面図
【図２】図１の測温装置の設置位置Ａ−Ａ線に沿う断面
図
図
【図３】従来例の測定方法を用いた回転方式の加熱装置
の全体構造図を示す断面図
の全体構造図を示す断面図
１ 炉心管 ２ 加熱体 ３ 接触式の測温装置 ４ 測温装置支持 ５ 貫通孔 ６ 粉面 ７ 非接触式の測温装置
Claims (4)
- 【請求項１】透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉に
おける被処理物の温度測定において、炉心管の半径方向
の外部より赤外線放射温度計を用いることを特徴とする
回転炉内の被処理物の温度測定方法。 - 【請求項２】透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉で
あって、炉心管の半径方向の外部に赤外線放射温度計を
設けてなる回転炉。 - 【請求項３】透明石英ガラス製の炉心管を持つ回転炉に
より加熱処理を行うに際し、炉心管の半径方向の外部よ
り赤外線放射温度計を用いて被処理物の温度測定を行う
ことを特徴とする被加熱物の製造方法。 - 【請求項４】赤外線放射温度計が、炉心管の外部に設け
られた加熱体の更に外部に設置されており、該加熱体に
設けられた貫通孔の先端部に設置されていることを特徴
とする請求項１記載の温度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24350996A JPH1090071A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 回転炉心管内の被処理物の温度測定方法、回転炉及び被加熱物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24350996A JPH1090071A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 回転炉心管内の被処理物の温度測定方法、回転炉及び被加熱物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090071A true JPH1090071A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17104968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24350996A Pending JPH1090071A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 回転炉心管内の被処理物の温度測定方法、回転炉及び被加熱物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090071A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005037098A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| JP2016069500A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ニデック | 染色装置 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP24350996A patent/JPH1090071A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005037098A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| JP2016069500A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ニデック | 染色装置 |
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