JPH1090304A - 高周波領域で使用するプロ−ブ - Google Patents
高周波領域で使用するプロ−ブInfo
- Publication number
- JPH1090304A JPH1090304A JP26121396A JP26121396A JPH1090304A JP H1090304 A JPH1090304 A JP H1090304A JP 26121396 A JP26121396 A JP 26121396A JP 26121396 A JP26121396 A JP 26121396A JP H1090304 A JPH1090304 A JP H1090304A
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- Japan
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- probe
- ground
- electrodes
- grounds
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Abstract
(57)【要約】
【課題】インピ−ダンスを所望の特性に容易に設定する
ことができると共に、微小なピッチ間隔を検査するフア
インピッチのプロ−ブに構成しても、高周波のロス及び
直流抵抗値を小さくすることができる積層プロ−ブを提
供する。 【解決手段】電極及びグラウンドを金属製薄板で形成
し、該電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサ
ンドイッチする。
ことができると共に、微小なピッチ間隔を検査するフア
インピッチのプロ−ブに構成しても、高周波のロス及び
直流抵抗値を小さくすることができる積層プロ−ブを提
供する。 【解決手段】電極及びグラウンドを金属製薄板で形成
し、該電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサ
ンドイッチする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微小なピッチ間
隔の集積回路、面実装デバイス等の回路検査を高周波領
域で行うことができると共に、回路インピ−ダンスが所
望の特性インピ−ダンスになるように容易に構成するこ
とのできる高周波領域で使用するプローブに関するもの
である。
隔の集積回路、面実装デバイス等の回路検査を高周波領
域で行うことができると共に、回路インピ−ダンスが所
望の特性インピ−ダンスになるように容易に構成するこ
とのできる高周波領域で使用するプローブに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、高周波領域で使用するプロ−ブと
しては、中心の細長い針金状の電極を、誘電体を介し
て、グラウンドとなる筒体に内装し、全体を細長い円筒
状に形成した同軸プロ−ブが知られていた。
しては、中心の細長い針金状の電極を、誘電体を介し
て、グラウンドとなる筒体に内装し、全体を細長い円筒
状に形成した同軸プロ−ブが知られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の同軸プロー
ブは、コネクタ−を介して測定しようとする回路に接触
させるので、構造が複雑で高価になるほか、最近開発さ
れてきた微小なピッチ間隔の高集積回路等を検査するプ
ロ−ブとするには、加工が極めて困難であると共に機械
的に弱くなり、しかも高周波のロスが増大する問題があ
った。そればかりか、コネクタ−を介在させているの
で、インピ−ダンスのコントロ−ルが難しい問題があっ
た。
ブは、コネクタ−を介して測定しようとする回路に接触
させるので、構造が複雑で高価になるほか、最近開発さ
れてきた微小なピッチ間隔の高集積回路等を検査するプ
ロ−ブとするには、加工が極めて困難であると共に機械
的に弱くなり、しかも高周波のロスが増大する問題があ
った。そればかりか、コネクタ−を介在させているの
で、インピ−ダンスのコントロ−ルが難しい問題があっ
た。
【０００４】これは、上記従来のプロ−ブにバネ性を付
与させようとすると、先端ニ−ドル部は、ある程度の長
さとする必要があったので、インダクタンス成分が増大
し、これが高周波信号の伝達ロスが増大する原因となっ
ていたためである。コイルスプリングを介装すれば、先
端ニ−ドル部を短くすることは可能であるが、これで
は、微小なピッチ間隔を検査するプロ−ブとすることは
極めて困難であるほか、コイルスプリングを介在させた
ことにより同様に高周波のロスが増大する問題があっ
た。
与させようとすると、先端ニ−ドル部は、ある程度の長
さとする必要があったので、インダクタンス成分が増大
し、これが高周波信号の伝達ロスが増大する原因となっ
ていたためである。コイルスプリングを介装すれば、先
端ニ−ドル部を短くすることは可能であるが、これで
は、微小なピッチ間隔を検査するプロ−ブとすることは
極めて困難であるほか、コイルスプリングを介在させた
ことにより同様に高周波のロスが増大する問題があっ
た。
【０００５】この発明は、このような問題点を解決しよ
うとするものであり、インピ−ダンスを所望の特性に容
易に設定することができると共に、微小なピッチ間隔を
検査するフアインピッチのプロ−ブに構成しても、高周
波のロス及び直流抵抗値を小さくすることができる積層
プロ−ブを提供することを、その目的とする。
うとするものであり、インピ−ダンスを所望の特性に容
易に設定することができると共に、微小なピッチ間隔を
検査するフアインピッチのプロ−ブに構成しても、高周
波のロス及び直流抵抗値を小さくすることができる積層
プロ−ブを提供することを、その目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的に沿う本発明の
構成は、電極及びグラウンドを金属製薄板で形成し、該
電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサンドイ
ッチしたことを特徴とする。
構成は、電極及びグラウンドを金属製薄板で形成し、該
電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサンドイ
ッチしたことを特徴とする。
【０００７】要するに本発明は、電極とグラウンドとを
金属製薄板で形成し、電極をグラウンドでサンドイッチ
することによって、グラウンドの間に高周波伝送路を形
成することができるようにすると共に、誘導体の厚さと
電極の幅とを調整することによって、所望のインピ−ダ
ンスに容易に設定し得るようにしたことを要旨とするも
のである。尚、電極、グラウンド及び誘導体とを同一平
面とするか、電極及びグラウンドを誘導体から突出さ
せ、電極とグラウンドとを面一とすることによって、電
極からのノイズの進入量を極端に減少させることができ
る。
金属製薄板で形成し、電極をグラウンドでサンドイッチ
することによって、グラウンドの間に高周波伝送路を形
成することができるようにすると共に、誘導体の厚さと
電極の幅とを調整することによって、所望のインピ−ダ
ンスに容易に設定し得るようにしたことを要旨とするも
のである。尚、電極、グラウンド及び誘導体とを同一平
面とするか、電極及びグラウンドを誘導体から突出さ
せ、電極とグラウンドとを面一とすることによって、電
極からのノイズの進入量を極端に減少させることができ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明のストリップライ
ン型プロ−ブの実施例を示す斜視図であり、金属製薄板
状電極１を誘導体２を介して薄板状グラウンド（ＧＮ
Ｄ）３，３でサンドイッチし、前記電極１とグラウンド
３，３の被測定物との接触面を、誘導体２と同一平面と
した例を示す。尚、誘導体２の厚さと、電極１の幅（図
７のｂ）は、高周波領域で使用し得る長さとしている。
に基づいて説明する。図１は、本発明のストリップライ
ン型プロ−ブの実施例を示す斜視図であり、金属製薄板
状電極１を誘導体２を介して薄板状グラウンド（ＧＮ
Ｄ）３，３でサンドイッチし、前記電極１とグラウンド
３，３の被測定物との接触面を、誘導体２と同一平面と
した例を示す。尚、誘導体２の厚さと、電極１の幅（図
７のｂ）は、高周波領域で使用し得る長さとしている。
【０００９】電極１は、誘導体２を介してグラウンド
３，３で挟持されているので、グラウンド３，３間に高
周波の伝送線路が形成されるようになっている。誘導体
２は、空気であっても良く、プロ−ブの先端部分の誘導
体２を空気とし、根元は隣接するプロ−ブを保持する目
的から、樹脂等から形成したフイルム若しくは板体とし
ても良い。また誘導体２は、電極１とグラウンド３，３
とを保持できるものであるなら平面でなくとも良く、例
えば波板状のフイルムであっても差し支えない。
３，３で挟持されているので、グラウンド３，３間に高
周波の伝送線路が形成されるようになっている。誘導体
２は、空気であっても良く、プロ−ブの先端部分の誘導
体２を空気とし、根元は隣接するプロ−ブを保持する目
的から、樹脂等から形成したフイルム若しくは板体とし
ても良い。また誘導体２は、電極１とグラウンド３，３
とを保持できるものであるなら平面でなくとも良く、例
えば波板状のフイルムであっても差し支えない。
【００１０】上記電極１をグラウンド３，３で挟持した
プロ−ブを、誘導体２を介して多数積層することによっ
て、積層プロ−ブとすることができる。フアインピッチ
の積層プロ−ブとするには、電極１及びグラウンド２の
薄板厚さは、０．２ｍｍ以下、好ましくは０．１２ｍｍ
以下とするのが良い。このような薄板は、鋼、銅合金、
タングステンまたは焼入れ帯鋼板から形成するのが好ま
しく、このような材質から形成すると、０．０２ｍｍと
いう超薄板に容易に形成することができる。
プロ−ブを、誘導体２を介して多数積層することによっ
て、積層プロ−ブとすることができる。フアインピッチ
の積層プロ−ブとするには、電極１及びグラウンド２の
薄板厚さは、０．２ｍｍ以下、好ましくは０．１２ｍｍ
以下とするのが良い。このような薄板は、鋼、銅合金、
タングステンまたは焼入れ帯鋼板から形成するのが好ま
しく、このような材質から形成すると、０．０２ｍｍと
いう超薄板に容易に形成することができる。
【００１１】図２は、本発明の他の実施例を示すもので
あり、バネ性を有する薄板から形成した電極１とグラウ
ンド３，３の先端ニ−ドル部４，５，５を誘導体２から
若干突出させ、電極１とグラウンド３，３の被測定物へ
の接触部を面一とした例を示す。上記のように構成すれ
ば、測定する回路のＧＮＤがどのように配置されていて
も、電極１とグラウンド３，３のニ−ドル部４，５，５
が上下及び前後方向に自在に弾性屈曲するので、プロ−
ブのグラウンド３，３と回路のＧＮＤが接続し易くな
る。
あり、バネ性を有する薄板から形成した電極１とグラウ
ンド３，３の先端ニ−ドル部４，５，５を誘導体２から
若干突出させ、電極１とグラウンド３，３の被測定物へ
の接触部を面一とした例を示す。上記のように構成すれ
ば、測定する回路のＧＮＤがどのように配置されていて
も、電極１とグラウンド３，３のニ−ドル部４，５，５
が上下及び前後方向に自在に弾性屈曲するので、プロ−
ブのグラウンド３，３と回路のＧＮＤが接続し易くな
る。
【００１２】また、電極１の接触部は、グラウンド３，
３と面一となっているので、電極１からのノイズの進入
量を減少させることができる。また電極１は、バネ性を
有する薄板で形成しているので、電極１は、測定する回
路の電極若しくはパタ−ン等と接触して、自在に屈曲す
ることができるから、電極若しくはパタ−ン等が回路に
凹凸状に配置されていても、支障なく検査することがで
きる。
３と面一となっているので、電極１からのノイズの進入
量を減少させることができる。また電極１は、バネ性を
有する薄板で形成しているので、電極１は、測定する回
路の電極若しくはパタ−ン等と接触して、自在に屈曲す
ることができるから、電極若しくはパタ−ン等が回路に
凹凸状に配置されていても、支障なく検査することがで
きる。
【００１３】図３〜図６は、本発明の電極１とグラウン
ド３の例を示す側面図である。図３に示すように、電極
１とグラウンド３の先端ニ−ドル部４，５の後方には、
それぞれ切り欠き６，６が形成されている。従って、先
端ニ−ドル部４，５は、矢印で示すように上下方向に弾
性移動する。尚、図中７は、基板接続用端子部であり、
先端ニ−ドル部４（５）と同様に形成されている。この
ように端子部を形成すると、リ−ド線を使用せずに、直
接基板に弾性接触により接続することができる。しかし
ながら、図４に示すように、リ−ド線接続用の端子部９
を形成し、該端子部９と基板とをリ−ド線で接続しても
勿論良い。
ド３の例を示す側面図である。図３に示すように、電極
１とグラウンド３の先端ニ−ドル部４，５の後方には、
それぞれ切り欠き６，６が形成されている。従って、先
端ニ−ドル部４，５は、矢印で示すように上下方向に弾
性移動する。尚、図中７は、基板接続用端子部であり、
先端ニ−ドル部４（５）と同様に形成されている。この
ように端子部を形成すると、リ−ド線を使用せずに、直
接基板に弾性接触により接続することができる。しかし
ながら、図４に示すように、リ−ド線接続用の端子部９
を形成し、該端子部９と基板とをリ−ド線で接続しても
勿論良い。
【００１４】切り欠き６，６の長さ（深さ）を選択する
ことによって、先端ニ−ドル部４（５）が弾性移動する
弾性力（バネ圧）を、所望の値に設定することができ
る。また、切り欠き６，６の幅を選択することによっ
て、先端ニ−ドル部４（５）の弾性移動するストロ−ク
を調整することができる。
ことによって、先端ニ−ドル部４（５）が弾性移動する
弾性力（バネ圧）を、所望の値に設定することができ
る。また、切り欠き６，６の幅を選択することによっ
て、先端ニ−ドル部４（５）の弾性移動するストロ−ク
を調整することができる。
【００１５】図３においては、電極１（グラウンド３）
に、４個の開口１０が形成されている。該開口１０に、
それぞれ積層用ガイドピンを嵌挿し、同様に開口を形成
した薄板状の誘電体２を介してグラウンド３と電極１と
を交互に積層し、ガイドピンの両端を積層したプロ−ブ
を収容する枠体に固定することによって、多数の電極１
を配設したプロ−ブを形成することができる。
に、４個の開口１０が形成されている。該開口１０に、
それぞれ積層用ガイドピンを嵌挿し、同様に開口を形成
した薄板状の誘電体２を介してグラウンド３と電極１と
を交互に積層し、ガイドピンの両端を積層したプロ−ブ
を収容する枠体に固定することによって、多数の電極１
を配設したプロ−ブを形成することができる。
【００１６】図３及び図４に示す実施例では、先端ニ−
ドル部４（５）は、尖った形状に形成されているが、図
５に示すように、先端に細長い突起を連設したものであ
っても、図６に示すように、略Ｓ字形に形成したもので
あっても差し支えない。
ドル部４（５）は、尖った形状に形成されているが、図
５に示すように、先端に細長い突起を連設したものであ
っても、図６に示すように、略Ｓ字形に形成したもので
あっても差し支えない。
【００１７】図７は、本発明の他の実施例を示すもので
あり、グラウンド３，３間に、誘導体２，２を介して、
２個の電極１′，１′′を配設し、電極１′，１′′間
に誘導体２を介在させた例を示す。前記図１及び図２に
示すストリップライン型プロ−ブでは、グラウンド３，
３間には、１個の電極を配設しているが、上記実施例で
は、電極を複数（１′，１′′）配設している。
あり、グラウンド３，３間に、誘導体２，２を介して、
２個の電極１′，１′′を配設し、電極１′，１′′間
に誘導体２を介在させた例を示す。前記図１及び図２に
示すストリップライン型プロ−ブでは、グラウンド３，
３間には、１個の電極を配設しているが、上記実施例で
は、電極を複数（１′，１′′）配設している。
【００１８】図７に示すように電極を複数配設すると、
被測定物のピッチが狭くなった場合でも、グラウンド
３，３間の距離をとることができるので、ストリップラ
イン幅を広くすることができるから、機械的性能の劣化
が起こり難くなると共に、積層プロ−ブの製作も容易と
なる。また、電極１′と電極１′′との距離を短くする
ことができるから、被測定物のフアインピッチに対応し
たプロ−ブを容易に構成することができる。
被測定物のピッチが狭くなった場合でも、グラウンド
３，３間の距離をとることができるので、ストリップラ
イン幅を広くすることができるから、機械的性能の劣化
が起こり難くなると共に、積層プロ−ブの製作も容易と
なる。また、電極１′と電極１′′との距離を短くする
ことができるから、被測定物のフアインピッチに対応し
たプロ−ブを容易に構成することができる。
【００１９】しかしながら、電極を複数配設する場合
は、アイソレ−ションは、図１及び図２に示すプロ−ブ
よりも悪くなる。アイソレ−ション特性が問題となる場
合は、図８に示すように、電極１′と電極１′′とを異
なる形状とし、電極１′と電極１′′との高さを変える
（図８中の高さの差ａ）ようにすると良い。
は、アイソレ−ションは、図１及び図２に示すプロ−ブ
よりも悪くなる。アイソレ−ション特性が問題となる場
合は、図８に示すように、電極１′と電極１′′とを異
なる形状とし、電極１′と電極１′′との高さを変える
（図８中の高さの差ａ）ようにすると良い。
【００２０】本発明によれば、電極を誘導体を介してグ
ラウンドで挟持しているので、グラウンド間に高周波伝
送線路を形成することができるから、高周波領域で使用
するプロ−ブとすることができる。また本発明によれ
ば、コネクタ−を使用しないので、誘導体の厚さと電極
の幅（図８中のｂ）を選択することによって、回路イン
ピ−ダンスが所望の特性インピ−ダンスになるように容
易に設定することができる。
ラウンドで挟持しているので、グラウンド間に高周波伝
送線路を形成することができるから、高周波領域で使用
するプロ−ブとすることができる。また本発明によれ
ば、コネクタ−を使用しないので、誘導体の厚さと電極
の幅（図８中のｂ）を選択することによって、回路イン
ピ−ダンスが所望の特性インピ−ダンスになるように容
易に設定することができる。
【００２１】また、電極１，１′，１′′とグラウンド
３，３とは、面一とすることができるので、電極からの
ノイズの進入を少なくすることができ、高周波のロスを
減少させることができる。更に、電極１及びグラウンド
３を薄板で形成し、誘導体２を必要最小限の厚さに設定
することができるので、多数の電極を配設した積層プロ
−ブとした場合に、微小なピッチ間隔を検査するフアイ
ンピッチのプロ−ブに容易に構成することができる。
３，３とは、面一とすることができるので、電極からの
ノイズの進入を少なくすることができ、高周波のロスを
減少させることができる。更に、電極１及びグラウンド
３を薄板で形成し、誘導体２を必要最小限の厚さに設定
することができるので、多数の電極を配設した積層プロ
−ブとした場合に、微小なピッチ間隔を検査するフアイ
ンピッチのプロ−ブに容易に構成することができる。
【００２２】本発明のプロ−ブは、スイッチ、リレ−及
びコネクタ等の電気部品の接点とすることができる。電
気部品の接点とすることによって、フアインピッチ、長
寿命、小接点容量及び電気長が変わらない等の利点が得
られる。この接点をリレ−の内部に用いることによっ
て、小型、長寿命及び小接点容量のリレ−が構成でき、
このリレ−を組み合わせることによって、小型のスイッ
チマトリックス等を構成することができる。
びコネクタ等の電気部品の接点とすることができる。電
気部品の接点とすることによって、フアインピッチ、長
寿命、小接点容量及び電気長が変わらない等の利点が得
られる。この接点をリレ−の内部に用いることによっ
て、小型、長寿命及び小接点容量のリレ−が構成でき、
このリレ−を組み合わせることによって、小型のスイッ
チマトリックス等を構成することができる。
【００２３】また、コネクタは、現在すり割りの付いた
小さめの金属穴に、丸棒状の金属を差し込む方法が取ら
れているが、差し込む際の位置合わせが難しいため、自
動化できなかったり、また、嵌合後の位置が不安定なた
め、電気長が変化したりする欠点がある。本発明のプロ
−ブの構造を、コネクタの接点部分とすることによっ
て、上記問題を解決することができる。
小さめの金属穴に、丸棒状の金属を差し込む方法が取ら
れているが、差し込む際の位置合わせが難しいため、自
動化できなかったり、また、嵌合後の位置が不安定なた
め、電気長が変化したりする欠点がある。本発明のプロ
−ブの構造を、コネクタの接点部分とすることによっ
て、上記問題を解決することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、回
路インピ−ダンスを所望の特性インピ−ダンスに容易に
設定することができるほか、高周波のロス及び直流抵抗
値を小さくすることができると共に、安価に容易に高周
波領域で使用するプロ−ブとすることができ、微小ピッ
チ間隔の高集積回路、面実装デバイス等の回路検査を支
障なく行うことができるというこの種従来の高周波領域
で使用するプロ−ブには全く見られない著しく顕著な効
果を奏する。
路インピ−ダンスを所望の特性インピ−ダンスに容易に
設定することができるほか、高周波のロス及び直流抵抗
値を小さくすることができると共に、安価に容易に高周
波領域で使用するプロ−ブとすることができ、微小ピッ
チ間隔の高集積回路、面実装デバイス等の回路検査を支
障なく行うことができるというこの種従来の高周波領域
で使用するプロ−ブには全く見られない著しく顕著な効
果を奏する。
【００２５】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図３】本発明に使用する電極（及びＧＮＤ）の例を示
す側面図である。
す側面図である。
【図４】本発明に使用する電極（及びＧＮＤ）の他の例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図５】本発明に使用する電極（及びＧＮＤ）の他の例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図６】本発明に使用する電極（及びＧＮＤ）の他の例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図８】図７の電極を示す側面図である。
１，１′，１′′ 電極 ２ 誘導体 ３ グラウンド（ＧＮＤ）
Claims (12)
- 【請求項１】電極及びグラウンドを金属製薄板で形成
し、該電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサ
ンドイッチしたことを特徴とする高周波領域で使用する
プローブ。 - 【請求項２】前記電極を単一とするか或は複数とし、複
数の場合は電極の間に誘導体を介在させてなる請求項１
に記載のプローブ。 - 【請求項３】前記複数の電極の形状を互いに異なる形状
とし、複数のそれぞれの電極の高さを変えてアイソレ−
ション特性を改善させてなる請求項２に記載のプロー
ブ。 - 【請求項４】前記電極とグラウンドとの被測定物への接
触部を面一となるように形成してなる請求項２に記載の
プローブ。 - 【請求項５】前記電極とグラウンドとを、バネ性を有す
る薄板で形成し、該薄板に連設した先端ニ−ドル部が、
前記誘電体から若干突出するように形成し、前記先端ニ
−ドル部は、弾性屈曲若しくは前後方向に弾性移動し得
るように構成してなる請求項４に記載のプローブ。 - 【請求項６】前記プロ−ブを、誘電体を介して多数積層
してなる請求項２または５に記載の積層プローブ。 - 【請求項７】前記薄板を、鋼、銅合金、タングステンま
たは焼入れ帯鋼板から形成してなる請求項１または６に
記載のプローブ。 - 【請求項８】前記電極とグラウンドとの先端ニ−ドル部
の後方の前記薄板に、切り欠きを形成し、前記先端ニ−
ドル部を該切り欠き方向に弾性移動し得るように構成し
てなる請求項５に記載のプローブ。 - 【請求項９】前記薄板の厚さが、０．１２ｍｍ以下であ
る請求項１または８に記載のプロ−ブ。 - 【請求項１０】前記誘電体の厚さと前記電極の幅とを選
択することによって、回路インピ−ダンスが所望の特性
インピ−ダンスになるように設定してなる請求項１また
は６に記載のプローブ。 - 【請求項１１】電極及びグラウンドを金属製薄板で形成
し、該電極を誘電体（絶縁体）を介してグラウンドでサ
ンドイッチしたことを特徴とする電気部品の接点。 - 【請求項１２】前記電気部品の接点が、スイッチ、リレ
−またはコネクタである請求項１１に記載の電気部品の
接点。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26121396A JPH1090304A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 高周波領域で使用するプロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26121396A JPH1090304A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 高周波領域で使用するプロ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090304A true JPH1090304A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17358722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26121396A Pending JPH1090304A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 高周波領域で使用するプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090304A (ja) |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP26121396A patent/JPH1090304A/ja active Pending
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Legal Events
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