JPH1091994A - Optical system for adjusting the tilt of the objective lens - Google Patents
Optical system for adjusting the tilt of the objective lensInfo
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- JPH1091994A JPH1091994A JP9199500A JP19950097A JPH1091994A JP H1091994 A JPH1091994 A JP H1091994A JP 9199500 A JP9199500 A JP 9199500A JP 19950097 A JP19950097 A JP 19950097A JP H1091994 A JPH1091994 A JP H1091994A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 干渉縞測定用レーザー光を発生するレーザー
照射系をオンして減光しない状態のままでも、対物レン
ズの傾き角検出精度を損なうことなく、対物レンズの傾
き調整を迅速に行うことのできる対物レンズの傾き調整
用光学系を提供する。
【解決手段】本発明に係わる対物レンズの傾き調整用光
学系は、レンズ部2の外周を囲むようにして設けられた
環状平面部3を有する対物レンズ1と、対物レンズ1の
傾き検出用の検出光を対物レンズ1の一面側から環状平
面部3に向けて照射する検出光照射系10と、環状平面
部3により反射された検出光を受光する検出光受光系1
1と、対物レンズ1に情報書込み・読取り用レーザー光
を干渉縞測定用レーザー光P2として対物レンズ1の他
面側から照射するレーザー照射系28とを備え、環状平
面部3から反射された検出光の検出位置を検出すること
により、対物レンズ1の基準面に対する傾きを検出する
ものであって、検出光受光系11に、干渉縞測定用レー
ザー光P2の透過を阻止しかつ検出光を透過させる偏光
板18を設けた。
(57) [Problem] To adjust the tilt of an objective lens without impairing the detection accuracy of the tilt angle of the objective lens even when a laser irradiation system that generates a laser beam for interference fringe measurement is turned on and is not dimmed. And an optical system for adjusting the inclination of the objective lens, which can quickly perform the adjustment. An optical system for adjusting the tilt of an objective lens according to the present invention includes an objective lens having an annular flat portion provided so as to surround an outer periphery of a lens portion, and detection light for detecting the tilt of the objective lens. From the one side of the objective lens 1 toward the annular flat portion 3, and a detection light receiving system 1 for receiving the detection light reflected by the annular flat portion 3
1 and a laser irradiation system 28 for irradiating the objective lens 1 with a laser beam for writing and reading information as a laser beam P2 for measuring interference fringes from the other side of the objective lens 1, and detecting the reflected laser beam from the annular flat portion 3. By detecting the light detection position, the inclination of the objective lens 1 with respect to the reference plane is detected. The detection light receiving system 11 blocks transmission of the interference fringe measurement laser light P2 and transmits the detection light. A polarizing plate 18 was provided.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基準面に対する対
物レンズの傾きを調整するのに用いられる対物レンズの
傾き調整用光学系に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical system for adjusting the tilt of an objective lens used for adjusting the tilt of the objective lens with respect to a reference plane.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、光ディスクを用いた情報書込
・読取り装置では、光ディスクの情報記録面に対して、
光ピックアップの対物レンズが傾いていると、いわゆる
コマ収差が生じて、光ディスクへの情報書込みを高密度
で行うことができないという問題があり、また、情報読
み取りの際にはノイズの原因となるため、光ディスクの
情報記録面に対する対物レンズの傾きが所定の規格内に
入るように、調整することが行われている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an information writing / reading apparatus using an optical disk, an information recording surface of the optical disk is
If the objective lens of the optical pickup is tilted, so-called coma aberration occurs, which makes it impossible to write information on the optical disk at a high density, and also causes noise when reading information. Adjustments have been made so that the inclination of the objective lens with respect to the information recording surface of the optical disk falls within a predetermined standard.
【0003】その対物レンズ1はモールド成形法により
成形され、その対物レンズ1には、図1(イ)に示すよ
うに、その傾きを検出するために、レンズ部2の外周を
囲むようにして環状平面部3が設けられ、その対物レン
ズ1の傾き調整は以下に説明する手順に従って行われ
る。The objective lens 1 is molded by a molding method. The objective lens 1 has an annular flat surface surrounding the outer periphery of a lens portion 2 in order to detect its inclination as shown in FIG. A unit 3 is provided, and the inclination of the objective lens 1 is adjusted according to the procedure described below.
【0004】まず、図1(ロ)に示すように、検出光照
射系としてのヘリウム−ネオンレーザー4から出射され
た検出光として直径1mm〜2mmのレーザービームP
を、そのヘリウム−ネオンレーザー4から約1mほど離
れた箇所に配置した光ディスク5の基準面としての情報
記録面6に照射し、その情報記録面6により反射された
レーザービームP´を検出光受光系としてのスクリーン
7により検出し、そのスクリーン7上でのレーザービー
ムP´の位置Q(図1(ホ)参照)を求める。なお、図
1(ロ)において、符号O1は光ディスク6の回転中心
である。First, as shown in FIG. 1B, a detection beam emitted from a helium-neon laser 4 as a detection light irradiation system is a laser beam P having a diameter of 1 mm to 2 mm as detection light.
Is irradiated on an information recording surface 6 as a reference surface of an optical disk 5 arranged at a position about 1 m away from the helium-neon laser 4, and the laser beam P ′ reflected by the information recording surface 6 is received as a detection light. The position is detected by the screen 7 as a system, and the position Q of the laser beam P ′ on the screen 7 (see FIG. In FIG. 1B, reference numeral O1 denotes a rotation center of the optical disk 6.
【0005】次に、図1(ハ)に示すように、対物レン
ズ1を光ディスク5の配設箇所と略同じ箇所に配設し、
図1(ニ)に拡大して示すようにレーザービームPを対
物レンズ1の一面側から環状平面部3の一部に照射し、
その環状平面部3により反射されたレーザービームP´
をスクリーン7により検出し、そのスクリーン7上での
レーザービームP´の位置Q´を求める。スクリーン7
には目盛り8が図1(ホ)に示すように設けられてお
り、光ディスク5により反射されたレーザービームP´
の位置Qと環状平面部3により反射されたレーザービー
ムP´の位置Q´との差を目盛り8により求め、この目
盛り上での差を角度に換算して、図1(ヘ)に示すよう
に、情報記録面6の法線Nに対する対物レンズ1の光軸
Oの傾き角θを検出している。Next, as shown in FIG. 1C, the objective lens 1 is disposed at substantially the same position as the position where the optical disk 5 is disposed.
As shown in an enlarged manner in FIG. 1D, a laser beam P is irradiated on a part of the annular flat portion 3 from one surface side of the objective lens 1,
The laser beam P 'reflected by the annular plane portion 3
Is detected by the screen 7, and the position Q ′ of the laser beam P ′ on the screen 7 is obtained. Screen 7
1 is provided with a scale 8 as shown in FIG.
The difference between the position Q and the position Q 'of the laser beam P' reflected by the annular plane portion 3 is obtained by the scale 8, and the difference on the scale is converted into an angle, as shown in FIG. In addition, the inclination angle θ of the optical axis O of the objective lens 1 with respect to the normal line N of the information recording surface 6 is detected.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
して、情報記録面に対して規格内に傾き調整された対物
レンズ1は、次に干渉計にセットされ、最終的に、情報
記録面6に対する干渉縞の形状を観察することによっ
て、その傾き角度が規格に合致しているか否かが判断さ
れる。これには、情報書込み・読取り用レーザー光を発
生するレーザー照射系が干渉縞測定用レーザー光を発生
する光源として用いられ、対物レンズにはその他面側か
ら干渉縞測定用レーザー光としての情報書込み・読取り
用のレーザー光が照射される。By the way, the objective lens 1 whose inclination has been adjusted within the standard with respect to the information recording surface in this way is then set in the interferometer, and finally the information recording surface 6 By observing the shape of the interference fringes with respect to, it is determined whether or not the inclination angle conforms to the standard. For this purpose, a laser irradiation system that generates laser light for writing and reading information is used as a light source that generates laser light for measuring interference fringes, and the objective lens is used to write information as laser light for measuring interference fringes from the other side.・ Reading laser light is applied.
【0007】その干渉縞が規格に合致していないときに
は、その対物レンズ1は対物レンズの傾き調整光学系を
用いて、その傾きが再調整されるのであるが、その対物
レンズ1の傾き再調整の際に、そのレーザー照射系をオ
フして検出光Pを対物レンズ1に照射するかあるいはレ
ーザー照射系をオンしたままで情報書込み・読取り用レ
ーザー光の光量を減光し、対物レンズ1により反射され
た検出光のスクリーン7上での位置を検出している。When the interference fringes do not conform to the standard, the tilt of the objective lens 1 is readjusted by using a tilt adjusting optical system of the objective lens, but the tilt of the objective lens 1 is readjusted. In this case, the laser irradiation system is turned off and the detection light P is irradiated on the objective lens 1, or the light amount of the information writing / reading laser light is reduced while the laser irradiation system is on, and the objective lens 1 The position of the reflected detection light on the screen 7 is detected.
【0008】ところが、対物レンズ1の干渉縞の観察と
対物レンズ1の傾き調整の繰り返し頻度が多い場合、レ
ーザー照射系のオン・オフを繰り返し行うこと、あるい
は、情報書込み・読取り用レーザー光の光量の減光を繰
り返し行うことにすると、対物レンズ1の傾き調整を迅
速に行うことができず、逆に、レーザー照射系をオンし
て光量を減光せずに対物レンズ1の傾き調整を行うこと
にすると、干渉縞測定用レーザー光としての情報書込み
・読取り用レーザー光が検出光受光系に混入し、検出光
の検出の際のノイズとなり、正確に対物レンズ1の傾き
角を検出できないという問題点がある。However, when the frequency of observing interference fringes of the objective lens 1 and adjusting the tilt of the objective lens 1 is frequently repeated, the laser irradiation system is repeatedly turned on and off, or the amount of information writing / reading laser light is increased. If the dimming is repeated, the tilt adjustment of the objective lens 1 cannot be performed quickly. Conversely, the tilt adjustment of the objective lens 1 is performed without turning on the laser irradiation system to reduce the light amount. In this case, the information writing / reading laser light as the interference fringe measuring laser light is mixed into the detection light receiving system, which becomes noise when detecting the detection light, and the tilt angle of the objective lens 1 cannot be accurately detected. There is a problem.
【0009】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、その目的とするところは、干渉縞測定用レーザー
光としての情報書込み・読取り用レーザー光を発生する
レーザー照射系をオンして減光しない状態のままでも、
対物レンズの傾き角検出精度を損なうことなく、対物レ
ンズの傾き調整を迅速に行うことのできる対物レンズの
傾き調整用光学系を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to turn on a laser irradiation system for generating information writing / reading laser light as interference fringe measuring laser light. Even if it is not dimmed,
An object of the present invention is to provide an optical system for adjusting the tilt of an objective lens, which can quickly adjust the tilt of the objective lens without impairing the detection accuracy of the tilt angle of the objective lens.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の対物レ
ンズの傾き調整用光学系は、レンズ部の外周を囲むよう
にして設けられた環状平面部を有する対物レンズと、該
対物レンズの傾き検出用の検出光を対物レンズの一面側
から前記環状平面部に向けて照射する検出光照射系と、
前記環状平面部により反射された検出光を受光する検出
光受光系と、前記対物レンズに情報書込み・読取り用レ
ーザー光を干渉縞測定用レーザー光として前記対物レン
ズの他面側から照射するレーザー照射系とを備え、前記
環状平面部から反射された検出光の検出位置を検出する
ことにより、前記対物レンズの基準面に対する傾きを検
出する対物レンズの傾き調整用光学系であって、前記検
出光受光系に、前記干渉縞測定用レーザー光の透過を阻
止しかつ前記検出光を透過させる偏光板を設けたことを
特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical system for adjusting the tilt of an objective lens, the objective lens having an annular flat portion provided so as to surround an outer periphery of a lens portion, and detecting the tilt of the objective lens. A detection light irradiating system that irradiates detection light for use from one surface side of the objective lens toward the annular flat portion,
A detection light receiving system for receiving the detection light reflected by the annular flat portion, and laser irradiation for irradiating the objective lens with laser light for writing and reading information as laser light for interference fringe measurement from the other surface side of the objective lens A tilt adjusting optical system for the objective lens, which detects a tilt of the objective lens with respect to a reference plane by detecting a detection position of the detection light reflected from the annular plane portion, wherein the detection light The light receiving system is provided with a polarizing plate that blocks transmission of the interference fringe measurement laser beam and transmits the detection light.
【0011】請求項2に記載の対物レンズの傾き調整用
光学系は、請求項1に記載のものにおいて、前記干渉縞
測定用レーザー光の偏向方向と前記偏向板の偏向方向と
が略直交していることを特徴とする。請求項3に記載の
対物レンズの傾き調整用光学系は、請求項1または2に
記載のものにおいて、前記検出光がレーザー光であるこ
とを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the optical system for adjusting the inclination of the objective lens, the deflection direction of the interference fringe measuring laser beam and the deflection direction of the deflection plate are substantially orthogonal to each other. It is characterized by having. According to a third aspect of the present invention, in the optical system for adjusting the inclination of the objective lens according to the first or second aspect, the detection light is a laser beam.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】図2は対物レンズの傾き調整用光
学系9を示し、この図2において、10は検出光照射
系、11は検出光受光系、12は光ピックアップであ
る。検出光照射系10はヘリウム−ネオンレーザー13
と、減光フィルター14と、ハーフミラー15とから大
略構成されている。ヘリウム−ネオンレーザー13は検
出光として直径1mmないし2mmの平行なレーザー光
P1を出射する。ハーフミラー15は減光フィルター1
4により光量調整されたレーザー光P1を対物レンズ1
の一面側に向けて照射する。対物レンズ1の環状平面部
3の一部がそのレーザー光P1によって照明される。FIG. 2 shows an optical system 9 for adjusting the inclination of an objective lens. In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a detection light irradiation system, 11 denotes a detection light reception system, and 12 denotes an optical pickup. The detection light irradiation system 10 includes a helium-neon laser 13.
, A neutral density filter 14, and a half mirror 15. The helium-neon laser 13 emits parallel laser light P1 having a diameter of 1 mm to 2 mm as detection light. Half mirror 15 is neutral density filter 1
The laser beam P1 whose light amount has been adjusted by the
Irradiate toward one side. A part of the annular flat portion 3 of the objective lens 1 is illuminated by the laser light P1.
【0013】レーザー光P1は偏光しており、その偏光
方向は、ここでは符号X1’で示すように紙面に直交す
る方向である。検出光受光系11はオートコリメータに
よって構成され、コリメートレンズ16と、撮像カメラ
(CCDカメラ)17とを備えている。そのコリメート
レンズ16と撮像カメラ17との間には、偏光板18が
設けられている。この偏光板18の役割は後述する。The laser beam P1 is polarized, and its polarization direction is a direction perpendicular to the plane of the paper, as indicated by reference numeral X1 '. The detection light receiving system 11 includes an autocollimator, and includes a collimator lens 16 and an imaging camera (CCD camera) 17. A polarizing plate 18 is provided between the collimating lens 16 and the imaging camera 17. The role of the polarizing plate 18 will be described later.
【0014】光ピックアップ12は、図3、図4に示す
ように、光ディスク装置12Aのガイドレール19に可
動可能に支持されている。その図3、図4において、符
号19A、19Aはガイドレール19の支柱である。そ
の光ディスク装置12Aにはスピンドル20が設けら
れ、そのスピンドル20の上部には光ディスク6(図1
(ロ)参照)が取り付けられるものであるが、ここで
は、対物レンズ1の傾き調整のためダミーディスクとし
てのカバーガラス21が設けられている。その光ピック
アップ12はそのガイドレール19に沿って、光ディス
ク装置12Aの内周側と外周側との間で往復動される。
その光ディスク装置12Aの外周側には対物レンズの傾
き調整光学系9が設けられ、その光ディスク装置12A
の内周側には干渉計22が設けられている。この干渉計
22は、コリメートレンズ23とビームスプリッタ24
と、コーナキューブ25、26と、結像レンズ27A
と、撮像カメラ27とからなる。その撮像カメラ27の
出力と撮像カメラ17の出力とは画像処理装置28Aに
入力されている。この画像処理装置28Aは、パーソナ
ルコンピュータ28B、操作手段としてのキーボード2
8C、マウス28D、及びモニタM等を有する。光ディ
スク装置12Aには、レーザー照射系としての光源部2
8が設けられている。この光源部28はレーザー光P2
を発生し、このレーザー光P2は通常情報書込・読取り
用に用いられるが、対物レンズ1の傾き角が規格内にあ
るか否かを検査するため、光ピックアップ12が干渉計
22にセットされた際には、干渉縞測定用レーザー光と
して用いられる。このレーザー光P2も偏光しており、
その偏光方向は符号X2’で示すように紙面と平行方向
である。光ピックアップ12には、光源部28から出射
されたレーザー光P2を対物レンズ1の他面側に向けて
偏向する立ち上げミラー29と、対物レンズ1を搭載す
るレンズホルダー30とから大略構成される。そのレー
ザー光P2は平行光束として対物レンズ1のレンズ部2
に入射される。As shown in FIGS. 3 and 4, the optical pickup 12 is movably supported by a guide rail 19 of the optical disk device 12A. In FIGS. 3 and 4, reference numerals 19 </ b> A and 19 </ b> A are support columns of the guide rail 19. The optical disk device 12A is provided with a spindle 20, and the optical disk 6 (FIG.
(See (b)), but here, a cover glass 21 is provided as a dummy disk for adjusting the tilt of the objective lens 1. The optical pickup 12 reciprocates along the guide rail 19 between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the optical disk device 12A.
An optical system 9 for adjusting the inclination of the objective lens is provided on the outer peripheral side of the optical disk device 12A.
An interferometer 22 is provided on the inner peripheral side of the. The interferometer 22 includes a collimating lens 23 and a beam splitter 24
, Corner cubes 25 and 26, and imaging lens 27A
And an imaging camera 27. The output of the imaging camera 27 and the output of the imaging camera 17 are input to the image processing device 28A. The image processing device 28A includes a personal computer 28B and a keyboard 2 as an operation unit.
8C, a mouse 28D, a monitor M, and the like. The optical disk device 12A has a light source unit 2 as a laser irradiation system.
8 are provided. This light source unit 28 is provided with a laser
The laser beam P2 is normally used for writing and reading information. In order to check whether the tilt angle of the objective lens 1 is within the standard, the optical pickup 12 is set to the interferometer 22. In this case, it is used as a laser beam for measuring interference fringes. This laser light P2 is also polarized,
The polarization direction is parallel to the plane of the paper as indicated by reference sign X2 '. The optical pickup 12 generally includes a rising mirror 29 for deflecting the laser light P2 emitted from the light source unit 28 toward the other surface of the objective lens 1, and a lens holder 30 on which the objective lens 1 is mounted. . The laser beam P2 is converted into a parallel light beam by the lens unit 2 of the objective lens 1.
Is incident on.
【0015】レンズホルダー30には図5(イ)に拡大
して示すように円錐形状の受け面30aが形成されてい
る。対物レンズ1の環状平面部3がその受け面30aに
当接されて、対物レンズ1がレンズホルダー30に支持
されている。この対物レンズ1の傾きを調整するには、
図3に示すように、光ピックアップ12を傾き調整光学
系9の真下に移動させ、傾き調整治具31、傾き調整治
具移動機構(図示を略す)を用いて対物レンズ1の傾き
調整を行う。その傾き調整治具は図5(イ)、図5
(ロ)に拡大して示すように、爪31aを有し、この爪
31aを環状平面部3に当て、各爪31aを介して環状
平面部3に加わる傾き調整治具移動機構のそれぞれの方
向からの押圧力を加減することにより、対物レンズ1の
傾きが調整される。レーザー光P1を照射すると、レー
ザー光P1は環状平面部3の一部により反射されて反射
レーザー光P1´となり、ハーフミラー15を透過して
コリメートレンズ16に導かれ、このコリメートレンズ
16により集光される。レーザー光P2は対物レンズ1
のレンズ部2を透過し、一旦収束された後、発散しつつ
ハーフミラー16に導かれ、そのレーザー光P2の一部
の透過レーザー光P2´がコリメートレンズ16により
集光される。The lens holder 30 is formed with a conical receiving surface 30a as shown in an enlarged view in FIG. The annular flat portion 3 of the objective lens 1 is in contact with the receiving surface 30a, and the objective lens 1 is supported by the lens holder 30. To adjust the tilt of the objective lens 1,
As shown in FIG. 3, the optical pickup 12 is moved directly below the tilt adjusting optical system 9, and the tilt of the objective lens 1 is adjusted using a tilt adjusting jig 31 and a tilt adjusting jig moving mechanism (not shown). . The tilt adjustment jig is shown in FIGS.
As shown in (b) in an enlarged manner, the claw 31a has a claw 31a, and the claw 31a is applied to the annular flat surface portion 3, and each direction of the tilt adjusting jig moving mechanism applied to the annular flat surface portion 3 via each claw 31a. The inclination of the objective lens 1 is adjusted by increasing or decreasing the pressing force from the lens. When the laser beam P1 is irradiated, the laser beam P1 is reflected by a part of the annular plane portion 3 to become a reflected laser beam P1 ', passes through the half mirror 15, is guided to the collimating lens 16, and is condensed by the collimating lens 16. Is done. Laser light P2 is the objective lens 1
After being converged once and then diverged, it is guided to the half mirror 16, and a part of the transmitted laser light P 2 ′ of the laser light P 2 is collected by the collimating lens 16.
【0016】偏光板18の偏光方向はレーザー光P1の
偏光方向と同方向又はレーザー光P1の偏向板18によ
り透過される成分が撮像素子17において充分に受光さ
れる光量を有するような方向に設定され、反射レーザー
光P1´が撮像素子17の撮像面17aに導かれ、透過
レーザー光P2は偏光板18によりその通過が阻止され
る。従って、光源部28をオンして減光しない状態のま
まで、対物レンズ1の傾き調整を行ったとしても、対物
レンズ1の傾き角検出精度は損なわれない。撮像素子1
7の撮像面17aには、反射レーザー光P1’によりビ
ームスポットS3が形成され、このビームスポットS3
がモニタMの画面Gに表示され、このモニタMの画面G
上でビームスポットS3を見つつ対物レンズ1の傾き調
整が行われる。The polarization direction of the polarizing plate 18 is set in the same direction as the polarization direction of the laser beam P1 or in such a direction that the component of the laser beam P1 transmitted by the polarizing plate 18 has a sufficient amount of light to be sufficiently received by the image sensor 17. Then, the reflected laser light P1 'is guided to the imaging surface 17a of the imaging device 17, and the transmitted laser light P2 is blocked by the polarizing plate 18. Therefore, even if the tilt of the objective lens 1 is adjusted while the light source unit 28 is turned on and the light is not dimmed, the detection accuracy of the tilt angle of the objective lens 1 is not impaired. Image sensor 1
7, a beam spot S3 is formed on the imaging surface 17a by the reflected laser beam P1 '.
Is displayed on the screen G of the monitor M.
The tilt adjustment of the objective lens 1 is performed while observing the beam spot S3 above.
【0017】対物レンズ1の傾き調整後、図4に示すよ
うに、光ピックアップ12は干渉計22の真下に移動さ
れる。レーザー光P2は立ち上げミラー29によって対
物レンズ1に向けて偏向される。そのレーザー光P2は
対物レンズ1により収束されてカバーガラス21に導か
れる。カバーガラス21は光ディスク6をエミュレート
する役割を果たす。そのカバーガラス21を透過したレ
ーザー光P2はコリメートレンズ23により集光され、
光路Xを通ってビームスプリッタ24に導かれる。その
ビームスプリッタ24に導かれたレーザー光P2はコー
ナーキューブ25に向かう光路X1への光束とコーナー
キューブ26に向かう光路X2への光束とに分割され
る。コーナーキューブ25に向かう光路X1への光束と
コーナーキューブ26に向かう光路X2への光束はそれ
ぞれのコーナキューブでビームスプリッタ24に向けて
反射され、結果的に光路X3で合成され、結像レンズ2
7Aにより撮像カメラ27に結像され、撮像カメラ27
により受光される。その撮像カメラ27の受光出力は画
像処理装置28Aに向けて出力され、対物レンズ1がカ
バーガラス21に対して傾いていると干渉縞が発生し、
図4に示すように、画面G上にこの干渉縞Kが表示され
る。その干渉縞Kの本数は対物レンズ1の傾き角に依存
し、干渉縞Kの形状は対物レンズ1の傾きの方向に依存
する。この観測により得られた干渉縞Kが波面規格内に
ないときには、再び光ピックアップ12を傾き検出用光
学系9の真下に移動させて、対物レンズ1の傾きを調整
し、その傾き調整後、干渉計22の真下に移動させて再
度干渉縞Kの観測を行う。干渉縞が波面規格内になるま
で、この調整及び観測が繰り返し行われ、 干渉縞が波
面規格内にあると判断されたときには、対物レンズ1を
レンズホルダー30に接着により固定し、傾き調整作業
を終了する。After adjusting the tilt of the objective lens 1, the optical pickup 12 is moved to a position immediately below the interferometer 22, as shown in FIG. The laser light P2 is deflected by the rising mirror 29 toward the objective lens 1. The laser beam P2 is converged by the objective lens 1 and guided to the cover glass 21. The cover glass 21 plays a role of emulating the optical disc 6. The laser light P2 transmitted through the cover glass 21 is condensed by the collimating lens 23,
The light is guided to the beam splitter 24 through the optical path X. The laser beam P2 guided to the beam splitter 24 is split into a light beam to an optical path X1 toward the corner cube 25 and a light beam to an optical path X2 toward the corner cube 26. The luminous flux to the optical path X1 toward the corner cube 25 and the luminous flux to the optical path X2 toward the corner cube 26 are reflected by the respective corner cubes toward the beam splitter 24, and as a result are combined at the optical path X3 to form the imaging lens 2
7A, an image is formed on the imaging camera 27,
Is received by the The received light output of the imaging camera 27 is output to the image processing device 28A, and when the objective lens 1 is inclined with respect to the cover glass 21, interference fringes are generated.
As shown in FIG. 4, the interference fringes K are displayed on the screen G. The number of the interference fringes K depends on the tilt angle of the objective lens 1, and the shape of the interference fringes K depends on the direction of the tilt of the objective lens 1. When the interference fringe K obtained by this observation is not within the wavefront standard, the optical pickup 12 is moved again immediately below the tilt detection optical system 9 to adjust the tilt of the objective lens 1, and after adjusting the tilt, the interference The interference fringe K is observed again by moving the sample to just below the total 22. This adjustment and observation are repeated until the interference fringe falls within the wavefront standard. When it is determined that the interference fringe falls within the wavefront standard, the objective lens 1 is fixed to the lens holder 30 by bonding, and the tilt adjustment operation is performed. finish.
【0018】[0018]
【発明の効果】本発明に係わる対物レンズの傾き調整用
光学系は、以上説明したように構成したので、干渉縞測
定用レーザー光を発生するレーザー照射系をオンして減
光しない状態のままでも、対物レンズの傾き角検出精度
を損なうことなく、対物レンズの傾き調整を迅速に行う
ことができるという効果を奏する。Since the optical system for adjusting the inclination of the objective lens according to the present invention is constructed as described above, the laser irradiation system for generating the interference fringe measuring laser light is turned on and the light is not dimmed. However, there is an effect that the tilt of the objective lens can be quickly adjusted without impairing the detection accuracy of the tilt angle of the objective lens.
【図1】 従来の対物レンズの傾き調整用光学系を用い
て対物レンズの傾き角度の検出を説明するための説明図
であって、(イ)は傾き調整される対物レンズの平面
図、(ロ)は光ディスクの情報記録面に検出光を照射し
た状態を示す説明図、(ハ)は対物レンズの環状平面部
に検出光を照射した状態を示す説明図、(ニ)は対物レ
ンズの環状平面部により反射された検出光をスクリーン
に受像した状態を示す説明図、(ホ)は環状平面部によ
り反射された検出光に基づきスクリーンに形成されたス
ポットの説明図、(ヘ)は光ディスクの情報記録面に対
する対物レンズの傾き角度の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining detection of an inclination angle of an objective lens using a conventional objective lens inclination adjusting optical system, wherein (a) is a plan view of an objective lens whose inclination is adjusted; (B) is an explanatory diagram showing a state in which the information recording surface of the optical disc is irradiated with the detection light, (c) is an explanatory diagram showing a state in which the annular flat portion of the objective lens is irradiated with the detection light, and (d) is an annular diagram of the objective lens. FIG. 5E is an explanatory diagram showing a state in which the detection light reflected by the flat surface portion is received on the screen, FIG. 7E is an explanatory diagram of a spot formed on the screen based on the detection light reflected by the annular flat portion, and FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram of an inclination angle of an objective lens with respect to an information recording surface.
【図2】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整用光学
系を示す拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view showing an optical system for adjusting the tilt of an objective lens according to the present invention.
【図3】 本発明に係わる傾き調整用光学系を用いての
傾き調整を説明するための説明図であって、対物レンズ
が傾き調整用光学系の真下に位置された状態を示してい
る。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining tilt adjustment using the tilt adjustment optical system according to the present invention, and shows a state in which an objective lens is located immediately below the tilt adjustment optical system.
【図4】 本発明に係わる傾き調整用光学系を用いての
傾き調整を説明するための説明図であって、対物レンズ
が干渉計の真下に位置された状態を示している。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining tilt adjustment using the tilt adjustment optical system according to the present invention, and shows a state in which an objective lens is positioned immediately below an interferometer.
【図5】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整の説明
図であって、(イ)はレンズホルダーに保持された対物
レンズに傾き調整治具の爪を当てた状態を示す拡大側面
図、(ロ)は(イ)に示す環状調整治具と対物レンズと
を上面から目視した状態を示す平面図、(ハ)は対物レ
ンズにより反射された検出光に基づき撮像面に形成され
たビームスポットの説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of the tilt adjustment of the objective lens according to the present invention, wherein (a) is an enlarged side view showing a state in which a nail of a tilt adjustment jig is applied to the objective lens held by the lens holder; (B) is a plan view showing a state in which the annular adjustment jig and the objective lens shown in (a) are viewed from above, and (c) is a beam spot formed on the imaging surface based on detection light reflected by the objective lens. FIG.
1…対物レンズ 2…レンズ部 3…環状平面部 6…情報記録面(基準面) 10…検出光照射系 11…検出光受光系 18…偏光板 28…光源部(レーザー照射系) P1…レーザー光(検出光) P2…干渉縞測定用レーザー光(情報書込み・読取り用
レーザー光)DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Objective lens 2 ... Lens part 3 ... Annular flat part 6 ... Information recording surface (reference surface) 10 ... Detection light irradiation system 11 ... Detection light reception system 18 ... Polarizing plate 28 ... Light source part (laser irradiation system) P1 ... Laser Light (detection light) P2: Laser light for interference fringe measurement (laser light for information writing / reading)
Claims (3)
れた環状平面部を有する対物レンズと、該対物レンズの
傾き検出用の検出光を対物レンズの一面側から前記環状
平面部に向けて照射する検出光照射系と、前記環状平面
部により反射された検出光を受光する検出光受光系と、
前記対物レンズに情報書込み・読取り用レーザー光を干
渉縞測定用レーザー光として前記対物レンズの他面側か
ら照射するレーザー照射系とを備え、前記環状平面部か
ら反射された検出光の検出位置を検出することにより、
前記対物レンズの基準面に対する傾きを検出する対物レ
ンズの傾き調整用光学系であって、 前記検出光受光系に、前記干渉縞測定用レーザー光の透
過を阻止しかつ前記検出光を透過させる偏光板を設けた
ことを特徴とする対物レンズの傾き調整用光学系。An objective lens having an annular flat portion provided so as to surround an outer periphery of a lens portion, and detection light for detecting the inclination of the objective lens is irradiated from one surface side of the objective lens toward the annular flat portion. A detection light irradiation system, and a detection light reception system that receives the detection light reflected by the annular flat portion,
A laser irradiation system for irradiating the objective lens with information writing / reading laser light as interference fringe measurement laser light from the other surface side of the objective lens, and detecting a detection position of the detection light reflected from the annular plane portion. By detecting
An optical system for adjusting the inclination of an objective lens for detecting an inclination of the objective lens with respect to a reference plane, wherein the detection light receiving system is configured to block transmission of the interference fringe measurement laser light and transmit the detection light. An optical system for adjusting the tilt of an objective lens, comprising a plate.
と前記偏向板の偏向方向とが略直交している請求項1に
記載の対物レンズの傾き調整用光学系。2. The optical system for adjusting the tilt of an objective lens according to claim 1, wherein the direction of deflection of the laser beam for measuring interference fringes is substantially orthogonal to the direction of deflection of the deflection plate.
または2に記載の対物レンズの傾き調整用光学系。3. The detection light according to claim 1, wherein the detection light is a laser light.
Or the optical system for adjusting the inclination of the objective lens according to 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19950097A JP3450660B2 (en) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | Objective lens tilt adjustment device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19731596 | 1996-07-26 | ||
| JP8-197315 | 1996-07-26 | ||
| JP19950097A JP3450660B2 (en) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | Objective lens tilt adjustment device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1091994A true JPH1091994A (en) | 1998-04-10 |
| JP3450660B2 JP3450660B2 (en) | 2003-09-29 |
Family
ID=26510295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19950097A Expired - Fee Related JP3450660B2 (en) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | Objective lens tilt adjustment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450660B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005109419A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Pulstec Industrial Co., Ltd. | Adjuster and adjusting method for optical pickup |
| JP2007033229A (en) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Katsura Opto Systems:Kk | Displacement/tilt correction device |
| CN1323392C (en) * | 1999-04-23 | 2007-06-27 | 松下电器产业株式会社 | Optical head apparatus |
| JP2007205905A (en) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lens measuring method, manufacturing method, and optical pickup |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP19950097A patent/JP3450660B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1323392C (en) * | 1999-04-23 | 2007-06-27 | 松下电器产业株式会社 | Optical head apparatus |
| WO2005109419A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Pulstec Industrial Co., Ltd. | Adjuster and adjusting method for optical pickup |
| JP2007033229A (en) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Katsura Opto Systems:Kk | Displacement/tilt correction device |
| JP2007205905A (en) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lens measuring method, manufacturing method, and optical pickup |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3450660B2 (en) | 2003-09-29 |
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