JPH1093242A - 印刷配線基板 - Google Patents
印刷配線基板Info
- Publication number
- JPH1093242A JPH1093242A JP24636496A JP24636496A JPH1093242A JP H1093242 A JPH1093242 A JP H1093242A JP 24636496 A JP24636496 A JP 24636496A JP 24636496 A JP24636496 A JP 24636496A JP H1093242 A JPH1093242 A JP H1093242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face
- wiring board
- printed wiring
- conductor
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
用したものにあって、構成材料の線膨張率の違いに起因
して導電体バンプの端面と導電体パターンの上記端面に
電気的に接続される部分との界面に起こり易い界面剥離
を防止でき、もって機械的・電気的な接続の信頼性を確
保できる印刷配線基板を提供する。 【解決手段】絶縁材層2と、この絶縁材層2を貫通して
配線路を形成する導電体バンプ3と、絶縁材層2の表面
に密着配置されて導電体バンプ3の端面4に電気的に接
続される部分22を持つ導電体パターン6aとを備えて
なる印刷配線基板において、部分22は端面4の大きさ
以下の大きさで、かつ端面4を導電体バンプ3の貫通方
向に投影して得られる投影像内に位置している。
Description
的な接続の信頼性確保を図れるようにした印刷配線基板
に関する。
型・軽量化、高速化、多機能化、高信頼性化の要求が益
々高まっている。このようなことから、電子機器に組込
まれる半導体集積回路素子の高集積化および高速化が推
進されている。
を組込む場合には、通常、半導体集積回路素子をパッケ
ージングし、これらのパッケージを印刷配線基板上に実
装し、この印刷配線基板を電子機器に組込む方式が採ら
れている。この場合、半導体集積回路素子の内部での電
気信号伝播遅延に比較して印刷配線基板を経由するパッ
ケージ間配線による電気信号伝播遅延の影響を無視でき
ない場合には、これによって電子機器の性能が律束され
かねないことになる。すなわち、半導体集積回路素子の
高集積化および高速化を図っても、印刷配線基板を経由
する配線路の電気信号伝播遅延が大きい場合には、この
伝播遅延によって電子機器の性能が決定されてしまう。
したがって、高密度実装化と高速信号伝送化とを達成す
る配線基板技術が必要不可欠となる。
基板とは違って多層化が容易な構造の印刷配線基板が提
案されている。この新たに提案された印刷配線基板は、
ドリルによる孔開け工程や複雑なメッキ工程を必要とせ
ずに多層化を実現できるもので、たとえば4層構成のも
のは図3に示すように構成されている。
層2と、この絶縁材層2を貫通して配線路を形成する導
電体バンプ3と、絶縁材層2の表面に密着配置されて導
電体バンプ3の端面4に電気的に接続される部分5を備
えた導電体パターン6とを基本要素7とし、この基本要
素7を複数積層した構成となっている。
ついて図5を参照しながら簡単に説明する。まず、図5
(a) に示すように、たとえば厚さが20μmの電解銅箔1
1を用意する。次に、この電解銅箔11の図中上面に、
たとえば厚さが200 μmで、所定箇所にたとえば0.3mm
径の孔を複数有したステンレス製のメタルマスクを当て
がって位置決めする。次に、このメタルマスクに設けら
れた孔を使ってたとえば銀系の導電ペーストを電解銅箔
11の図中上面に印刷する。この導電ペーストを乾燥さ
せた後に、再び同じメタルマスクを使って同一位置に導
電ペーストを印刷して乾燥させ、この作業を必要回数繰
り返して、電解銅箔11の図中上面に高さが200 μm程
度の導電体バンプ12を形成する。勿論、1回の印刷工
程で導電体バンプ12を形成することもできる。
に、たとえばガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ
た、たとえば厚さが150 μmの合成樹脂系シート13を
載せ、この合成樹脂系シート13の上に厚さ3mm 程度の
シリコーンゴム板で形成された当て板を載置する。次
に、この積層体を加熱・加圧・冷却機構付きのプレス装
置にセットし、まず全体をたとえば120 ℃まで温度上昇
させた状態で当て板を介して合成樹脂系シート13を電
解銅箔11へ押し付け、その後に冷却する。
図5(b) に示すように、各導電体バンプ12が合成樹脂
系シート13を貫通した積層体14を得る。次に、積層
体14の上面、つまり導電体バンプ12の先端部が突出
している側に、たとえば厚さが20μmの電解銅箔15を
載置し、この上に堅い当て板を載置する。次に、この積
層体を加熱・加圧・冷却機構付きのプレス装置にセット
し、全体をたとえば170 ℃まで温度上昇させた状態で当
て板を介して電解銅箔15を積層体14へ押圧し、一定
時間経過後に徐冷する。
に、両面が銅箔張りで、両面の銅箔間が導電体バンプ1
2によって電気的に接続された印刷配線基板要素16を
得る。次に、図5(d) に示すように、両面の銅箔をエッ
チングによって必要な形状に加工して導電体パターン1
7を形成する。したがって、図3と対応させると、合成
樹脂系シート13が絶縁材層2に、導電体バンプ12が
導電体バンプ3に、導電体パターン17が導電体パター
ン6に対応していることになる。
が示されているが、この印刷配線基板1を形成するとき
には、図5(d) に示す要素の両面に、図5(b) に示す積
層体14を導電体バンプ12の頂部が導電体パターン1
7に接触するようにそれぞれ当てがって所定温度まで昇
温させ、この状態で各積層体14を押圧し、一定時間経
過後に徐冷する。このようにして得られた積層体の両面
に存在している銅箔をエッチングによって必要な形状に
加工して導電体パターン6を形成する。このように導電
体バンプ3で貫通配線路を形成する構造であると、上述
した手法で多層の印刷配線基板を簡単に製作できる。
刷配線基板にあっても次のような問題が残されていた。
すなわち、このような高密度実装の可能な印刷配線基板
に半導体パッケージを実装するときには、面実装形態、
具体的にははんだバンプを用いるBGA(Ball Grid Ar
ray)構成が採用される。このBGA構成では、半導体パ
ッケージ側に設けられた各電極にはんだバンプを設けて
おき、これらはんだバンプと印刷配線基板に設けられた
各電極パターンとを接触させ、この状態でリフロー処理
し、各はんだバンプを溶融させて機械的および電気的に
接続する方式が採用される。
板が高温に加熱される。このとき、絶縁材層2、導電体
バンプ3、導電体パターン6の各構成材料の線膨張率が
一致していれば格別問題とはならないが、通常、これら
の構成材料は線膨張率が異なるので、この線膨張率の違
いに起因して構成材料間の界面に熱応力が生じる。
3の端面4に電気的に接続される導電体パターン6の部
分5が端面4より大きく形成されているので、特に部分
5と端面4との界面21に大きな熱応力が発生する虞が
あった。すなわち、絶縁材層2をたとえばガラスエポキ
シ樹脂で形成した場合、この材料の200 ℃における厚み
方向(印刷配線基板の厚み方向)の線膨張率は15×10-5
(1/℃) である。一方、導電体バンプ3を銀ペーストで
形成した場合、この材料の200 ℃における厚み方向の線
膨張率は3 ×10-5(1/℃) である。したがって、ガラス
エポキシ樹脂と銀ペーストとの組合せでは、リフロー処
理時に、線膨張率の違いによって部分5を端面4から引
き剥がすような大きな熱応力が界面21に発生し、これ
が原因して界面剥離が起こり、機械的および電気的な接
続の信頼性が低下する虞がある。これは、ガラスエポキ
シ樹脂と銀ペーストとの組合せに限らず、絶縁物と導電
体との組合せでは共通に同様の問題が発生する虞があっ
た。
ンプで貫通配線路を形成する構造を採用した従来の印刷
配線基板にあっては、構成材料の線膨張率の違いに起因
して、特にはんだリフロー処理時に、導電体バンプの端
面と導電体パターンの上記端面に接続されている部分と
の界面において界面剥離が生じ、機械的および電気的な
接続の信頼性が低下する虞があった。
に解消でき、もって導電体バンプで貫通配線路を形成す
る構造の特徴を最大限に発揮させ得る印刷配線基板を提
供することを目的としている。
に、本発明は、絶縁材層と、この絶縁材層を貫通して配
線路を形成する導電体バンプと、前記絶縁材層の表面に
密着配置されて前記導電体バンプの端面に電気的に接続
される部分を持つ導電体パターンとを備えてなる印刷配
線基板において、前記導電体パターンの前記導電体バン
プに電気的に接続される部分は、前記端面の大きさ以下
の大きさで、かつ上記端面を上記導電体バンプの貫通方
向に投影して得られる投影像内に位置していることを特
徴としている。
ンプに電気的に接続される部分のうちの幾つかの部分
は、一部または全部が上記導電体バンプの前記端面部分
に埋め込まれていてもよい。
ンプの端面に電気的に接続される導電体パターンの部分
が、導電体バンプの端面の大きさ以下の大きさで、かつ
上記端面を上記導電体バンプの貫通方向に投影して得ら
れる投影像内に位置している。このため、絶縁材層の構
成材料と導電体バンプの構成材料との厚み方向の線膨張
率が異なっていても、導電体バンプの端面と導電体パタ
ーンの上記端面に電気的に接続される部分との界面に大
きな熱応力が生じるのを抑制できる。この結果、はんだ
リフロー処理後の信頼性を確保することができる。
実施形態を説明する。図1には本発明の一実施形態に係
る4層構成の印刷配線基板1aの概略構成が示されてい
る。なお、この図では図3と同一機能部分が同一符号で
示されている。この印刷配線基板1aは図5で説明した
方法で形成されている。
刷配線基板と異なる点は、絶縁材層2の表面に密着配置
されて導電体バンプ3の端面4に電気的に接続される部
分22を持つ導電体パターン6aの構造にある。具体的
には、部分22の大きさおよび位置にある。すなわち、
部分22は、端面4の大きさ以下の大きさで、かつ端面
4を導電体バンプ3の貫通方向に投影して得られる投影
像内に位置している。この例において、部分22は、端
面4の大きさと同じ大きさで、かつ端面4の投影像から
はみ出さないように設けられている。
接続される部分22の形状に制約はないが通常、円形が
採用される。導電体パターン6aの形成は、図5を用い
て一部説明したように、導電性金属箔上にエッチングレ
ジストインクをスクリーン印刷し、導電体パターンとな
る部分をマスクしてから、塩化第2銅をエッチング液と
してエッチング処理し、続いてレジストマスクを剥離す
ることによって得られる。このとき、導電体バンプ3の
端面4に接触して電気的に接続される部分22が、端面
4の大きさ以下の大きさで、かつ端面4を導電体バンプ
3の貫通方向に投影して得られる投影像内で接触するよ
うにマスクの大きさおよび位置を設定することによって
上述した条件を満たす導電体パターン6aを形成するこ
とができる。
6aにおける導電体バンプ3の端面4に電気的に接続さ
れる部分22は、導電体バンプ3の端面4を臨む範囲内
だけに位置していることになる。このため、絶縁材層2
の構成材料と導電体バンプ3の構成材料との厚み方向の
線膨張率が異なっていても、この違いに起因して導電体
バンプ3の端面4と部分22との界面21に大きな熱応
力が生じるようなことはない。すなわち、高温雰囲気に
おかれても部分22には、この部分22を端面4から引
き剥がすような大きな熱応力は作用しない。したがっ
て、はんだリフロー処理後の機械的、電気的な信頼性を
確保することができる。
4層構成の印刷配線基板1bの概略構成が示されてい
る。なお、この図では図1と同一機能部分が同一符号で
示されている。この印刷配線基板1bも図5で説明した
方法で形成されている。
される印刷配線基板1aと異なる点は、絶縁材層2の表
面に密着配置されて導電体バンプ3の端面4に電気的に
接続される部分23を持つ導電体パターン6bの構造に
ある。具体的には、部分23の大きさおよび位置にあ
る。
下の大きさで、端面4を臨む範囲内に位置している。そ
して、部分23のうちで印刷配線基板1b内に位置して
いるものは、図2(b) にも示すように、導電体バンプ3
の端面部分に一部または全部が埋め込まれる関係に設け
られている。
6bにおける導電体バンプ3の端面4に電気的に接続さ
れる部分23は、導電体バンプ3の端面4より小さく、
かつ端面4を導電体バンプ3の貫通方向に投影して得ら
れる投影像内に位置していることになる。このため、絶
縁材層2の構成材料と導電体バンプ3の構成材料との厚
み方向の線膨張率が異なっていても、この違いに起因し
て導電体バンプ3の端面4と部分23との界面21に大
きな熱応力が生じるのを抑制できる。したがって、はん
だリフロー処理後の機械的、電気的な信頼性を確保する
ことができる。
金、銅、はんだ粉などの導電性粉末、これらの合金粉末
もしくは複合(混合)金属粉末と、たとえばポリカーボ
ネート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエステル樹脂、フ
ェノキシ樹脂、フェノ一ル樹脂、ポリイミド樹脂などの
バインダー成分とを混合して調製された導電性組成物、
あるいは導電性金属などで構成することができる。ま
た、導電体バンプ3の形成は、導電性組成物で形成する
場合は、たとえば比較的厚いメタルマスクを用いた印刷
法により、アスペクト比の高いバンプを形成でき、その
バンプの高さは一般的に100 μm〜400 μm程度が望ま
しい。また、絶縁材層2を形成する材料としては、エポ
キシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリイミド
樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹
脂、あるいはブタジェンゴム、ブチルゴム、天然ゴム、
ネオプレンゴム、ンリコーンゴムなどの生ゴムのシート
類を挙げることができる。これらの合成樹脂は、単独て
もよいが絶縁性無機物や有機物系の充填物を含有しても
よく、さらにガラスクロスやマット、有機合成繊維布や
マット、あるいは紙などの補強材と組合せてなるシート
であってもよい。また、導電体パターン6a,6bを形
成する材料としては、電解銅箔を用いる場合が多い。ま
た、図1、2には4層の印刷配線基板が例示されている
が、本発明は両面板や4層以外の多層板においても有効
である。
絶縁材層、導電体バンプおよび導電体パターンを構成し
ている材料の線膨張率がそれぞれ異なる場合であって
も、この異なりに起因して導電体バンプの端面と導電体
パターンの上記端面に電気的に接続される部分との界面
に発生し易い熱応力を低減させることができ、もって機
械的、電気的な接続の信頼性を確保することができる。
断面図
の概略断面図で、(b) は(a) におけるB部を取出して拡
大して示す斜視図
見た図
明するための図
Claims (2)
- 【請求項1】絶縁材層と、この絶縁材層を貫通して配線
路を形成する導電体バンプと、前記絶縁材層の表面に密
着配置されて前記導電体バンプの端面に電気的に接続さ
れる部分を持つ導電体パターンとを備えてなる印刷配線
基板において、 前記導電体パターンの前記導電体バンプに電気的に接続
される部分は、前記端面の大きさ以下の大きさで、かつ
上記端面を上記導電体バンプの貫通方向に投影して得ら
れる投影像内に位置していることを特徴とする印刷配線
基板。 - 【請求項2】前記導電体パターンの前記導電体バンプに
電気的に接続される部分のうちの幾つかの部分は、一部
または全部が上記導電体バンプの前記端面部分に埋め込
まれていることを特徴とする請求項1に記載の印刷配線
基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24636496A JP3633136B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 印刷配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24636496A JP3633136B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 印刷配線基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1093242A true JPH1093242A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3633136B2 JP3633136B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=17147462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24636496A Expired - Fee Related JP3633136B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 印刷配線基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3633136B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2712167A1 (fr) * | 1993-11-10 | 1995-05-19 | Seb Sa | Capteur de régulation de débit pour aspirateur. |
| JP2002176237A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板 |
| JP2002305376A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Dt Circuit Technology Co Ltd | プリント配線基板の製造方法、プリント配線基板、及び、半導体装置 |
| WO2006059428A1 (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Sony Chemical & Information Device Corporation | 多層配線基板の製造方法 |
| JP2008131036A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板及びその製造方法 |
| JP2008311612A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 多層プリント基板およびその製造方法 |
| JP2009088461A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板製造方法 |
| JP2009141305A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 印刷回路基板及びその製造方法 |
| JP2009239185A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Toppan Printing Co Ltd | ビルドアップ多層配線基板およびその製造方法 |
| JP2009290020A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | フレキシブルプリント配線板、同配線板のシールド加工方法および電子機器 |
| WO2010125858A1 (ja) * | 2009-04-29 | 2010-11-04 | 株式会社 村田製作所 | 樹脂多層回路基板及び樹脂多層回路基板の製造方法 |
| JPWO2012108381A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2014-07-03 | 株式会社村田製作所 | 樹脂多層基板およびその製造方法 |
| JP2014132603A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-07-17 | Fujikura Ltd | 多層配線基板 |
| CN112165767A (zh) * | 2020-10-27 | 2021-01-01 | 惠州市特创电子科技有限公司 | 多层线路板以及移动通讯装置 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24636496A patent/JP3633136B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2712167A1 (fr) * | 1993-11-10 | 1995-05-19 | Seb Sa | Capteur de régulation de débit pour aspirateur. |
| JP2002176237A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板 |
| JP2002305376A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Dt Circuit Technology Co Ltd | プリント配線基板の製造方法、プリント配線基板、及び、半導体装置 |
| US8112881B2 (en) | 2004-12-03 | 2012-02-14 | Tessera Interconnect Materials, Inc. | Method for manufacturing multilayer wiring board |
| WO2006059428A1 (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Sony Chemical & Information Device Corporation | 多層配線基板の製造方法 |
| JP2008131036A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板及びその製造方法 |
| US8058558B2 (en) | 2006-11-21 | 2011-11-15 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Printed circuit board and manufacturing method thereof |
| JP2008311612A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 多層プリント基板およびその製造方法 |
| JP2009088461A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板製造方法 |
| JP2009141305A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 印刷回路基板及びその製造方法 |
| JP2009239185A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Toppan Printing Co Ltd | ビルドアップ多層配線基板およびその製造方法 |
| JP2009290020A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | フレキシブルプリント配線板、同配線板のシールド加工方法および電子機器 |
| WO2010125858A1 (ja) * | 2009-04-29 | 2010-11-04 | 株式会社 村田製作所 | 樹脂多層回路基板及び樹脂多層回路基板の製造方法 |
| JPWO2012108381A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2014-07-03 | 株式会社村田製作所 | 樹脂多層基板およびその製造方法 |
| JP2014132603A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-07-17 | Fujikura Ltd | 多層配線基板 |
| CN112165767A (zh) * | 2020-10-27 | 2021-01-01 | 惠州市特创电子科技有限公司 | 多层线路板以及移动通讯装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3633136B2 (ja) | 2005-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3619395B2 (ja) | 半導体素子内蔵配線基板およびその製造方法 | |
| US6694613B2 (en) | Method for producing a printed-circuit board having projection electrodes | |
| JP3051700B2 (ja) | 素子内蔵多層配線基板の製造方法 | |
| EP0723388B1 (en) | Printed circuit board | |
| US5865934A (en) | Method of manufacturing printed wiring boards | |
| JP3429734B2 (ja) | 配線基板、多層配線基板、回路部品実装体及び、配線基板の製造方法 | |
| US20080128911A1 (en) | Semiconductor package and method for manufacturing the same | |
| WO2007126090A1 (ja) | 回路基板、電子デバイス装置及び回路基板の製造方法 | |
| JP3633136B2 (ja) | 印刷配線基板 | |
| JPH06120670A (ja) | 多層配線基板 | |
| JP4183708B2 (ja) | 部品内蔵基板の製造方法 | |
| US20030137815A1 (en) | Printed wiring board and method of manufacturing the same | |
| JP2005079402A (ja) | 回路基板およびその製造方法 | |
| JP2012064600A (ja) | 多層基板およびその製造方法 | |
| JP3085658B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
| JP2002151853A (ja) | 多層配線基板とその製造方法 | |
| JPH1070363A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JPH0786711A (ja) | プリント配線板 | |
| JP4814129B2 (ja) | 部品内蔵配線基板、配線基板内蔵用部品 | |
| JP3107535B2 (ja) | 配線基板、回路部品実装体、および配線基板の製造方法 | |
| JP2002009440A (ja) | 複合配線基板 | |
| JP2000183506A (ja) | 配線基板 | |
| JP2004179362A (ja) | 配線基板およびこれを用いた電子装置 | |
| JP3250390B2 (ja) | 多層プリント配線板 | |
| JP2004200501A (ja) | 配線基板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041108 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041220 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080107 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100107 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110107 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120107 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130107 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130107 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |