JPH1093388A - 差分入力および/または差分出力並置結合型表面弾性波フィルタおよびその方法 - Google Patents

差分入力および/または差分出力並置結合型表面弾性波フィルタおよびその方法

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JPH1093388A
JPH1093388A JP9173175A JP17317597A JPH1093388A JP H1093388 A JPH1093388 A JP H1093388A JP 9173175 A JP9173175 A JP 9173175A JP 17317597 A JP17317597 A JP 17317597A JP H1093388 A JPH1093388 A JP H1093388A
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Donald Eugene Allen
ドナルド・ユージーン・アレン
Jeffrey Thomas Mink
ジェフリー・トーマス・ミンク
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 差分入力および/または差分出力並置結合型
共振器を設ける表面弾性波(SAW )フィルタの設計と関
連方法。 【解決手段】 音波装置500,600,701,80
1,901,1001を作成する方法である。本方法
は、音波伝播を支援することのできる基板11を設ける
段階と、第1トランスデューサ518,518’をその
上に配置する配置段階とによって構成される。配置段階
は、基板上に第1ないし第4電極群を配置する段階を含
む。第1群514’が第1電気相互接続部17+に結合
し、第2群514”が第2電気相互接続部17−に結合
する。第3群519が共通電気相互接続部17’に結合
し、第1群514’の電極が挟み込まれる。第4群52
0が共通電気相互接続部17’に結合し、第2群51
4’が挟み込まれる。第4群520は、第3群519と
整列構造に配置され、音波装置の中心周波数に対応する
音波の半波長の整数倍だけ、そこから偏位される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、音波を利用する超小型
電子装置に関し、さらに詳しくは、差分入力差分出力並
置結合型表面弾性波(SAW: surface acoustic wave)フ
ィルタに関する。
【0002】
【従来の技術発明が解決しようとする課題】ここで用い
られる「電極フィンガ」,「電極」および「フィンガ」
という用語は、音響経路に沿って延在し、経路内の音波
の音波面に全体として平行な長い形状を有する電極を交
換可能に意味する。図1は、従来技術による単極SAW 共
振器10の電極14の構造を示す。図1は、音波伝播基
板11であって、その上に配置されたパターン19を有
する基板11を示す。SAW 共振器10は、接地端子1
5’と参照される単端入力端子15を有する。パターン
19は、一連の電極フィンガ14に接続されたバス・バ
ー12,12’によって有用に構成される。電極フィン
ガ14とバス・バー12,12’とは、共にトランスデ
ューサ16を形成する。トランスデューサ16は、基板
材料の好適な軸に沿って、適切に作成されたその表面上
に配置される。トランスデューサ16は音波長の1/4
の幅を有することが多く、1/2音波長中心上に配置さ
れ、普通は連係するバス・バー12,12’に交互に結
合される一連の周期的に配置された電極フィンガ14に
よって構成されるが、他の構造も可能であり有用であ
る。適切な周波数で端子15に(すなわちバス・バー1
2,12’の両端に)電気的刺激が印加されると、音響
エネルギは第1軌道13内を伝播する。通常、トランス
デューサ16などのトランスデューサは、12,12’
などのバス・バーにおいて適切な周波数の電気的信号に
より励起されると方向30,31に音波を発し、方向3
0および/または31に沿って進む適切な周波数の音波
により音響ホログラムとなると、バス・バーに電気信号
を示すのが普通である。
【0003】この種の共振器は、少なくとも2つの反射
器18,18’と、反射器18,18’間に配置された
少なくとも1つのトランスデューサ16とを備え、集合
的に第1軌道13を形成する。図1のその他の重要な設
計上の特徴は、反射器18,18’とトランスデューサ
16との間に配置される間隙20である。間隙20は、
音波長の1/4を超える幅を有するのが普通である。
【0004】図2は、従来技術による、2つの単極SAW
共振器を近接して配置することにより形成される並置結
合型共振器100の平面図である。音波伝播基板11
は、その上に配置されたパターン119を有する。並置
結合型SAW 共振器100は、入力端子15,接地端子1
5’,出力端子17および接地端子17’を備える。パ
ターン119は、一連の電極フィンガ114に接続され
たバス・バー112,112’によって有用に構成され
る。電極フィンガ114,入力バス・バー112および
接地電極フィンガ113がトランスデューサ116を形
成する。同様に、電極フィンガ114’,出力バス・バ
ー112’および接地電極フィンガ113’がトランス
デューサ116’を形成する。トランスデューサ11
6,116’は、基板材料の好適な軸に沿って、その適
切に作成された表面上に配置される。この種の共振器
は、通常、少なくとも2つの反射器118,118’
と、反射器118,118’間または117,117’
間にそれぞれ配置される少なくとも1つのトランスデュ
ーサ116または116’を備える。図2におけるもう
1つの重要な設計上の特徴は、反射器118,118’
とトランスデューサ116,116’との間に配置され
た間隙200である。間隙200は、音波長の1/4を
超える幅を持つのが普通である。
【0005】トランスデューサ116および反射器格子
118,118’は、共に第1軌道13を形成し、トラ
ンスデューサ116’および反射器格子117,11
7’は共に並置結合型SAW 共振器100の第2軌道1
3’を形成する。適切な周波数で端子15に電気的刺激
が与えられると、第1軌道13に音響エネルギが起こ
る。このエネルギは、第2軌道13’に横方向に結合さ
れ、最終的には端子17で電気エネルギに変換される。
【0006】図3は、従来技術による二極並置結合型SA
W フィルタ300の別の実施例を示す。この実施例にお
いては、端子15はバス・バー312に電気信号を結合
し、この信号がトランスデューサ316を介して音響エ
ネルギに変換される。第1軌道13内のこの音響エネル
ギは第2軌道13’に結合し、バス・バー312’およ
び端子17に電気的に結合されるトランスデューサ31
6’を介してさらに電気エネルギに変換される。15’
と17’の両方を共通接地位置で接地することは当技術
では周知である。電気エネルギから音響エネルギへの変
換効率の周波数に対する依存性は、主にトランスデュー
サ316,316’と反射器318,318’との構造
により決定され、この周波数依存性により、有用な濾波
特性を有する伝達関数が発生する。
【0007】図4は、従来技術による単独の入力端子と
単独の出力端子とを有する並置結合型四極SAW フィルタ
の簡略化された平面図である。従来の四極並置結合型SA
W フィルタは、従来の二極並置結合型SAW フィルタの対
を1つの電気結合トレース400で接合することにより
製造される。
【0008】切断角度が32ないし42+度のSTカット
クォーツ(切断角度=42.75度)の基板11が、い
くつかの用途に関しては好ましい。フィルタ・パターン
は、多くの場合数十ないし数百ナノメートルの厚みを有
するアルミニウムによって構成される金属薄膜を、集積
回路製造で採用されるものと同様の方法で付着およびパ
ターニングすることにより作成されるのが普通である。
基本的な単極SAW 共振器10(図1)は、反射格子1
8,18’の間に配置された交互嵌合電極フィンガ14
を備えるトランスデューサ16を含むのが普通である。
2つの単極SAW 共振器が互いに近接して配置されると、
新規の構造が作り出され、エネルギは第1トランスデュ
ーサおよび反射格子軌道から第2トランスデューサおよ
び反射格子軌道へと横方向に結合される。たとえば、第
1軌道13が電気的に駆動されると、エネルギは第2軌
道13’に結合し、結果として並置結合型フィルタ30
0ができあがる。
【0009】並置結合型共振器フィルタ100,300
は、入力端子15,15’に存在する信号の狭帯域濾波
を行い、出力端子17,17’に出力信号を設ける。こ
の種の並置結合型共振器フィルタは、隣接阻止機能の優
れた一層構造の急峻スカート濾波(steep skirted filt
ering )を行う。このため、並置結合型SAW フィルタ
は、現在のセルラ電話設計構造で用いるのに適した狭帯
域幅中間周波数フィルタとして頻繁に用いられる。
【0010】残念ながら、並置結合型共振器フィルタの
幾何学形状は、平衡(差分)入力および/または平衡
(差分)出力構造内で動作するようには容易にならな
い。しかし、平衡構造は、設計上の観点からは非常に望
ましいことが多い。平衡構造とは、正のリード線および
接地と負のリード線および接地との間のインピーダンス
が等しいことを意味すると理解される。しかし、差分入
力および/または差分出力終端をもって動作することの
できる表面弾性波(SAW )フィルタに関して、電気通信
産業の設計者からは需要が増大しつつある。
【0011】SAW フィルタを差分入力および/または差
分出力端子構造をもって設計することができると、この
SAW フィルタを、たとえばセルラ電話内の平衡または二
重平衡ミキサまたは平衡増幅器などのその他の電子部品
と直接的に整列構造に配置することが可能になる。この
ようなSAW フィルタを設計すると、トランスフォーマま
たはバランなどの他の部品の必要がなくなり、最終的な
製品の全体の部品点数を削減し、重量,寸法および消費
電力の削減など他の利点も得られる。独自のトランスデ
ューサ・レイアウトを内蔵して、差分入力および/また
は差分出力並置結合型共振器を設ける表面弾性波(SAW
)フィルタの設計と、それを設けるための関連する方
法とが必要である。
【0012】
【実施例】本明細書は、バラン,トランスフォーマなど
を用いることを必要とせずに、平衡給電信号をSAW フィ
ルタに直接的に結合することを可能にする方法を開示し
ている。図5は、被結合共振器フィルタ内の差分SAW ト
ランスデューサ516’の1つの用例を示すが、このよ
うなトランスデューサを他種のSAW 装置にも採用するこ
とができること、また他のトランスデューサに音響結合
されない単独のトランスデューサが周波数選択部品およ
びノッチ・フィルタなどの用途において周波数に依存す
るインピーダンスとしての有用性を見出すことは、関連
技術の技術者には明白であろう。
【0013】図5ないし図10は、差分入力および/ま
たは差分出力並置結合型SAW 共振器を採用する本発明に
よる新規の設計を示す。 例I 図5は、単端入力端子15と差分出力端子17+,17
−を有し、共通接地端子を有する二極並置結合型フィル
タ500に適応される本発明の第1実施例を示す。この
設計は、携帯セルラ電話などの電子機器の設計に、部品
点数を減らした状態で組み込んで、重量と寸法の両方を
小さくすることができる。もちろん、本発明はセルラ電
話設計に限らず、SAW フィルタを利用する任意の電子装
置にも組み込むことができる。
【0014】第1軌道13は、端子15および反射器3
18,318’を有する単端入力トランスデューサ51
6によって構成され、第2軌道13’は成端部17+,
17−,接地および反射器317,317’を有する差
分トランスデューサ516’によって構成される。ここ
では、出力バス・バーを2つの別々の部品512’51
2”に分割することが必要であり、対応する電極フィン
ガも個別群514’514”に分離される。群51
4’,514”は、音波長の1/2超だけ位相が空間的
に隔てられ、接地電極519,510も音波長の1/2
超だけ偏位される。言い換えると、電極514’,51
9は、共通または接地電極に結合された電極520から
音波長の1/2だけ(あるいはその整数倍だけ)偏位さ
れた、これも共通または接地ノードに結合される電極5
19を有する第1組の櫛形電極を形成する。一方、電極
520は、電極514”,520によって構成される第
2組の櫛形電極内に含まれる。フィルタ500は、種々
の電子設計用途に関して非平衡平衡条件(またはその
逆)の信号を変換し、同時に濾波機能を提供する。M.A.
Sharif他による「Coupled Resonator Filters With Dif
ferential Input And/Or Differential Output」(pp.6
7-70; 1995 Ultrasonics Symposium Proceedings,IEEE
Cat. No.0-7803-2940-6/95 )は、端子17+,17−
に存在するインピーダンスを説明し、これらは基本的
に、他の同等の幾何学形状をもつ単端トランスデューサ
で得られるものの4倍になる(たとえば関連文献の式6
を参照)。 例II 図6は、軌道13,13’が差分入力端子15+,15
−および差分出力端子17+,17−を有し、共通接地
端子を有する二極並置結合型フィルタに適応される本発
明の第2実施例を示す。本実施例においては、トランス
デューサ616,616’は、差分入力および差分出力
を提供するように設計されている。
【0015】フィルタ600は、入力端子15+,15
−と出力端子17+,17−とを有し、平衡入力平衡出
力二極並置結合型SAW フィルタ600をなす。第1軌道
13において、入力端子15+は第1組の電極514’
に結合し、入力端子15−はバス・バー512”を介し
て1/2音波長の倍数だけ第1群の電極514’から隔
てられた第2組の電極514’に結合し、接地電極51
9,520も音波長の1/2超だけ偏位される。反射器
318,318’が、第1および第2軌道13,13’
の両方と境を接する。
【0016】第2軌道13’は、バス・バー512’を
介して第1群の電極514’に結合された出力端子17
+と、第1群の電極514’から1/2音波長の倍数だ
け隔てられた第2群の電極514”とを備え、接地電極
519,520も、音波長の1/2超だけ偏位される。
【0017】第1および第2軌道13,13’は、それ
ぞれ、わずか数音波長の広さしか持たない(縦軸;図
6)のが普通であり、第1および第1軌道13,13’
の外側に大きなエネルギ内容を有する音波伝播モードに
対応する。たとえば、ある設計では、7波長分の幅また
はアパーチャが0.9波長の軌道間間隔、すなわち7.
9波長の中心間間隔と共に採用されている。第1および
第2軌道13,13’などの空洞構造が結合されると、
結合と、当初の(結合されない)構造のモードの知識か
ら計算することのできる特性を有する新規の音響伝播モ
ードが形成される。第1および第2軌道13,13’
は、設計帯域幅によって、4ないし13波長幅の範囲内
であれば有用であり、7ないし10波長幅の範囲であれ
ば望ましく、約8ないし9波長幅の範囲であることが好
ましい。
【0018】動作中は、適切な周波数および位相を有す
る電気的刺激が入力端子15+,15−に印加される
と、第1軌道13に音響エネルギが出現する。反射器3
18,318’は、ファブリ−ペロ空洞などによく似た
共振空洞を形成し、これが第1軌道13内の音響エネル
ギを水平軸に沿って捕獲する。このエネルギは、通常1
/2ないし3波長である2つの軌道の物理的近接度と、
2つの軌道の音響モードが空間的に重なり合い、合成さ
れた構造に関して新規の音響モードを提供するという事
実とにより一部が第2軌道13’に結合される。第2軌
道13’内の音響エネルギにより端子17+,17−に
電気エネルギが出現する。トランスデューサ616,6
16’と、第1および第2軌道13,13’と、音響結
合との伝達関数が組み合わされて、フィルタ600の全
体周波数応答となる。
【0019】希望または要望により、フィルタ600の
2つの半部分間の接地接続をフィルタ600の中心(す
なわち軌道13,13’の共通境界に沿ってある中心電
極を縦に貫通して)で分解することもできる。同様に、
望ましい場合は、軌道13,13’間の共通境界に沿っ
て走る電極内の金属皮膜の中心ストライプ(図6で横方
向)をなくすることにより、入力接地を出力接地から隔
離することもできる。このような構造は、接地または接
地ループを介するクロストークを減ずるために、入力お
よび出力接地を隔離することが望ましい設計に関して用
途を見出す。
【0020】本発明による新規の設計は、四極並置結合
型フィルタにも適応することができる。通常は、二極並
置結合型SAW フィルタ設計に2つの共振器を追加するこ
とにより、大きな帯域外阻止を有しプロファイルの改善
された電気周波数応答を得ることができる。図7および
図8は、本発明による新規の成端設計が四極SAW フィル
タ設計にどのように適応されるかという例をいくつか示
す。 例III 図7は、四極フィルタ701がフィルタ500(図5)
と類似の構造を1対、相互接続部700を介して組み合
わせ、フィルタ500で得られるより改善された性能
(たとえば帯域外阻止の増大,より急峻なスカートな
ど)を得る本発明の第3実施例を示す。第1および第2
軌道13,13’間の接地は、共通である必要はない
(すなわち軌道が異なる接地を用いる)ので、相互接続
部700と同様の相互接続(図示しないが共通接地1
5’,17’により暗示される)を第2軌道13’,1
3’間に設けて動作を改善することもできるが、この接
地接続部をフィルタ701の外部に置くこともできる。
図示されるように共通接地を有すると、通常必要とされ
る同調インダクタを端子700と接地との間に結合され
た1つのインダクタに最小限に抑えるという全体的な効
果がある。トランスデューサ516の長さが充分にある
場合は、端子700にはインダクタは必要ない。 例IV 図8は、共振器対の間に二重結合軌道を有する四極並置
結合型SAW フィルタ801が形成される本発明の第4実
施例を示す。この設計は、差分入力端子15+,15−
および差分出力端子17+,17−を有する点でフィル
タ701(図7)と似ているが、実際のトランスデュー
サ設計が異なる。二重電気結合軌道800,800’を
有するフィルタ801は、フィルタ801の第2および
第3軌道13’に対応する異なるトランスデューサ51
8,518’をも採用する。フィルタ801は実行可能
な実施例であるが、フィルタ701よりも望ましくない
実施例であることが多い。これは、800,800’相
互接続部においてインピーダンスがより大きくなるため
である。このことが設計上の要件と合致すると、この構
造が好適なものとなる。 例V 図9は、トランスデューサ916が単端入力端子15を
有し、トランスデューサ925が差分出力端子17+,
17−と共通接地端子とを有する二極並置結合型フィル
タに適応される本発明の第5実施例を示す。電気的に
は、フィルタ901はフィルタ500(図5)と同様で
ある。しかし、フィルタ901は、出力トランスデュー
サ925を設計するさらに別の方法を示す。入力トラン
スデューサ916は、入力トランスデューサ516(図
5)と同様であるが、本実施例においては、出力トラン
スデューサ925内のバス・バー927−の寸法がきわ
めて小さくなり、電極フィンガ構造も再設計される。出
願人は、この幾何学形状がフィルタ500(図5)に比
して挿入損において利点を持ち、さらにバス・バー92
7−においてもフォトリソグラフィック解像度の増大を
要することを発見した。実験的に評価された1組の設計
においては、バス・バー927−は方向30/31に垂
直の方向に約1マイクロメータの寸法を有し、1マイク
ロメータ未満程度の距離だけ隣接フィーチャから隔てら
れており、一方、バス・バー927+は方向30/31
に垂直な方向に測定して約100マイクロメータの寸法
を有した。トランスデューサ925を利用するこの二極
構造は、約1.3dBの挿入損を示した。このトランスデ
ューサ構造の別の利点は、特に、長い(すなわち方向3
0/31に)トランスデューサ925について、たとえ
ばトランスデューサ200(図6)と比べてインピーダ
ンスが削減されることである。これは、後者のトランス
デューサに伴うインピーダンスの増加が回避されるため
である。 例VI 図10は、四極並置結合型フィルタ1001に適応され
る本発明による第6実施例(図7のフィルタ701に類
似)を示す。フィルタ1001は、第2および第3軌道
13’に配置されたトランスデューサ1003,100
5の間に単独の電気結合軌道1000を備える。第2お
よび第3軌道13’間の接地相互接続部15’,17’
も、フィルタ1001の適切な動作のために必要である
ことは言うまでもない。フィルタ1001のトランスデ
ューサ925の顕著な特徴は、第1バス・バー940が
第1長寸法942と第1短寸法941とを有し、好まし
くは後者は1音波長未満の寸法を有し、第1長寸法94
2に平行に配置された第2バス・バー930は第2長寸
法932と第2短寸法931とを有し、第2短寸法93
1は、1音波長を超える。ここでも、出願人は、この設
計に関して挿入損が改善されることを発見した。ある設
計では、第1短寸法941は0.207波長幅になるよ
う選択され、近隣構造から0.162波長の間隙だけ隔
てられる。このフィルタは、同調インダクタなしで40
0MHz の周波数において約6dBの挿入損を示し、インダ
クタがあると4〜5dBの挿入損を示した。
【0021】間隙は周波数における偽帯域外応答の配置
を決定するので、寸法の異なる間隙200,200’を
作成すると有用である。第1寸法(たとえば方向30ま
たは31に沿って測定された波長の1/2)の間隙20
0と、異なる寸法(たとえば方向30または31に沿っ
て測定された波長の6/10)の間隙200’とを作る
ことにより、図2,図4,図7,図8および図10のフ
ィルタは、他の二極群からはゼロであるときに1つの二
極群から周波数が一致する偽応答を有し、複合フィルタ
の全体の帯域外阻止を改善する。図1ないし図10に示
されたものなどのSAW フィルタは、クォーツ(SiO2),
リチウム・ニオブ酸塩(LiNbO3),リチウム・タンタル
酸塩(LiTaO3 )およびリチウム四ホウ酸塩(Li2B4O7
などの適切に準備された基板上に構築することができ
る。 概要 図5ないし図10に図示された設計を用いて、一連の並
置結合型共振器フィルタが作成および試験された。試験
は、2つの二極部間に分路インダクタを用いた場合と用
いない場合とで行われた。その結果を以下の表I にまと
める。
【0022】表I のデータの比較から、1つの二極フィ
ルタ部は適度な挿入損を示し、帯域外阻止は比較的劣る
ことが分かる。四極設計内に分路インダクタを備える
と、挿入損は1ないし約2.5dB改善され、帯域外阻止
に関しては結果が混合する。10*の最適化設計は、電
気機械負荷効果から起こる通過帯域歪みを補償するため
に格子周波数よりも多少大きな中心周波数を有するトラ
ンスデューサを用いている。この設計により、挿入損,
通過帯域帯域幅,帯域外阻止および偽信号応答の魅力的
な組み合わせが得られる。 種類 IL BW Spur Rej (図) (dB) (%) (dB) (dB) 3 1.6 0.096 10 23 4 5.0 0.06 38 44 4 3.8 0.09 34 44 7 8.3 0.08 31 55 7 5.1 0.09 11 40 8 7.9 0.08 32 50 8 5.4 0.07 8 35 10 9.0 0.09 30 54 10 6.4 0.07 28 58 10* 6.1 0.07 34 55 10* 5.1 0.10 30 42 表I :並置結合型共振器フィルタに関する実験結果。種
類はフィルタ種類を示す図面番号を指し、各種類に関す
るデータのうち上の組が分路インダクタのない場合、各
フィルタ種類に関するデータのうち下の組が分路インダ
クタのある場合に対応する(アスタリスクは最適化設計
を示す);ILは挿入損;BWは帯域幅で、二極設計(たと
えば3)については1.5dBで四極設計(たとえば4以
上)については3dBである;Spurは偽信号レベル;Rej
は帯域外阻止を示す。本明細書で採用される語法または
用語は説明のためのものであって、制限するためのもの
ではない。従って、本発明は添付の請求項の精神および
広義に係るこれらすべての代替例,改良,等価物および
変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術による単極表面弾性波(SAW )共振器
の電極構造を示す。
【図2】従来技術による並置結合型二極SAW 共振器がい
かにして形成されるかを示す。
【図3】従来技術による1つの入力端子と1つの出力端
子とを有する並置結合型二極SAW フィルタの別の実施例
の簡略化された平面図を示す。
【図4】従来技術による1つの入力端子と1つの出力端
子とを有する並置結合型四極SAW フィルタの簡略化され
た平面図を示す。
【図5】本発明による、共振器が1つの入力端子と差分
出力端子とを有し共通接地端子を有する二極並置結合型
フィルタに適応される本発明の第1実施例を示す。
【図6】共振器が差分入力端子と差分出力端子とを有し
共通接地端子を有する二極並置結合型フィルタに適応さ
れる本発明の第2実施例を示す。
【図7】四極並置結合型SAW フィルタが、共振器対の間
に1つの結合軌道を有して形成される本発明の第3実施
例を示す。
【図8】四極並置結合型SAW フィルタが、共振器対の間
に二重結合軌道を有して形成される本発明の第4実施例
を示す。
【図9】共振器が1つの入力端子と差分出力端子とを有
し共通接地端子を有する二極並置結合型フィルタに適応
される本発明の第5実施例を示す。
【図10】共振器対の間に1つの結合軌道を有する四極
並置結合型フィルタに適応される本発明の第6実施例を
示す。
【符号の説明】
13,13’ 軌道 15 入力端子 15’,17’ 接地端子 17+,17− 差分出力端子 30,31 方向 200 間隙 317,317’ 接地反射器 318,318’ 反射器 500 二極並置結合型フィルタ 512’,512” バス・バー 514’,514” 電極フィンガ群 516,516’ トランスデューサ 519,520 接地電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 音波装置(500,600,701,8
    01,901,1001)を作成する方法であって: a)音波伝播を支援することのできる基板(11)を設
    ける段階;および b)前記基板(11)上に第1トランスデューサ(51
    8,518’)を配置する段階であって、前記第1トラ
    ンスデューサ(518,518’)を配置する前記段階
    が: i)第1周期を有する第1群の電極(514’)を前記
    基板(11)上に配置する段階であって、前記第1群の
    電極(514’)が第1電気相互接続部(17+)に結
    合される段階; ii)前記第1周期を有する第2群の電極(514”)
    を前記基板(11)上に配置する段階であって、前記第
    2群の電極(514”)が第2電気相互接続部(17
    −)に結合される段階; iii)前記第1周期を有する第3群の電極(519)
    を前記基板(11)上に配置する段階であって、前記第
    3群の電極(519)が共通電気相互接続部(17’)
    に結合され、前記第3群の電極(519)に前記第1群
    の電極(514’)が挟み込まれる段階;および iv)前記第1周期を有する第4群の電極(520)を
    前記基板(11)上に配置する段階であって、前記第4
    群の電極(520)が前記共通電気相互接続部(1
    7’)に結合され、前記第4群の電極(520)に前記
    第2群の電極(514”)が挟み込まれ、前記第4群の
    電極(520)が前記第3群の電極(519)と整列構
    造に配置されて前記音波装置(500,600,70
    1,801,901,1001)の中心周波数に対応す
    る音波の半波長の整数倍だけそこから偏位される段階;
    によって構成される段階;によって構成されることを特
    徴とする方法。
  2. 【請求項2】 音波装置(500,600,701,8
    01,901,1001)であって:音波伝播を支援す
    ることのできる基板(11);および前記基板(11)
    上に配置される第1トランスデューサ(518,51
    8’)であって:前記基板(11)上に配置され、第1
    電気相互接続部(17+)に結合される第1周期を有す
    る第1群の電極(514’);前記基板(11)上に配
    置され、第2電気相互接続部(17−)に結合される前
    記第1周期を有する第2群の電極(514”);前記基
    板(11)上に配置され、共通電気相互接続部(1
    7’)に結合される前記第1周期を有する第3群の電極
    (519)であって、前記第1群の電極(514’)が
    挟み込まれる前記第3群の電極(519);および前記
    基板(11)上に配置され、前記共通電気相互接続部
    (17’)に結合される前記第1周期を有する第4群の
    電極(520)であって、前記第4群の電極(520)
    には前記第2群の電極(514”)が挟み込まれ、前記
    第3群の電極(519)と整列構造に配置されて、前記
    音波装置(500,600,701,801,901,
    1001)の中心周波数に対応する音波の半波長の整数
    倍だけそこから偏位される前記第4群の電極(52
    0);によって構成される第1トランスデューサ(51
    8,518’);によって構成されることを特徴とする
    音波装置(500,600,701,801,901,
    1001)。
  3. 【請求項3】 音波装置(500,600,701,8
    01,901,1001)であって:音波伝播を支援す
    ることのできる基板(11);および前記基板(11)
    上に配置される第1トランスデューサ(518,51
    8’)であって:第1周期を有する第1組の挟込櫛形電
    極(514’)であって、第1電気相互接続部(17
    +)と共通相互接続部(17’)とを有する前記第1組
    の挟込櫛形電極(514’);および前記第1周期を有
    する第2組の挟込櫛形電極(514”)であって、第2
    電気相互接続部(17−)と共通相互接続部(17’)
    とを有する前記第2組の挟込櫛形電極(514”);を
    組み合わせて構成される第1トランスデューサ(51
    8,518’)であって、前記共通相互接続部(1
    7’)に結合される前記第1組(514’)および第2
    組(514”)の挟込櫛形電極が前記音波装置(50
    0,600,701,801,901,1001)の中
    心周波数における半音波長の整数倍だけ互いに偏位され
    る前記第1トランスデューサ(518,518’);に
    よって構成されることを特徴とする音波装置(500,
    600,701,801,901,1001)。
JP9173175A 1996-08-12 1997-06-13 差分入力および/または差分出力並置結合型表面弾性波フィルタおよびその方法 Pending JPH1093388A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6762657B2 (en) 2000-04-18 2004-07-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2739232B1 (fr) * 1995-09-26 1997-10-24 Thomson Csf Filtre a ondes acoustiques de surface utilisant le couplage de trois voies acoustiques
GB2306821B (en) * 1995-11-03 2000-05-31 Advanced Saw Prod Sa Electro-acoustic device
US6348845B2 (en) 1996-05-23 2002-02-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter
US6801100B2 (en) * 1996-05-23 2004-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same
EP0921636B1 (en) * 1996-05-23 2007-04-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter
JP3239064B2 (ja) * 1996-05-28 2001-12-17 富士通株式会社 弾性表面波装置
FR2762458B1 (fr) * 1997-04-18 1999-07-09 Thomson Csf Dispositif a ondes acoustiques de surface a couplage par proximite a entrees/sorties differentielles
JP3253568B2 (ja) * 1997-08-29 2002-02-04 富士通株式会社 多段接続型弾性表面波フィルタ
JPH11340774A (ja) * 1998-05-26 1999-12-10 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JP2000244275A (ja) * 1999-02-19 2000-09-08 Murata Mfg Co Ltd Saw共振子フィルタ
JP3402311B2 (ja) * 2000-05-19 2003-05-06 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
JP4411539B2 (ja) * 2005-08-25 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 Saw共振子
US12334910B2 (en) 2021-07-06 2025-06-17 Skyworks Solutions, Inc. Surface acoustic wave resonator with asymmetric reflectors

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59131213A (ja) * 1982-07-26 1984-07-28 Toyo Commun Equip Co Ltd 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタ
FR2658013B1 (fr) * 1990-02-02 1992-04-17 Thomson Csf Filtre a ondes acoustiques de surface.
FR2661292B1 (fr) * 1990-04-24 1995-07-21 Thomson Csf Filtre a ondes de surface et a faibles pertes.
US5265267A (en) * 1991-08-29 1993-11-23 Motorola, Inc. Integrated circuit including a surface acoustic wave transformer and a balanced mixer
FR2682833B1 (fr) * 1991-10-18 1993-12-03 Thomson Csf Filtre a ondes de surface et a trajet acoustique replie.
JP3369581B2 (ja) * 1991-11-01 2003-01-20 株式会社東芝 多段接続多重モードフィルタ及び弾性表面波フィルタ装置
JPH05183372A (ja) * 1991-12-26 1993-07-23 Toshiba Corp 弾性表面波装置
FR2693056B1 (fr) * 1992-06-26 1996-12-20 Thomson Csf Filtre a ondes de surface a reseaux reflechissants.
CA2110362C (en) * 1992-12-01 1998-01-06 Hiromi Yatsuda Surface acoustic wave filter and mobile communication system using same
DE69424737T2 (de) * 1993-10-08 2000-09-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Akustisches Oberflächenwellenfilter
US5365138A (en) * 1993-12-02 1994-11-15 Northern Telecom Limited Double mode surface wave resonators
JP3244386B2 (ja) * 1994-08-23 2002-01-07 松下電器産業株式会社 弾性表面波装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6762657B2 (en) 2000-04-18 2004-07-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter

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