JPH1099853A - 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置 - Google Patents
水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置Info
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- JPH1099853A JPH1099853A JP8256755A JP25675596A JPH1099853A JP H1099853 A JPH1099853 A JP H1099853A JP 8256755 A JP8256755 A JP 8256755A JP 25675596 A JP25675596 A JP 25675596A JP H1099853 A JPH1099853 A JP H1099853A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成と操作により、効率よくＴＡＡＨ
（水酸化テトラアルキルアンモニウムをほぼ完全に回収
できるとともに、他の有機物を含む不純物は改質して吸
着等により除去でき、これにより高純度の水を回収す
る。 【解決手段】 ＴＡＡＨ含有水１１を弱酸性カチオン交
換塔２に通水してＴＡＡＨを吸着させ、ＴＡＡＨは酸で
再生して回収し、弱酸性カチオン交換塔２の処理水はオ
ゾン酸化塔３でオゾン酸化して吸着可能な成分に分解
し、オゾン処理水を活性炭吸着塔５で吸着処理し、さら
に強酸性カチオン交換塔６および強塩基性アニオン交換
塔７でイオン交換および吸着処理し、高純度の処理水１
８を回収する。
（水酸化テトラアルキルアンモニウムをほぼ完全に回収
できるとともに、他の有機物を含む不純物は改質して吸
着等により除去でき、これにより高純度の水を回収す
る。 【解決手段】 ＴＡＡＨ含有水１１を弱酸性カチオン交
換塔２に通水してＴＡＡＨを吸着させ、ＴＡＡＨは酸で
再生して回収し、弱酸性カチオン交換塔２の処理水はオ
ゾン酸化塔３でオゾン酸化して吸着可能な成分に分解
し、オゾン処理水を活性炭吸着塔５で吸着処理し、さら
に強酸性カチオン交換塔６および強塩基性アニオン交換
塔７でイオン交換および吸着処理し、高純度の処理水１
８を回収する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水酸化テトラアル
キルアンモニウム（以下、ＴＡＡＨという場合がある）
含有水を処理し、ＴＡＡＨと水を回収するための装置に
関するものである。
キルアンモニウム（以下、ＴＡＡＨという場合がある）
含有水を処理し、ＴＡＡＨと水を回収するための装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】集積回路、液晶装置等の半導体製造工
程、プリント配線基板製造工程などにおけるフォトリソ
グラフィ工程では、フォトレジスト、特にポジ型のフォ
トレジストの現像液として水酸化テトラメチルアンモニ
ウム（以下、ＴＭＡＨという場合がある）等のＴＡＡＨ
が使用されている。このためこれらの工程から排出され
る排水中にはフォトレジスト、ＴＡＡＨおよびこれらの
反応物が含まれており、このうちＴＡＡＨは比率が高く
主成分となっているため、これらの排水はＴＡＡＨ含有
水と呼ばれることがある。
程、プリント配線基板製造工程などにおけるフォトリソ
グラフィ工程では、フォトレジスト、特にポジ型のフォ
トレジストの現像液として水酸化テトラメチルアンモニ
ウム（以下、ＴＭＡＨという場合がある）等のＴＡＡＨ
が使用されている。このためこれらの工程から排出され
る排水中にはフォトレジスト、ＴＡＡＨおよびこれらの
反応物が含まれており、このうちＴＡＡＨは比率が高く
主成分となっているため、これらの排水はＴＡＡＨ含有
水と呼ばれることがある。
【０００３】従来、ＴＡＡＨ含有水の処理方法として、
酸化剤添加下に紫外線処理し、ＲＯ（逆浸透）処理する
方法（特開昭６３−２９４９８９号）、あるいはオゾン
酸化したのちＲＯ処理する方法（特開平７−１３６６５
１号）がある。しかしこれらの方法では、酸化はＲＯ膜
の閉塞を防止するために行っており、ＲＯ処理は排液を
濃縮するために行っているにすぎず、濃縮液は別途処理
を必要とするとともに、有用物の回収も行えないという
問題点がある。
酸化剤添加下に紫外線処理し、ＲＯ（逆浸透）処理する
方法（特開昭６３−２９４９８９号）、あるいはオゾン
酸化したのちＲＯ処理する方法（特開平７−１３６６５
１号）がある。しかしこれらの方法では、酸化はＲＯ膜
の閉塞を防止するために行っており、ＲＯ処理は排液を
濃縮するために行っているにすぎず、濃縮液は別途処理
を必要とするとともに、有用物の回収も行えないという
問題点がある。
【０００４】一方、ＴＡＡＨを回収する方法として、被
処理液を電気透析する方法がある（特開平７−３２８６
４２号）。しかしこの方法では電解質の導電性を利用し
て通電することにより電解質を移動させて濃縮するもの
であるから、完全にＴＡＡＨを回収することはできず、
また生成する濃縮液を別途処理する必要があり、水の回
収も困難であるという問題がある。
処理液を電気透析する方法がある（特開平７−３２８６
４２号）。しかしこの方法では電解質の導電性を利用し
て通電することにより電解質を移動させて濃縮するもの
であるから、完全にＴＡＡＨを回収することはできず、
また生成する濃縮液を別途処理する必要があり、水の回
収も困難であるという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、簡単
な構成と操作により、効率よくＴＡＡＨおよび水を回収
することが可能な水酸化テトラアルキルアンモニウム含
有水の処理装置を提供することである。
な構成と操作により、効率よくＴＡＡＨおよび水を回収
することが可能な水酸化テトラアルキルアンモニウム含
有水の処理装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、水酸化テトラ
アルキルアンモニウム含有水を処理し、水酸化テトラア
ルキルアンモニウムと水を回収するための装置であっ
て、被処理水から水酸化テトラアルキルアンモニウムを
吸着して回収する弱酸性カチオン交換塔と、弱酸性カチ
オン交換塔の処理水をオゾンと反応させて有機物を酸化
分解するオゾン酸化塔と、オゾン酸化塔の処理水を接触
させて低分子の有機物を吸着する活性炭吸着塔と、活性
炭吸着塔の処理水をイオン交換処理する強酸性カチオン
交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用いるイオ
ン交換装置とを備えていることを特徴とする水酸化テト
ラアルキルアンモニウム含有水の処理装置である。
アルキルアンモニウム含有水を処理し、水酸化テトラア
ルキルアンモニウムと水を回収するための装置であっ
て、被処理水から水酸化テトラアルキルアンモニウムを
吸着して回収する弱酸性カチオン交換塔と、弱酸性カチ
オン交換塔の処理水をオゾンと反応させて有機物を酸化
分解するオゾン酸化塔と、オゾン酸化塔の処理水を接触
させて低分子の有機物を吸着する活性炭吸着塔と、活性
炭吸着塔の処理水をイオン交換処理する強酸性カチオン
交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用いるイオ
ン交換装置とを備えていることを特徴とする水酸化テト
ラアルキルアンモニウム含有水の処理装置である。
【０００７】本発明において被処理水であるＴＡＡＨ含
有水は、集積回路、液晶装置等の半導体製造工程、プリ
ント配線基板製造工程などにおけるフォトリソグラフィ
工程などから排出されるＴＡＡＨを含有する水であり、
ＴＡＡＨのほかにフォトレジストおよびその反応物その
他の成分が含まれる場合が多い。ＴＡＡＨとしてはＴＭ
ＡＨが含まれる場合が多いが、他のＴＡＡＨが含まれる
場合もある。
有水は、集積回路、液晶装置等の半導体製造工程、プリ
ント配線基板製造工程などにおけるフォトリソグラフィ
工程などから排出されるＴＡＡＨを含有する水であり、
ＴＡＡＨのほかにフォトレジストおよびその反応物その
他の成分が含まれる場合が多い。ＴＡＡＨとしてはＴＭ
ＡＨが含まれる場合が多いが、他のＴＡＡＨが含まれる
場合もある。
【０００８】弱酸性カチオン交換塔は被処理水からＴＡ
ＡＨを吸着して回収するためのもので、内部に弱酸性カ
チオン交換樹脂層を形成し、これに被処理液路から被処
理水を通液して吸着を行い、吸着を行ったのちに酸を通
液して再生する再生手段を有するように構成される。弱
酸性カチオン交換樹脂はＨ形を用い、通水および再生剤
の通液方向は下向流とするのが好ましいが、逆でもよ
い。弱酸性カチオン交換樹脂はアルカリ性のＴＡＡＨを
容易に吸着し、かつ酸による脱着が容易であるため、効
率よくＴＡＡＨを回収することが可能になる。
ＡＨを吸着して回収するためのもので、内部に弱酸性カ
チオン交換樹脂層を形成し、これに被処理液路から被処
理水を通液して吸着を行い、吸着を行ったのちに酸を通
液して再生する再生手段を有するように構成される。弱
酸性カチオン交換樹脂はＨ形を用い、通水および再生剤
の通液方向は下向流とするのが好ましいが、逆でもよ
い。弱酸性カチオン交換樹脂はアルカリ性のＴＡＡＨを
容易に吸着し、かつ酸による脱着が容易であるため、効
率よくＴＡＡＨを回収することが可能になる。
【０００９】オゾン酸化塔は弱酸性カチオン交換塔の処
理水を導入し、オゾンと接触させて有機物を酸化分解す
るように構成される。接触方法としては液相中にオゾン
含有ガスを吹込む吹込式、被処理水をスプレーして接触
させるスプレー式、充填材層を介して接触させる充填材
層式などがあげられる。オゾン含有ガスとしては純オゾ
ンガスでもよいが、一般的にはオゾン発生機から得られ
るオゾン化空気が好ましい。
理水を導入し、オゾンと接触させて有機物を酸化分解す
るように構成される。接触方法としては液相中にオゾン
含有ガスを吹込む吹込式、被処理水をスプレーして接触
させるスプレー式、充填材層を介して接触させる充填材
層式などがあげられる。オゾン含有ガスとしては純オゾ
ンガスでもよいが、一般的にはオゾン発生機から得られ
るオゾン化空気が好ましい。
【００１０】活性炭吸着塔は内部に活性炭層を形成し、
オゾン酸化塔の処理水を通液して接触させるように構成
する。活性炭としては粒状活性炭、粉状活性炭など、任
意のものが使用できるが、粒状活性炭が好ましい。通水
方向は下向流が好ましいが、逆でもよい。また活性炭は
加熱処理等により再生して使用可能とする。
オゾン酸化塔の処理水を通液して接触させるように構成
する。活性炭としては粒状活性炭、粉状活性炭など、任
意のものが使用できるが、粒状活性炭が好ましい。通水
方向は下向流が好ましいが、逆でもよい。また活性炭は
加熱処理等により再生して使用可能とする。
【００１１】イオン交換装置は強酸性カチオン交換樹脂
および強塩基性アニオン交換樹脂を用いて活性炭処理水
をカチオン交換およびアニオン交換するように構成され
る。このようなイオン交換装置は強酸性カチオン交換樹
脂層を形成したカチオン交換塔と、強塩基性アニオン交
換樹脂層を形成したアニオン交換塔からなる２塔式に構
成するのが一般的であるが、両樹脂層を１塔内に形成し
た複層式、あるいは両樹脂を混合した混床式でもよい。
および強塩基性アニオン交換樹脂を用いて活性炭処理水
をカチオン交換およびアニオン交換するように構成され
る。このようなイオン交換装置は強酸性カチオン交換樹
脂層を形成したカチオン交換塔と、強塩基性アニオン交
換樹脂層を形成したアニオン交換塔からなる２塔式に構
成するのが一般的であるが、両樹脂層を１塔内に形成し
た複層式、あるいは両樹脂を混合した混床式でもよい。
【００１２】強酸性カチオン交換樹脂はＨ形、強塩基性
アニオン交換樹脂はＯＨ形でイオン交換を行い、それぞ
れ酸またはアルカリ再生剤により再生する再生手段を設
ける。強塩基性アニオン交換樹脂はＩ型でもII型でもよ
い。通水は上向流とし、向流再生を行うように構成する
のが好ましいが、他の方向でもよい。
アニオン交換樹脂はＯＨ形でイオン交換を行い、それぞ
れ酸またはアルカリ再生剤により再生する再生手段を設
ける。強塩基性アニオン交換樹脂はＩ型でもII型でもよ
い。通水は上向流とし、向流再生を行うように構成する
のが好ましいが、他の方向でもよい。
【００１３】本発明の装置では弱酸性カチオン交換塔の
前に濾過装置、凝集処理等の前処理装置を設けてもよ
く、またイオン交換装置の後にＲＯ装置、殺菌装置等の
後処理装置を設けてもよく、また各塔または装置の中間
に他の処理装置を介在させてもよい。また各塔または装
置の中間、例えばオゾン酸化塔と活性炭吸着塔の中間に
蒸発濃縮器の凝縮などの他の被処理水を導入して混合処
理を行うように構成することも可能である。
前に濾過装置、凝集処理等の前処理装置を設けてもよ
く、またイオン交換装置の後にＲＯ装置、殺菌装置等の
後処理装置を設けてもよく、また各塔または装置の中間
に他の処理装置を介在させてもよい。また各塔または装
置の中間、例えばオゾン酸化塔と活性炭吸着塔の中間に
蒸発濃縮器の凝縮などの他の被処理水を導入して混合処
理を行うように構成することも可能である。
【００１４】上記の装置による処理方法は、まず被処理
水を弱酸性カチオン交換塔に導入して、被処理水中のＴ
ＡＡＨを弱酸性カチオン交換樹脂に交換吸着させる。こ
の場合、弱酸性カチオン交換樹脂層に被処理液を通液す
ると、破過点まではＴＡＡＨは処理水中にリークしない
ので、被処理液中のＴＡＡＨをほぼ完全に吸着させるこ
とができる。
水を弱酸性カチオン交換塔に導入して、被処理水中のＴ
ＡＡＨを弱酸性カチオン交換樹脂に交換吸着させる。こ
の場合、弱酸性カチオン交換樹脂層に被処理液を通液す
ると、破過点まではＴＡＡＨは処理水中にリークしない
ので、被処理液中のＴＡＡＨをほぼ完全に吸着させるこ
とができる。
【００１５】弱酸性カチオン交換樹脂に吸着したＴＡＡ
Ｈは樹脂を酸で再生することにより、塩として回収する
ことができる。すなわちＴＡＡＨは弱酸性カチオン交換
樹脂にトリアルキルアンモニウム（ＴＡＡ）イオンとし
て吸着しているので、これを酸で再生することにより、
ＴＡＡの塩が脱着して回収される。ＴＡＡ塩は加水分解
することによりＴＡＡＨとして回収される。
Ｈは樹脂を酸で再生することにより、塩として回収する
ことができる。すなわちＴＡＡＨは弱酸性カチオン交換
樹脂にトリアルキルアンモニウム（ＴＡＡ）イオンとし
て吸着しているので、これを酸で再生することにより、
ＴＡＡの塩が脱着して回収される。ＴＡＡ塩は加水分解
することによりＴＡＡＨとして回収される。
【００１６】弱酸性カチオン交換樹脂を再生するための
酸としては塩酸、硫酸などの鉱酸が使用される。上記の
イオン交換および再生の操作は弱酸性カチオン交換樹脂
の通常の操作と同様に行われる。例えば通液方向は上向
流でも下向流でもよく、また再生も向流再生、順流再生
のいずれでもよく、流速も同様に決められる。
酸としては塩酸、硫酸などの鉱酸が使用される。上記の
イオン交換および再生の操作は弱酸性カチオン交換樹脂
の通常の操作と同様に行われる。例えば通液方向は上向
流でも下向流でもよく、また再生も向流再生、順流再生
のいずれでもよく、流速も同様に決められる。
【００１７】弱酸性カチオン交換塔の処理水はオゾン酸
化塔に導入してオゾン含有ガスと接触させ、有機物を酸
化分解する。ここで分解される有機物はフォトレジス
ト、その反応物、その他の有機物であり、着色成分を含
む。これらの有機物はそのまま活性炭処理およびイオン
交換処理を行ってもあまり除去できないが、オゾン酸化
することにより酸化分解されて改質され、活性炭処理お
よびイオン交換処理による除去が可能になる。
化塔に導入してオゾン含有ガスと接触させ、有機物を酸
化分解する。ここで分解される有機物はフォトレジス
ト、その反応物、その他の有機物であり、着色成分を含
む。これらの有機物はそのまま活性炭処理およびイオン
交換処理を行ってもあまり除去できないが、オゾン酸化
することにより酸化分解されて改質され、活性炭処理お
よびイオン交換処理による除去が可能になる。
【００１８】オゾン処理に用いるオゾン量は有機物を完
全に分解する量である必要はなく、改質に必要な量であ
り、含まれる有機物の種類、量その他の条件により異な
るが、一般的には６〜１０ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ、
好ましくは８〜９ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ程度とされ
る。色度除去のみを目的とする場合は６ｍｇ−Ｏ3／ｍ
ｇ−ＴＯＣでよいが、完全を期すためには８ｍｇ−Ｏ3
／ｍｇ−ＴＯＣの添加が必要である。
全に分解する量である必要はなく、改質に必要な量であ
り、含まれる有機物の種類、量その他の条件により異な
るが、一般的には６〜１０ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ、
好ましくは８〜９ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ程度とされ
る。色度除去のみを目的とする場合は６ｍｇ−Ｏ3／ｍ
ｇ−ＴＯＣでよいが、完全を期すためには８ｍｇ−Ｏ3
／ｍｇ−ＴＯＣの添加が必要である。
【００１９】オゾン酸化処理水は活性炭吸着塔に導入し
て活性炭と接触させ、酸化分解により低分子化した有機
物を吸着させる。これにより改質された有機物は活性炭
に吸着されて除去される。活性炭に吸着された有機物は
加熱等の再生工程により除去される。
て活性炭と接触させ、酸化分解により低分子化した有機
物を吸着させる。これにより改質された有機物は活性炭
に吸着されて除去される。活性炭に吸着された有機物は
加熱等の再生工程により除去される。
【００２０】活性炭吸着塔の処理水はイオン交換装置に
導入してイオン交換および吸着処理を行う。強酸性カチ
オン交換樹脂層ではカチオン交換が行われ、無機のカチ
オンならびにカチオン性の有機物が交換吸着する。強塩
基性アニオン交換樹脂層では、アニオン交換により無機
のアニオンが交換するほか、アニオン性の有機物も吸着
する。これにより活性炭吸着塔で除去されなかった有機
物が吸着されるほか、脱塩も行われ、処理水は純水とし
て回収される。
導入してイオン交換および吸着処理を行う。強酸性カチ
オン交換樹脂層ではカチオン交換が行われ、無機のカチ
オンならびにカチオン性の有機物が交換吸着する。強塩
基性アニオン交換樹脂層では、アニオン交換により無機
のアニオンが交換するほか、アニオン性の有機物も吸着
する。これにより活性炭吸着塔で除去されなかった有機
物が吸着されるほか、脱塩も行われ、処理水は純水とし
て回収される。
【００２１】強酸性カチオン交換樹脂の再生は塩酸、硫
酸等の酸により、また強塩基性アニオン交換樹脂の再生
は水酸化ナトリウム等のアルカリにより行う。上記の通
水および再生の操作は強酸性カチオン交換樹脂および強
塩基性アニオン交換樹脂を用いる通常のイオン交換装置
と同様に行われる。
酸等の酸により、また強塩基性アニオン交換樹脂の再生
は水酸化ナトリウム等のアルカリにより行う。上記の通
水および再生の操作は強酸性カチオン交換樹脂および強
塩基性アニオン交換樹脂を用いる通常のイオン交換装置
と同様に行われる。
【００２２】上記の処理により、ＴＯＣ２０００ｍｇ／
ｌ前後、色度７０〜９０度、導電率８０００〜９０００
μＳ／ｃｍ、ｐＨ１２のＴＡＡＨ含有水から、ＴＡＡＨ
をほぼ完全に回収し、しかもＴＯＣ０．２〜０．４ｍｇ
／ｌ、色度０度、導電率０．５〜２μＳ／ｃｍ、ｐＨ７
前後の純水を回収することができる。回収したＴＡＡＨ
はそのままフォトリゾグラフィ工程に再利用され、また
純水は洗浄水、ボイラ水、冷却水等に再利用される。
ｌ前後、色度７０〜９０度、導電率８０００〜９０００
μＳ／ｃｍ、ｐＨ１２のＴＡＡＨ含有水から、ＴＡＡＨ
をほぼ完全に回収し、しかもＴＯＣ０．２〜０．４ｍｇ
／ｌ、色度０度、導電率０．５〜２μＳ／ｃｍ、ｐＨ７
前後の純水を回収することができる。回収したＴＡＡＨ
はそのままフォトリゾグラフィ工程に再利用され、また
純水は洗浄水、ボイラ水、冷却水等に再利用される。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。図１は実施形態のＴＡＡＨ含有水処理
装置を示す系統図である。
により説明する。図１は実施形態のＴＡＡＨ含有水処理
装置を示す系統図である。
【００２４】図１において、１は被処理水槽、２は内部
にＨ形弱酸性カチオン交換樹脂層２ａを形成した弱酸性
カチオン交換塔、３は下部にオゾン吹込装置３ａを有す
るオゾン酸化塔、４は中継槽、５は内部に活性炭層５ａ
を形成した活性炭吸着塔、６は内部にＨ形強酸性カチオ
ン交換樹脂層６ａを形成した強酸性カチオン交換塔、７
は内部にＯＨ形強塩基性アニオン交換樹脂層７ａを形成
した強塩基性アニオン交換塔である。これらは被処理水
路１１、連絡路１２〜１７および処理水路１８によりシ
リーズに連絡している。強酸性カチオン交換塔６と強塩
基性アニオン交換塔７はイオン交換装置を構成してい
る。
にＨ形弱酸性カチオン交換樹脂層２ａを形成した弱酸性
カチオン交換塔、３は下部にオゾン吹込装置３ａを有す
るオゾン酸化塔、４は中継槽、５は内部に活性炭層５ａ
を形成した活性炭吸着塔、６は内部にＨ形強酸性カチオ
ン交換樹脂層６ａを形成した強酸性カチオン交換塔、７
は内部にＯＨ形強塩基性アニオン交換樹脂層７ａを形成
した強塩基性アニオン交換塔である。これらは被処理水
路１１、連絡路１２〜１７および処理水路１８によりシ
リーズに連絡している。強酸性カチオン交換塔６と強塩
基性アニオン交換塔７はイオン交換装置を構成してい
る。
【００２５】８は凝縮水槽、９は内部にＨ形強酸性カチ
オン交換樹脂層９ａを形成したアンモニア除去塔であ
り、これらは凝縮水路２１、連絡路２２によりシリーズ
に連絡し、連絡路２３により中継槽４に連絡している。
この系路は超純水製造システム等の再生排液その他の排
液を蒸発濃縮する工程から凝縮水が生成する場合に、任
意的に設けられるものである。
オン交換樹脂層９ａを形成したアンモニア除去塔であ
り、これらは凝縮水路２１、連絡路２２によりシリーズ
に連絡し、連絡路２３により中継槽４に連絡している。
この系路は超純水製造システム等の再生排液その他の排
液を蒸発濃縮する工程から凝縮水が生成する場合に、任
意的に設けられるものである。
【００２６】弱酸性カチオン交換塔２およびアンモニア
除去塔９は下向流通水、下向流再生、活性炭吸着塔５は
下向流通水、強酸性カチオン交換塔６および強塩基性ア
ニオン交換塔７は上向流通水、下向流再生となるように
通液および再生手段が形成されているが、詳細な図示は
省略されている。
除去塔９は下向流通水、下向流再生、活性炭吸着塔５は
下向流通水、強酸性カチオン交換塔６および強塩基性ア
ニオン交換塔７は上向流通水、下向流再生となるように
通液および再生手段が形成されているが、詳細な図示は
省略されている。
【００２７】上記の装置による処理方法は、まず被処理
水路１１から被処理水槽１に導入され貯留されている被
処理水を、連絡路１２から弱酸性カチオン交換塔２に導
入して下向流で通水し、被処理水中のＴＡＡＨを弱酸性
カチオン交換樹脂層２ａに交換吸着させる。この場合、
弱酸性カチオン交換樹脂層２ａに被処理水を通水する
と、破過点まではＴＡＡＨは処理水中にリークしないの
で、被処理水中のＴＡＡＨをほぼ完全に吸着させること
ができる。
水路１１から被処理水槽１に導入され貯留されている被
処理水を、連絡路１２から弱酸性カチオン交換塔２に導
入して下向流で通水し、被処理水中のＴＡＡＨを弱酸性
カチオン交換樹脂層２ａに交換吸着させる。この場合、
弱酸性カチオン交換樹脂層２ａに被処理水を通水する
と、破過点まではＴＡＡＨは処理水中にリークしないの
で、被処理水中のＴＡＡＨをほぼ完全に吸着させること
ができる。
【００２８】弱酸性カチオン交換樹脂層２ａに吸着した
ＴＡＡＨは樹脂を酸で再生することによりＴＡＡの塩と
して回収することができる。すなわちＴＡＡＨは弱酸性
カチオン交換にＴＡＡイオンとして吸着しているので、
これを酸で再生することによりＴＡＡの塩が脱着して回
収される。ＴＡＡ塩は加水分解することによりＴＡＡＨ
として回収される。弱酸性カチオン交換樹脂を再生する
ための酸としては塩酸、硫酸などの酸が使用される。上
記のイオン交換および再生の操作は弱酸性カチオン交換
樹脂を用いる通常のイオン交換塔の操作とほぼ同様の条
件で行われる。
ＴＡＡＨは樹脂を酸で再生することによりＴＡＡの塩と
して回収することができる。すなわちＴＡＡＨは弱酸性
カチオン交換にＴＡＡイオンとして吸着しているので、
これを酸で再生することによりＴＡＡの塩が脱着して回
収される。ＴＡＡ塩は加水分解することによりＴＡＡＨ
として回収される。弱酸性カチオン交換樹脂を再生する
ための酸としては塩酸、硫酸などの酸が使用される。上
記のイオン交換および再生の操作は弱酸性カチオン交換
樹脂を用いる通常のイオン交換塔の操作とほぼ同様の条
件で行われる。
【００２９】弱酸性カチオン交換塔２の処理水は連絡路
１３からオゾン酸化塔３に導入し、オゾン含有ガス路１
９から供給されオゾン吹込装置３ａから吹込まれるオゾ
ン含有ガスと接触させ、有機物を酸化分解する。ここで
分解される有機物はフォトレジスト、その反応物、その
他の有機物であり、着色成分も分解される。これらの有
機物はオゾン酸化により低分子化合物に分解され活性炭
およびイオン交換樹脂により吸着される形態に改質され
る。
１３からオゾン酸化塔３に導入し、オゾン含有ガス路１
９から供給されオゾン吹込装置３ａから吹込まれるオゾ
ン含有ガスと接触させ、有機物を酸化分解する。ここで
分解される有機物はフォトレジスト、その反応物、その
他の有機物であり、着色成分も分解される。これらの有
機物はオゾン酸化により低分子化合物に分解され活性炭
およびイオン交換樹脂により吸着される形態に改質され
る。
【００３０】オゾン含有ガス路１９に供給されるオゾン
含有ガスは、オゾン発生機によりオゾン濃度を高めたオ
ゾン化空気が用いられる。オゾン処理に用いるオゾン量
は有機物を完全に分解する量である必要はなく、含まれ
る有機物の種類、量その他の条件により異なるが、一般
的には６〜１０ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ、好ましくは
８〜９ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ程度の改質に必要な量
とされる。
含有ガスは、オゾン発生機によりオゾン濃度を高めたオ
ゾン化空気が用いられる。オゾン処理に用いるオゾン量
は有機物を完全に分解する量である必要はなく、含まれ
る有機物の種類、量その他の条件により異なるが、一般
的には６〜１０ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ、好ましくは
８〜９ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ程度の改質に必要な量
とされる。
【００３１】オゾン酸化処理水は連絡路１４から中継槽
４に導入し、ここで必要により連絡路２３から導入され
る凝縮水と混合される。中継槽４の被処理水は連絡路１
５から活性炭吸着塔５に導入し、活性炭層５ａに下向流
で通して接触させ、オゾンの酸化分解により低分子化し
た有機物を吸着させる。これによりオゾン酸化塔３で改
質された有機物は活性炭層５ａに吸着されて除去され
る。活性炭に吸着された有機物は加熱等による活性炭の
再生工程により分解除去される。
４に導入し、ここで必要により連絡路２３から導入され
る凝縮水と混合される。中継槽４の被処理水は連絡路１
５から活性炭吸着塔５に導入し、活性炭層５ａに下向流
で通して接触させ、オゾンの酸化分解により低分子化し
た有機物を吸着させる。これによりオゾン酸化塔３で改
質された有機物は活性炭層５ａに吸着されて除去され
る。活性炭に吸着された有機物は加熱等による活性炭の
再生工程により分解除去される。
【００３２】活性炭吸着塔５の処理水は連絡路１６から
強酸性カチオン交換塔６に導入し、上向流で強酸性カチ
オン交換樹脂層６ａに通水してカチオン交換および吸着
処理を行う。強酸性カチオン交換樹脂層６ａではカチオ
ン交換が行われ、無機のカチオンならびにカチオン性の
有機物が交換吸着する。強酸性カチオン交換塔６の処理
水は連絡路１７から強塩基性アニオン交換塔７に導入
し、強塩基性アニオン交換樹脂層７ａに上向流で通水す
る。強塩基性アニオン交換樹脂層７ａでは、アニオン交
換により無機のアニオンのほか、アニオン性の有機物も
吸着する。これにより、活性炭吸着塔５で除去されなか
った有機物が吸着されるほか、脱塩も行われ、処理水は
処理水路１８から純水として回収される。
強酸性カチオン交換塔６に導入し、上向流で強酸性カチ
オン交換樹脂層６ａに通水してカチオン交換および吸着
処理を行う。強酸性カチオン交換樹脂層６ａではカチオ
ン交換が行われ、無機のカチオンならびにカチオン性の
有機物が交換吸着する。強酸性カチオン交換塔６の処理
水は連絡路１７から強塩基性アニオン交換塔７に導入
し、強塩基性アニオン交換樹脂層７ａに上向流で通水す
る。強塩基性アニオン交換樹脂層７ａでは、アニオン交
換により無機のアニオンのほか、アニオン性の有機物も
吸着する。これにより、活性炭吸着塔５で除去されなか
った有機物が吸着されるほか、脱塩も行われ、処理水は
処理水路１８から純水として回収される。
【００３３】強酸性カチオン交換樹脂層６ａの再生は塩
酸、硫酸等の酸により、また強塩基性アニオン交換樹脂
層７ａの再生は水酸化ナトリウム等のアルカリにより行
う。上記の通水および再生の操作は強酸性カチオン交換
樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用いる通常のイ
オン交換装置とほぼ同様の条件で行う。
酸、硫酸等の酸により、また強塩基性アニオン交換樹脂
層７ａの再生は水酸化ナトリウム等のアルカリにより行
う。上記の通水および再生の操作は強酸性カチオン交換
樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用いる通常のイ
オン交換装置とほぼ同様の条件で行う。
【００３４】クローズトシステムでは、超純水製造シス
テム、その他の再生排液や他の排液を蒸発濃縮して凝縮
水を回収利用するが、このような凝縮水は凝縮水路２１
から凝縮水槽８に導入して貯留する。凝縮水槽８の凝縮
水は連絡路２２からアンモニア除去塔９に導入し、強酸
性カチオン交換樹脂層９ａに下向流で通水し、アンモニ
アその他のカチオンを除去する。その処理水は連絡路２
３から中継槽４に導入し、オゾン処理水と混合し、以降
の処理に供する。
テム、その他の再生排液や他の排液を蒸発濃縮して凝縮
水を回収利用するが、このような凝縮水は凝縮水路２１
から凝縮水槽８に導入して貯留する。凝縮水槽８の凝縮
水は連絡路２２からアンモニア除去塔９に導入し、強酸
性カチオン交換樹脂層９ａに下向流で通水し、アンモニ
アその他のカチオンを除去する。その処理水は連絡路２
３から中継槽４に導入し、オゾン処理水と混合し、以降
の処理に供する。
【００３５】上記の処理では、ＴＡＡＨ含有水を弱酸性
カチオン交換塔２で処理することにより、被処理除去水
中のＴＡＡＨをほぼ完全に回収し再利用することができ
る。そしてＴＡＡＨを除去した被処理水はオゾン酸化塔
３においてオゾン酸化することにより、有機物を活性炭
およびイオン交換樹脂で吸着可能な成分に改質すること
ができる。改質された有機物等の分解物は活性炭吸着塔
５で除去される。ここで除去されなかった有機物等は強
酸性カチオン交換塔６および強塩基性アニオン交換塔７
からなるイオン交換装置で除去され、このイオン交換装
置ではさらに脱塩も行われ、純水が回収される。
カチオン交換塔２で処理することにより、被処理除去水
中のＴＡＡＨをほぼ完全に回収し再利用することができ
る。そしてＴＡＡＨを除去した被処理水はオゾン酸化塔
３においてオゾン酸化することにより、有機物を活性炭
およびイオン交換樹脂で吸着可能な成分に改質すること
ができる。改質された有機物等の分解物は活性炭吸着塔
５で除去される。ここで除去されなかった有機物等は強
酸性カチオン交換塔６および強塩基性アニオン交換塔７
からなるイオン交換装置で除去され、このイオン交換装
置ではさらに脱塩も行われ、純水が回収される。
【００３６】
実施例１ 図１の処理装置（ただし凝縮水処理系を除く）において
ＴＭＡＨ：２９００ｍｇ／ｌ、導電率：９０５０μＳ／
ｃｍ、ＴＯＣ：２２００ｍｇ／ｌ、色度：７２度、ｐＨ
１２．２のＴＡＡＨ含有水を処理した。弱酸性カチオン
交換塔２は弱酸性カチオン交換樹脂Ｌｅｗａｔｉｔ（バ
イエル社、商標）ＣＮＰ８０を６８０１ｍｌ充填し、硫
酸再生、流速ＳＶ＝１．１ｈｒ-1、活性炭吸着塔５は活
性炭クラレコール（株式会社クラレ、商標）ＫＷ１０／
３２を２００ｍｌ充填し、流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1、強
酸性カチオン交換塔６は強酸性カチオン交換樹脂Ｌａｗ
ａｔｉｔ ＳＰ１１２ ＷＳを２００ｍｌ充填し、硫酸
再生、流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1、強塩基性アニオン交換
塔７は強塩基性アニオン交樹樹脂ＬｅｗａｔｉｔＭ５０
０ ＷＳを２００ｍｌ充填し、水酸化ナトリウム再生、
流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1で処理を行った。オゾン酸化塔
３におけるオゾン吹込量は８ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ
である。
ＴＭＡＨ：２９００ｍｇ／ｌ、導電率：９０５０μＳ／
ｃｍ、ＴＯＣ：２２００ｍｇ／ｌ、色度：７２度、ｐＨ
１２．２のＴＡＡＨ含有水を処理した。弱酸性カチオン
交換塔２は弱酸性カチオン交換樹脂Ｌｅｗａｔｉｔ（バ
イエル社、商標）ＣＮＰ８０を６８０１ｍｌ充填し、硫
酸再生、流速ＳＶ＝１．１ｈｒ-1、活性炭吸着塔５は活
性炭クラレコール（株式会社クラレ、商標）ＫＷ１０／
３２を２００ｍｌ充填し、流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1、強
酸性カチオン交換塔６は強酸性カチオン交換樹脂Ｌａｗ
ａｔｉｔ ＳＰ１１２ ＷＳを２００ｍｌ充填し、硫酸
再生、流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1、強塩基性アニオン交換
塔７は強塩基性アニオン交樹樹脂ＬｅｗａｔｉｔＭ５０
０ ＷＳを２００ｍｌ充填し、水酸化ナトリウム再生、
流速ＳＶ＝３．７ｈｒ-1で処理を行った。オゾン酸化塔
３におけるオゾン吹込量は８ｍｇ−Ｏ3／ｍｇ−ＴＯＣ
である。
【００３７】処理結果を表１に示す。
【表１】
【００３８】比較例１ 実施例１において、オゾン酸化を行わなかった場合の結
果を表２に示す。
果を表２に示す。
【表２】
【００３９】以上の結果より、ＴＡＡＨは弱酸性カチオ
ン交換塔によりほぼ完全に回収でき、またオゾン処理に
より他の有機物を含む不純物が改善されて活性炭および
イオン交換処理により効率的に除去され高純度の水を回
収できることがわかる。
ン交換塔によりほぼ完全に回収でき、またオゾン処理に
より他の有機物を含む不純物が改善されて活性炭および
イオン交換処理により効率的に除去され高純度の水を回
収できることがわかる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、ＴＡＡＨ含有水を弱酸
性カチオン交換塔で処理したのち、オゾン酸化塔で処理
し、さらに活性炭吸着塔およびイオン交換装置において
処理するように構成したので、簡単な構成と操作によ
り、効率よくＴＡＡＨをほぼ完全に回収できるととも
に、他の有機物を含む不純物は改質して吸着等により除
去でき、これにより高純度の水を回収することができ
る。
性カチオン交換塔で処理したのち、オゾン酸化塔で処理
し、さらに活性炭吸着塔およびイオン交換装置において
処理するように構成したので、簡単な構成と操作によ
り、効率よくＴＡＡＨをほぼ完全に回収できるととも
に、他の有機物を含む不純物は改質して吸着等により除
去でき、これにより高純度の水を回収することができ
る。
【図１】実施形態のＴＡＡＨ含有水処理装置を示す系統
図である。
図である。
１ 被処理水槽 ２ 弱酸性カチオン交換塔 ３ オゾン酸化塔 ４ 中継槽 ５ 活性炭吸着塔 ６ 強酸性カチオン交換塔 ７ 強塩基性アニオン交換塔 ８ 凝縮水槽 ９ アンモニア除去塔 １１ 被処理水路 １２〜１７、２２、２３ 連絡路 １８ 処理水路 １９ オゾン含有ガス路 ２１ 凝縮水路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０２ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０２Ｊ ５０２Ｒ ５０３ ５０３Ｃ ５０４ ５０４Ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有
水を処理し、水酸化テトラアルキルアンモニウムと水を
回収するための装置であって、 被処理水から水酸化テトラアルキルアンモニウムを吸着
して回収する弱酸性カチオン交換塔と、 弱酸性カチオン交換塔の処理水をオゾンと反応させて有
機物を酸化分解するオゾン酸化塔と、 オゾン酸化塔の処理水を接触させて低分子の有機物を吸
着する活性炭吸着塔と、 活性炭吸着塔の処理水をイオン交換処理する強酸性カチ
オン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用いる
イオン交換装置とを備えていることを特徴とする水酸化
テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8256755A JPH1099853A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8256755A JPH1099853A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1099853A true JPH1099853A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17297001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8256755A Pending JPH1099853A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1099853A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005329315A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Japan Organo Co Ltd | テトラアルキルアンモニウムイオン含有排水から水を回収する方法及び装置 |
| JP2007098272A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | アンモニア含有水の処理方法および処理装置 |
| JP2007098240A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Kurita Water Ind Ltd | 非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置 |
| JP2011012044A (ja) * | 2009-06-03 | 2011-01-20 | Tokuyama Corp | 水酸化テトラアルキルアンモニウムの製造方法 |
| WO2011074495A1 (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-23 | 株式会社トクヤマ | テトラアルキルアンモニウムイオン除去廃液の再利用方法 |
| KR101258730B1 (ko) | 2007-04-25 | 2013-05-02 | 가부시키가이샤 도쿠야마 | 테트라알킬암모늄 이온 함유 현상폐액의 처리방법 |
| JP2014531300A (ja) * | 2011-08-25 | 2014-11-27 | ターサノ・インコーポレーテッド | オゾンの半減期を延長するための水の処理 |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP8256755A patent/JPH1099853A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005329315A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Japan Organo Co Ltd | テトラアルキルアンモニウムイオン含有排水から水を回収する方法及び装置 |
| JP2007098240A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Kurita Water Ind Ltd | 非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置 |
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| KR101258730B1 (ko) | 2007-04-25 | 2013-05-02 | 가부시키가이샤 도쿠야마 | 테트라알킬암모늄 이온 함유 현상폐액의 처리방법 |
| JP2011012044A (ja) * | 2009-06-03 | 2011-01-20 | Tokuyama Corp | 水酸化テトラアルキルアンモニウムの製造方法 |
| WO2011074495A1 (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-23 | 株式会社トクヤマ | テトラアルキルアンモニウムイオン除去廃液の再利用方法 |
| JP2011125770A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Tokuyama Corp | 処理廃液の再利用方法 |
| CN102686520A (zh) * | 2009-12-15 | 2012-09-19 | 德山株式会社 | 去四烷基铵离子废液的再利用方法 |
| JP2014531300A (ja) * | 2011-08-25 | 2014-11-27 | ターサノ・インコーポレーテッド | オゾンの半減期を延長するための水の処理 |
| JP2015142915A (ja) * | 2011-08-25 | 2015-08-06 | ターサノ・インコーポレーテッド | オゾンの半減期を延長するための水の処理 |
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