JPH11109247A - 紫外レーザ顕微鏡 - Google Patents
紫外レーザ顕微鏡Info
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- JPH11109247A JPH11109247A JP9283009A JP28300997A JPH11109247A JP H11109247 A JPH11109247 A JP H11109247A JP 9283009 A JP9283009 A JP 9283009A JP 28300997 A JP28300997 A JP 28300997A JP H11109247 A JPH11109247 A JP H11109247A
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- optical path
- laser light
- light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観
察眼に達することなく安全な検鏡を行うことのできる紫
外レーザ顕微鏡。 【解決手段】 可視光用対物レンズ（５）を介した標本
（６）からの可視光を第１の光路に沿って導くとともに
紫外レーザ光用対物レンズ（２５）を介した標本（６）
からの紫外レーザ光を第１の光路とは異なる第２の光路
に沿って導くための波長選択性を有する光路分割手段
（７）と、第１の光路中において光路分割手段（７）と
標本（６）の可視光による像（１０）を観察する観察眼
（１２）との間に配置され、光路分割手段（７）を介し
て第１の光路中に侵入した紫外レーザ光の観察眼への伝
播を遮蔽するための紫外レーザ光遮蔽手段（８）とを備
えている。
察眼に達することなく安全な検鏡を行うことのできる紫
外レーザ顕微鏡。 【解決手段】 可視光用対物レンズ（５）を介した標本
（６）からの可視光を第１の光路に沿って導くとともに
紫外レーザ光用対物レンズ（２５）を介した標本（６）
からの紫外レーザ光を第１の光路とは異なる第２の光路
に沿って導くための波長選択性を有する光路分割手段
（７）と、第１の光路中において光路分割手段（７）と
標本（６）の可視光による像（１０）を観察する観察眼
（１２）との間に配置され、光路分割手段（７）を介し
て第１の光路中に侵入した紫外レーザ光の観察眼への伝
播を遮蔽するための紫外レーザ光遮蔽手段（８）とを備
えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は紫外レーザ顕微鏡に
関し、特に照明光源として可視光源と紫外レーザ光源と
を備えた顕微鏡に関する。
関し、特に照明光源として可視光源と紫外レーザ光源と
を備えた顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学顕微鏡の解像力Ｒは、Ｒ＝ｋ１・λ
／ＮＡで表される。ここで、ｋ１は比例定数であり、λ
は使用波長であり、ＮＡは対物レンズの開口数である。
解像力Ｒを表す式からわかるように、光学顕微鏡の解像
度を向上させるには、対物レンズの開口数ＮＡを大きく
する方法と、使用波長λを短くする方法とがある。な
お、空気中の試料（標本）に対して対物レンズの開口数
を最大１．０まで大きくすることが可能であるが、実用
上は対物レンズの開口数は最大で約０．９５である。
／ＮＡで表される。ここで、ｋ１は比例定数であり、λ
は使用波長であり、ＮＡは対物レンズの開口数である。
解像力Ｒを表す式からわかるように、光学顕微鏡の解像
度を向上させるには、対物レンズの開口数ＮＡを大きく
する方法と、使用波長λを短くする方法とがある。な
お、空気中の試料（標本）に対して対物レンズの開口数
を最大１．０まで大きくすることが可能であるが、実用
上は対物レンズの開口数は最大で約０．９５である。
【０００３】一方、光学顕微鏡の焦点深度ＦＤは、ＦＤ
＝ｋ２・Ｒ／λで表される。ここで、ｋ２は比例定数で
ある。焦点深度ＦＤを表す式からわかるように、解像力
Ｒが同じであれば使用波長λの短い方が焦点深度ＦＤが
深くなるので、使用上有利となる。そこで、光学顕微鏡
においてある程度の焦点深度を確保しつつその解像力を
向上させるために、照明光の短波長化が進められてい
る。特に、可視光（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）よりも短
波長のｉ線（３６５ｎｍ）の光を用いた紫外線顕微鏡
が、たとえば特開平５−１２７０９６号公報に開示され
ている。
＝ｋ２・Ｒ／λで表される。ここで、ｋ２は比例定数で
ある。焦点深度ＦＤを表す式からわかるように、解像力
Ｒが同じであれば使用波長λの短い方が焦点深度ＦＤが
深くなるので、使用上有利となる。そこで、光学顕微鏡
においてある程度の焦点深度を確保しつつその解像力を
向上させるために、照明光の短波長化が進められてい
る。特に、可視光（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）よりも短
波長のｉ線（３６５ｎｍ）の光を用いた紫外線顕微鏡
が、たとえば特開平５−１２７０９６号公報に開示され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】紫外線顕微鏡では、照
明光の短波長化により解像力が高くなるが、接眼レンズ
を介して紫外光が観察眼に達すると有害である。上述の
公報に開示された紫外線顕微鏡では、照明光源として超
高圧水銀灯を使用し、たとえばダイクロイックミラーを
介して可視光と紫外光との分離を行うことによって、有
害な紫外光が観察眼に達するのを回避している。
明光の短波長化により解像力が高くなるが、接眼レンズ
を介して紫外光が観察眼に達すると有害である。上述の
公報に開示された紫外線顕微鏡では、照明光源として超
高圧水銀灯を使用し、たとえばダイクロイックミラーを
介して可視光と紫外光との分離を行うことによって、有
害な紫外光が観察眼に達するのを回避している。
【０００５】特に、照明光源として紫外レーザ光源を用
いる紫外レーザ顕微鏡では、紫外レーザ光の集光性が良
く且つ眼には紫外レーザ光に対する感度がないので、紫
外レーザ光が観察眼に達すると非常に危険である。たと
えば特開平５−１２７０９６号公報に開示された紫外線
顕微鏡の構成において照明光源として紫外レーザ光源を
用いレーザー出力が大きくなると、ダイクロイックミラ
ーだけでは可視光と紫外レーザ光との分離を充分に行う
ことができず、有害な紫外レーザ光が観察眼に達するこ
とになるので安全な検鏡を行うことができない。
いる紫外レーザ顕微鏡では、紫外レーザ光の集光性が良
く且つ眼には紫外レーザ光に対する感度がないので、紫
外レーザ光が観察眼に達すると非常に危険である。たと
えば特開平５−１２７０９６号公報に開示された紫外線
顕微鏡の構成において照明光源として紫外レーザ光源を
用いレーザー出力が大きくなると、ダイクロイックミラ
ーだけでは可視光と紫外レーザ光との分離を充分に行う
ことができず、有害な紫外レーザ光が観察眼に達するこ
とになるので安全な検鏡を行うことができない。
【０００６】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観
察眼に達することなく安全な検鏡を行うことのできる紫
外レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
のであり、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観
察眼に達することなく安全な検鏡を行うことのできる紫
外レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、可視光により照明された標本か
らの光に基づいて前記標本の可視光による像を形成する
ための可視光用対物レンズと、紫外レーザ光により照明
された前記標本からの光に基づいて前記標本の紫外レー
ザ光による像を形成するための紫外レーザ光用対物レン
ズと、前記可視光用対物レンズおよび前記紫外レーザ光
用対物レンズのうちのいずれか一方の対物レンズを光路
中に選択的に設定するための設定手段と、前記可視光用
対物レンズを介した前記標本からの可視光を第１の光路
に沿って導くとともに前記紫外レーザ光用対物レンズを
介した前記標本からの紫外レーザ光を前記第１の光路と
は異なる第２の光路に沿って導くための波長選択性を有
する光路分割手段と、前記第１の光路中において前記光
路分割手段と前記標本の可視光による像を観察する観察
眼との間に配置され、前記光路分割手段を介して前記第
１の光路中に侵入した紫外レーザ光の前記観察眼への伝
播を遮蔽するための紫外レーザ光遮蔽手段とを備えてい
ることを特徴とする紫外レーザ顕微鏡を提供する。
に、本発明においては、可視光により照明された標本か
らの光に基づいて前記標本の可視光による像を形成する
ための可視光用対物レンズと、紫外レーザ光により照明
された前記標本からの光に基づいて前記標本の紫外レー
ザ光による像を形成するための紫外レーザ光用対物レン
ズと、前記可視光用対物レンズおよび前記紫外レーザ光
用対物レンズのうちのいずれか一方の対物レンズを光路
中に選択的に設定するための設定手段と、前記可視光用
対物レンズを介した前記標本からの可視光を第１の光路
に沿って導くとともに前記紫外レーザ光用対物レンズを
介した前記標本からの紫外レーザ光を前記第１の光路と
は異なる第２の光路に沿って導くための波長選択性を有
する光路分割手段と、前記第１の光路中において前記光
路分割手段と前記標本の可視光による像を観察する観察
眼との間に配置され、前記光路分割手段を介して前記第
１の光路中に侵入した紫外レーザ光の前記観察眼への伝
播を遮蔽するための紫外レーザ光遮蔽手段とを備えてい
ることを特徴とする紫外レーザ顕微鏡を提供する。
【０００８】本発明の好ましい態様によれば、前記光路
分割手段は、可視光を反射または透過させるとともに紫
外レーザ光を透過または反射するためのダイクロイック
膜を有する。そして、前記紫外レーザ光遮蔽手段は、前
記光路分割手段と前記標本の可視光による像の形成位置
との間に配置されて可視光を透過させるとともに紫外レ
ーザ光の通過を遮るための紫外線カットフィルタを有す
ることが好ましい。
分割手段は、可視光を反射または透過させるとともに紫
外レーザ光を透過または反射するためのダイクロイック
膜を有する。そして、前記紫外レーザ光遮蔽手段は、前
記光路分割手段と前記標本の可視光による像の形成位置
との間に配置されて可視光を透過させるとともに紫外レ
ーザ光の通過を遮るための紫外線カットフィルタを有す
ることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】紫外レーザ顕微鏡において、照明
光源として用いられる紫外レーザ光源は実質的に単色光
源であるため、標本からの紫外レーザ光に基づいて形成
された像から標本の色情報を得ることはできない。本発
明では、紫外レーザ光の使用により解像度の向上を図る
とともに従来の可視光観察の利点であった標本の色情報
を得るために、可視光用対物レンズと紫外レーザ光用対
物レンズとを同じレボルバに取り付け、必要に応じてい
ずれか一方の対物レンズを所定光路中に選択的に設定す
る構成を採用している。
光源として用いられる紫外レーザ光源は実質的に単色光
源であるため、標本からの紫外レーザ光に基づいて形成
された像から標本の色情報を得ることはできない。本発
明では、紫外レーザ光の使用により解像度の向上を図る
とともに従来の可視光観察の利点であった標本の色情報
を得るために、可視光用対物レンズと紫外レーザ光用対
物レンズとを同じレボルバに取り付け、必要に応じてい
ずれか一方の対物レンズを所定光路中に選択的に設定す
る構成を採用している。
【００１０】本発明の構成によれば、可視光用対物レン
ズを光路中に設定して可視光で標本を照明することによ
り標本の可視光による像が形成され、紫外レーザ光用対
物レンズを光路中に設定して紫外レーザ光で標本を照明
することにより標本の紫外レーザ光による像が形成され
る。そして、たとえば接眼レンズを介して可視光による
像を眼視観察することにより、標本の色情報を得ること
ができる。また、たとえば紫外線テレビカメラを介し
て、紫外レーザ光による標本像を高い解像度で検出する
ことができる。
ズを光路中に設定して可視光で標本を照明することによ
り標本の可視光による像が形成され、紫外レーザ光用対
物レンズを光路中に設定して紫外レーザ光で標本を照明
することにより標本の紫外レーザ光による像が形成され
る。そして、たとえば接眼レンズを介して可視光による
像を眼視観察することにより、標本の色情報を得ること
ができる。また、たとえば紫外線テレビカメラを介し
て、紫外レーザ光による標本像を高い解像度で検出する
ことができる。
【００１１】なお、本発明では、可視光用対物レンズを
介した標本からの可視光と紫外レーザ光用対物レンズを
介した標本からの紫外レーザ光とをそれぞれ異なる光路
に沿って導くために、たとえばダイクロイックミラーの
ような波長選択性の光路分割手段を備えている。しかし
ながら、前述したように、ダイクロイックミラーだけで
は可視光と紫外レーザ光との分離を充分に行うことがで
きず、たとえばダイクロイックミラーで反射されるべき
紫外レーザ光の一部がダイクロイックミラーを透過し、
接眼レンズを介して観察眼に達することが考えられる。
介した標本からの可視光と紫外レーザ光用対物レンズを
介した標本からの紫外レーザ光とをそれぞれ異なる光路
に沿って導くために、たとえばダイクロイックミラーの
ような波長選択性の光路分割手段を備えている。しかし
ながら、前述したように、ダイクロイックミラーだけで
は可視光と紫外レーザ光との分離を充分に行うことがで
きず、たとえばダイクロイックミラーで反射されるべき
紫外レーザ光の一部がダイクロイックミラーを透過し、
接眼レンズを介して観察眼に達することが考えられる。
【００１２】そこで、本発明では、ダイクロイックミラ
ーのような光路分割手段と観察眼との間の観察光路中
に、たとえば紫外線カットフィルタやダイクロイックミ
ラーのような紫外レーザ光遮蔽手段を配置し、観察光路
中に侵入した紫外レーザ光の観察眼への伝播を遮蔽す
る。その結果、本発明の紫外レーザ顕微鏡では、有害な
紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察眼に達すること
なく、安全な検鏡により標本像を高い解像度で検出する
とともに標本の色情報を得ることができる。
ーのような光路分割手段と観察眼との間の観察光路中
に、たとえば紫外線カットフィルタやダイクロイックミ
ラーのような紫外レーザ光遮蔽手段を配置し、観察光路
中に侵入した紫外レーザ光の観察眼への伝播を遮蔽す
る。その結果、本発明の紫外レーザ顕微鏡では、有害な
紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察眼に達すること
なく、安全な検鏡により標本像を高い解像度で検出する
とともに標本の色情報を得ることができる。
【００１３】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる紫
外レーザ顕微鏡の構成を概略的に示す図である。図１の
紫外レーザ顕微鏡は、可視光を供給する照明光源とし
て、たとえばハロゲンランプ１を備えている。ハロゲン
ランプ１から射出された照明光は、可視光用照明光学系
２を介して、可視光用ハーフミラー３に入射する。な
お、可視光用ハーフミラー３は光路に対して挿脱可能に
構成され、紫外レーザ光の使用時には光路中から退避
し、可視光の使用時には光路中に設定される。可視光用
ハーフミラー３で反射された照明光は、レボルバー４の
作用により光路中に設定された可視光用対物レンズ５を
介して標本６を照明する。
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる紫
外レーザ顕微鏡の構成を概略的に示す図である。図１の
紫外レーザ顕微鏡は、可視光を供給する照明光源とし
て、たとえばハロゲンランプ１を備えている。ハロゲン
ランプ１から射出された照明光は、可視光用照明光学系
２を介して、可視光用ハーフミラー３に入射する。な
お、可視光用ハーフミラー３は光路に対して挿脱可能に
構成され、紫外レーザ光の使用時には光路中から退避
し、可視光の使用時には光路中に設定される。可視光用
ハーフミラー３で反射された照明光は、レボルバー４の
作用により光路中に設定された可視光用対物レンズ５を
介して標本６を照明する。
【００１４】可視光で照明された標本６からの光は、可
視光用対物レンズ５および可視光用ハーフミラー３を介
した後、ダイクロイックミラー７に達する。ダイクロイ
ックミラー７は、可視光を透過させるとともに、紫外レ
ーザ光を反射する特性を有する。したがって、可視光で
照明された標本６からの光は、ダイクロイックミラー７
を透過し、紫外線カットフィルタ８に入射する。紫外線
カットフィルタ８は、可視光を透過させるとともに紫外
レーザ光の通過を遮る特性を有する。したがって、紫外
線カットフィルタ８を透過した可視光は、ミラー９で反
射された後に、可視光による標本像１０を形成する。可
視光による標本像１０からの光は、接眼レンズ１１を介
して、観察眼１２に達する。こうして、接眼レンズ１１
を介して可視光による標本像１０を拡大観察し、標本６
の色情報を得ることができる。
視光用対物レンズ５および可視光用ハーフミラー３を介
した後、ダイクロイックミラー７に達する。ダイクロイ
ックミラー７は、可視光を透過させるとともに、紫外レ
ーザ光を反射する特性を有する。したがって、可視光で
照明された標本６からの光は、ダイクロイックミラー７
を透過し、紫外線カットフィルタ８に入射する。紫外線
カットフィルタ８は、可視光を透過させるとともに紫外
レーザ光の通過を遮る特性を有する。したがって、紫外
線カットフィルタ８を透過した可視光は、ミラー９で反
射された後に、可視光による標本像１０を形成する。可
視光による標本像１０からの光は、接眼レンズ１１を介
して、観察眼１２に達する。こうして、接眼レンズ１１
を介して可視光による標本像１０を拡大観察し、標本６
の色情報を得ることができる。
【００１５】また、図１の紫外レーザ顕微鏡は、たとえ
ば４倍波ＹＡＧレーザ（出力波長：２６６ｎｍ）のよう
な紫外レーザ光源２１を備えている。紫外レーザ光源２
１から射出された紫外レーザ光は、ビームエキスパンダ
２２を介して所定の断面形状を有するビームに整形され
た後、コレクターレンズ２３を介して、紫外レーザ光用
ハーフミラー２４に入射する。紫外レーザ光用ハーフミ
ラー２４は光路に対して挿脱可能に構成され、可視光の
使用時には光路中から退避し、紫外レーザ光の使用時に
は光路中に設定される。紫外レーザ光用ハーフミラー２
４で反射された紫外レーザ光は、レボルバー４の作用に
より光路中に設定された紫外レーザ光用対物レンズ２５
を介して標本６を照明する。
ば４倍波ＹＡＧレーザ（出力波長：２６６ｎｍ）のよう
な紫外レーザ光源２１を備えている。紫外レーザ光源２
１から射出された紫外レーザ光は、ビームエキスパンダ
２２を介して所定の断面形状を有するビームに整形され
た後、コレクターレンズ２３を介して、紫外レーザ光用
ハーフミラー２４に入射する。紫外レーザ光用ハーフミ
ラー２４は光路に対して挿脱可能に構成され、可視光の
使用時には光路中から退避し、紫外レーザ光の使用時に
は光路中に設定される。紫外レーザ光用ハーフミラー２
４で反射された紫外レーザ光は、レボルバー４の作用に
より光路中に設定された紫外レーザ光用対物レンズ２５
を介して標本６を照明する。
【００１６】紫外レーザ光で照明された標本６からの光
は、紫外レーザ光用対物レンズ２５および紫外レーザ光
用ハーフミラー２４を介した後、ダイクロイックミラー
７に達する。前述したように、ダイクロイックミラー７
は、可視光を透過させるとともに、紫外レーザ光を反射
する特性を有する。したがって、紫外レーザ光で照明さ
れた標本６からの光は、ダイクロイックミラー７で反射
され、ミラー２６で反射された後に、紫外レーザ光によ
る標本像２７を形成する。紫外レーザ光による標本像２
７は、たとえば紫外線テレビカメラの撮像素子（たとえ
ばＣＣＤ）のような紫外領域の光に対して感度を有する
ディテクタ（不図示）を介して高い解像度で検出され
る。なお、紫外レーザ光で照明された標本６から散乱す
る紫外レーザ光が観察眼に入射するのを回避するため
に、従来技術にしたがって所定の形状を有する紫外線カ
バー（不図示）が標本６を覆うように設けられているこ
とはいうまでもない。
は、紫外レーザ光用対物レンズ２５および紫外レーザ光
用ハーフミラー２４を介した後、ダイクロイックミラー
７に達する。前述したように、ダイクロイックミラー７
は、可視光を透過させるとともに、紫外レーザ光を反射
する特性を有する。したがって、紫外レーザ光で照明さ
れた標本６からの光は、ダイクロイックミラー７で反射
され、ミラー２６で反射された後に、紫外レーザ光によ
る標本像２７を形成する。紫外レーザ光による標本像２
７は、たとえば紫外線テレビカメラの撮像素子（たとえ
ばＣＣＤ）のような紫外領域の光に対して感度を有する
ディテクタ（不図示）を介して高い解像度で検出され
る。なお、紫外レーザ光で照明された標本６から散乱す
る紫外レーザ光が観察眼に入射するのを回避するため
に、従来技術にしたがって所定の形状を有する紫外線カ
バー（不図示）が標本６を覆うように設けられているこ
とはいうまでもない。
【００１７】ところで、ダイクロイックミラー７は可視
光を透過させ且つ紫外レーザ光を反射するように構成さ
れているが、ダイクロイックミラー７だけでは可視光と
紫外レーザ光との分離を充分に行うことができず、ダイ
クロイックミラー７で反射されるべき紫外レーザ光の一
部がダイクロイックミラー７を透過して観察光路中に侵
入することが考えられる。そこで、第１実施例では、観
察光路中に侵入した紫外レーザ光の大部分を紫外線カッ
トフィルタ８で遮ることにより、紫外レーザ光の使用時
に不用意に接眼レンズに近づけた観察眼に紫外レーザ光
が達するのを回避している。したがって、第１実施例で
は、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察眼に
達することなく、安全な検鏡により標本像を高い解像度
で検出するとともに標本の色情報を得ることができる。
光を透過させ且つ紫外レーザ光を反射するように構成さ
れているが、ダイクロイックミラー７だけでは可視光と
紫外レーザ光との分離を充分に行うことができず、ダイ
クロイックミラー７で反射されるべき紫外レーザ光の一
部がダイクロイックミラー７を透過して観察光路中に侵
入することが考えられる。そこで、第１実施例では、観
察光路中に侵入した紫外レーザ光の大部分を紫外線カッ
トフィルタ８で遮ることにより、紫外レーザ光の使用時
に不用意に接眼レンズに近づけた観察眼に紫外レーザ光
が達するのを回避している。したがって、第１実施例で
は、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察眼に
達することなく、安全な検鏡により標本像を高い解像度
で検出するとともに標本の色情報を得ることができる。
【００１８】図２は、本発明の第２実施例にかかる紫外
レーザ顕微鏡の構成を概略的に示す図である。第２実施
例は、第１実施例と類似の構成を有する。しかしなが
ら、第２実施例では、紫外線カットフィルタ８が省略さ
れ且つミラー９に代えてダイクロイックミラー２８が用
いられている点だけが第１実施例と相違している。した
がって、図２において、図１の第１実施例の構成要素と
同様の機能を有する要素には図１と同じ参照符号を付し
ている。以下、第１実施例との相違に着目して第２実施
例を説明する。
レーザ顕微鏡の構成を概略的に示す図である。第２実施
例は、第１実施例と類似の構成を有する。しかしなが
ら、第２実施例では、紫外線カットフィルタ８が省略さ
れ且つミラー９に代えてダイクロイックミラー２８が用
いられている点だけが第１実施例と相違している。した
がって、図２において、図１の第１実施例の構成要素と
同様の機能を有する要素には図１と同じ参照符号を付し
ている。以下、第１実施例との相違に着目して第２実施
例を説明する。
【００１９】第２実施例において、ダイクロイックミラ
ー２８は、可視光を反射するとともに紫外レーザ光を透
過させる特性を有する。したがって、ダイクロイックミ
ラー７を透過して観察光路中に侵入した紫外レーザ光の
大部分がダイクロイックミラー２８を透過して観察光路
から逸脱するので、紫外レーザ光の使用時に不用意に接
眼レンズに近づけた観察眼に紫外レーザ光が達すること
がない。したがって、第２実施例においても第１実施例
と同様に、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観
察眼に達することなく、安全な検鏡により標本像を高い
解像度で検出するとともに標本の色情報を得ることがで
きる。
ー２８は、可視光を反射するとともに紫外レーザ光を透
過させる特性を有する。したがって、ダイクロイックミ
ラー７を透過して観察光路中に侵入した紫外レーザ光の
大部分がダイクロイックミラー２８を透過して観察光路
から逸脱するので、紫外レーザ光の使用時に不用意に接
眼レンズに近づけた観察眼に紫外レーザ光が達すること
がない。したがって、第２実施例においても第１実施例
と同様に、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観
察眼に達することなく、安全な検鏡により標本像を高い
解像度で検出するとともに標本の色情報を得ることがで
きる。
【００２０】なお、第１実施例では、紫外レーザ光遮蔽
手段として１枚の紫外線カットフィルタ８を配置してい
るが、紫外レーザ光の出力に応じて複数枚の紫外線カッ
トフィルタを使用することもできる。また、第１実施例
では、紫外線カットフィルタ８をダイクロイックミラー
７とミラー９との間の光路中に配置しているが、この配
置に限定されることなくダイクロイックミラー７と接眼
レンズ１１との間の観察光路中の任意の位置に１枚また
は複数枚の紫外線カットフィルタを配置することができ
る。
手段として１枚の紫外線カットフィルタ８を配置してい
るが、紫外レーザ光の出力に応じて複数枚の紫外線カッ
トフィルタを使用することもできる。また、第１実施例
では、紫外線カットフィルタ８をダイクロイックミラー
７とミラー９との間の光路中に配置しているが、この配
置に限定されることなくダイクロイックミラー７と接眼
レンズ１１との間の観察光路中の任意の位置に１枚また
は複数枚の紫外線カットフィルタを配置することができ
る。
【００２１】さらに、紫外レーザ光遮蔽手段として、第
１実施例では紫外線カットフィルタ８を第２実施例では
ダイクロイックミラー２８を用いているが、１枚または
複数枚の紫外線カットフィルタとダイクロイックミラー
とを組み合わせて紫外レーザ光遮蔽手段を構成すること
もできる。また、上述の各実施例では、光路分割手段と
してのダイクロイックミラー７が可視光を透過させると
ともに紫外レーザ光を反射する特性を有する。しかしな
がら、ダイクロイックミラー７が可視光を反射するとと
もに紫外レーザ光を透過させる特性を有するように構成
することもできる。
１実施例では紫外線カットフィルタ８を第２実施例では
ダイクロイックミラー２８を用いているが、１枚または
複数枚の紫外線カットフィルタとダイクロイックミラー
とを組み合わせて紫外レーザ光遮蔽手段を構成すること
もできる。また、上述の各実施例では、光路分割手段と
してのダイクロイックミラー７が可視光を透過させると
ともに紫外レーザ光を反射する特性を有する。しかしな
がら、ダイクロイックミラー７が可視光を反射するとと
もに紫外レーザ光を透過させる特性を有するように構成
することもできる。
【００２２】さらに、上述の各実施例では、可視光用ハ
ーフミラー３および紫外レーザ光用ハーフミラー２４を
光路に対して挿脱可能に構成し、紫外レーザ光の使用時
には可視光用ハーフミラー３を光路中から退避させ、可
視光の使用時には紫外レーザ光用ハーフミラー２４を光
路中から退避させている。しかしながら、可視光用ハー
フミラー３が紫外レーザ光を透過させ且つ紫外レーザ光
用ハーフミラー２４が可視光を透過させるように構成す
ることによって、可視光用ハーフミラー３および紫外レ
ーザ光用ハーフミラー２４を光路中に常設することもで
きる。
ーフミラー３および紫外レーザ光用ハーフミラー２４を
光路に対して挿脱可能に構成し、紫外レーザ光の使用時
には可視光用ハーフミラー３を光路中から退避させ、可
視光の使用時には紫外レーザ光用ハーフミラー２４を光
路中から退避させている。しかしながら、可視光用ハー
フミラー３が紫外レーザ光を透過させ且つ紫外レーザ光
用ハーフミラー２４が可視光を透過させるように構成す
ることによって、可視光用ハーフミラー３および紫外レ
ーザ光用ハーフミラー２４を光路中に常設することもで
きる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光路分割手段と観察眼との間の観察光路中に、たとえば
紫外線カットフィルタのような紫外レーザ光遮蔽手段を
配置し、観察光路中に侵入した紫外レーザ光の観察眼へ
の伝播を遮蔽する。その結果、本発明の紫外レーザ顕微
鏡では、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察
眼に達することなく、安全な検鏡により標本像を高い解
像度で検出するとともに標本の色情報を得ることができ
る。
光路分割手段と観察眼との間の観察光路中に、たとえば
紫外線カットフィルタのような紫外レーザ光遮蔽手段を
配置し、観察光路中に侵入した紫外レーザ光の観察眼へ
の伝播を遮蔽する。その結果、本発明の紫外レーザ顕微
鏡では、有害な紫外レーザ光が接眼レンズを介して観察
眼に達することなく、安全な検鏡により標本像を高い解
像度で検出するとともに標本の色情報を得ることができ
る。
【図１】本発明の第１実施例にかかる紫外レーザ顕微鏡
の構成を概略的に示す図である。
の構成を概略的に示す図である。
【図２】本発明の第２実施例にかかる紫外レーザ顕微鏡
の構成を概略的に示す図である。
の構成を概略的に示す図である。
１ ハロゲンランプ（可視光源） ２ 可視光用照明光学系 ３ 可視光用ハーフミラー ４ レボルバー ５ 可視光用対物レンズ５ ６ 標本 ７、２８ ダイクロイックミラー ８ 紫外線カットフィルタ ９、２６ ミラー １０ 可視光による標本像 １１ 接眼レンズ１１ １２ 観察眼 ２１ 紫外レーザ光源 ２２ ビームエキスパンダ ２３ コレクターレンズ ２４ 紫外レーザ光用ハーフミラー ２５ 紫外レーザ光用対物レンズ ２７ 紫外レーザ光による標本像
Claims (4)
- 【請求項１】 可視光により照明された標本からの光に
基づいて前記標本の可視光による像を形成するための可
視光用対物レンズと、 紫外レーザ光により照明された前記標本からの光に基づ
いて前記標本の紫外レーザ光による像を形成するための
紫外レーザ光用対物レンズと、 前記可視光用対物レンズおよび前記紫外レーザ光用対物
レンズのうちのいずれか一方の対物レンズを光路中に選
択的に設定するための設定手段と、 前記可視光用対物レンズを介した前記標本からの可視光
を第１の光路に沿って導くとともに前記紫外レーザ光用
対物レンズを介した前記標本からの紫外レーザ光を前記
第１の光路とは異なる第２の光路に沿って導くための波
長選択性を有する光路分割手段と、 前記第１の光路中において前記光路分割手段と前記標本
の可視光による像を観察する観察眼との間に配置され、
前記光路分割手段を介して前記第１の光路中に侵入した
紫外レーザ光の前記観察眼への伝播を遮蔽するための紫
外レーザ光遮蔽手段とを備えていることを特徴とする紫
外レーザ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記光路分割手段は、可視光を反射また
は透過させるとともに紫外レーザ光を透過または反射す
るためのダイクロイック膜を有することを特徴とする請
求項１に記載の紫外レーザ顕微鏡。 - 【請求項３】 前記紫外レーザ光遮蔽手段は、前記光路
分割手段と前記標本の可視光による像の形成位置との間
に配置されて可視光を透過させるとともに紫外レーザ光
の通過を遮るための紫外線カットフィルタを有すること
を特徴とする請求項１または２に記載の紫外レーザ顕微
鏡。 - 【請求項４】 前記紫外レーザ光遮蔽手段は、前記光路
分割手段と前記標本の可視光による像の形成位置との間
に配置されて可視光を反射するとともに紫外レーザ光を
透過させるためのダイクロイック膜を有することを特徴
とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の紫外レー
ザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9283009A JPH11109247A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 紫外レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9283009A JPH11109247A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 紫外レーザ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109247A true JPH11109247A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17660053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9283009A Pending JPH11109247A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 紫外レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11109247A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6525874B2 (en) | 2000-01-18 | 2003-02-25 | Olympus Optical Co., Ltd. | Infrared microscope and observation tube used for the same |
| DE10137964A1 (de) * | 2001-08-08 | 2003-03-06 | Leica Microsystems | Mikroskop mit umschaltbarer Beleuchtung in mindestens zwei Spektralbereichen und Vorrichtung zur Beleuchtungsumschaltung |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP9283009A patent/JPH11109247A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6525874B2 (en) | 2000-01-18 | 2003-02-25 | Olympus Optical Co., Ltd. | Infrared microscope and observation tube used for the same |
| DE10137964A1 (de) * | 2001-08-08 | 2003-03-06 | Leica Microsystems | Mikroskop mit umschaltbarer Beleuchtung in mindestens zwei Spektralbereichen und Vorrichtung zur Beleuchtungsumschaltung |
| DE10137964B4 (de) * | 2001-08-08 | 2004-04-08 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Mikroskop mit umschaltbarer Beleuchtung in mindestens zwei Spektralbereichen und Vorrichtung zur Beleuchtungsumschaltung |
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