JPH11111767A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載装置および移載方法Info
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- JPH11111767A JPH11111767A JP9265761A JP26576197A JPH11111767A JP H11111767 A JPH11111767 A JP H11111767A JP 9265761 A JP9265761 A JP 9265761A JP 26576197 A JP26576197 A JP 26576197A JP H11111767 A JPH11111767 A JP H11111767A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3465—Application of solder
- H05K3/3478—Application of solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピックアップミスにより吸着ヘッドの下面に
余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールを
ワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボ
ールの移載装置および移載方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を除去する除去部４０を設ける。除去
部４０には吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出す
るエアブローノズル４２を備え、空気を噴出するエアブ
ローノズル４２に対して吸着ヘッド３１を相対的に移動
させる。これにより、空気の噴流の作用により吸着ヘッ
ド７の下面に不安定な状態で付着している余分な導電性
ボールのみを除去することができる。
余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールを
ワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボ
ールの移載装置および移載方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を除去する除去部４０を設ける。除去
部４０には吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出す
るエアブローノズル４２を備え、空気を噴出するエアブ
ローノズル４２に対して吸着ヘッド３１を相対的に移動
させる。これにより、空気の噴流の作用により吸着ヘッ
ド７の下面に不安定な状態で付着している余分な導電性
ボールのみを除去することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
【０００３】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。このように吸着ヘッドを用いる
方法では、吸着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付
着するピックアップミスが発生しやすく、ワークの電極
上に導電性ボールが１個づつ正しく移載されないことが
あるという問題点があった。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。このように吸着ヘッドを用いる
方法では、吸着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付
着するピックアップミスが発生しやすく、ワークの電極
上に導電性ボールが１個づつ正しく移載されないことが
あるという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、ピックアップミスにより
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドが前記吸着孔に導電性
ボールを真空吸着してピックアップした状態で前記吸着
ヘッドの下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボー
ルをエアブローによって除去する除去部とを備えた。
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドが前記吸着孔に導電性
ボールを真空吸着してピックアップした状態で前記吸着
ヘッドの下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボー
ルをエアブローによって除去する除去部とを備えた。
【０００７】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを、導電性
ボールの除去部のエアブローノズルに対して所定の間隔
を保って相対的に位置させ、前記エアブローノズルより
空気を噴出させて前記吸着ヘッドの下面に余分に付着し
た導電性ボールを除去するようにした。
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを、導電性
ボールの除去部のエアブローノズルに対して所定の間隔
を保って相対的に位置させ、前記エアブローノズルより
空気を噴出させて前記吸着ヘッドの下面に余分に付着し
た導電性ボールを除去するようにした。
【０００８】上記構成の本発明によれば、下面に導電性
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去
部のエアブローノズルに対して所定の間隔を保って相対
的に位置させ、前記吸着ヘッドの下面に対してエアブロ
ーノズルによって空気を噴出することにより、吸着ヘッ
ドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去すること
ができる。
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去
部のエアブローノズルに対して所定の間隔を保って相対
的に位置させ、前記吸着ヘッドの下面に対してエアブロ
ーノズルによって空気を噴出することにより、吸着ヘッ
ドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去すること
ができる。
【０００９】
（実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２、図３は同導電性ボ
ールの移載装置のボール供給部の部分断面図、図４
（ａ）、（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分断面図、図５は同導電性ボールの移
載装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
性ボールの移載装置の正面図、図２、図３は同導電性ボ
ールの移載装置のボール供給部の部分断面図、図４
（ａ）、（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分断面図、図５は同導電性ボールの移
載装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
【００１０】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
【００１１】また基台１上の位置決めテーブル２の反対
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
【００１２】次に導電性ボール７を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
【００１３】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
【００１４】図１において、基台１上のボール供給部１
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１に示すよう
に、ボックス４１上にはエアブローノズル４２が斜め上
方（ボール供給部１０の方向）に向けて配設されてい
る。エアブローノズル４２は流量調整弁４４（図４）を
介してエア源（図外）に接続されている。エアブローノ
ズル４２は、吸着ヘッド３１下面の奥行き長さに相当す
るエアブロー幅を有するスリットノズル、または微小径
の円形ノズルを１直線上に多数配列して前記ノズル幅を
持たせたものである。
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１に示すよう
に、ボックス４１上にはエアブローノズル４２が斜め上
方（ボール供給部１０の方向）に向けて配設されてい
る。エアブローノズル４２は流量調整弁４４（図４）を
介してエア源（図外）に接続されている。エアブローノ
ズル４２は、吸着ヘッド３１下面の奥行き長さに相当す
るエアブロー幅を有するスリットノズル、または微小径
の円形ノズルを１直線上に多数配列して前記ノズル幅を
持たせたものである。
【００１５】エアブローノズル４２から導電性ボール７
を吸着した吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出さ
せると、吸着ヘッド３１下面の導電性ボール７はエアブ
ローによる力を受ける。このとき、エアブローノズル４
２のサイズ、配設位置、噴出するエア圧力などを適切に
設定することにより、吸着孔３１ａに正常に吸着された
導電性ボール７に対しては吸着状態から脱落させるよう
な力を及ぼさず、吸着孔３１ａ以外に不安定な状態で付
着している余分な導電性ボール７のみをエアブローの作
用により脱落させることができる。そして脱落した導電
性ボール７はエアブローによって吹き飛ばされ、図１に
示すボール受け部４３に回収される。このボール受け部
４３は吹き飛ばされた導電性ボール７が予期しない方向
へ飛散するのを防止する役目も果たす。
を吸着した吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出さ
せると、吸着ヘッド３１下面の導電性ボール７はエアブ
ローによる力を受ける。このとき、エアブローノズル４
２のサイズ、配設位置、噴出するエア圧力などを適切に
設定することにより、吸着孔３１ａに正常に吸着された
導電性ボール７に対しては吸着状態から脱落させるよう
な力を及ぼさず、吸着孔３１ａ以外に不安定な状態で付
着している余分な導電性ボール７のみをエアブローの作
用により脱落させることができる。そして脱落した導電
性ボール７はエアブローによって吹き飛ばされ、図１に
示すボール受け部４３に回収される。このボール受け部
４３は吹き飛ばされた導電性ボール７が予期しない方向
へ飛散するのを防止する役目も果たす。
【００１６】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図２に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
されている。このため導電性ボール７は比較的容易に吸
着孔３１ａに真空吸着される。
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図２に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
されている。このため導電性ボール７は比較的容易に吸
着孔３１ａに真空吸着される。
【００１７】このとき、図３に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図３では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図３では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
【００１８】このような余分に付着した導電性ボール７
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１をエアブローノズル４２に対
して下降させる。そして図４（ａ）に示すように、吸着
ヘッド３１をエアブローノズル４２上に所定の間隔Ｓを
保って位置させる。そして、吸着ヘッド３１を図面の右
方へ水平移動させながら（矢印ｃ参照）、エアブローノ
ズル４２より空気を噴出させると、空気の噴流が導電性
ボール７に作用する。このとき、正しく吸着された導電
性ボール７は吸着孔３１ａに強固に吸着されているため
エアブローによって脱落することはなく、吸着ヘッド３
１の下面に余分に付着している導電性ボール７はエアブ
ローによって吸着ヘッド３１の下面から除去され、ボー
ル受け部４３内に落下して（矢印ｄ参照）回収される。
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１をエアブローノズル４２に対
して下降させる。そして図４（ａ）に示すように、吸着
ヘッド３１をエアブローノズル４２上に所定の間隔Ｓを
保って位置させる。そして、吸着ヘッド３１を図面の右
方へ水平移動させながら（矢印ｃ参照）、エアブローノ
ズル４２より空気を噴出させると、空気の噴流が導電性
ボール７に作用する。このとき、正しく吸着された導電
性ボール７は吸着孔３１ａに強固に吸着されているため
エアブローによって脱落することはなく、吸着ヘッド３
１の下面に余分に付着している導電性ボール７はエアブ
ローによって吸着ヘッド３１の下面から除去され、ボー
ル受け部４３内に落下して（矢印ｄ参照）回収される。
【００１９】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、真空
吸着を解除することにより図５に示すように電極６ａ上
に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電性ボール７
の移載を完了する。
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、真空
吸着を解除することにより図５に示すように電極６ａ上
に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電性ボール７
の移載を完了する。
【００２０】（実施の形態２）図６は本発明の実施の形
態２の導電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部
の部分断面図である。図６において、除去部４０のボッ
クス４６上にはスリット型のエアブローノズル４７が垂
直方向に配設されている。下面に導電性ボール７を真空
吸着した吸着ヘッド３１をエアブローノズル４７上に位
置させ、右方に水平移動させながらエアブローノズル４
７から直上に向かって空気を噴出させると、吸着ツール
３１の下面の導電性ボール７に直角方向から空気の噴流
（矢印ｅ参照）が作用し、不安定な状態で吸着ヘッド３
１の下面に付着している導電性ボール７は噴流によって
吹き飛ばされて吸着ヘッド３１の下面から脱落し（矢印
ｆ参照）、ボール受け部４８内に落下して回収される。
態２の導電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部
の部分断面図である。図６において、除去部４０のボッ
クス４６上にはスリット型のエアブローノズル４７が垂
直方向に配設されている。下面に導電性ボール７を真空
吸着した吸着ヘッド３１をエアブローノズル４７上に位
置させ、右方に水平移動させながらエアブローノズル４
７から直上に向かって空気を噴出させると、吸着ツール
３１の下面の導電性ボール７に直角方向から空気の噴流
（矢印ｅ参照）が作用し、不安定な状態で吸着ヘッド３
１の下面に付着している導電性ボール７は噴流によって
吹き飛ばされて吸着ヘッド３１の下面から脱落し（矢印
ｆ参照）、ボール受け部４８内に落下して回収される。
【００２１】このとき吸着ヘッド３１の下面に対して直
角方向から噴流を作用させることにより、吸着孔３１ａ
に正しく吸着された導電性ボール７に対して噴流が及ぼ
す力を小さくすることができる。これに対し、吸着ヘッ
ド３１の下面に余分に付着している導電性ボール７は不
安定な状態で付着しているので、直角方向からの噴流に
よる小さな力によっても容易に吸着ヘッド３１から脱落
させることができる。このように、吸着ヘッド３１の下
面に対して直角方向にエアブローノズル４７を配置する
ことにより、エアブローによって正しく吸着された導電
性ボール７が誤って脱落することを防止できる。
角方向から噴流を作用させることにより、吸着孔３１ａ
に正しく吸着された導電性ボール７に対して噴流が及ぼ
す力を小さくすることができる。これに対し、吸着ヘッ
ド３１の下面に余分に付着している導電性ボール７は不
安定な状態で付着しているので、直角方向からの噴流に
よる小さな力によっても容易に吸着ヘッド３１から脱落
させることができる。このように、吸着ヘッド３１の下
面に対して直角方向にエアブローノズル４７を配置する
ことにより、エアブローによって正しく吸着された導電
性ボール７が誤って脱落することを防止できる。
【００２２】（実施の形態３）図７は本発明の実施の形
態３の導電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部
の部分断面図である。図７において、除去部４０には、
円形孔を有する直射型のエアブローノズル４９が水平方
向（図１においてＹ方向）に配設されている。またエア
ブローノズル４９の噴流の方向の延長線上には、ボール
受け部５０が配設されている。下面に導電性ボール７を
真空吸着した吸着ヘッド３１の下面がエアブローノズル
４９の噴射線上に位置するよう吸着ヘッド３１を移動さ
せ、吸着ヘッド３１をＸ方向（図７において図面に垂直
方向）に水平移動させながらエアブローノズル４９から
空気を噴出させる。これにより、吸着ヘッド３１の下面
の導電性ボール７に空気の噴流が水平方向から作用し、
不安定な状態で吸着ヘッド３１の下面に付着している導
電性ボール７は噴流によって噴流方向に吹き飛ばされ
て、噴流方向線上にあるボール受け部５０内に落下して
回収される。
態３の導電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部
の部分断面図である。図７において、除去部４０には、
円形孔を有する直射型のエアブローノズル４９が水平方
向（図１においてＹ方向）に配設されている。またエア
ブローノズル４９の噴流の方向の延長線上には、ボール
受け部５０が配設されている。下面に導電性ボール７を
真空吸着した吸着ヘッド３１の下面がエアブローノズル
４９の噴射線上に位置するよう吸着ヘッド３１を移動さ
せ、吸着ヘッド３１をＸ方向（図７において図面に垂直
方向）に水平移動させながらエアブローノズル４９から
空気を噴出させる。これにより、吸着ヘッド３１の下面
の導電性ボール７に空気の噴流が水平方向から作用し、
不安定な状態で吸着ヘッド３１の下面に付着している導
電性ボール７は噴流によって噴流方向に吹き飛ばされ
て、噴流方向線上にあるボール受け部５０内に落下して
回収される。
【００２３】このとき、導電性ボール７に対して横方向
から噴流が作用することにより、少ない空気の噴出量で
最も効率よく噴流の力を導電性ボール７に対して作用さ
せることができ、また、直射型のエアブローノズル４９
を使用することができるので除去部４０全体を小さなス
ペース内に収めることができる。
から噴流が作用することにより、少ない空気の噴出量で
最も効率よく噴流の力を導電性ボール７に対して作用さ
せることができ、また、直射型のエアブローノズル４９
を使用することができるので除去部４０全体を小さなス
ペース内に収めることができる。
【００２４】（実施の形態４）図８は本発明の実施の形
態４の導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分断
面図である。図８において、ボール供給部１０にはエア
ブローノズル５１が斜め上方（ボール供給部１０の内側
方向）に向けて配設されている。エアブローノズル５１
は実施の形態１と同様に流量調整弁を介してエア源（図
外）に接続されている。エアブローノズル５１は、吸着
ヘッド３１下面の奥行き長さに相当するエアブロー幅を
有するスリットノズル、または微小径の円形ノズルを１
直線上に多数配列して前記ノズル幅を持たせたものであ
る。また、ボール供給部１０のエアブローノズル５１の
反対側にはボール受け部５２が設けられている。
態４の導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分断
面図である。図８において、ボール供給部１０にはエア
ブローノズル５１が斜め上方（ボール供給部１０の内側
方向）に向けて配設されている。エアブローノズル５１
は実施の形態１と同様に流量調整弁を介してエア源（図
外）に接続されている。エアブローノズル５１は、吸着
ヘッド３１下面の奥行き長さに相当するエアブロー幅を
有するスリットノズル、または微小径の円形ノズルを１
直線上に多数配列して前記ノズル幅を持たせたものであ
る。また、ボール供給部１０のエアブローノズル５１の
反対側にはボール受け部５２が設けられている。
【００２５】ボール供給部１０内の導電性ボール７を真
空吸着した吸着ヘッド３１がボール供給部１０から上昇
し右方へ水平移動する際に、エアブローノズル５０から
吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出させると、実
施の形態１の場合と同様に吸着ヘッド３１の下面に余分
に付着している導電性ボール７はエアブローによって吸
着ヘッド３１の下面から除去され、ボール供給部１０内
に落下して回収される。このとき、空気の噴流により水
平方向に飛散する導電性ボール７も同様にボール受け部
５２によって遮られてボール供給部１０内に落下して回
収される。
空吸着した吸着ヘッド３１がボール供給部１０から上昇
し右方へ水平移動する際に、エアブローノズル５０から
吸着ヘッド３１の下面に対して空気を噴出させると、実
施の形態１の場合と同様に吸着ヘッド３１の下面に余分
に付着している導電性ボール７はエアブローによって吸
着ヘッド３１の下面から除去され、ボール供給部１０内
に落下して回収される。このとき、空気の噴流により水
平方向に飛散する導電性ボール７も同様にボール受け部
５２によって遮られてボール供給部１０内に落下して回
収される。
【００２６】このように、ボール除去部をボール供給部
１０と一体化することにより、ボール除去部を別個に設
ける場合と比較して省スペース化を図ることができる。
また、除去された余分な導電性ボール７は直接ボール供
給部１０に回収されるので、導電性ボール７の回収率を
向上させ、導電性ボール７を無駄なく再利用することが
できる。
１０と一体化することにより、ボール除去部を別個に設
ける場合と比較して省スペース化を図ることができる。
また、除去された余分な導電性ボール７は直接ボール供
給部１０に回収されるので、導電性ボール７の回収率を
向上させ、導電性ボール７を無駄なく再利用することが
できる。
【００２７】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記各実施の形態では導電性ボール
の除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド
３１を移動させるようにしているが、除去部４０を可動
なものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド
３１に対して除去部４０を移動させて、余分な導電性ボ
ール７を除去するようにしてもよいものである。
のであって、例えば上記各実施の形態では導電性ボール
の除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド
３１を移動させるようにしているが、除去部４０を可動
なものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド
３１に対して除去部４０を移動させて、余分な導電性ボ
ール７を除去するようにしてもよいものである。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部の導電性
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去
部に対して下降させて除去部に備えられたエアブローノ
ズルに相対的に位置させ、エアブローノズルから空気を
噴出させるようにしたので、吸着ヘッドの下面に余分に
付着した導電性ボールを、エアブローによる力によって
速やかに吸着ヘッド下面から除去することができ、従っ
てワークの電極上に確実に１個づつの導電性ボールを移
載することができる。
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去
部に対して下降させて除去部に備えられたエアブローノ
ズルに相対的に位置させ、エアブローノズルから空気を
噴出させるようにしたので、吸着ヘッドの下面に余分に
付着した導電性ボールを、エアブローによる力によって
速やかに吸着ヘッド下面から除去することができ、従っ
てワークの電極上に確実に１個づつの導電性ボールを移
載することができる。
【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図３】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図４】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図５】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図
置の位置決めテーブルの部分正面図
【図６】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図７】本発明の実施の形態３の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図８】本発明の実施の形態４の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
１ 基台 ２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ ボール供給部 １１ ボール槽 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔 ４０ 除去部 ４２、４７、４９、５１ エアブローノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 23/12 Ｌ
Claims (2)
- 【請求項１】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移
動手段と、前記吸着ヘッドが前記吸着孔に導電性ボール
を真空吸着してピックアップした状態で前記吸着ヘッド
の下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボールをエ
アブローによって除去する除去部とを備えたことを特徴
とする導電性ボールの移載装置。 - 【請求項２】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、下面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを
導電性ボールの除去部のエアブローノズルに対して所定
の間隔を保って相対的に位置させ、前記エアブローノズ
ルより空気を噴出させて前記吸着ヘッドの下面に余分に
付着した導電性ボールを除去することを特徴とする導電
性ボールの移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26576197A JP3475744B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26576197A JP3475744B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111767A true JPH11111767A (ja) | 1999-04-23 |
| JP3475744B2 JP3475744B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=17421661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26576197A Expired - Fee Related JP3475744B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3475744B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000012593A (ja) * | 1998-04-24 | 2000-01-14 | Nippon Steel Corp | ボ―ル転写方法および装置 |
| US6916731B2 (en) * | 1999-04-23 | 2005-07-12 | Nippon Steel Corporation | Ball transferring method and apparatus |
| JP2006198752A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Sapporo Breweries Ltd | 複合物分解・組立装置 |
| US7285486B2 (en) | 2001-01-12 | 2007-10-23 | Nippon Steel Materials Co., Ltd. | Ball transferring method and apparatus |
| JP2007294835A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Athlete Fa Kk | 微小ボールをピックアップするための装置およびその制御方法 |
| CN111185437A (zh) * | 2020-03-05 | 2020-05-22 | 刘玉 | 一种差速器精密齿轮齿缝碎屑冲洗设备 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26576197A patent/JP3475744B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000012593A (ja) * | 1998-04-24 | 2000-01-14 | Nippon Steel Corp | ボ―ル転写方法および装置 |
| US6916731B2 (en) * | 1999-04-23 | 2005-07-12 | Nippon Steel Corporation | Ball transferring method and apparatus |
| US7285486B2 (en) | 2001-01-12 | 2007-10-23 | Nippon Steel Materials Co., Ltd. | Ball transferring method and apparatus |
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| JP2007294835A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Athlete Fa Kk | 微小ボールをピックアップするための装置およびその制御方法 |
| CN111185437A (zh) * | 2020-03-05 | 2020-05-22 | 刘玉 | 一种差速器精密齿轮齿缝碎屑冲洗设备 |
| CN111185437B (zh) * | 2020-03-05 | 2021-04-20 | 徐州瑞联齿轮有限公司 | 一种差速器精密齿轮齿缝碎屑冲洗设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3475744B2 (ja) | 2003-12-08 |
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