JPH11111875A - 仮固定治具及びキャップ接着装置 - Google Patents
仮固定治具及びキャップ接着装置Info
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- JPH11111875A JPH11111875A JP26899197A JP26899197A JPH11111875A JP H11111875 A JPH11111875 A JP H11111875A JP 26899197 A JP26899197 A JP 26899197A JP 26899197 A JP26899197 A JP 26899197A JP H11111875 A JPH11111875 A JP H11111875A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高品質の接着と接着効率のよいキャップ接着装
置を提供する。 【解決手段】電子部品が搭載された基板に仮硬化された
接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して基板にキャ
ップを接着するキャップ接着装置に用いられ、キャップ
を基板に仮固定するための仮固定治具であって、基板を
位置決め固定する基板固定治具と、キャップの位置決孔
が形成されたキャップガイドと、キャップガイドにより
位置決めされたキャップを基板に押圧固定するキャップ
押圧ピンと、キャップガイドをキャップから離脱させる
リフトアップピンとから構成されている。
置を提供する。 【解決手段】電子部品が搭載された基板に仮硬化された
接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して基板にキャ
ップを接着するキャップ接着装置に用いられ、キャップ
を基板に仮固定するための仮固定治具であって、基板を
位置決め固定する基板固定治具と、キャップの位置決孔
が形成されたキャップガイドと、キャップガイドにより
位置決めされたキャップを基板に押圧固定するキャップ
押圧ピンと、キャップガイドをキャップから離脱させる
リフトアップピンとから構成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に搭載され
た電子部品の防湿および結露保護のためにキャップを覆
せ接着固定するキャップ接着装置およびその治具に関す
る。
た電子部品の防湿および結露保護のためにキャップを覆
せ接着固定するキャップ接着装置およびその治具に関す
る。
【0002】
【従来の技術】セラミック基板上に搭載された加速度セ
ンサにセラミック製のキャップを覆せて接着する従来の
接着例を図7,図8および図9を用いて説明する。図7
は従来のキャップ接着装置の概略構成を示す平面図であ
る。図8は従来の基板固定治具を示す図で、(a)は平
面図、(b)は側面図である。図9は従来のキャップ接
着を示す図で、(a)はセラミック基板の平面図(加速
度センサ搭載状態)、(b)はキャップの側面拡大図、
(c)はキャップ接着後の平面拡大図、(d)はE−E
断面図である。
ンサにセラミック製のキャップを覆せて接着する従来の
接着例を図7,図8および図9を用いて説明する。図7
は従来のキャップ接着装置の概略構成を示す平面図であ
る。図8は従来の基板固定治具を示す図で、(a)は平
面図、(b)は側面図である。図9は従来のキャップ接
着を示す図で、(a)はセラミック基板の平面図(加速
度センサ搭載状態)、(b)はキャップの側面拡大図、
(c)はキャップ接着後の平面拡大図、(d)はE−E
断面図である。
【0003】100はキャップ接着装置で、部材搬入部
130,作業エリア140,搬送部145,接着部15
0,搬出部155および制御部(図示省略)等により構
成されており、装置の内部は結露防止のため露点管理さ
れた窒素雰囲気で略密閉に近い状態となっている。部材
搬入部130は、セラミック基板110,キャップ12
0および接着用の治具等の搬入と搬入された部材の貯溜
部で、部材搬入部130と作業エリア130との間に
は、部材搬入の際に外気の進入をできるだけ少なくする
ようにシャッタが設けられている。
130,作業エリア140,搬送部145,接着部15
0,搬出部155および制御部(図示省略)等により構
成されており、装置の内部は結露防止のため露点管理さ
れた窒素雰囲気で略密閉に近い状態となっている。部材
搬入部130は、セラミック基板110,キャップ12
0および接着用の治具等の搬入と搬入された部材の貯溜
部で、部材搬入部130と作業エリア130との間に
は、部材搬入の際に外気の進入をできるだけ少なくする
ようにシャッタが設けられている。
【0004】作業エリア130は、基板固定治具にセラ
ミック基板110を載せセラミック基板110にキャッ
プ120を載せる作業エリア130で、後方(図示上
方)には搬送部145の所定の位置に搬送されてきた部
材を接着部150へ移動させる移送プッシャ141等が
設置されている。搬送部145は、作業エリア130で
接着準備された部材を接着部150の加熱部151の位
置に対応した場所へ搬送するものである。
ミック基板110を載せセラミック基板110にキャッ
プ120を載せる作業エリア130で、後方(図示上
方)には搬送部145の所定の位置に搬送されてきた部
材を接着部150へ移動させる移送プッシャ141等が
設置されている。搬送部145は、作業エリア130で
接着準備された部材を接着部150の加熱部151の位
置に対応した場所へ搬送するものである。
【0005】接着部150は、搬送されてきた部材を加
熱してセラミック基板110にキャップ120を接着す
る加熱部151で、ホットテーブル152が複数箇所
(本例3箇所)設置されている。また、接着が完了した
部材を接着部150内から搬出部155内へ移動させる
搬出プッシャ156(図示省略)が3箇所(加熱部15
1に対応した位置)設置されている。
熱してセラミック基板110にキャップ120を接着す
る加熱部151で、ホットテーブル152が複数箇所
(本例3箇所)設置されている。また、接着が完了した
部材を接着部150内から搬出部155内へ移動させる
搬出プッシャ156(図示省略)が3箇所(加熱部15
1に対応した位置)設置されている。
【0006】搬出部155は、接着が完了し接着部15
0から移送されてきた部材(基板固定治具160)の貯
溜部で、接着部150と搬出部155との間には、部材
搬出の際に外気の進入をできるだけ少なくするようにシ
ャッタが設けられている。基板固定治具160は、ベー
ス部161にセラミック基板110の位置決ピン16
2,163およびキャップガイド165の位置決ピン
(セラミック基板110の位置決ピン163と共用)1
63が立設しており、またセラミック基板110の固定
部164等が設けられている。基板固定治具160には
セラミック基板110(本例では16枚綴りの基板)が
2枚固定できるようになっている。キャップガイド16
5は、板状をしておりセラミック基板110の16枚の
基板に接着するキャップ120が挿入するガイド孔16
6と位置決孔168等が形成されている。尚、基板固定
治具160の材料には熱伝導性がよくしかも重量の軽い
アルミ板が用いられる。
0から移送されてきた部材(基板固定治具160)の貯
溜部で、接着部150と搬出部155との間には、部材
搬出の際に外気の進入をできるだけ少なくするようにシ
ャッタが設けられている。基板固定治具160は、ベー
ス部161にセラミック基板110の位置決ピン16
2,163およびキャップガイド165の位置決ピン
(セラミック基板110の位置決ピン163と共用)1
63が立設しており、またセラミック基板110の固定
部164等が設けられている。基板固定治具160には
セラミック基板110(本例では16枚綴りの基板)が
2枚固定できるようになっている。キャップガイド16
5は、板状をしておりセラミック基板110の16枚の
基板に接着するキャップ120が挿入するガイド孔16
6と位置決孔168等が形成されている。尚、基板固定
治具160の材料には熱伝導性がよくしかも重量の軽い
アルミ板が用いられる。
【0007】セラミック基板110は、複数の基板が1
枚に形成(本例では16枚綴り)されており、それぞれ
の基板には電子部品(本例では加速度センサ112)等
が搭載されている。尚、セラミック基板110はキャッ
プ120の接着後に分割できるように分割溝111が形
成されており、基板の外周部には加工の際の保持部とな
るダミー部113が形成されている。
枚に形成(本例では16枚綴り)されており、それぞれ
の基板には電子部品(本例では加速度センサ112)等
が搭載されている。尚、セラミック基板110はキャッ
プ120の接着後に分割できるように分割溝111が形
成されており、基板の外周部には加工の際の保持部とな
るダミー部113が形成されている。
【0008】キャップ120は、加速度センサ112に
覆せセラミック基板110に密閉状態で接着し、加速度
センサ112の防湿および結露を保護するセラミック製
のキャップである。キャップ120は、方形の立方体形
状をしており加速度センサ112を覆う凹部121が形
成されており、凹部121の開口部端面(接着面)には
予め熱硬化性樹脂(エポキシ系)の接着剤122が仮硬
化状態で形成されている。尚、仮硬化状態の接着剤12
2は再加熱により溶融し接着する。
覆せセラミック基板110に密閉状態で接着し、加速度
センサ112の防湿および結露を保護するセラミック製
のキャップである。キャップ120は、方形の立方体形
状をしており加速度センサ112を覆う凹部121が形
成されており、凹部121の開口部端面(接着面)には
予め熱硬化性樹脂(エポキシ系)の接着剤122が仮硬
化状態で形成されている。尚、仮硬化状態の接着剤12
2は再加熱により溶融し接着する。
【0009】次に、キャップの接着について説明する。
作業エリア130内に搬入されている基板固定治具16
0にセラミック基板110を載せて固定し、セラミック
基板110の上にキャップガイド165を位置決め固定
する。そして、16に分割されたキャップガイド165
内にキャップ120を1個づつ挿入する。次に、接着準
備された基板固定治具160を作業エリア130から搬
送部145へ移動させる。そして、基板固定治具160
を接着部150内の接着位置に対応した搬送部145内
の場所へ搬送する。そして、基板固定治具160が所定
の位置まで搬送されてくると、作業エリア130内に設
置された移送プッシャ141が基板固定治具160を押
し出し接着部150のホットテーブル152上に載せ
る。そして、所定の時間加熱しキャップ120の端面に
仮硬化された接着剤122を溶融させてセラミック基板
110に接着固定する。次に、接着が完了した部材を搬
出プッシャ156により接着部150内から搬出部15
5内へ取り出す。そして、セラミック基板110を取り
出した後にキャップガイド165を取り外す。以下、必
要により同じ工程を繰り返す。
作業エリア130内に搬入されている基板固定治具16
0にセラミック基板110を載せて固定し、セラミック
基板110の上にキャップガイド165を位置決め固定
する。そして、16に分割されたキャップガイド165
内にキャップ120を1個づつ挿入する。次に、接着準
備された基板固定治具160を作業エリア130から搬
送部145へ移動させる。そして、基板固定治具160
を接着部150内の接着位置に対応した搬送部145内
の場所へ搬送する。そして、基板固定治具160が所定
の位置まで搬送されてくると、作業エリア130内に設
置された移送プッシャ141が基板固定治具160を押
し出し接着部150のホットテーブル152上に載せ
る。そして、所定の時間加熱しキャップ120の端面に
仮硬化された接着剤122を溶融させてセラミック基板
110に接着固定する。次に、接着が完了した部材を搬
出プッシャ156により接着部150内から搬出部15
5内へ取り出す。そして、セラミック基板110を取り
出した後にキャップガイド165を取り外す。以下、必
要により同じ工程を繰り返す。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のキャッ
プ接着装置100では、セラミック基板110上にキャ
ップ120を乗せる総ての作業が密閉された狭いエリア
内で行われるので、作業性が悪く接着に要する時間が長
くなり生産性と設備の稼働率が低下する。また、セラミ
ック基板110とキャップ120との位置決めを行うた
めにキャップガイド165を用いているが、セラミック
基板110とキャップガイド165との熱膨張率の違い
により、セラミック基板110とキャップガイド165
とが圧接状態となる。従って、接着後にキャップガイド
165を取外す際にセラミック基板110が欠けたりま
たは割れたりするおそれがある。これらの問題の対策と
してキャップガイド165を用いずにセラミック基板1
10に対応する数のキャップ120を一括して吸着しセ
ラミック基板110に乗せることも考えられるが、接着
位置ずれや吸着ミス等が発生するおそれがある。
プ接着装置100では、セラミック基板110上にキャ
ップ120を乗せる総ての作業が密閉された狭いエリア
内で行われるので、作業性が悪く接着に要する時間が長
くなり生産性と設備の稼働率が低下する。また、セラミ
ック基板110とキャップ120との位置決めを行うた
めにキャップガイド165を用いているが、セラミック
基板110とキャップガイド165との熱膨張率の違い
により、セラミック基板110とキャップガイド165
とが圧接状態となる。従って、接着後にキャップガイド
165を取外す際にセラミック基板110が欠けたりま
たは割れたりするおそれがある。これらの問題の対策と
してキャップガイド165を用いずにセラミック基板1
10に対応する数のキャップ120を一括して吸着しセ
ラミック基板110に乗せることも考えられるが、接着
位置ずれや吸着ミス等が発生するおそれがある。
【0011】本発明は上述の問題を解決するもので、高
品質の接着と接着効率のよいキャップ接着装置を提供す
ることを目的とする。
品質の接着と接着効率のよいキャップ接着装置を提供す
ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の目的を達
成するもので、電子部品が搭載された基板に仮硬化され
た接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に
該キャップを接着するキャップ接着装置に用いられ、前
記キャップを前記基板に仮固定するための仮固定治具で
あって、前記基板を位置決め固定する基板固定治具と、
前記キャップの位置決孔が形成されたキャップガイド
と、前記キャップガイドにより位置決めされたキャップ
を前記基板に押圧固定するキャップ押圧ピンと、前記キ
ャップガイドを前記キャップから離脱させるリフトアッ
プピンとからなることを特徴とするものである。
成するもので、電子部品が搭載された基板に仮硬化され
た接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に
該キャップを接着するキャップ接着装置に用いられ、前
記キャップを前記基板に仮固定するための仮固定治具で
あって、前記基板を位置決め固定する基板固定治具と、
前記キャップの位置決孔が形成されたキャップガイド
と、前記キャップガイドにより位置決めされたキャップ
を前記基板に押圧固定するキャップ押圧ピンと、前記キ
ャップガイドを前記キャップから離脱させるリフトアッ
プピンとからなることを特徴とするものである。
【0013】また、前記キャップ押圧ピンは押圧方向に
弾性保持されていることを特徴とするものである。ま
た、電子部品が搭載された基板に仮硬化された接着剤が
形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に該キャップ
を接着するキャップ接着装置に用いられ、前記キャップ
を前記基板に仮固定するための仮固定治具であって、前
記基板を位置決め固定する基板固定治具と、前記キャッ
プの位置決孔が形成されたキャップガイドと、前記キャ
ップガイドとの位置決部と前記基板固定治具との位置決
部が形成された反転部材とからなり、前記反転部材に位
置決めされた前記キャップガイドの位置決孔に前記キャ
ップの接着部を上方にして挿入した後、前記基板固定治
具に固定された前記基板が該接着部に当接するように該
基板固定治具を覆せ、その後該反転部材を該基板固定治
具と共に天地反転させ該反転部材を除去させるようにし
たことを特徴とするものである。
弾性保持されていることを特徴とするものである。ま
た、電子部品が搭載された基板に仮硬化された接着剤が
形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に該キャップ
を接着するキャップ接着装置に用いられ、前記キャップ
を前記基板に仮固定するための仮固定治具であって、前
記基板を位置決め固定する基板固定治具と、前記キャッ
プの位置決孔が形成されたキャップガイドと、前記キャ
ップガイドとの位置決部と前記基板固定治具との位置決
部が形成された反転部材とからなり、前記反転部材に位
置決めされた前記キャップガイドの位置決孔に前記キャ
ップの接着部を上方にして挿入した後、前記基板固定治
具に固定された前記基板が該接着部に当接するように該
基板固定治具を覆せ、その後該反転部材を該基板固定治
具と共に天地反転させ該反転部材を除去させるようにし
たことを特徴とするものである。
【0014】また、電子部品が搭載された基板に仮硬化
された接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基
板に該キャップを接着するキャップ接着装置において、
往復移動手段の移動軸の先端部に設けられた保持部と、
前記保持部の軸線方向へ回動可能に該保持部に軸止され
前記基板を位置決め固定する基板固定治具に当接する当
接部と、前記当接部の移動範囲を規制するストッパと、
前記保持部と前記当接部との間に設けられ該当接部を前
記ストッパとの当接により定まる所定の角度に弾性保持
する引張コイルばねとからなり、前記基板固定治具を押
圧移送する移送手段は、該当接部の移動が該ストッパに
より止められる方向にのみ該基板固定治具を移送できる
ようにしたことを特徴とするものである。
された接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基
板に該キャップを接着するキャップ接着装置において、
往復移動手段の移動軸の先端部に設けられた保持部と、
前記保持部の軸線方向へ回動可能に該保持部に軸止され
前記基板を位置決め固定する基板固定治具に当接する当
接部と、前記当接部の移動範囲を規制するストッパと、
前記保持部と前記当接部との間に設けられ該当接部を前
記ストッパとの当接により定まる所定の角度に弾性保持
する引張コイルばねとからなり、前記基板固定治具を押
圧移送する移送手段は、該当接部の移動が該ストッパに
より止められる方向にのみ該基板固定治具を移送できる
ようにしたことを特徴とするものである。
【0015】
【実施例】本発明の第1実施例を図1,図2,図3,図
4及び図5を用いて説明する。図1は本発明の第1実施
例のキャップ接着装置の概略構成を示す平面図である。
図2は第1実施例の基板固定治具を示す図で、(a)は
平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は側面図で
ある。図3は第1実施例の加熱部の概略構成を示す側面
図である。図4は第1実施例のキャップ接着を示す図
で、(a)はセラミック基板の平面図(加速度センサ搭
載状態)、(b)はキャップの側面拡大図、(c)はキ
ャップ接着後の平面拡大図、(d)はA−A断面図であ
る。図5は第1実施例の搬出プッシャの概略構成を示す
図、(a)は正面図、(b)はB矢視図である。
4及び図5を用いて説明する。図1は本発明の第1実施
例のキャップ接着装置の概略構成を示す平面図である。
図2は第1実施例の基板固定治具を示す図で、(a)は
平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は側面図で
ある。図3は第1実施例の加熱部の概略構成を示す側面
図である。図4は第1実施例のキャップ接着を示す図
で、(a)はセラミック基板の平面図(加速度センサ搭
載状態)、(b)はキャップの側面拡大図、(c)はキ
ャップ接着後の平面拡大図、(d)はA−A断面図であ
る。図5は第1実施例の搬出プッシャの概略構成を示す
図、(a)は正面図、(b)はB矢視図である。
【0016】10はキャップ接着装置で、部材搬入部1
2,作業エリア14,搬送部17,接着部20,搬出部
35および制御部(図示省略)等により構成されてお
り、装置の内部は結露防止のため露点管理された窒素雰
囲気で略密閉に近い状態となっている。部材搬入部12
は、セラミック基板50,キャップ55および接着用の
治具等の搬入と搬入された部材の貯溜部で、部材搬入部
12と作業エリア14との間には、部材搬入の際に外気
の進入をできるだけ少なくするようにシャッタ(図示省
略)が設けられている。
2,作業エリア14,搬送部17,接着部20,搬出部
35および制御部(図示省略)等により構成されてお
り、装置の内部は結露防止のため露点管理された窒素雰
囲気で略密閉に近い状態となっている。部材搬入部12
は、セラミック基板50,キャップ55および接着用の
治具等の搬入と搬入された部材の貯溜部で、部材搬入部
12と作業エリア14との間には、部材搬入の際に外気
の進入をできるだけ少なくするようにシャッタ(図示省
略)が設けられている。
【0017】作業エリア14は、基板固定治具40にセ
ラミック基板50を載せセラミック基板50にキャップ
55を載せる作業エリア14で、後方(図示上方)には
搬送部17の所定の位置に搬送されてきた部材を接着部
20へ移動させる移送プッシャ15等が設置されてい
る。搬送部17は、作業エリア14で接着準備された部
材を接着部20の加熱部21の位置に対応した場所へ搬
送するものである。
ラミック基板50を載せセラミック基板50にキャップ
55を載せる作業エリア14で、後方(図示上方)には
搬送部17の所定の位置に搬送されてきた部材を接着部
20へ移動させる移送プッシャ15等が設置されてい
る。搬送部17は、作業エリア14で接着準備された部
材を接着部20の加熱部21の位置に対応した場所へ搬
送するものである。
【0018】接着部20は、搬送部17より搬送されて
きた部材を加熱してセラミック基板50にキャップ55
を接着する加熱部21で、複数箇所(本実施例では3箇
所)設置されている。それぞれの加熱部21は、電熱線
等の熱源が内蔵されたホットテーブル22とホットテー
ブル22の下方に設けられ、キャップガイド45を持ち
上げキャップ55から離れた位置で保持するリフトアッ
プピン23等により構成されている。尚、リフトアップ
ピン23はエアシリンダ24により上下動する。また、
ホットテーブル22の上方には垂直上下方向へ移動し、
キャップ55を1個づつ押さえセラミック基板50に圧
接させる押圧ピン25が32本設けられている。尚、押
圧ピン25全体はエアシリンダ(図示省略)により上下
動するように構成されており、個々の押圧ピン25(3
2本)は弾性部材例えば圧縮コイルばね等により弾性保
持されており、押圧ピン25がキャップ55に圧接した
際にキャップ55およびセラミック基板50に必要以上
の圧力が加わらないようにしている。
きた部材を加熱してセラミック基板50にキャップ55
を接着する加熱部21で、複数箇所(本実施例では3箇
所)設置されている。それぞれの加熱部21は、電熱線
等の熱源が内蔵されたホットテーブル22とホットテー
ブル22の下方に設けられ、キャップガイド45を持ち
上げキャップ55から離れた位置で保持するリフトアッ
プピン23等により構成されている。尚、リフトアップ
ピン23はエアシリンダ24により上下動する。また、
ホットテーブル22の上方には垂直上下方向へ移動し、
キャップ55を1個づつ押さえセラミック基板50に圧
接させる押圧ピン25が32本設けられている。尚、押
圧ピン25全体はエアシリンダ(図示省略)により上下
動するように構成されており、個々の押圧ピン25(3
2本)は弾性部材例えば圧縮コイルばね等により弾性保
持されており、押圧ピン25がキャップ55に圧接した
際にキャップ55およびセラミック基板50に必要以上
の圧力が加わらないようにしている。
【0019】また、接着部20には、接着が完了した部
材を接着部20内から搬出部35内へ移動させる搬出プ
ッシャ27(移動手段に相当)が3箇所(加熱部21に
対応した位置)に設置されている。尚、搬出プッシャ2
7は、水平に設けられたエアシリンダ28と、水平方向
へ伸縮するエアシリンダ28(往復移動手段に相当)の
軸29に固定された保持部30と、保持部30に対して
直角方向(基板固定治具40の方向)に設けられ、軸2
9が本体から出伸する場合には搬出可能な直角状態を維
持し、軸29が本体内へ入縮する場合には矢印C方向へ
回動可能な当接部31等により構成されている。尚、保
持部30と当接部31との接合部は、保持部30の先端
部に溝を形成し、当接部31には該溝に係合する凸部を
形成して係合させ、軸32により回動可能(矢印C方向
へのみ)に接続されている。そして、当接部31は常に
直角方向(当初の搬出可能な状態)へ戻すように引張コ
イルばね33により弾性保持されている。尚、保持部3
0と当接部31との接合部を溝と凸部により係合させた
が、その他にそれぞれの先端部に段差部を形成し段差部
同志を対面当接させ軸により回動可能に接合してもよ
い。また、往復移動手段はモータを用いた駆動でもよ
い。
材を接着部20内から搬出部35内へ移動させる搬出プ
ッシャ27(移動手段に相当)が3箇所(加熱部21に
対応した位置)に設置されている。尚、搬出プッシャ2
7は、水平に設けられたエアシリンダ28と、水平方向
へ伸縮するエアシリンダ28(往復移動手段に相当)の
軸29に固定された保持部30と、保持部30に対して
直角方向(基板固定治具40の方向)に設けられ、軸2
9が本体から出伸する場合には搬出可能な直角状態を維
持し、軸29が本体内へ入縮する場合には矢印C方向へ
回動可能な当接部31等により構成されている。尚、保
持部30と当接部31との接合部は、保持部30の先端
部に溝を形成し、当接部31には該溝に係合する凸部を
形成して係合させ、軸32により回動可能(矢印C方向
へのみ)に接続されている。そして、当接部31は常に
直角方向(当初の搬出可能な状態)へ戻すように引張コ
イルばね33により弾性保持されている。尚、保持部3
0と当接部31との接合部を溝と凸部により係合させた
が、その他にそれぞれの先端部に段差部を形成し段差部
同志を対面当接させ軸により回動可能に接合してもよ
い。また、往復移動手段はモータを用いた駆動でもよ
い。
【0020】搬出部35は、接着が完了し接着部20か
ら移送されてきた部材(基板固定治具40)の貯溜部
で、接着部20と搬出部35との間には部材搬出の際に
外気の進入をできるだけ少なくするようにシャッタ(図
示省略)が設けられている。基板固定治具40は、ベー
ス部41にセラミック基板50の位置決ピン42,43
およびキャップガイド45の位置決ピン43が立設して
おり、またセラミック基板50の固定部44等が設けら
れている。ベース部41にはキャップガイド45を押し
上げるリフトアップピン23が挿通する逃孔48等も形
成されている。尚、基板固定治具40にはセラミック基
板50(本実施例では16枚綴りの基板)が2枚固定で
きるようになっている。キャップガイド45は、板状を
しておりセラミック基板50の16枚の基板に接着する
キャップ55が挿入するガイド孔47と位置決孔46等
が形成されている。尚、基板固定治具40の材料には熱
伝導性がよくしかも重量の軽いアルミ板が用いられる。
ら移送されてきた部材(基板固定治具40)の貯溜部
で、接着部20と搬出部35との間には部材搬出の際に
外気の進入をできるだけ少なくするようにシャッタ(図
示省略)が設けられている。基板固定治具40は、ベー
ス部41にセラミック基板50の位置決ピン42,43
およびキャップガイド45の位置決ピン43が立設して
おり、またセラミック基板50の固定部44等が設けら
れている。ベース部41にはキャップガイド45を押し
上げるリフトアップピン23が挿通する逃孔48等も形
成されている。尚、基板固定治具40にはセラミック基
板50(本実施例では16枚綴りの基板)が2枚固定で
きるようになっている。キャップガイド45は、板状を
しておりセラミック基板50の16枚の基板に接着する
キャップ55が挿入するガイド孔47と位置決孔46等
が形成されている。尚、基板固定治具40の材料には熱
伝導性がよくしかも重量の軽いアルミ板が用いられる。
【0021】セラミック基板50は、複数の基板が1枚
に形成(本実施例では16枚綴り)されており、それぞ
れ16枚の基板には電子部品(本例では加速度センサ5
2)等が搭載されている。尚、セラミック基板50はキ
ャップ55の接着後に分割できるように分割溝51が形
成されており、基板の外周部には加工の際の保持部とな
るダミー部53が形成されている。
に形成(本実施例では16枚綴り)されており、それぞ
れ16枚の基板には電子部品(本例では加速度センサ5
2)等が搭載されている。尚、セラミック基板50はキ
ャップ55の接着後に分割できるように分割溝51が形
成されており、基板の外周部には加工の際の保持部とな
るダミー部53が形成されている。
【0022】キャップ55は、加速度センサ52に覆せ
セラミック基板50に密閉状態で接着し、加速度センサ
52の防湿および結露を防止するセラミック製のキャッ
プである。キャップ55は、方形の立方体形状をしてお
り加速度センサ52を覆う凹部56が形成されており、
凹部56の開口部端面(接着面)には予め熱硬化性樹脂
(エポキシ系)の接着剤57が仮硬化状態で形成されて
いる。尚、仮硬化状態の接着剤57は再加熱により溶融
し接着する。
セラミック基板50に密閉状態で接着し、加速度センサ
52の防湿および結露を防止するセラミック製のキャッ
プである。キャップ55は、方形の立方体形状をしてお
り加速度センサ52を覆う凹部56が形成されており、
凹部56の開口部端面(接着面)には予め熱硬化性樹脂
(エポキシ系)の接着剤57が仮硬化状態で形成されて
いる。尚、仮硬化状態の接着剤57は再加熱により溶融
し接着する。
【0023】次に、キャップの接着について説明する。
作業エリア14内に搬入されている基板固定治具40に
セラミック基板50を2枚載せて固定し、セラミック基
板50の上にキャップガイド45を位置決め固定する。
そして、キャップガイド45のガイド孔47内にキャッ
プ55を1個づつ挿入する。次に、接着準備された基板
固定治具40を作業エリア14から搬送部17へ移動さ
せる。そして、基板固定治具40を接着部20内の接着
位置に対応した搬送部17内の場所へ搬送する。そし
て、基板固定治具40が所定の位置まで搬送されてくる
と、作業エリア14内に設置された移送プッシャ15が
基板固定治具40を押し出し接着部20のホットテーブ
ル22の上に載せる。次に、ホットテーブル22の上方
に設けられた押圧ピン25が下降し、基板固定治具40
のキャップ55を1個づつ押さえる。そして、キャップ
55をセラミック基板50に圧接させた状態で保持す
る。次に、ホットテーブル22の下方に設けられたリフ
トアップピン23を上昇させ、キャップガイド45を持
ち上げキャップ55から離れた位置で保持する。そし
て、所定の時間加熱しキャップ55の端面に仮硬化され
た接着剤57を溶融させてセラミック基板50に接着固
定する。次に、押圧ピン25を上昇させると同時にリフ
トアップピン23を下降させ、接着が完了した部材(基
板固定治具40)を搬出プッシャ27により接着部20
内のホットテーブル22から搬出部35内へ搬出する。
そして、セラミック基板50とキャップガイド45を取
り出す。以下、必要により同じ工程を繰り返す。
作業エリア14内に搬入されている基板固定治具40に
セラミック基板50を2枚載せて固定し、セラミック基
板50の上にキャップガイド45を位置決め固定する。
そして、キャップガイド45のガイド孔47内にキャッ
プ55を1個づつ挿入する。次に、接着準備された基板
固定治具40を作業エリア14から搬送部17へ移動さ
せる。そして、基板固定治具40を接着部20内の接着
位置に対応した搬送部17内の場所へ搬送する。そし
て、基板固定治具40が所定の位置まで搬送されてくる
と、作業エリア14内に設置された移送プッシャ15が
基板固定治具40を押し出し接着部20のホットテーブ
ル22の上に載せる。次に、ホットテーブル22の上方
に設けられた押圧ピン25が下降し、基板固定治具40
のキャップ55を1個づつ押さえる。そして、キャップ
55をセラミック基板50に圧接させた状態で保持す
る。次に、ホットテーブル22の下方に設けられたリフ
トアップピン23を上昇させ、キャップガイド45を持
ち上げキャップ55から離れた位置で保持する。そし
て、所定の時間加熱しキャップ55の端面に仮硬化され
た接着剤57を溶融させてセラミック基板50に接着固
定する。次に、押圧ピン25を上昇させると同時にリフ
トアップピン23を下降させ、接着が完了した部材(基
板固定治具40)を搬出プッシャ27により接着部20
内のホットテーブル22から搬出部35内へ搬出する。
そして、セラミック基板50とキャップガイド45を取
り出す。以下、必要により同じ工程を繰り返す。
【0024】以上説明したように本実施例によれば、接
着部20で加熱する前にキャップガイド45で位置決め
されたセラミック基板50とキャップ55とを押圧ピン
25により押圧して位置決め状態で保持し、キャップガ
イド45をリフトアップピン23により押し上げてキャ
ップ55から離脱させた状態で加熱するので、キャップ
ガイド45の熱膨張による影響を回避することができ
る。従って、セラミック基板50とキャップ55とにキ
ャップガイド45の熱膨張による無理な外力が加わらな
いので、キャップ55やセラミック基板50の欠けや割
れ等の不具合の発生を防止することができる。接着品質
を向上させることができる。
着部20で加熱する前にキャップガイド45で位置決め
されたセラミック基板50とキャップ55とを押圧ピン
25により押圧して位置決め状態で保持し、キャップガ
イド45をリフトアップピン23により押し上げてキャ
ップ55から離脱させた状態で加熱するので、キャップ
ガイド45の熱膨張による影響を回避することができ
る。従って、セラミック基板50とキャップ55とにキ
ャップガイド45の熱膨張による無理な外力が加わらな
いので、キャップ55やセラミック基板50の欠けや割
れ等の不具合の発生を防止することができる。接着品質
を向上させることができる。
【0025】次に、本発明の第2実施例を図6を用いて
説明する。図6は本発明の第2実施例の反転治具を示す
図で、(a)は平面図(キャップガイド設置状態)、
(b)は側面図である。尚、本実施例は第1実施例の一
部を変更したものであり、その他については第1実施例
と略同じであるので同じ構成については同じ符号を付し
説明を省略する。
説明する。図6は本発明の第2実施例の反転治具を示す
図で、(a)は平面図(キャップガイド設置状態)、
(b)は側面図である。尚、本実施例は第1実施例の一
部を変更したものであり、その他については第1実施例
と略同じであるので同じ構成については同じ符号を付し
説明を省略する。
【0026】60は反転治具(反転部材に相当)で、ベ
ース部61にキャップガイド45を位置決めする位置決
板62が設けられており、基板固定治具40の位置決ピ
ン43(キャップガイド45の位置決孔46に挿入する
ピン)の逃孔63およびリフトアップピン23が貫通す
る逃孔66が形成されている。ベース部61の外周部
(図示上方側)には基板固定治具40の外周が嵌まり込
む位置決め用の壁部64が、また、ベース部61の外周
部(図示下方側)には脚65が立設している。尚、反転
治具60の材料には反転等の取扱時の重量を軽くするた
めにアルミ板または樹脂板等の軽い部材が用いられる。
ース部61にキャップガイド45を位置決めする位置決
板62が設けられており、基板固定治具40の位置決ピ
ン43(キャップガイド45の位置決孔46に挿入する
ピン)の逃孔63およびリフトアップピン23が貫通す
る逃孔66が形成されている。ベース部61の外周部
(図示上方側)には基板固定治具40の外周が嵌まり込
む位置決め用の壁部64が、また、ベース部61の外周
部(図示下方側)には脚65が立設している。尚、反転
治具60の材料には反転等の取扱時の重量を軽くするた
めにアルミ板または樹脂板等の軽い部材が用いられる。
【0027】次に、キャップの接着について説明する。
キャップ接着装置10の外で反転治具60にキャップガ
イド45を位置決め固定し、キャップガイド45のガイ
ド孔47にキャップ55の接着面を上方にして挿入した
反転治具60を、部材搬入部12より作業エリア14に
搬入する。次に、基板固定治具40にセラミック基板5
0を固定する。そして、セラミック基板50を固定した
基板固定治具40を、逆さま(セラミック基板50が下
方)にして反転治具60のキャップ55の接着面とセラ
ミック基板50が当接するように基板固定治具40をか
覆せる。そして、この状態で反転治具60と基板固定治
具40を一緒に天地逆さまに反転させ反転治具60を取
り外す。次に、接着準備された基板固定治具40を作業
エリア14から搬送部17へ移動させる。そして、基板
固定治具40を接着部20内の接着位置に対応した搬送
部17内の場所へ搬送する。そして、基板固定治具40
が所定の位置まで搬送されてくると、作業エリア14内
に設置された移送プッシャ15が基板固定治具40を押
し出し接着部20のホットテーブル22の上に載せる。
次に、ホットテーブル22の上方に設けられた押圧ピン
25が下降し、基板固定治具40のキャップ55を1個
づつ押さえる。そして、キャップ55をセラミック基板
50に圧接させた状態で保持する。次に、ホットテーブ
ル22の下方に設けられたリフトアップピン23を上昇
させ、キャップガイド45を持ち上げキャップ55から
離れた位置で保持する。そして、所定の時間加熱しキャ
ップ55の端面に仮硬化された接着剤57を溶融させて
セラミック基板50に接着固定する。次に、押圧ピン2
5を上昇させると同時にリフトアップピン23を下降さ
せ、接着が完了した部材(基板固定治具40)を搬出プ
ッシャ27により接着部20内のホットテーブル22か
ら搬出部35内へ搬出する。そして、セラミック基板5
0とキャップガイド45を取り出す。以下、必要により
同じ工程を繰り返す。
キャップ接着装置10の外で反転治具60にキャップガ
イド45を位置決め固定し、キャップガイド45のガイ
ド孔47にキャップ55の接着面を上方にして挿入した
反転治具60を、部材搬入部12より作業エリア14に
搬入する。次に、基板固定治具40にセラミック基板5
0を固定する。そして、セラミック基板50を固定した
基板固定治具40を、逆さま(セラミック基板50が下
方)にして反転治具60のキャップ55の接着面とセラ
ミック基板50が当接するように基板固定治具40をか
覆せる。そして、この状態で反転治具60と基板固定治
具40を一緒に天地逆さまに反転させ反転治具60を取
り外す。次に、接着準備された基板固定治具40を作業
エリア14から搬送部17へ移動させる。そして、基板
固定治具40を接着部20内の接着位置に対応した搬送
部17内の場所へ搬送する。そして、基板固定治具40
が所定の位置まで搬送されてくると、作業エリア14内
に設置された移送プッシャ15が基板固定治具40を押
し出し接着部20のホットテーブル22の上に載せる。
次に、ホットテーブル22の上方に設けられた押圧ピン
25が下降し、基板固定治具40のキャップ55を1個
づつ押さえる。そして、キャップ55をセラミック基板
50に圧接させた状態で保持する。次に、ホットテーブ
ル22の下方に設けられたリフトアップピン23を上昇
させ、キャップガイド45を持ち上げキャップ55から
離れた位置で保持する。そして、所定の時間加熱しキャ
ップ55の端面に仮硬化された接着剤57を溶融させて
セラミック基板50に接着固定する。次に、押圧ピン2
5を上昇させると同時にリフトアップピン23を下降さ
せ、接着が完了した部材(基板固定治具40)を搬出プ
ッシャ27により接着部20内のホットテーブル22か
ら搬出部35内へ搬出する。そして、セラミック基板5
0とキャップガイド45を取り出す。以下、必要により
同じ工程を繰り返す。
【0028】以上説明したように本実施例においても、
第1実施例と同じようにキャップ55とセラミック基板
50との接着品質を向上させることができる。その他に
反転治具60を用いることによりキャップ55の挿入作
業を密閉された狭いキャップ接着装置10の中で行うこ
となく、キャップ接着装置10の外で行うことができる
ので作業性がよくなり作業能率が向上する。また、接着
中にキャップ55を挿入した反転治具60を用意してお
くことにより、キャップ接着装置10内の作業時間が短
くなり、接着に要する加熱時間に近いサイクルで接着す
ることが可能となり、キャップ接着装置10を有効に稼
働させることができるのでコスト低減が図れる。
第1実施例と同じようにキャップ55とセラミック基板
50との接着品質を向上させることができる。その他に
反転治具60を用いることによりキャップ55の挿入作
業を密閉された狭いキャップ接着装置10の中で行うこ
となく、キャップ接着装置10の外で行うことができる
ので作業性がよくなり作業能率が向上する。また、接着
中にキャップ55を挿入した反転治具60を用意してお
くことにより、キャップ接着装置10内の作業時間が短
くなり、接着に要する加熱時間に近いサイクルで接着す
ることが可能となり、キャップ接着装置10を有効に稼
働させることができるのでコスト低減が図れる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、キ
ャップとセラミック基板との接着が高品質でしかも効率
よく行うことができる。
ャップとセラミック基板との接着が高品質でしかも効率
よく行うことができる。
【図1】本発明の第1実施例のキャップ接着装置の概略
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図2】第1実施例の基板固定治具を示す図で、(a)
は平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は側面図
である。
は平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は側面図
である。
【図3】第1実施例の加熱部の概略構成を示す側面図で
ある。
ある。
【図4】第1実施例のキャップ接着を示す図で、(a)
はセラミック基板の平面図(加速度センサ搭載状態)、
(b)はキャップの側面拡大図、(c)はキャップ接着
後の平面拡大図、(d)はA−A断面図である。
はセラミック基板の平面図(加速度センサ搭載状態)、
(b)はキャップの側面拡大図、(c)はキャップ接着
後の平面拡大図、(d)はA−A断面図である。
【図5】第1実施例の搬出プッシャの概略構成を示す図
で、(a)は正面図、(b)はB矢視図である。
で、(a)は正面図、(b)はB矢視図である。
【図6】本発明の第2実施例の反転治具を示す図で、
(a)は平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は
側面図である。
(a)は平面図(キャップガイド設置状態)、(b)は
側面図である。
【図7】従来のキャップ接着装置の概略構成を示す平面
図である。
図である。
【図8】従来の基板固定治具を示す図で、(a)は平面
図、(b)は側面図である。
図、(b)は側面図である。
【図9】従来のキャップ接着を示す図で、(a)はセラ
ミック基板の平面図(加速度センサ搭載状態)、(b)
はキャップの側面拡大図、(c)はキャップ接着後の平
面拡大図、(d)はE−E断面図である。
ミック基板の平面図(加速度センサ搭載状態)、(b)
はキャップの側面拡大図、(c)はキャップ接着後の平
面拡大図、(d)はE−E断面図である。
10・・・・・・・キャップ接着装置 12・・・・・・・部品搬入部 14・・・・・・・作業エリア 15・・・・・・・移送プッシャ 17・・・・・・・搬送部 20・・・・・・・接着部 21・・・・・・・加熱部 22・・・・・・・ホットテーブル 23・・・・・・・リフトアップピン 24,28・・・・エアシリンダ 25・・・・・・・押圧ピン 27・・・・・・・搬出プッシャ 29・・・・・・・軸 30・・・・・・・保持部 31・・・・・・・当接部 32・・・・・・・軸 33・・・・・・・引張コイルばね 35・・・・・・・搬出部 40・・・・・・・基板固定治具 41,61・・・・ベース部 42,43・・・・位置決ピン 44・・・・・・・固定部 45・・・・・・・キャップガイド 46・・・・・・・位置孔 47・・・・・・・ガイド孔 48,63,66・逃孔 50・・・・・・・セラミック基板 51・・・・・・・分割溝 52・・・・・・・加速度センサ 53・・・・・・・ダミー部 55・・・・・・・キャップ 56・・・・・・・凹部 57・・・・・・・接着剤 60・・・・・・・反転治具 62・・・・・・・位置決板 64・・・・・・・壁部 65・・・・・・・脚
Claims (4)
- 【請求項1】 電子部品が搭載された基板に仮硬化され
た接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に
該キャップを接着するキャップ接着装置に用いられ、前
記キャップを前記基板に仮固定するための仮固定治具で
あって、 前記基板を位置決め固定する基板固定治具と、 前記キャップの位置決孔が形成されたキャップガイド
と、 前記キャップガイドにより位置決めされたキャップを前
記基板に押圧固定するキャップ押圧ピンと、 前記キャップガイドを前記キャップから離脱させるリフ
トアップピンとからなることを特徴とする仮固定治具。 - 【請求項2】 前記キャップ押圧ピンは押圧方向に弾性
保持されていることを特徴とする請求項1記載の仮固定
治具。 - 【請求項3】 電子部品が搭載された基板に仮硬化され
た接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に
該キャップを接着するキャップ接着装置に用いられ、前
記キャップを前記基板に仮固定するための仮固定治具で
あって、 前記基板を位置決め固定する基板固定治具と、 前記キャップの位置決孔が形成されたキャップガイド
と、 前記キャップガイドとの位置決部と前記基板固定治具と
の位置決部が形成された反転部材とからなり、 前記反転部材に位置決めされた前記キャップガイドの位
置決孔に前記キャップの接着部を上方にして挿入した
後、前記基板固定治具に固定された前記基板が該接着部
に当接するように該基板固定治具を覆せ、その後該反転
部材を該基板固定治具と共に天地反転させ該反転部材を
除去させるようにしたことを特徴とする仮固定治具。 - 【請求項4】 電子部品が搭載された基板に仮硬化され
た接着剤が形成されたキャップを覆せ加熱して該基板に
該キャップを接着するキャップ接着装置において、 往復移動手段の移動軸の先端部に設けられた保持部と、 前記保持部の軸線方向へ回動可能に該保持部に軸止され
前記基板を位置決め固定する基板固定治具に当接する当
接部と、 前記当接部の移動範囲を規制するストッパと、 前記保持部と前記当接部との間に設けられ該当接部を前
記ストッパとの当接により定まる所定の角度に弾性保持
する引張コイルばねとからなり、 前記基板固定治具を押圧移送する移送手段は、該当接部
の移動が該ストッパにより止められる方向にのみ該基板
固定治具を移送できるようにしたことを特徴とするキャ
ップ接着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26899197A JPH11111875A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 仮固定治具及びキャップ接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26899197A JPH11111875A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 仮固定治具及びキャップ接着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111875A true JPH11111875A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17466150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26899197A Withdrawn JPH11111875A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 仮固定治具及びキャップ接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111875A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170138104A (ko) * | 2016-06-07 | 2017-12-15 | 주식회사 에스에프에이 | 인라인 스퍼터 장치 |
| KR20180072411A (ko) * | 2016-12-21 | 2018-06-29 | (주) 엔지온 | 반도체 패키지와 그 제조방법 및 반도체 패키지 조립장치 |
| WO2019052238A1 (zh) * | 2017-09-15 | 2019-03-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板支撑装置、显示面板制造设备和基板支撑方法 |
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1997
- 1997-10-01 JP JP26899197A patent/JPH11111875A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10950482B2 (en) | 2017-09-15 | 2021-03-16 | Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Device for supporting substrate, apparatus for manufacturing display panel, and method for supporting substrate |
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