JPH11117915A - 圧力式流量制御装置用オリフィス及びその製造方法 - Google Patents
圧力式流量制御装置用オリフィス及びその製造方法Info
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- JPH11117915A JPH11117915A JP23016097A JP23016097A JPH11117915A JP H11117915 A JPH11117915 A JP H11117915A JP 23016097 A JP23016097 A JP 23016097A JP 23016097 A JP23016097 A JP 23016097A JP H11117915 A JPH11117915 A JP H11117915A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力と流量との間のリニアー性に優れた圧力
式流量制御装置用オリフィスを簡単且つ安価に製造でき
るようにする。 【解決手段】 本体部材Ｄに穿設した下孔６の一方の開
口端部を切削してラッパの吹口状とした入口テーパー部
１及びこれに連続する短かい絞り平行部２と；前記下孔
６の他方の開口端部を拡径することにより形成した前記
絞り平行部２に連続する短いテーパー拡径部３及びこれ
に連続する平行拡径部４と；からオリフィスＡを構成す
る。
式流量制御装置用オリフィスを簡単且つ安価に製造でき
るようにする。 【解決手段】 本体部材Ｄに穿設した下孔６の一方の開
口端部を切削してラッパの吹口状とした入口テーパー部
１及びこれに連続する短かい絞り平行部２と；前記下孔
６の他方の開口端部を拡径することにより形成した前記
絞り平行部２に連続する短いテーパー拡径部３及びこれ
に連続する平行拡径部４と；からオリフィスＡを構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の圧力式流量
制御装置に用いる音速ノズル（オリフィス）とその製造
方法の改良に関するものであり、主として半導体製造設
備のガス供給系に於いて利用されるものである。
制御装置に用いる音速ノズル（オリフィス）とその製造
方法の改良に関するものであり、主として半導体製造設
備のガス供給系に於いて利用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造設備のガス供給系の流量制御
装置としては、従前からマスフローコントローラが多く
使用されて来たが、近年これに代わるものとして圧力式
流量制御装置が開発されている。図２０は、本願発明者
が先きに公開した圧力式流量制御装置を示すものであ
り、オリフィス５の上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 と
の比Ｐ2 ／Ｐ1 をガスの臨界圧力比以下に保持した状態
に於いて、オリフィス下流側の流体流量ＱをＱ＝ＫＰ1
（但しＫは定数）として演算することを基本とするもの
である（特開平８−３３８５４６号）。尚、図２０に於
いて、１は圧力式流量制御装置、２はコントロール弁、
３は弁駆動部、４は圧力検出器、５はオリフィス、７は
制御装置、７ａは温度補正回路、７ｂは流量演算回路、
７ｃは比較回路、７ｄは増幅回路、２１ａ・２１ｂは増
幅回路、２２ａ・２２ｂはＡ／Ｄ変換回路、２４は反転
増幅器、２５はバルブ、Ｑｙは制御信号、Ｑｃは演算信
号、Ｑｓは流量設定信号である。
装置としては、従前からマスフローコントローラが多く
使用されて来たが、近年これに代わるものとして圧力式
流量制御装置が開発されている。図２０は、本願発明者
が先きに公開した圧力式流量制御装置を示すものであ
り、オリフィス５の上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 と
の比Ｐ2 ／Ｐ1 をガスの臨界圧力比以下に保持した状態
に於いて、オリフィス下流側の流体流量ＱをＱ＝ＫＰ1
（但しＫは定数）として演算することを基本とするもの
である（特開平８−３３８５４６号）。尚、図２０に於
いて、１は圧力式流量制御装置、２はコントロール弁、
３は弁駆動部、４は圧力検出器、５はオリフィス、７は
制御装置、７ａは温度補正回路、７ｂは流量演算回路、
７ｃは比較回路、７ｄは増幅回路、２１ａ・２１ｂは増
幅回路、２２ａ・２２ｂはＡ／Ｄ変換回路、２４は反転
増幅器、２５はバルブ、Ｑｙは制御信号、Ｑｃは演算信
号、Ｑｓは流量設定信号である。
【０００３】前記圧力式流量制御装置はコントロール弁
２を開・閉制御してオリフィス上流側圧力Ｐ1 を調整す
ることにより、オリフィス下流側流量Ｑを高精度で制御
することができ、優れた実用的効用を奏するものであ
る。しかし、この圧力式流量制御装置にも解決すべき多
くの問題が残されており、その中でも特に音速ノズル
（オリフィス）に係わる問題が重要な問題点となってい
る。
２を開・閉制御してオリフィス上流側圧力Ｐ1 を調整す
ることにより、オリフィス下流側流量Ｑを高精度で制御
することができ、優れた実用的効用を奏するものであ
る。しかし、この圧力式流量制御装置にも解決すべき多
くの問題が残されており、その中でも特に音速ノズル
（オリフィス）に係わる問題が重要な問題点となってい
る。
【０００４】先ず、第１の問題はオリフィスの製造コス
トの点である。オリフィスとしては、口径が１０μｍφ
〜０．８ｍｍφ程度のものが要求される場合があり、１
０μｍφ〜０．８ｍｍφの微細な口径を有する音速オリ
フィスは、通常放電加工やエッチング加工により形成さ
れている。しかし、放電加工やエッチング加工によりオ
リフィスを所定の形状、例えばＩＳＯ９３００に規定さ
れているような形状に加工する場合には、オリフィスの
製作費が著しく高くつくと云う難点がある。
トの点である。オリフィスとしては、口径が１０μｍφ
〜０．８ｍｍφ程度のものが要求される場合があり、１
０μｍφ〜０．８ｍｍφの微細な口径を有する音速オリ
フィスは、通常放電加工やエッチング加工により形成さ
れている。しかし、放電加工やエッチング加工によりオ
リフィスを所定の形状、例えばＩＳＯ９３００に規定さ
れているような形状に加工する場合には、オリフィスの
製作費が著しく高くつくと云う難点がある。
【０００５】第２の問題はオリフィスの流量特性のバラ
ツキの点である。微細な口径を有する音速オリフィス
は、加工の困難性とも相俟ってその流量特性が所定の範
囲内に揃い難く、個体差が著しく大きくなる傾向にあ
る。その結果、流量測定の精度が悪化したり、測定値の
校正に手数がかかり過ぎると云う問題がある。
ツキの点である。微細な口径を有する音速オリフィス
は、加工の困難性とも相俟ってその流量特性が所定の範
囲内に揃い難く、個体差が著しく大きくなる傾向にあ
る。その結果、流量測定の精度が悪化したり、測定値の
校正に手数がかかり過ぎると云う問題がある。
【０００６】第３の問題は、流量特性曲線上のリニヤー
性の範囲の問題である。オリフィス上流側の圧力Ｐ1 と
オリフィス下流側圧力Ｐ2 との比Ｐ2 ／Ｐ1 がガスの臨
界圧力比（空気や窒素の場合約０．５）以下になると、
オリフィスを通るガス流速が音速となってオリフィス下
流側の圧力変動がオリフィス上流側へ伝播しなくなり、
オリフィス上流側の状態に相応した安定した質量流量が
得られると言われている。しかし、現実の流量特性曲線
に於いては、所謂リニヤー特性となる圧力比範囲、即ち
Ｑ＝ＫＰ1 として流量演算の出来る圧力比範囲は臨界圧
力比の点よりも遙に低い値となり、それだけ流量制御の
可能な範囲が狭くなると云う難点がある。また、リニヤ
ー特性そのものにも若干問題が残されており、高度なリ
ニヤー性が得難いために、制御精度の一層の向上を図り
難いと云う難点がある。
性の範囲の問題である。オリフィス上流側の圧力Ｐ1 と
オリフィス下流側圧力Ｐ2 との比Ｐ2 ／Ｐ1 がガスの臨
界圧力比（空気や窒素の場合約０．５）以下になると、
オリフィスを通るガス流速が音速となってオリフィス下
流側の圧力変動がオリフィス上流側へ伝播しなくなり、
オリフィス上流側の状態に相応した安定した質量流量が
得られると言われている。しかし、現実の流量特性曲線
に於いては、所謂リニヤー特性となる圧力比範囲、即ち
Ｑ＝ＫＰ1 として流量演算の出来る圧力比範囲は臨界圧
力比の点よりも遙に低い値となり、それだけ流量制御の
可能な範囲が狭くなると云う難点がある。また、リニヤ
ー特性そのものにも若干問題が残されており、高度なリ
ニヤー性が得難いために、制御精度の一層の向上を図り
難いと云う難点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従前の圧力
式流量制御装置用オリフィスに於ける上述の如き問題、
即ち（イ）オリフィスの製造コストの引下げが図り難い
こと、（ロ）オリフィスの加工が困難なうえ、加工精度
のバラツキがそのまま制御流量の個体差に結びつき、高
精度で安定した流量制御ができないこと、（ハ）オリフ
ィスの流量特性上のリニヤー特性の圧力比範囲が狭く、
広い圧力比範囲に亘って高精度な圧力流量制御ができな
いこと、及び（ニ）リニヤー特性が高度なものでないた
め、制御精度の一層の向上を図り難いこと等の問題を解
決せんとするものであり、比較的簡単に加工ができて製
造コストの大幅な引下げを図れると共に、流量特性上の
バラツキも比較的少なく、且つ広い圧力比範囲に亘って
高精度な圧力流量制御を達成出来るようにした圧力式流
量制御用オリフィスとその製造方法を提供せんとするも
のである。
式流量制御装置用オリフィスに於ける上述の如き問題、
即ち（イ）オリフィスの製造コストの引下げが図り難い
こと、（ロ）オリフィスの加工が困難なうえ、加工精度
のバラツキがそのまま制御流量の個体差に結びつき、高
精度で安定した流量制御ができないこと、（ハ）オリフ
ィスの流量特性上のリニヤー特性の圧力比範囲が狭く、
広い圧力比範囲に亘って高精度な圧力流量制御ができな
いこと、及び（ニ）リニヤー特性が高度なものでないた
め、制御精度の一層の向上を図り難いこと等の問題を解
決せんとするものであり、比較的簡単に加工ができて製
造コストの大幅な引下げを図れると共に、流量特性上の
バラツキも比較的少なく、且つ広い圧力比範囲に亘って
高精度な圧力流量制御を達成出来るようにした圧力式流
量制御用オリフィスとその製造方法を提供せんとするも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、本体
部材Ｄに穿設した下孔６の一方の開口端部を切削してラ
ッパの吹口状に形成した入口テーパー部１及びこれに連
続する短い絞り平行部２と；前記下孔６の他方の開口端
部を拡径することにより形成した前記絞り平行部２に連
続する短いテーパー拡径部３及びこれに連続する平行拡
径部４と；を発明の基本構成とするものである。
部材Ｄに穿設した下孔６の一方の開口端部を切削してラ
ッパの吹口状に形成した入口テーパー部１及びこれに連
続する短い絞り平行部２と；前記下孔６の他方の開口端
部を拡径することにより形成した前記絞り平行部２に連
続する短いテーパー拡径部３及びこれに連続する平行拡
径部４と；を発明の基本構成とするものである。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１の発明に於い
て、入口テーパー部１を、断面視において内壁面が曲線
となる形状の所謂アールバイトを用いて形成した入口テ
ーパー部としたものであり、また請求項３の発明は、請
求項１の発明に於いて入口テーパー部１を、断面視にお
いて内壁面が直線となる形状の所謂ストレートバイトを
用いて形成した入口テーパー部としたものである。
て、入口テーパー部１を、断面視において内壁面が曲線
となる形状の所謂アールバイトを用いて形成した入口テ
ーパー部としたものであり、また請求項３の発明は、請
求項１の発明に於いて入口テーパー部１を、断面視にお
いて内壁面が直線となる形状の所謂ストレートバイトを
用いて形成した入口テーパー部としたものである。
【００１０】請求項４の発明は、本体部材Ｄの一側面か
ら他側面へ向けて下孔６を穿孔したあと、下孔６の片側
面側の入口部内方をバイト１ａにより切削してラッパの
吹口状を呈する入口テーパー部１とこれに連続する短か
い絞り平行部２を形成し、次に、前記本体部材Ｄの他側
面から前記下孔６を拡径用ドリル錐４ａにより拡径し
て、前記絞り平行部２に連続する短かいテーパー拡径部
３及びこれに連続する平行拡径部４を形成することを発
明の基本構成とするものである。
ら他側面へ向けて下孔６を穿孔したあと、下孔６の片側
面側の入口部内方をバイト１ａにより切削してラッパの
吹口状を呈する入口テーパー部１とこれに連続する短か
い絞り平行部２を形成し、次に、前記本体部材Ｄの他側
面から前記下孔６を拡径用ドリル錐４ａにより拡径し
て、前記絞り平行部２に連続する短かいテーパー拡径部
３及びこれに連続する平行拡径部４を形成することを発
明の基本構成とするものである。
【００１１】請求項５の発明は、請求項４の発明に於い
て入口テーパー部１を形成するバイト１ａをアールバイ
ト又はストレートバイトとするようにしたものである。
て入口テーパー部１を形成するバイト１ａをアールバイ
ト又はストレートバイトとするようにしたものである。
【００１２】請求項６の発明は、請求項４又は請求項５
の発明に於いて入口テーパー部１とこれに連続する絞り
平行部２の形成後に、一側面より前記絞り平行部２の内
径φ 1 と等しい外径のドリル錐２ａにより下孔６を拡径
し、また、他側面から拡径用ドリル錐４ａにより下孔６
を拡径する前に、拡径用ドリル錐４ａより太径のセンタ
ードリル７により前記拡径した下孔６の他面側端部のバ
リ取りを行ない、更に前記テーパー拡径部３の形成後に
他面側から前記絞り平行部２の内径φ1 と同径の外径を
有するドリル錐２ａにより、絞り平行部２の他面側の端
部のバリ取りを行なうようにしたものである。
の発明に於いて入口テーパー部１とこれに連続する絞り
平行部２の形成後に、一側面より前記絞り平行部２の内
径φ 1 と等しい外径のドリル錐２ａにより下孔６を拡径
し、また、他側面から拡径用ドリル錐４ａにより下孔６
を拡径する前に、拡径用ドリル錐４ａより太径のセンタ
ードリル７により前記拡径した下孔６の他面側端部のバ
リ取りを行ない、更に前記テーパー拡径部３の形成後に
他面側から前記絞り平行部２の内径φ1 と同径の外径を
有するドリル錐２ａにより、絞り平行部２の他面側の端
部のバリ取りを行なうようにしたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る圧力式流量制
御装置オリフィスの縦断面図であり、図に於いて、Ａは
オリフィス、１は入口テーパー部、２は絞り平行部、３
はテーパー拡径部、４は平行拡径部である。当該オリフ
ィスＡは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ９等）
の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８〜１０
ｍｍ）を切削加工することに形成されており、その入口
側（流体の高圧側）Ｂは平面状に、また出口側（流体の
低圧側）Ｃは凹曲面状（部分球殼面）に、更にオリフィ
スの内径φ1 は０．１１ｍｍφに夫々形成されている。
施の形態を説明する。図１は本発明に係る圧力式流量制
御装置オリフィスの縦断面図であり、図に於いて、Ａは
オリフィス、１は入口テーパー部、２は絞り平行部、３
はテーパー拡径部、４は平行拡径部である。当該オリフ
ィスＡは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ９等）
の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８〜１０
ｍｍ）を切削加工することに形成されており、その入口
側（流体の高圧側）Ｂは平面状に、また出口側（流体の
低圧側）Ｃは凹曲面状（部分球殼面）に、更にオリフィ
スの内径φ1 は０．１１ｍｍφに夫々形成されている。
【００１４】即ち、前記入口テーパー部１は曲率半径Ｒ
が０．２２ｍｍのラッパの吹口状の彎曲面に形成されて
おり、この入口テーパー部１に連続して長さＬが０．０
５ｍｍの絞り平行部２が形成されている。当該絞り平行
部２の内径φ1 は０．１１ｍｍφに選定されており、こ
の絞り平行部２がオリフィスＡの内径を規制している。
が０．２２ｍｍのラッパの吹口状の彎曲面に形成されて
おり、この入口テーパー部１に連続して長さＬが０．０
５ｍｍの絞り平行部２が形成されている。当該絞り平行
部２の内径φ1 は０．１１ｍｍφに選定されており、こ
の絞り平行部２がオリフィスＡの内径を規制している。
【００１５】前記、テーパー拡径部３は絞り平行部２に
連続して形成されており、本実施例に於いては、後述す
る外径０．２ｍｍφの穿孔用キリの先端刃の形状（先端
角１２０°）により決まる傾斜角αが約６０°の斜面を
備えたテーパー拡径部３とされている。更に、前記平行
拡径部４はテーパー拡径部３と連続して形成されてお
り、その内径φ2 は０．２ｍｍφに選定されている。
連続して形成されており、本実施例に於いては、後述す
る外径０．２ｍｍφの穿孔用キリの先端刃の形状（先端
角１２０°）により決まる傾斜角αが約６０°の斜面を
備えたテーパー拡径部３とされている。更に、前記平行
拡径部４はテーパー拡径部３と連続して形成されてお
り、その内径φ2 は０．２ｍｍφに選定されている。
【００１６】図２は、本発明に係るオリフィスＡの他の
実施態様を示すものであり、当該実施態様に於いては入
口テーパー部１が、断面視に於いて内壁面が直線となる
形状（即ち円錐面状のテーパー部１）に形成されてお
り、その傾斜角αO は１２０°に選定されている。ま
た、オリフィス内径φ1 は０．１４ｍｍ、入口テーパー
部１の深さＬ1 ＝０．２５ｍｍ、絞り平行部２の長さＬ
＝０．０５ｍｍ、平行拡径部４の内径φ2 ＝０．１６ｍ
ｍ、傾斜角α＝６０°、テーパー拡径部３と平行拡径部
４との長さＬ 2 ＝０．６５ｍｍに夫々選定されている。
実施態様を示すものであり、当該実施態様に於いては入
口テーパー部１が、断面視に於いて内壁面が直線となる
形状（即ち円錐面状のテーパー部１）に形成されてお
り、その傾斜角αO は１２０°に選定されている。ま
た、オリフィス内径φ1 は０．１４ｍｍ、入口テーパー
部１の深さＬ1 ＝０．２５ｍｍ、絞り平行部２の長さＬ
＝０．０５ｍｍ、平行拡径部４の内径φ2 ＝０．１６ｍ
ｍ、傾斜角α＝６０°、テーパー拡径部３と平行拡径部
４との長さＬ 2 ＝０．６５ｍｍに夫々選定されている。
【００１７】尚、上記図１及び図２の実施例ではオリフ
ィス内径φ1 を０．１ｍｍφ及び０．１４ｍｍφとして
いるが、本発明に係るオリフィスとしては、内径φ1 が
１０μｍφ〜０．９ｍｍφ程度のものが最適である。
ィス内径φ1 を０．１ｍｍφ及び０．１４ｍｍφとして
いるが、本発明に係るオリフィスとしては、内径φ1 が
１０μｍφ〜０．９ｍｍφ程度のものが最適である。
【００１８】次に、本発明に係る圧力式流量制御装置用
オリフィスの具体的な製造方法について、前記図１のオ
リフィスＡの製造を例にとって説明する。図３乃至図９
を参照して、先ずステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ
９等）の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８
〜１０ｍｍ）を切削加工して、図３に示す如き形状の本
体部材Ｄを形成する。尚、本体部材Ｄの入口側外表面Ｂ
は平面状に、また出口側外表面Ｃは球面状（凹曲面状）
に夫々形成されている。
オリフィスの具体的な製造方法について、前記図１のオ
リフィスＡの製造を例にとって説明する。図３乃至図９
を参照して、先ずステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ
９等）の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８
〜１０ｍｍ）を切削加工して、図３に示す如き形状の本
体部材Ｄを形成する。尚、本体部材Ｄの入口側外表面Ｂ
は平面状に、また出口側外表面Ｃは球面状（凹曲面状）
に夫々形成されている。
【００１９】前記本体部材Ｄの形成が終れば、次に、入
口側外表面Ｂの中心部に図４に示す如き形状のセンター
タッピンを行なう。即ち、立型タッピッグセンター機を
用いて、ＨＳＳ材製の先端を鋭い尖頭状に形成したポン
チ５ａにより所謂センターもみを施し、図４の如き断面
が三角形のセンター凹部５を形成する。尚、ポンチ５ａ
の先端角は９０°、凹所５の深さは０．１ｍｍである。
口側外表面Ｂの中心部に図４に示す如き形状のセンター
タッピンを行なう。即ち、立型タッピッグセンター機を
用いて、ＨＳＳ材製の先端を鋭い尖頭状に形成したポン
チ５ａにより所謂センターもみを施し、図４の如き断面
が三角形のセンター凹部５を形成する。尚、ポンチ５ａ
の先端角は９０°、凹所５の深さは０．１ｍｍである。
【００２０】次に、φ＝０．１ｍｍφの超硬ドリル錐６
ａにより、図５に示す如く前記センター凹部５から内方
へ向けて図５の如く穿孔加工を行ない、下孔６を形成す
る。そして、その後に、図６の如き形状を有する曲率半
径Ｒ＝０．２２ｍｍのアールバイト１ａを用いて、前記
図５の下孔６の入口側をテーパー加工し、図７に示すよ
うな断面視において内壁面が曲線となる形状の入口テー
パー部１を形成する。尚、図２のオリフィスＡの製作に
於いては、前記アールバイト１ａに代えて、先端角αO
が６０°のストレートバイト（図示省略）を使用し、図
２の如き断面視に於いて内壁面が直線の入口テーパー部
１（即ち円錐状のテーパー部）を形成する。
ａにより、図５に示す如く前記センター凹部５から内方
へ向けて図５の如く穿孔加工を行ない、下孔６を形成す
る。そして、その後に、図６の如き形状を有する曲率半
径Ｒ＝０．２２ｍｍのアールバイト１ａを用いて、前記
図５の下孔６の入口側をテーパー加工し、図７に示すよ
うな断面視において内壁面が曲線となる形状の入口テー
パー部１を形成する。尚、図２のオリフィスＡの製作に
於いては、前記アールバイト１ａに代えて、先端角αO
が６０°のストレートバイト（図示省略）を使用し、図
２の如き断面視に於いて内壁面が直線の入口テーパー部
１（即ち円錐状のテーパー部）を形成する。
【００２１】更に、前記入口テーパー部１の形成後にφ
＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに交換し、流体入口側
Ｂより流体出口側Ｃへ向けて０．１１ｍｍφの穿孔を行
なう。これにより、前記０．１ｍｍφのドリル錐６ａに
よる穿孔が０．１１ｍｍφに開孔される。
＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに交換し、流体入口側
Ｂより流体出口側Ｃへ向けて０．１１ｍｍφの穿孔を行
なう。これにより、前記０．１ｍｍφのドリル錐６ａに
よる穿孔が０．１１ｍｍφに開孔される。
【００２２】その後、本体部材Ｄのチャッキング方向を
転換し、且つ錐を図８に示す如きセンタードリル（外径
０．３ｍｍφ×先端角９０°）７に取り替え、先きに穿
孔したφ＝０．１１ｍｍφの孔の出口側端部から内方へ
その刃先きより０．０５ｍｍだけ入れ、出口側端部に残
った所謂バリを取る。
転換し、且つ錐を図８に示す如きセンタードリル（外径
０．３ｍｍφ×先端角９０°）７に取り替え、先きに穿
孔したφ＝０．１１ｍｍφの孔の出口側端部から内方へ
その刃先きより０．０５ｍｍだけ入れ、出口側端部に残
った所謂バリを取る。
【００２３】前記センタードリル７によるバリ取りが終
れば、外径０．２ｍｍφ、先端角１２０°の拡径用ドリ
ル錐４ａにより、図９に示す如くφ＝０．２ｍｍφの平
行拡径部４を形成する。そして、最後に前記ドリル錐４
ａを前記φ＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに取り替
え、絞り平行部２とテーパー拡径部３との境界に残され
たバリを除去する。
れば、外径０．２ｍｍφ、先端角１２０°の拡径用ドリ
ル錐４ａにより、図９に示す如くφ＝０．２ｍｍφの平
行拡径部４を形成する。そして、最後に前記ドリル錐４
ａを前記φ＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに取り替
え、絞り平行部２とテーパー拡径部３との境界に残され
たバリを除去する。
【００２４】本発明のオリフィスＡは、上記の如くアー
ルバイト１ａ、０．１ｍｍφのドリル錐６ａ、０．１１
ｍｍφのドリル錐２ａ、０．２ｍｍφのドリル錐４ａ及
びセンタードリル７による切削、穿孔及びバリ取り加工
だけで形成され、特別な研磨工程や放電加工等の穿孔加
工を必要とすることが無い。即ち、本発明に係るオリフ
ィスＡは、極めて簡単な工程により且つ安価に製造され
る。
ルバイト１ａ、０．１ｍｍφのドリル錐６ａ、０．１１
ｍｍφのドリル錐２ａ、０．２ｍｍφのドリル錐４ａ及
びセンタードリル７による切削、穿孔及びバリ取り加工
だけで形成され、特別な研磨工程や放電加工等の穿孔加
工を必要とすることが無い。即ち、本発明に係るオリフ
ィスＡは、極めて簡単な工程により且つ安価に製造され
る。
【００２５】図１０は、本発明により形成した図１の４
個のオリフィス（平行拡径部の内径φ2 ＝０．２ｍｍ）
Ａの流量特性を示すものである。図１０からも明らかな
ように、Ｐ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３（Ｐ1 ＝３．０ｋｇｆ
／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．８９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂ
ｓ）の範囲に亘って、流量と１次側圧力Ｐ1 との間のリ
ニアー性がよく確保されていることが判る。即ち、アー
ルバイト１ａとドリル錐２ａ、４ａ、６ａ及びセンター
ドリル７によるバリ取りだけの加工によるオリフィスＡ
の形式にも拘わらず、何れのオリフィスＡにあってもそ
のリニアー特性がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３の点まで保持
されており、高い実用的効用を有するものである。
個のオリフィス（平行拡径部の内径φ2 ＝０．２ｍｍ）
Ａの流量特性を示すものである。図１０からも明らかな
ように、Ｐ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３（Ｐ1 ＝３．０ｋｇｆ
／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．８９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂ
ｓ）の範囲に亘って、流量と１次側圧力Ｐ1 との間のリ
ニアー性がよく確保されていることが判る。即ち、アー
ルバイト１ａとドリル錐２ａ、４ａ、６ａ及びセンター
ドリル７によるバリ取りだけの加工によるオリフィスＡ
の形式にも拘わらず、何れのオリフィスＡにあってもそ
のリニアー特性がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３の点まで保持
されており、高い実用的効用を有するものである。
【００２６】図１１は本発明に係る上記４個の中の３個
のオリフィスＡの流量−直線性誤差特性を示すものであ
り、図１１からも明らかなように直線性誤差は、Ｎｏ１
オリフィスでは＋０．６６％〜−０．４１％の間に、Ｎ
ｏ２オリフィスでは＋０．７４％〜−０．４２％の間
に、Ｎｏ３オリフィスでは＋０．６９％〜−０．４３％
の間に夫々あり、精度的には十分に実用に耐え得るもの
であることが判る。また、各個体の間に若干流量差があ
るものの、Ｐ2 ／Ｐ1 が約０．６３３の範囲に於いて何
れも圧力−流量の間に比例関係が成立しており、優れた
リニアー特性（即ち、Ｑ＝ＫＰ1 ）を有するものである
ことが判る。
のオリフィスＡの流量−直線性誤差特性を示すものであ
り、図１１からも明らかなように直線性誤差は、Ｎｏ１
オリフィスでは＋０．６６％〜−０．４１％の間に、Ｎ
ｏ２オリフィスでは＋０．７４％〜−０．４２％の間
に、Ｎｏ３オリフィスでは＋０．６９％〜−０．４３％
の間に夫々あり、精度的には十分に実用に耐え得るもの
であることが判る。また、各個体の間に若干流量差があ
るものの、Ｐ2 ／Ｐ1 が約０．６３３の範囲に於いて何
れも圧力−流量の間に比例関係が成立しており、優れた
リニアー特性（即ち、Ｑ＝ＫＰ1 ）を有するものである
ことが判る。
【００２７】一方、図１２は、従前のＩＳＯ９３００に
規定されている音速ノズル型オリフィスの流量特性を示
すものであり、２個の内の１個はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６０
（Ｐ 1 ＝３．０ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．９ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）の範囲に亘ってリニアー性が確保
されているが、他の一組はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５３３位い
までしかリニアー性が確保できておらず、各オリフィス
間に大きな固体差のあることが判る。即ち、当該音速ノ
ズル型のオリフィスは複雑な形状に研磨工程等を経て仕
上げられており、製造コストが著しく高価なものである
にも拘わらず、流量特性の固体差に大きなバラツキがあ
り、リニアー特性の良いものもある反面リニアー特性の
著しく悪いものもあると云う、実用上の致命的な欠陥を
有するものであることが判る。また、図１３は、前記図
１２の音速ノズル型オリフィスの圧力−流量直線性誤差
特性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７２％〜
−０．５８％（Ｎｏ１オリフィス）及び＋０．７２％〜
−０．５２％（Ｎｏ２オリフィス）となっている。
規定されている音速ノズル型オリフィスの流量特性を示
すものであり、２個の内の１個はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６０
（Ｐ 1 ＝３．０ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．９ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）の範囲に亘ってリニアー性が確保
されているが、他の一組はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５３３位い
までしかリニアー性が確保できておらず、各オリフィス
間に大きな固体差のあることが判る。即ち、当該音速ノ
ズル型のオリフィスは複雑な形状に研磨工程等を経て仕
上げられており、製造コストが著しく高価なものである
にも拘わらず、流量特性の固体差に大きなバラツキがあ
り、リニアー特性の良いものもある反面リニアー特性の
著しく悪いものもあると云う、実用上の致命的な欠陥を
有するものであることが判る。また、図１３は、前記図
１２の音速ノズル型オリフィスの圧力−流量直線性誤差
特性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７２％〜
−０．５８％（Ｎｏ１オリフィス）及び＋０．７２％〜
−０．５２％（Ｎｏ２オリフィス）となっている。
【００２８】図１４は加工工作を著しく簡素化して、φ
＝０．１１ｍｍφのドリル錐で入口側から本体部材Ｄに
穿孔すると共に、センタードリル７によって出口側の端
面のバリ取りを行なったものである。当該図１３のオリ
フィスの場合には、加工が簡単で経済性に優れているも
のの、流量特性に於けるリニアー特性の確保できる領域
がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．４６６（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ、Ｐ2 ＝１．３９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）であっ
て、極めて狭い圧力比範囲内しかリニアー性を確保でき
ないと云う難点がある。また、図１５は、前記図１４の
オリフィスの圧力−流量直線性誤差特性を示すものであ
り、直線性誤差は、＋１．６９％〜−１．０２％（Ｎｏ
１オリフィス）及び＋１．９２％〜−１．１６％（Ｎｏ
２オリフィス）となっている。
＝０．１１ｍｍφのドリル錐で入口側から本体部材Ｄに
穿孔すると共に、センタードリル７によって出口側の端
面のバリ取りを行なったものである。当該図１３のオリ
フィスの場合には、加工が簡単で経済性に優れているも
のの、流量特性に於けるリニアー特性の確保できる領域
がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．４６６（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ、Ｐ2 ＝１．３９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）であっ
て、極めて狭い圧力比範囲内しかリニアー性を確保でき
ないと云う難点がある。また、図１５は、前記図１４の
オリフィスの圧力−流量直線性誤差特性を示すものであ
り、直線性誤差は、＋１．６９％〜−１．０２％（Ｎｏ
１オリフィス）及び＋１．９２％〜−１．１６％（Ｎｏ
２オリフィス）となっている。
【００２９】図１６は、本発明のオリフィスＡの平行拡
径部４を２段に亘って拡径したものであり、平行拡径部
４にφ＝０．２ｍｍφの第１平行拡径部４ａとφ＝０．
３ｍｍφの第２平行拡径部４ｂを形成したものである。
当該図１６のオリフィスに於いては、加工工程が２工程
分（０．２ｍｍφ孔の端部のバリ取り工程と０．３ｍｍ
φの穿孔工程）増加するにも拘わらず、リニアー性の保
持範囲がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５８３（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 ａｂｓ、Ｐ 2 ＝１．７５ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）ま
でであって、本発明のオリフィスＡの場合よりもリニア
ー性の確保範囲が狭いと云う難点がある。また、図１７
は、前記図１６のオリフィスの圧力−流量直線性誤差特
性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７０％〜−
０．４９％（Ｎｏ１オリフィス）、＋０．５９％〜−
０．４１％（Ｎｏ２オリフィス）、＋０．７０％〜−
０．４８％（Ｎｏ３オリフィス）と夫々なっている。
径部４を２段に亘って拡径したものであり、平行拡径部
４にφ＝０．２ｍｍφの第１平行拡径部４ａとφ＝０．
３ｍｍφの第２平行拡径部４ｂを形成したものである。
当該図１６のオリフィスに於いては、加工工程が２工程
分（０．２ｍｍφ孔の端部のバリ取り工程と０．３ｍｍ
φの穿孔工程）増加するにも拘わらず、リニアー性の保
持範囲がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５８３（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 ａｂｓ、Ｐ 2 ＝１．７５ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）ま
でであって、本発明のオリフィスＡの場合よりもリニア
ー性の確保範囲が狭いと云う難点がある。また、図１７
は、前記図１６のオリフィスの圧力−流量直線性誤差特
性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７０％〜−
０．４９％（Ｎｏ１オリフィス）、＋０．５９％〜−
０．４１％（Ｎｏ２オリフィス）、＋０．７０％〜−
０．４８％（Ｎｏ３オリフィス）と夫々なっている。
【００３０】図１８は、図２に示した本発明の他の実施
態様に係るオリフィスＡの流量特性を示すものであり、
また、図１９は、図２に示したオリフィスＡのオリフィ
ス流量の直線性誤差曲線を示すものである。
態様に係るオリフィスＡの流量特性を示すものであり、
また、図１９は、図２に示したオリフィスＡのオリフィ
ス流量の直線性誤差曲線を示すものである。
【００３１】尚、前記直線性誤差（Ｆ．Ｓ．％）は、設
定圧力０〜３．０（ｋｇｆ／ｃｍ2・ａｂｓ）の範囲で
実測した流量測定曲線を基にして、最小２乗法により最
大プラス差及び最大マイナス差を最小且つ等しくする前
記流量測定曲線に対する近似直線を求め、この近似直線
値と実測値との差を最大流量値に対する％で表わしたも
のであり、当該オリフィスＡの場合、正方向の流体流れ
（図２の矢印イ方向）に対しては最大で＋０．４６％〜
−０．４５％の直線性誤差が、また、逆方向の流体流れ
（図２の矢印ロ方向）に対しては最大で＋０．２８％〜
−０．２８％の直線性誤差が生ずることになり、逆方向
の流体流れに対する直線性誤差が著しく小さくなること
が判っている。
定圧力０〜３．０（ｋｇｆ／ｃｍ2・ａｂｓ）の範囲で
実測した流量測定曲線を基にして、最小２乗法により最
大プラス差及び最大マイナス差を最小且つ等しくする前
記流量測定曲線に対する近似直線を求め、この近似直線
値と実測値との差を最大流量値に対する％で表わしたも
のであり、当該オリフィスＡの場合、正方向の流体流れ
（図２の矢印イ方向）に対しては最大で＋０．４６％〜
−０．４５％の直線性誤差が、また、逆方向の流体流れ
（図２の矢印ロ方向）に対しては最大で＋０．２８％〜
−０．２８％の直線性誤差が生ずることになり、逆方向
の流体流れに対する直線性誤差が著しく小さくなること
が判っている。
【００３２】
【発明の効果】前記図１０に示す本発明のオリフィスＡ
と図１２、図１３及び図１６の各オリフィスとを対比し
た場合、本発明のオリフィスＡはオリフィスの加工工程
が極めて少ないうえ、その加工も切削と穿孔を中心とす
るものであり、特別な表面研磨加工等を必要とすること
がない。その結果、本発明のオリフィスＡは、他の形式
のオリフィスに比較して極めて安価に製作することがで
きる。尚、このことは、図２に示した本発明のオリフィ
スＡの場合にも同様であり、他の形式のオリフィスに比
較して極めて安価に製作することができる。
と図１２、図１３及び図１６の各オリフィスとを対比し
た場合、本発明のオリフィスＡはオリフィスの加工工程
が極めて少ないうえ、その加工も切削と穿孔を中心とす
るものであり、特別な表面研磨加工等を必要とすること
がない。その結果、本発明のオリフィスＡは、他の形式
のオリフィスに比較して極めて安価に製作することがで
きる。尚、このことは、図２に示した本発明のオリフィ
スＡの場合にも同様であり、他の形式のオリフィスに比
較して極めて安価に製作することができる。
【００３３】また、本発明のオリフィスＡの流量特性は
Ｐ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３位いの範囲に亘って流量と１次
側圧力Ｐ1 との間のリニアー性を保持することができ、
しかも各固体間の流量特性曲線がほぼ同じ形態となる。
即ち、ほぼ全数がＰ2 ／Ｐ1＝０．６３３の範囲に亘っ
てリニアー性を保持することになる。その結果、各オリ
フィスＡ個々の流量Ｑの補正は、Ｑ＝ＫＰ1 に於ける定
数Ｋの補正だけで十分であり、オリフィスＡの流量特性
の調整が極めて簡単となる。更に、本発明のオリフィス
Ａの流量圧力特性は優れたリニアー性を有しており、且
つ直線性誤差（Ｆ．Ｓ．％）も＋０．７４％〜−０．４
１％の範囲内にあって比較的低く、十分に実用に耐え得
るものである。
Ｐ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３位いの範囲に亘って流量と１次
側圧力Ｐ1 との間のリニアー性を保持することができ、
しかも各固体間の流量特性曲線がほぼ同じ形態となる。
即ち、ほぼ全数がＰ2 ／Ｐ1＝０．６３３の範囲に亘っ
てリニアー性を保持することになる。その結果、各オリ
フィスＡ個々の流量Ｑの補正は、Ｑ＝ＫＰ1 に於ける定
数Ｋの補正だけで十分であり、オリフィスＡの流量特性
の調整が極めて簡単となる。更に、本発明のオリフィス
Ａの流量圧力特性は優れたリニアー性を有しており、且
つ直線性誤差（Ｆ．Ｓ．％）も＋０．７４％〜−０．４
１％の範囲内にあって比較的低く、十分に実用に耐え得
るものである。
【００３４】更に、図２に示した円錐面状のテーパー部
とした本発明のオリフィスＡは、流量の直線性誤差の少
ないより高度なリニアー特性を具備するものであり、そ
の結果高精度な流量制御が可能となる。
とした本発明のオリフィスＡは、流量の直線性誤差の少
ないより高度なリニアー特性を具備するものであり、そ
の結果高精度な流量制御が可能となる。
【００３５】本発明は上述の通り、圧力式流量制御装置
用オリフィスを簡単且つ安価に製造することができ、し
かも比較的広い圧力比Ｐ2 ／Ｐ1 の範囲に亘って１次圧
力Ｐ 1 と流量との間にリニアー性を保持できると共に、
各個体間の流量特性の調整（流量補正）も簡単に行なえ
ると云う優れた実用的効用を奏するものである。
用オリフィスを簡単且つ安価に製造することができ、し
かも比較的広い圧力比Ｐ2 ／Ｐ1 の範囲に亘って１次圧
力Ｐ 1 と流量との間にリニアー性を保持できると共に、
各個体間の流量特性の調整（流量補正）も簡単に行なえ
ると云う優れた実用的効用を奏するものである。
【図１】本発明に係る圧力式流量制御装置用オリフィス
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施態様に係る圧力式流量制御装
置用オリフィスの部分縦断面図である。
置用オリフィスの部分縦断面図である。
【図３】オリフィスＡを形成する本体部材の縦断面図で
ある。
ある。
【図４】オリフィスＡの加工工程センタータッピング工
程の説明図である。
程の説明図である。
【図５】絞り平行部の形成工程の説明図である。
【図６】入口テーパー部の形成に使用するアールバイト
Ｃの説明図である。
Ｃの説明図である。
【図７】入口テーパー部と絞り平行部の形成を示す説明
図である。
図である。
【図８】センタードリルによるバリ取り工程の説明図で
ある。
ある。
【図９】テーパー拡径部及び平行拡径部の形成を示す説
明図である。
明図である。
【図１０】本発明によるオリフィスＡ（φ＝０．１１ｍ
ｍφ）の流量特性を示すものである。
ｍφ）の流量特性を示すものである。
【図１１】図１０のオリフィスの流量−直線性誤差特性
を示すものである。
を示すものである。
【図１２】ＩＳＯ９３００に規されている音速ノズル型
オリフィスの流量特性を示すものである。
オリフィスの流量特性を示すものである。
【図１３】図１２のオリフィスの流量−直線性誤差特性
を示すものである。
を示すものである。
【図１４】加工を簡素化したφ＝０．１１ｍｍφの穿孔
から成るオリフィスの流量特性を示すものである。
から成るオリフィスの流量特性を示すものである。
【図１５】図１４のオリフィスの流量−直線性誤差特性
を示すものである。
を示すものである。
【図１６】平行拡径部を２段にしたオリフィスの流量特
性を示すものである。
性を示すものである。
【図１７】図１６のオリフィスの流量−直線性誤差特性
を示すものである。
を示すものである。
【図１８】円錐状の入口テーパー部を備えたオリフィス
Ａの流量特性曲線である。
Ａの流量特性曲線である。
【図１９】円錐状の入口テーパー部を備えたオリフィス
Ａの流量・直線性誤差曲線である。
Ａの流量・直線性誤差曲線である。
【図２０】先願に係る圧力式流量制御装置の構成図であ
る。
る。
Ａはオリフィス、φ1 は絞り平行部の内径、φ2 は平行
拡径部の内径、Ｄは本体部材、Ｂは流体入口側外表面、
Ｃは流体出口側外表面、１は入口テーパー部、１ａはア
ールバイト、２は絞り平行部、２ａはφ＝０．１１ｍｍ
φのドリル錐、３はテーパー拡径部、４は平行拡径部、
４ａはφ＝０．２ｍｍφの拡径用ドリル錐、５はセンタ
ー凹所、５ａはセンタータッピング用ポンチ、６は下
孔、６ａはφ＝０．１ｍｍのドリル錐、７はセンタード
リル、Ｒは入口テーパー部の曲率半径、Ｌ1 は円錐状入
口テーパー部の深さ、Ｌは絞り平行部の長さ、αO は円
錐状入口テーパー部の傾斜角、αはテーパー拡径部の傾
斜角、Ｌ2 はテーパー拡径部と平行拡径部との長さ。
拡径部の内径、Ｄは本体部材、Ｂは流体入口側外表面、
Ｃは流体出口側外表面、１は入口テーパー部、１ａはア
ールバイト、２は絞り平行部、２ａはφ＝０．１１ｍｍ
φのドリル錐、３はテーパー拡径部、４は平行拡径部、
４ａはφ＝０．２ｍｍφの拡径用ドリル錐、５はセンタ
ー凹所、５ａはセンタータッピング用ポンチ、６は下
孔、６ａはφ＝０．１ｍｍのドリル錐、７はセンタード
リル、Ｒは入口テーパー部の曲率半径、Ｌ1 は円錐状入
口テーパー部の深さ、Ｌは絞り平行部の長さ、αO は円
錐状入口テーパー部の傾斜角、αはテーパー拡径部の傾
斜角、Ｌ2 はテーパー拡径部と平行拡径部との長さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ケ袋２丁目１番17− 301号 (72)発明者 加賀爪 哲 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 杉山 一彦 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 深田 収 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 尾澤 進 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 佐藤 義浩 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 土肥 亮介 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 宇野 富雄 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 西野 功二 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 福田 浩幸 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 池田 信一 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内 (72)発明者 山路 道雄 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会社フジキン内
Claims (6)
- 【請求項１】 本体部材（Ｄ）に穿設した下孔（６）の
一方の開口端部を切削してラッパの吹口状に形成した入
口テーパ部（１）及びこれに連続する短い絞り平行部
（２）と；前記下孔（６）の他方の開口端部を拡径する
ことにより形成した前記絞り平行部（２）に連続する短
いテーパー拡径部（３）及びこれに連続する平行拡径部
（４）と；から成る圧力式流量制御装置用オリフィス。 - 【請求項２】 入口テーパー部（１）を、断面視に於い
て内壁面が曲線となる形状の入口テーパー部とした請求
項１に記載の圧力式流量制御装置用オリフィス。 - 【請求項３】 入口テーパー部（１）を、断面視に於い
て内壁面が直線となる形状の入口テーパー部とした請求
項１に記載の圧力式流量制御装置用オリフィス。 - 【請求項４】 本体部材（Ｄ）の一側面から他側面へ向
けて下孔（６）を穿孔したあと、下孔（６）の一側面側
の入口部内方をバイト（１ａ）により切削してラッパの
吹口状を呈する入口テーパー部（１）とこれに連続する
短い絞り平行部（２）を形成し、次に、前記本体部材
（Ｄ）の他側面から前記下孔（６）を拡径用ドリル錐
（４ａ）により拡径して、前記絞り平行部（２）に連続
する短いテーパー拡径部（３）及びこれに連続する平行
拡径部（４）を形成する構成とした圧力式流量制御装置
用オリフィスの製造方法。 - 【請求項５】 入口テーパー部（１）を形成するバイト
（１ａ）を、アールバイト又はストレートバイトとする
ようにした請求項４に記載の圧力式流量制御装置用オリ
フィスの製造方法。 - 【請求項６】 入口テーパー部（１）とこれに連続する
絞り平行部（２）の形成後に、一側面より前記絞り平行
部（２）の内径（φ1 ）と等しい外径のドリル錐（２
ａ）により下孔（６）を拡径し、また、他側面から拡径
用ドリル錐（４ａ）により下孔（６）を拡径する前に、
拡径用ドリル錐（４ａ）より太径のセンタードリル
（７）により前記拡径した下孔（６）の他面側端部のバ
リ取りを行い、更に前記テーパー拡径部（３）の形成後
に、他面側から前記絞り平行部（２）の内径（φ1 ）と
同径の外径を有するドリル錐（２ａ）により、絞り平行
部（２）の他面側の端部のバリ取りを行うことを特徴と
する請求項４又は請求項５に記載の圧力式流量制御装置
用オリフィスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23016097A JP3686748B2 (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-27 | 圧力式流量制御装置用オリフィス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22036897 | 1997-08-15 | ||
| JP9-220368 | 1997-08-15 | ||
| JP23016097A JP3686748B2 (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-27 | 圧力式流量制御装置用オリフィス及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11117915A true JPH11117915A (ja) | 1999-04-27 |
| JP3686748B2 JP3686748B2 (ja) | 2005-08-24 |
Family
ID=26523675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23016097A Expired - Lifetime JP3686748B2 (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-27 | 圧力式流量制御装置用オリフィス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3686748B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000323464A (ja) * | 1999-04-22 | 2000-11-24 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置用のガス供給装置及びガス供給方法 |
| WO2005026667A1 (en) * | 2003-09-04 | 2005-03-24 | Rivatek, Incorporated | Apparatus for controlling and metering fluid flow including a variable orifice |
| JP2005177751A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Lechler Gmbh | 円錐ノズル |
| US7082842B2 (en) | 2004-06-25 | 2006-08-01 | Rivatek Incorporated | Software correction method and apparatus for a variable orifice flow meter |
| US7302863B2 (en) | 2004-06-25 | 2007-12-04 | Rivatek Incorporated | Software correction method and apparatus for a variable orifice flow meter |
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