JPH11118636A - Contact sensor and contact sensor device - Google Patents

Contact sensor and contact sensor device

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JPH11118636A
JPH11118636A JP28076797A JP28076797A JPH11118636A JP H11118636 A JPH11118636 A JP H11118636A JP 28076797 A JP28076797 A JP 28076797A JP 28076797 A JP28076797 A JP 28076797A JP H11118636 A JPH11118636 A JP H11118636A
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JP
Japan
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contact sensor
contact
electrode
piezoelectric element
voltage
Prior art date
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Application number
JP28076797A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Takeuchi
修一 竹内
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Tokai Rika Co Ltd
Original Assignee
Tokai Rika Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a contact sensor insusceptible to damage and to enable miniaturization by adhering piezoelectric elements on a base, providing a contact part so as to cover them, and arranging electrodes for the piezoelectric element. SOLUTION: In a triaxial contact sensor 22, a plurality of piezoelectric elements 30 are fixed to a base 38, and a contact part 28 with a protruded spherical surface which is an upper part provided so as to cover the piezoelectric elements 30 is in contact with an object to be contacted at a point. In addition, an electrode 36 is arranged on the center of each piezoelectric element 30 on the side of the base 38, and an electrode 34 is arranged on the center of each piezoelectric element 30 on the side of the contact part 28. Then wiring with its one end connected to the electrode 36 is arranged for a wiring board via a through hole 32 of the base 38 adhered to the wiring board, and the other end is connected to a switching element. Wiring with its one end connected to the electrode 34 is arranged for the wiring board via a through hole 33 of the base 38, and the other end is connected to a switching element. At this time, as piezoelectric elements are rigid and small by nature, it is possible to make the contact sensor insusceptible to damage and to enable miniaturization.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、接触センサ及び接
触センサ装置に係り、より詳しくは、被接触物体に接触
することにより受ける力を検出する接触センサ及び該接
触センサを備えた接触センサ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact sensor and a contact sensor device, and more particularly, to a contact sensor for detecting a force received by contacting an object to be contacted and a contact sensor device provided with the contact sensor. .

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、接触センサは、一軸方向の力を検
出する一軸検出型が一般的であり、複数軸、例えば、3
軸方向の3つの力を検出する3軸検出型は、学会等で基
本的原理が提案されている段階である。
2. Description of the Related Art At present, a contact sensor is generally of a uniaxial detection type for detecting a force in a uniaxial direction.
The three-axis detection type, which detects three axial forces, is a stage at which a basic principle has been proposed by academic societies and the like.

【0003】現在提案されている3軸接触センサは、半
導体式(拡散ゲージ(O−リングや梁を利用したも
の))や光検出式(光導波路)等がある。
[0003] Currently proposed three-axis contact sensors include a semiconductor type (diffusion gauge (using an O-ring or a beam)) and a light detection type (optical waveguide).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、半導体式の接
触センサは、その構造から、もろく壊れやすい。光検出
式の接触センサは、光源やカメラ等が必要なことから大
型化を招く。
However, a semiconductor type contact sensor is fragile and fragile due to its structure. The light detection type contact sensor requires a light source, a camera, and the like, resulting in an increase in size.

【0005】更に、これらの接触センサは、力の検出の
みである。本発明は、上記事実に鑑み成されたもので、
壊れにくく、小型化が可能な接触センサ及びこの接触セ
ンサを備えた接触センサ装置を提案することを目的す
る。
Further, these contact sensors only detect force. The present invention has been made in view of the above facts,
An object of the present invention is to propose a contact sensor that is hard to break and can be reduced in size and a contact sensor device including the contact sensor.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため第1
の発明は、基台上に固着された少なくとも1つの圧電素
子と、前記圧電素子を覆うように設けられた接触部と、
前記圧電素子に配置された電極と、を備えている。
In order to achieve the above object, a first method is provided.
The invention of at least one piezoelectric element fixed on a base, and a contact portion provided to cover the piezoelectric element,
And an electrode disposed on the piezoelectric element.

【0007】このように、圧電素子を備えており、該圧
電素子はその性質上硬くかつ小さいので、接触センサを
壊れにくくする、即ち、耐衝撃性を向上すると共に小型
にすることができる。
As described above, since the piezoelectric element is provided and the piezoelectric element is hard and small in nature, the contact sensor can be hardly broken, that is, the impact resistance can be improved and the size can be reduced.

【0008】第2の発明は、第1の発明の接触センサ
と、前記電極に発生した電圧を検出する電圧検出手段
と、前記電極に電圧を印加する印加手段及び前記接触部
の姿勢が変わるように前記印加手段により印加された電
圧を制御する制御手段と、の少なくとも一方と、を備え
ている。
According to a second aspect, the contact sensor of the first aspect, voltage detecting means for detecting a voltage generated at the electrode, application means for applying a voltage to the electrode, and a posture of the contact portion are changed. And control means for controlling the voltage applied by the application means.

【0009】ここで、接触部が被接触物体に接触するこ
とにより、該被接触物体から力を受けると、受けた力の
量に応じた大きさの電圧が電極に発生する。よって、電
圧検出手段により、電極に発生した電圧を検出すれば、
検出した電圧から接触部が被接触物体から受ける力を求
めることができる。
Here, when the contact portion comes into contact with the contacted object and receives a force from the contacted object, a voltage having a magnitude corresponding to the amount of the received force is generated at the electrode. Therefore, if the voltage generated at the electrode is detected by the voltage detecting means,
The force that the contact portion receives from the contacted object can be obtained from the detected voltage.

【0010】一方、圧電素子は、印加される電圧の大き
さ及び極性により、その形状が変化する性質を有する。
[0010] On the other hand, the shape of a piezoelectric element changes depending on the magnitude and polarity of an applied voltage.

【0011】そこで、接触部の姿勢が変わるように、印
加手段により印加された電圧を制御すれば、接触部の姿
勢を所望の姿勢にすることができる。よって、力の検出
の他、接触部の姿勢を所望の姿勢にすることもでき、多
機能な接触センサ装置とすることができる。
Therefore, by controlling the voltage applied by the application means so that the posture of the contact portion changes, the posture of the contact portion can be set to a desired posture. Therefore, in addition to the detection of the force, the posture of the contact portion can be set to a desired posture, and a multifunctional contact sensor device can be obtained.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0013】図1に示すように、本実施の形態に係る接
触センサ装置に係る3軸接触センサアレイ18は、被挟
持物体20を挟持する挟持ロボット10の一対のアーム
14各々の先端に取り付けられている。一対のアーム1
4は、アクチュエータ部16を介して支柱12に支持さ
れている。なお、アクチュエータ部16により一対のア
ーム14が互いに接近するように移動することにより、
2つの3軸接触センサアレイ18により挟持される。
As shown in FIG. 1, a three-axis contact sensor array 18 according to the contact sensor device according to the present embodiment is attached to the tip of each of a pair of arms 14 of a holding robot 10 that holds an object 20 to be held. ing. A pair of arms 1
4 is supported by the column 12 via the actuator section 16. In addition, by moving the pair of arms 14 so as to approach each other by the actuator unit 16,
It is sandwiched between two three-axis contact sensor arrays 18.

【0014】図2に示すように、3軸接触センサアレイ
18は、所定形状、例えば、指型の有機材料24と、有
機材料24の形状に対応すると共に有機材料24上にマ
トリックス状に配置された複数の3軸接触センサ22
と、複数の接触センサ22各々に接続された配線が配置
されかつ有機材料24と複数の3軸接触センサ22との
間に配置された配線基板26と、を備えている。
As shown in FIG. 2, the three-axis contact sensor array 18 has a predetermined shape, for example, a finger-shaped organic material 24, and is arranged in a matrix on the organic material 24 corresponding to the shape of the organic material 24. A plurality of three-axis contact sensors 22
And a wiring board 26 on which wiring connected to each of the plurality of contact sensors 22 is disposed and which is disposed between the organic material 24 and the plurality of triaxial contact sensors 22.

【0015】図3及び図4に示すように、3 軸接触セン
サ22は、基台38に固着された複数(本実施の形態で
は、4つ)の圧電素子30と、複数の圧電素子30を覆
うように設けられ、かつ、上部が凸球面であると共に被
接触物体20に接触するための接触部28と、複数の圧
電素子30各々の基台38側の表面中央に配置された電
極36及び接触部28側の表面中央に配置された電極3
4と、により構成されている。なお、接触部28は、上
部が凸球面であるので、被接触物体20に点接触する。
As shown in FIGS. 3 and 4, the triaxial contact sensor 22 includes a plurality of (four in the present embodiment) piezoelectric elements 30 fixed to a base 38 and a plurality of piezoelectric elements 30. A contact portion 28 provided so as to cover and having a convex spherical upper portion and contacting the contacted object 20, an electrode 36 disposed at the center of the surface of the plurality of piezoelectric elements 30 on the base 38 side, and The electrode 3 arranged at the center of the surface on the contact portion 28 side
4. Since the upper portion of the contact portion 28 has a convex spherical surface, the contact portion 28 makes point contact with the contacted object 20.

【0016】基台38は、配線基板26に固着されると
共に、4つの圧電素子30(図4参照)の中央に対応す
る位置に4つのスルーホール32を設けると共に、基台
38の中央に1つのスルーホール33を設けている。ス
ルーホール32の圧電素子30側の先端には電極36が
配置されている。電極36に一端が接続された線W1
は、スルーホール32を介して配線基板26に配置され
ると共に、他端がスイッチング素子(図5も参照)44
に接続されている。電極34に一端が接続された線W2
は、接触部28内、スルーホール33を介して配線基板
26に配置されると共に、他端がスイッチング素子44
に接続されている。
The base 38 is fixed to the wiring board 26 and has four through holes 32 at positions corresponding to the centers of the four piezoelectric elements 30 (see FIG. 4). Two through holes 33 are provided. An electrode 36 is arranged at the tip of the through hole 32 on the side of the piezoelectric element 30. Line W1 having one end connected to electrode 36
Are disposed on the wiring board 26 through the through holes 32, and the other end is a switching element 44 (see also FIG. 5).
It is connected to the. Line W2 having one end connected to electrode 34
Is disposed on the wiring board 26 through the through hole 33 in the contact portion 28, and the other end is connected to the switching element 44.
It is connected to the.

【0017】図5に示すように、接触センサ装置は、所
定データ(後述する被挟持物体20の表面形状データ)
を入力するキーボード42及び前述したアクチュエータ
部16が接続されたマイコン40を備えている。このマ
イコン40は、図示しないCPU、ROM、RAM、入
出力ポート、及びこれらを接続するバスを含んで構成さ
れている。
As shown in FIG. 5, the contact sensor device is provided with predetermined data (surface shape data of the object 20 to be described later).
And a microcomputer 40 to which the above-described actuator unit 16 is connected. The microcomputer 40 includes a CPU (not shown), a ROM, a RAM, input / output ports, and a bus connecting these.

【0018】マイコン40の入出力ポートには、キーボ
ード42、アクチュエータ部16、及びスイッチングS
W素子44が接続されている。スイッチングSW素子4
4には、電極34及び電極36と、電源回路46と、が
接続されている。スイッチングSW素子44は、マイコ
ン40からの制御信号に応じて、電源回路46からの電
圧の向きを、交互に変更して、電極34と電極36とに
印加する。また、圧電素子30に発生した電圧は、マイ
コン40に入力される。よって、スイッチングSW素子
44とマイコン40とは、制御信号線と電圧線とにより
接続されている。また、スイッチング素子44と電源回
路46からの電源線との間には、可変抵抗Rが接続され
ている。マイコン40からの制御信号により可変抵抗が
制御されると、電極34、36に印加される電圧の大き
さが変更される。
The input / output ports of the microcomputer 40 include a keyboard 42, an actuator unit 16, and a switching S
The W element 44 is connected. Switching SW element 4
4, the electrode 34 and the electrode 36 and the power supply circuit 46 are connected. The switching SW element 44 alternately changes the direction of the voltage from the power supply circuit 46 in accordance with a control signal from the microcomputer 40 and applies the direction to the electrode 34 and the electrode 36. Further, the voltage generated in the piezoelectric element 30 is input to the microcomputer 40. Therefore, the switching SW element 44 and the microcomputer 40 are connected by the control signal line and the voltage line. A variable resistor R is connected between the switching element 44 and a power supply line from the power supply circuit 46. When the variable resistor is controlled by a control signal from the microcomputer 40, the magnitude of the voltage applied to the electrodes 34 and 36 is changed.

【0019】図6には、キーボード42の図示しない挟
持スタートボタンがオンされたときに、マイコン40が
実行する、挟持処理ルーチンが示されている。
FIG. 6 shows a holding processing routine executed by the microcomputer 40 when a holding start button (not shown) of the keyboard 42 is turned on.

【0020】本ルーチンがスタートすると、ステップ5
2で、3軸接触センサアレイ18が接触部分の被挟持物
体の表面形状データがキーボード42を介して入力され
たか否かを判断する。
When this routine starts, step 5
In 2, the three-axis contact sensor array 18 determines whether or not the surface shape data of the object to be pinched at the contact portion has been input via the keyboard 42.

【0021】被挟持物体の表面形状データが入力された
場合、ステップ54で、被挟持物体20の表面形状に3
軸接触センサアレイ18の表面が対応するように各3軸
接触センサ22に電圧を印加する。
When the surface shape data of the object to be held is input, in step 54, the surface shape of the object to be held
A voltage is applied to each three-axis contact sensor 22 so that the surface of the axis contact sensor array 18 corresponds.

【0022】即ち、圧電素子30は、電極34、36を
介して印加された電圧の向き及び大きさに応じて、厚さ
が変わる性質を有する。例えば、スイッチング素子44
を制御して、電極34がプラス、電極36がマイナスと
なるように電圧が印加された場合には、圧電素子30の
厚さが厚くなり、電極34がマイナス、電極36がプラ
スとなるように電圧が印加された場合には、圧電素子3
0の厚さが狭くなる。圧電素子30の厚さが厚くなる量
及び狭くなる量は、印加される電圧の大きさにより定ま
る。よって、スイッチング素子SW44と可変抵抗Rと
を制御して、電極34、36に印加される電圧の向き及
び大きさを変更し、圧電素子30の厚さを所望の厚さに
する。これにより、接触部28の姿勢が所望の姿勢とな
り、全体として被挟持物体20の表面形状に対応する。
That is, the piezoelectric element 30 has a property that its thickness changes according to the direction and magnitude of the voltage applied via the electrodes 34 and 36. For example, the switching element 44
When the voltage is applied such that the electrode 34 is positive and the electrode 36 is negative, the thickness of the piezoelectric element 30 is increased, the electrode 34 is negative, and the electrode 36 is positive. When a voltage is applied, the piezoelectric element 3
0 becomes narrower. The amount by which the thickness of the piezoelectric element 30 increases and decreases is determined by the magnitude of the applied voltage. Accordingly, the direction and magnitude of the voltage applied to the electrodes 34 and 36 are changed by controlling the switching element SW44 and the variable resistor R, and the thickness of the piezoelectric element 30 is set to a desired thickness. Accordingly, the posture of the contact portion 28 becomes a desired posture, and corresponds to the surface shape of the held object 20 as a whole.

【0023】図1の例では、3軸接触センサアレイ18
の中央部分に位置する3軸接触センサ18の厚さが狭く
なり、3軸接触センサアレイ18の外側部分に位置する
3軸接触センサ18の厚さが厚くなるように、電圧の向
き及び大きさを制御する。
In the example of FIG. 1, the three-axis contact sensor array 18
The direction and magnitude of the voltage are set such that the thickness of the triaxial contact sensor 18 located in the central portion of the Control.

【0024】ステップ56では、アクチャータ部16を
制御して、被挟持物体20を挟持する。これにより、接
触部28が被挟持物体20に接触して、被接触物体20
から力を受ける。このように、被接触物体20から力を
受けると、圧電素子30には、受けた力の量に応じた大
きさの電圧が発生し、電極34、36を介して、マイコ
ン40に入力される。
In step 56, the actuator unit 16 is controlled to hold the held object 20. As a result, the contact portion 28 comes into contact with the held object 20 and the contacted object 20
Receive power from. As described above, when a force is received from the contacted object 20, a voltage having a magnitude corresponding to the amount of the received force is generated in the piezoelectric element 30 and input to the microcomputer 40 via the electrodes 34 and 36. .

【0025】そこで、ステップ58で、各3軸接触セン
サの電圧を取り込み、ステップ60で、取り込んだ電圧
から、各3軸接触センサが受ける力を演算する。
In step 58, the voltage of each triaxial contact sensor is fetched, and in step 60, the force received by each triaxial contact sensor is calculated from the fetched voltage.

【0026】即ち、図7に示すように、圧電素子30に
対し、配線基板面と平行な平面をX−Y平面、配線基板
面と垂直な面を、Y−Z平面、Z−X平面となるよう
に、X軸、Y軸、Z軸の座標を設定すると、X軸、Y
軸、Z軸方向の力FX 、FY 、F Z は、例えば、(1)
式〜(3)式から得られる。
That is, as shown in FIG.
On the other hand, a plane parallel to the wiring board
A plane perpendicular to the plane is defined as a YZ plane and a ZX plane.
When the coordinates of the X axis, Y axis, and Z axis are set in
Axis, Z axis direction force FX, FY, F ZIs, for example, (1)
It is obtained from Equations (3) to (3).

【0027】[0027]

【数1】 FX =CX {(V1+V4)−(V2+V3)}・・・(1)[Number 1] F X = C X {(V1 + V4) - (V2 + V3)} ··· (1)

【0028】[0028]

【数2】 FY =CY {(V1+V2)−(V3+V4)}・・・(2)F Y = C Y {(V1 + V2) − (V3 + V4)} (2)

【0029】[0029]

【数3】 FZ =CZ (V1+V2+V3+V4)・・・(3) 但し、V1、V2、V3、V4は、4つの圧電素子30
の出力電圧であり、C X 、CY 、CZ は、係数である。
(Equation 3) FZ= CZ(V1 + V2 + V3 + V4) (3) where V1, V2, V3, and V4 are the four piezoelectric elements 30
Is the output voltage of C X, CY, CZIs a coefficient.

【0030】ステップ62で、演算された力FX
Y 、FZ に基づいて、挟持力を補正する。
In step 62, the calculated force F X ,
The clamping force is corrected based on F Y and F Z.

【0031】以上説明したように本実施の形態は、接触
センサに圧電素子を備えており、圧電素子はその性質上
硬くかつ小さいので、O−リングや梁構造の検出素子を
基本構造とする接触センサと比較すると、接触センサを
壊れにくくすることがてきると共に、光検出式の接触セ
ンサと比較すると、光源、カメラ等が不要であるので、
接触センサを小型にすることができる。
As described above, in the present embodiment, the contact sensor is provided with the piezoelectric element, and the piezoelectric element is hard and small in nature. Compared to sensors, contact sensors can be made more difficult to break, and compared to light detection type contact sensors, light sources, cameras, etc. are unnecessary, so
The contact sensor can be downsized.

【0032】また、前述した実施の形態は、接触部の姿
勢を所望の姿勢にすることができるので、多機能な接触
センサ装置とすることができる。特に、バーチャルリア
リティ等における感覚フィードバッグ等、即ち、接触デ
ィスプレイのキーテクノロジになり得る。
Further, in the above-described embodiment, since the posture of the contact portion can be set to a desired posture, a multifunctional contact sensor device can be obtained. In particular, it can be a sensory feedback in virtual reality or the like, that is, a key technology of a touch display.

【0033】更に、前述した実施の形態は、接触部が凸
球面であり、被接触物体とは点接触となっているので、
水平方向の力を容易に検出することができる。
Further, in the above-described embodiment, since the contact portion has a convex spherical surface and is in point contact with the contacted object,
The horizontal force can be easily detected.

【0034】なお、上記被接触物体の形状は一例であ
り、種々の形状の被接触物体に対応するように、接触部
の姿勢を変更するようにしてもよい。
The shape of the contacted object is merely an example, and the posture of the contact portion may be changed so as to correspond to various shapes of the contacted object.

【0035】なお、前述した実施の形態では、3軸接触
センサを、圧電素子を4つ並べて構成しているが、本発
明はこれに限定されず、圧電素子を4以外、例えば、
1、2、3、5等個備えるようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the three-axis contact sensor is configured by arranging four piezoelectric elements. However, the present invention is not limited to this.
One, two, three, five, etc. may be provided.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、圧電素子
を備えており、該圧電素子はその性質上硬くかつ小さい
ので、接触センサを壊れにくくすると共に小型にするこ
とができる、という効果を有する。
As described above, the present invention is provided with a piezoelectric element, and since the piezoelectric element is hard and small in nature, it is possible to reduce the size and size of the contact sensor. Have.

【0037】また、本発明は、接触部の姿勢を所望の姿
勢にすることができるので、多機能な接触センサ装置と
することができる、という効果を有する。
Further, the present invention has an effect that the posture of the contact portion can be set to a desired posture, so that a multifunctional contact sensor device can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】挟持ロボットの一部の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a part of a holding robot.

【図2】3軸接触センサアレイの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a three-axis contact sensor array.

【図3】3軸接触センサの断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a three-axis contact sensor.

【図4】3軸接触センサ内の圧電素子と電極との関係を
示した分解図である。
FIG. 4 is an exploded view showing a relationship between a piezoelectric element and an electrode in the three-axis contact sensor.

【図5】3軸接触センサ装置の制御系のブロック図であ
る。
FIG. 5 is a block diagram of a control system of the three-axis contact sensor device.

【図6】3軸接触センサ装置の挟持処理ルーチンを示し
たフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart showing a clamping process routine of the three-axis contact sensor device.

【図7】3軸接触センサが受ける力を演算する方法を説
明する説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a method of calculating a force received by a three-axis contact sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

22 3軸接触センサ 28 接触部 30 圧電素子 34、36 電極 40 マイコン 44 スイッチングSW素子 46 電源回路 22 triaxial contact sensor 28 contact part 30 piezoelectric element 34, 36 electrode 40 microcomputer 44 switching SW element 46 power supply circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基台上に固着された少なくとも1つの圧
電素子と、 前記圧電素子を覆うように設けられた接触部と、 前記圧電素子に配置された電極と、 を備えた接触センサ。
1. A contact sensor comprising: at least one piezoelectric element fixed on a base; a contact portion provided to cover the piezoelectric element; and an electrode disposed on the piezoelectric element.
【請求項2】 請求項1記載の接触センサと、 前記電極に発生した電圧を検出する電圧検出手段と、前
記電極に電圧を印加する印加手段及び前記接触部の姿勢
が変わるように前記印加手段により印加された電圧を制
御する制御手段と、の少なくとも一方と、 を備えた接触センサ装置。
2. The contact sensor according to claim 1, a voltage detecting means for detecting a voltage generated at the electrode, an applying means for applying a voltage to the electrode, and the applying means such that a posture of the contact portion is changed. And a control means for controlling the voltage applied by the contact sensor device.
JP28076797A 1997-10-14 1997-10-14 Contact sensor and contact sensor device Pending JPH11118636A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT410844B (en) * 2002-03-25 2003-08-25 Christian Stockinger Hand, or hand part, physiological measurement device comprises an array of sensors with which the hand or hand part is placed in contact with measurement values processed so that only sensors in complete contact are considered
JP2008544262A (en) * 2005-06-20 2008-12-04 エス.ヴェー.アー.ツェー. シュミット−ウォルター オートメーション コンサルト ゲーエムベーハー Pressure sensor
JP2011112459A (en) * 2009-11-25 2011-06-09 Seiko Epson Corp Shear force detection element, tactile sensor, and gripping device
JP2011163945A (en) * 2010-02-10 2011-08-25 Seiko Epson Corp Stress sensing device, tactile sensor, and grasping apparatus

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