JPH11118657A - ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置 - Google Patents

ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置

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JPH11118657A
JPH11118657A JP9288315A JP28831597A JPH11118657A JP H11118657 A JPH11118657 A JP H11118657A JP 9288315 A JP9288315 A JP 9288315A JP 28831597 A JP28831597 A JP 28831597A JP H11118657 A JPH11118657 A JP H11118657A
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JP9288315A
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Akio Furuse
昭男 古瀬
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Cosmo Instruments Co Ltd
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3236—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
    • G01M3/3263—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers using a differential pressure detector

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 適正なドリフト補正値を自動的に算出し、取
扱が容易な洩れ検査装置を提供する。 【解決手段】 被検査体及び接続治具、環境温度等を測
定し、被検査体と接続治具間の温度差及び環境温度に応
じてドリフト補正値を算出し、このドリフト補正値を被
検査体と基準タンク間に発生する差圧値から減算するこ
とによって温度変動等によって発生するドリフト成分を
除去し、真の洩れ量に対応する差圧値を求めて洩れの有
無を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は各種の容器等の洩
れの有無を検査する洩れ検査装置に用いるドリフト補正
値算出装置と、この算出装置によって算出したドリフト
補正値を利用して動作する洩れ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より使用状態で洩れの存在がないこ
とが必要な製品もしくは部品を、その生産工程ライン中
において、順次検査し、その検査データを設定基準値と
比較して製品もしくは部品の良否を判定している。図６
はこの種の洩れ検査装置の一般的な構成を示すブロック
図で、空圧源１１の出力側に接続された流管１０は調圧
弁１２及び３方電磁弁１４を介して３方電磁弁１４の出
口側で分岐される分岐路１５Ａ，１５Ｂにそれぞれ接続
されている。調圧弁１２の出口側と３方電磁弁１４の入
口側の間には検査圧を設定する圧力計１３が接続されて
いる。
【０００３】分岐路１５Ａは電磁弁１６を介して導管１
８の一端に接続され、この導管１８の他端部には洩れが
検査される被検査体２０が接続可能な接続治具２４が設
けられる。この接続治具２４により被検査体２０が順次
接続されて洩れ検査可能な構成となっている。一方、分
岐路１５Ｂは電磁弁１７を介して導管１９の一端に接続
され、この導管１９の他端部には基準タンク２１が接続
されている。電磁弁１６及び１７の出口側において導管
１８及び１９がそれぞれ延長して取り出されそれぞれの
端部間に差圧検出器２２が取り付けられている。
【０００４】差圧検出器２２の出力信号は増幅器３１を
介して比較器３２に与えられ、比較器３２において基準
信号設定器３３の出力基準値と比較可能な構成とされ
る。被検査体２０を導管１８の端部に取り付け、導管１
９には洩れのない基準タンク２１を取り付けて３方電磁
弁１４のａ−ｂ間を閉状態とし、調圧弁１２を開いて圧
力計１３によって空圧源１１からの所定の空気圧が得ら
れるように調整する。電磁弁１６及び１７を開状態と
し、３方電磁弁１４をａ−ｂ間を開状態にして設定され
た一定の空気圧を分岐路１５Ａ，１５Ｂ、導管１８，１
９を通じてそれぞれ被検査体２０及び基準タンク２１に
供給する。
【０００５】一定時間が経過して被検査体２０及び基準
タンク２１内の圧力が安定した後に、電磁弁１６及び１
７を閉状態にする。更に所定の安定時間後に差圧検出器
２２に接続された自動零補正式増幅器３１の出力信号の
読み取りが行なわれる。被検査体２０の気密が完全で洩
れが存在しない状態では、増幅器３１からの出力信号は
一定検出時間後において理想的には零となる。被検査体
２０に洩れが存在すると、その内部の圧力が正圧の場合
は漸次減少し、負圧の場合は漸次増加する出力信号が得
られ、一定検出時間内の出力信号は負又は正の洩れ量に
ほぼ比例した値となる。
【０００６】基準信号設定器３３から与えられる基準差
圧値と増幅器３１の出力値が比較器３２で比較され、出
力信号が基準差圧値を越えたか否かにより良品もしくは
不良品を示す良否判定出力３５が得られる。この一般的
な洩れ検査装置においては基準タンク２１を被検査体２
０と全く同一形状で洩れのないものを使用しても、主に
被検査体２０と基準タンク２１との温度差によって影響
を受ける。被検査体２０と基準タンク２１の形状が異な
れば気体を加圧したとき断熱変化による気体温度の上昇
が被検査体２０と基準タンク２１の温度に等しくなって
いく過程での気体温度差が発生し、出力信号が理想的に
零の状態にならない。即ち、被検査体２０に全く洩れが
なくても、一定検出時間中の出力信号は理想的な零状態
とならず、正又は負の相当な洩れ量に匹敵する差圧値を
示すのが通常である。この洩れ量に匹敵する差圧値を一
般にドリフト量と称している。
【０００７】この様子を図７を用いて説明する。図７に
示す曲線Ａはドリフト量、曲線Ｂは洩れ量、曲線Ｃはド
リフト量に洩れ量を加えた実質的に差圧検出器２２によ
って検出される差圧値を示す。図７から解るように曲線
Ｃで示す差圧値は大部分がドリフト量であり、洩れ量に
相当する差圧値はわずかである。この差圧値（曲線Ｃ）
から洩れ量だけを取り出す方法として、ドリフトによっ
て発生する差圧値は時間が経過するとその増加率はほぼ
０に近ずく、これに対して、洩れ量によって発生する差
圧値は時間が経過してもいつまでも一定の増加率で上昇
する現象を呈する。
【０００８】この点に着目して、図６に示す構成の洩れ
検査装置では自動零補正式増幅器３１の出力を或る時間
（ドリフト量の増加率が０に近ずいた時点以後のタイミ
ング）ＴＩＭ１で強制的にゼロにリセットし、ゼロリセ
ット後に利得を高めて差圧検出器２２の検出信号を増幅
させ出力信号ＳＤ（曲線Ｄ）を得るようにし、この出力
信号ＳＤを比較器３２に供給し、一定時間後に発生する
出力信号ＳＤを比較器３２で基準値と比較し、一定時間
が経過した時点で出力信号ＳＤが基準値を越えていれば
不良と判定している。
【０００９】この検査方法によればドリフト量の増加率
が０に近ずくのを待って検査を開始するから、１個の被
検査体に要する検査時間が長くなる欠点がある。このた
め、差圧が発生し始めた初期の時点でドリフト量を除去
し、洩れ量に相当する差圧値だけを取り出すことができ
ると検査時間を短縮できる利点が得られる。然し乍らド
リフト量によって発生する差圧値（曲線Ａ）は温度、特
に被検査体２０の温度等によって大きく変動するから一
概にドリフト量だけを除去することは難かしい。
【００１０】この欠点を解消するために、例えば特公平
１−３４３３３号公報に見られるように、良品と判定し
た場合に限って差圧検出器２２から得られる差圧値を集
計し、複数回の差圧値の平均値（移動平均）を求め、こ
の移動平均値をドリフト補正値と定め、このドリフト補
正値を毎回得られる差圧値から減算することにより測定
した差圧値を補正してドリフト分を除去する洩れ検査装
置が提案されている。この検査方法を採る洩れ検査装置
によれば差圧が発生し始めた初期の時点でドリフト値を
除去できるから検査時間を短縮し、高速化することがで
きる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述した公報に見られ
るように良品と判定した場合の差圧測定値を順次取り込
み、その移動平均値を算出してドリフト補正値として利
用した場合、被検査体２０の温度及び基準タンク２１の
温度及び周囲温度が一定値に保たれている場合或は温度
変化があってもその変化がなだらかに変化している場合
は支障なく動作し、信頼性の高い検査を実行できる。
【００１２】然し乍ら、周囲温度が急変したり、或は被
検査体２０が高温洗浄工程或は熔接工程等を経て検査さ
れる場合のように、被検査体２０に熱が加えられて検査
する場合には被検査体２０の温度が個々に変動すること
になり、このような状況にはドリフト補正値として用い
る移動平均値が被検査体２０の個々の温度について応動
しないため対応できない欠点がある。
【００１３】また、複数回の検査結果の平均値によりド
リフト補正値を得る方法によれば検査開始時に洩れのな
い良品を用意しなければならないことと、この良品を使
って複数回の模似検査を実行し、この模似検査中に得ら
れた複数の差圧データを平均してドリフト補正値を得る
方法を採るか、或は操作員が適当なドリフト補正値を設
定して検査を開始させる必要がある。従って良品を使っ
てドリフト補正値を得る方法によれば、模似検査として
は少なくとも数１０回程度を必要とするからドリフト補
正値が得られるまでに時間が掛る欠点がある。
【００１４】また、操作員がドリフト補正値を適当に設
定する場合には、その設定値によっては良品を不良品と
判定してしまう判定結果が出るおそれがあり、設定値の
決定は大変むずかしい作業となる。更に、この従来のド
リフト補正方法によれば基準タンク２１は被検査体２０
と同一の内容積に設定しなければならない。つまり、被
検査体２０と基準タンク２１との間に内容積の差が有る
と、その容積差によって例えば放熱量に差が発生し、こ
の放熱量の差によって被検査体２０と基準タンク２１と
の間に温度差を発生させる。この温度差によって差圧が
発生し、この差圧によって良品を不良品、不良品を良品
に判定する等の誤まった結果が発生する不都合が生じ
る。
【００１５】このため、従来は被検査体２０の品種（内
容積が異なる製品）が変更される都度、基準タンク２１
も被検査体２０に対応させて交換してるが、このように
基準タンク２１を交換しなければならないため、手間が
掛る欠点がある。この発明の目的は、これらの諸種の不
都合を解消することができるドリフト補正値算出装置
と、このドリフト補正値算出装置を用いた洩れ検査装置
を提供しようとするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】この発明では被検査体と
接続治具の温度を測定し、被検査体と接続治具との間の
温度差が０の場合と、０でない場合のモデル式を求め、
モデル式に従ってドリフト補正値を算出する演算手段を
設け、この演算手段によりドリフト補正値を算出するド
リフト値算出装置と、このドリフト値算出装置によって
算出したドリフト補正値を使ってドリフト値を除去し、
洩れ検査を実行する洩れ検査装置を提案するものであ
る。
【００１７】この発明の請求項１では被検査体と基準タ
ンクに加圧気体を印加し、印加完了時点で加圧気体の供
給路を蔽断し、印加完了時点から一定時間が経過した時
点で被検査体と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器
によって測定し、その差圧値からドリフト補正値Ｄを除
去し、その残差値が所定値以上か以下かによって被検査
体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置におい
て、被検査体の初期温度Ｔ１を測定する温度センサと、
被検査体を洩れ検査装置に接続する接続治具の初期温度
Ｔ２を測定する温度センサと、被検査体と基準タンクと
の間を導通状態と非導通状態に制御することができる平
衡手段と、演算手段とを設け、ドリフト補正値Ｄを算出
するモデル式をＤ＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃと定め、上記
初期温度Ｔ１とＴ２がＴ１＝Ｔ２の条件下において、被
検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気体の印
加後に加圧気体の供給路を蔽断し、この蔽断状態におい
て一定時間経過する毎に差圧検出器で被検査体と基準タ
ンク間に発生する差圧値を測定すると共に、この差圧値
の測定が終了する毎に一定時間ずつ平衡手段を動作させ
て被検査体と基準タンク間の圧力差を平衡させる動作を
繰返し（この繰返し動作を以下マスタリング動作と称
す）、平衡動作を実行する毎に発生する差圧値が一定値
に収束したことを検出して、その収束した差圧値を初回
に発生した差圧値から演算手段により減算し、その減算
結果をＴ１＝Ｔ２の条件下におけるドリフト補正値Ｄ１
＝Ｃとして算出するドリフト補正値算出装置を提案す
る。
【００１８】従って、この請求項１で提案するドリフト
補正値算出装置によれば被検査体と接続治具の温度Ｔ１
とＴ２がＴ１＝Ｔ２の関係を保っている限り、正確なド
リフト補正値を提供し、差圧の発生開始の初期状態でも
洩れの有無を判定することができ、高速検査を実現でき
る。更に、この発明によれば現実に被検査体と基準タン
クとの間に発生する差圧値を測定してマスタリング動作
を実行してドリフト補正値を算出したから、基準タンク
は必ずしも被検査体と同一形状で同一内容積でなくても
被検査体の品種が変わる毎にドリフト補正値を算出し直
せば正しいドリフト補正値を得ることができる。
【００１９】この発明の請求項２では請求項１記載のド
リフト補正値算出装置において、ドリフト補正値Ｄを算
出するモデル式をＤ＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃと定め、上
記初期温度Ｔ１とＴ２がＴ１≠Ｔ２の条件下において被
検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気体の印
加後に加圧気体の供給路を蔽断し、この蔽断状態におい
てマスタリング動作を実行し、マスタリング動作の平衡
動作を実行する毎に初期温度Ｔ１とＴ２がほぼ等しくな
ったことと、さらに発生する差圧値が一定値に収束した
ことを検出して、その収束した差圧値を初回に発生した
差圧値から演算手段により減算し、その減算結果Ｄ２と
請求項１に記載のドリフト補正値算出装置によって算出
したドリフト補正値Ｄ１＝Ｃとによってモデル式の比例
常数ＡをＡ＝（Ｄ２−Ｄ１）／（Ｔ１−Ｔ２）によって
算出し、爾後Ｔ１≠Ｔ２の条件下において温度Ｔ１及び
Ｔ２が変化する毎にドリフト補正値Ｄ２をＤ２＝Ａ（Ｔ
１−Ｔ２）＋Ｃにより算出するドリフト補正値算出装置
を提案する。
【００２０】この請求項２で提案したドリフト補正値算
出装置によれば被検査体と接続治具の温度Ｔ１とＴ２が
Ｔ１≠Ｔ２であっても適正なドリフト補正値を算出する
ことができる。また請求項１と同様に被検査体の品種が
変わった場合は基準タンクを交換することなくドリフト
補正値Ｄ２の算出をし直せばよい。この結果基準タンク
を交換しなくても常に適正なドリフト補正値を得ること
ができる利点が得られる。
【００２１】更に、この発明の請求項３では請求項２記
載のドリフト補正値算出装置において、環境温度ｔを測
定する温度センサを設け、環境温度ｔ１とｔ２における
ドリフト補正値が、 Ｄｔ１＝Ａｔ１（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ１ Ｄｔ２＝Ａｔ２（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ２ として算出された場合、任意の環境温度ｔ３におけるド
リフト補正値Ｄｔ３を Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ によって算出するものとし、この場合定数Ｃｔ３を Ｃｔ３＝（Ｃｔ２−Ｃｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
−ｔ１）＋Ｃｔ２ によって求め、比例常数Ａｔ３を Ａｔ３＝（Ａｔ２−Ａｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
−ｔ１）＋Ａｔ２ によって求め、爾後、環境温度ｔ３におけるドリフト補
正値Ｄｔ３を Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ によって算出するドリフト補正値算出装置を提案する。
【００２２】この請求項３で提案するドリフト補正値算
出装置によれば請求項１と２の項で説明した作用効果に
加えてドリフト補正値を求めるモデル式の比例常数Ａと
定数Ｃが温度依存性を具備していたとしても、環境温度
毎に正しいドリフト補正値を求めることができる。この
発明の請求項４〜６では請求項１〜３に記載のドリフト
補正値算出装置をそれぞれ具備し、各ドリフト補正値算
出装置が算出するドリフト補正値Ｄ１又はＤ２、或はＤ
ｔ３を被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値か
ら減算し、その残差値が規定値以上か以下かによって被
検査体の良否を判定する洩れ検査装置を提案するもので
ある。
【００２３】この発明で提案する洩れ検査装置によれば
各ドリフト補正値算出装置が適正なドリフト補正値を算
出するから、差圧の発生開始の初期でも洩れの有無の判
定を行なうことができる。従って高速で洩れ検査を実施
することができる。然もドリフト補正値はそれぞれマス
タリング動作を実行して算出するから、被検査体と基準
タンクとの容積差、形状の差があっても正しいドリフト
補正値が得られる。従ってこの発明による洩れ検査装置
によれば被検査体の品種か変わっても、基準タンクを交
換する必要がなく、取扱が容易な洩れ検査装置を提供で
きる利点が得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１にこの発明で提案するドリフ
ト補正値算出装置と、このドリフト補正値算出装置を用
いた洩れ検査装置の実施例を示す。図６と対応する部分
には同一符号を付して示す。空圧源１１から供給される
加圧気体は調圧弁１２と３方電磁弁１４を通じて分岐路
１５Ａと１５Ｂに分岐され、更に電磁弁１６と１７を通
じて被検査体２０と基準タンク２１に加圧気体を印加
し、一定時間加圧した後に電磁弁１６と１７を閉じ、加
圧気体の供給路を蔽断した後、差圧検出器２２により被
検査体２０と基準タンク２１との間の差圧の発生を検出
する構成は上述した従来の技術と同じである。
【００２５】この実施例では差圧検出器２２の検出信号
を増幅器３６で増幅し、その増幅出力をＡＤ変換器３７
でＡＤ変換し、そのＡＤ変換出力を例えばマイクロコン
ピュータで構成される洩れ検査装置３８に入力し、洩れ
検査装置３８に設けた減算器３８Ａで差圧検出器２２で
検出した検出値からドリフト補正値記憶器３８Ｂに記憶
したドリフト補正値を減算し、その減算結果を良否判定
手段３８Ｃで基準値と比較し、差の値が基準値以下であ
る場合は良、基準値以上を不良と判定するように構成し
た場合を示す。
【００２６】この発明ではドリフト補正値記憶器３８Ｂ
に記憶するドリフト補正値を算出するドリフト補正値算
出装置４０を提案するものである。ドリフト補正値算出
装置４０は洩れ検査装置３８を構成するマイクロコンピ
ュータの一部を使って構成することができる。ドリフト
補正値算出装置４０はマスタリング制御手段４１、第１
メモリ４２、収束判定手段４３、第２メモリ４４、演算
手段４５と、被検査体２０の温度を測定する温度センサ
４６Ａと、接続治具２４の温度を測定する温度センサ４
６Ｂと、導管１８と１９の間に差し渡した平衡手段４７
とによって構成することができる。
【００２７】平衡手段４７は導管１８と１９の間に差し
渡した導管４７Ｂと、この導管４７Ｂの途中に介挿した
電磁弁４７Ａとによって構成することができ電磁弁４７
Ａを開の状態に制御することにより、被検査体２０と基
準タンク２１との間に発生している差圧を平衡させる動
作を実行する。温度センサ４６Ａと４６Ｂは例えば熱電
対のような温度センサを用いることができる。温度セン
サ４６Ａは接続治具２４の近傍に設けられ、接続治具２
４に被検査体２０を装着すると必然的に被検査体２０が
温度センサ４６Ａに接触し、被検査体２０の温度Ｔ１を
測定する。温度センサ４６Ｂは接続治具２４に直接取付
けられ、接続治具２４の温度Ｔ２を測定する。これら温
度センサ４６Ａ，４６Ｂの検出信号はドリフト補正値算
出装置４０に取込まれ、ドリフト値の算出に利用され
る。
【００２８】ここで請求項１で提案するドリフト補正値
算出装置について詳細に説明する。請求項１で提案する
ドリフト補正値算出装置ではドリフト補正値Ｄ１を求め
るモデル式をＤ１＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃとし、被検査
体２０の温度Ｔ１と接続治具２４の温度Ｔ２をＴ１＝Ｔ
２に維持し、この状態でマスタリング制御手段４１を起
動させて図２に示すマスタリング動作を実行する。
【００２９】マスタリング動作とは一旦被検査体２０と
基準タンク２１に加圧気体を印加し、加圧気体の供給路
を蔽断すると共に、加圧気体の供給路を蔽断した後、一
定時間経過後に発生する初回の差圧検出値Ｄａを測定
し、その初回の差圧測定値Ｄａを第１メモリ４２に記憶
させる。差圧検出値Ｄａを測定した後に平衡手段４７を
動作させて被検査体２０と基準タンク２１の間の圧力を
平衡させる動作を実行させる。
【００３０】差圧の発生と平衡を繰返すうちに差圧の発
生値は図２に示すように序々に小さくなり、被検査体２
０に洩れが全く無い場合は差圧値は最終的に０に収束す
るが、洩れが有る場合は一定値Ｄｂに収束する。収束判
定手段４３は被検査体２０の初期温度Ｔ１と接続治具２
１の初期温度Ｔ２がマスタリング動作中にＴ１＝Ｔ２に
収束したことと、複数回にわたって差圧検出器２２が一
定値Ｄｂを測定したことを検出し、差圧値が一定値に収
束したと判定し、この一定値Ｄｂを第２メモリ４４に記
憶させる。
【００３１】このようにマスタリング動作によって最終
的に得られる差圧値Ｄｂは現在接続している被検査体２
０の洩れ量に相当し、この洩れ量Ｄｂを最初に測定した
差圧値Ｄａから演算手段４５において減算することによ
りドリフト補正値Ｄ１＝Ｄａ−Ｄｂを求めることができ
このドリフト補正値Ｄ１を洩れ検査装置３８に設けたド
リフト補正値記憶器３８Ｂに記憶させる。
【００３２】尚、ここで求めたドリフト補正値Ｄ１はモ
デル式Ｄ１＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋ＣにおいてＴ１＝Ｔ２
に設定しているから結局モデル式においてＤ１＝Ｃが求
められたことになる。つまり、ここでは被検査体２０と
接続治具２４の初期温度Ｔ１とＴ２に影響されない定数
Ｃが求められたことになる。ドリフト補正値算出装置４
０によりドリフト補正値Ｄ１を算出することにより爾後
検査モードでは被検査体２０の温度Ｔ１と接続治具２４
の温度Ｔ２がＴ１＝Ｔ２の条件に合致している限りで
は、ここで求めたドリフト補正値Ｄ１を用いて、減算器
３８Ａで測定値Ｄｘ（マスタリング動作時の初回の差圧
値Ｄａに相当）からこのドリフト補正値Ｄ１を差し引く
Ｄｘ−Ｄ１ことにより洩れに相当する差圧値ＤReを求め
ることができる。この差圧値ＤReが規定より大きいか否
かを良否判定手段３８Ｃで比較することにより、被検査
体２０の良否を判定することができる。
【００３３】尚、検査モードでは平衡手段４７は閉の状
態に維持され電磁弁４７Ａは開に制御されることはな
い。また加圧時は３方電磁弁１４はａ−ｂ間を導通さ
せ、加圧気体を空圧源１１から被検査体２０と基準タン
ク２１に与えると共に、検査終了時にはｂ−ｃ間を導通
させ、被検査値２０及び基準タンク２１から加圧気体を
大気に放出させる。
【００３４】また、検査モードにおける測定時間（加圧
終了から差圧値を読み取るまでの時間）は上述したマス
タリング動作の初回の差圧値Ｄａを得るための時間に対
応し、比較的短かい時間でよいことになる。従って、こ
の短かい時間に発生する差圧値は小さいため差圧検出器
２２は測定レンジが小さい差圧検出器を用いることがで
き、差圧検出器２２のフルスケール近くの精度の高い位
置で測定を行なうことができる。また、増幅器３６は自
動零リセット型の増幅器を用いなくてよく、更にＡＤ変
換器３７も入力される差圧値（アナログ電圧）が小さい
からビット数の小さいＡＤ変換器でも充分精度の高い差
圧値のＡＤ変換を行なうことができる。
【００３５】次に請求項２で提案するドリフト補正値算
出装置について説明する。この発明の請求項２で提案す
るドリフト補正値算出装置によれば被検査体２０と接続
治具２４の各初期温度Ｔ１及びＴ２がＴ１≠Ｔ２である
場合のドリフト補正値算出装置を提案するものである。
この発明の請求項２で提案するドリフト補正値算出装置
４０（図１参照）では被検査体２０の初期温度Ｔ１と接
続治具２４の初期温度Ｔ２がＴ１≠Ｔ２の場合に求める
べきドリフト補正値をＤ２とした場合、Ｄ２＝Ａ（Ｔ１
−Ｔ２）＋Ｄ１によりドリフト補正値Ｄ２を算出し、こ
のドリフト補正値Ｄ２を用いて検査モード時にドリフト
補正を行なう。
【００３６】従って、この発明の請求項２では被検査体
２０と接続治具２４の初期温度を測定し、Ｔ１とＴ２を
求める。その測定された初期温度Ｔ１とＴ２でマスタリ
ング動作を実行する。マスタリング動作中に被検査体２
０と接続治具２１の温度が互いにほぼ等しくなったこと
と、差圧の発生が一定値に収束したことを検出してマス
タリング動作を終了する。マスタリング動作の初回の差
圧検出値をＤａとし、マスタリング動作の最終収束値を
Ｄｂとすると、求めるドリフト値Ｄ２はＤ２＝Ｄａ−Ｄ
ｂで求められる。
【００３７】従ってモデル式Ｄ２＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋
Ｃにおいて、Ｄ２と初期温度Ｔ１，Ｔ２及びＣ＝Ｄ１は
既知の値で与えられるから、モデル式中の比例常数Ａは Ａ＝（Ｄ２−Ｄ１）／（Ｔ１−Ｔ２） によって求めることができる。この結果、請求項２では
検査モードにおいて被検査体２０の初期温度Ｔ１と接続
治具２４の初期温度Ｔ２を温度センサ４６Ａと４６Ｂに
よって測定し、その測定値を洩れ検査装置３８に取り込
むことにより、被検査体２０と接続治具２４の初期温度
Ｔ１とＴ２が如何なる温度に変化しても、初期温度Ｔ１
とＴ２が変わる毎にドリフト補正値Ｄ２をモデル式Ｄ２
＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃから演算して求めることがで
き、このドリフト補正値Ｄ２を用いて測定された差圧値
Ｄｘを補正（ＤRe＝Ｄｘ−Ｄ２）することにより常に正
しい洩れの測定値ＤReを得ることができ信頼性の高い洩
れ検査を実行することができる。
【００３８】請求項２で提案したドリフト補正方法に用
いる洩れ検査装置も図１に示す洩れ検査装置と同様の構
成でよく、特に異なる点はドリフト補正値算出装置４０
に設ける演算手段４５において、マスタリング動作時に
はモデル式中の比例常数Ａを求めるＡ＝（Ｄ２−Ｄ１）
／（Ｔ１−Ｔ２）を演算する動作と、検査モードでは被
検査体２０の初期温度Ｔ１と接続治具２４の初期温度Ｔ
２が変化した場合にＤ２＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｄ１を演
算する点である。
【００３９】以上説明した請求項１及び２で提案したド
リフト補正装置で求めたドリフト補正値Ｄ１とＤ２及び
比例常数Ａと定数Ｃは一度求めれば半永久的に用いるこ
とができる。然し乍ら、この発明では更に定数Ｃと比例
定数Ａに温度依存性が有るものと仮定して、環境温度の
変化に対しても正しい洩れ検査を行なうことができるド
リフト補正装置を提案する。
【００４０】請求項３では温度センサ４６Ａと４６Ｂに
加えて環境温度（周囲の気温）を測定する温度センサ４
６Ｃを設け、環境温度ｔ１とｔ２におけるドリフト補正
値が Ｄｔ１＝Ａｔ１（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ１ Ｄｔ２＝Ａｔ２（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ２ として算出された場合、定数Ｃと比例常数Ａが環境温度
ｔに対して直線的に変化するものと仮定して任意の環境
温度ｔ３におけるドリフト補正値Ｄｔ３を、 Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ とした場合、定数Ｃｔ３を Ｃｔ３＝（ＣＴ２−Ｃｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
−ｔ１）＋Ｃｔ２ によって求め（図３参照）、比例定数Ａｔ３を Ａｔ３＝（Ａｔ２−Ａｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
−ｔ１）＋Ａｔ２ によって求め（図４参照）、これら定数（ｔ３と比例定
数Ａｔ３を用いてドリフト補正値Ｄｔ３を求め、検査モ
ードにおいてこのドリフト補正値Ｄｔ３を用いて測定値
をドリフト補正するドリフト補正値算出装置を提案す
る。
【００４１】このように、定数Ｃｔ３と比例定数Ａｔ３
を求めることにより、任意の環境温度ｔ３におけるドリ
フト補正値Ｄｔ３は上記したように被検査体２０の温度
Ｔ１と接続治具２４の温度Ｔ２を測定することにより、 Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ によって求めることができる。
【００４２】従って、例えば冬期にドリフト補正値Ｄｔ
１を Ｄｔ１＝Ａｔ１（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ１ により求めておき、更に夏期にドリフト補正値Ｄｔ２を Ｄｔ２＝Ａｔ２（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ２ により求めておくことにより、環境温度ｔ１とｔ２の間
又は環境温度ｔ１とｔ２を結ぶ線の延長上の任意の温度
のドリフト補正値Ｄｔ３を求めることができる。
【００４３】図５は請求項３で提案したドリフト補正装
置を適用した洩れ検査装置の実施例を示す。この実施例
では図１に示した洩れ検査装置の構成に加えて環境温度
ｔを測定する温度センサ４６Ｃを設け、任意の環境温度
ｔ３に対応した定数Ｃｔ３と比例定数Ａｔ３を求めるこ
とができるように構成した場合を示す。従ってこの実施
例に示す演算手段４５では上述した環境温度ｔ１とｔ２
におけるドリフト補正値Ｄｔ１とＤｔ２を算出する動作
と、このドリフト補正値Ｄｔ１とＤｔ２を算出する演算
式に用いた環境温度ｔ１，ｔ２と定数Ｃｔ１，Ｃｔ２及
び比例常数Ａｔ１，Ａｔ２を用いて、任意の環境温度ｔ
３における定数Ｃｔ３と比例常数Ａｔ３を算出する動作
を実行し、更に検査モードではこれら定数Ｃｔ３と比例
常数Ａｔ３及び被検査体の温度Ｔ１、接続治具２４の温
度Ｔ２を用いてドリフト補正値Ｄｔ３を算出する動作を
実行し、検査モードではこのドリフト補正値Ｄｔ３をド
リフト補正値記憶器３８Ｂに記憶させドリフト補正を実
行する。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１で提案したドリフト補正値算出装置によれば、被検査
体２０と接続治具２４の温度Ｔ１とＴ２がＴ１＝Ｔ２の
条件に合致している場合にドリフト補正値Ｄ１はＤ１＝
Ｃで規定され、この定数Ｃをマスタリング動作によって
求めておくことにより、如何なる状況下でもＴ１＝Ｔ２
の条件に合致していれば、定数Ｃをドリフト補正値Ｄ１
として用いることができる。
【００４５】この請求項１で提案したドリフト補正値算
出装置によればマスタリング動作によってドリフト補正
値Ｄ１＝Ｃが求められるから少ない演算量でドリフト補
正値Ｄ１を求めることができる。よってこのドリフト補
正値算出装置を用いた洩れ検査装置は構成を簡素にする
ことができる利点が得られる。また、この発明の請求項
２で提案したドリフト補正値算出装置によれば被検査体
２０と接続治具２４の温度Ｔ２がＴ１≠Ｔ２の関係にあ
っても常にその温度Ｔ１とＴ２を温度センサ２５と２６
によって測定し、その温度変化Ｔ１とＴ２に応じてドリ
フト補正値を算出するから常に正しいドリフト補正値Ｄ
２を得ることができる。また、被検査体２０と接続治具
２４の温度Ｔ１とＴ２を常時測定しているから、被検査
体２０と接続治具２４の温度が急変してもその温度変化
に追従してドリフト補正値Ｄ２を算出するから、被検査
体２０と接続治具２４の急激な温度変化に対しても正し
く動作し、特に被検査体２０の温度が急変してもドリフ
ト補正値Ｄ２が修正されるため不良品を良品として判定
するような事故が起きることはない。
【００４６】更に、定数Ｃと比例常数Ａをマスタリング
動作によって求めたから、特に被検査体２０と基準タン
ク２１の内容積、形状等が一致していなくても適正なド
リフト補正値を求めることができる。従って、この発明
の請求項１及び２で提案したドリフト補正値算出装置に
よれば基準タンク２１を被検査体２０の内容積、形状等
を一致させなくてよく、あらゆる内容積及び形状の被検
査体２０に対しても同一の基準タンク２１を用いること
ができる。この結果基準タンク２１を全く交換しなくて
もよく、使い勝手のよい洩れ検査装置を得ることができ
る利点が得られる。
【００４７】一方、この発明の請求項３で提案したドリ
フト補正値算出装置によれば環境温度ｔを測定し、この
環境温度ｔに対応した定数Ｃと比例常数Ａを算出し、こ
の定数Ｃと比例常数Ａを用いて、各環境温度ｔに対応し
たドリフト補正値を求めたから、定数Ｃと比例常数Ａに
温度依存性があっても、正しいドリフト補正値を得るこ
とができる利点が得られる。従って、この請求項３で提
案したドリフト補正方法によれば環境温度が大きく異な
る冬期、夏期でも正しく洩れ検査を実行できる利点が得
られる。また、この請求項３のドリフト補正方法によっ
ても基準タンク２１は交換しなくてよい利点もあり、使
い勝手の向上と信頼性の向上の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の請求項１及び請求項２で提案するド
リフト補正値算出装置を用いた洩れ検査装置の実施例を
示すブロック図。
【図２】この発明で用いるマスタリング動作を説明する
ためのグラフ。
【図３】この発明の請求項３で提案するドリフト補正値
算出装置に用いる演算の様子を模式的に説明したグラ
フ。
【図４】図３と同様のグラフ。
【図５】この発明の請求項３で提案したドリフト補正値
算出装置を適用した洩れ検査装置の実施例を示すブロッ
ク図。
【図６】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図７】従来の技術の動作を説明するためのグラフ。
【符号の説明】
１１ 空圧源 １２ 調圧弁 １３ 圧力計 １４ ３方電磁弁 １５Ａ，１５Ｂ 分岐路 １６，１７ 電磁弁 １８，１９ 導管 ２０ 被検査体 ２１ 基準タンク ２２ 差圧検出器 ２４ 接続治具 ３８ 洩れ検査装置 ４０ ドリフト補正値算出装置 ４１ マスタリング制御手段 ４２ 第１メモリ ４３ 収束判定手段 ４４ 第２メモリ ４５ 演算手段

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被検査体と基準タンクに加圧気体を印加
    し、印加完了時点で加圧気体の供給路を蔽断し、上記印
    加完了時点から一定時間が経過した時点で上記被検査体
    と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器によって測定
    し、その差圧値からドリフト補正値Ｄを除去し、その残
    差値が所定値以上か以下かによって上記被検査体に洩れ
    が有るか否かを判定する洩れ検査装置において、 上記被検査体の初期温度Ｔ１を測定する温度センサと、
    被検査体を洩れ検査装置に接続する接続治具の初期温度
    Ｔ２を測定する温度センサと、上記被検査体と基準タン
    クとの間を導通状態と非導通状態に制御する平衡手段
    と、演算手段とを設け、上記ドリフト補正値Ｄを算出す
    るモデル式をＤ＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃと定め、Ｔ１＝
    Ｔ２の条件下において、上記被検査体と基準タンクに加
    圧気体を印加し、加圧気体の印加後に加圧気体の供給路
    を蔽断し、この蔽断状態において一定時間経過する毎に
    上記差圧検出器で被検査体と基準タンク間に発生する差
    圧値を測定すると共に、この差圧値の測定が終了する毎
    に一定時間ずつ上記平衡手段を動作させて上記被検査体
    と基準タンク間の圧力差を平衡させる動作を繰返し、平
    衡動作を実行する毎に発生する差圧値が一定値に収束し
    たことを検出して、その収束した差圧値を初回に発生し
    た差圧値から上記演算手段により減算し、その減算結果
    を上記Ｔ１＝Ｔ２の条件下におけるドリフト補正値Ｄ１
    ＝Ｃとして算出することを特徴とするドリフト補正値算
    出装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のドリフト補正値算出装置
    において、ドリフト補正値Ｄを算出するモデル式をＤ＝
    Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃと定め、上記被検査体と接続治具
    の各初期温度Ｔ１とＴ２がＴ１≠Ｔ２の条件下において
    上記被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気
    体の印加後に加圧気体の供給路を蔽断し、この蔽断状態
    において一定時間経過する毎に上記差圧検出器で被検査
    体と基準タンク間に発生する差圧値を測定すると共に、
    この差圧値の測定が終了する毎に一定時間ずつ上記平衡
    手段を動作させて上記被検査体と基準タンク間の圧力差
    を平衡させる動作を繰返し、かつ、上記Ｔ１とＴ２がほ
    ぼ等しくなったことと、平衡動作を実行する毎に発生す
    る差圧値が一定値に収束したことを検出して、その収束
    した差圧値を初回に発生した差圧値から上記演算手段に
    より減算し、その減算結果Ｄ２と請求項１に記載のドリ
    フト補正値算出装置によって算出したドリフト補正値Ｄ
    １＝Ｃとによって上記モデル式の比例常数ＡをＡ＝（Ｄ
    ２−Ｄ１）／（Ｔ１−Ｔ２）によって算出し、爾後Ｔ１
    ≠Ｔ２の条件下において上記Ｔ１及びＴ２が変化する毎
    にドリフト補正値Ｄ２をＤ２＝Ａ（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃに
    より算出することを特徴とするドリフト補正値算出装
    置。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のドリフト補正値算出装置
    において、環境温度ｔを測定する温度センサを設け、環
    境温度ｔ１とｔ２におけるドリフト補正値が Ｄｔ１＝Ａｔ１（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ１ Ｄｔ２＝Ａｔ２（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ２ として算出された場合、任意の環境温度ｔ３におけるド
    リフト補正値Ｄｔ３を Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ とし、定数Ｃｔ３を Ｃｔ３＝（Ｃｔ３−Ｃｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
    −ｔ１）＋Ｃｔ２ によって求め、比例常数Ａｔ３を Ａｔ３＝（Ａｔ２−Ａｔ１）・（ｔ３−ｔ２）／（ｔ２
    −ｔ１）＋Ａｔ２ によって求め、爾後、環境温度ｔ３におけるドリフト補
    正値Ｄｔ３を Ｄｔ３＝Ａｔ３（Ｔ１−Ｔ２）＋Ｃｔ３ によって算出することを特徴とするドリフト補正値算出
    装置。
  4. 【請求項４】 請求項１記載のドリフト補正値算出装置
    を具備し、このドリフト補正値算出装置が算出するドリ
    フト補正値Ｄ１を被検査体と基準タンクとの間に発生す
    る差圧値から減算し、その残差値が規定値以上か以下か
    によって上記被検査体の良否を判定することを特徴とす
    る洩れ検査装置。
  5. 【請求項５】 請求項２記載のドリフト補正値算出装置
    を具備し、このドリフト補正値算出装置が算出するドリ
    フト補正値Ｄ２を被検査体と基準タンクとの間に発生す
    る差圧値から減算し、その残差値が規定値以上か以下か
    によって上記被検査体の良否を判定することを特徴とす
    る洩れ検査装置。
  6. 【請求項６】 請求項３記載のドリフト補正値算出装置
    を具備し、このドリフト補正値算出装置が算出するドリ
    フト補正値Ｄｔ３を被検査体と基準タンクとの間に発生
    する差圧値から減算し、その残差値が規定値以上か以下
    かによって上記被検査体の良否を判定することを特徴と
    する洩れ検査装置。
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