JPH11119140A - How to fix rotating polygon mirror - Google Patents
How to fix rotating polygon mirrorInfo
- Publication number
- JPH11119140A JPH11119140A JP9280390A JP28039097A JPH11119140A JP H11119140 A JPH11119140 A JP H11119140A JP 9280390 A JP9280390 A JP 9280390A JP 28039097 A JP28039097 A JP 28039097A JP H11119140 A JPH11119140 A JP H11119140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- rotating
- mirror
- rotary polygon
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転軸に対する回転多面鏡(11,24)の
反射面の偏心精度および面の倒れ精度の劣化を防ぎ、画
質を向上させた回転多面鏡の固定方法を提供する。
【解決手段】 回転多面鏡の駆動モータ回転軸(3)に
固定され、回転多面鏡により光ビーム発生手段から出射
された光ビームを偏向走査する光偏向装置における回転
多面鏡の固定方法において、前記回転多面鏡の各鏡面部
の回転中心軸に対する相対位置関係を検知しつつ、前記
駆動モータ回転軸に接着固定されることを特徴としてい
る。なお、駆動モータ回転軸は、回転多面鏡との嵌合部
がテーパー状をなしていることが好ましく、さらに、回
転多面鏡の各鏡面部の相対位置関係を検知し、該相対位
置関係を調整するために回転多面鏡把持手段(50,1
50)が用いられることも好ましい。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for fixing a rotating polygonal mirror with improved image quality by preventing deterioration of eccentricity of a reflecting surface of a rotating polygonal mirror (11, 24) with respect to a rotation axis and deterioration of a surface tilting accuracy. . A method for fixing a rotary polygon mirror in an optical deflector fixed to a drive motor rotation shaft (3) of a rotary polygon mirror and deflecting and scanning a light beam emitted from a light beam generating means by the rotary polygon mirror. It is characterized in that the rotary polygon mirror is adhered and fixed to the drive motor rotation shaft while detecting the relative positional relationship of each mirror surface portion with respect to the rotation center axis. Preferably, the drive motor rotating shaft has a tapered shape at a fitting portion with the rotating polygon mirror, and further detects a relative positional relationship between the respective mirror portions of the rotating polygon mirror and adjusts the relative positional relationship. Rotating polygon mirror holding means (50, 1
It is also preferred that 50) be used.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビーム等の
光束を、例えば感光体上に走査するための回転多面鏡を
備えた光偏向装置におけるその回転多面鏡の固定方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for fixing a rotary polygon mirror in an optical deflector provided with a rotary polygon mirror for scanning a light beam such as a laser beam on a photosensitive member, for example.
【0002】[0002]
【従来の技術】図5は、従来例の固定方法に係る非接触
軸受を用いた光偏向装置の断面図である。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a sectional view of an optical deflector using a non-contact bearing according to a conventional fixing method.
【0003】近年、この種の走査光学装置では、回転多
面鏡を高速あるいは高精度で回転させることが要求され
ており、特にレーザビームプリンタ等では高精度の光偏
向装置を得るために、非接触で回転する軸受が用いられ
ることがある。In recent years, this type of scanning optical device has been required to rotate a rotary polygon mirror at high speed or with high accuracy. Particularly, in a laser beam printer or the like, in order to obtain a high-precision light deflecting device, a non-contact type is required. In some cases, a bearing that rotates at a speed may be used.
【0004】図5に示す例は、本出願人により出願され
た特開平6−75185号記載の、非接触軸受を用いた
レーザビームプリンタの光偏向装置である。固定軸21
の周りに回転スリーブ22が回転可能に嵌合され、これ
らはセラミック材料で形成されている。回転スリーブ2
2の外周には、金属材料で形成されたミラー受け部材2
3が焼き嵌め等により取り付けられ、ミラー受け部材2
3には回転多面鏡24が板ばね25により固定されてい
る。さらに、駆動マグネット26が接着等により固定さ
れている。固定軸21はモータハウジング27に固定さ
れ、モータハウジング27には駆動マグネット26と対
向する位置にステータ28および電気部品等を取り付け
たモータ基板29が配置され、駆動モータを構成してい
る。回転スリーブ22の下側には永久磁石30が配置さ
れる一方で、固定軸21には永久磁石30と上下方向に
対向する永久磁石31が配置させ、これらの永久磁石3
0,31は互いに反発し、スラスト荷重を支えている。An example shown in FIG. 5 is an optical deflecting device of a laser beam printer using a non-contact bearing described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-75185 filed by the present applicant. Fixed shaft 21
A rotatable sleeve 22 is rotatably fitted around and is formed of a ceramic material. Rotating sleeve 2
2, a mirror receiving member 2 made of a metal material
3 is attached by shrink fitting or the like, and the mirror receiving member 2
A rotating polygon mirror 24 is fixed to 3 by a leaf spring 25. Further, a drive magnet 26 is fixed by bonding or the like. The fixed shaft 21 is fixed to a motor housing 27, and a motor board 29 on which a stator 28 and electric components are attached is disposed at a position facing the drive magnet 26 in the motor housing 27, and forms a drive motor. A permanent magnet 30 is disposed below the rotating sleeve 22, while a permanent magnet 31 that is vertically opposed to the permanent magnet 30 is disposed on the fixed shaft 21.
0 and 31 repel each other and support the thrust load.
【0005】ここで、駆動モーターにより回転スリーブ
22が回転されると固定軸21と回転スリーブ22との
間に空気膜が形成され、非接触で回転スリーブ22およ
び回転多面鏡24を回転駆動させることができる。ま
た、回転体に外力が加わった際に回転体が上下動しない
ような空気溜りを形成するように軸受キャップを回転ス
リーブ22の上端に取付けエアーダンパ効果を持たせる
ことができる。Here, when the rotating sleeve 22 is rotated by the driving motor, an air film is formed between the fixed shaft 21 and the rotating sleeve 22, and the rotating sleeve 22 and the rotating polygon mirror 24 are driven to rotate without contact. Can be. Also, a bearing cap can be attached to the upper end of the rotating sleeve 22 to have an air damper effect so that an air pocket is formed so that the rotating body does not move up and down when an external force is applied to the rotating body.
【0006】[0006]
【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、上述の
従来例では、回転多面鏡を回転軸に嵌合させ、板ばねに
より固定されるので次のような欠点があった。However, in the above-mentioned conventional example, the rotating polygon mirror is fitted on the rotating shaft and is fixed by the leaf spring, and thus has the following disadvantages.
【0007】(1)回転多面鏡は回転軸に嵌合されるの
で、回転軸外径と回転多面鏡内径との嵌合がたにより鏡
面部の偏心が生じ、回転多面鏡の加工精度による偏心と
が重なって、偏心量が大きくなり、光ビームを回転多面
鏡に照射した時の反射点が回転軸に対してずれるので、
偏向走査されるビームが反射面によって一様でなくなり
画質の劣化を引き起こすことがある。(1) Since the rotating polygon mirror is fitted to the rotating shaft, the outer diameter of the rotating shaft and the inner diameter of the rotating polygon mirror are fitted to each other, causing eccentricity of the mirror surface portion, and eccentricity due to the processing accuracy of the rotating polygon mirror. Overlap, the eccentricity increases, and the reflection point when the light beam is irradiated on the rotating polygon mirror is shifted with respect to the rotation axis.
The beam to be deflected and scanned may not be uniform due to the reflection surface, which may cause deterioration in image quality.
【0008】(2)回転多面鏡の各反射面の回転軸に対
する面の倒れを少なくするために、回転軸に設けられた
ミラー受け部材の座面を高精度にする必要があるととも
に、この座面と回転多面鏡の精度が積み重なることによ
り、面の倒れ精度が劣化し、画像の劣化を招くことがあ
る。(2) In order to reduce the inclination of each reflection surface of the rotary polygon mirror with respect to the rotation axis, it is necessary to make the seat surface of the mirror receiving member provided on the rotation shaft highly accurate, When the accuracy of the surface and the rotating polygon mirror are accumulated, the accuracy of the inclination of the surface is degraded, which may cause deterioration of the image.
【0009】本発明の目的は、上述の欠点を解消し、回
転軸に対する回転多面鏡の反射面の偏心精度および倒れ
精度の劣化を防ぎ、画質の向上を図ることである。An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks, prevent deterioration of the eccentricity and tilting accuracy of the reflecting surface of the rotary polygon mirror with respect to the rotating shaft, and improve the image quality.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明の回転多面鏡の固
定方法は、回転多面鏡の駆動モータ回転軸に固定され、
回転多面鏡により光ビーム発生手段から出射された光ビ
ームを偏向走査する光偏向装置における回転多面鏡の固
定方法において、前記回転多面鏡の各鏡面部の回転中心
軸に対する相対位置関係を検知しつつ、前記駆動モータ
回転軸に接着固定されることを特徴としている。According to the present invention, there is provided a method for fixing a rotating polygon mirror, the method comprising:
In a method for fixing a rotary polygon mirror in an optical deflector that deflects and scans a light beam emitted from a light beam generating means by a rotary polygon mirror, a relative positional relationship of each mirror surface portion of the rotary polygon mirror with respect to a rotation center axis is detected. , And is adhered and fixed to the drive motor rotating shaft.
【0011】なお、駆動モータ回転軸は、回転多面鏡と
の嵌合部がテーパー状をなしていることが好ましく、さ
らに、回転多面鏡の各鏡面部の相対位置関係を検知し、
その相対位置関係を調整するために回転多面鏡把持手段
が用いられることも好ましい。It is preferable that the drive motor rotating shaft has a tapered shape at a fitting portion with the rotary polygon mirror, and further detects a relative positional relationship between each mirror surface portion of the rotary polygon mirror.
It is also preferable that a rotating polygon mirror holding means is used to adjust the relative positional relationship.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態例につい
て図面を参照して説明する。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0013】図1は、本発明の回転多面鏡の固定方法の
一実施形態例に係る光偏向装置の断面図、図2は、本形
態例に係る回転多面鏡の位置調整方法を説明する斜視
図、図3は、本形態例に係る位置関係を検知するセンサ
の配置を説明する平面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical deflecting device according to an embodiment of a method for fixing a rotating polygon mirror according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view illustrating a position adjusting method of the rotating polygon mirror according to the embodiment. FIG. 3 and FIG. 3 are plan views illustrating the arrangement of sensors for detecting a positional relationship according to the present embodiment.
【0014】図1において、駆動モータのハウジング1
にセラミック材料から成る固定軸2が固定され、同じく
セラミック材料から成る回転スリーブ3が固定軸2に回
転自在に嵌合されている。ここで固定軸2および回転ス
リーブ3に用いられるセラミック材料は、ごみ等の混入
や高速回転での振動等により接触した場合でもかじり等
を生ずる可能性が少ない。回転スリーブ3の外周には駆
動マグネット5が接着により固定され、ハウジング1に
固定された基板6上にステータ7が駆動マグネット5に
対向するように配置されることにより、駆動モータが構
成されている。In FIG. 1, a housing 1 of a drive motor is shown.
A fixed shaft 2 made of a ceramic material is fixed on the fixed shaft 2, and a rotating sleeve 3 also made of a ceramic material is rotatably fitted to the fixed shaft 2. Here, the ceramic material used for the fixed shaft 2 and the rotary sleeve 3 has a low possibility of causing galling or the like even when the ceramic material is in contact with dust or the like due to vibration at high speed rotation. A drive magnet 5 is fixed to the outer periphery of the rotary sleeve 3 by bonding, and a stator 7 is disposed on a substrate 6 fixed to the housing 1 so as to face the drive magnet 5, thereby forming a drive motor. .
【0015】また、回転スリーブ3の下端には、固定軸
2に配置された第1の永久磁石8と同種の磁極が上下方
向に対向するように第2の永久磁石9が固定される。ま
た、ハウジング1の回転スリーブ3の近傍には、回転ス
リーブ3の下端に固定された第2の永久磁石9を固定軸
2に設けられた第1の永久磁石8に押え付ける方向に反
発力が作用するように第3の永久磁石10が配置される
ことによって、回転スリーブ3およびそれに取り付けら
れた部品はスラスト方向に支持されている。A second permanent magnet 9 is fixed to the lower end of the rotating sleeve 3 such that magnetic poles of the same type as the first permanent magnet 8 disposed on the fixed shaft 2 are vertically opposed. In the vicinity of the rotary sleeve 3 of the housing 1, a repulsive force is exerted in a direction in which the second permanent magnet 9 fixed to the lower end of the rotary sleeve 3 is pressed against the first permanent magnet 8 provided on the fixed shaft 2. With the third permanent magnet 10 arranged to operate, the rotating sleeve 3 and the components attached thereto are supported in the thrust direction.
【0016】また、回転スリーブ3の上端にはキャップ
12が配置され、その下方にエアーダンパ室13が形成
され、スラスト方向の動きを安定させている。次に、回
転多面鏡11は回転スリーブ3の所定の位置に調整接着
により固定される。A cap 12 is disposed at the upper end of the rotary sleeve 3, and an air damper chamber 13 is formed below the cap 12 to stabilize the movement in the thrust direction. Next, the rotating polygon mirror 11 is fixed to a predetermined position of the rotating sleeve 3 by adjustment bonding.
【0017】ここで、図2を用いて回転多面鏡11を調
整する際の調整方法について具体的に説明する。Here, an adjusting method for adjusting the rotary polygon mirror 11 will be specifically described with reference to FIG.
【0018】回転多面鏡11は、回転スリーブ3の所定
位置近傍に置かれた後、把持調整手段50によって保持
され、2つがそれぞれ対向する計4つのセンサ51,5
2,53,54により、回転多面鏡11の4つの鏡面部
の回転中心軸に対する相対距離がほぼ等しくなるように
位置決めするとともに、上記4つの鏡面部の面の倒れが
ないように傾きが調節される。位置センサ51〜54
は、それぞれ発光部51a,52a,53a,54aと
受光部51b,52b,53b,54bに分かれてお
り、所定の位置に予め調整されて設置されている。把持
調整手段50は回転多面鏡11を真空チャック等により
把持し、XY方向および傾きθ1 方向,θ2方向への動
きが可能となっている。これにより、回転多面鏡11の
XY方向およびθ方向の位置調整が行われた後、回転多
面鏡11と回転スリーブ3との間に接着剤14を流し込
むことにより固定される。After the rotary polygon mirror 11 is placed near a predetermined position of the rotary sleeve 3, the rotary polygon mirror 11 is held by the grip adjusting means 50, and four sensors 51 and 5 are opposed to each other.
The positions of the four mirrors of the rotary polygon mirror 11 are adjusted so that the relative distances to the rotation center axis are substantially equal, and the inclination of the four mirrors is adjusted so that the surfaces of the four mirrors do not fall. You. Position sensors 51 to 54
Are divided into light-emitting units 51a, 52a, 53a, 54a and light-receiving units 51b, 52b, 53b, 54b, respectively, and are adjusted in advance at predetermined positions. Gripping adjusting means 50 the rotary polygonal mirror 11 is gripped by the vacuum chuck or the like, XY direction and the inclination theta 1 direction, the movement of the theta 2 direction is possible. Thus, after the position adjustment of the rotary polygon mirror 11 in the XY directions and the θ direction is performed, the rotary polygon mirror 11 is fixed by pouring the adhesive 14 between the rotary polygon mirror 11 and the rotary sleeve 3.
【0019】以上のような方法により回転多面鏡11が
回転スリーブ3に固定されることにより、回転多面鏡1
1の反射面部は回転軸に対してほぼ均等な位置に固定さ
れるので、回転多面鏡11の変身による画質の劣化を防
ぐことが可能となる。By fixing the rotating polygon mirror 11 to the rotating sleeve 3 by the above-described method, the rotating polygon mirror 1 is fixed.
Since the one reflecting surface portion is fixed at a position substantially equal to the rotation axis, it is possible to prevent the deterioration of the image quality due to the transformation of the rotating polygon mirror 11.
【0020】上記説明においては、回転多面鏡11が4
面の場合について各4面の反射面の位置を検知する場合
について述べたが、回転多面鏡11が5面以上の場合に
おいても、各反射面を同時に検知すればよいことは云う
までもない。また、5面以上の場合においても、図3の
如く回転多面鏡24のX,Y方向に位置センサ61,6
2,63,64を設ければ、偏心精度は同等の効果が得
られ、面の倒れ精度についてもほぼ同等の効果が得られ
る。In the above description, the rotating polygon mirror 11 has four
Although the case of detecting the positions of the four reflecting surfaces has been described for the case of the surfaces, it is needless to say that even when the number of the rotating polygon mirror 11 is five or more, it is only necessary to detect the respective reflecting surfaces simultaneously. Even in the case of five or more surfaces, the position sensors 61, 6 in the X and Y directions of the rotary polygon mirror 24 as shown in FIG.
If 2, 63 and 64 are provided, the same effect can be obtained for the eccentricity accuracy, and the substantially same effect can be obtained for the inclination accuracy of the surface.
【0021】なお、本実施形態例の、回転スリーブ型の
空気軸受を用いた光偏向装置を例にして述べたが、軸回
転型の空気軸受や玉軸受を用いた光偏向装置についても
同様に実施することができる。Although the optical deflecting device using a rotary sleeve type air bearing of this embodiment has been described as an example, the optical deflecting device using a shaft rotary type air bearing or a ball bearing is similarly used. Can be implemented.
【0022】次に、第2の実施形態例について説明す
る。Next, a second embodiment will be described.
【0023】図4は、第2の実施形態例に係る回転多面
鏡の位置調整方法を説明する斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining a method for adjusting the position of the rotary polygon mirror according to the second embodiment.
【0024】第1の実施形態例の図1〜図3に示したも
のと同じ同じ部材で機能が同じものについては同一番号
を付し、説明を省略する。The same members having the same functions as those shown in FIGS. 1 to 3 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【0025】図4において、回転軸103は回転多面鏡
11の固定される部分がテーパー103aになってい
る。回転多面鏡11が取り付けられると嵌合がたがない
状態で取り付けられるので、反射面の偏心を抑えること
ができる。一方、反射面の倒れに関しては、実施形態例
1と同様に位置センサを配置することにより、回転多面
鏡11を把持調整手段150により傾きθ1 ,θ2 方向
の動きを調整した後に回転多面鏡11と回転軸103と
の間に接着剤を流し込むことにより固定される。In FIG. 4, a portion of the rotating shaft 103 to which the rotating polygon mirror 11 is fixed is tapered 103a. When the rotary polygon mirror 11 is mounted, the rotary polygon mirror 11 is mounted without any looseness, so that the eccentricity of the reflecting surface can be suppressed. On the other hand, regarding the inclination of the reflecting surface, a position sensor is arranged in the same manner as in the first embodiment, so that the rotation polygon mirror 11 is adjusted by the grip adjustment means 150 in the tilt θ 1 and θ 2 directions, and then the rotation polygon mirror is adjusted. It is fixed by pouring an adhesive between 11 and the rotating shaft 103.
【0026】このような方法により回転多面鏡11が回
転スリーブに固定されることにより、回転多面鏡11の
反射面は、回転軸103のテーパー部103aにより偏
心を除去することができ、面の倒れに関してもθ1 ,θ
2 方向の調整により抑えることが可能となり、実施形態
例1と同様の効果を得られるとともに、把持調整手段1
50の機能としてはθ1 ,θ2 方向の調整だけでよく、
調整の工数の低減、したがって装置のコストを低減でき
る。When the rotary polygon mirror 11 is fixed to the rotary sleeve by such a method, the reflection surface of the rotary polygon mirror 11 can be decentered by the tapered portion 103a of the rotary shaft 103, and the surface is tilted. Also for θ 1 , θ
It is possible to suppress by adjusting in two directions, and the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
The function of 50 only needs to be adjusted in the θ 1 and θ 2 directions.
The number of adjustment steps can be reduced, and thus the cost of the apparatus can be reduced.
【0027】また、把持調整手段150を回転させるこ
とによって、位置センサは1箇所だけで各反射面の倒れ
を確認し、それに合わせて調整することも可能となり、
これによっても装置コストの低減が可能となる。Further, by rotating the grip adjusting means 150, the position sensor can confirm the inclination of each reflecting surface at only one place and adjust accordingly.
This also makes it possible to reduce the apparatus cost.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、回転多面
鏡の各鏡面部の相対位置関係を検知しつつ、駆動モータ
回転軸に接着固定することにより、回転軸に対する回転
多面鏡の各鏡面部の偏心および面の倒れを少なくし、画
質を向上させた、回転多面鏡の固定方法を提供できる効
果がある。As described above, according to the present invention, each mirror surface of the rotary polygon mirror with respect to the rotary shaft is fixed by bonding to the rotary shaft of the drive motor while detecting the relative positional relationship between the mirror surfaces of the rotary polygon mirror. There is an effect that it is possible to provide a method for fixing a rotary polygon mirror, in which the eccentricity of the section and the inclination of the surface are reduced and the image quality is improved.
【図1】本発明の回転多面鏡の固定方法の一実施形態例
に係る光偏向装置の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a light deflecting device according to an embodiment of a method for fixing a rotary polygon mirror of the present invention.
【図2】本形態例に係る回転多面鏡の位置調整方法を説
明する斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a method for adjusting the position of the rotary polygon mirror according to the embodiment.
【図3】本形態例に係る位置関係を検知するセンサの配
置を説明する平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating an arrangement of sensors for detecting a positional relationship according to the embodiment.
【図4】第2の実施形態例に係る回転多面鏡の位置調整
方法を説明する斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating a method for adjusting the position of a rotary polygon mirror according to a second embodiment.
【図5】従来例の固定方法に係る非接触軸受を用いた光
偏向装置の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of an optical deflector using a non-contact bearing according to a conventional fixing method.
1,27 駆動モータのハウジング 2,21 固定軸 3,22 回転スリーブ(回転軸) 5,26 駆動マグネット 6,29 基板 7,28 ステータ 8 第1の永久磁石 9 第2の永久磁石 10 第3の永久磁石 11,24 回転多面鏡 12 キャップ 13 エアーダンパ室 14 接着剤 23 ミラー受け部材 25 板ばね 30,31 永久磁石 50,150 把持調整手段 51〜54,61〜64 位置検知センサ 51a〜54a 発光部 51b〜54b 受光部 103 回転軸 103a テーパ部 X,Y 方向 θ1 ,θ2 傾き角1,27 Drive motor housing 2,21 Fixed shaft 3,22 Rotary sleeve (rotary shaft) 5,26 Drive magnet 6,29 Substrate 7,28 Stator 8 First permanent magnet 9 Second permanent magnet 10 Third Permanent magnet 11, 24 Rotating polygon mirror 12 Cap 13 Air damper chamber 14 Adhesive 23 Mirror receiving member 25 Leaf spring 30, 31, Permanent magnet 50, 150 Grip adjusting means 51-54, 61-64 Position detection sensor 51a-54a Light emitting unit 51b to 54b Light receiving unit 103 Rotation axis 103a Tapered part X, Y directions θ 1 , θ 2 Tilt angle
Claims (3)
れ、前記回転多面鏡により光ビーム発生手段から出射さ
れた光ビームを偏向走査する光偏向装置における前記回
転多面鏡の固定方法において、 前記回転多面鏡の各鏡面部の回転中心軸に対する相対位
置関係を検知しつつ、前記駆動モータ回転軸に接着固定
されることを特徴とする回転多面鏡の固定方法。1. A method of fixing a rotary polygon mirror in an optical deflector fixed to a rotary shaft of a driving motor of a rotary polygon mirror and deflecting and scanning a light beam emitted from a light beam generating means by the rotary polygon mirror, A method for fixing a rotary polygon mirror, wherein the relative position of each mirror portion of the rotary polygon mirror with respect to a rotation center axis is detected and adhered to the drive motor rotation shaft.
合部がテーパー状をなしている、請求項1記載の回転多
面鏡の固定方法。2. The method according to claim 1, wherein the drive motor rotating shaft has a tapered shape at a fitting portion with the rotating polygon mirror.
検知し、該相対位置関係を調整するために回転多面鏡把
持手段が用いられる、請求項1または2記載の回転多面
鏡の固定方法。3. The fixing of the rotary polygon mirror according to claim 1, wherein a relative position relationship between the respective mirror portions of the rotary polygon mirror is detected, and a rotating polygon mirror holding means is used to adjust the relative position relationship. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9280390A JPH11119140A (en) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | How to fix rotating polygon mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9280390A JPH11119140A (en) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | How to fix rotating polygon mirror |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11119140A true JPH11119140A (en) | 1999-04-30 |
Family
ID=17624364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9280390A Pending JPH11119140A (en) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | How to fix rotating polygon mirror |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11119140A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101175181B1 (en) | 2010-11-29 | 2012-08-20 | 주식회사 루트로닉 | Apparatus for position control of mirror consisting of position sensor |
| JP2017102272A (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 株式会社ニコン | Beam scanning apparatus, beam scanning method, and pattern writing apparatus |
| CN119179162A (en) * | 2024-11-21 | 2024-12-24 | 宁波永新光学股份有限公司 | Mounting equipment for patch turning mirror in vehicle-mounted laser radar |
| WO2025225157A1 (en) * | 2024-04-26 | 2025-10-30 | ミネベアミツミ株式会社 | Motor |
-
1997
- 1997-10-14 JP JP9280390A patent/JPH11119140A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101175181B1 (en) | 2010-11-29 | 2012-08-20 | 주식회사 루트로닉 | Apparatus for position control of mirror consisting of position sensor |
| JP2017102272A (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 株式会社ニコン | Beam scanning apparatus, beam scanning method, and pattern writing apparatus |
| WO2025225157A1 (en) * | 2024-04-26 | 2025-10-30 | ミネベアミツミ株式会社 | Motor |
| CN119179162A (en) * | 2024-11-21 | 2024-12-24 | 宁波永新光学股份有限公司 | Mounting equipment for patch turning mirror in vehicle-mounted laser radar |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100208000B1 (en) | Laser scanning unit | |
| EP0684497B1 (en) | Magnetic thrust bearing for polygon mirror scanner | |
| JPH08223858A (en) | Inner rotor motor | |
| JPH11119140A (en) | How to fix rotating polygon mirror | |
| JPH08237894A (en) | Scan optical device balance correction method | |
| JP3198103B2 (en) | Manufacturing method of optical deflection device | |
| US5363231A (en) | Light deflecting device | |
| JPH08121471A (en) | Light deflecting device having dynamic pressure bearing | |
| JP2799722B2 (en) | Scanning optical device and adjusting device for this device | |
| JP2008003231A (en) | Scanning optical device | |
| JP3312695B1 (en) | Polygon scanner motor | |
| JPH0624806Y2 (en) | Scanning optics | |
| JPH09197329A (en) | Optical deflection scanning device | |
| JPH05297309A (en) | Light deflection device | |
| JP3382448B2 (en) | Light deflection device | |
| JP3671708B2 (en) | Optical deflection device | |
| JPH09297276A (en) | Rotating polygon mirror | |
| JP2006154391A (en) | Deflection scanner | |
| JPH08338960A (en) | Scanning optics | |
| JPH0876044A (en) | Scanning optics | |
| JP2000120659A (en) | Dynamic pressure air bearing, motor with the bearing, and light polarizer | |
| JPH08338961A (en) | Light deflector | |
| JPH03177809A (en) | Optical deflector | |
| JPH07159712A (en) | Optical deflection scanning device | |
| JP2015215446A (en) | Optical scanner and adjustment method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |