JPH11123675A - ロボットの垂直軸上下機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロボット本体の全高を従来と同等に抑えなが
らアーム機構の昇降ストロークを長くする。 【解決手段】 ワークを把持するためのアーム機構を上
下動させる垂直軸５を備え、該垂直軸５を駆動源により
上下動させるロボットの垂直軸上下機構２において、垂
直軸５を上下動可能に支持する固定フレーム７に、駆動
源によって上下動方向に移動可能な可動フレーム８を設
け、該可動フレーム８に該可動フレーム８の動きによっ
て移動距離が増幅される増幅機構９を取り付け、該増幅
機構９に垂直軸５を連結する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを保持して
上下動させるロボットの垂直軸上下機構に関する。さら
に詳述すると、本発明はワークを保持するアーム機構を
支持する垂直軸を上下動させるロボットの垂直軸上下機
構に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の
薄板状のワークをストッカから加工装置等に搬送するた
めに搬送用ロボットが使用される。このようなワークは
塵埃を避ける必要があるため搬送等の作業は全てクリー
ンルーム内で行われる。そして、ワークを搬送する際は
搬送用ロボットや加工装置から出る塵埃を避けるため
に、ワークを搬送するパスラインの高さを床面から約９
５０〜１０５０ｍｍとして、このパスラインの下方に搬
送用ロボットや加工装置を設置している。ここで、パス
ラインの高さを約９５０〜１０５０ｍｍとしているの
は、その下方に搬送用ロボットや加工装置の本体を納め
る必要があるのである程度の高さを確保しなければなら
ないことと、パスラインの下方にできるだけデッドスペ
ースを作りたくないので余り高くしたくないことと、作
業者による作業のし易さを考慮したためである。

【０００３】そして、上下に積み重ねたストッカの最下
段をワークのパスラインの高さと同等にして設置してい
る。これにより、例えばストッカの上部に収容されたワ
ークを取り出す際は、ロボットのアームをパスラインの
高さから上方に移動させてストッカからワークを取り出
して再びパスラインにまで下降させる。

【０００４】搬送用ロボット１０１は、図８及び図９に
示すように、ワークを保持するアーム機構１０２と、ア
ーム機構１０２を支持して上下動する垂直軸（クイル）
１０３と、垂直軸１０３の下部を支持して垂直軸１０３
と共に上下動するスライダ１０４と、スライダ１０４を
上下動させる鉛直なボールねじ１０５と、ボールねじ１
０５を回転可能に支持する固定フレーム１０６と、ボー
ルねじ１０５を回転させる駆動モータ１０７とを備えて
いる。そして、駆動モータ１０７によりボールねじ１０
５を回転させてスライダ１０４を昇降させることによ
り、垂直軸１０３及びアーム機構１０２を上下動させ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た搬送用ロボット１０１はアーム機構１０２及び垂直軸
１０３を支持するスライダ１０４が固定フレーム１０６
に対して直接取り付けられて昇降するので、アーム機構
１０２の昇降ストロークＳは最長でもロボット本体１０
８の全高ＨＡからスライダ１０４の高さＨＳを差し引い
た高さとなる。すなわち、ロボット本体１０８の全高Ｈ
Ａは数式１に示すものとなるが、

【０００６】

【数１】ＨＡ＝ＨＳ＋Ｓ＋ＨＢ＋ＨＭ 但し、ＨＳ：スライダの高さ、 Ｓ：昇降ストローク、 ＨＢ：ベースの高さ、 ＨＭ：余裕高さ このうちベース１０９の高さＨＢと余裕高さＨＭとは全
高ＨＡに比べて極めて小さいので全高ＨＡはスライダ１
０４の高さＨＳとアーム機構１０２の昇降ストロークＳ
との合計とほぼ等しくなる。これにより、アーム機構１
０２の昇降ストロークＳを長くするにはロボット本体１
０８の全高ＨＡを高くする必要がある。

【０００７】ところで、近年の液晶用ガラス基板の拡大
化により、ガラス板の撓みが大きくなっている。このた
め、ストッカの各段の上下間隔（ピッチ）を大きくする
必要が生じているので、ストッカの全高が大きくなって
しまう。例えば、ストッカの各段の上下間隔は従来は１
０ｍｍ程度であったものが近年では３４ｍｍ程度にまで
大きくなっており、この間隔によると例えば２０段のス
トッカの全高は約７５０ｍｍにもなってしまう。

【０００８】そして、このように高いストッカのガラス
板を出し入れするためにはアーム機構１０２の昇降スト
ロークＳを長くする必要があり、このためにはロボット
本体１０８の全高ＨＡを高くしなければならない。とこ
ろが、ロボット本体１０８の全高ＨＡを高くするとパス
ラインＰの高さを上げてしまうので、パスラインＰの下
方に大きなデッドスペースを生じてしまうと共に作業性
が劣ることになってしまう。

【０００９】ここで、クリーンルームの床の一部に凹ん
だ穴部を設けて搬送用ロボット１０１を入れ込んで配置
することがある。この配置によればアーム機構１０２の
昇降ストロークＳを長くするためにロボット本体１０８
の全高ＨＡを高くしてしてもパスラインＰを従来と同等
の高さに抑えることができる。しかし、このような穴部
に搬送用ロボット１０１を配置すると、搬送用ロボット
１０１の配置位置が穴部に制限されてしまい、各装置の
レイアウトの自由度が低下してしまう。また、搬送用ロ
ボット１０１に対して洗浄機等を自由に着脱できなくな
るので、設置現場でなければデバッグ作業ができなくな
ってしまいメンテナンスが煩雑になってしまう。

【００１０】そこで、本発明は、ロボット本体の全高を
従来と同等に抑えながらアーム機構の昇降ストロークを
長くしたロボットの垂直軸上下機構を提供することを目
的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに請求項１の発明は、ワークを把持するためのアーム
機構を上下動させる垂直軸を備え、該垂直軸を駆動源に
より上下動させるロボットの垂直軸上下機構において、
垂直軸を上下動可能に支持する固定フレームに、駆動源
によって上下動方向に移動可能な可動フレームを設け、
該可動フレームに該可動フレームの動きによって移動距
離が増幅される増幅機構を取り付け、該増幅機構に垂直
軸を連結するようにしている。

【００１２】したがって、駆動源を駆動させると可動フ
レームが上下動する。そして、可動フレームの上下動に
よって増幅機構が作動する。増幅機構は可動フレームの
移動距離を増幅して垂直軸を上下動させる。ここで、ア
ーム機構が最下位置にあるときは、固定フレームと可動
フレームとが水平方向に並ぶので、ロボット本体の全高
はこれら並んだ固定フレームと可動フレームとのうち高
いものと同等の高さとなる。このため、可動フレームの
昇降ストロークは、最長でも固定フレームと可動フレー
ムとのうち短い方の長さとなるのでロボット本体の全高
よりも短くなる。しかし、可動フレームの昇降ストロー
クが増幅されて垂直軸の昇降ストロークとなっているの
で、垂直軸の昇降ストロークを例えばロボット本体の全
高よりも長くすることができる。したがって、ロボット
本体の全高を従来と同等の高さに設定してもアーム機構
の昇降ストロークを従来より長くすることができる。

【００１３】また、請求項２のロボットの垂直軸上下機
構では、増幅機構は可動フレームの上下部に備えた２つ
のプーリと該プーリに巻回した歯付ベルトとを備え、プ
ーリの間に位置する歯付ベルトの一方に固定フレームを
連結すると共に、プーリの間に位置する歯付ベルトの他
方に垂直軸を連結するようにしている。

【００１４】したがって、駆動源により可動フレームを
上下動させると、２つのプーリ及び歯付ベルトも上下動
する。このとき、プーリの間に位置する歯付ベルトの一
方が固定フレームに連結されているので、当該一方の歯
付ベルトは固定フレームに対して移動しない。そして、
２つのプーリが上下動することによりプーリの間に位置
する歯付ベルトの他方、即ち垂直軸が連結された方の歯
付ベルトが固定フレームに対して移動する。ここで、固
定フレームに対する可動フレームの移動量と可動フレー
ムに対する垂直軸の移動量とは等しいので、垂直軸の固
定フレームに対する移動量は可動フレームの移動量の２
倍に増幅される。すなわち、垂直軸の昇降ストロークは
可動フレームの上下動のストロークの２倍となる。この
ため、ロボット本体の全高を従来と同等の高さに設定し
ても、アーム機構の昇降ストロークを従来より長くする
ことができる。

【００１５】さらに、請求項３のロボットの垂直軸上下
機構では、可動フレームを該可動フレームと共に上下動
する円筒形の可動筒内に垂直軸と収納すると共に、垂直
軸を可動筒より突出可能とするようにしている。したが
って、可動フレーム及び垂直軸を可動筒内に収納してい
るので、ロボットの垂直軸上下機構の可動部分をその周
囲から遮蔽することができる。このため、この可動部分
から発生する塵埃が周囲に飛散してワークに付着するこ
とを防止できる。

【００１６】また、請求項４のロボットの垂直軸上下機
構では、アーム機構は多関節アーム機構であるようにし
ている。したがって、多関節アーム機構を備えたロボッ
トのロボット本体の全高を従来と同等の高さに設定して
もアーム機構の昇降ストロークを長くすることができ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。図１〜図
７に本発明のロボットの垂直軸上下機構の実施形態の一
例を示す。本実施形態では、クリーンルーム内で液晶用
ガラス基板等の薄板状のワークを例えばストッカと加工
装置等との間で搬送する搬送用ロボットの垂直軸上下機
構について説明している。

【００１８】このロボット１の垂直軸上下機構２は、ワ
ーク３を把持するためのアーム機構４を上下動させる垂
直軸５（クイル）を備え、該垂直軸５を駆動源６により
上下動させるものである。そして、この垂直軸上下機構
２は、垂直軸５を上下動可能に支持する固定フレーム７
に、駆動源６によって上下動方向に移動可能な可動フレ
ーム８を設け、該可動フレーム８に該可動フレーム８の
動きによって移動距離が増幅される増幅機構９を取り付
け、該増幅機構９に垂直軸５を連結するようにしてい
る。

【００１９】固定フレーム７は水平なベース１０に垂直
に固定されている。この固定フレーム７には、図４に示
すように多数のリブ７ａが形成されて（他の図では図示
省略）、剛性を高めている。図１〜図４に示すように、
固定フレーム７の上部の幅方向の両端には上下方向の溝
を有するレール受け１１が上下２段に取り付けられてい
る。

【００２０】垂直軸５は、可動フレーム８に上下動可能
に支持されたスライダ１２に回転可能に取り付けられて
いる。スライダ１２の幅方向の両端には上下方向の溝を
有するレール受け１３が上下２段に取り付けられてい
る。

【００２１】可動フレーム８は、増幅機構９と、固定フ
レーム７側を向いて幅方向に並んだ２本の鉛直な固定側
レール１４，１４と、垂直軸５側を向いて幅方向に並ん
だ２本の鉛直な移動側レール１５，１５とを備えてい
る。固定側レール１４は固定フレーム７のレール受け１
１に摺動可能に嵌合されている。そして、これら固定側
レール１４と固定フレーム７のレール受け１１とにより
可動フレーム８が固定フレーム７に対して上下動可能に
支持される。

【００２２】移動側レール１５は垂直軸５を支持するス
ライダ１２のレール受け１３に摺動可能に嵌合されてい
る。そして、これら移動側レール１５とスライダ１２の
レール受け１３とによりスライダ１２が可動フレーム８
に対して上下動可能に支持される。

【００２３】増幅機構９は、可動フレーム８の上下部に
備えた２つのプーリ１６，１６と、これらのプーリ１
６，１６に巻回した歯付ベルト１７とを備えている。そ
して、プーリ１６，１６の間に位置する一方側の歯付ベ
ルト１７ａに固定フレーム７を連結すると共に、プーリ
１６，１６の間に位置する他方側の歯付ベルト１７ｂに
垂直軸５を支持するスライダ１２を連結している。ここ
で、固定フレーム７の上部で上下に配置されたレール受
け１１，１１の間にはＬ字形状のアングル材から成るベ
ルト止め１８が取り付けられている。このベルト止め１
８が固定フレーム７と歯付ベルト１７ａとを連結してい
る。また、スライダ１２の上下に配置されたレール受け
１３，１３の間にはＬ字形状のアングル材から成るベル
ト止め１９が取り付けられている。このベルト止め１９
がスライダ１２と歯付ベルト１７ｂとを連結している。
このため、可動フレーム８を上下動させることにより、
各プーリ１６，１６の間に位置する一方側の歯付ベルト
１７ａは固定フレーム７に対して移動しないのに対し、
各プーリ１６，１６の間に位置する他方側の歯付ベルト
１７ｂは固定フレーム７に対して移動する。ここで、固
定フレーム７に対する可動フレーム８の移動量と可動フ
レーム８に対するスライダ１２の移動量とは等しいの
で、スライダ１２の固定フレーム７に対する移動量Ｓは
可動フレーム８の移動量Ｓ’の２倍に増幅される。

【００２４】また、可動フレーム８の近傍には、駆動源
６である例えばステッピングモータから成る駆動モータ
により可動フレーム８を上下動させる昇降機構３０が配
置されている。この昇降機構３０は、固定フレーム７に
沿って回転可能に支持された鉛直なボールねじ２０と、
可動フレーム８に固定されてボールねじ２０に螺合して
可動フレーム８と共に上下動可能な昇降ブロック２１
と、ボールねじ２０の下端部に固着されたプーリ２２
と、駆動源６に固定されたプーリ２３と、これらプーリ
２２，２３を連結する歯付ベルト２４とを備えている。
このため、駆動源６が駆動するとプーリ２２，２３及び
歯付ベルト２４を介してボールねじ２０が回転して昇降
ブロック２１及び可動フレーム８が上下動する。

【００２５】さらに、スライダ１２には垂直軸５を回転
させる例えばステッピングモータから成る回転モータ２
５が取り付けられている。この回転モータ２５と垂直軸
５とはプーリや歯付ベルト（図示せず）を介して連結し
ている。

【００２６】また、上述した固定フレーム７と可動フレ
ーム８とスライダ１２と駆動源６と昇降機構３０とは円
筒形状の可動筒２６に収容されている。可動筒２６は可
動フレーム８に固定されており該可動フレーム８と共に
上下動する。そして、垂直軸５は可動筒２６の上面に対
して出没する。このため、垂直軸上下機構２の駆動源６
や可動フレーム８等の可動部分を周囲から遮蔽すること
ができるので、この可動部分から発生する塵埃が周囲に
飛散してワーク３に付着することを防止できる。

【００２７】図５〜図７に示すように、垂直軸５の上端
部にはアーム支持部材２７を介して２つのアーム機構
４，４が取り付けられている。各アーム機構４，４は多
関節アーム機構としている。各アーム機構４，４のアー
ム部は上下にずらして設置している。このため、アーム
部が互いに干渉することを防止している。アーム支持部
材２７にはアーム機構４を作動させる駆動モータ等が収
容されている。

【００２８】本実施形態では各アーム機構４，４を多関
節アーム機構としているが、これには限られず直交ユニ
ット等の他のアーム機構としても良い。また、本実施形
態では１本の垂直軸５に２つのアーム機構４，４を設け
ているが、これには限られず１つのアーム機構としたり
３つ以上のアーム機構を設けても良い。

【００２９】このロボット１はベース１０の上に配置さ
れている。このベース１０は搬送装置２８に設置されて
搬送路２９の中を移動する。

【００３０】上述した垂直軸上下機構２を備えたロボッ
ト１の作動を以下に説明する。ロボット１を搬送装置２
８の搬送路２９の中で移動させて作業位置で停止させ
る。そして、駆動源６を駆動して、ボールねじ２０を回
転させて昇降ブロック２１及び可動フレーム８を上下動
させる。可動フレーム８の上下動に伴って、２つのプー
リ１６，１６及び歯付ベルト１７も上下動する。

【００３１】ここで、プーリ１６，１６の間に位置する
一方側の歯付ベルト１７ａが固定フレーム７に連結され
ているので、当該歯付ベルト１７ａは固定フレーム７に
対して移動しない。また、２つのプーリ１６，１６が上
下動することによりプーリ１６，１６の間に位置する他
方側、即ち垂直軸５が連結された方の歯付ベルト１７ｂ
が固定フレーム７に対して移動する。ここで、固定フレ
ーム７に対する可動フレーム８の移動量と可動フレーム
８に対するスライダ１２の移動量とは等しいので、スラ
イダ１２の固定フレーム７に対する移動量Ｓは可動フレ
ーム８の移動量Ｓ’の２倍に増幅される。これにより、
スライダ１２及び垂直軸５が可動フレーム８の２倍の移
動量Ｓで昇降する。そして、アーム機構４が所望の高さ
に達したら駆動源６を停止してその上下動を止める。こ
の状態でアーム機構４を作動させてワーク３の取り出し
や装着を行う。

【００３２】本実施形態の垂直軸上下機構２によれば、
可動フレーム８の上下動を増幅機構９により増幅して垂
直軸５を昇降させているので、ロボット本体（即ち、ロ
ボット１からアーム機構４を除いた部分）の全高ＨＡを
従来と同等の高さに設定してもアーム機構４の昇降スト
ロークＳを従来より長くすることができる。

【００３３】ここで、アーム機構４が最下位置にあると
きは、固定フレーム７と可動フレーム８とが水平方向に
並ぶので、ロボット本体の全高ＨＡはこれら並んだ固定
フレーム７と可動フレーム８とのうち高い方より僅かに
高くなる。このため、可動フレーム８の昇降ストローク
Ｓ’は、長くても固定フレーム７と可動フレーム８との
うち短い方の長さとなるのでロボット本体の全高ＨＡよ
りも短くなる。しかし、垂直軸５の昇降ストロークＳ
は、可動フレーム８の昇降ストロークＳ’の２倍に増幅
されているので、例えばロボット本体の全高ＨＡよりも
長くすることができる。

【００３４】これに対し、図９に示すような固定フレー
ム１０６に対して垂直軸１０３が直接設置されて昇降す
る従来の搬送用ロボット１０１では、数式１に示すよう
にアーム機構１０２の昇降ストロークＳはロボット本体
１０８の全高ＨＡよりも必ず短くなる。

【００３５】したがって、本実施形態の垂直軸上下機構
２によれば、ロボット本体の全高ＨＡを従来と同等の高
さに設定してもアーム機構４の昇降ストロークＳを従来
より長くすることができる。これにより、ロボット１の
全高を従来と同等に抑えながらもアーム機構４の昇降ス
トロークＳを長くできるので、ワーク３のストッカの高
さが増してもワーク３のパスラインを従来と同等の高さ
にしながら対応することができる。よって、薄板状のワ
ーク３の大型化を図ることができると共に、パスライン
の高さの変更が無いので既存の加工装置等の設備をその
まま利用することができる。しかも、ロボット１を他の
加工装置等と同じ床面上に配置できるので、レイアウト
の自由度の低下を防止できる。

【００３６】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば、本実施形態では固定フレーム７と垂直軸
５との間に可動フレーム８を１つだけ設けたいわゆる２
段構造としているが、これには限られず２つ以上の可動
フレーム８を設けた３段以上の構造としても良い。この
場合もロボット本体の全高ＨＡを従来と同等に抑えなが
らもアーム機構４の昇降ストロークＳを長くできる。こ
こで、アーム機構４の昇降ストロークＳの長さは数式２
のように示される。

【００３７】

【数２】Ｓ＝可動フレームのストロークＳ’×（段数） よって、ロボットに要求されるロボット本体の全高ＨＡ
とアーム機構４の昇降ストロークＳとに応じて可動フレ
ームのストロークＳ’及びその段数を決定することによ
り、これら全高ＨＡ及び昇降ストロークＳの条件を満た
したロボットを設計することができる。

【００３８】また、本実施形態ではワークを液晶用ガラ
ス基板としているが、これには限られず半導体ウェハや
その他の薄板材としても良い。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
１の発明は、ワークを把持するためのアーム機構を上下
動させる垂直軸を備え、該垂直軸を駆動源により上下動
させるロボットの垂直軸上下機構において、垂直軸を上
下動可能に支持する固定フレームに、駆動源によって上
下動方向に移動可能な可動フレームを設け、該可動フレ
ームに該可動フレームの動きによって移動距離が増幅さ
れる増幅機構を取り付け、該増幅機構に垂直軸を連結す
るようにしているので、増幅機構は可動フレームの移動
距離を増幅して垂直軸を上下動させることから、ロボッ
ト本体の全高を従来と同等の高さに設定してもアーム機
構の昇降ストロークを従来より長くすることができる。
このため、ワークのストッカの高さが増してもワークの
パスラインを従来と同等の高さにしながら対応すること
ができる。よって、薄板状のワークの大型化を図ること
ができると共に、パスラインの高さの変更が無いので既
存の加工装置等の設備をそのまま利用することができ
る。しかも、ロボットを他の加工装置等と同じ床面上に
配置できるので、レイアウトの自由度の低下を防止でき
る。

【００４０】また、請求項２のロボットの垂直軸上下機
構では、増幅機構は可動フレームの上下部に備えた２つ
のプーリと該プーリに巻回した歯付ベルトとを備え、プ
ーリの間に位置する歯付ベルトの一方に固定フレームを
連結すると共に、プーリの間に位置する歯付ベルトの他
方に垂直軸を連結するようにしているので、垂直軸の昇
降ストロークを可動フレームの上下動のストロークの２
倍とすることができる。これにより、ロボット本体の全
高を従来と同等の高さに設定しても、アーム機構の昇降
ストロークを従来より長くすることができる。

【００４１】さらに、請求項３のロボットの垂直軸上下
機構では、可動フレームを該可動フレームと共に上下動
する円筒形の可動筒内に垂直軸と収納すると共に、垂直
軸を可動筒より突出可能とするようにしているので、垂
直軸上下機構の可動部分をその周囲から遮蔽することが
できる。このため、この可動部分から発生する塵埃が周
囲に飛散してワークに付着することを防止できる。

【００４２】また、請求項４のロボットの垂直軸上下機
構では、アーム機構は多関節アーム機構であるようにし
ているので、多関節アーム機構を備えたロボットのロボ
ット本体の全高を従来と同等の高さに設定してもアーム
機構の昇降ストロークを長くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のロボットの垂直軸上下機構の主要部を
示す垂直軸が最上位置に有るときの側面図である。

【図２】本発明のロボットの垂直軸上下機構の主要部を
示す垂直軸が最下位置に有るときの側面図である。

【図３】本発明のロボットの垂直軸上下機構を示す横断
面図である。

【図４】本発明のロボットの垂直軸上下機構の主要部を
示す垂直軸が最下位置に有るときの側面図である。

【図５】本発明の垂直軸上下機構を搭載したロボットを
示す側面図である。

【図６】本発明の垂直軸上下機構を搭載したロボットを
示す正面図である。

【図７】本発明の垂直軸上下機構を搭載したロボットを
示す平面図である。

【図８】従来の垂直軸上下機構を搭載したロボットを示
す側面図である。

【図９】従来のロボットの垂直軸上下機構の主要部を示
す垂直軸が最下位置に有るときの側面図である。

【符号の説明】

１ ロボット ２ 垂直軸上下機構 ３ ワーク ４ アーム機構 ５ 垂直軸 ６ 駆動源 ７ 固定フレーム ８ 可動フレーム ９ 増幅機構 １６ プーリ １７ 歯付ベルト １７ａ 一方の歯付ベルト １７ｂ 他方の歯付ベルト ２６ 可動筒

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを把持するためのアーム機構を上
   下動させる垂直軸を備え、該垂直軸を駆動源により上下
   動させるロボットの垂直軸上下機構において、前記垂直
   軸を上下動可能に支持する固定フレームに、前記駆動源
   によって前記上下動方向に移動可能な可動フレームを設
   け、該可動フレームに該可動フレームの動きによって移
   動距離が増幅される増幅機構を取り付け、該増幅機構に
   前記垂直軸を連結したことを特徴とするロボットの垂直
   軸上下機構。
2. 【請求項２】 前記増幅機構は前記可動フレームの上下
   部に備えた２つのプーリと該プーリに巻回した歯付ベル
   トとを備え、前記プーリの間に位置する前記歯付ベルト
   の一方に前記固定フレームを連結すると共に、前記プー
   リの間に位置する前記歯付ベルトの他方に前記垂直軸を
   連結したことを特徴とする請求項１記載のロボットの垂
   直軸上下機構。
3. 【請求項３】 前記可動フレームを該可動フレームと共
   に上下動する円筒形の可動筒内に前記垂直軸と収納する
   と共に、前記垂直軸を前記可動筒より突出可能としたこ
   とを特徴とする請求項１または請求項２記載のロボット
   の垂直軸上下機構。
4. 【請求項４】 前記アーム機構は多関節アーム機構であ
   ることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれ
   か記載のロボットの垂直軸上下機構。