JPH11127459A - 固体撮像装置の検査方法 - Google Patents
固体撮像装置の検査方法Info
- Publication number
- JPH11127459A JPH11127459A JP9290629A JP29062997A JPH11127459A JP H11127459 A JPH11127459 A JP H11127459A JP 9290629 A JP9290629 A JP 9290629A JP 29062997 A JP29062997 A JP 29062997A JP H11127459 A JPH11127459 A JP H11127459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- waveform
- signal
- solid
- charge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＯＢ部（光学的黒）領域の１画素目に現れる
信号電荷の転送取り残し信号の波形が劣化し、精度良く
測定できない。 【解決手段】 画素毎に出力された信号波形にクランプ
回路５でクランプパルスを印加し、Ｓ／Ｈ回路６でＳ／
Ｈパルスを印加し、サンプリングする際に、クランプ回
路５の時定数の影響を受けないようにＯＢ部１１の１画
素目から数画素前にＳ／Ｈパルスを停止させ、ローレベ
ルに近づけてＳ／Ｈパルスを再び印加することで、Ｓ／
Ｈ後の波形の劣化を防ぐ。
信号電荷の転送取り残し信号の波形が劣化し、精度良く
測定できない。 【解決手段】 画素毎に出力された信号波形にクランプ
回路５でクランプパルスを印加し、Ｓ／Ｈ回路６でＳ／
Ｈパルスを印加し、サンプリングする際に、クランプ回
路５の時定数の影響を受けないようにＯＢ部１１の１画
素目から数画素前にＳ／Ｈパルスを停止させ、ローレベ
ルに近づけてＳ／Ｈパルスを再び印加することで、Ｓ／
Ｈ後の波形の劣化を防ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はファックスやイメー
ジスキャナ等、もしくは一体型ビデオカメラの固体撮像
素子等に応用されるイメージセンサとしての固体撮像装
置の検査方法に関する。
ジスキャナ等、もしくは一体型ビデオカメラの固体撮像
素子等に応用されるイメージセンサとしての固体撮像装
置の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体撮像装置は一体型ビデオカメ
ラの撮像部等やファックスやイメージスキャナの画像認
識センサーとして広く用いられており、特に、ノイズ特
性に優れたＣＣＤ型固体撮像装置（ＣＣＤ：Charge Cou
pled Device）が最も多く用いられている。また、検査
の高精度化が強く望まれている。
ラの撮像部等やファックスやイメージスキャナの画像認
識センサーとして広く用いられており、特に、ノイズ特
性に優れたＣＣＤ型固体撮像装置（ＣＣＤ：Charge Cou
pled Device）が最も多く用いられている。また、検査
の高精度化が強く望まれている。
【０００３】図３に従来の固体撮像装置の電荷転送部の
転送劣化（以下、転送効率と称する）の検査方法を示
す。
転送劣化（以下、転送効率と称する）の検査方法を示
す。
【０００４】図３において、２１は撮像素子の受光領域
を示す。フォトダイオード２２で光電変換され、発生し
た信号電荷を電荷転送部２３で転送し、出力部２４で信
号電圧に変換して出力する。この画素ごとに出力された
信号出力波形にクランプ回路２５でクランプパルスを印
加し、Ｓ／Ｈ（サンプルホールド）回路２６でＳ／Ｈパ
ルスを印加し、アンプ２７を経てＡ／Ｄコンバータ２８
でデジタル化し、フレームメモリ２９に記憶し、画素情
報を基に演算処理部３０で、非受光領域であるＯＢ部３
１の１画素目を転送残しとして測定し、転送効率を演算
していた。
を示す。フォトダイオード２２で光電変換され、発生し
た信号電荷を電荷転送部２３で転送し、出力部２４で信
号電圧に変換して出力する。この画素ごとに出力された
信号出力波形にクランプ回路２５でクランプパルスを印
加し、Ｓ／Ｈ（サンプルホールド）回路２６でＳ／Ｈパ
ルスを印加し、アンプ２７を経てＡ／Ｄコンバータ２８
でデジタル化し、フレームメモリ２９に記憶し、画素情
報を基に演算処理部３０で、非受光領域であるＯＢ部３
１の１画素目を転送残しとして測定し、転送効率を演算
していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｓ／Ｈ
回路で信号出力波形にＳ／Ｈパルスを印加する際、すべ
ての信号出力波形にパルス印加すると、パルス間はホー
ルドされるが信号出力と比べて、非受光領域であるＯＢ
部の１画素目の転送残し信号は微少な信号のため、クラ
ンプ回路の時定数（Ｃ・Ｒ）の影響で信号波形が劣化す
る問題があった。
回路で信号出力波形にＳ／Ｈパルスを印加する際、すべ
ての信号出力波形にパルス印加すると、パルス間はホー
ルドされるが信号出力と比べて、非受光領域であるＯＢ
部の１画素目の転送残し信号は微少な信号のため、クラ
ンプ回路の時定数（Ｃ・Ｒ）の影響で信号波形が劣化す
る問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置の
検査方法は、受光部と、受光部で発生した信号電荷を転
送する電荷転送部と、電荷転送部から転送された電荷を
検出する電荷検出部とを備えた固体撮像装置の検査方法
であって、電荷検出部から出力された波形をサンプリン
グする際に、Ｓ／Ｈパルスを一定期間停止させて非受光
領域であるＯＢ部の１画素目の転送残し、信号にＳ／Ｈ
パルスを再び印加することを特徴とする。
検査方法は、受光部と、受光部で発生した信号電荷を転
送する電荷転送部と、電荷転送部から転送された電荷を
検出する電荷検出部とを備えた固体撮像装置の検査方法
であって、電荷検出部から出力された波形をサンプリン
グする際に、Ｓ／Ｈパルスを一定期間停止させて非受光
領域であるＯＢ部の１画素目の転送残し、信号にＳ／Ｈ
パルスを再び印加することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。
態を図面に基づいて説明する。
【０００８】図１に本発明の一実施の形態である固体撮
像装置の検査方法の平面模式図を示す。
像装置の検査方法の平面模式図を示す。
【０００９】図１において、１は撮像素子の受光領域を
示す。フォトダイオード２で光電変換され、発生した信
号電荷を電荷転送部３で転送し、出力部４で信号電圧に
変換して出力する。この画素ごとに出力された信号出力
波形にクランプ回路５でクランプパルスを印加し、Ｓ／
Ｈ（サンプルホールド）回路６でＳ／Ｈパルスを印加
し、アンプ７を経てＡ／Ｄコンバータ８でデジタル化
し、フレームメモリ９に記憶し、画素情報を基に演算処
理部１０で、非受光領域であるＯＢ部１１の１画素目を
転送残しとして測定し、転送効率を演算する。
示す。フォトダイオード２で光電変換され、発生した信
号電荷を電荷転送部３で転送し、出力部４で信号電圧に
変換して出力する。この画素ごとに出力された信号出力
波形にクランプ回路５でクランプパルスを印加し、Ｓ／
Ｈ（サンプルホールド）回路６でＳ／Ｈパルスを印加
し、アンプ７を経てＡ／Ｄコンバータ８でデジタル化
し、フレームメモリ９に記憶し、画素情報を基に演算処
理部１０で、非受光領域であるＯＢ部１１の１画素目を
転送残しとして測定し、転送効率を演算する。
【００１０】ここにおいてＳ／Ｈパルス波形のようにパ
ルスを印加しサンプリングする際に、クランプ回路５の
時定数（Ｃ・Ｒ）の影響を受けないように非受光領域で
あるＯＢ部１１の１画素目から数画素前にＳ／Ｈパルス
を停止させ、ローレベルに近づけてＯＢ部１１の１画素
目の転送残し信号にＳ／Ｈパルスを再び印加することで
Ｓ／Ｈ後の波形で劣化をなくすることができる。
ルスを印加しサンプリングする際に、クランプ回路５の
時定数（Ｃ・Ｒ）の影響を受けないように非受光領域で
あるＯＢ部１１の１画素目から数画素前にＳ／Ｈパルス
を停止させ、ローレベルに近づけてＯＢ部１１の１画素
目の転送残し信号にＳ／Ｈパルスを再び印加することで
Ｓ／Ｈ後の波形で劣化をなくすることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体撮像
装置の検査方法によれば、Ｓ／Ｈパルスを一定期間停止
することで水平電荷転送部の水平電荷転送効率を高精度
に測定することができる。もちろん２次元の固体撮像装
置にも適用できることは言うまでもない。
装置の検査方法によれば、Ｓ／Ｈパルスを一定期間停止
することで水平電荷転送部の水平電荷転送効率を高精度
に測定することができる。もちろん２次元の固体撮像装
置にも適用できることは言うまでもない。
【図１】本発明の一実施の形態の固体撮像装置の検査方
法を示す平面模式図
法を示す平面模式図
【図２】本発明の一実施の形態の固体撮像装置の検査方
法の信号処理タイミングを説明する図
法の信号処理タイミングを説明する図
【図３】従来の固体撮像装置の検査方法を示す平面模式
図
図
【図４】従来の固体撮像装置の検査方法の信号処理タイ
ミングを説明する図
ミングを説明する図
１ 撮像素子の受光領域 ２ フォトダイオード ３ 電荷転送部 ４ 出力部 ５ クランプ回路 ６ Ｓ／Ｈ（サンプルホールド）回路 ７ アンプ ８ Ａ／Ｄコンバータ ９ フレームメモリ １０ 演算処理部 １１ ＯＢ部
Claims (1)
- 【請求項１】 １次元もしくは２次元に配列された受光
部と、前記受光部で発生した信号電荷を転送する電荷転
送部と、前記電荷転送部から転送された電荷を検出する
電荷検出部とを備えた固体撮像装置の検査方法であっ
て、前記電荷検出部の出力をサンプリングする際に、パ
ルスを一定期間停止させ、前記電荷転送部の転送劣化を
測定することを特徴とする固体撮像装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9290629A JPH11127459A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 固体撮像装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9290629A JPH11127459A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 固体撮像装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11127459A true JPH11127459A (ja) | 1999-05-11 |
Family
ID=17758464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9290629A Pending JPH11127459A (ja) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | 固体撮像装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11127459A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007336196A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 画像読取装置、および画像読取装置の制御方法 |
-
1997
- 1997-10-23 JP JP9290629A patent/JPH11127459A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007336196A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 画像読取装置、および画像読取装置の制御方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7733401B2 (en) | Image capturing apparatus | |
| US5887049A (en) | Self-triggered X-ray sensor | |
| DE69826886D1 (de) | Optoelektronische kamera und verfahren zur bildformatierung | |
| US6452666B1 (en) | Optical range finder | |
| US4589025A (en) | Dark current measurement and correction for video from field-transfer imagers | |
| EP0633691A2 (en) | Solid state imager device having a/d converter | |
| NL1022903C2 (nl) | Meervoudige donkerframesubstractie. | |
| JPH11127459A (ja) | 固体撮像装置の検査方法 | |
| WO2008023806A1 (en) | Sensitivity correction method and imaging device | |
| JP2001312690A (ja) | 画像形成装置に対する効果的な露光決定 | |
| JPH0342750B2 (ja) | ||
| JP2984494B2 (ja) | 固体撮像素子の暗時出力補正装置 | |
| JP3591183B2 (ja) | 残像検出方法及び残像検出装置 | |
| KR100272338B1 (ko) | 인터라인트랜스퍼시시디의출력신호변환장치 | |
| JP2003057113A (ja) | 光電変換装置、測光センサ及び撮像装置 | |
| KR100868024B1 (ko) | 리니어 촬상소자를 이용한 고해상도 카메라 장치 및구현방법 | |
| JPH11177888A (ja) | スミア補正方式 | |
| JP2000078482A (ja) | 撮像光量を可変とした撮像装置 | |
| JPS63240184A (ja) | 固体イメ−ジセンサ回路 | |
| JPS6229395A (ja) | 固体撮像素子の画素欠陥検出装置 | |
| JPH03151929A (ja) | 電子内視鏡装置 | |
| JP2005136720A (ja) | 撮像装置、画像取得装置、及び撮像システム | |
| JP2000059700A (ja) | 固体撮像素子の検査方法 | |
| JPH05103265A (ja) | 固体撮像装置 | |
| Vishnevsky et al. | High-precision digital charge-coupled device TV system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040805 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040914 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050624 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060515 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060926 |